JP4692698B2 - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液浸系顕微鏡対物レンズに関し、特に対物レンズと観察物体との間の光路を水やオイルなどの液体で満たした状態で観察を行う液浸系顕微鏡に好適な対物レンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
高倍率の液浸系顕微鏡対物レンズでは、像面湾曲の補正をするために、先端のレンズに相対的に屈折率の低い平凸レンズを埋め込み、その屈折率の差により接合面に負の屈折力を与えてペッツバール和を低減させている。さらに、光束径の小さい位置に互いに向き合った一対の凹面を配置し、その強い負の屈折力によりペッツバール和を減少させている。
【0003】
すなわち、埋め込みレンズを用いたペッツバール和の低減と、いわゆるガウスタイプを用いたペッツバール和の低減とを組み合わせた構成が、公知の技術となっている。このような液浸系顕微鏡対物レンズで高倍率のアポクロマート級対物レンズが、たとえば特開2000−35541号公報に開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、先端の埋め込み平凸レンズでペッツバール和を低減させるとき、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズでは、そのレンズ厚をなるべく大きくし、且つ屈折率のより高い光学材料を使用する方が有利である。しかしながら、その反面、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズの像側に向けた曲率の強い凸面で発生する色の球面収差が増大してしまう。
【0005】
これは、光学材料の屈折率が高くなると分散(波長による屈折率差)が相対的に大きくなる傾向があること、およびメニスカスレンズを厚くするとその空気側屈折面での光束の高さhが大きくなることに起因している。上述の公報に開示された従来の液浸系顕微鏡対物レンズにおいても、諸収差の補正が充分ではなく、特に色の球面収差(波長による球面収差の差)の高次成分が残存している。
【0006】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、高倍率および高開口数を有し、広視野に亘って諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明では、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群とを備え、
前記第1レンズ群は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとの貼り合わせからなる第1接合レンズと、像側により屈折力の大きな面を向けた正レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第2接合レンズとを有し、
前記第2レンズ群は、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、
前記第3レンズ群は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正レンズと像側に凹面を向けた負レンズとの貼り合わせからなる第6接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと像側に凸面を向けた正レンズとの貼り合わせからなる第7接合レンズとを有し、
前記第1レンズ群中の前記メニスカスレンズのd線に対する屈折率n12、及び前記第7接合レンズ中の前記正レンズのd線に対する屈折率n82が、
n12>2.0
n82>1.80
の条件を夫々満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズを提供する。
【0008】
本発明の好ましい態様によれば、前記第1レンズ群中の前記第2接合レンズを構成する前記負レンズの焦点距離をf31とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をFとしたとき、
5<|f31|/F<25
の条件を満足する。
【0009】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記第2レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第3接合レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第4接合レンズと、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第5接合レンズとを有する。
【0010】
さらに、本発明の好ましい態様によれば、前記第6接合レンズ中の前記正レンズのd線に対する屈折率n71が、
n71>1.49
の条件を満足する。
【0011】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記第1レンズ群中の前記平凸レンズのd線に対する屈折率n11が、
n11>1.55
の条件を満足する。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の典型的な形態にしたがう液浸系顕微鏡対物レンズでは、第1レンズ群G1が3つのレンズ成分で構成されている。第1レンズ成分は、いわゆる埋め込みレンズ成分であって、物体側に平面を向けた平凸レンズと、この平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズとの貼り合わせからなる第1接合レンズである。
【0013】
ここで、平凸レンズが使用する液体(浸液)とほぼ等しい屈折率を有する構成により、液体と平凸レンズとの境界面で球面収差がほとんど発生しないという利点がある。さらに、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズとの接合面に強い負の屈折力を付与することにより、ペッツバール和を減少させている。
【0014】
第1レンズ成分を介した光束は、正屈折力の単レンズである第2レンズ成分によって緩やかな屈折作用を受ける。その際に、第2レンズ成分を構成する正レンズが像側により屈折力の大きな面を向ける構成により、マージナル光線の偏角ができるだけ小さくなるようにしている。
【0015】
第3レンズ成分では、屈折率が互いに近く且つ分散の互いに異なる負レンズと正レンズとを貼り合わせて構成された第2接合レンズにより、第1レンズ成分および第2レンズ成分において像側の曲率の強い凸面で発生する軸上色収差および色の球面収差を補正している。
【0016】
一方、第2レンズ群G2では、第1レンズ群G1からの発散光を収斂光に変換するとともに、負レンズと正レンズとを貼り合わせて構成された接合レンズを配置することにより、球面収差および軸上色収差を補正している。この場合、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる2組の接合レンズすなわち第3接合レンズおよび第4接合レンズと、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第5接合レンズとで第2レンズ群G2を構成することが、上述の収差補正の観点から最も好ましい。
【0017】
第3レンズ群G3では、ペッツバール和を減少させつつ、軸上色収差と倍率色収差とをバランス良く補正している。この場合、いわゆるガウスタイプに構成する方が、ペッツバール和の良好な補正効果を、ひいては像面湾曲の良好な補正効果を期待することができる。
【0018】
以下、本発明の各条件式について詳述する。本発明においては、第1レンズ群G1中の第1接合レンズを構成するメニスカスレンズ、すなわち平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズのd線に対する屈折率n12が、次の条件式(1)を満足する。
n12>1.9 (1)
【0019】
条件式(1)は、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズの屈折率n12について適切な範囲を規定している。条件式(1)の下限値を下回ると、平凸レンズとメニスカスレンズとの接合面において十分な負の屈折力が得られなくなる。その結果、ペッツバール和を十分に減少させることができず、像面の平坦性が悪くなってしまう。視野数25まで像面湾曲を良好に補正しつつ、さらに良好な結像性能を確保するには、条件式(1)の下限値を2.0に設定することが望ましい。
【0020】
また、本発明においては、次の条件式(2)を満足することが好ましい。
5<|f31|/F<25 (2)
ここで、f31は、第1レンズ群G1中の第2接合レンズを構成する負レンズの焦点距離である。また、Fは、対物レンズ全系の焦点距離である。
【0021】
条件式(2)は、軸上色収差および色の球面収差を良好に補正するための条件を規定している。条件式(2)の範囲を逸脱すると、色収差だけでなく球面収差の補正も困難になるので好ましくない。なお、1.4以上の開口数NAを確保しつつさらに優れた結像性能を確保するには、条件式(2)の上限値を21とし、下限値を7と設定することが好ましい。
【0022】
また、本発明では、第3レンズ群G3が、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正レンズと像側に凹面を向けた負レンズとの貼り合わせからなる第6接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと像側に凸面を向けた正レンズとの貼り合わせからなる第7接合レンズとを有し、次の条件式(3)および(4)を満足することが好ましい。
【0023】
n71>1.49 (3)
n82>1.6 (4)
ここで、n71は、第6接合レンズ中の正レンズのd線に対する屈折率である。また、n82は、第7接合レンズ中の正レンズのd線に対する屈折率である。
【0024】
条件式(3)は、ガウスタイプに構成された第3レンズ群G3における、第6接合レンズ中の正レンズの屈折率n71について適切な範囲を規定している。条件式(3)の範囲を逸脱すると、ペッツバール和を十分に減少させるには、第6接合レンズ中の正レンズの空気側面(物体側面)の曲率半径が小さくなりすぎて、コマ収差が悪化するので好ましくない。なお、像面湾曲を良好に補正しつつ、さらに良好な結像性能を確保するには、条件式(3)の下限値を1.56に設定することが望ましい。
【0025】
条件式(4)は、ガウスタイプに構成された第3レンズ群G3における、第7接合レンズ中の正レンズの屈折率n82について適切な範囲を規定している。条件式(4)の範囲を逸脱すると、ペッツバール和を十分に減少させるには、第7接合レンズ中の正レンズの空気側面(像側面)の曲率半径が小さくなりすぎて、コマ収差が悪化するので好ましくない。なお、像面湾曲を良好に補正しつつ、さらに良好な結像性能を確保するには、条件式(4)の下限値を1.80に設定することが望ましい。
【0026】
また、本発明においては、対物レンズの開口数が1.4を超える場合、第1レンズ群G1中の平凸レンズのd線に対する屈折率n11が、次の条件式(5)を満足することが好ましい。
n11>1.55 (5)
【0027】
高い開口数を確保するために、屈折率の比較的高い液体、たとえば1.55以上の屈折率を有するオイルなどを使用する場合、条件式(5)を満足することにより、液体と平凸レンズとの境界面で発生する球面収差を良好に抑えることができる。
【0028】
【実施例】
本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明する。
各実施例において、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成されている。各実施例の顕微鏡対物レンズは、浸液として油(オイル)を用いた油浸系である。したがって、各実施例の顕微鏡対物レンズを用いて観察を行う場合、観察物体に接するようにカバーガラスが配置され、カバーガラスと対物レンズとの間の光路中に油浸液が満たされる。
【0029】
各実施例において、顕微鏡対物レンズは無限遠設計されているので、顕微鏡対物レンズの像側に所定の空気間隔を隔てて結像レンズ(第2対物レンズ)を配置し、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの組合せにより有限光学系を形成している。なお、以下の各実施例において示す諸収差図は、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの軸上空気間隔が150mmの場合の諸収差図である。ただし、軸上空気間隔が50mm〜180mmの範囲で変化しても、収差の変動がほとんどないことを本発明者は検証している。
【0030】
図7は、各実施例における結像レンズの構成を示す図である。図7に示すように、各実施例における結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズL21と、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズL22とから構成されている。次の表(1)に、各実施例における結像レンズの諸元の値を掲げる。表(1)において、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径(mm)を、dは各レンズ面の間隔(mm)を、nはd線(λ=587.6nm)に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【0031】
【表1】
【0032】
〔第1実施例〕
図1は、本発明の第1実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。図1に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第1接合レンズL1と、像側により屈折力の大きな凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第2接合レンズL3とから構成されている。
【0033】
第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第3接合レンズL4と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第4接合レンズL5と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第5接合レンズL6とから構成されている。
【0034】
第3レンズ群G3は、物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第6接合レンズL7と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第7接合レンズL8とから構成されている。
【0035】
第1実施例では、カバーガラスの厚さt=0.17mmであり、カバーガラスのd線に対する屈折率nd=1.52216であり、カバーガラスのd線に対するアッベ数νd=58.80である。また、油浸液のd線に対する屈折率nd=1.51536であり、油浸液のd線に対するアッベ数νd=41.36である。
【0036】
次の表(2)に、第1実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。表(2)において、Fは対物レンズ全系の焦点距離(対物レンズのみの焦点距離:mm)を、NAは対物レンズ全系の開口数を、βは対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系の倍率を、WDは作動距離(カバーガラスの対物レンズ側の面と対物レンズの最も物体側のレンズ面との軸上間隔:mm)をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径(mm)を、dは各レンズ面の間隔(mm)を、nはd線(λ=587.6nm)に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【0037】
【表2】
【0038】
図2は、第1実施例における諸収差図である。各収差図において、NAは開口数を、Yは像高を、dはd線(λ=587.6nm)を、CはC線(λ=656.3nm)を、FはF線(λ=486.1nm)を、gはg線(λ=435.8nm)をそれぞれ示している。また、球面収差図およびコマ収差図において、実線はd線を、破線はC線を、一点鎖線はF線を、二点鎖線はg線をそれぞれ示している。
【0039】
さらに、非点収差図および歪曲収差図は、基準波長としてのd線に対する収差を示している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第1実施例では、60倍の高倍率および1.4の高開口数を確保しつつ、視野数25まで色の球面収差を含む諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【0040】
〔第2実施例〕
図3は、本発明の第2実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。図3に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第1接合レンズL1と、像側により屈折力の大きな凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第2接合レンズL3とから構成されている。
【0041】
第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第3接合レンズL4と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第4接合レンズL5と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第5接合レンズL6とから構成されている。また、第3レンズ群G3は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズL7’から構成されている。
【0042】
第2実施例においても第1実施例と同様に、カバーガラスの厚さt=0.17mmであり、カバーガラスのd線に対する屈折率nd=1.52216であり、カバーガラスのd線に対するアッベ数νd=58.80である。また、油浸液のd線に対する屈折率nd=1.51536であり、油浸液のd線に対するアッベ数νd=41.36である。
【0043】
次の表(3)に、第2実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。
表(3)において、Fは対物レンズ全系の焦点距離(対物レンズのみの焦点距離:mm)を、NAは対物レンズ全系の開口数を、βは対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系の倍率を、WDは作動距離(カバーガラスの対物レンズ側の面と対物レンズの最も物体側のレンズ面との軸上間隔:mm)をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径(mm)を、dは各レンズ面の間隔(mm)を、nはd線(λ=587.6nm)に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【0044】
【表3】
【0045】
図4は、第2実施例における諸収差図である。各収差図において、NAは開口数を、Yは像高を、dはd線(λ=587.6nm)を、CはC線(λ=656.3nm)を、FはF線(λ=486.1nm)を、gはg線(λ=435.8nm)をそれぞれ示している。また、球面収差図およびコマ収差図において、実線はd線を、破線はC線を、一点鎖線はF線を、二点鎖線はg線をそれぞれ示している。
【0046】
さらに、非点収差図および歪曲収差図は、基準波長としてのd線に対する収差を示している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第2実施例では、100倍の高倍率および1.4の高開口数を確保しつつ、視野数25まで色の球面収差を含む諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【0047】
〔第3実施例〕
図5は、本発明の第3実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。図5に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第1レンズ群G1は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第1接合レンズL1と、像側により屈折力の大きな凸面を向けた正メニスカスレンズL2と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズと物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第2接合レンズL3とから構成されている。
【0048】
第2レンズ群G2は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第3接合レンズL4と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第4接合レンズL5と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第5接合レンズL6とから構成されている。
【0049】
第3レンズ群G3は、物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第6接合レンズL7と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第7接合レンズL8とから構成されている。
【0050】
第3実施例では、第1実施例および第2実施例とは異なり、カバーガラスの厚さt=0.17mmであり、カバーガラスのd線に対する屈折率nd=1.80411であり、カバーガラスのd線に対するアッベ数νd=46.55である。また、油浸液のd線に対する屈折率nd=1.80914であり、油浸液のd線に対するアッベ数νd=16.11である。
【0051】
次の表(4)に、第3実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。表(4)において、Fは対物レンズ全系の焦点距離(対物レンズのみの焦点距離:mm)を、NAは対物レンズ全系の開口数を、βは対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系の倍率を、WDは作動距離(カバーガラスの対物レンズ側の面と対物レンズの最も物体側のレンズ面との軸上間隔:mm)をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径(mm)を、dは各レンズ面の間隔(mm)を、nはd線(λ=587.6nm)に対する屈折率を、νdはd線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【0052】
【表4】
【0053】
図6は、第3実施例における諸収差図である。各収差図において、NAは開口数を、Yは像高を、dはd線(λ=587.6nm)を、CはC線(λ=656.3nm)を、FはF線(λ=486.1nm)を、gはg線(λ=435.8nm)をそれぞれ示している。また、球面収差図およびコマ収差図において、実線はd線を、破線はC線を、一点鎖線はF線を、二点鎖線はg線をそれぞれ示している。
【0054】
さらに、非点収差図および歪曲収差図は、基準波長としてのd線に対する収差を示している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第3実施例では、100倍の高倍率および1.65の高開口数を確保しつつ、視野数25まで色の球面収差を含む諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、60倍〜100倍の高倍率および1.4〜1.65の高開口数を有し、視野数25までの広視野に亘って諸収差(球面収差、色収差、コマ収差、像面湾曲など)が良好に補正され、優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物レンズを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。
【図2】第1実施例における諸収差図である。
【図3】本発明の第2実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。
【図4】第2実施例における諸収差図である。
【図5】本発明の第3実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。
【図6】第3実施例における諸収差図である。
【図7】各実施例における結像レンズの構成を示す図である。
【符号の説明】
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
Li 各レンズ成分
Claims (5)
- 物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群とを備え、
前記第1レンズ群は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとの貼り合わせからなる第1接合レンズと、像側により屈折力の大きな面を向けた正レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第2接合レンズとを有し、
前記第2レンズ群は、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、
前記第3レンズ群は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正レンズと像側に凹面を向けた負レンズとの貼り合わせからなる第6接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと像側に凸面を向けた正レンズとの貼り合わせからなる第7接合レンズとを有し、
前記第1レンズ群中の前記メニスカスレンズのd線に対する屈折率n12、及び前記第7接合レンズ中の前記正レンズのd線に対する屈折率n82が、
n12>2.0
n82>1.80
の条件を夫々満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。 - 前記第1レンズ群中の前記第2接合レンズを構成する前記負レンズの焦点距離をf31とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をFとしたとき、
5<|f31|/F<25
の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。 - 前記第2レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第3接合レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第4接合レンズと、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第5接合レンズとを有することを特徴とする請求項1または2に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記第6接合レンズ中の前記正レンズのd線に対する屈折率n71が、
n71>1.49
の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。 - 前記第1レンズ群中の前記平凸レンズのd線に対する屈折率n11が、
n11>1.55
の条件を満足することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
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