JP7400582B2 - 液浸顕微鏡対物レンズ、液浸顕微鏡および観察方法 - Google Patents
液浸顕微鏡対物レンズ、液浸顕微鏡および観察方法 Download PDFInfo
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- Lenses (AREA)
Description
0.85<nL1/np1<0.95 ・・・(1)
0.85<nL2/np2<0.95 ・・・(2)
但し、np1:第1の正レンズL11aの屈折率
np2:第2の正レンズL11bの屈折率
nL1:第1の接合レンズCL11aが最も物体側に配置される場合の浸液IMの屈折率
nL2:第2の接合レンズCL11bが最も物体側に配置される場合の浸液IMの屈折率
1.33≦nL1≦1.51 ・・・(3)
1.33≦nL2≦1.51 ・・・(4)
但し、nL1:第1の接合レンズCL11aが最も物体側に配置される場合の浸液IMの屈折率
nL2:第2の接合レンズCL11bが最も物体側に配置される場合の浸液IMの屈折率
0.80≦NA≦1.30 ・・・(5)
但し、NA:液浸顕微鏡対物レンズOLの開口数
0.85<nL3/np3<0.95 ・・・(6)
但し、np3:第3の正レンズL11cの屈折率
nL3:第3の接合レンズCL11cが最も物体側に配置される場合の浸液IMの屈折率
1.33≦nL3≦1.51 ・・・(7)
但し、nL3:第3の接合レンズCL11cが最も物体側に配置される場合の浸液IMの屈折率
第1実施例について、図1~図12および表1~表5を用いて説明する。第1実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズは、先端部と物体Obとの間に浸液IMが満たされた状態で用いられる。図1は、第1実施例に係る第1の液浸顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第1実施例に係る第1の液浸顕微鏡対物レンズOL(1a)は、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2とから構成される。第1レンズ群G1は、物体Obからの発散光束を集光して収斂光束にするレンズ群である。第2レンズ群G2は、第1レンズ群G1からの収斂光束を平行光束にするレンズ群である。
[全体諸元]
f=8.0
NA=1.0
D0=2.04
β=25倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 2.0 1.4585** 67.8**
2 -3.460 4.9 1.8830 40.8
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4 -22.816 3.5 1.4343 95.0
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8 -382.205 1.0 1.6134 44.3
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24 24.469 5.15 1.8044 39.6
25 -17.991
[全体諸元]
f=8.0
NA=1.0
D0=1.98
β=25倍
[レンズデータ]
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[全体諸元]
f=8.0
NA=1.0
D0=2.13
β=25倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 2.0 1.4875** 70.3**
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6 -91.696 3.5 1.4978 82.5
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12 21.493 9.1 1.4978 82.5
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14 31.731 5.1 1.4343 95.0
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18 -41.902 1.0 1.8160 46.6
19 47.631 0.2
20 13.040 7.5 1.4343 95.0
21 -140.218 5.4 1.5638 60.7
22 9.070 6.35
23 -11.368 1.05 1.6228 57.0
24 24.469 5.15 1.8044 39.6
25 -17.991
[全体諸元]
f=8.0
NA=1.0
D0=2.00
β=25倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 2.0 1.5638** 60.7**
2 -3.460 4.9 1.8830 40.8
3 -7.000 0.1
4 -22.816 3.5 1.4343 95.0
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19 47.631 0.2
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24 24.469 5.15 1.8044 39.6
25 -17.991
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 75.043 5.1 1.62801 57.03
2 -75.043 2.0 1.74950 35.19
3 1600.580 7.5
4 50.260 5.1 1.66755 41.96
5 -84.541 1.8 1.61266 44.41
6 36.911
第2実施例について、図13~図24および表6~表10を用いて説明する。第2実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズは、先端部と(物体Obを保持する)カバーガラスCvとの間に浸液IMが満たされた状態で用いられる。なお、カバーガラスCvのd線(波長λ=587.6nm)に対する屈折率は1.517とし、カバーガラスCvの厚さは0.17mmとする。図13は、第2実施例に係る第1の液浸顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第2実施例に係る第1の液浸顕微鏡対物レンズOL(2a)は、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2とから構成される。第1レンズ群G1は、物体Obからの発散光束を集光して収斂光束にするレンズ群である。第2レンズ群G2は、第1レンズ群G1からの収斂光束を平行光束にするレンズ群である。
[全体諸元]
f=10.0
NA=0.95
D0=1.06
β=20倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 1.0 1.4585** 67.8**
2 -1.901 6.8 1.8830 40.8
3 -7.750 0.2
4 -71.995 3.0 1.6030 65.4
5 -17.100 0.2
6 87.799 1.2 1.7432 49.3
7 26.174 4.9 1.4339 95.2
8 -23.927 0.2
9 48.219 4.4 1.4978 82.5
10 -37.807 0.3
11 49.228 3.2 1.4978 82.5
12 -43.153 1.2 1.6935 53.2
13 21.400 6.2 1.4343 95.0
14 -24.558 0.2
15 40.229 1.2 1.8348 42.7
16 12.549 6.5 1.4343 95.0
17 -39.060 1.8**
18 10.751 4.9 1.4978 82.5
19 45.256 1.2 1.8160 46.6
20 9.791 6.9
21 -10.409 2.3 1.7292 54.6
22 92.148 5.0 1.8044 39.6
23 -14.53
[全体諸元]
f=10.0
NA=0.95
D0=1.005
β=20倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 1.0 1.4875** 70.3**
2 -1.901 6.8 1.8830 40.8
3 -7.750 0.2
4 -71.995 3.0 1.6030 65.4
5 -17.100 0.2
6 87.799 1.2 1.7432 49.3
7 26.174 4.9 1.4339 95.2
8 -23.927 0.2
9 48.219 4.4 1.4978 82.5
10 -37.807 0.3
11 49.228 3.2 1.4978 82.5
12 -43.153 1.2 1.6935 53.2
13 21.400 6.2 1.4343 95.0
14 -24.558 0.2
15 40.229 1.2 1.8348 42.7
16 12.549 6.5 1.4343 95.0
17 -39.060 2.25**
18 10.751 4.9 1.4978 82.5
19 45.256 1.2 1.8160 46.6
20 9.791 6.9
21 -10.409 2.3 1.7292 54.6
22 92.148 5.0 1.8044 39.6
23 -14.53
[全体諸元]
f=10.0
NA=0.95
D0=1.035
β=20倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 1.0 1.4875** 70.3**
2 -1.901 6.8 1.8830 40.8
3 -7.750 0.2
4 -71.995 3.0 1.6030 65.4
5 -17.100 0.2
6 87.799 1.2 1.7432 49.3
7 26.174 4.9 1.4339 95.2
8 -23.927 0.2
9 48.219 4.4 1.4978 82.5
10 -37.807 0.3
11 49.228 3.2 1.4978 82.5
12 -43.153 1.2 1.6935 53.2
13 21.400 6.2 1.4343 95.0
14 -24.558 0.2
15 40.229 1.2 1.8348 42.7
16 12.549 6.5 1.4343 95.0
17 -39.060 1.15**
18 10.751 4.9 1.4978 82.5
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20 9.791 6.9
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22 92.148 5.0 1.8044 39.6
23 -14.53
[全体諸元]
f=10.0
NA=0.95
D0=1.055
β=20倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 ∞ 1.0 1.5168** 64.1**
2 -1.901 6.8 1.8830 40.8
3 -7.750 0.2
4 -71.995 3.0 1.6030 65.4
5 -17.100 0.2
6 87.799 1.2 1.7432 49.3
7 26.174 4.9 1.4339 95.2
8 -23.927 0.2
9 48.219 4.4 1.4978 82.5
10 -37.807 0.3
11 49.228 3.2 1.4978 82.5
12 -43.153 1.2 1.6935 53.2
13 21.400 6.2 1.4343 95.0
14 -24.558 0.2
15 40.229 1.2 1.8348 42.7
16 12.549 6.5 1.4343 95.0
17 -39.060 0.1**
18 10.751 4.9 1.4978 82.5
19 45.256 1.2 1.8160 46.6
20 9.791 6.9
21 -10.409 2.3 1.7292 54.6
22 92.148 5.0 1.8044 39.6
23 -14.53
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 128.670 5.0 1.49782 82.56
2 -65.000 3.0 1.62280 57.03
3 -154.409 0.5
4 84.000 3.0 1.61340 44.27
5 48.000 3.0 1.62280 57.03
6 70.000
第3実施例について、図25~図34および表11~表14を用いて説明する。第3実施例に係る液浸顕微鏡対物レンズは、先端部と物体Obとの間に浸液IMが満たされた状態で用いられる。図25は、第3実施例に係る第1の液浸顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第3実施例に係る第1の液浸顕微鏡対物レンズOL(3a)は、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2とから構成される。第1レンズ群G1は、物体Obからの発散光束を集光して収斂光束にするレンズ群である。第2レンズ群G2は、第1レンズ群G1からの収斂光束を平行光束にするレンズ群である。
[全体諸元]
f=4.5
NA=0.80
D0=3.30
β=40倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 80.0000 1.6912 1.51633** 64.15**
2 -8.8752 2.5950 1.78650 50.00
3 -6.0510 0.2000
4 -15.4999 2.3337 1.49700 81.61
5 -9.1373 0.2000
6 10.5626 3.7112 1.43875 94.97
7 -71.3466 1.0000 1.78650 50.00
8 15.0752 3.9298 1.49700 81.61
9 -22.3245 0.2000**
10 20.1621 1.3847 1.59551 39.29
11 8.9947 5.6341 1.43875 94.97
12 -6.6141 0.9018 1.78650 50.00
13 -19.8617 0.3000
14 6.6746 5.4724 1.49700 81.61
15 -10.8419 2.9912 1.52944 51.72
16 6.5021 4.7029
17 -3.2522 4.9352 1.50378 66.81
18 30.1585 3.6414 1.58144 40.75
19 -9.3897
[全体諸元]
f=4.5
NA=0.80
D0=3.4273
β=40倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 80.0000 1.6912 1.53996** 59.46**
2 -8.8752 2.5950 1.78650 50.00
3 -6.0510 0.2000
4 -15.4999 2.3337 1.49700 81.61
5 -9.1373 0.2000
6 10.5626 3.7112 1.43875 94.97
7 -71.3466 1.0000 1.78650 50.00
8 15.0752 3.9298 1.49700 81.61
9 -22.3245 0.1800**
10 20.1621 1.3847 1.59551 39.29
11 8.9947 5.6341 1.43875 94.97
12 -6.6141 0.9018 1.78650 50.00
13 -19.8617 0.3000
14 6.6746 5.4724 1.49700 81.61
15 -10.8419 2.9912 1.52944 51.72
16 6.5021 4.7029
17 -3.2522 4.9352 1.50378 66.81
18 30.1585 3.6414 1.58144 40.75
19 -9.3897
[全体諸元]
f=4.5
NA=0.80
D0=3.46515
β=40倍
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 80.0000 1.6912 1.56384** 60.67**
2 -8.8752 2.5950 1.78650 50.00
3 -6.0510 0.2000
4 -15.4999 2.3337 1.49700 81.61
5 -9.1373 0.2000
6 10.5626 3.7112 1.43875 94.97
7 -71.3466 1.0000 1.78650 50.00
8 15.0752 3.9298 1.49700 81.61
9 -22.3245 0.3000**
10 20.1621 1.3847 1.59551 39.29
11 8.9947 5.6341 1.43875 94.97
12 -6.6141 0.9018 1.78650 50.00
13 -19.8617 0.3000
14 6.6746 5.4724 1.49700 81.61
15 -10.8419 2.9912 1.52944 51.72
16 6.5021 4.7029
17 -3.2522 4.9352 1.50378 66.81
18 30.1585 3.6414 1.58144 40.75
19 -9.3897
[レンズデータ]
面番号 R D nd νd
1 68.7541 7.7321 1.48749 70.20
2 -37.5679 3.4742 1.80610 40.95
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83400 37.16
5 -50.7100 3.0298 1.64450 40.82
6 40.6619
条件式(1) 0.85<nL1/np1<0.95
条件式(2) 0.85<nL2/np2<0.95
条件式(3) 1.33≦nL1≦1.51
条件式(4) 1.33≦nL2≦1.51
条件式(5) 0.80≦NA≦1.30
条件式(6) 0.85<nL3/np3<0.95
条件式(7) 1.33≦nL3≦1.51
条件式 第1実施例 第2実施例 第3実施例
(1) 0.91 0.91 0.88
(2) 0.91 0.91 0.88
(2)-2 0.93 0.93 ―
(3) 1.33 1.33 1.33
(4) 1.35 1.35 1.35
(4)-2 1.38 1.38 ―
(5) 1.0 0.95 0.8
(6) 0.92 0.95 0.88
(7) 1.44 1.44 1.38
CL11a 第1の接合レンズ CL11b 第2の接合レンズ
CL11c 第3の接合レンズ
Claims (11)
- 物体側から順に並んだ、正の屈折力を有して物体からの光束を収斂光束にする第1レンズ群と、負の屈折力を有して前記第1レンズ群からの収斂光束を平行光束にする第2レンズ群とを有し、
前記第1レンズ群は、正の屈折力を有して最も物体側に配置される第1の接合レンズと、正の屈折力を有して前記第1の接合レンズに代えて最も物体側に配置される第2の接合レンズとを有し、
前記第1の接合レンズおよび前記第2の接合レンズのうち一つが選択的に最も物体側に配置され、
前記第1の接合レンズは、像側に凸面が形成された第1の正レンズと、物体側に凹面を向けて前記第1の正レンズの像側に接合された第1のメニスカスレンズとからなり、
前記第2の接合レンズは、像側に凸面が形成された第2の正レンズと、物体側に凹面を向けて前記第2の正レンズの像側に接合された第2のメニスカスレンズとからなり、
前記第2の正レンズの屈折率が、前記第1の正レンズの屈折率と異なる液浸顕微鏡対物レンズ。 - 以下の条件式を満足する請求項1に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.85<nL1/np1<0.95
0.85<nL2/np2<0.95
但し、np1:前記第1の正レンズの屈折率
np2:前記第2の正レンズの屈折率
nL1:前記第1の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率
nL2:前記第2の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率 - 以下の条件式を満足する請求項1または2に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
1.33≦nL1≦1.51
1.33≦nL2≦1.51
但し、nL1:前記第1の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率
nL2:前記第2の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率 - 以下の条件式を満足する請求項1~3のいずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.80≦NA≦1.30
但し、NA:前記液浸顕微鏡対物レンズの開口数 - 浸液の屈折率に応じて、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間隔が変化する請求項1~4のいずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
- 前記第1レンズ群は、正の屈折力を有して前記第1の接合レンズおよび前記第2の接合レンズに代えて最も物体側に配置される第3の接合レンズを有し、
前記第1の接合レンズ、前記第2の接合レンズ、および前記第3の接合レンズのうち一つが選択的に最も物体側に配置され、
前記第3の接合レンズは、像側に凸面が形成された第3の正レンズと、物体側に凹面を向けて前記第3の正レンズの像側に接合された第3のメニスカスレンズとからなり、
前記第3の正レンズの屈折率が、前記第1の正レンズの屈折率および前記第2の正レンズの屈折率と異なる請求項1~5のいずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。 - 以下の条件式を満足する請求項6に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
0.85<nL1/np1<0.95
0.85<nL2/np2<0.95
0.85<nL3/np3<0.95
但し、np1:前記第1の正レンズの屈折率
np2:前記第2の正レンズの屈折率
np3:前記第3の正レンズの屈折率
nL1:前記第1の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率
nL2:前記第2の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率
nL3:前記第3の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率 - 以下の条件式を満足する請求項6または7に記載の液浸顕微鏡対物レンズ。
1.33≦nL1≦1.51
1.33≦nL2≦1.51
1.33≦nL3≦1.51
但し、nL1:前記第1の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率
nL2:前記第2の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率
nL3:前記第3の接合レンズが最も物体側に配置される場合の浸液の屈折率 - 請求項1~8のいずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズを備える液浸顕微鏡。
- 液浸顕微鏡を用いた観察方法であって、
前記液浸顕微鏡は、請求項1~5のいずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズを備え、
浸液の屈折率に応じて、前記第1の接合レンズおよび前記第2の接合レンズのうち一つを選択して前記液浸顕微鏡対物レンズの最も物体側に配置する観察方法。 - 前記液浸顕微鏡は、請求項6~8のいずれか一項に記載の液浸顕微鏡対物レンズを備え、
浸液の屈折率に応じて、前記第1の接合レンズ、前記第2の接合レンズ、および前記第3の接合レンズのうち一つを選択して前記液浸顕微鏡対物レンズの最も物体側に配置する請求項10に記載の観察方法。
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