JP2003015046A - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents

液浸系顕微鏡対物レンズ

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JP2003015046A
JP2003015046A JP2001196257A JP2001196257A JP2003015046A JP 2003015046 A JP2003015046 A JP 2003015046A JP 2001196257 A JP2001196257 A JP 2001196257A JP 2001196257 A JP2001196257 A JP 2001196257A JP 2003015046 A JP2003015046 A JP 2003015046A
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lens
lens group
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cemented
line
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Shuji Takenaka
修二 竹中
Kenji Suzuki
健司 鈴木
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い屈折率の浸液と従来のカバーガラスとを
用いた場合にも、カバーガラスの厚さ変化や温度変化に
起因する諸収差の変動を良好に補正することのできる液
浸系顕微鏡対物レンズ。 【解決手段】 最も物体側に配置されて物体側に平面を
向けた平凸レンズ(L11)と物体側に凹面を向けたメ
ニスカスレンズ(L12)との貼り合わせからなる接合
レンズを含む。平凸レンズのd線に対する屈折率が、浸
液のd線に対する屈折率よりも0.035以上小さい。
メニスカスレンズのd線に対する屈折率が2.0以上で
ある。浸液のd線に対する屈折率が1.57以上であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液浸系顕微鏡対物
レンズに関し、特に対物レンズと観察物体との間の光路
をオイルで満たした状態で観察を行うエバネッセント油
液浸系顕微鏡に好適な対物レンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】エバネッセント顕微鏡法は、生きた細胞
の観察を行う上で高い分解能および高速性を有し、細胞
に対する毒性も少ない優れた観察方法である。しかしな
がら、エバネッセント顕微鏡法で広い観察領域を高い分
解能で観察するためには、顕微鏡対物レンズの開口数を
大きくしつつ、像の平坦性を維持しなければならない。
このため、従来技術では、浸液として屈折率の大きい油
を用いる油浸系顕微鏡対物レンズにおいて、その開口数
を大きくするために次の構成を採用していた。
【0003】まず、開口数を大きくしても像の平坦性を
維持するために、最も物体側に、平凸レンズと物体側に
曲率の強い凹面を向けたメニスカスレンズとの接合レン
ズを配置していた。また、油浸液の屈折率を大きくし
て、対物レンズの開口数を大きくしていた。この場合、
平凸レンズの屈折率(d線に対する屈折率)nd3と、カ
バーガラスの屈折率nd2と、油の屈折率nd1との間に
は、次の条件式(a)〜(c)に示す関係が成立してい
た。
【0004】nd1≒nd3 (a) nd1<nd2 (b) nd3<nd2 (c) 具体的には、油の屈折率nd1および平凸レンズの屈折率
d3の値を1.515〜1.518程度に設定し、カバ
ーガラスの屈折率nd2の値を1.522程度に設定して
いた。最近では、高い開口数を得るために油浸液の高屈
折率化が進み、屈折率がnd1=1.579程度のジェフ
ニエーテルなどが実用化され始めている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】確かに、高屈折率の油
浸液を用いることにより、対物レンズの開口数が大きく
なり、解像度は向上する。しかしながら、上述の屈折率
関係にしたがう従来の対物レンズでは、油浸液の屈折率
を大きくした場合、それに応じてカバーガラスの屈折率
も大きくしなければ、特に球面収差などの諸収差が悪化
する。その結果、従来のカバーガラスを使用することが
できなくなり、油浸液の屈折率が高くなるたびに専用の
カバーガラスを新たに用意して使用しなければならない
という経済的な不都合があった。
【0006】また、生きた細胞を観察するには、室温だ
けでなく、細胞を生きた状態で保つことのできる温度で
も結像性能が低下しないことが望ましい。換言すると、
カバーガラスの厚さ変化だけでなく温度変化に対しても
結像性能を維持するための調整機能を有することが望ま
しい。
【0007】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、高い屈折率の浸液と従来のカバーガラスとを
用いた場合にも、カバーガラスの厚さ変化や温度変化に
起因する諸収差の変動を良好に補正することのできる液
浸系顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明では、最も物体側に配置されて物体側に平面
を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカス
レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを含み、前記
平凸レンズのd線に対する屈折率が浸液のd線に対する
屈折率よりも0.035以上小さく、前記メニスカスレ
ンズのd線に対する屈折率が2.0以上であり、且つ前
記浸液のd線に対する屈折率が1.57以上であること
を特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズを提供する。
【0009】本発明の好ましい態様によれば、物体側か
ら順に、第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レン
ズ群と、第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レン
ズ群と、第5レンズ群と、第6レンズ群と、第7レンズ
群とを備え、前記第1レンズ群は、前記接合レンズを有
し、前記第2レンズ群は、物体側から順に、負レンズと
正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、前
記第3レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レン
ズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、射出光が
ほぼ平行光であり、前記第4レンズ群は、物体側から順
に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レ
ンズを有し、前記第5レンズ群は、物体側から順に、負
レンズと正レンズと負レンズとの貼り合わせからなる接
合レンズを有し、前記第6レンズ群は、物体側から順
に、正レンズと負レンズとの貼り合わせからなる接合レ
ンズを有し、前記第7レンズ群は、物体側から順に、負
レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを
有し、前記第4レンズ群と前記第5レンズ群とは、収差
変動の補正のために光軸に沿って一体的に移動可能に構
成されている。
【0010】また、本発明の別の好ましい態様によれ
ば、物体側から順に、第1レンズ群と、正の屈折力を有
する第2レンズ群と、第3レンズ群と、正の屈折力を有
する第4レンズ群と、第5レンズ群と、第6レンズ群
と、第7レンズ群とを備え、前記第1レンズ群は、前記
接合レンズを有し、前記第2レンズ群は、物体側から順
に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レ
ンズを有し、前記第3レンズ群は、物体側から順に、負
レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを
有し、射出光が収れん光であり、前記第4レンズ群は、
物体側から順に、負レンズと正レンズとの貼り合わせか
らなる接合レンズを有し、前記第5レンズ群は、物体側
から順に、負レンズと正レンズと負レンズとの貼り合わ
せからなる接合レンズを有し、前記第6レンズ群は、物
体側から順に、正レンズと負レンズとの貼り合わせから
なる接合レンズを有し、前記第7レンズ群は、物体側か
ら順に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接
合レンズを有し、前記第5レンズ群と前記第6レンズ群
とは、収差変動の補正のために光軸に沿って一体的に移
動可能に構成されている。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の液浸系顕微鏡対物レンズ
では、最も物体側に配置されて物体側に平面を向けた平
凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとの
貼り合わせからなる接合レンズを含んでいる。この構成
により、対物レンズの開口数を大きくして像の平坦性を
維持することができる。
【0012】また、本発明では、平凸レンズのd線に対
する屈折率nd3が浸液のd線に対する屈折率nd1よりも
0.035以上小さく、メニスカスレンズのd線に対す
る屈折率が2.0以上であり、且つ浸液のd線に対する
屈折率nd1が1.57以上であるように設定している。
この構成により、高い屈折率の浸液および従来のカバー
ガラスを用いた場合にも、カバーガラスの厚さ変化や温
度変化に起因する諸収差の変動を良好に補正することが
できる。
【0013】具体的には、本発明において、次の条件式
(1)〜(3)を満足することが望ましい。条件式
(1)〜(3)において、nd1は浸液のd線に対する屈
折率であり、nd2はカバーガラスのd線に対する屈折率
であり、nd3は平凸レンズのd線に対する屈折率であ
る。
【0014】nd3<nd1 (1) nd2<nd1 (2) nd2<nd3 (3)
【0015】条件式(1)〜(3)を満足することによ
り、各波長ごとの軸上の球面収差が良好に補正され、優
れた結像性能を有し且つ平坦性の良好な液浸系顕微鏡対
物レンズを実現することができる。
【0016】
【実施例】本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明
する。各実施例において、本発明の液浸系顕微鏡対物レ
ンズは、物体側から順に、第1レンズ群G1と、正の屈
折力を有する第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3
と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4と、第5レン
ズ群G5と、第6レンズ群G6と、第7レンズ群G7と
から構成されている。各実施例の顕微鏡対物レンズは、
浸液として油(ジェフニエーテル)を用いた油浸系であ
る。
【0017】各実施例において、顕微鏡対物レンズは無
限遠設計されているので、顕微鏡対物レンズの像側に所
定の空気間隔を隔てて結像レンズ(第2対物レンズ)を
配置し、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの組合せによ
り有限光学系を形成している。なお、第1実施例におい
て示す諸収差図(図2および図3)は、顕微鏡対物レン
ズと結像レンズとの軸上空気間隔が150mmの場合の
諸収差図である。第2実施例において示す諸収差図(図
5および図6)は、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの
軸上空気間隔が140mmの場合の諸収差図である。た
だし、軸上空気間隔がある程度変化しても、収差の変動
がほとんどないことを本発明者は検証している。
【0018】図7は、各実施例における結像レンズの構
成を示す図である。図7に示すように、各実施例におけ
る結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズと両凹レ
ンズとの貼り合わせからなる接合レンズL81と、両凸
レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズ
L82と、プリズムPとから構成されている。次の表
(1)に、各実施例における結像レンズの諸元の値を掲
げる。表(1)において、面番号は物体側からの各レン
ズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径(mm)を、
dは各レンズ面の間隔(mm)を、ndはd線(λ=5
87.6nm)に対する屈折率を、νdはd線に対する
アッベ数をそれぞれ示している。
【0019】
【表1】 面番号 r d nd νd 1 75.043 5.10000 1.622801 57.0 (L81) 2 -75.043 2.00000 1.749501 35.0 3 1600.580 7.50000 4 50.256 5.10000 1.667551 42.0 (L82) 5 -84.541 1.80000 1.612658 44.4 6 36.911 5.50000 7 ∞ 30.00000 1.568829 (P) 8 ∞ 138.33829
【0020】〔第1実施例〕図1は、本発明の第1実施
例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示
す図である。図1に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第
1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向
けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニス
カスレンズL12との貼り合わせからなる接合レンズ
と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13と
から構成されている。
【0021】第2レンズ群G2は、物体側から順に、両
凹レンズL21と両凸レンズL22との貼り合わせから
なる接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3
は、物体側から順に、両凹レンズL31と両凸レンズL
32との貼り合わせからなる接合レンズから構成されて
いる。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に
凸面を向けた負メニスカスレンズL41と両凸レンズL
42との貼り合わせからなる接合レンズから構成されて
いる。
【0022】第5レンズ群G5は、物体側から順に、物
体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL51と両凸レ
ンズL52と両凹レンズL53との貼り合わせからなる
接合レンズから構成されている。第6レンズ群G6は、
物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレ
ンズL61と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ
L62との貼り合わせからなる接合レンズから構成され
ている。
【0023】第7レンズ群G7は、物体側から順に、両
凹レンズL71と両凸レンズL72との貼り合わせから
なる接合レンズから構成されている。第1実施例では、
第4レンズ群G4と第5レンズ群G5とが、補正レンズ
群(補正環)として、カバーガラスの厚さ変化や温度変
化などに起因する収差変動の補正のために光軸に沿って
一体的に移動可能に構成されている。
【0024】次の表(2)に、第1実施例にかかる顕微
鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。表(2)において、
fは対物レンズ全系の焦点距離(対物レンズのみの焦点
距離:mm)を、NAは対物レンズ全系の開口数を、β
は対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系
の倍率をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側
からの各レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径
(mm)を、dは各レンズ面の間隔(mm)を、ndは
d線(λ=587.6nm)に対する屈折率を、νdは
d線に対するアッベ数をそれぞれ示している。以降の表
(3)においても、上述の表記は同様である。
【0025】
【表2】 f=3.358(対物レンズのみ) NA=1.4(観察光) β=59.6 面番号 r d nd νd (物体面) 0.10000 1.5765600 26.29 (油浸液) 1 ∞ 0.17000 1.5221600 58.80 (カバーガラス) 2 ∞ 0.05000 1.5765600 26.29 (油浸液) 3 ∞ 0.60000 1.5399560 59.46 (レンズL11) 4 -1.45000 3.00000 2.0220400 29.06 (レンズL12) 5 -3.14213 0.10000 6 -11.67281 3.45000 1.6030010 65.42 (レンズL13) 7 -7.00057 0.10000 8 -32.55766 1.00000 1.6716290 38.80 (レンズL21) 9 52.00000 7.25000 1.5690700 71.31 (レンズL22) 10 -12.00230 0.10000 11 -90.38491 0.90000 1.6716290 38.80 (レンズL31) 12 18.79098 9.90000 1.4338520 95.25 (レンズL32) 13 -15.43148 (d13=可変) 14 104.04795 1.00000 1.6126580 44.41 (レンズL41) 15 16.01715 8.05000 1.4338520 95.25 (レンズL42) 16 -22.64298 0.10000 17 19.70000 1.30000 1.6126580 44.41 (レンズL51) 18 12.42161 5.45000 1.4338520 95.25 (レンズL52) 19 -74.97510 1.00000 1.5520000 49.71 (レンズL53) 20 36.50035 (d20=可変) 21 9.60821 5.00000 1.5690700 71.31 (レンズL61) 22 260.00000 4.65000 1.8010000 34.97 (レンズL62) 23 6.00148 3.55000 24 -5.85345 2.70000 1.7291600 54.68 (レンズL71) 25 25.00000 3.15000 1.8051800 25.46 (レンズL72) 26 -11.37369 150.00000 (収差変動の補正における可変間隔) t d13 d20 0.15 1.5 0.3 0.17 0.8 1.0 0.18 0.3 1.5 (条件式対応値) nd1=1.57656 nd2=1.52216 nd3=1.539956 (1)nd3=1.539956<nd1=1.57656 (2)nd2=1.52216<nd1=1.57656 (3)nd2=1.52216<nd3=1.539956
【0026】図2および図3は、第1実施例における諸
収差図である。図2において、NAは開口数を、Yは像
高(mm)を、実線はd線(λ=587.6nm)を、
破線はC線(λ=656.3nm)を、一点鎖線はF線
(λ=486.1nm)を、二点鎖線はg線(λ=43
5.8nm)をそれぞれ示している。また、図3におい
て、dはd線を、CはC線を、FはF線を、gはg線
を、AはA線(λ=768.2nm)をそれぞれ示して
いる。
【0027】さらに、歪曲収差図は、基準波長としての
d線に対する収差を示している。また、非点収差図にお
いて、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像
面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなよう
に、第1実施例では、高い屈折率の浸液と従来のカバー
ガラスとを用いているにもかかわらず、d線、C線、F
線、g線およびA線に対して色消しがなされ、諸収差が
良好に補正されていることがわかる。
【0028】なお、第1実施例では、カバーガラスの厚
さ変化や温度変化(40°C程度までの温度変化)など
に起因する諸収差の変動を良好に補正することができる
ことを検証している。また、観察光の開口数を1.4に
設定し且つ照明光の開口数を1.47に設定したエバネ
ッセント顕微鏡法を実施することができる。すなわち、
第1実施例では、観察光の開口数および照明光の開口数
を大きく設定するとともにその差を十分に大きく確保す
ることができるので、広い観察領域を高い分解能で観察
することができる。
【0029】〔第2実施例〕図4は、本発明の第2実施
例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示
す図である。図4に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第
1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向
けた平凸レンズL11と物体側に凹面を向けた負メニス
カスレンズL12との貼り合わせからなる接合レンズ
と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13と
から構成されている。
【0030】第2レンズ群G2は、物体側から順に、両
凹レンズL21と両凸レンズL22との貼り合わせから
なる接合レンズから構成されている。第3レンズ群G3
は、物体側から順に、両凹レンズL31と両凸レンズL
32との貼り合わせからなる接合レンズから構成されて
いる。第4レンズ群G4は、物体側から順に、物体側に
凸面を向けた負メニスカスレンズL41と両凸レンズL
42との貼り合わせからなる接合レンズから構成されて
いる。
【0031】第5レンズ群G5は、物体側から順に、物
体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL51と両凸レ
ンズL52と両凹レンズL53との貼り合わせからなる
接合レンズから構成されている。第6レンズ群G6は、
物体側から順に、両凸レンズL61と両凹レンズL62
との貼り合わせからなる接合レンズから構成されてい
る。
【0032】第7レンズ群G7は、物体側から順に、両
凹レンズL71と両凸レンズL72との貼り合わせから
なる接合レンズから構成されている。第2実施例では、
第5レンズ群G5と第6レンズ群G6とが、補正レンズ
群(補正環)として、カバーガラスの厚さ変化や温度変
化などに起因する収差変動の補正のために光軸に沿って
一体的に移動可能に構成されている。次の表(3)に、
第2実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げ
る。
【0033】
【表3】 f=3.550(対物レンズのみ) NA=1.4(観察光) β=55.9 面番号 r d nd νd (物体面) 0.10000 1.5787940 26.3 (油浸液) 1 ∞ 0.17000 1.5221600 58.8 (カバーガラス) 2 ∞ 0.05000 1.5787940 26.3 (油浸液) 3 ∞ 0.56936 1.5399560 59.5 (レンズL11) 4 -1.80513 3.24403 2.0220400 29.1 (レンズL12) 5 -3.16739 0.10000 6 -12.72785 3.83335 1.5690750 71.3 (レンズL13) 7 -6.83828 0.10000 8 -21.79323 2.12298 1.6989450 30.0 (レンズL21) 9 44.50696 6.16235 1.5690750 71.3 (レンズL22) 10 -13.40813 0.10000 11 -48.77589 0.90000 1.7440000 44.9 (レンズL31) 12 23.49688 9.51330 1.4370000 90.7 (レンズL32) 13 -13.19315 0.10000 14 42.11560 1.00000 1.6237410 47.0 (レンズL41) 15 12.63979 8.66821 1.4856300 85.2 (レンズL42) 16 -26.45425 (d16=可変) 17 19.74816 1.00000 1.5575290 67.3 (レンズL51) 18 13.98467 6.53660 1.4387500 95.0 (レンズL52) 19 -15.39030 1.00000 1.6229940 58.1 (レンズL53) 20 26.21543 0.10000 21 8.32635 5.68892 1.5285540 77.0 (レンズL61) 22 -110.21890 4.13208 1.9026500 35.7 (レンズL62) 23 5.94326 (d23=可変) 24 -5.87486 0.96522 1.8290000 36.5 (レンズL71) 25 309.16730 4.17250 1.8466040 23.8 (レンズL72) 26 -8.47938 140.00000 (収差変動の補正における可変間隔) t d16 d23 0.15 0.4 4.6 0.17 0.7 4.3 0.18 0.9 4.1 (条件式対応値) nd1=1.578794 nd2=1.52216 nd3=1.539956 (1)nd3=1.539956<nd1=1.578794 (2)nd2=1.52216<nd1=1.578794 (3)nd2=1.52216<nd3=1.539956
【0034】図5および図6は、第2実施例における諸
収差図である。図5において、NAは開口数を、Yは像
高(mm)を、実線はd線(λ=587.6nm)を、
破線はC線(λ=656.3nm)を、一点鎖線はF線
(λ=486.1nm)を、二点鎖線はg線(λ=43
5.8nm)をそれぞれ示している。また、図6におい
て、dはd線を、CはC線を、FはF線を、gはg線
を、AはA線(λ=768.2nm)をそれぞれ示して
いる。
【0035】さらに、歪曲収差図は、基準波長としての
d線に対する収差を示している。また、非点収差図にお
いて、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像
面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなよう
に、第2実施例においても第1実施例と同様に、高い屈
折率の浸液と従来のカバーガラスとを用いているにもか
かわらず、d線、C線、F線、g線およびA線に対して
色消しがなされ、諸収差が良好に補正されていることが
わかる。
【0036】なお、第2実施例においても第1実施例と
同様に、カバーガラスの厚さ変化や温度変化(40°C
程度までの温度変化)などに起因する諸収差の変動を良
好に補正することができることを検証している。また、
観察光の開口数を1.4に設定し且つ照明光の開口数を
1.46に設定したエバネッセント顕微鏡法を実施する
ことができる。すなわち、第2実施例においても第1実
施例と同様に、観察光の開口数および照明光の開口数を
大きく設定するとともにその差を十分に大きく確保する
ことができるので、広い観察領域を高い分解能で観察す
ることができる。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、高い
屈折率の浸液と従来のカバーガラスとを用いた場合に
も、カバーガラスの厚さ変化や温度変化に起因する諸収
差の変動を良好に補正することのできる液浸系顕微鏡対
物レンズを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例にかかる液浸系顕微鏡対物
レンズの構成を概略的に示す図である。
【図2】第1実施例における諸収差図である。
【図3】第1実施例における諸収差図である。
【図4】本発明の第2実施例にかかる液浸系顕微鏡対物
レンズの構成を概略的に示す図である。
【図5】第2実施例における諸収差図である。
【図6】第2実施例における諸収差図である。
【図7】各実施例における結像レンズの構成を示す図で
ある。
【符号の説明】
G1 第1レンズ群 G2 第2レンズ群 G3 第3レンズ群 G4 第4レンズ群 G5 第5レンズ群 G6 第6レンズ群 G7 第7レンズ群 Li 各レンズ成分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H052 AB03 AB08 AC30 2H087 KA09 LA01 NA01 PA08 PA16 PB15 QA03 QA07 QA12 QA21 QA26 QA34 QA42 QA46

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 最も物体側に配置されて物体側に平面を
    向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを含み、 前記平凸レンズのd線に対する屈折率が浸液のd線に対
    する屈折率よりも0.035以上小さく、前記メニスカ
    スレンズのd線に対する屈折率が2.0以上であり、且
    つ前記浸液のd線に対する屈折率が1.57以上である
    ことを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
  2. 【請求項2】 物体側から順に、第1レンズ群と、正の
    屈折力を有する第2レンズ群と、第3レンズ群と、正の
    屈折力を有する第4レンズ群と、第5レンズ群と、第6
    レンズ群と、第7レンズ群とを備え、 前記第1レンズ群は、前記接合レンズを有し、 前記第2レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第3レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、射出光
    がほぼ平行光であり、 前記第4レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第5レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズと負レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有
    し、 前記第6レンズ群は、物体側から順に、正レンズと負レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第7レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第4レンズ群と前記第5レンズ群とは、収差変動の
    補正のために光軸に沿って一体的に移動可能に構成され
    ていることを特徴とする請求項1に記載の液浸系顕微鏡
    対物レンズ。
  3. 【請求項3】 物体側から順に、第1レンズ群と、正の
    屈折力を有する第2レンズ群と、第3レンズ群と、正の
    屈折力を有する第4レンズ群と、第5レンズ群と、第6
    レンズ群と、第7レンズ群とを備え、 前記第1レンズ群は、前記接合レンズを有し、 前記第2レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第3レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、射出光
    が収れん光であり、 前記第4レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第5レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズと負レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有
    し、 前記第6レンズ群は、物体側から順に、正レンズと負レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第7レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レ
    ンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、 前記第5レンズ群と前記第6レンズ群とは、収差変動の
    補正のために光軸に沿って一体的に移動可能に構成され
    ていることを特徴とする請求項1に記載の液浸系顕微鏡
    対物レンズ。
  4. 【請求項4】 前記浸液のd線に対する屈折率をnd1
    し、カバーガラスのd線に対する屈折率をnd2とし、前
    記平凸レンズのd線に対する屈折率をnd3としたとき、 nd3<nd1d2<nd1d2<nd3 の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至3のい
    ずれか1項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  5. 【請求項5】 d線、C線、F線、g線およびA線に対
    して色消しがなされていることを特徴とする請求項1乃
    至4のいずれか1項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  6. 【請求項6】 観察対象からの観察光を導く観察用光路
    の外側に形成された照明用光路を介して照明光を前記観
    察対象へ導く油浸系顕微鏡対物レンズにおいて、 収差変動の補正のために光軸に沿って移動可能な補正レ
    ンズ群を備えていることを特徴とする油浸系顕微鏡対物
    レンズ。
  7. 【請求項7】 観察対象からの観察光を導く観察用光路
    の外側に形成された照明用光路を介して照明光を前記観
    察対象へ導く油浸系顕微鏡対物レンズにおいて、 前記観察光の開口数が1.4以上であり、前記照明光の
    開口数が1.46以上であることを特徴とする油浸系顕
    微鏡対物レンズ。
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