WO2024090587A1 - 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置 - Google Patents

顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置 Download PDF

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WO2024090587A1
WO2024090587A1 PCT/JP2023/045401 JP2023045401W WO2024090587A1 WO 2024090587 A1 WO2024090587 A1 WO 2024090587A1 JP 2023045401 W JP2023045401 W JP 2023045401W WO 2024090587 A1 WO2024090587 A1 WO 2024090587A1
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image
microscope objective
positive
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英嗣 ▲高▼木
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株式会社ニコン
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/02—Objectives
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements

Definitions

  • the present invention relates to a microscope objective lens, a microscope optical system, and a microscope device.
  • the microscope objective lens of the first invention comprises a first lens group and a second lens group having negative refractive power, arranged in order from the object side along the optical axis, the second lens group having a cemented meniscus lens with its concave surface facing the image side and a meniscus lens component with its concave surface facing the object side, arranged in order from the object side along the optical axis, and the first lens group has a predetermined positive lens that satisfies the following conditional expression: 0 ⁇ gFA+0.0015 ⁇ dA ⁇ 0.6395 1.60 ⁇ ndA ⁇ 1.85 39.50 ⁇ dA ⁇ 75.00
  • ndA is the refractive index of the predetermined positive lens with respect to the d line
  • ⁇ dA is the Abbe number of the predetermined positive lens
  • ⁇ gFA is the partial dispersion ratio of the predetermined positive lens, which is defined by the following formula, where ngA is the refractive index of the predetermined positive lens with respect to the g line, nFA is the refractive
  • the second microscope objective lens according to the present invention comprises a first lens group and a second lens group having negative refractive power, arranged in order from the object side along the optical axis, the second lens group having a cemented meniscus lens with its concave surface facing the image side and a meniscus lens component with its concave surface facing the object side, arranged in order from the object side along the optical axis, and the first lens group has a predetermined positive lens that satisfies the following conditional expression: 0 ⁇ gFA+0.0016 ⁇ dA ⁇ 0.6460 1.60 ⁇ ndA ⁇ 1.85 39.50 ⁇ dA ⁇ 75.00
  • ndA is the refractive index of the predetermined positive lens with respect to the d line
  • ⁇ dA is the Abbe number of the predetermined positive lens
  • ⁇ gFA is the partial dispersion ratio of the predetermined positive lens, which is defined by the following formula, where ngA is the refractive index of the predetermined positive lens with respect to the g line, nFA is the refr
  • the microscope optical system according to the present invention comprises the above-mentioned microscope objective lens and an imaging lens that forms an image using light from the microscope objective lens.
  • the microscope device according to the present invention is equipped with the microscope objective lens described above.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a microscope objective lens according to a first example.
  • 3A to 3C are diagrams showing various aberrations of the microscope objective lens according to the first example.
  • 4A to 4C are diagrams showing chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the first example.
  • 4A to 4C are diagrams illustrating coma aberration of the microscope objective lens according to the first example.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a second embodiment.
  • 10A to 10C are diagrams showing various aberrations of the microscope objective lens according to the second example.
  • FIG. 11 is a diagram showing chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the second example.
  • FIG. 6A to 6C are diagrams illustrating coma aberration of the microscope objective lens according to the second example.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a third example.
  • 13A to 13C are diagrams showing various aberrations of the microscope objective lens according to the third example.
  • FIG. 13 is a diagram showing chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the third example.
  • 13A to 13C are diagrams illustrating coma aberration of the microscope objective lens according to the third example.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a fourth example.
  • 13A to 13C are diagrams showing various aberrations of the microscope objective lens according to the fourth example.
  • FIG. 13 is a diagram showing chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the fourth example.
  • 13A to 13C are diagrams illustrating coma aberration of the microscope objective lens according to the fourth example.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a fifth example.
  • 13A to 13C are diagrams showing various aberrations of the microscope objective lens according to the fifth example.
  • 13A to 13C are diagrams illustrating chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the fifth example.
  • 13A to 13C are diagrams illustrating coma aberration of the microscope objective lens according to the fifth example.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a sixth example.
  • FIGS. 13A to 13C are diagrams showing various aberrations of the microscope objective lens according to the sixth example.
  • FIG. 13 is a diagram showing chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the sixth example.
  • 13A to 13C are diagrams illustrating coma aberration of the microscope objective lens according to the sixth example.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration of an imaging lens.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a confocal fluorescence microscope, which is an example of a microscope device.
  • a microscope optical system and a confocal fluorescence microscope (microscope device) equipped with a microscope objective lens will be described with reference to FIG. 26.
  • a confocal fluorescence microscope 1 is configured to include an excitation light introduction section 2 that guides illumination laser light from a light source unit 6 onto a sample SA, a scanning device 3 that deflects the laser light focused on the sample SA to scan it over the sample SA, a photodetector 5 that detects a light intensity signal from the sample SA, and a focusing optical system 4 that guides light from the sample SA to the photodetector 5.
  • the light source unit 6 may be provided in the confocal fluorescence microscope 1, or may be provided separately from the confocal fluorescence microscope 1.
  • the light source unit 6 is configured to include a laser light source (not shown) and a beam diameter adjustment mechanism (not shown). The light source unit 6 oscillates laser light for illumination.
  • the excitation light introduction section 2 is configured with a collimator lens 21, a dichroic mirror 22, and a microscope optical system 25 having an imaging lens 23 and an objective lens 24.
  • the collimator lens 21 and the dichroic mirror 22 are arranged inside the microscope housing section 12 provided on the upper part of the lens barrel section 11 in the microscope main body 10.
  • the light source unit 6 and the microscope housing section 12 are connected by an optical fiber 69 using connectors C3 and C4.
  • the collimator lens 21 converts the laser light (light beam) emitted from the light source unit 6 into parallel light.
  • the dichroic mirror 22 reflects the laser light from the collimator lens 21 toward the sample SA.
  • the microscope optical system 25 focuses the laser light reflected by the dichroic mirror 22 onto the sample SA by the imaging lens 23 and the objective lens 24.
  • the imaging lens 23 is arranged inside the lens barrel section 11 in the microscope main body 10.
  • the imaging lens 23 is also called the second objective lens.
  • the objective lens 24 is attached to the bottom of the lens barrel 11.
  • the scanning device 3 is configured with a scanning mechanism (scanner) 31 and a scanning optical system 32.
  • the scanning device 3 is disposed between the dichroic mirror 22 and the imaging lens 23 inside the microscope housing 12.
  • the scanning mechanism (scanner) 31 is configured with, for example, a galvanometer mirror (not shown) or a resonant mirror (not shown).
  • the scanning mechanism (scanner) 31 deflects the incident laser light. In other words, the scanning mechanism (scanner) 31 deflects the laser light focused on the sample SA to scan the sample SA.
  • the scanning optical system 32 is an optical system provided between the scanning mechanism (scanner) 31 and the imaging lens 23.
  • the scanning optical system 32 is an optical system in which the focal position of the scanning optical system 32 is located on the imaging plane 13 (also called the primary image plane) that is conjugate with the sample SA (the scanning plane of the sample SA).
  • the focusing optical system 4 is composed of the objective lens 24 and the imaging lens 23 that constitute the microscope optical system 25, a total reflection mirror 41, and a focusing lens 42.
  • the objective lens 24 receives the fluorescence generated by the sample SA and converts it into parallel light.
  • the imaging lens 23 focuses the fluorescence (parallel light) emitted from the objective lens 24 on the imaging surface 13 (primary image surface) to form an image.
  • the fluorescence from the sample SA that has passed through the objective lens 24 and the imaging lens 23 is once focused on the imaging surface 13, passes through the scanning device 3 and the dichroic mirror 22, and reaches the total reflection mirror 41.
  • the total reflection mirror 41 and the focusing lens 42 are disposed above the dichroic mirror 22 inside the microscope housing 12.
  • the total reflection mirror 41 reflects the fluorescence from the sample SA that has passed through the objective lens 24 and the imaging lens 23.
  • the focusing lens 42 focuses the fluorescence reflected by the total reflection mirror 41 onto a light shielding plate 52 that has a pinhole 51 (aperture).
  • the light detection device 5 is configured with a light shielding plate 52 having a pinhole 51, an optical fiber 53, and a detection unit 55.
  • the optical fiber 53 is connected to the microscope housing 12 and the detection unit 55 using connectors C1 and C2.
  • Light (fluorescence) that has passed through the pinhole 51 is incident on the optical fiber 53.
  • the detection unit 55 detects the light (fluorescence) that has passed through the pinhole 51 and the optical fiber 53.
  • a processing unit 57 is electrically connected to the detection unit 55 via a cable 56.
  • the processing unit 57 performs image processing (of the sample SA) based on the detection signal detected by the detection unit 55, and the observation image of the sample SA obtained by the image processing of the processing unit 57 is displayed on a monitor (not shown).
  • the laser light from the scanning device 3 is first focused on the imaging plane 13 (primary image plane) and then focused again on the sample SA by the imaging lens 23 and objective lens 24 of the microscope optical system 25. That is, the scanning plane of the sample SA, the imaging plane 13, and the pinhole 51 are in a conjugate relationship with each other. Therefore, by configuring the light to be focused on the sample SA by the imaging lens 23 and the objective lens 24, it becomes possible for the fluorescence generated on the scanning plane of the sample SA, out of the light (fluorescence) from the sample SA, to pass through the pinhole 51.
  • the confocal fluorescence microscope 1 has been described as an example of a microscope device according to this embodiment, the present invention is not limited to this.
  • the microscope device according to this embodiment may be a multiphoton excitation microscope, a super-resolution microscope, or the like.
  • the confocal fluorescence microscope 1 may be an upright microscope or an inverted microscope.
  • the microscope objective lens OL described below can be used as the objective lens 24 of the microscope optical system 25 provided in such a confocal fluorescence microscope 1 (microscope device). Also, the imaging lens IL described below can be used as the imaging lens 23 of the microscope optical system 25 provided in such a confocal fluorescence microscope 1. First, the microscope objective lens OL according to the first embodiment will be described.
  • the microscope objective lens OL(1) shown in FIG. 1 is composed of a first lens group G1 and a second lens group G2 having negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the second lens group G2 has a cemented meniscus lens CL21 with a concave surface facing the image side, and a meniscus lens component (CL22) with a concave surface facing the object side, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the lens component refers to a single lens or a cemented lens.
  • the meniscus lens component may be a cemented meniscus lens in which multiple lenses are cemented together.
  • the meniscus lens component is not limited to being a cemented meniscus lens, and may be a meniscus lens made of a single lens.
  • the first lens group G1 has a predetermined positive lens that satisfies the following conditional expressions (1) to (3). 0 ⁇ gFA+0.0015 ⁇ dA ⁇ 0.6395 ... (1) 1.60 ⁇ ndA ⁇ 1.85 ... (2) 39.50 ⁇ dA ⁇ 75.00 ...
  • nFA the refractive index of a specific positive lens with respect to the d line
  • nFA the refractive index of a specific positive lens with respect to the F line
  • the microscope objective lens OL according to the first embodiment may be the microscope objective lens OL(2) shown in FIG. 5, the microscope objective lens OL(3) shown in FIG. 9, the microscope objective lens OL(4) shown in FIG. 13, the microscope objective lens OL(5) shown in FIG. 17, or the microscope objective lens OL(6) shown in FIG. 21.
  • Conditional formula (1) specifies the appropriate relationship between the Abbe number and partial dispersion ratio of a predetermined positive lens in the first lens group G1. By satisfying conditional formula (1), axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration can be corrected well. Note that a predetermined positive lens that satisfies conditional formulas (1) to (3) is formed using, for example, the optical glass disclosed in WO 2021/024366.
  • conditional formula (1) If the corresponding value of conditional formula (1) falls below the lower limit, it becomes difficult to correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration and the secondary spectrum of magnification chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional formula (1) By setting the lower limit of conditional formula (1) to 0.001, 0.002, or even 0.003, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • the upper limit of conditional formula (1) may be set to 0.1, or even less than 0.05.
  • Conditional expression (2) specifies an appropriate range for the refractive index of a specific positive lens in the first lens group G1. By satisfying conditional expression (2), off-axis coma aberration can be effectively corrected while correcting field curvature.
  • conditional expression (2) When the corresponding value of conditional expression (2) exceeds the upper limit, the refractive index of a given positive lens becomes high, making it difficult to reduce the Petzval sum and correct the field curvature.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 1.80, 1.75, or even 1.70, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • conditional expression (2) If the corresponding value of conditional expression (2) falls below the lower limit, the refractive index of the specified positive lens will be low, making it difficult to correct off-axis coma aberration.
  • the lower limit of conditional expression (2) By setting the lower limit of conditional expression (2) to 1.61, or even 1.62, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • Conditional formula (3) defines an appropriate range for the Abbe number of a given positive lens in the first lens group G1. By satisfying conditional formula (3), the first-order spectrum of axial chromatic aberration and the first-order spectrum of lateral chromatic aberration can be effectively corrected.
  • conditional expression (3) If the corresponding value of conditional expression (3) exceeds the upper limit, it becomes difficult to correct off-axis coma aberration because it is necessary to use optical glass with a low refractive index for the specified positive lens.
  • the upper limit of conditional expression (3) By setting the upper limit of conditional expression (3) to 70.00, 68.00, 65.00, or even 63.00, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • conditional expression (3) If the corresponding value of conditional expression (3) falls below the lower limit, the dispersion of a given positive lens increases, making it difficult to correct the first-order spectrum of axial chromatic aberration and the first-order spectrum of magnification chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (3) By setting the lower limit of conditional expression (3) to 40.00, 42.50, or even 45.00, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • the microscope objective lens according to the second embodiment has the same configuration as the microscope objective lens OL according to the first embodiment, and will be described using the same reference numerals as in the first embodiment.
  • the microscope objective lens OL(1) shown in FIG. 1 is composed of a first lens group G1 and a second lens group G2 having negative refractive power, which are arranged along the optical axis from the object side.
  • the second lens group G2 has a cemented meniscus lens CL21 with its concave surface facing the image side, and a meniscus lens component (CL22) with its concave surface facing the object side, which are arranged along the optical axis from the object side.
  • the first lens group G1 has a predetermined positive lens that satisfies the following conditional expressions (4), (2), and (3). 0 ⁇ gFA+0.0016 ⁇ dA ⁇ 0.6460 ... (4) 1.60 ⁇ ndA ⁇ 1.85 ... (2) 39.50 ⁇ dA ⁇ 75.00 ...
  • nFA the refractive index of a specific positive lens with respect to the d line
  • nFA the refractive index of a specific positive lens with respect to the F line
  • the microscope objective lens OL according to the second embodiment may be the microscope objective lens OL(2) shown in FIG. 5, the microscope objective lens OL(3) shown in FIG. 9, the microscope objective lens OL(4) shown in FIG. 13, the microscope objective lens OL(5) shown in FIG. 17, or the microscope objective lens OL(6) shown in FIG. 21.
  • Conditional formula (4) specifies the appropriate relationship between the Abbe number and partial dispersion ratio of a predetermined positive lens in the first lens group G1. By satisfying conditional formula (4), axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration can be corrected well. Note that a predetermined positive lens that satisfies conditional formulas (4), (2), and (3), etc., is formed using, for example, the optical glass disclosed in WO 2021/024366.
  • conditional formula (4) If the corresponding value of conditional formula (4) falls below the lower limit, it becomes difficult to correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration and the secondary spectrum of magnification chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional formula (4) By setting the lower limit of conditional formula (4) to 0.0002, 0.0004, 0.001, 0.002, or even 0.0025, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • the upper limit of conditional formula (4) may be set to 0.1, or even less than 0.05.
  • conditional expression (2) specifies an appropriate range for the refractive index of a predetermined positive lens in the first lens group G1.
  • conditional expression (2) By satisfying conditional expression (2), off-axis coma aberration can be well corrected while correcting field curvature.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 1.80, 1.75, or even 1.70, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (2) to 1.61, or even 1.62, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • conditional expression (3) specifies an appropriate range for the Abbe number of a predetermined positive lens in the first lens group G1.
  • conditional expression (3) specifies an appropriate range for the Abbe number of a predetermined positive lens in the first lens group G1.
  • the first spectrum of axial chromatic aberration and the first spectrum of magnification chromatic aberration can be corrected satisfactorily.
  • the upper limit of conditional expression (3) 70.00, 68.00, 65.00, or even 63.00
  • the effect of this embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (3) to 40.00, 42.50, or even 45.00, the effect of this embodiment can be made more certain.
  • the predetermined positive lens may be a positive meniscus lens that satisfies the following conditional expression (5).
  • GAR1 is the radius of curvature of the lens surface on the object side of the positive meniscus lens
  • DGA1 is the distance on the optical axis from the lens surface on the object side of the positive meniscus lens to the object.
  • Conditional expression (5) specifies the appropriate relationship between the radius of curvature of the object-side lens surface of a positive meniscus lens that corresponds to a specified positive lens, and the distance on the optical axis from the object-side lens surface of the positive meniscus lens to the object. Note that in each embodiment, the radius of curvature of the lens surface is set to a positive value when the lens surface is convex toward the object side.
  • conditional expression (5) falls outside the above range, the curvature of the object-side lens surface of the positive meniscus lens becomes small, making it difficult to correct off-axis coma while correcting field curvature.
  • the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (5) to -8, or even -7, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the predetermined positive lens may be a positive meniscus lens that satisfies the following conditional expression (6). ⁇ 10 ⁇ GAR2/DGA2 ⁇ 0 ... (6)
  • GAR2 is the radius of curvature of the lens surface on the image side of the positive meniscus lens
  • DGA2 is the distance on the optical axis from the lens surface on the image side of the positive meniscus lens to the object.
  • Conditional formula (6) specifies the appropriate relationship between the radius of curvature of the image-side lens surface of a positive meniscus lens that corresponds to a specified positive lens, and the distance on the optical axis from the image-side lens surface of the positive meniscus lens to the object.
  • conditional expression (6) falls outside the above range, the curvature of the image-side lens surface of the positive meniscus lens becomes small, making it difficult to correct off-axis coma while correcting field curvature.
  • the upper limit of conditional expression (6) to -0.2, or even -0.5, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (6) to -5, or even -2, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the predetermined positive lens may be a positive meniscus lens that satisfies the following conditional expression (7).
  • GAR1 is the radius of curvature of the lens surface on the object side of the positive meniscus lens
  • GAR2 is the radius of curvature of the lens surface on the image side of the positive meniscus lens
  • GAL is the length on the optical axis of the positive meniscus lens
  • TL is the distance on the optical axis from the lens surface on the most object side to the lens surface on the most image side of the microscope objective lens OL.
  • the difference between the radius of curvature of the image-side lens surface and the object-side lens surface of a meniscus lens plus the length of the meniscus lens on the optical axis indicates the difference in the spherical center positions between the image-side lens surface and the object-side lens surface of the meniscus lens.
  • the difference in the spherical center positions between the image-side lens surface and the object-side lens surface of a meniscus lens can also be said to be the difference between the position of the center of curvature of the image-side lens surface of a meniscus lens and the position of the center of curvature of the object-side lens surface of the meniscus lens.
  • Conditional formula (7) specifies the appropriate relationship between the difference in the spherical center positions between the image-side lens surface and the object-side lens surface of a positive meniscus lens corresponding to a specified positive lens, and the distance on the optical axis from the lens surface closest to the object side to the lens surface closest to the image side in the microscope objective lens OL.
  • conditional formula (7) specifies the sine condition can be satisfied, and off-axis coma aberration can be corrected well.
  • conditional expression (7) If the corresponding value of conditional expression (7) falls outside the above range, it becomes difficult to correct off-axis coma aberration.
  • the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to -0.21, -0.20, -0.15, -0.10, or even 0.00, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the positive meniscus lens may be disposed closest to the object side of the first lens group G1.
  • a positive meniscus lens i.e., a specified positive lens
  • the secondary spectrum of the axial chromatic aberration and the secondary spectrum of the magnification chromatic aberration can be corrected well.
  • the first lens group G1 may have a subgroup G1a that is movable along the optical axis. This allows the subgroup G1a of the first lens group G1 to function as a so-called correction ring, and allows for excellent correction of spherical aberration and axial chromatic aberration that change depending on the thickness of the cover glass CV.
  • the first lens group G1 has an image-side lens having positive refractive power that is arranged on the image side of the aforementioned positive meniscus lens, and the image-side lens may satisfy the following conditional expressions (8) and (9). 0 ⁇ gFB1+0.0015 ⁇ dB1 ⁇ 0.6395 ... (8) ⁇ dB1 ⁇ 40.00 ...
  • ⁇ dB1 is the Abbe number of the image-side lens
  • ⁇ gFB1 is the partial dispersion ratio of the image-side lens, and is defined by the following formula when the refractive index of the image-side lens for the g-line is ngB1, the refractive index of the image-side lens for the F-line is nFB1, and the refractive index of the image-side lens for the C-line is nCB1.
  • ⁇ gFB1 (ngB1-nFB1)/(nFB1-nCB1)
  • Conditional formula (8) specifies the appropriate relationship between the Abbe number and partial dispersion ratio of the image-side lens in the first lens group G1.
  • Conditional formula (9) specifies the appropriate range for the Abbe number of the image-side lens in the first lens group G1.
  • an image-side lens that satisfies conditional formulas (8) and (9) is provided, so that the secondary spectrum of axial chromatic aberration can be well corrected in addition to the primary spectrum of axial chromatic aberration.
  • the image-side lens that satisfies conditional formulas (8) and (9) is formed using, for example, the optical glass disclosed in International Publication No. WO 2019/082419.
  • conditional formula (8) falls below the lower limit, it becomes difficult to correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional formula (8) may also be set to 0.1, or even less than 0.05.
  • conditional expression (9) If the corresponding value of conditional expression (9) exceeds the upper limit, it becomes difficult to correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (9) By setting the upper limit of conditional expression (9) to 35.00, or even 33.00, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the first lens group G1 may have a lens component arranged closest to the object in the first lens group G1 with a flat surface facing the object side, and a positive meniscus lens may be arranged next to the image side of the lens component.
  • a positive meniscus lens i.e., a predetermined positive lens
  • the lens component indicates a single lens or a cemented lens.
  • the lens component closest to the object in the first lens group G1 may be a cemented lens including a positive lens of a plano-convex shape with a flat surface facing the object side.
  • the lens component closest to the object in the first lens group G1 is not limited to being a cemented lens, but may be a single lens.
  • the second lens group G2 is movable along the optical axis
  • the first lens group G1 may have a subgroup that is movable along the optical axis together with the second lens group G2. This allows the subgroup of the first lens group G1 and the second lens group G2 to function as a so-called correction ring, and allows for excellent correction of spherical aberration and axial chromatic aberration that change depending on the thickness of the cover glass CV.
  • the first lens group G1 has an image-side lens having positive refractive power that is arranged on the image side of the aforementioned positive meniscus lens, and the image-side lens may satisfy the following conditional expressions (10) to (12). 0 ⁇ gFB2+0.0015 ⁇ dB2 ⁇ 0.6395 ... (10) 1.60 ⁇ ndB2 ⁇ 1.85 ... (11) 39.50 ⁇ dB2 ⁇ 75.00 ...
  • ndB2 is the refractive index of the image-side lens for the d-line
  • ⁇ dB2 is the Abbe number of the image-side lens
  • ⁇ gFB2 is the partial dispersion ratio of the image-side lens, which is defined by the following formula when the refractive index of the image-side lens for the g-line is ngB2, the refractive index of the image-side lens for the F-line is nFB2, and the refractive index of the image-side lens for the C-line is nCB2.
  • ⁇ gFB2 (ngB2-nFB2)/(nFB2-nCB2)
  • Conditional formula (10) prescribes an appropriate relationship between the Abbe number and partial dispersion ratio of the image-side lens in the first lens group G1.
  • Conditional formula (11) prescribes an appropriate range for the refractive index of the image-side lens in the first lens group G1.
  • Conditional formula (12) prescribes an appropriate range for the Abbe number of the image-side lens in the first lens group G1.
  • a positive meniscus lens a specified positive lens
  • an image-side lens that satisfies conditional formulas (10) to (12) is arranged, whereby the secondary spectrum of axial chromatic aberration and the secondary spectrum of magnification chromatic aberration can be well corrected.
  • a positive meniscus lens (a predetermined positive lens) is arranged next to the image side of the lens component closest to the object in the first lens group G1, and an image-side lens that satisfies conditional expressions (10) to (12) is arranged, so that axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration can be effectively corrected.
  • the image-side lens that satisfies conditional expressions (10) to (12) is formed using, for example, the optical glass disclosed in International Publication No. WO 2021/024366.
  • conditional formula (10) falls below the lower limit, it becomes difficult to correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration and the secondary spectrum of magnification chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional formula (10) may be set to 0.1, or even less than 0.05.
  • conditional expression (11) falls outside the above range, it becomes difficult to effectively correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (11) to 1.61, or even 1.62, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • conditional expression (12) falls outside the above range, it becomes difficult to effectively correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (12) to 40.00, 42.50, or even 45.00, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the first lens group G1 has an image-side lens having positive refractive power that is arranged on the image side of the aforementioned positive meniscus lens, and the image-side lens may satisfy the following conditional expressions (13), (11), and (12). 0 ⁇ gFB2+0.0016 ⁇ dB2 ⁇ 0.6460 ... (13) 1.60 ⁇ ndB2 ⁇ 1.85 ... (11) 39.50 ⁇ dB2 ⁇ 75.00 ...
  • ndB2 is the refractive index of the image-side lens for the d-line
  • ⁇ dB2 is the Abbe number of the image-side lens
  • ⁇ gFB2 is the partial dispersion ratio of the image-side lens, which is defined by the following formula when the refractive index of the image-side lens for the g-line is ngB2, the refractive index of the image-side lens for the F-line is nFB2, and the refractive index of the image-side lens for the C-line is nCB2.
  • ⁇ gFB2 (ngB2-nFB2)/(nFB2-nCB2)
  • Conditional formula (13) specifies the appropriate relationship between the Abbe number and partial dispersion ratio of the image-side lens in the first lens group G1.
  • Conditional formula (11) specifies the appropriate range for the refractive index of the image-side lens in the first lens group G1.
  • Conditional formula (12) specifies the appropriate range for the Abbe number of the image-side lens in the first lens group G1.
  • a positive meniscus lens a specified positive lens
  • an image-side lens that satisfies conditional formulas (13), (11), and (12) can be arranged, thereby making it possible to satisfactorily correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration and the secondary spectrum of magnification chromatic aberration.
  • a positive meniscus lens (a predetermined positive lens) is arranged next to the image side of the lens component closest to the object in the first lens group G1, and an image-side lens that satisfies conditional expressions (13), (11), and (12) is arranged, so that axial chromatic aberration and chromatic aberration of magnification can be effectively corrected.
  • the image-side lens that satisfies conditional expressions (13), (11), and (12) is formed using, for example, the optical glass disclosed in International Publication No. WO 2021/024366.
  • conditional formula (13) If the corresponding value of conditional formula (13) falls below the lower limit, it becomes difficult to correct the secondary spectrum of axial chromatic aberration and the secondary spectrum of magnification chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional formula (13) By setting the lower limit of conditional formula (13) to 0.0002, 0.0004, 0.001, 0.002, or even 0.0025, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the upper limit of conditional formula (13) may be set to 0.1, or even less than 0.05.
  • conditional expression (11) falls outside the above range, it becomes difficult to effectively correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (11) to 1.61, or even 1.62, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • conditional expression (12) falls outside the above range, it becomes difficult to effectively correct axial chromatic aberration and lateral chromatic aberration.
  • the effects of each embodiment can be made more certain.
  • the lower limit of conditional expression (12) to 40.00, 42.50, or even 45.00, the effects of each embodiment can be made more certain.
  • Figures 1, 5, 9, 13, 17, and 21 are optical path diagrams showing the configuration of the microscope objective lens OL ⁇ OL(1) to OL(6) ⁇ according to the first to sixth embodiments.
  • each lens group is represented by a combination of the symbol G and a number (or alphabet)
  • each lens is represented by a combination of the symbol L and a number (or alphabet).
  • lenses, etc. are represented using a combination of symbols and numbers independently for each embodiment. Therefore, even if the same combination of symbols and numbers is used between embodiments, it does not mean that they have the same configuration.
  • Tables 1 to 6 are shown below, with Table 1 showing data on the various elements in the first embodiment, Table 2 showing data on the second embodiment, Table 3 showing data on the third embodiment, Table 4 showing data on the fourth embodiment, Table 5 showing data on the fifth embodiment, and Table 6 showing data on the sixth embodiment.
  • ⁇ indicates the magnification of the microscope objective lens.
  • f indicates the focal length of the microscope objective lens.
  • ⁇ indicates the pupil diameter of the microscope objective lens.
  • NA indicates the numerical aperture of the microscope objective lens.
  • TL indicates the total length of the microscope objective lens (the distance on the optical axis from the lens surface closest to the object to the lens surface closest to the image in the microscope objective lens).
  • the surface numbers indicate the order of the lens surfaces from the object side
  • R is the radius of curvature corresponding to each surface number (positive values are given for lens surfaces convex toward the object side)
  • D is the lens thickness or air space on the optical axis corresponding to each surface number
  • ⁇ d is the Abbe number based on the d-line of the optical material corresponding to each surface number
  • ⁇ gF is the partial dispersion ratio of the material of the optical element corresponding to each surface number.
  • the " ⁇ " for the radius of curvature indicates a plane or an opening.
  • the refractive index of air, nd 1.00000, has been omitted.
  • the partial dispersion ratio ⁇ gF of the material of the optical component is defined by the following formula (A).
  • ⁇ gF (ng-nF)/(nF-nC) ... (A)
  • the Variable Distance Data table shows the surface spacing at surface number i, where the surface spacing in the Lens Data table is (Di).
  • the Variable Distance Data table also shows surface spacing according to the thickness of the cover glass.
  • CG shows the thickness of the cover glass.
  • D0 shows the distance between the cover glass and the lens surface of the microscope objective lens closest to the object.
  • the "Lens Group Data” table shows the starting surface (the surface closest to the object) and focal length of each lens group.
  • the focal length f, radius of curvature R, surface spacing D, and other lengths are generally given in "mm" unless otherwise specified, but this is not limited to the optical system, as the same optical performance can be obtained even when proportionally enlarged or reduced.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of the microscope objective lens according to the first embodiment.
  • the microscope objective lens OL(1) according to the first embodiment is composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(1) according to the first embodiment and the cover glass CV that covers the object is filled with air.
  • the first lens group G1 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a positive meniscus lens L101 with a concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L102 with a concave surface facing the object side, a first cemented lens CL11 in which a biconcave negative lens L103 and a biconvex positive lens L104 are cemented together, a positive meniscus lens L105 with a concave surface facing the object side, a second cemented lens CL12 in which a negative meniscus lens L106 with a convex surface facing the object side and a biconvex positive lens L107 are cemented together, and a third cemented lens CL13 in which a biconvex positive lens L108 and a biconcave negative lens L109 are cemented together.
  • the positive meniscus lens L101 arranged closest to the object side of the first lens group G1 corresponds to the aforementioned predetermined positive lens.
  • the positive meniscus lens L105 of the first lens group G1 corresponds to the image-side lens that satisfies the above-mentioned conditional expressions (8) and (9).
  • the second lens group G2 is composed of a first cemented meniscus lens CL21 consisting of a biconvex positive lens L201 and a biconcave negative lens L202, which are arranged in order from the object side along the optical axis, and a second cemented meniscus lens CL22 consisting of a negative meniscus lens L203 with its concave surface facing the object side and a positive meniscus lens L204 with its concave surface facing the object side.
  • the first cemented meniscus lens CL21 is a cemented meniscus lens with its concave surface facing the image side.
  • the second cemented meniscus lens CL22 is a cemented meniscus lens (meniscus lens component) with its concave surface facing the object side.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 are configured to be movable along the optical axis according to the thickness of the cover glass CV.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 constitute the subgroup G1a described above.
  • Table 1 below lists the values of the specifications of the microscope objective lens in the first embodiment. Note that the first surface is the object surface.
  • FIG. 2 is a diagram showing various aberrations (spherical aberration, field curvature, and distortion aberration) of the microscope objective lens of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram showing the magnification chromatic aberration (lateral chromatic aberration) of the microscope objective lens of the first embodiment.
  • FIG. 4 is a diagram showing the coma aberration (meridional coma aberration and sagittal coma aberration) of the microscope objective lens of the first embodiment.
  • Each aberration diagram shows various aberrations when the microscope objective lens is combined with an imaging lens. In each aberration diagram of FIG. 2 to FIG.
  • the vertical axis indicates the value normalized with the maximum value of the entrance pupil radius set to 1
  • the horizontal axis indicates the aberration value [mm] for each light ray.
  • the solid line indicates the meridional image plane for each wavelength
  • the dashed line indicates the sagittal image plane for each wavelength.
  • the vertical axis indicates the image height [mm]
  • the horizontal axis indicates the aberration value [mm].
  • the vertical axis indicates the image height [mm]
  • the horizontal axis indicates the aberration ratio in percentage (% value).
  • the vertical axis indicates the image height [mm]
  • the horizontal axis indicates the aberration value [mm].
  • Each coma aberration diagram shows the aberration value when the image height ratio RFH (Relative Field Height) is 0.00 to 1.00. Note that the same symbols as in this embodiment are used in the aberration diagrams of each embodiment shown below, and duplicate explanations are omitted.
  • the microscope objective lens of the first embodiment has excellent imaging performance, with various aberrations including chromatic aberration being well corrected over a wide wavelength range.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the microscope objective lens according to the second embodiment.
  • the microscope objective lens OL(2) according to the second embodiment is composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(2) according to the second embodiment and the cover glass CV that covers the object is filled with air.
  • the first lens group G1 is composed of, arranged from the object side along the optical axis, a positive meniscus lens L101 with its concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L102 with its concave surface facing the object side, a first cemented lens CL11 in which a biconcave negative lens L103 and a biconvex positive lens L104 are cemented together, a positive meniscus lens L105 with its concave surface facing the object side, a second cemented lens CL12 in which a biconcave negative lens L106 and a biconvex positive lens L107 are cemented together, and a third cemented lens CL13 in which a biconvex positive lens L108 and a negative meniscus lens L109 with its concave surface facing the object side are cemented together.
  • the positive meniscus lens L101 arranged closest to the object side of the first lens group G1 corresponds to the aforementioned predetermined positive lens.
  • the positive meniscus lens L105 of the first lens group G1 corresponds to the image-side lens that satisfies the above-mentioned conditional expressions (8) and (9).
  • the second lens group G2 is composed of a first cemented meniscus lens CL21 consisting of a biconvex positive lens L201 and a biconcave negative lens L202, which are arranged in order from the object side along the optical axis, and a second cemented meniscus lens CL22 consisting of a negative meniscus lens L203 with its concave surface facing the object side and a positive meniscus lens L204 with its concave surface facing the object side.
  • the first cemented meniscus lens CL21 is a cemented meniscus lens with its concave surface facing the image side.
  • the second cemented meniscus lens CL22 is a cemented meniscus lens (meniscus lens component) with its concave surface facing the object side.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 are configured to be movable along the optical axis according to the thickness of the cover glass CV.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 constitute the subgroup G1a described above.
  • Table 2 below lists the values of the specifications of the microscope objective lens in the second embodiment. Note that the first surface is the object surface.
  • FIG. 6 is a diagram showing various aberrations (spherical aberration, field curvature, and distortion aberration) of the microscope objective lens of the second embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram showing the magnification chromatic aberration (lateral chromatic aberration) of the microscope objective lens of the second embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram showing the coma aberration (meridional coma aberration and sagittal coma aberration) of the microscope objective lens of the second embodiment. From each aberration diagram, it can be seen that the microscope objective lens of the second embodiment has excellent imaging performance, with various aberrations including chromatic aberration being well corrected over a wide wavelength range.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing the configuration of the microscope objective lens according to the third embodiment.
  • the microscope objective lens OL(3) according to the third embodiment is composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(3) according to the third embodiment and the cover glass CV covering the object is filled with an immersion liquid (water).
  • the refractive index of the cover glass CV for the d-line is 1.5244.
  • the first lens group G1 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a first cemented lens CL11 consisting of a plano-convex positive lens L101 with its flat surface facing the object side and a negative meniscus lens L102 with its concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L103 with its concave surface facing the object side, a second cemented lens CL12 consisting of a positive meniscus lens L104 with its concave surface facing the object side and a negative meniscus lens L105 with its concave surface facing the object side, a biconvex positive lens L106, a third cemented lens CL13 consisting of a biconvex positive lens L108, a biconcave negative lens L108 and a biconvex positive lens L109, and a fourth cemented lens CL14 consisting of a negative meniscus lens L110 with its convex surface facing the object side and a biconvex positive lens L111.
  • a first cemented lens CL11 consisting of
  • the positive meniscus lens L103 arranged next to the image side of the first cemented lens CL11 in the first lens group G1 corresponds to the above-mentioned specific positive lens.
  • the positive meniscus lens L104 in the first lens group G1 corresponds to the image side lens that satisfies the above-mentioned conditional expressions (10) to (13).
  • the second lens group G2 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a first cemented meniscus lens CL21 consisting of a positive meniscus lens L201 with a convex surface facing the object side and a negative meniscus lens L202 with a convex surface facing the object side cemented together, and a second cemented meniscus lens CL22 consisting of a negative meniscus lens L203 with a concave surface facing the object side and a positive meniscus lens L204 with a concave surface facing the object side.
  • the first cemented meniscus lens CL21 is a cemented meniscus lens with a concave surface facing the image side.
  • the second cemented meniscus lens CL22 is a cemented meniscus lens (meniscus lens component) with a concave surface facing the object side.
  • the fourth cemented lens CL14 of the first lens group G1 and the second lens group G2 are configured so that they can both be moved along the optical axis depending on the thickness of the cover glass CV.
  • the fourth cemented lens CL14 of the first lens group G1 constitutes the subgroup G1a described above.
  • Table 3 below lists the values of the microscope objective lens in the third embodiment. Note that the first surface is the object surface.
  • FIG. 10 is a diagram showing various aberrations (spherical aberration, field curvature, and distortion) of the microscope objective lens of the third embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram showing the magnification chromatic aberration (lateral chromatic aberration) of the microscope objective lens of the third embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram showing the coma aberration (meridional coma aberration and sagittal coma aberration) of the microscope objective lens of the third embodiment. From each aberration diagram, it can be seen that the microscope objective lens of the third embodiment has excellent imaging performance, with various aberrations including chromatic aberration being well corrected over a wide wavelength range.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing the configuration of the microscope objective lens according to the fourth embodiment.
  • the microscope objective lens OL(4) according to the fourth embodiment is composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(4) according to the fourth embodiment and the cover glass CV that covers the object is filled with air.
  • the first lens group G1 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a positive meniscus lens L101 with a concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L102 with a concave surface facing the object side, a first cemented lens CL11 in which a biconcave negative lens L103 and a biconvex positive lens L104 are cemented together, a positive meniscus lens L105 with a concave surface facing the object side, a second cemented lens CL12 in which a negative meniscus lens L106 with a convex surface facing the object side and a biconvex positive lens L107 are cemented together, and a third cemented lens CL13 in which a biconvex positive lens L108 and a biconcave negative lens L109 are cemented together.
  • the positive meniscus lens L101 arranged closest to the object side of the first lens group G1 corresponds to the aforementioned predetermined positive lens.
  • the positive meniscus lens L105 of the first lens group G1 corresponds to the image-side lens that satisfies the above-mentioned conditional expressions (8) and (9).
  • the second lens group G2 is composed of a first cemented meniscus lens CL21 consisting of a biconvex positive lens L201 and a biconcave negative lens L202, which are arranged in order from the object side along the optical axis, and a second cemented meniscus lens CL22 consisting of a negative meniscus lens L203 with its concave surface facing the object side and a positive meniscus lens L204 with its concave surface facing the object side.
  • the first cemented meniscus lens CL21 is a cemented meniscus lens with its concave surface facing the image side.
  • the second cemented meniscus lens CL22 is a cemented meniscus lens (meniscus lens component) with its concave surface facing the object side.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 are configured to be movable along the optical axis according to the thickness of the cover glass CV.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 constitute the subgroup G1a described above.
  • Table 4 below lists the values of the microscope objective lens in the fourth embodiment. Note that the first surface is the object surface.
  • FIG. 14 is a diagram showing various aberrations (spherical aberration, field curvature, and distortion) of the microscope objective lens of Example 4.
  • FIG. 15 is a diagram showing the magnification chromatic aberration (lateral chromatic aberration) of the microscope objective lens of Example 4.
  • FIG. 16 is a diagram showing the coma aberration (meridional coma aberration and sagittal coma aberration) of the microscope objective lens of Example 4. From each aberration diagram, it can be seen that the microscope objective lens of Example 4 has excellent imaging performance, with various aberrations including chromatic aberration being well corrected over a wide wavelength range.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view showing the configuration of the microscope objective lens according to the fifth embodiment.
  • the microscope objective lens OL(5) according to the fifth embodiment is composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(5) according to the fifth embodiment and the cover glass CV that covers the object is filled with air.
  • the first lens group G1 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a positive meniscus lens L101 with a concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L102 with a concave surface facing the object side, a first cemented lens CL11 in which a biconcave negative lens L103 and a biconvex positive lens L104 are cemented together, a positive meniscus lens L105 with a concave surface facing the object side, a second cemented lens CL12 in which a negative meniscus lens L106 with a convex surface facing the object side and a biconvex positive lens L107 are cemented together, and a third cemented lens CL13 in which a biconvex positive lens L108 and a biconcave negative lens L109 are cemented together.
  • the positive meniscus lens L101 arranged closest to the object side of the first lens group G1 corresponds to the aforementioned predetermined positive lens.
  • the positive meniscus lens L105 of the first lens group G1 corresponds to the image-side lens that satisfies the above-mentioned conditional expressions (8) and (9).
  • the second lens group G2 is composed of a first cemented meniscus lens CL21 consisting of a biconvex positive lens L201 and a biconcave negative lens L202, which are arranged in order from the object side along the optical axis, and a second cemented meniscus lens CL22 consisting of a negative meniscus lens L203 with its concave surface facing the object side and a positive meniscus lens L204 with its concave surface facing the object side.
  • the first cemented meniscus lens CL21 is a cemented meniscus lens with its concave surface facing the image side.
  • the second cemented meniscus lens CL22 is a cemented meniscus lens (meniscus lens component) with its concave surface facing the object side.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 are configured to be movable along the optical axis according to the thickness of the cover glass CV.
  • the second cemented lens CL12 and the third cemented lens CL13 of the first lens group G1 constitute the subgroup G1a described above.
  • Table 5 below lists the values of the microscope objective lens in the fifth embodiment. Note that the first surface is the object surface.
  • FIG. 18 is a diagram showing various aberrations (spherical aberration, field curvature, and distortion) of the microscope objective lens of Example 5.
  • FIG. 19 is a diagram showing the magnification chromatic aberration (lateral chromatic aberration) of the microscope objective lens of Example 5.
  • FIG. 20 is a diagram showing the coma aberration (meridional coma aberration and sagittal coma aberration) of the microscope objective lens of Example 5. From each aberration diagram, it can be seen that the microscope objective lens of Example 5 has excellent imaging performance, with various aberrations including chromatic aberration being well corrected over a wide wavelength range.
  • FIG. 21 is a cross-sectional view showing the configuration of the microscope objective lens according to the sixth embodiment.
  • the microscope objective lens OL(6) according to the sixth embodiment is composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(6) according to the sixth embodiment and the cover glass CV covering the object is filled with an immersion liquid (water).
  • the refractive index of the cover glass CV for the d-line is 1.5244.
  • the first lens group G1 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a first cemented lens CL11 consisting of a plano-convex positive lens L101 with its flat surface facing the object side and a negative meniscus lens L102 with its concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L103 with its concave surface facing the object side, a second cemented lens CL12 consisting of a positive meniscus lens L104 with its concave surface facing the object side and a negative meniscus lens L105 with its concave surface facing the object side, a biconvex positive lens L106, a third cemented lens CL13 consisting of a biconvex positive lens L108, a biconcave negative lens L108 and a biconvex positive lens L109, and a fourth cemented lens CL14 consisting of a negative meniscus lens L110 with its convex surface facing the object side and a biconvex positive lens L111.
  • a first cemented lens CL11 consisting of
  • the positive meniscus lens L103 arranged next to the image side of the first cemented lens CL11 in the first lens group G1 corresponds to the above-mentioned specific positive lens.
  • the positive meniscus lens L104 in the first lens group G1 corresponds to the image side lens that satisfies the above-mentioned conditional expressions (10) to (13).
  • the second lens group G2 is composed of, arranged in order from the object side along the optical axis, a first cemented meniscus lens CL21 consisting of a positive meniscus lens L201 with a convex surface facing the object side and a negative meniscus lens L202 with a convex surface facing the object side cemented together, and a second cemented meniscus lens CL22 consisting of a negative meniscus lens L203 with a concave surface facing the object side and a positive meniscus lens L204 with a concave surface facing the object side.
  • the first cemented meniscus lens CL21 is a cemented meniscus lens with a concave surface facing the image side.
  • the second cemented meniscus lens CL22 is a cemented meniscus lens (meniscus lens component) with a concave surface facing the object side.
  • the fourth cemented lens CL14 of the first lens group G1 and the second lens group G2 are configured so that they can both be moved along the optical axis depending on the thickness of the cover glass CV.
  • the fourth cemented lens CL14 of the first lens group G1 constitutes the subgroup G1a described above.
  • Table 6 below lists the values of the specifications of the microscope objective lens in the sixth embodiment. Note that the first surface is the object surface.
  • FIG. 22 is a diagram showing various aberrations (spherical aberration, field curvature, and distortion) of the microscope objective lens of Example 6.
  • FIG. 23 is a diagram showing the magnification chromatic aberration (lateral chromatic aberration) of the microscope objective lens of Example 6.
  • FIG. 24 is a diagram showing the coma aberration (meridional coma aberration and sagittal coma aberration) of the microscope objective lens of Example 6. From each aberration diagram, it can be seen that the microscope objective lens of Example 6 has excellent imaging performance, with various aberrations including chromatic aberration being well corrected over a wide wavelength range.
  • the microscope objective lens according to each embodiment is an infinity-corrected lens, it is used in combination with an imaging lens that forms an image from the microscope objective lens.
  • An example of an imaging lens used in combination with a microscope objective lens will be described with reference to FIG. 25 and Table 7.
  • FIG. 25 is a cross-sectional view showing the configuration of an imaging lens used in combination with a microscope objective lens according to each embodiment.
  • the various aberration diagrams of the microscope objective lens according to each embodiment are for use in combination with this imaging lens.
  • FIG. 25 is composed of, in order from the object side, a cemented lens in which a biconvex positive lens L51 and a biconcave negative lens L52 are cemented together, and a cemented lens in which a biconvex positive lens L53 and a biconcave negative lens L54 are cemented together.
  • the imaging lens IL is disposed on the image side of the microscope objective lens according to each embodiment.
  • FIG. 25 also shows the entrance pupil plane Pu of the imaging lens IL.
  • Table 7 lists the values of the imaging lens' specifications.
  • f' indicates the focal length of the imaging lens.
  • the surface number, R, D, nd, and vd are the same as those explained in Tables 1 to 6 above.
  • Conditional formula (1) 0 ⁇ gFA+0.0015 ⁇ dA ⁇ 0.6395
  • Condition (2) 1.60 ⁇ ndA ⁇ 1.85
  • Conditional formula (3) 39.50 ⁇ dA ⁇ 75.00
  • Conditional formula (4) 0 ⁇ gFA+0.0016 ⁇ dA ⁇ 0.6460
  • Conditional formula (5) ⁇ 10 ⁇ GAR1/DGA1 ⁇ 1
  • Conditional formula (6) ⁇ 10 ⁇ GAR2/DGA2 ⁇ 0
  • Conditional formula (7) ⁇ 0.3 ⁇ (GAR2 ⁇ GAR1+GAL)/TL ⁇ 0.3
  • Conditional formula (11) 1.60 ⁇ ndB2 ⁇ 1.85
  • G1 First lens group
  • G2 Second lens group

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Abstract

顕微鏡対物レンズ（ＯＬ）が、光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群（Ｇ１）と、負の屈折力を有する第２レンズ群（Ｇ２）とからなり、第２レンズ群（Ｇ２）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた第１接合メニスカスレンズ（ＣＬ２１）と、物体側に凹面を向けた第２接合メニスカスレンズ（ＣＬ２２）とを有し、第１レンズ群（Ｇ１）は、以下の条件式を満足する所定の正レンズを有する。　０＜θｇＦＡ＋０．００１５×νｄＡ－０．６３９５　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００　但し、ｎｄＡ：所定の正レンズのｄ線に対する屈折率　νｄＡ：所定の正レンズのアッベ数　θｇＦＡ：所定の正レンズの部分分散比

Description

顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置
　本発明は、顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置に関する。
　近年、倍率が高くて開口数が大きい顕微鏡用の対物レンズが種々提案されている（例えば、特許文献１を参照）。このような対物レンズでは、色収差を良好に補正することが求められている。
特開２０１９－１９１２６６号公報
　第１の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群とからなり、前記第２レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分とを有し、前記第１レンズ群は、以下の条件式を満足する所定の正レンズを有する。
　０＜θｇＦＡ＋０．００１５×νｄＡ－０．６３９５
　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５
　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００
　但し、ｎｄＡ：前記所定の正レンズのｄ線に対する屈折率
　　　　νｄＡ：前記所定の正レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＡ：前記所定の正レンズの部分分散比であり、前記所定の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＡとし、前記所定の正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＡとし、前記所定の正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＡとしたとき、次式で定義される
　θｇＦＡ＝（ｎｇＡ－ｎＦＡ）／（ｎＦＡ－ｎＣＡ）
　第２の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群とからなり、前記第２レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分とを有し、前記第１レンズ群は、以下の条件式を満足する所定の正レンズを有する。
　０＜θｇＦＡ＋０．００１６×νｄＡ－０．６４６０
　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５
　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００
　但し、ｎｄＡ：前記所定の正レンズのｄ線に対する屈折率
　　　　νｄＡ：前記所定の正レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＡ：前記所定の正レンズの部分分散比であり、前記所定の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＡとし、前記所定の正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＡとし、前記所定の正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＡとしたとき、次式で定義される
　θｇＦＡ＝（ｎｇＡ－ｎＦＡ）／（ｎＦＡ－ｎＣＡ）
　本発明に係る顕微鏡光学系は、上述の顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズからの光を結像させる結像レンズとを備える。
　本発明に係る顕微鏡装置は、上述の顕微鏡対物レンズを備える。
第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第１実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差図である。 第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第４実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差図である。 第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第５実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差図である。 第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第６実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差図である。 結像レンズの構成を示す断面図である。 顕微鏡装置の一例である共焦点蛍光顕微鏡を示す概略構成図である。
　以下、本発明に係る好ましい実施形態について説明する。まず、各実施形態に係る顕微鏡対物レンズを備えた顕微鏡光学系および共焦点蛍光顕微鏡（顕微鏡装置）を図２６に基づいて説明する。図２６に示すように、共焦点蛍光顕微鏡１は、光源ユニット６からの照明用レーザ光を試料ＳＡ上に導く励起光導入部２と、試料ＳＡ上に集光されるレーザ光を偏向して試料ＳＡ上で走査する走査装置３と、試料ＳＡからの光強度信号を検出する光検出装置５と、試料ＳＡからの光を光検出装置５に導く集光光学系４とを有して構成される。
　光源ユニット６は、共焦点蛍光顕微鏡１に設けられてもよく、共焦点蛍光顕微鏡１と別体に設けられてもよい。光源ユニット６は、レーザ光源（図示せず）およびビーム径調整機構（図示せず）等を有して構成される。光源ユニット６は、照明用レーザ光を発振させる。
　励起光導入部２は、コリメータレンズ２１と、ダイクロイックミラー２２と、結像レンズ２３および対物レンズ２４を有する顕微鏡光学系２５とを有して構成される。コリメータレンズ２１およびダイクロイックミラー２２は、顕微鏡本体１０における鏡筒部１１の上部に設けられた顕微鏡筐体部１２の内部に配設される。なお、光源ユニット６と顕微鏡筐体部１２とは、コネクタＣ３，Ｃ４を用いて光ファイバ６９により接続されている。コリメータレンズ２１は、光源ユニット６から発振されたレーザ光（光束）を平行光に変換する。ダイクロイックミラー２２は、コリメータレンズ２１からのレーザ光を試料ＳＡに向けて反射する。顕微鏡光学系２５は、結像レンズ２３および対物レンズ２４によって、ダイクロイックミラー２２で反射したレーザ光を試料ＳＡ上に集光する。結像レンズ２３は、顕微鏡本体１０における鏡筒部１１の内部に配設される。なお、結像レンズ２３は、第２対物レンズとも称される。対物レンズ２４は、鏡筒部１１の下部に取り付けられる。
　走査装置３は、走査機構（スキャナ）３１と、走査光学系３２とを備えて構成される。走査装置３は、顕微鏡筐体部１２の内部におけるダイクロイックミラー２２と結像レンズ２３との間に配設される。走査機構（スキャナ）３１は、例えばガルバノミラー（図示せず）またはレゾナントミラー（図示せず）を有して構成される。走査機構（スキャナ）３１は、入射するレーザ光を偏向する。つまり、走査機構（スキャナ）３１は、試料ＳＡ上に集光されるレーザ光を偏向して試料ＳＡ上で走査する。走査光学系３２は、走査機構（スキャナ）３１と結像レンズ２３との間に設けられる光学系である。また、走査光学系３２は、走査光学系３２の焦点位置が試料ＳＡ（試料ＳＡの走査面）と共役な結像面１３（１次像面とも称される）に位置する光学系である。
　集光光学系４は、顕微鏡光学系２５を構成する対物レンズ２４および結像レンズ２３と、全反射ミラー４１と、集光レンズ４２とを備えて構成される。対物レンズ２４は、試料ＳＡで発生した蛍光を受けて平行光にする。結像レンズ２３は、対物レンズ２４から射出された蛍光（平行光）を一旦結像面１３（１次像面）に集光して結像させる。これにより、対物レンズ２４および結像レンズ２３を通過した試料ＳＡからの蛍光は、一旦結像面１３に集光し、走査装置３およびダイクロイックミラー２２を通って全反射ミラー４１に達する。全反射ミラー４１および集光レンズ４２は、顕微鏡筐体部１２の内部におけるダイクロイックミラー２２の上方に配設される。全反射ミラー４１は、対物レンズ２４および結像レンズ２３を通過した試料ＳＡからの蛍光を反射させる。集光レンズ４２は、全反射ミラー４１で反射した蛍光を、ピンホール５１（開口）を有する遮光板５２上に集光する。
　光検出装置５は、ピンホール５１を有する遮光板５２と、光ファイバ５３と、検出ユニット５５とを備えて構成される。光ファイバ５３は、コネクタＣ１，Ｃ２を用いて顕微鏡筐体部１２と検出ユニット５５とに接続される。光ファイバ５３には、ピンホール５１を通過した光（蛍光）が入射する。検出ユニット５５は、ピンホール５１および光ファイバ５３を通過した光（蛍光）を検出する。検出ユニット５５には、ケーブル５６を介して処理ユニット５７が電気的に接続される。処理ユニット５７により検出ユニット５５で検出された検出信号に基づく（試料ＳＡの）画像処理が行われ、処理ユニット５７の画像処理により得られた試料ＳＡの観察画像が図示しないモニターに表示される。
　なお、走査装置３からのレーザ光は、一旦結像面１３（１次像面）に集光し、再度、顕微鏡光学系２５の結像レンズ２３および対物レンズ２４によって試料ＳＡ上に集光するように構成される。すなわち、試料ＳＡの走査面、結像面１３、およびピンホール５１が互いに共役の関係にある。そのため、結像レンズ２３および対物レンズ２４によって試料ＳＡ上に集光するように構成されることで、試料ＳＡからの光（蛍光）のうち、試料ＳＡの走査面上で発生した蛍光をピンホール５１に通過させることが可能になる。
　本実施形態に係る顕微鏡装置の一例として、共焦点蛍光顕微鏡１について説明したが、これに限られるものではない。例えば、本実施形態に係る顕微鏡装置は、多光子励起顕微鏡や、超解像顕微鏡等であってもよい。また、共焦点蛍光顕微鏡１は、正立顕微鏡であってもよく、倒立顕微鏡であってもよい。
　このような共焦点蛍光顕微鏡１（顕微鏡装置）に設けられる顕微鏡光学系２５の対物レンズ２４として、以降で述べる顕微鏡対物レンズＯＬを用いることが可能である。また、このような共焦点蛍光顕微鏡１に設けられる顕微鏡光学系２５の結像レンズ２３として、以降で述べる結像レンズＩＬを用いることが可能である。そこでまず、第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬについて説明する。
　第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの一例として、図１に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（１）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（ＣＬ２２）とを有する。なお、各実施形態において、レンズ成分は、単レンズ又は接合レンズを示すものである。メニスカスレンズ成分は、複数のレンズが接合された接合メニスカスレンズであってもよい。また、メニスカスレンズ成分は、接合メニスカスレンズに限らず、単レンズからなるメニスカスレンズであってもよい。
　上記構成の下、第１レンズ群Ｇ１は、以下の条件式（１）～（３）を満足する所定の正レンズを有する。
　０＜θｇＦＡ＋０．００１５×νｄＡ－０．６３９５　・・・（１）
　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５　・・・（２）
　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００　・・・（３）
　但し、ｎｄＡ：所定の正レンズのｄ線に対する屈折率
　　　　νｄＡ：所定の正レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＡ：所定の正レンズの部分分散比であり、所定の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＡとし、所定の正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＡとし、所定の正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＡとしたとき、次式で定義される
　θｇＦＡ＝（ｎｇＡ－ｎＦＡ）／（ｎＦＡ－ｎＣＡ）
　第１実施形態によれば、色収差をはじめとする諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズ、並びにこの顕微鏡対物レンズを備えた顕微鏡光学系および顕微鏡装置を得ることが可能になる。第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（２）でも良く、図９に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（３）でも良く、図１３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（４）でも良く、図１７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（５）でも良く、図２１に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（６）でも良い。
　条件式（１）は、第１レンズ群Ｇ１における、所定の正レンズのアッベ数と部分分散比との適切な関係を規定するものである。条件式（１）を満足することで、軸上色収差と倍率色収差を良好に補正することができる。なお、条件式（１）～（３）等を満足する所定の正レンズは、例えば、国際公開第２０２１／０２４３６６号に開示された光学ガラスを用いて形成される。
　条件式（１）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（１）の下限値を０．００１、０．００２、さらに０．００３に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（１）の上限値を０．１、さらに０．０５未満に設定してもよい。
　条件式（２）は、第１レンズ群Ｇ１における所定の正レンズの屈折率について、適切な範囲を規定するものである。条件式（２）を満足することで、像面湾曲を補正しつつ軸外コマ収差を良好に補正することができる。
　条件式（２）の対応値が上限値を上回ると、所定の正レンズの屈折率が高くなるため、ペッツバール和を低減させることが難しくなり、像面湾曲を補正することが困難になる。条件式（２）の上限値を１．８０、１．７５、さらに１．７０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（２）の対応値が下限値を下回ると、所定の正レンズの屈折率が低くなるため、軸外コマ収差を補正することが困難になる。条件式（２）の下限値を１．６１、さらに１．６２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（３）は、第１レンズ群Ｇ１における所定の正レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。条件式（３）を満足することで、軸上色収差の１次スペクトルと倍率色収差の１次スペクトルを良好に補正することができる。
　条件式（３）の対応値が上限値を上回ると、所定の正レンズに、屈折率が低い光学ガラスを用いる必要があるため、軸外コマ収差を補正することが困難になる。条件式（３）の上限値を７０．００、６８．００、６５．００、さらに６３．００に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（３）の対応値が下限値を下回ると、所定の正レンズの分散が大きくなるため、軸上色収差の１次スペクトルと倍率色収差の１次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（３）の下限値を４０．００、４２．５０、さらに４５．００に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　次に、第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズについて説明する。第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズは、第１実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬと同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して説明する。第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの一例として、図１に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（１）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分（ＣＬ２２）とを有する。
　上記構成の下、第１レンズ群Ｇ１は、以下の条件式（４）、条件式（２）、および条件式（３）を満足する所定の正レンズを有する。
　０＜θｇＦＡ＋０．００１６×νｄＡ－０．６４６０　・・・（４）
　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５　・・・（２）
　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００　・・・（３）
　但し、ｎｄＡ：所定の正レンズのｄ線に対する屈折率
　　　　νｄＡ：所定の正レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＡ：所定の正レンズの部分分散比であり、所定の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＡとし、所定の正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＡとし、所定の正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＡとしたとき、次式で定義される
　θｇＦＡ＝（ｎｇＡ－ｎＦＡ）／（ｎＦＡ－ｎＣＡ）
　第２実施形態によれば、色収差をはじめとする諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズ、並びにこの顕微鏡対物レンズを備えた顕微鏡光学系および顕微鏡装置を得ることが可能になる。第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（２）でも良く、図９に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（３）でも良く、図１３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（４）でも良く、図１７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（５）でも良く、図２１に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（６）でも良い。
　条件式（４）は、第１レンズ群Ｇ１における、所定の正レンズのアッベ数と部分分散比との適切な関係を規定するものである。条件式（４）を満足することで、軸上色収差と倍率色収差を良好に補正することができる。なお、条件式（４）、条件式（２）、および条件式（３）等を満足する所定の正レンズは、例えば、国際公開第２０２１／０２４３６６号に開示された光学ガラスを用いて形成される。
　条件式（４）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（４）の下限値を０．０００２、０．０００４、０．００１、０．００２、さらに０．００２５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（４）の上限値を０．１、さらに０．０５未満に設定してもよい。
　条件式（２）は、前述したように、第１レンズ群Ｇ１における所定の正レンズの屈折率について、適切な範囲を規定するものである。条件式（２）を満足することで、像面湾曲を補正しつつ軸外コマ収差を良好に補正することができる。条件式（２）の上限値を１．８０、１．７５、さらに１．７０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（２）の下限値を１．６１、さらに１．６２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（３）は、前述したように、第１レンズ群Ｇ１における所定の正レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。条件式（３）を満足することで、軸上色収差の１次スペクトルと倍率色収差の１次スペクトルを良好に補正することができる。条件式（３）の上限値を７０．００、６８．００、６５．００、さらに６３．００に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（３）の下限値を４０．００、４２．５０、さらに４５．００に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、所定の正レンズは、以下の条件式（５）を満足する正メニスカスレンズであってもよい。
　－１０＜ＧＡＲ１／ＤＧＡ１＜１　・・・（５）
　但し、ＧＡＲ１：正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面の曲率半径
　　　　ＤＧＡ１：正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面から物体までの光軸上の距離
　条件式（５）は、所定の正レンズに該当する正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面の曲率半径と、正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面から物体までの光軸上の距離との適切な関係を規定するものである。なお、各実施形態において、レンズ面の曲率半径は、物体側に凸のレンズ面の場合を正の値とする。条件式（５）を満足することで、像面湾曲を補正しつつ軸外コマ収差を良好に補正することができる。
　条件式（５）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面の曲率が小さくなるため、像面湾曲を補正しつつ軸外コマ収差を補正することが困難になる。条件式（５）の上限値を０．５、さらに０．２に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（５）の下限値を－８、さらに－７に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、所定の正レンズは、以下の条件式（６）を満足する正メニスカスレンズであってもよい。
　－１０＜ＧＡＲ２／ＤＧＡ２＜０　・・・（６）
　但し、ＧＡＲ２：正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率半径
　　　　ＤＧＡ２：正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面から物体までの光軸上の距離
　条件式（６）は、所定の正レンズに該当する正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率半径と、正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面から物体までの光軸上の距離との適切な関係を規定するものである。条件式（６）を満足することで、像面湾曲を補正しつつ軸外コマ収差を良好に補正することができる。
　条件式（６）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率が小さくなるため、像面湾曲を補正しつつ軸外コマ収差を補正することが困難になる。条件式（６）の上限値を－０．２、さらに－０．５に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（６）の下限値を－５、さらに－２に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、所定の正レンズは、以下の条件式（７）を満足する正メニスカスレンズであってもよい。
　－０．３＜（ＧＡＲ２－ＧＡＲ１＋ＧＡＬ）／ＴＬ＜０．３　・・・（７）
　但し、ＧＡＲ１：正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面の曲率半径
　　　　ＧＡＲ２：正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率半径
　　　　ＧＡＬ：正メニスカスレンズの光軸上の長さ
　　　　ＴＬ：顕微鏡対物レンズＯＬにおける最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離
　各実施形態において、メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率半径と物体側のレンズ面の曲率半径との差に、当該メニスカスレンズの光軸上の長さを加えたものは、メニスカスレンズにおける像側のレンズ面と物体側のレンズ面との球心位置の差を示す。メニスカスレンズにおける像側のレンズ面と物体側のレンズ面との球心位置の差は、メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率中心の位置と物体側のレンズ面の曲率中心の位置との差であるとも言える。条件式（７）は、所定の正レンズに該当する正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面と物体側のレンズ面との球心位置の差と、顕微鏡対物レンズＯＬにおける最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離との適切な関係を規定するものである。条件式（７）を満足することで、正弦条件を満足することができ、軸外コマ収差を良好に補正することができる。
　条件式（７）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、軸外コマ収差を補正することが困難になる。条件式（７）の上限値を０．２７、０．２５、０．２０、０．１９、０．１５、０．１０、さらに０．０８に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（７）の下限値を－０．２１、－０．２０、－０．１５、－０．１０、さらに０．００に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、正メニスカスレンズは、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置されてもよい。第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に正メニスカスレンズ、すなわち、所定の正レンズが配置されることで、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを良好に補正することができる。また、カバーガラスとの間が空気で満たされるタイプの顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）が配置されることで、当該正メニスカスレンズの物体側のレンズ面における屈折率の差が十分に大きくなり、条件式（２）を満足することで、効果的にペッツバール和を低減させることが可能になる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って移動可能な部分群Ｇ１ａを有してもよい。これにより、第１レンズ群Ｇ１の部分群Ｇ１ａは、所謂補正環として機能し、カバーガラスＣＶの厚さに応じて変化する球面収差や軸上色収差を良好に補正することができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、前述の正メニスカスレンズよりも像側に配置された正の屈折力を有する像側レンズを有し、像側レンズは、以下の条件式（８）および条件式（９）を満足してもよい。
　０＜θｇＦＢ１＋０．００１５×νｄＢ１－０．６３９５　・・・（８）
　νｄＢ１＜４０．００　・・・（９）
　但し、νｄＢ１：像側レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＢ１：像側レンズの部分分散比であり、像側レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＢ１とし、像側レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＢ１とし、像側レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＢ１としたとき、次式で定義される
　θｇＦＢ１＝（ｎｇＢ１－ｎＦＢ１）／（ｎＦＢ１－ｎＣＢ１）
　条件式（８）は、第１レンズ群Ｇ１における、像側レンズのアッベ数と部分分散比との適切な関係を規定するものである。条件式（９）は、第１レンズ群Ｇ１における像側レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置された正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）に加え、条件式（８）および条件式（９）を満足する像側レンズが設けられることで、軸上色収差の１次スペクトルに加えて、軸上色収差の２次スペクトルを良好に補正することができる。なお、条件式（８）および条件式（９）を満足する像側レンズは、例えば、国際公開第２０１９／０８２４１９号に開示された光学ガラスを用いて形成される。
　条件式（８）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（８）の下限値を０．００１、０．００２、さらに０．００３に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（８）の上限値を０．１、さらに０．０５未満に設定してもよい。
　条件式（９）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差の２次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（９）の上限値を３５．００、さらに３３．００に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置されて物体側に平面を向けたレンズ成分を有し、正メニスカスレンズは、当該レンズ成分の像側に並んで配置されてもよい。第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分の像側に並んで、正メニスカスレンズ、すなわち、所定の正レンズが配置されることで、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを良好に補正することができる。また、カバーガラスとの間が浸液で満たされるタイプの顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分の像側に並んで、正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）が配置されることで、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することができる。前述したように、各実施形態において、レンズ成分は、単レンズ又は接合レンズを示すものである。第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分は、物体側に平面を向けた平凸形状の正レンズを含む接合レンズであってもよい。また、第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分は、接合レンズに限らず、単レンズであってもよい。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って移動可能であり、第１レンズ群Ｇ１は、第２レンズ群Ｇ２とともに光軸に沿って移動可能な部分群を有してもよい。これにより、第１レンズ群Ｇ１の部分群と第２レンズ群Ｇ２は、所謂補正環として機能し、カバーガラスＣＶの厚さに応じて変化する球面収差や軸上色収差を良好に補正することができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、前述の正メニスカスレンズよりも像側に配置された正の屈折力を有する像側レンズを有し、像側レンズは、以下の条件式（１０）～（１２）を満足してもよい。
　０＜θｇＦＢ２＋０．００１５×νｄＢ２－０．６３９５　・・・（１０）
　１．６０＜ｎｄＢ２＜１．８５　・・・（１１）
　３９．５０＜νｄＢ２＜７５．００　・・・（１２）
　但し、ｎｄＢ２：像側レンズのｄ線に対する屈折率
　　　　νｄＢ２：像側レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＢ２：像側レンズの部分分散比であり、像側レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＢ２とし、像側レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＢ２とし、像側レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＢ２としたとき、次式で定義される
　θｇＦＢ２＝（ｎｇＢ２－ｎＦＢ２）／（ｎＦＢ２－ｎＣＢ２）
　条件式（１０）は、第１レンズ群Ｇ１における、像側レンズのアッベ数と部分分散比との適切な関係を規定するものである。条件式（１１）は、第１レンズ群Ｇ１における像側レンズの屈折率について、適切な範囲を規定するものである。条件式（１２）は、第１レンズ群Ｇ１における像側レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分の像側に並んで、正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）が配置されるのに加え、条件式（１０）～（１２）を満足する像側レンズが配置されることで、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを良好に補正することができる。また、カバーガラスとの間が浸液で満たされるタイプの顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分の像側に並んで、正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）が配置されるのに加え、条件式（１０）～（１２）を満足する像側レンズが配置されることで、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することができる。なお、条件式（１０）～（１２）を満足する像側レンズは、例えば、国際公開第２０２１／０２４３６６号に開示された光学ガラスを用いて形成される。
　条件式（１０）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（１０）の下限値を０．００１、０．００２、さらに０．００３に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（１０）の上限値を０．１、さらに０．０５未満に設定してもよい。
　条件式（１１）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することが困難になる。条件式（１１）の上限値を１．８０、１．７５、さらに１．７０に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（１１）の下限値を１．６１、さらに１．６２に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１２）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することが困難になる。条件式（１２）の上限値を７０．００、６８．００、６５．００、さらに６３．００に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（１２）の下限値を４０．００、４２．５０、さらに４５．００に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　第１実施形態および第２実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、前述の正メニスカスレンズよりも像側に配置された正の屈折力を有する像側レンズを有し、像側レンズは、以下の条件式（１３）、条件式（１１）、および条件式（１２）を満足してもよい。
　０＜θｇＦＢ２＋０．００１６×νｄＢ２－０．６４６０　・・・（１３）
　１．６０＜ｎｄＢ２＜１．８５　・・・（１１）
　３９．５０＜νｄＢ２＜７５．００　・・・（１２）
　但し、ｎｄＢ２：像側レンズのｄ線に対する屈折率
　　　　νｄＢ２：像側レンズのアッベ数
　　　　θｇＦＢ２：像側レンズの部分分散比であり、像側レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＢ２とし、像側レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＢ２とし、像側レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＢ２としたとき、次式で定義される
　θｇＦＢ２＝（ｎｇＢ２－ｎＦＢ２）／（ｎＦＢ２－ｎＣＢ２）
　条件式（１３）は、第１レンズ群Ｇ１における、像側レンズのアッベ数と部分分散比との適切な関係を規定するものである。条件式（１１）は、第１レンズ群Ｇ１における像側レンズの屈折率について、適切な範囲を規定するものである。条件式（１２）は、第１レンズ群Ｇ１における像側レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分の像側に並んで、正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）が配置されるのに加え、条件式（１３）、条件式（１１）、および条件式（１２）を満足する像側レンズが配置されることで、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを良好に補正することができる。また、カバーガラスとの間が浸液で満たされるタイプの顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１における最も物体側のレンズ成分の像側に並んで、正メニスカスレンズ（所定の正レンズ）が配置されるのに加え、条件式（１３）、条件式（１１）、および条件式（１２）を満足する像側レンズが配置されることで、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することができる。なお、条件式（１３）、条件式（１１）、および条件式（１２）を満足する像側レンズは、例えば、国際公開第２０２１／０２４３６６号に開示された光学ガラスを用いて形成される。
　条件式（１３）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルと倍率色収差の２次スペクトルを補正することが困難になる。条件式（１３）の下限値を０．０００２、０．０００４、０．００１、０．００２、さらに０．００２５に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。また、条件式（１３）の上限値を０．１、さらに０．０５未満に設定してもよい。
　条件式（１１）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することが困難になる。条件式（１１）の上限値を１．８０、１．７５、さらに１．７０に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（１１）の下限値を１．６１、さらに１．６２に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１２）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、効果的に軸上色収差と倍率色収差を補正することが困難になる。条件式（１２）の上限値を７０．００、６８．００、６５．００、さらに６３．００に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（１２）の下限値を４０．００、４２．５０、さらに４５．００に設定することで、各実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　以下、各実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの実施例を図面に基づいて説明する。図１、図５、図９、図１３、図１７、図２１は、第１～第６実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ｛ＯＬ（１）～ＯＬ（６）｝の構成を示す光路図である。これら図１、図５、図９、図１３、図１７、図２１において、各レンズ群を符号Ｇと数字（もしくはアルファベット）の組み合わせにより、各レンズを符号Ｌと数字（もしくはアルファベット）の組み合わせにより、それぞれ表している。この場合において、符号、数字の種類および数が大きくなって煩雑化するのを防止するため、実施例毎にそれぞれ独立して符号と数字の組み合わせを用いてレンズ等を表している。このため、実施例間で同一の符号と数字の組み合わせが用いられていても、同一の構成であることを意味するものでは無い。
　以下に表１～表６を示すが、この内、表１は第１実施例、表２は第２実施例、表３は第３実施例、表４は第４実施例、表５は第５実施例、表６は第６実施例における各諸元データを示す表である。各実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線（波長λ＝587.6nm）、Ｃ線（波長λ＝656.3nm）、Ｆ線（波長λ＝486.1nm）を選んでいる。
　［全体諸元］の表において、βは、顕微鏡対物レンズの倍率を示す。ｆは、顕微鏡対物レンズの焦点距離を示す。φは、顕微鏡対物レンズの瞳径を示す。ＮＡは、顕微鏡対物レンズの開口数を示す。ＴＬは、顕微鏡対物レンズの全長（顕微鏡対物レンズにおける最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離）を示す。
　［レンズデータ］の表において、面番号は物体側からのレンズ面の順序を示し、Ｒは各面番号に対応する曲率半径（物体側に凸のレンズ面の場合を正の値としている）、Ｄは各面番号に対応する光軸上のレンズ厚もしくは空気間隔、ｎｄは各面番号に対応する光学材料のｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率、νｄは各面番号に対応する光学材料のｄ線を基準とするアッベ数、θｇＦは各面番号に対応する光学部材の材料の部分分散比をそれぞれ示す。曲率半径の「∞」は平面又は開口を示す。また、空気の屈折率ｎｄ＝1.00000の記載は省略している。
　光学部材の材料のｇ線（波長λ＝435.8nm）に対する屈折率をｎｇとし、光学部材の材料のＦ線（波長λ＝486.1nm）に対する屈折率をｎＦとし、光学部材の材料のＣ線（波長λ＝656.3nm）に対する屈折率をｎＣとする。このとき、光学部材の材料の部分分散比θｇＦは次式（Ａ）で定義される。
　θｇＦ＝（ｎｇ－ｎＦ）／（ｎＦ－ｎＣ）　　…（Ａ）
　［可変間隔データ］の表には、［レンズデータ］の表において面間隔が（Ｄｉ）となっている面番号ｉでの面間隔を示す。また、［可変間隔データ］の表には、カバーガラスの厚さに応じた面間隔を示す。［可変間隔データ］の表（および［レンズデータ］の表）において、ＣＧは、カバーガラスの厚さを示す。Ｄ０は、カバーガラスと顕微鏡対物レンズの最も物体側のレンズ面との間隔を示す。
　［レンズ群データ］の表には、各レンズ群のそれぞれの始面（最も物体側の面）と焦点距離を示す。
　以下、全ての諸元値において、掲載されている焦点距離ｆ、曲率半径Ｒ、面間隔Ｄ、その他の長さ等は、特記のない場合一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。
　ここまでの表の説明は全ての実施例において共通であり、以下での重複する説明は省略する。
　（第１実施例）
　第１実施例について、図１～図４および表１を用いて説明する。図１は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（１）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（１）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２４４とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０２と、両凹形状の負レンズＬ１０３と両凸形状の正レンズＬ１０４とが接合された第１接合レンズＣＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０５と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１０６と両凸形状の正レンズＬ１０７とが接合された第２接合レンズＣＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１０８と両凹形状の負レンズＬ１０９とが接合された第３接合レンズＣＬ１３と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置された正メニスカスレンズＬ１０１は、前述の所定の正レンズに該当する。第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１０５は、前述の条件式（８）および条件式（９）を満足する像側レンズに該当する。
　第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ２０１と両凹形状の負レンズＬ２０２とが接合された第１接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２０３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２０４とが接合された第２接合メニスカスレンズＣＬ２２と、から構成される。第１接合メニスカスレンズＣＬ２１は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズである。第２接合メニスカスレンズＣＬ２２は、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（メニスカスレンズ成分）である。
　なお、カバーガラスＣＶの厚さに応じて、第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３を光軸に沿って移動させることができるように構成される。第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３は、前述の部分群Ｇ１ａを構成する。
　以下の表１に、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、第１面は物体面である。
（表１）
［全体諸元］
　　　β＝40.0倍
　　　ｆ＝5.000　　　　　　　　　　　φ＝9.500
　　ＮＡ＝0.950　　　　　　　　　　ＴＬ＝63.550
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　　ｎｄ　　　νｄ　　　θｇＦ
　1　　 　　　∞　　　　0.000
　2　　 　　　∞　　　　0.170(CG)　1.5244　　54.30
　3　　 　　　∞　　　　0.540(D0)
　4　　 　　-3.558　　　2.971　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　5　　 　　-3.040　　　2.893
　6　　　　-13.104　　　3.869　　　1.4978　　82.57
　7　　 　　-7.093　　　0.200
　8　　　　-24.625　　　0.700　　　1.6127　　44.46
　9　　 　　11.565　　　8.066　　　1.5932　　67.90
　10　　 　-15.703　　　0.200
　11　　 　-54.760　　　2.097　　　1.7558　　24.71　　0.629
　12　　 　-28.966　　　(D12)
　13　　　　72.626　　　0.700　　　1.7340　　51.51
　14　　　　13.128　　　7.604　　　1.4978　　82.57
　15　　 　-17.619　　　0.200
　16　　　　29.449　　　4.349　　　1.4978　　82.57
　17　　 　-18.677　　　3.490　　　1.6838　　37.64
　18　　　　58.800　　　(D18)
　19　　 　　9.615　　　4.304　　　1.4339　　95.25
　20　　 　-49.045　　　9.500　　　1.7321　　46.18
　21　　 　　5.638　　　3.373
　22　　　　-5.119　　　0.735　　　1.8010　　34.92
　23　　　　-9.287　　　5.198　　　1.7888　　28.43
　24　　　　-7.981　　140.000
［可変間隔データ］
　　　　CG　　　　　0.170　　　0.110　　　0.230
　　　　D0　　　　　0.540　　　0.547　　　0.531
　　　　D12　　 　　1.450　　　0.280　　　2.521
　　　　D18　　 　　1.650　　　2.820　　　0.579
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　4　　 　　9.541
　G2　　 　19　　 　-29.538
　図２は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差（球面収差、像面湾曲、および歪曲収差）を示す図である。図３は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差（横色収差）を示す図である。図４は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差（メリジオナルコマ収差およびサジタルコマ収差）を示す図である。なお、各収差図は、顕微鏡対物レンズに結像レンズを組み合わせた状態での諸収差を示す。図２～図４の各収差図において、ｄはｄ線（波長λ＝587.6nm）、ＣはＣ線（波長λ＝656.3nm）、ＦはＦ線（波長λ＝486.1nm）に対する諸収差をそれぞれ示す。球面収差図において、縦軸は入射瞳半径の最大値を１として規格化して示した値を示し、横軸は各光線における収差の値［ｍｍ］を示す。像面湾曲を示す収差図において、実線は各波長に対するメリジオナル像面を示し、破線は各波長に対するサジタル像面を示す。また、像面湾曲を示す収差図において、縦軸は像高［ｍｍ］を示し、横軸は収差の値［ｍｍ］を示す。歪曲収差図（ディストーション）において、縦軸は像高［ｍｍ］を示し、横軸は収差の割合を百分率（％値）で示す。倍率色収差を示す収差図において、縦軸は像高［ｍｍ］を示し、横軸は収差の値［ｍｍ］を示す。各コマ収差図は、像高比ＲＦＨ（Relative　Field　Height）が０．００～１．００のときの収差の値を示す。なお、以下に示す各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用い、重複する説明は省略する。
　各収差図より、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において色収差をはじめとする諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第２実施例）
　第２実施例について、図５～図８および表２を用いて説明する。図５は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（２）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（２）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２４４とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０２と、両凹形状の負レンズＬ１０３と両凸形状の正レンズＬ１０４とが接合された第１接合レンズＣＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０５と、両凹形状の負レンズＬ１０６と両凸形状の正レンズＬ１０７とが接合された第２接合レンズＣＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１０８と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１０９とが接合された第３接合レンズＣＬ１３と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置された正メニスカスレンズＬ１０１は、前述の所定の正レンズに該当する。第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１０５は、前述の条件式（８）および条件式（９）を満足する像側レンズに該当する。
　第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ２０１と両凹形状の負レンズＬ２０２とが接合された第１接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２０３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２０４とが接合された第２接合メニスカスレンズＣＬ２２と、から構成される。第１接合メニスカスレンズＣＬ２１は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズである。第２接合メニスカスレンズＣＬ２２は、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（メニスカスレンズ成分）である。
　なお、カバーガラスＣＶの厚さに応じて、第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３を光軸に沿って移動させることができるように構成される。第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３は、前述の部分群Ｇ１ａを構成する。
　以下の表２に、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、第１面は物体面である。
（表２）
［全体諸元］
　　　β＝30.0倍
　　　ｆ＝6.667　　　　　　　　　　　φ＝12.267
　　ＮＡ＝0.920　　　　　　　　　　ＴＬ＝63.540
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　　ｎｄ　　　νｄ　　　θｇＦ
　1　　 　　　∞　　　　0.000
　2　　 　　　∞　　　　0.170(CG)　1.5244　　54.30
　3　　 　　　∞　　　　0.540(D0)
　4　　 　　-3.380　　　4.171　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　5　　 　　-3.832　　　1.976
　6　　　　-25.062　　　6.388　　　1.4978　　82.57
　7　　 　　-9.189　　　0.250
　8　　　-1171.983　　　0.700　　　1.6127　　44.46
　9　　 　　11.113　　　7.792　　　1.5932　　67.90
　10　　 　-21.458　　　0.250
　11　　 　-35.057　　　1.752　　　1.7558　　24.71　　0.6290
　12　　 　-26.565　　　(D12)
　13　　 　-69.555　　　0.700　　　1.7340　　51.51
　14　　　　13.763　　　7.271　　　1.4978　　82.57
　15　　 　-17.046　　　0.250
　16　　　　39.282　　　4.014　　　1.4978　　82.57
　17　　 　-22.052　　　0.700　　　1.6838　　37.64
　18　　　-157.531　　　(D18)
　19　　　　12.883　　　4.151　　　1.4339　　95.25
　20　　 　-80.934　 　10.000　　　1.7321　　46.18
　21　　 　　8.209　　　4.041
　22　　　　-6.924　　　0.700　　　1.7550　　52.34
　23　　 　-14.385　　　5.436　　　1.7380　　32.33
　24　　　　-9.612　　130.000
［可変間隔データ］
　　　　CG　　　　　0.170　　　0.110　　　0.230
　　　　D0　　　　　0.540　　　0.555　　　0.525
　　　　D12　　 　　1.500　　　1.099　　　1.896
　　　　D18　　 　　1.500　　　1.901　　　1.104
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　4　　 　　9.981
　G2　　 　19　　 　-37.435
　図６は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差（球面収差、像面湾曲、および歪曲収差）を示す図である。図７は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差（横色収差）を示す図である。図８は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差（メリジオナルコマ収差およびサジタルコマ収差）を示す図である。各収差図より、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において色収差をはじめとする諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第３実施例）
　第３実施例について、図９～図１２および表３を用いて説明する。図９は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（３）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（３）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、浸液（水）で満たされている。なお、浸液のｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．３３２６とする。カバーガラスＣＶのｄ線に対する屈折率は１．５２４４とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸形状の正レンズＬ１０１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１０２とが接合された第１接合レンズＣＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０４と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１０５とが接合された第２接合レンズＣＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１０６と、両凸形状の正レンズＬ１０８と両凹形状の負レンズＬ１０８と両凸形状の正レンズＬ１０９とが接合された第３接合レンズＣＬ１３と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１０と両凸形状の正レンズＬ１１１とが接合された第４接合レンズＣＬ１４と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１における第１接合レンズＣＬ１１の像側に並んで配置された正メニスカスレンズＬ１０３は、前述の所定の正レンズに該当する。第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１０４は、前述の条件式（１０）～（１３）を満足する像側レンズに該当する。
　第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２０１と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２０２とが接合された第１接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２０３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２０４とが接合された第２接合メニスカスレンズＣＬ２２と、から構成される。第１接合メニスカスレンズＣＬ２１は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズである。第２接合メニスカスレンズＣＬ２２は、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（メニスカスレンズ成分）である。
　なお、カバーガラスＣＶの厚さに応じて、第１レンズ群Ｇ１の第４接合レンズＣＬ１４と第２レンズ群Ｇ２とを共に光軸に沿って移動させることができるように構成される。第１レンズ群Ｇ１の第４接合レンズＣＬ１４は、前述の部分群Ｇ１ａを構成する。
　以下の表３に、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、第１面は物体面である。
（表３）
［全体諸元］
　　　β＝20.0倍
　　　ｆ＝10.000　　　　　 　　　　　φ＝19.000
　　ＮＡ＝0.950　　　　　　　　　　ＴＬ＝62.975
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　　ｎｄ　　　νｄ　　　θｇＦ
　1　　 　　　∞　　　　0.000　　　1.3326　　55.89
　2　　 　　　∞　　　　0.170(CG)　1.5244　　54.28
　3　　 　　　∞　　　　1.055(D0)　1.3326　　55.89
　4　　 　　　∞　　　　0.990　　　1.4585　　67.85
　5　　 　　-2.020　　　6.353　　　2.0509　　26.94
　6　　 　　-8.390　　　0.200
　7　　　　-21.531　　　2.929　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　8　　　　-11.392　　　0.200
　9　　　　-85.912　　　4.693　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　10　　 　-12.890　　　1.000　　　1.6127　　44.46
　11　　 　-24.732　　　0.200
　12　　　　59.134　　　3.979　　　1.4560　　91.37
　13　　 　-35.993　　　0.200
　14　　　　18.298　　　6.282　　　1.4343　　94.77
　15　　 　-47.404　　　0.700　　　1.7340　　51.47
　16　　　　17.642　　　7.033　　　1.4339　　95.25
　17　　 　-32.322　　　(D17)
　18　　　　63.071　　　0.700　　　1.8340　　37.16
　19　　　　12.507　　　5.653　　　1.4343　　94.77
　20　　 　-43.873　　　0.200
　21　　　　13.290　　　3.308　　　1.5691　　71.34
　22　　　　33.145　　　3.408　　　1.7321　　46.18
　23　　　　11.362　　　6.367
　24　　　　-9.283　　　3.094　　　1.6393　　44.87
　25　　 　-32.362　　　3.687　　　1.9037　　31.34
　26　　 　-14.467　　140.000
［可変間隔データ］
　　　　CG　　　　　0.170　　　0.110　　　0.230
　　　　D0　　　　　1.055　　　1.109　　　1.001
　　　　D17　　 　　1.800　　　1.717　　　1.879
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　4　　 　　9.433
　G2　　 　21　　　-402.240
　図１０は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差（球面収差、像面湾曲、および歪曲収差）を示す図である。図１１は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差（横色収差）を示す図である。図１２は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差（メリジオナルコマ収差およびサジタルコマ収差）を示す図である。各収差図より、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において色収差をはじめとする諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第４実施例）
　第４実施例について、図１３～図１６および表４を用いて説明する。図１３は、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（４）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（４）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２４４とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０２と、両凹形状の負レンズＬ１０３と両凸形状の正レンズＬ１０４とが接合された第１接合レンズＣＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０５と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１０６と両凸形状の正レンズＬ１０７とが接合された第２接合レンズＣＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１０８と両凹形状の負レンズＬ１０９とが接合された第３接合レンズＣＬ１３と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置された正メニスカスレンズＬ１０１は、前述の所定の正レンズに該当する。第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１０５は、前述の条件式（８）および条件式（９）を満足する像側レンズに該当する。
　第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ２０１と両凹形状の負レンズＬ２０２とが接合された第１接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２０３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２０４とが接合された第２接合メニスカスレンズＣＬ２２と、から構成される。第１接合メニスカスレンズＣＬ２１は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズである。第２接合メニスカスレンズＣＬ２２は、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（メニスカスレンズ成分）である。
　なお、カバーガラスＣＶの厚さに応じて、第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３を光軸に沿って移動させることができるように構成される。第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３は、前述の部分群Ｇ１ａを構成する。
　以下の表４に、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、第１面は物体面である。
（表４）
［全体諸元］
　　　β＝40.0倍
　　　ｆ＝5.000　　　　　　　　　　　φ＝9.500
　　ＮＡ＝0.950　　　　　　　　　　ＴＬ＝63.499
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　　ｎｄ　　　νｄ　　　θｇＦ
　1　　 　　　∞　　　　0.000
　2　　 　　　∞　　　　0.170(CG)　1.5244　　54.30
　3　　 　　　∞　　　　0.540(D0)
　4　　 　　-4.105　　　3.159　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　5　　 　　-2.998　　　3.000
　6　　　　-13.623　　　3.651　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　7　　 　　-7.981　　　0.250
　8　　　　-14.505　　　0.700　　　1.6127　　44.46
　9　　 　　11.828　　　8.225　　　1.5932　　67.90
　10　　 　-13.634　　　0.250
　11　　　-519.714　　　2.092　　　1.6638　　27.35　　0.6319
　12　　 　-50.651　　　(D12)
　13　　　　70.731　　　0.700　　　1.7340　　51.51
　14　　　　13.211　　　7.483　　　1.4978　　82.57
　15　　 　-17.971　　　0.287
　16　　　　25.896　　　4.301　　　1.4978　　82.57
　17　　 　-21.034　　　2.967　　　1.6838　　37.64
　18　　　　48.861　　　(D18)
　19　　 　　9.527　　　4.392　　　1.4343　　94.77
　20　　 　-47.855　　　9.504　　　1.7321　　46.18
　21　　 　　5.499　　　3.300
　22　　　　-5.020　　　0.825　　　1.8010　　34.92
　23　　　　-9.888　　　5.379　　　1.7888　　28.43
　24　　　　-8.038　　140.000
［可変間隔データ］
　　　　CG　　　　　0.170　　　0.110　　　0.230
　　　　D0　　　　　0.540　　　0.545　　　0.534
　　　　D12　　 　　1.500　　　0.353　　　2.685
　　　　D18　　 　　1.536　　　2.724　　　0.392
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　4　　 　　9.930
　G2　　 　19　　 　-28.940
　図１４は、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差（球面収差、像面湾曲、および歪曲収差）を示す図である。図１５は、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差（横色収差）を示す図である。図１６は、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差（メリジオナルコマ収差およびサジタルコマ収差）を示す図である。各収差図より、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において色収差をはじめとする諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第５実施例）
　第５実施例について、図１７～図２０および表５を用いて説明する。図１７は、第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第５実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（５）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第５実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（５）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２４４とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０２と、両凹形状の負レンズＬ１０３と両凸形状の正レンズＬ１０４とが接合された第１接合レンズＣＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０５と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１０６と両凸形状の正レンズＬ１０７とが接合された第２接合レンズＣＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１０８と両凹形状の負レンズＬ１０９とが接合された第３接合レンズＣＬ１３と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１の最も物体側に配置された正メニスカスレンズＬ１０１は、前述の所定の正レンズに該当する。第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１０５は、前述の条件式（８）および条件式（９）を満足する像側レンズに該当する。
　第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ２０１と両凹形状の負レンズＬ２０２とが接合された第１接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２０３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２０４とが接合された第２接合メニスカスレンズＣＬ２２と、から構成される。第１接合メニスカスレンズＣＬ２１は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズである。第２接合メニスカスレンズＣＬ２２は、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（メニスカスレンズ成分）である。
　なお、カバーガラスＣＶの厚さに応じて、第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３を光軸に沿って移動させることができるように構成される。第１レンズ群Ｇ１の第２接合レンズＣＬ１２および第３接合レンズＣＬ１３は、前述の部分群Ｇ１ａを構成する。
　以下の表５に、第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、第１面は物体面である。
（表５）
［全体諸元］
　　　β＝40.0倍
　　　ｆ＝5.000　　　　　　　　　　　φ＝9.500
　　ＮＡ＝0.950　　　　　　　　　　ＴＬ＝63.531
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　　ｎｄ　　　νｄ　　　θｇＦ
　1　　 　　　∞　　　　0.000
　2　　 　　　∞　　　　0.170(CG)　1.5244　　54.30
　3　　 　　　∞　　　　0.540(D0)
　4　　 　　-3.695　　　3.035　　　1.6287　　59.20　　0.5545
　5　　 　　-3.037　　　2.805
　6　　　　-12.594　　　3.733　　　1.4978　　82.57
　7　　 　　-6.972　　　0.250
　8　　　　-21.421　　　0.700　　　1.6127　　44.46
　9　　 　　11.280　　　7.838　　　1.5932　　67.90
　10　　 　-17.009　　　0.250
　11　　 　-74.011　　　2.629　　　1.6460　　30.86　　0.6151
　12　　 　-24.445　　　(D12)
　13　　　　90.678　　　0.700　　　1.7340　　51.51
　14　　　　13.544　　　7.509　　　1.4978　　82.57
　15　　 　-17.652　　　0.250
　16　　　　29.670　　　4.252　　　1.4978　　82.57
　17　　 　-20.065　　　3.336　　　1.6838　　37.64
　18　　　　65.602　　　(D18)
　19　　 　　9.637　　　4.399　　　1.4339　　95.25
　20　　 　-46.286　　　9.488　　　1.7321　　46.18
　21　　 　　5.624　　　3.454
　22　　　　-5.114　　　0.720　　　1.8010　　34.92
　23　　　　-9.918　　　5.184　　　1.7888　　28.43
　24　　　　-7.992　　135.000
［可変間隔データ］
　　　　CG　　　　　0.170　　　0.110　　　0.230
　　　　D0　　　　　0.540　　　0.545　　　0.534
　　　　D12　　 　　1.500　　　0.339　　　2.615
　　　　D18　　 　　1.500　　　2.669　　　0.394
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　4　　 　　9.847
　G2　　 　19　　 　-28.671
　図１８は、第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差（球面収差、像面湾曲、および歪曲収差）を示す図である。図１９は、第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差（横色収差）を示す図である。図２０は、第５実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差（メリジオナルコマ収差およびサジタルコマ収差）を示す図である。各収差図より、第５実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において色収差をはじめとする諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第６実施例）
　第６実施例について、図２１～図２４および表６を用いて説明する。図２１は、第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。第６実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（６）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２とから構成される。第６実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（６）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、浸液（水）で満たされている。なお、浸液のｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．３３２６とする。カバーガラスＣＶのｄ線に対する屈折率は１．５２４４とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸形状の正レンズＬ１０１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１０２とが接合された第１接合レンズＣＬ１１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１０４と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１０５とが接合された第２接合レンズＣＬ１２と、両凸形状の正レンズＬ１０６と、両凸形状の正レンズＬ１０８と両凹形状の負レンズＬ１０８と両凸形状の正レンズＬ１０９とが接合された第３接合レンズＣＬ１３と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１０と両凸形状の正レンズＬ１１１とが接合された第４接合レンズＣＬ１４と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１における第１接合レンズＣＬ１１の像側に並んで配置された正メニスカスレンズＬ１０３は、前述の所定の正レンズに該当する。第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１０４は、前述の条件式（１０）～（１３）を満足する像側レンズに該当する。
　第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２０１と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２０２とが接合された第１接合メニスカスレンズＣＬ２１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２０３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２０４とが接合された第２接合メニスカスレンズＣＬ２２と、から構成される。第１接合メニスカスレンズＣＬ２１は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズである。第２接合メニスカスレンズＣＬ２２は、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズ（メニスカスレンズ成分）である。
　なお、カバーガラスＣＶの厚さに応じて、第１レンズ群Ｇ１の第４接合レンズＣＬ１４と第２レンズ群Ｇ２とを共に光軸に沿って移動させることができるように構成される。第１レンズ群Ｇ１の第４接合レンズＣＬ１４は、前述の部分群Ｇ１ａを構成する。
　以下の表６に、第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、第１面は物体面である。
（表６）
［全体諸元］
　　　β＝20.0倍
　　　ｆ＝10.000　　　　　 　　　　　φ＝19.000
　　ＮＡ＝0.950　　　　　　　　　　ＴＬ＝62.975
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　　　　Ｄ　　　　ｎｄ　　　νｄ　　　θｇＦ
　1　　 　　　∞　　　　0.000　　　1.3326　　55.89
　2　　 　　　∞　　　　0.170(CG)　1.5244　　54.28
　3　　 　　　∞　　　　1.055(D0)　1.3326　　55.89
　4　　 　　　∞　　　　0.990　　　1.4585　　67.85
　5　　 　　-1.976　　　6.211　　　2.0509　　26.94
　6　　 　　-8.274　　　0.200
　7　　　　-19.747　　　2.923　　　1.6693　　49.05　　0.5681
　8　　　　-10.945　　　0.200
　9　　 　-109.950　　　5.369　　　1.6285　　59.17　　0.5557
　10　　 　-11.683　　　1.000　　　1.6127　　44.46
　11　　 　-27.810　　　0.200
　12　　　　53.865　　　4.109　　　1.4560　　91.37
　13　　 　-36.420　　　0.200
　14　　　　18.273　　　6.254　　　1.4343　　94.77
　15　　 　-49.852　　　0.700　　　1.7340　　51.47
　16　　　　17.007　　　6.434　　　1.4339　　95.25
　17　　 　-32.905　　　(D17)
　18　　　　51.956　　　0.700　　　1.8340　　37.16
　19　　　　12.028　　　5.596　　　1.4343　　94.77
　20　　 　-53.519　　　0.200
　21　　　　12.434　　　3.621　　　1.5691　　71.34
　22　　　　33.553　　　2.771　　　1.7321　　46.18
　23　　　　10.691　　　6.753
　24　　　　-9.194　　　3.088　　　1.6393　　44.87
　25　　 　-30.497　　　3.657　　　1.9037　　31.34
　26　　 　-14.194　　136.000
［可変間隔データ］
　　　　CG　　　　　0.170　　　0.110　　　0.230
　　　　D0　　　　　1.055　　　1.109　　　1.001
　　　　D17　　 　　1.800　　　1.720　　　1.884
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　4　　 　　9.366
　G2　　 　21　　　-426.746
　図２２は、第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差（球面収差、像面湾曲、および歪曲収差）を示す図である。図２３は、第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差（横色収差）を示す図である。図２４は、第６実施例に係る顕微鏡対物レンズのコマ収差（メリジオナルコマ収差およびサジタルコマ収差）を示す図である。各収差図より、第６実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において色収差をはじめとする諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
　各実施例に係る顕微鏡対物レンズは、無限遠補正型のレンズであるため、顕微鏡対物レンズからの光を結像させる結像レンズと組み合わせて使用される。そこで、顕微鏡対物レンズと組み合わせて使用される結像レンズの一例について、図２５および表７を用いて説明する。図２５は、各実施例に係る顕微鏡対物レンズと組み合わせて使用される結像レンズの構成を示す断面図である。各実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図は、この結像レンズと組み合わせて使用したときのものである。図２５に示す結像レンズＩＬは、物体側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ５１と両凹形状の負レンズＬ５２とが接合された接合レンズと、両凸形状の正レンズＬ５３と両凹形状の負レンズＬ５４とが接合された接合レンズと、から構成される。結像レンズＩＬは、各実施例に係る顕微鏡対物レンズの像側に配置される。また、図２５に、結像レンズＩＬの入射瞳面Ｐｕを示す。
　以下の表７に、結像レンズの諸元の値を掲げる。なお、［全体諸元］の表において、ｆ´は、結像レンズの焦点距離を示す。［レンズデータ］の表において、面番号、Ｒ、Ｄ、ｎｄ、およびνｄは、前述の表１～表６の説明で示したものと同じである。
（表７）
［全体諸元］
　　　ｆ´＝200
［レンズデータ］
面番号　　　　Ｒ　　 　Ｄ　　　　ｎｄ　 　νｄ
　1　　 　　75.043　　5.100　　1.6228　　57.03
　2　　　　-75.043　　2.000　　1.7495　　35.19
　3　　 　1600.580　　7.500
　4　　 　　50.256　　5.100　　1.6676　　41.96
　5　　　　-84.541　　1.800　　1.6127　　44.40
　6　　 　　36.911　168.438
　次に、［条件式対応値］の表を下記に示す。この表には、各条件式（１）～（１３）に対応する値を、全実施例（第１～第６実施例）について纏めて示す。
　条件式（１）　　０＜θｇＦＡ＋０．００１５×νｄＡ－０．６３９５
　条件式（２）　　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５
　条件式（３）　　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００
　条件式（４）　　０＜θｇＦＡ＋０．００１６×νｄＡ－０．６４６０
　条件式（５）　　－１０＜ＧＡＲ１／ＤＧＡ１＜１
　条件式（６）　　－１０＜ＧＡＲ２／ＤＧＡ２＜０
　条件式（７）　　－０．３＜（ＧＡＲ２－ＧＡＲ１＋ＧＡＬ）／ＴＬ＜０．３
　条件式（８）　　０＜θｇＦＢ１＋０．００１５×νｄＢ１－０．６３９５
　条件式（９）　　νｄＢ１＜４０．００
　条件式（１０）　０＜θｇＦＢ２＋０．００１５×νｄＢ２－０．６３９５
　条件式（１１）　１．６０＜ｎｄＢ２＜１．８５
　条件式（１２）　３９．５０＜νｄＢ２＜７５．００
　条件式（１３）　０＜θｇＦＢ２＋０．００１６×νｄＢ２－０．６４６０
　［条件式対応値］（第１～第３実施例）
　条件式　　　　　　　第１実施例　第２実施例　第３実施例
　（１）　　　　　　　　0.0050　　　0.0050　　　0.0050
　（２）　　　　　　　　1.6285　　　1.6285　　　1.6285
　（３）　　　　　 　　59.17　　 　59.17　　 　59.17
　（４）　　　　　　　　0.0044　　　0.0044　　　0.0044
　（５）　　　　　 　　-5.0111　 　-4.7611　 　-2.4557
　（６）　　　　　 　　-0.8259　 　-0.7852　 　-0.9740
　（７）　　　　　　　　0.0549　　　0.0585　　　0.2075
　（８）　　　　　　　　0.0266　　　0.0266　　　　―
　（９）　　　　　 　　24.71　　 　24.71　　　　　―
　（１０）　　　　　　　　―　　　　　―　　　　0.0050
　（１１）　　　　　　　　―　　　　　―　　　　1.6285
　（１２）　　　　　　　　―　　　　　―　　 　59.17
　（１３）　　　　　　　　―　　　　　―　　　　0.0044
　［条件式対応値］（第４～第６実施例）
　条件式　　　　　　　第４実施例　第５実施例　第６実施例
　（１）　　　　　　　　0.0050　　　0.0038　　　0.0022
　（２）　　　　　　　　1.6285　　　1.6287　　　1.6693
　（３）　　　　　 　　59.17　　 　59.20　　 　49.05
　（４）　　　　　　　　0.0044　　　0.0032　　　0.0006
　（５）　　　　　 　　-5.7812　 　-5.2049　 　-2.2891
　（６）　　　　　 　　-0.7749　 　-0.8110　 　-0.9477
　（７）　　　　　　　　0.0672　　　0.0581　　　0.1862
　（８）　　　　　　　　0.0334　　　0.0219　　　　―
　（９）　　　　　 　　27.35　　 　30.86　　　　　―
　（１０）　　　　　　　　―　　　　　―　　　　0.0050
　（１１）　　　　　　　　―　　　　　―　　　　1.6285
　（１２）　　　　　　　　―　　　　　―　　 　59.17
　（１３）　　　　　　　　―　　　　　―　　　　0.0044
　上記各実施例によれば、色収差をはじめとする諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを実現することができる。
　ここで、上記各実施例は本実施形態の一具体例を示しているものであり、本実施形態はこれらに限定されるものではない。
　Ｇ１　第１レンズ群　　　　　　　　　　　Ｇ２　第２レンズ群

Claims (14)

  1. 　光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群とからなり、
    　前記第２レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分とを有し、
    　前記第１レンズ群は、以下の条件式を満足する所定の正レンズを有する顕微鏡対物レンズ。
    　０＜θｇＦＡ＋０．００１５×νｄＡ－０．６３９５
    　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５
    　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００
    　但し、ｎｄＡ：前記所定の正レンズのｄ線に対する屈折率
    　　　　νｄＡ：前記所定の正レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦＡ：前記所定の正レンズの部分分散比であり、前記所定の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＡとし、前記所定の正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＡとし、前記所定の正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＡとしたとき、次式で定義される
    　θｇＦＡ＝（ｎｇＡ－ｎＦＡ）／（ｎＦＡ－ｎＣＡ）
  2. 　光軸に沿って物体側から順に並んだ、第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群とからなり、
    　前記第２レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分とを有し、
    　前記第１レンズ群は、以下の条件式を満足する所定の正レンズを有する顕微鏡対物レンズ。
    　０＜θｇＦＡ＋０．００１６×νｄＡ－０．６４６０
    　１．６０＜ｎｄＡ＜１．８５
    　３９．５０＜νｄＡ＜７５．００
    　但し、ｎｄＡ：前記所定の正レンズのｄ線に対する屈折率
    　　　　νｄＡ：前記所定の正レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦＡ：前記所定の正レンズの部分分散比であり、前記所定の正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＡとし、前記所定の正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＡとし、前記所定の正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＡとしたとき、次式で定義される
    　θｇＦＡ＝（ｎｇＡ－ｎＦＡ）／（ｎＦＡ－ｎＣＡ）
  3. 　前記所定の正レンズは、以下の条件式を満足する正メニスカスレンズである請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　－１０＜ＧＡＲ１／ＤＧＡ１＜１
    　但し、ＧＡＲ１：前記正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面の曲率半径
    　　　　ＤＧＡ１：前記正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面から物体までの光軸上の距離
  4. 　前記所定の正レンズは、以下の条件式を満足する正メニスカスレンズである請求項１～３のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　－１０＜ＧＡＲ２／ＤＧＡ２＜０
    　但し、ＧＡＲ２：前記正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率半径
    　　　　ＤＧＡ２：前記正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面から物体までの光軸上の距離
  5. 　前記所定の正レンズは、以下の条件式を満足する正メニスカスレンズである請求項１～４のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　－０．３＜（ＧＡＲ２－ＧＡＲ１＋ＧＡＬ）／ＴＬ＜０．３
    　但し、ＧＡＲ１：前記正メニスカスレンズにおける物体側のレンズ面の曲率半径
    　　　　ＧＡＲ２：前記正メニスカスレンズにおける像側のレンズ面の曲率半径
    　　　　ＧＡＬ：前記正メニスカスレンズの光軸上の長さ
    　　　　ＴＬ：前記顕微鏡対物レンズにおける最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離
  6. 　前記正メニスカスレンズは、前記第１レンズ群の最も物体側に配置される請求項３～５のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  7. 　前記第１レンズ群は、光軸に沿って移動可能な部分群を有する請求項６に記載の顕微鏡対物レンズ。
  8. 　前記第１レンズ群は、前記正メニスカスレンズよりも像側に配置された正の屈折力を有する像側レンズを有し、
    　前記像側レンズは、以下の条件式を満足する請求項６または７に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　０＜θｇＦＢ１＋０．００１５×νｄＢ１－０．６３９５
    　νｄＢ１＜４０．００
    　但し、νｄＢ１：前記像側レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦＢ１：前記像側レンズの部分分散比であり、前記像側レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＢ１とし、前記像側レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＢ１とし、前記像側レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＢ１としたとき、次式で定義される
    　θｇＦＢ１＝（ｎｇＢ１－ｎＦＢ１）／（ｎＦＢ１－ｎＣＢ１）
  9. 　前記第１レンズ群は、前記第１レンズ群の最も物体側に配置されて物体側に平面を向けたレンズ成分を有し、
    　前記正メニスカスレンズは、前記レンズ成分の像側に並んで配置される請求項３～５のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  10. 　前記第２レンズ群は、光軸に沿って移動可能であり、
    　前記第１レンズ群は、前記第２レンズ群とともに光軸に沿って移動可能な部分群を有する請求項９に記載の顕微鏡対物レンズ。
  11. 　前記第１レンズ群は、前記正メニスカスレンズよりも像側に配置された正の屈折力を有する像側レンズを有し、
    　前記像側レンズは、以下の条件式を満足する請求項９または１０に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　０＜θｇＦＢ２＋０．００１５×νｄＢ２－０．６３９５
    　１．６０＜ｎｄＢ２＜１．８５
    　３９．５０＜νｄＢ２＜７５．００
    　但し、ｎｄＢ２：前記像側レンズのｄ線に対する屈折率
    　　　　νｄＢ２：前記像側レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦＢ２：前記像側レンズの部分分散比であり、前記像側レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＢ２とし、前記像側レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＢ２とし、前記像側レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＢ２としたとき、次式で定義される
    　θｇＦＢ２＝（ｎｇＢ２－ｎＦＢ２）／（ｎＦＢ２－ｎＣＢ２）
  12. 　前記第１レンズ群は、前記正メニスカスレンズよりも像側に配置された正の屈折力を有する像側レンズを有し、
    　前記像側レンズは、以下の条件式を満足する請求項９または１０に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　０＜θｇＦＢ２＋０．００１６×νｄＢ２－０．６４６０
    　１．６０＜ｎｄＢ２＜１．８５
    　３９．５０＜νｄＢ２＜７５．００
    　但し、ｎｄＢ２：前記像側レンズのｄ線に対する屈折率
    　　　　νｄＢ２：前記像側レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦＢ２：前記像側レンズの部分分散比であり、前記像側レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇＢ２とし、前記像側レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦＢ２とし、前記像側レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣＢ２としたとき、次式で定義される
    　θｇＦＢ２＝（ｎｇＢ２－ｎＦＢ２）／（ｎＦＢ２－ｎＣＢ２）
  13. 　請求項１～１２のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズからの光を結像させる結像レンズとを備える顕微鏡光学系。
  14. 　請求項１～１２のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズを備える顕微鏡装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09101462A (ja) * 1995-10-05 1997-04-15 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡対物レンズ
JP2001356278A (ja) * 2000-06-13 2001-12-26 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡システム
JP2003337285A (ja) * 2002-05-21 2003-11-28 Nikon Corp 液浸系アポクロマート顕微鏡対物レンズ
JP2007328014A (ja) * 2006-06-06 2007-12-20 Olympus Corp 顕微鏡対物レンズ
JP2021071662A (ja) * 2019-11-01 2021-05-06 株式会社タムロン 光学系及び光学機器
WO2022138365A1 (ja) * 2020-12-25 2022-06-30 株式会社ニコン 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09101462A (ja) * 1995-10-05 1997-04-15 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡対物レンズ
JP2001356278A (ja) * 2000-06-13 2001-12-26 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡システム
JP2003337285A (ja) * 2002-05-21 2003-11-28 Nikon Corp 液浸系アポクロマート顕微鏡対物レンズ
JP2007328014A (ja) * 2006-06-06 2007-12-20 Olympus Corp 顕微鏡対物レンズ
JP2021071662A (ja) * 2019-11-01 2021-05-06 株式会社タムロン 光学系及び光学機器
WO2022138365A1 (ja) * 2020-12-25 2022-06-30 株式会社ニコン 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置

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