JP2005093997A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 投影システムを使用してパターン化デバイスから基板上にパターンを投影するようになされ、かつ、前記投影システムの最終エレメントと前記基板の間の空間の少なくとも一部に液浸液を充填するための液体供給システムを有し、前記最終エレメントは、前記液浸液と接触する表面に、実質的に前記液浸液に対して不溶性の溶融石英ガラス板を有しているリソグラフィック投影装置。
2. 前記石英ガラス板の厚さが、５０μｍから５ｍｍまでの範囲である、請求項１に記載のリソグラフィック投影装置。
3. 前記石英ガラス板が、接着剤を使用しない接触結合によって前記最終エレメントに結合された、請求項１又は２に記載のリソグラフィック投影装置。
4. 前記最終エレメントと前記石英ガラス板の継ぎ目の周囲に、液体を漏らさないシールが設けられている、請求項１に記載のリソグラフィック投影装置。
5. 前記最終エレメントがＣａＦ _２ からなる、請求項１から４までのいずれか一項に記載のリソグラフィック投影装置。
6. 前記最終エレメントが、いずれもＣａＦ _２ である第１及び第２のコンポーネントからなり、前記投影ビームが前記第１のコンポーネントを通過した後、前記第２のコンポーネントを通過する、請求項１に記載のリソグラフィック投影装置。