JPH10274742A - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents

液浸系顕微鏡対物レンズ

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JPH10274742A
JPH10274742A JP9284294A JP28429497A JPH10274742A JP H10274742 A JPH10274742 A JP H10274742A JP 9284294 A JP9284294 A JP 9284294A JP 28429497 A JP28429497 A JP 28429497A JP H10274742 A JPH10274742 A JP H10274742A
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JP
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lens
lens group
positive
group
microscope objective
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JP9284294A
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Naoki Fukutake
直樹 福武
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Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/33Immersion oils, or microscope systems or objectives for use with immersion fluids

Abstract

(57)【要約】 【課題】 開口数1.3、倍率40倍程度で、広視野ま
で平坦な像面を有し、収差の良好に補正された液浸系顕
微鏡対物レンズを提供すること。 【解決手段】 物体側から順に、平凸レンズと前記平凸
レンズに接合され像側に凸面を向けたメニスカスレンズ
からなる第1レンズ群G1と、像側に凸面を向けた2枚
の正メニスカスレンズからなる第2レンズ群G2と、第
3レンズ群G3乃至第8レンズ群G8からなり、前記第
1レンズ群G1の前記メニスカスレンズのd線(λ=5
87.6nm)に対する屈折率をn2としたとき、n2
は1.70より大きいことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡対物レン
ズ、特に極めて大きな開口数(NumericalAp
erture、N.A.)を有する蛍光観察用にも使用
可能な液浸系顕微鏡対物レンズに関する。
【0002】
【従来の技術】レンズの解像力は開口数に比例するた
め、解像力を向上させるために大きな開口数をもつ対物
レンズが設計、開発されている。一方、一般に顕微鏡対
物レンズを設計する場合において、同じ開口数を有する
レンズでは低倍率なレンズほど設計が困難となり問題で
ある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】かかる設計における困
難性の問題は、顕微鏡対物レンズのような、倍率に依存
しないほぼ一定の視野数を必要とする場合は特に著しい
ものとなる。したがって、大きな口径を有するアナスチ
グマート低倍対物レンズの設計の方がより困難であるこ
とが考えられる。例えば、開口数1.4の60倍対物レ
ンズよりも開口数1.3の40倍対物レンズの方が、像
面側のN.A.が大きくなり、設計もより困難となり問
題である。
【0004】本発明はかかる状況に鑑みてなされたもの
であり、本発明の目的は、開口数1.3、倍率40倍程
度で、広視野まで平坦な像面を有し、収差の良好に補正
された液浸系顕微鏡対物レンズ、特に蛍光観察用の顕微
鏡用対物レンズを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明による顕微鏡対物
レンズは、物体側から順に、平凸レンズと前記平凸レン
ズに接合され像側に凸面を向けたメニスカスレンズから
なる第1レンズ群G1と、像側に凸面を向けた2枚の正
メニスカスレンズからなる第2レンズ群G2と、負レン
ズと正レンズの2枚貼り合わせからなる第3レンズ群G
3と、負レンズと正レンズの2枚貼り合わせからなる第
4レンズ群G4と、負レンズ、正レンズ、負レンズの接
合レンズである第5レンズ群G5と、正レンズと負レン
ズの接合からなり物体側に凸面を向けたメニスカス形状
の第6レンズ群G6と、負レンズと正レンズの接合から
なり像側に凸面を向けたメニスカス形状の第7レンズ群
G7と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズの第8
レンズ群G8とを有し、前記第1レンズ群G1の前記メ
ニスカスレンズのd線(λ=587.6nm)に対する
屈折率をn2としたとき、n2は1.70より大きいこ
と(以下「条件(1)」という)を特徴としている。
【0006】本発明のような大開口数の液浸系対物レン
ズにおいては、最も物体側に半球状のレンズ群G1をも
ち、このレンズ群の最物体側レンズがカバーガラス及び
液浸とほぼ等しい屈折率を有しており、光軸上の物点に
対して最も像側の面で不遊条件を満たしていることが原
則であり、対物レンズが有する屈折力(パワー)の約半
分を1個のレンズ群が受け持つこととなる。かかる半球
レンズ群の作用は強大であり、大開口数の液浸系顕微鏡
対物レンズには不可欠のレンズ群であるが、以下の問題
を有している。
【0007】上記半球レンズ群はある特定の波長光につ
いて不遊条件を満足するのであって、他の波長光に対し
て当然不遊条件を満足していない。従って、色収差ばか
りでなく、色の球面収差を発生させる。これらの収差は
半球状レンズの大きさに比例するため、色収差・球面収
差を補正する観点からは半球状レンズはより小さい方が
良い。一方、半球レンズが小さいと、ペッツバール和
は、より正の方向に増加し像面の平坦性が悪化すること
となる。このように色収差・球面収差を補正するために
レンズに要求される条件とペッツバール和を補正するた
めにレンズに要求される条件とが相反するのは、この種
の対物レンズの設計に常に伴う問題である。特に、本発
明のように大きな開口数を有する液侵系対物レンズにお
いては深刻な問題である。
【0008】本発明では、かかる液侵系対物レンズにお
ける設計上の困難な問題を、第1レンズ群から第5レン
ズ群までを上記構成とし、条件(1)を満足することに
より、色収差・球面収差を補正しつつ、像面の平坦性を
得ることが可能となった。
【0009】以下に本発明の対物レンズの構成について
説明する。条件(1)はペッツバール和を適切な値にす
るための条件である。この条件(1)を外れるとペッツ
バール和は大きくなり、その結果像面湾曲が大きくなる
ので、良好なアナスチグマートを得ることが困難にな
る。
【0010】また、本発明では、前記第1レンズ群G1
の前記平凸レンズのd線に対する屈折率をn1としたと
き、n2からn1を引いた値が0.18より大きいこと
(以下「条件(2)」という)が好ましい。さらに、本
発明では、物体面から前記第1レンズ群G1の貼り合わ
せ面までの距離をD、前記第1レンズG1の貼り合わせ
面の曲率半径をR2としたとき、R2の絶対値が0.9
Dよりも大きく、かつ1.5Dよりも小さいこと(以下
「条件(3)」という)が好ましい。
【0011】条件(2)は第1レンズ群を構成する2つ
のレンズの屈折率差の適切な範囲を定めている。条件
(2)は条件(3)と関連して、ペッツバール和を補正
して平坦な像面を得るためのものである。そのためには
屈折率差が大きいほど効果的であり、この条件を外れる
とペッツバール和の補正効果は小さくなり、像面湾曲が
大きくなる。
【0012】また、条件(3)はレンズ群G1の接合面
の曲率半径の適切な範囲を定めてる。かかる条件(3)
の上限値である1.5Dを超えるとペッツバール和の補
正が不十分となり、像面湾曲が悪化する。逆に、下限値
である0.9Dを超えるとペッツバール和の補正、すな
わち像面湾曲の補正には有利であるが、接合面の曲率が
強くなるので光線束の発散作用が大きくなりすぎて、球
面収差・コマ収差の補正が困難となり好ましくない。さ
らに、第1レンズ群G1はペッツバール和を補正するた
めに、平凸レンズと像側に凸面を向けたメニスカスレン
ズとの接合からなり、条件(1)、(2)、(3)を満
足している。
【0013】また、本発明は、前記第3レンズ群の前記
正レンズのアッベ数をν3p、前記第4レンズ群の前記
正レンズのアッベ数をν4p、前記第5レンズ群の正レ
ンズのアッベ数をν5pとしたとき、ν3p、ν4p、
ν5pは各々80よりも大きいこと(以下「条件
(4)」という)が好ましい。
【0014】本発明の構成では、第1レンズ群G1に続
いて、2つの正メニスカスレンズからなる第2レンズG
2、貼り合わせの第3レンズ群G3、第4レンズ群G
4、第5レンズ群G5が配置される。これらのレンズ群
は主として球面収差と色収差を補正する役割を担ってい
る。また、2次スペクトルを少なくするために、レンズ
群G3、G4、G5の正レンズにパワーを分担させ、か
つ条件(4)を満たすように硝種を選んでいる。条件
(4)を満足しないと、2次スペクトルが大きくなり、
アクロマートも達成できなくなり好ましくない。
【0015】一般に蛍光観察では自発蛍光の少ない硝種
しか使えないため、色収差を良好に補正することは困難
である。しかしながら、上記の構成によりアクロマート
級に補正することが可能となった。
【0016】また、本発明では、前記第6レンズ群G6
の最も物体側の凸面の曲率半径をR18、前記第6レン
ズ群G6の最も像側の凹面の曲率半径をR20としたと
き、R18をR20で除した値が1.5よりも大きく、
かつ2.5よりも小さいこと(以下「条件(5))とい
う)が好ましい。
【0017】本発明では、レンズ群G3,G4,G5に
続いて第6レンズ群G6、第7レンズ群G7、第8レン
ズ群G8が配置される。これらは、いわゆるガウスタイ
プといわれる構成で、正メニスカスレンズG8は、レン
ズ群G7の像側の凸面をもつ屈折力を分担するもので、
本質的には第7レンズ群G7に属するものである。レン
ズ群G6とG7は、両レンズ群を隔てる空間間隔に対し
て、ほぼ対象形状に配置され、各レンズ群で発生する収
差のうち横収差に分類される収差をレンズ群G6とG7
との間で互いに打ち消し合う性質を有する。また同時
に、かかる構成によりペッツバール和を良好に補正する
ことが出来るため、像面湾曲を良好に補正することが可
能となる。ここで、レンズ群G6の屈折力とG7・G8
の合成屈折力は、あまり強くないことが望ましく、かつ
ペッツバール和を良好に補正するために、G6とG7の
中心厚はある程度大きいことが望ましい。しかしなが
ら、対物レンズの全長に制限があるため、中心厚にも上
限がある。
【0018】そこで、レンズ群G6の中心厚を適当な大
きさにするために条件(5)を満足することが望まし
い。条件(5)の下限を超えると、ペッツバール和を十
分に補正することが出来なくなり像面湾曲が大きくな
る。逆に、上限を超えるとペッツバール和は補正できる
が、必然的にレンズ群G6の中心厚が大きくなりすぎ、
対物レンズの全長の制限を越えてしまい好ましくない。
【0019】また、本発明では、前記対物レンズ全系の
焦点距離をf、前記第6レンズ群の焦点距離をf6とし
たとき、fをf6で除した値が−0.1よりも大きく、
かつ2.5よりも小さいこと(以下「条件(6)」とい
う)を満足することが望ましい。条件(6)は、レンズ
群G6の屈折力の適切な範囲を定めている。条件(6)
の上限及び下限を外れる場合には、正または負の強い屈
折力をもつこととなり、諸収差の補正が困難となり妥当
でない。
【0020】また、本発明は、前記第7レンズ群G7の
正レンズのアッベ数をν7p、前記第8レンズ群G8の
アッベ数をν8としたとき、ν7pが50よりも小さい
か、またはν8が50より小さいこと(以下「条件
(7)」という)を満足することが望ましい。条件
(7)は、第7レンズ群G7の正レンズのアッベ数また
は第8レンズ群G8のアッベ数のうち、少なくとも一方
が50より小さいことが望ましい旨を定めている。つま
り、ガウスタイプの後群で逆色消しの効果をもたせてい
る。第6レンズ群G6までに軸上色収差を補正過剰(オ
ーバー)にしておき、第7レンズ群G7・第8レンズ群
G8でそれを戻してバランスさせ、全系としての倍率色
収差を補正している。条件(7)の範囲を外れると、正
レンズがクラウン系のものにかたよるので、逆色消しの
効果をもたせるためにはG7の負レンズもクラウン側に
寄せざるを得なくなる。この結果、正レンズ・負レンズ
共にクラウン側に寄ることとなり、共にアッベ数も大き
くなって倍率色収差の補正量が小さくなり、補正不足の
まま残存してしまい好ましくない。
【0021】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例について説
明する。図1に本発明の実施例にかかる倍率40倍でN
A=1.3を有する蛍光観察用液浸系顕微鏡対物レンズ
を示す。以下の表1に実施例の諸元および条件対応値を
示す。βは倍率、Fは焦点距離、WDは作動距離を示し
ている。表中、左端の数字は物体側からの順序を表し、
屈折率及びアッベ数はd線(λ=587.6nm)に対
する値である。
【0022】
【表1】 β=40X F=4.89 WD=0.2 カバーガラス厚=0.1 NA=1.3 曲率半径 間隔 屈折率 アッベ数 r d n ν 1 ∞ 0.65 1.52 58.90 2 −1.0508 3.35 1.77 50.22 3 −3.5214 0.10 4 −9.9147 3.35 1.50 82.52 5 −6.1507 0.10 6 −47.0780 3.40 1.50 82.52 7 −12.0508 0.10 8 −30.7700 1.10 1.55 45.87 9 22.1996 7.30 1.43 95.25 10 −13.3198 0.10 11 68.8520 1.30 1.61 44.41 12 15.0998 7.05 1.43 95.25 13 −20.3123 0.05 14 17.3355 1.85 1.71 53.93 15 9.5626 6.45 1.43 95.25 16 −43.6930 1.10 1.50 56.41 17 25.2860 0.10 18 9.5077 4.85 1.50 82.52 19 1999.5000 7.10 1.53 51.35 20 5.2034 3.05 21 −5.4879 6.10 1.77 50.22 22 −128.0350 3.75 1.55 45.87 23 −12.0994 0.10 24 −20.7999 1.70 1.58 40.76 25 −12.0994 (条件対応値) (1) n2=1.77 (2) n2−n1=0.25 (3) R2=1.0508 (4) ν3p=95.25 ν4p=95.25 ν5p=95.25 (5) R18/R20=1.83 (6) f/f6=0.03 (7) ν7p=45.78 (8) ν8=40.76
【0023】上記実施例についての諸収差図を図2に示
す。収差図中には、C線(λ=656.3nm)、F線
(λ=486.13nm)及びg線(λ=435.84
nm)についても併記した。図2から明らかなように、
諸収差が良好に補正されており、極めて優れた結像性能
を達成していることがわかる。
【0024】上記実施例にかかる顕微鏡対物レンズは、
無限遠設計であり、例えば以下の表2に諸元値を掲げる
結像レンズと組み合わせて使用される。ここで表2にお
ける各符号は表1と同様である。顕微鏡対物レンズと結
像レンズの間隔は約90mmから約160mmの間であ
ればいくつでもよい。また該結像レンズのレンズ構成を
図3に示す。
【0025】
【表2】 曲率半径 間隔 屈折率 アッベ数 r d n ν 1 75.043 5.10 1.62 57.03 2 −75.043 2.00 1.75 35.19 3 1600.58 7.50 1.00 4 50.256 5.10 1.67 41.96 5 −84.541 1.80 1.61 44.41 6 36.911
【0026】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、開口数
1.3という極めて明るい仕様でありながら、倍率40
倍程度で、広視野まで平坦な像面を有し優れた結像性能
を有する液侵系顕微鏡対物レンズを得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レン
ズの構成を示す図である。
【図2】本発明の実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レン
ズの諸収差図である。
【図3】本発明の実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レン
ズと組み合わせて使用する結像レンズの構成を示す図で
ある。
【符号の説明】
G1 第1レンズ群 G2 第2レンズ群 G3 第3レンズ群 G4 第4レンズ群 G5 第5レンズ群 G6 第6レンズ群 G7 第7レンズ群 G8 第8レンズ群

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物体側から順に、平凸レンズと前記平凸
    レンズに接合され像側に凸面を向けたメニスカスレンズ
    からなる第1レンズ群G1と、像側に凸面を向けた2枚
    の正メニスカスレンズからなる第2レンズ群G2と、負
    レンズと正レンズの2枚貼り合わせからなる第3レンズ
    群G3と、負レンズと正レンズの2枚貼り合わせからな
    る第4レンズ群G4と、負レンズ、正レンズ、負レンズ
    の接合レンズである第5レンズ群G5と、正レンズと負
    レンズの接合からなり物体側に凸面を向けたメニスカス
    形状の第6レンズ群G6と、負レンズと正レンズの接合
    からなり像側に凸面を向けたメニスカス形状の第7レン
    ズ群G7と、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズの
    第8レンズ群G8とを有し、 前記第1レンズ群G1の前記メニスカスレンズのd線
    (λ=587.6nm)に対する屈折率をn2としたと
    き、n2は1.70より大きいことを特徴とする液浸系
    顕微鏡対物レンズ。
  2. 【請求項2】 前記第1レンズ群G1の前記平凸レンズ
    のd線に対する屈折率をn1としたとき、n2からn1
    を引いた値が0.18より大きいことを特徴とする請求
    項1に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  3. 【請求項3】 物体から前記第1レンズ群G1の貼り合
    わせ面までの光軸に沿った距離をD、前記第1レンズG
    1の貼り合わせ面の曲率半径をR2としたとき、R2の
    絶対値が0.9Dよりも大きく、かつ1.5Dよりも小
    さいことを特徴とする請求項1乃至2のいずれか1項に
    記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  4. 【請求項4】 前記第3レンズ群の前記正レンズのアッ
    ベ数をν3p、前記第4レンズ群の前記正レンズのアッ
    ベ数をν4p、前記第5レンズ群の正レンズのアッベ数
    をν5pとしたとき、ν3p、ν4p、ν5pは各々8
    0よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至3のいず
    れか1項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  5. 【請求項5】 前記第6レンズ群G6の最も物体側の凸
    面の曲率半径をR18、前記第6レンズ群G6の最も像
    側の凹面の曲率半径をR20としたとき、R18をR2
    0で除した値が1.5よりも大きく、かつ2.5よりも
    小さいことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項
    に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  6. 【請求項6】 前記対物レンズ全系の焦点距離をf、前
    記第6レンズ群の焦点距離をf6としたとき、fをf6
    で除した値が−0.1よりも大きく、かつ2.5よりも
    小さいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項
    に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
  7. 【請求項7】 前記第7レンズ群G7の前記正レンズの
    アッベ数をν7p、前記第8レンズ群G8のアッベ数を
    ν8としたとき、ν7pが50よりも小さいか、または
    ν8が50より小さいことを特徴とする請求項1乃至6
    のいずれか1項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
JP9284294A 1997-01-28 1997-10-02 液浸系顕微鏡対物レンズ Withdrawn JPH10274742A (ja)

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