JP2014096363A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 基板を固定し、固定された前記基板と共に移動自在に形成された移動部と、前記基板が固定された前記移動部を、第１方向に移動させる第１移送部と、蒸着が完了し、前記基板が分離された前記移動部を、前記第１方向の反対方向に移動させる第２移送部と、を含む移送部と、
   前記移動部に、前記基板を固定させるローディング部と、
   真空に維持されるチャンバと、前記ローディング部から移送された前記移動部に固定された前記基板に有機層を蒸着する一つ以上の有機層蒸着アセンブリと、を含む蒸着部と、
   前記蒸着部を通過しながら、蒸着が完了した前記基板を前記移動部から分離させるアンローディング部と、を含み、
   前記移動部は、前記第１移送部と前記第２移送部との間を循環することができるように形成され、
   前記移動部に固定された基板は、前記第１移送部によって移動される間、前記有機層蒸着アセンブリと所定距離離隔されるように形成され、
   前記有機層蒸着アセンブリは、
   蒸着物質を放射する蒸着源と、
   前記蒸着源の一側に配置され、複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
   前記蒸着源ノズル部と対向するように配置され、いずれか１方向に沿って複数個のパターニングスリットが配置されるパターニングスリットシートと、
   前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔を測定する間隔測定部と、を具備し、
   前記蒸着源から放射された前記蒸着物質は、前記パターニングスリットシートを通過し、前記基板上にパターンを形成しながら蒸着されることを特徴とする有機層蒸着装置。
2. 前記間隔測定部は、
   前記パターニングスリットシート上に配置されず、前記パターニングスリットシートから延長された仮想の平面上に配置される第１間隔測定部と、
   前記パターニングスリットシート上に配置される第２間隔測定部と、を具備することを特徴とする請求項１に記載の有機層蒸着装置。
3. 前記第１間隔測定部は、少なくとも２以上の間隔測定ユニットからなり、前記第２間隔測定部は、少なくとも４以上の間隔測定ユニットからなることを特徴とする請求項２に記載の有機層蒸着装置。
4. 前記第１間隔測定部は、第１間隔測定ユニット及び第６間隔測定ユニットからなり、
   前記第２間隔測定部は、第２間隔測定ユニット、第３間隔測定ユニット、第４間隔測定ユニット及び第５間隔測定ユニットからなり、
   前記第１間隔測定ユニット、第２間隔測定ユニット及び第３間隔測定ユニットは、それが配置される地点を連結した仮想線分が三角形をなすように配置され、
   前記第４間隔測定ユニット、第５間隔測定ユニット及び第６間隔測定ユニットは、それが配置される地点を連結した仮想線分が三角形をなすように配置されることを特徴とする請求項３に記載の有機層蒸着装置。
5. 前記第１間隔測定ユニット、第２間隔測定ユニット、第４間隔測定ユニットは、仮想の第１一直線上に配置され、
   前記第３間隔測定ユニット、第５間隔測定ユニット、第６間隔測定ユニットは、仮想の第２一直線上に配置されることを特徴とする請求項４に記載の有機層蒸着装置。
6. 前記第１一直線と前記第２一直線は、前記第１方向と平行であることを特徴とする請求項５に記載の有機層蒸着装置。
7. 前記第１間隔測定ユニットと、前記第２間隔測定ユニットとが位置する地点を結ぶ線分は、第１辺であり、
   前記第２間隔測定ユニットと、前記第３間隔測定ユニットとが位置する地点を結ぶ線分は、第２辺であり、
   前記第３間隔測定ユニットと、前記第１間隔測定ユニットとが位置する地点を結ぶ線分は、第３辺であり、
   前記第１辺と前記第２辺は、互いに垂直であり、前記第３辺は、前記三角形の斜辺に該当することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の有機層蒸着装置。
8. 前記第５間隔測定ユニットと、前記第６間隔測定ユニットとが位置する地点を結ぶ線分は、第４辺であり、
   前記第４間隔測定ユニットと、前記第５間隔測定ユニットとが位置する地点を結ぶ線分は、第５辺であり、
   前記第６間隔測定ユニットと、前記第４間隔測定ユニットとが位置する地点を結ぶ線分は、第６辺であり、
   前記第４辺と前記第５辺は、互いに垂直であり、前記第６辺は、前記三角形の斜辺に該当することを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
9. 前記基板が、前記第１方向に移送され、前記第１間隔測定ユニット、第２間隔測定ユニット、第３間隔測定ユニットの下に位置する場合、
   前記第１間隔測定ユニットは、前記基板までの距離を測定し、前記第２間隔測定ユニットと、前記第３間隔測定ユニットは、それぞれ前記基板までの距離と、前記パターニングスリットシートまでの距離とを測定し、前記第１間隔測定ユニット、前記第２間隔測定ユニット及び前記第３間隔測定ユニットが位置するそれぞれの地点で、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔を求めることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
10. 前記第１間隔測定ユニットは、前記第２間隔測定ユニットまたは前記第３間隔測定ユニットが測定した前記パターニングスリットシートまでの距離を、前記第１間隔測定ユニットが位置する地点での仮想の前記パターニングスリットシートまでの距離にし、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔を求めることを特徴とする請求項９に記載の有機層蒸着装置。
11. 前記第１間隔測定ユニット、第２間隔測定ユニット及び第３間隔測定ユニットが位置するそれぞれの地点での、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔に違いがある場合、前記間隔が同一になるように、前記パターニングスリットシートを移動させることを特徴とする請求項１０に記載の有機層蒸着装置。
12. 前記基板が、前記第１方向に移送され、前記第２間隔測定ユニット、第３間隔測定ユニット、第５間隔測定ユニットの下に位置する場合、
    前記第２間隔測定ユニット、第３間隔測定ユニット及び第５間隔測定ユニットそれぞれは、前記基板までの距離と、前記パターニングスリットシートまでの距離とを測定し、前記第２間隔測定ユニット、第３間隔測定ユニット及び第５間隔測定ユニットが位置するそれぞれの地点で、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔を求めることを特徴とする請求項５に記載の有機層蒸着装置。
13. 前記第２間隔測定ユニット、第３間隔測定ユニット及び第５間隔測定ユニットが位置するそれぞれの地点での、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔に違いがある場合、前記間隔が同一になるように、前記パターニングスリットシートを移動させることを特徴とする請求項１２に記載の有機層蒸着装置。
14. 前記基板が、前記第１方向に移送され、前記第４間隔測定ユニット、第５間隔測定ユニット、第６間隔測定ユニットの下に位置する場合、
    前記第６間隔測定ユニットは、前記基板までの距離を測定し、前記第４間隔測定ユニットと前記第５間隔測定ユニットは、それぞれ前記基板までの距離と、前記パターニングスリットシートまでの距離とを測定し、前記第４間隔測定ユニット、前記第５間隔測定ユニット及び前記第６間隔測定ユニットが位置するそれぞれの地点で、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔を求めることを特徴とする請求項５〜１３のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
15. 前記第６間隔測定ユニットは、前記第４間隔測定ユニットまたは前記第５間隔測定ユニットが測定した前記パターニングスリットシートまでの距離を、前記第６間隔測定ユニットが位置する地点での仮想の前記パターニングスリットシートまでの距離にし、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔を求めることを特徴とする請求項１４に記載の有機層蒸着装置。
16. 前記第４間隔測定ユニット、第５間隔測定ユニット及び第６間隔測定ユニットが位置するそれぞれの地点での、前記基板と、前記パターニングスリットシートとの間隔に違いがある場合、前記間隔が同一になるように、前記パターニングスリットシートを移動させることを特徴とする請求項１４または請求項１５に記載の有機層蒸着装置。
17. 前記第１移送部と前記第２移送部は、前記蒸着部を通過するとき、前記蒸着部を貫通するように具備されることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。
18. 前記有機層蒸着アセンブリの前記パターニングスリットシートは、前記第１方向、または、前記第１方向と交差する第２方向のうち少なくともいずれか１方向において、前記基板より小さく形成されることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一項に記載の有機層蒸着装置。