WO2023120104A1 - 顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置 - Google Patents

顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置 Download PDF

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WO2023120104A1
WO2023120104A1 PCT/JP2022/044493 JP2022044493W WO2023120104A1 WO 2023120104 A1 WO2023120104 A1 WO 2023120104A1 JP 2022044493 W JP2022044493 W JP 2022044493W WO 2023120104 A1 WO2023120104 A1 WO 2023120104A1
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lens
lens group
microscope objective
cemented
microscope
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PCT/JP2022/044493
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Inventor
杏菜 野中
Original Assignee
株式会社ニコン
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/02—Objectives

Definitions

  • the present invention relates to microscope objective lenses, microscope optical systems, and microscope devices.
  • a microscope objective lens comprises a first lens group having a positive refractive power, a second lens group having a negative refractive power, and a positive refractive power, which are arranged in order from the object side along an optical axis.
  • the first lens group has a cemented lens including a negative lens and converges the light flux from the object; and the second lens group comprises the light flux from the first lens group and the third lens group converts the divergent light flux from the second lens group into a parallel light flux, satisfying the following conditional expression.
  • ⁇ d1N Abbe number of the negative lens in the cemented lens of the first lens group
  • ⁇ gF1N Partial dispersion ratio of the negative lens in the cemented lens of the first lens group, refraction of the negative lens with respect to the g-line
  • ng1N is the index
  • nF1N is the refractive index of the negative lens for the F line
  • nC1N is the refractive index of the negative lens for the C line
  • ⁇ gF1N (ng1N ⁇ nF1N)/(nF1N ⁇ nC1N)
  • a microscope optical system includes the microscope objective lens described above and a second objective lens that collects light from the microscope objective lens.
  • a microscope apparatus includes the microscope objective lens described above.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a first example
  • FIG. FIG. 4 is a spherical aberration diagram of the microscope objective lens according to the first example
  • FIG. 4 is a diagram of magnification chromatic aberration of the microscope objective lens according to the first example
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a second example
  • FIG. 10 is a spherical aberration diagram of the microscope objective lens according to the second example
  • FIG. 10 is a magnification chromatic aberration diagram of the microscope objective lens according to the second example
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a microscope objective lens according to a third example; It is a spherical aberration diagram of the microscope objective lens concerning the 3rd example.
  • FIG. 11 is a diagram of magnification chromatic aberration of the microscope objective lens according to the third example;
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing the configuration of a second objective lens;
  • 1 is a schematic configuration diagram showing a confocal fluorescence microscope as an example of a microscope apparatus;
  • the confocal fluorescence microscope 1 includes a stage 10, a light source 20, an illumination optical system 30, a microscope optical system 40, and a detector 50.
  • the coordinate axis extending in the optical axis direction of the microscope objective lens of the confocal fluorescence microscope 1 is the z-axis. Coordinate axes extending in directions orthogonal to each other in a plane perpendicular to the z-axis are defined as an x-axis and a y-axis.
  • a sample SA held between, for example, a slide glass (not shown) and a cover glass (not shown) is placed on the stage 10 .
  • the sample SA accommodated in a sample container (not shown) together with the immersion liquid may be placed on the stage 10 .
  • the sample SA contains a fluorescent substance such as a fluorescent dye.
  • the sample SA is, for example, cells that have been previously fluorescently stained.
  • a stage drive unit 11 is provided near the stage 10 .
  • a stage drive unit 11 moves the stage 10 along the z-axis.
  • the light source 20 generates excitation light in a predetermined wavelength band.
  • the light source 20 for example, a laser light source or the like capable of emitting laser light (excitation light) in a predetermined wavelength band is used.
  • the predetermined wavelength band is set to a wavelength band that can excite the sample SA containing the fluorescent substance.
  • the excitation light emitted from the light source 20 enters the illumination optical system 30 .
  • the illumination optical system 30 illuminates the sample SA on the stage 10 with excitation light emitted from the light source 20 .
  • the illumination optical system 30 includes a collimator lens 31, a beam splitter 33, and a scanner 34 in order from the light source 20 side toward the sample SA side.
  • the illumination optical system 30 also includes the microscope objective lens OL of the microscope optical system 40 .
  • the collimator lens 31 collimates the excitation light emitted from the light source 20 .
  • the beam splitter 33 has the characteristic of reflecting the excitation light from the light source 20 and transmitting the fluorescence from the sample SA.
  • the beam splitter 33 reflects excitation light from the light source 20 toward the sample SA on the stage 10 .
  • the beam splitter 33 transmits fluorescence generated in the sample SA toward the detection unit 50 .
  • An excitation filter 32 is arranged between the beam splitter 33 and the collimator lens 31 to transmit the excitation light from the light source 20 .
  • a fluorescence filter 35 is arranged between the beam splitter 33 and the second objective lens IL of the microscope optical system 40 to transmit fluorescence from the sample SA.
  • the scanner 34 scans the sample SA with excitation light from the light source 20 in two directions, i.e., the x direction and the y direction.
  • the scanner 34 for example, a galvanometer scanner, a resonant scanner, or the like is used.
  • the microscope optical system 40 collects fluorescence generated in the sample SA.
  • the microscope optical system 40 includes a microscope objective lens OL and a second objective lens IL in order from the sample SA side to the detection unit 50 side.
  • the microscope optical system 40 also includes a scanner 34 and a beam splitter 33 arranged between the microscope objective lens OL and the second objective lens IL.
  • the microscope objective lens OL is arranged facing above the stage 10 on which the sample SA is placed.
  • the microscope objective lens OL condenses the excitation light from the light source 20 and irradiates the sample SA on the stage 10 with it. Further, the microscope objective lens OL receives the fluorescence generated in the sample SA and converts it into parallel light.
  • the second objective lens IL collects fluorescence (parallel light) from the microscope objective lens OL.
  • the detection unit 50 detects fluorescence generated in the sample SA via the microscope optical system 40.
  • a photomultiplier tube for example, is used as the detector 50 .
  • a pinhole 45 is provided between the microscope optical system 40 and the detection unit 50 .
  • the pinhole 45 is arranged at a position conjugate with the focal position of the microscope objective lens OL on the sample SA side.
  • the pinhole 45 is formed on the focal plane of the microscope objective lens OL (the plane passing through the focal position of the microscope objective lens OL and perpendicular to the optical axis of the microscope objective lens OL), or within a predetermined deviation tolerance from the focal plane in the optical axis direction. Only the light from the misaligned surface is allowed to pass through and the other light is blocked.
  • the excitation light emitted from the light source 20 passes through the collimator lens 31 and becomes parallel light.
  • the excitation light transmitted through the collimator lens 31 passes through the excitation filter 32 and enters the beam splitter 33 .
  • the excitation light incident on the beam splitter 33 is reflected by the beam splitter 33 and enters the scanner 34 .
  • the scanner 34 scans the sample SA with the excitation light incident on the scanner 34 in two directions, the x direction and the y direction.
  • the excitation light incident on the scanner 34 passes through the scanner 34 and the microscope objective lens OL, and is focused on the focal plane of the microscope objective lens OL.
  • a portion of the sample SA where the excitation light is condensed (that is, a portion overlapping with the focal plane of the microscope objective lens OL) is two-dimensionally scanned by the scanner 34 in two directions of the x direction and the y direction.
  • the illumination optical system 30 illuminates the sample SA on the stage 10 with the excitation light emitted from the light source 20 .
  • the irradiation of the excitation light excites the fluorescent substance contained in the sample SA and emits fluorescence. Fluorescence from the sample SA passes through the microscope objective lens OL and becomes parallel light. Fluorescence transmitted through the microscope objective lens OL enters the beam splitter 33 through the scanner 34 . The fluorescence incident on the beam splitter 33 is transmitted through the beam splitter 33 and reaches the fluorescence filter 35 . The fluorescence that reaches the fluorescence filter 35 passes through the fluorescence filter 35, passes through the second objective lens IL, and is condensed at a position conjugate with the focal position of the microscope objective lens OL. The fluorescence condensed at a position conjugate with the focal position of the microscope objective lens OL passes through the pinhole 45 and enters the detector 50 .
  • the detection unit 50 photoelectrically converts the light (fluorescence) incident on the detection unit 50, and generates data corresponding to the light amount (brightness) of the light as a light detection signal.
  • the detection unit 50 outputs the generated data to a control unit (not shown).
  • the control unit treats the data input from the detection unit 50 as data for one pixel, and arranges the data in synchronization with the two-dimensional scanning by the scanner 34, so that the data for a plurality of pixels is divided into two. Generate a piece of image data that is dimensionally aligned (in two directions). In this way, the controller can acquire an image of the sample SA.
  • the confocal fluorescence microscope 1 has been described as an example of the microscope apparatus according to this embodiment, it is not limited to this.
  • the microscope apparatus according to this embodiment may be an observation microscope for performing bright-field observation, fluorescence observation, or the like, a confocal microscope, a multiphoton excitation microscope, a super-resolution microscope, or the like.
  • the confocal fluorescence microscope 1 may be an upright microscope or an inverted microscope.
  • the microscope objective lens according to this embodiment will be described.
  • the microscope objective lens OL (1) shown in FIG. a second lens group G2 having negative refractive power and a third lens group G3 having positive refractive power.
  • the first lens group G1 has a cemented lens including a negative lens, and condenses a light beam from an object.
  • the second lens group G2 diverges the light flux from the first lens group G1.
  • the third lens group G3 converts the divergent light flux from the second lens group G2 into a parallel light flux.
  • the fact that the first lens group G1 converges the light flux from the object means that the first lens group G1 has a condensing function. For example, when a divergent luminous flux from an object passes through the first lens group G1, the luminous flux from the first lens group G1 may become a divergent luminous flux whose degree of divergence is weakened by the first lens group G1.
  • the microscope objective lens OL satisfies the following conditional expressions (1) and (2).
  • ⁇ d1N is the Abbe number of the negative lens in the cemented lens of the first lens group G1
  • ⁇ gF1N is the partial dispersion ratio of the negative lens in the cemented lens of the first lens group G1
  • ng1N is the refractive index of the negative lens with respect to the g-line
  • nF1N is the refractive index of the negative lens for the F-line
  • nC1N is the refractive index of the negative lens for the C-line
  • ⁇ gF1N (ng1N-nF1N)/(nF1N-nC1N) defined by the following equation.
  • the microscope objective lens OL may be the optical system OL(2) shown in FIG. 4 or the optical system OL(3) shown in FIG.
  • Conditional expression (1) defines an appropriate range for the partial dispersion ratio of the negative lens in the cemented lens of the first lens group G1.
  • Conditional expression (2) defines an appropriate range for the Abbe number of the negative lens in the cemented lens of the first lens group G1.
  • conditional expression (1) If the corresponding value of conditional expression (1) exceeds the upper limit, the correction of the secondary spectrum of the chromatic aberration of magnification becomes excessive in the wavelength region on the short wavelength side, making it difficult to satisfactorily correct the chromatic aberration of magnification in a wide wavelength region. Become. By setting the upper limit of conditional expression (1) to 0.72, and further to 0.71, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (1) When the corresponding value of conditional expression (1) is below the lower limit, it becomes difficult to sufficiently correct the secondary spectrum of the chromatic aberration of magnification in the wavelength region on the short wavelength side.
  • the lower limit of conditional expression (1) By setting the lower limit of conditional expression (1) to 0.629, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (2) When the corresponding value of conditional expression (2) exceeds the upper limit, it becomes difficult to sufficiently correct the primary chromatic aberration of magnification in the wavelength region on the short wavelength side.
  • the upper limit of conditional expression (2) By setting the upper limit of conditional expression (2) to 29, and further to 28, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (2) If the corresponding value of conditional expression (2) is below the lower limit, the first-order chromatic aberration of magnification is excessively corrected in the wavelength region on the short wavelength side, making it difficult to satisfactorily correct the chromatic aberration of magnification in a wide wavelength region. .
  • the lower limit of conditional expression (2) By setting the lower limit of conditional expression (2) to 23 and further to 25, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • the microscope objective lens OL according to this embodiment may satisfy the following conditional expression (2-1). 23 ⁇ d1N ⁇ 29 (2-1)
  • Conditional expression (2-1) is similar to conditional expression (2), and can obtain the same effect as conditional expression (2).
  • the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • the lower limit of conditional expression (2-1) By setting the lower limit of conditional expression (2-1) to 25, the effects of the present embodiment can be made more reliable.
  • the second lens group G2 preferably has a cemented lens with negative refractive power and satisfies the following conditional expression (3). -3 ⁇ (Rc2+Rc1)/(Rc2-Rc1) ⁇ -1 (3) where Rc1: the radius of curvature of the most object-side lens surface in the cemented lens of the second lens group G2, and Rc2: the radius of curvature of the most image-side lens surface in the cemented lens of the second lens group G2.
  • Conditional expression (3) defines an appropriate range for the shape factor of the cemented lens in the second lens group G2. By satisfying the conditional expression (3), it is possible to satisfactorily correct the chromatic aberration of magnification.
  • conditional expression (3) If the corresponding value of conditional expression (3) is out of the above range, it becomes difficult to correct the chromatic aberration of magnification.
  • the upper limit of conditional expression (3) By setting the upper limit of conditional expression (3) to -1.2, and further to -1.5, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • the lower limit of conditional expression (8) By setting the lower limit of conditional expression (8) to -2.7, and further to -2.5, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • the microscope objective lens OL according to this embodiment may be configured such that the first lens group G1 is composed of one cemented lens, and the second lens group G2 is composed of one cemented lens.
  • the microscope objective lens OL according to this embodiment one of the distance between the first lens group G1 and the second lens group G2 and the distance between the second lens group G2 and the third lens group G3 is the microscope objective lens OL. is the largest lens spacing (air spacing) in , and the other is the second largest lens spacing (air spacing) in the microscope objective OL.
  • the third lens group G3 preferably has one or more cemented lenses, and the cemented lens of the third lens group G3 preferably consists of two lenses. This makes it possible to satisfactorily correct the secondary spectrum in addition to the primary achromatic aberration in the correction of longitudinal chromatic aberration.
  • Conditional expression (4) defines an appropriate relationship between the Abbe number of the positive lens in the cemented lens of the third lens group G3 and the Abbe number of the negative lens in the cemented lens of the third lens group G3.
  • Conditional expression (5) defines an appropriate range for the partial dispersion ratio of the positive lens in the cemented lens of the third lens group G3.
  • conditional expression (4) When the corresponding value of conditional expression (4) exceeds the upper limit, it becomes difficult to sufficiently correct the secondary spectrum of longitudinal chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (4) By setting the upper limit of conditional expression (4) to -5, and further to -10, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (4) If the corresponding value of conditional expression (4) is below the lower limit, correction of the secondary spectrum of axial chromatic aberration becomes excessive, making it difficult to satisfactorily correct axial chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (4) By setting the lower limit of conditional expression (4) to -30, and further to -25, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (5) When the corresponding value of conditional expression (5) exceeds the upper limit, correction of the secondary spectrum of longitudinal chromatic aberration becomes excessive, making it difficult to satisfactorily correct longitudinal chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (5) By setting the upper limit of conditional expression (5) to 0.68, and further to 0.65, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (5) When the corresponding value of conditional expression (5) is below the lower limit, it becomes difficult to sufficiently correct the secondary spectrum of longitudinal chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (5) By setting the lower limit of conditional expression (5) to 0.61, and further to 0.62, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • the microscope objective lens OL according to this embodiment preferably satisfies the following conditional expression (6). 0.022 ⁇ gF1N ⁇ (0.645 ⁇ 0.0017 ⁇ d1N) ⁇ 0.125 (6)
  • Conditional expression (6) defines an appropriate relationship between the partial dispersion ratio of the negative lens in the cemented lens of the first lens group G1 and the Abbe number of the negative lens in the cemented lens of the first lens group G1.
  • conditional expression (6) If the corresponding value of conditional expression (6) exceeds the upper limit, correction of the secondary spectrum of the chromatic aberration of magnification becomes excessive in the wavelength region on the short wavelength side, making it difficult to satisfactorily correct the chromatic aberration of magnification in a wide wavelength region. Become. By setting the upper limit of conditional expression (6) to 0.12, and further to 0.1, the effects of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (6) When the corresponding value of conditional expression (6) is below the lower limit, it becomes difficult to sufficiently correct the secondary spectrum of the chromatic aberration of magnification in the wavelength region on the short wavelength side.
  • the lower limit of conditional expression (6) By setting the lower limit of conditional expression (6) to 0.024, and further to 0.026, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • Conditional expression (7) defines an appropriate relationship between the partial dispersion ratio of the positive lens in the cemented lens of the third lens group G3 and the Abbe number of the positive lens in the cemented lens of the third lens group G3.
  • Conditional expression (8) defines an appropriate range for the Abbe number of the positive lens in the cemented lens of the third lens group G3.
  • conditional expression (7) When the corresponding value of conditional expression (7) exceeds the upper limit, correction of the secondary spectrum of longitudinal chromatic aberration becomes excessive, making it difficult to satisfactorily correct longitudinal chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (7) By setting the upper limit of conditional expression (7) to 0.1 and further to 0.08, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (7) When the corresponding value of conditional expression (7) falls below the lower limit, it becomes difficult to sufficiently correct the secondary spectrum of longitudinal chromatic aberration.
  • the lower limit of conditional expression (7) By setting the lower limit of conditional expression (7) to 0.021, and further to 0.022, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (8) When the corresponding value of conditional expression (8) exceeds the upper limit, it becomes difficult to sufficiently correct the secondary spectrum of longitudinal chromatic aberration.
  • the upper limit of conditional expression (8) By setting the upper limit of conditional expression (8) to 33 and further to 30, the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • conditional expression (8) If the corresponding value of conditional expression (8) is below the lower limit, correction of the secondary spectrum of axial chromatic aberration becomes excessive, making it difficult to satisfactorily correct axial chromatic aberration.
  • the effect of this embodiment can be made more reliable.
  • each lens group is represented by a combination of symbol G and a number (or alphabet), and each lens is represented by a combination of symbol L and number (or alphabet).
  • G and a number or alphabet
  • each lens is represented by a combination of symbol L and number (or alphabet).
  • lenses and the like are represented independently using combinations of symbols and numerals for each embodiment. Therefore, even if the same reference numerals and symbols are used between the embodiments, it does not mean that they have the same configuration.
  • f indicates the focal length of the microscope objective lens.
  • ⁇ indicates the magnification of the microscope objective.
  • NA indicates the numerical aperture of the microscope objective.
  • WD indicates the working distance of the microscope objective lens.
  • ⁇ gF1N represents the partial dispersion ratio of the negative lens in the cemented lens of the first lens group.
  • ⁇ gF3P represents the partial dispersion ratio of the positive lens in the cemented lens closest to the object side in the third lens group.
  • the surface numbers indicate the order of the lens surfaces from the object side
  • R is the radius of curvature corresponding to each surface number (a positive value is given in the case of a lens surface convex toward the object side)
  • D is the lens thickness or air space on the optical axis corresponding to each surface number
  • ⁇ d corresponds to each surface number.
  • the Abbe number of the optical material with respect to the d-line and ⁇ gF indicate the partial dispersion ratio of the material of the optical member corresponding to each surface number.
  • ⁇ gF (ng-nF)/(nF-nC)...(A)
  • the [Lens group data] table shows the starting surface (surface closest to the object side) and focal length of each lens group.
  • the focal length f, radius of curvature R, surface spacing D, and other lengths are generally expressed in "mm" unless otherwise specified, but the optical system is proportionally enlarged. Alternatively, it is not limited to this because equivalent optical performance can be obtained even if it is proportionally reduced.
  • FIG. 1 is an optical path diagram showing the configuration of the microscope objective lens according to the first embodiment.
  • a microscope objective lens OL(1) according to the first embodiment includes a first lens group G1 having positive refractive power and a second lens group having negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis. G2 and a third lens group G3 having positive refractive power.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(1) according to the first embodiment and the cover glass CV covering the object is filled with air.
  • the first lens group G1 condenses the luminous flux from the object. Also, the first lens group G1 converges off-axis rays from an object closer to the optical axis.
  • the first lens group G1 is a cemented lens CL11 having positive refractive power formed by cementing, in order from the object side along the optical axis, a biconvex positive lens L11 and a negative meniscus lens L12 having a concave surface facing the object side.
  • the second lens group G2 diverges the luminous flux from the first lens group G1.
  • the second lens group G2 is composed of a cemented lens CL21 having negative refractive power formed by cementing a biconvex positive lens L21 and a biconcave negative lens L22 in order from the object side along the optical axis. .
  • the third lens group G3 converts the divergent light flux from the second lens group G2 into a parallel light flux.
  • the third lens group G3 includes a first cemented lens CL31 formed by cementing a biconcave negative lens L31 and a biconvex positive lens L32 arranged in order from the object side along the optical axis, and a biconcave lens CL31. It is composed of a second cemented lens CL32 formed by cementing a negative lens L33 and a biconvex positive lens L34, and a biconvex positive lens L35.
  • Table 1 below lists the values of the specifications of the microscope objective lens according to the first example.
  • FIG. 2 is a diagram showing spherical aberration of the microscope objective lens according to the first example.
  • FIG. 3 is a diagram showing the chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the first example.
  • the vertical axis indicates normalized values with the maximum entrance pupil radius being 1, and the horizontal axis indicates the aberration values [mm] for each ray.
  • the vertical axis indicates the image height [mm] and the horizontal axis indicates the aberration value [mm].
  • the same reference numerals as in the present example are used, and redundant description is omitted.
  • the microscope objective lens according to the first example has various aberrations well corrected in a wide wavelength range and has excellent imaging performance.
  • FIG. 4 is an optical path diagram showing the configuration of the microscope objective lens according to the second embodiment.
  • the microscope objective lens OL (2) according to the second embodiment includes a first lens group G1 having positive refractive power and a second lens group having negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis. G2 and a third lens group G3 having positive refractive power.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(2) according to the second embodiment and the cover glass CV covering the object is filled with air.
  • Table 2 below lists the values of the specifications of the microscope objective lens according to the second example.
  • FIG. 5 is a diagram showing spherical aberration of the microscope objective lens according to the second example.
  • FIG. 6 is a diagram showing the chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the second example. From each aberration diagram, it can be seen that the microscope objective lens according to the second example has various aberrations corrected satisfactorily in a wide wavelength range and has excellent imaging performance.
  • FIG. 7 is an optical path diagram showing the configuration of the microscope objective lens according to the third embodiment.
  • a microscope objective lens OL (3) according to the third embodiment includes a first lens group G1 having positive refractive power and a second lens group having negative refractive power, which are arranged in order from the object side along the optical axis. G2 and a third lens group G3 having positive refractive power.
  • the space between the tip of the microscope objective lens OL(3) according to the third embodiment and the cover glass CV covering the object is filled with air.
  • the first lens group G1 condenses the luminous flux from the object. Also, the first lens group G1 converges off-axis rays from an object closer to the optical axis.
  • the first lens group G1 has a positive refractive power obtained by cementing a negative meniscus lens L11 having a convex surface facing the object side and a positive meniscus lens L12 having a convex surface facing the object side in order from the object side along the optical axis. It is composed of a cemented lens CL11 having a Since the second lens group G2 and the third lens group G3 in the third embodiment are configured in the same manner as in the first embodiment, the same reference numerals as those in the first embodiment are attached, and the details of these lenses are shown below. detailed description is omitted.
  • Table 3 lists the values of the specifications of the microscope objective lens according to the third example.
  • FIG. 8 is a diagram showing spherical aberration of the microscope objective lens according to the third example.
  • FIG. 9 is a diagram showing the chromatic aberration of magnification of the microscope objective lens according to the third example. From each aberration chart, it can be seen that the microscope objective lens according to the third example has various aberrations corrected satisfactorily in a wide wavelength range and has excellent imaging performance.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing the configuration of the second objective lens used in combination with the microscope objective lens according to each example.
  • Various aberration diagrams of the microscope objective lens according to each example are those when used in combination with this second objective lens.
  • first cemented lens CL41 formed by cementing a biconvex positive lens L41 and a biconcave negative lens L42 arranged in order from the object side along the optical axis; and a second cemented lens CL42 formed by cementing a biconvex positive lens L43 and a biconcave negative lens L44.
  • Table 4 below lists the values of the specifications of the second objective lens.
  • the surface numbers, R, D, nd, and ⁇ d are the same as those shown in Tables 1 to 3 above.
  • Conditional expression (1) 0.625 ⁇ gF1N ⁇ 0.725
  • Conditional expression (2) 22.5 ⁇ d1N ⁇ 30
  • Conditional expression (2-1) 23 ⁇ d1N ⁇ 29
  • Conditional expression (3) -3 ⁇ (Rc2+Rc1)/(Rc2-Rc1) ⁇ -1
  • Conditional expression (4) ⁇ 35 ⁇ d3P ⁇ d3N ⁇ 0
  • Conditional expression (5) 0.6 ⁇ gF3P ⁇ 0.7
  • Conditional expression (6) 0.022 ⁇ gF1N ⁇ (0.645 ⁇ 0.0017 ⁇ d1N) ⁇ 0.125
  • Conditional expression (7) 0.02 ⁇ gF3P ⁇ (0.645 ⁇ 0.0017 ⁇ d3P) ⁇ 0.12
  • Conditional expression (8) 20 ⁇ d3P ⁇ 35
  • Conditional expression 1st embodiment 2nd embodiment 3rd embodiment (1) 0.6319 0.6291 0.6319 (2) (2-1) 27.35 24.71 27.35 (3) -2.199 -1.516 -1.93 (4) -15.38 -15.38 -13.34 (5) 0.6319 0.6319 0.6319 (6) 0.0334 0.0261 0.0334 (7) 0.0334 0.0334 0.0334 (8) 27.35 27.35 27.35
  • each of the above examples shows a specific example of the present embodiment, and the present embodiment is not limited to these.

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Abstract

顕微鏡対物レンズ（ＯＬ）が、正の屈折力を有する第１レンズ群（Ｇ１）と、負の屈折力を有する第２レンズ群（Ｇ２）と、正の屈折力を有する第３レンズ群（Ｇ３）とからなり、第１レンズ群（Ｇ１）は、負レンズを含む接合レンズ（ＣＬ１１）を有し、以下の条件式を満足する。　０．６２５＜θｇＦ１Ｎ＜０．７２５　２２．５＜νｄ１Ｎ＜３０　但し、νｄ１Ｎ：第１レンズ群（Ｇ１）の接合レンズ（ＣＬ１１）における負レンズのアッベ数　θｇＦ１Ｎ：第１レンズ群（Ｇ１）の接合レンズ（ＣＬ１１）における負レンズの部分分散比

Description

顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置
　本発明は、顕微鏡対物レンズ、顕微鏡光学系、および顕微鏡装置に関する。
　近年、視野が広くて倍率が低い顕微鏡用の対物レンズが種々提案されている（例えば、特許文献１を参照）。このような対物レンズでは、倍率色収差を良好に補正することが求められている。
特開平８－３１３８１４号公報
　本発明に係る顕微鏡対物レンズは、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とからなり、前記第１レンズ群は、負レンズを含む接合レンズを有し、物体からの光束を集光し、前記第２レンズ群は、前記第１レンズ群からの光束を発散させ、前記第３レンズ群は、前記第２レンズ群からの発散光束を平行光束にし、以下の条件式を満足する。
　０．６２５＜θｇＦ１Ｎ＜０．７２５
　２２．５＜νｄ１Ｎ＜３０
　但し、νｄ１Ｎ：前記第１レンズ群の前記接合レンズにおける前記負レンズのアッベ数
　　　　θｇＦ１Ｎ：前記第１レンズ群の前記接合レンズにおける前記負レンズの部分分散比であり、前記負レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１Ｎとし、前記負レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１Ｎとし、前記負レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１Ｎとしたとき、次式で定義される
　θｇＦ１Ｎ＝（ｎｇ１Ｎ－ｎＦ１Ｎ）／（ｎＦ１Ｎ－ｎＣ１Ｎ）
　本発明に係る顕微鏡光学系は、上述の顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズからの光を集光する第２対物レンズとを備える。
　本発明に係る顕微鏡装置は、上述の顕微鏡対物レンズを備える。
第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差図である。 第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す断面図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差図である。 第２対物レンズの構成を示す断面図である。 顕微鏡装置の一例である共焦点蛍光顕微鏡を示す概略構成図である。
　以下、本発明に係る好ましい実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズを備えた顕微鏡光学系および共焦点蛍光顕微鏡（顕微鏡装置）を図１１に基づいて説明する。図１１に示すように、共焦点蛍光顕微鏡１は、ステージ１０と、光源２０と、照明光学系３０と、顕微鏡光学系４０と、検出部５０とを有して構成される。以降の説明において、共焦点蛍光顕微鏡１の顕微鏡対物レンズの光軸方向に延びる座標軸をｚ軸とする。また、このｚ軸と垂直な面内において互いに直交する方向に延びる座標軸をそれぞれｘ軸およびｙ軸とする。
　ステージ１０上には、例えば、スライドガラス（図示せず）とカバーガラス（図示せず）との間に保持された試料ＳＡが載置される。また、ステージ１０上には、浸液とともに試料容器（図示せず）に収容された試料ＳＡが載置されてもよい。試料ＳＡは、蛍光色素などの蛍光物質を含む。試料ＳＡは、例えば、予め蛍光染色された細胞等である。ステージ１０の近傍に、ステージ駆動部１１が設けられる。ステージ駆動部１１は、ステージ１０をｚ軸に沿って移動させる。
　光源２０は、所定の波長帯の励起光を発生させる。光源２０として、例えば、所定の波長帯のレーザー光（励起光）を出射させることが可能なレーザー光源等が用いられる。所定の波長帯は、蛍光物質を含む試料ＳＡを励起させることが可能な波長帯に設定される。光源２０から出射した励起光は、照明光学系３０に入射する。
　照明光学系３０は、光源２０から出射した励起光によって、ステージ１０上の試料ＳＡを照明する。照明光学系３０は、光源２０側から試料ＳＡ側へ向かう順に、コリメータレンズ３１と、ビームスプリッタ３３と、スキャナ３４とを備える。また、照明光学系３０は、顕微鏡光学系４０の顕微鏡対物レンズＯＬを含む。コリメータレンズ３１は、光源２０から出射した励起光を平行光にする。
　ビームスプリッタ３３は、光源２０からの励起光が反射し、かつ試料ＳＡからの蛍光が透過する特性を有する。ビームスプリッタ３３は、光源２０からの励起光をステージ１０上の試料ＳＡに向けて反射させる。ビームスプリッタ３３は、試料ＳＡで発生した蛍光を検出部５０に向けて透過させる。ビームスプリッタ３３とコリメータレンズ３１との間に、光源２０からの励起光を透過させる励起フィルター３２が配設される。ビームスプリッタ３３と顕微鏡光学系４０の第２対物レンズＩＬとの間に、試料ＳＡからの蛍光を透過させる蛍光フィルター３５が配設される。
　スキャナ３４は、ｘ方向とｙ方向との２方向において、光源２０からの励起光で試料ＳＡを走査する。スキャナ３４として、例えば、ガルバノスキャナや、レゾナントスキャナ等が用いられる。
　顕微鏡光学系４０は、試料ＳＡで発生した蛍光を集光する。顕微鏡光学系４０は、試料ＳＡ側から検出部５０側へ向かう順に、顕微鏡対物レンズＯＬと、第２対物レンズＩＬとを備える。また、顕微鏡光学系４０は、顕微鏡対物レンズＯＬと第２対物レンズＩＬとの間に配置された、スキャナ３４と、ビームスプリッタ３３とを含む。顕微鏡対物レンズＯＬは、試料ＳＡが載置されるステージ１０の上方に対向して配置される。顕微鏡対物レンズＯＬは、光源２０からの励起光を集光してステージ１０上の試料ＳＡに照射する。また、顕微鏡対物レンズＯＬは、試料ＳＡで発生した蛍光を受光して平行光にする。第２対物レンズＩＬは、顕微鏡対物レンズＯＬからの蛍光（平行光）を集光する。
　検出部５０は、顕微鏡光学系４０を介して、試料ＳＡで発生した蛍光を検出する。検出部５０として、例えば、光電子増倍管が用いられる。顕微鏡光学系４０と検出部５０との間に、ピンホール４５が設けられる。ピンホール４５は、顕微鏡対物レンズＯＬの試料ＳＡ側の焦点位置と共役な位置に配置される。ピンホール４５は、顕微鏡対物レンズＯＬの焦点面（顕微鏡対物レンズＯＬの焦点位置を通る顕微鏡対物レンズＯＬの光軸と垂直な面）または、当該焦点面から所定のずれ許容範囲内で光軸方向にずれた面からの光のみを通過させ、他の光を遮光する。
　以上のように構成される共焦点蛍光顕微鏡１において、光源２０から出射した励起光は、コリメータレンズ３１を透過して平行光となる。コリメータレンズ３１を透過した励起光は、励起フィルター３２を通ってビームスプリッタ３３に入射する。ビームスプリッタ３３に入射した励起光は、当該ビームスプリッタ３３で反射してスキャナ３４に入射する。スキャナ３４は、ｘ方向とｙ方向との２方向において、スキャナ３４に入射した励起光で試料ＳＡを走査する。スキャナ３４に入射した励起光は、スキャナ３４を通って顕微鏡対物レンズＯＬを透過し、顕微鏡対物レンズＯＬの焦点面に集光される。試料ＳＡにおいて励起光が集光される部分（すなわち、顕微鏡対物レンズＯＬの焦点面と重なる部分）は、スキャナ３４によりｘ方向とｙ方向との２方向において２次元的に走査される。これにより、照明光学系３０は、光源２０から出射した励起光によって、ステージ１０上の試料ＳＡを照明する。
　励起光の照射によって、試料ＳＡに含まれる蛍光物質が励起されて蛍光が出射する。試料ＳＡからの蛍光は、顕微鏡対物レンズＯＬを透過して平行光となる。顕微鏡対物レンズＯＬを透過した蛍光は、スキャナ３４を通ってビームスプリッタ３３に入射する。ビームスプリッタ３３に入射した蛍光は、当該ビームスプリッタ３３を透過して蛍光フィルター３５に達する。蛍光フィルター３５に達した蛍光は、蛍光フィルター３５を通って第２対物レンズＩＬを透過し、顕微鏡対物レンズＯＬの焦点位置と共役な位置に集光される。顕微鏡対物レンズＯＬの焦点位置と共役な位置に集光された蛍光は、ピンホール４５を通過して検出部５０に入射する。
　検出部５０は、検出部５０に入射した光（蛍光）の光電変換を行い、光の検出信号として、その光の光量（明るさ）に対応するデータを生成する。検出部５０は、生成したデータを不図示の制御部へ出力する。なお、制御部は、検出部５０から入力されたデータを１画素分のデータとして、これをスキャナ３４による２次元的な走査と同期して並べる処理を行うことで、複数画素分のデータが２次元で（２方向で）並ぶ１つの画像データを生成する。このようにして、制御部は、試料ＳＡの画像を取得することが可能である。
　本実施形態に係る顕微鏡装置の一例として、共焦点蛍光顕微鏡１について説明したが、これに限られるものではない。例えば、本実施形態に係る顕微鏡装置は、明視野観察、蛍光観察等を行うための観察用顕微鏡や、共焦点顕微鏡、多光子励起顕微鏡、超解像顕微鏡等であってもよい。また、共焦点蛍光顕微鏡１は、正立顕微鏡であってもよく、倒立顕微鏡であってもよい。
　次に、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズについて説明する。本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの一例として、図１に示す顕微鏡対物レンズＯＬ（１）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１レンズ群Ｇ１は、負レンズを含む接合レンズを有し、物体からの光束を集光する。第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１からの光束を発散させる。第３レンズ群Ｇ３は、第２レンズ群Ｇ２からの発散光束を平行光束にする。本実施形態において、第１レンズ群Ｇ１が物体からの光束を集光することは、第１レンズ群Ｇ１が集光作用を有することを意味する。例えば、物体からの発散光束が第１レンズ群Ｇ１を透過すると、第１レンズ群Ｇ１からの光束が第１レンズ群Ｇ１により発散の度合いが弱められた発散光束となる場合がある。
　上記構成の下、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、以下の条件式（１）および条件式（２）を満足する。
　０．６２５＜θｇＦ１Ｎ＜０．７２５　・・・（１）
　２２．５＜νｄ１Ｎ＜３０　・・・（２）
　但し、νｄ１Ｎ：第１レンズ群Ｇ１の接合レンズにおける負レンズのアッベ数
　　　　θｇＦ１Ｎ：第１レンズ群Ｇ１の接合レンズにおける負レンズの部分分散比であり、負レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１Ｎとし、負レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１Ｎとし、負レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１Ｎとしたとき、次式で定義される
　θｇＦ１Ｎ＝（ｎｇ１Ｎ－ｎＦ１Ｎ）／（ｎＦ１Ｎ－ｎＣ１Ｎ）
　本実施形態によれば、広い波長域において倍率色収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズ、並びにこの顕微鏡対物レンズを備えた顕微鏡光学系および顕微鏡装置を得ることが可能になる。本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、図４に示す光学系ＯＬ（２）でも良く、図７に示す光学系ＯＬ（３）でも良い。
　条件式（１）は、第１レンズ群Ｇ１の接合レンズにおける負レンズの部分分散比について、適切な範囲を規定するものである。条件式（２）は、第１レンズ群Ｇ１の接合レンズにおける負レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。条件式（１）および条件式（２）を満足することで、広い波長域において倍率色収差を良好に補正することができる。
　条件式（１）の対応値が上限値を上回ると、短波長側の波長域において倍率色収差の２次スペクトルの補正が過剰になり、広い波長域において倍率色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（１）の上限値を０．７２、さらに０．７１に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（１）の対応値が下限値を下回ると、短波長側の波長域において倍率色収差の２次スペクトルを十分に補正することが困難になる。条件式（１）の下限値を０．６２９に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（２）の対応値が上限値を上回ると、短波長側の波長域において１次の倍率色収差を十分に補正することが困難になる。条件式（２）の上限値を２９、さらに２８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（２）の対応値が下限値を下回ると、短波長側の波長域において１次の倍率色収差の補正が過剰になり、広い波長域において倍率色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（２）の下限値を２３、さらに２５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、以下の条件式（２－１）を満足してもよい。
　２３＜νｄ１Ｎ＜２９　・・・（２－１）
　条件式（２－１）は、条件式（２）と同様の式であり、条件式（２）と同様の効果を得ることができる。条件式（２－１）の上限値を２８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（２－１）の下限値を２５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第２レンズ群Ｇ２は、負の屈折力を有する接合レンズを有し、以下の条件式（３）を満足することが望ましい。
　－３＜（Ｒｃ２＋Ｒｃ１）／（Ｒｃ２－Ｒｃ１）＜－１　・・・（３）
　但し、Ｒｃ１：第２レンズ群Ｇ２の接合レンズにおける最も物体側のレンズ面の曲率半径
　　　　Ｒｃ２：第２レンズ群Ｇ２の接合レンズにおける最も像側のレンズ面の曲率半径
　条件式（３）は、第２レンズ群Ｇ２の接合レンズのシェイプファクターについて、適切な範囲を規定するものである。条件式（３）を満足することで、倍率色収差を良好に補正することができる。
　条件式（３）の対応値が上記範囲を外れてしまうと、倍率色収差を補正することが困難になる。条件式（３）の上限値を－１．２、さらに－１．５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。条件式（８）の下限値を－２．７、さらに－２．５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　なお、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、第１レンズ群Ｇ１が１つの接合レンズからなり、第２レンズ群Ｇ２が１つの接合レンズからなるように構成されてもよい。本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔および、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間隔のうち、一方が顕微鏡対物レンズＯＬにおいて最も大きいレンズ間隔（空気間隔）であり、他方が顕微鏡対物レンズＯＬにおいて２番目に大きいレンズ間隔（空気間隔）であるように構成されてもよい。
　本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第３レンズ群Ｇ３は、接合レンズを１つ以上有し、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズは、２枚のレンズからなることが望ましい。これにより、軸上色収差の補正において、１次の色消しに加え、２次スペクトルを良好に補正することが可能になる。
　本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第３レンズ群Ｇ３は、正レンズと負レンズとを含む接合レンズを有し、以下の条件式（４）および条件式（５）を満足することが望ましい。
　－３５＜νｄ３Ｐ－νｄ３Ｎ＜０　・・・（４）
　０．６＜θｇＦ３Ｐ＜０．７　・・・（５）
　但し、νｄ３Ｐ：第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズのアッベ数
　　　　νｄ３Ｎ：第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける負レンズのアッベ数
　　　　θｇＦ３Ｐ：第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズの部分分散比であり、正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ３Ｐとし、正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ３Ｐとし、正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ３Ｐとしたとき、次式で定義される
　θｇＦ３Ｐ＝（ｎｇ３Ｐ－ｎＦ３Ｐ）／（ｎＦ３Ｐ－ｎＣ３Ｐ）
　条件式（４）は、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズのアッベ数と、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける負レンズのアッベ数との適切な関係を規定するものである。条件式（５）は、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズの部分分散比について、適切な範囲を規定するものである。条件式（４）および条件式（５）を満足することで、軸上色収差の補正において、１次の色消しに加え、２次スペクトルを良好に補正することができる。
　条件式（４）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差の２次スペクトルを十分に補正することが困難になる。条件式（４）の上限値を－５、さらに－１０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（４）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルの補正が過剰になり、軸上色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（４）の下限値を－３０、さらに－２５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（５）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差の２次スペクトルの補正が過剰になり、軸上色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（５）の上限値を０．６８、さらに０．６５に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（５）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルを十分に補正することが困難になる。条件式（５）の下限値を０．６１、さらに０．６２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは、以下の条件式（６）を満足することが望ましい。
　０．０２２＜θｇＦ１Ｎ－（０．６４５－０．００１７×νｄ１Ｎ）＜０．１２５　・・・（６）
　条件式（６）は、第１レンズ群Ｇ１の接合レンズにおける負レンズの部分分散比と、第１レンズ群Ｇ１の接合レンズにおける負レンズのアッベ数との適切な関係を規定するものである。条件式（６）を満足することで、広い波長域において倍率色収差を良好に補正することができる。
　条件式（６）の対応値が上限値を上回ると、短波長側の波長域において倍率色収差の２次スペクトルの補正が過剰になり、広い波長域において倍率色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（６）の上限値を０．１２、さらに０．１に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（６）の対応値が下限値を下回ると、短波長側の波長域において倍率色収差の２次スペクトルを十分に補正することが困難になる。条件式（６）の下限値を０．０２４、さらに０．０２６に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第３レンズ群Ｇ３は、正レンズを含む接合レンズを有し、以下の条件式（７）および条件式（８）を満足することが望ましい。
　０．０２＜θｇＦ３Ｐ－（０．６４５－０．００１７×νｄ３Ｐ）＜０．１２　・・・（７）
　２０＜νｄ３Ｐ＜３５　・・・（８）
　但し、νｄ３Ｐ：第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズのアッベ数
　　　　θｇＦ３Ｐ：第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズの部分分散比であり、正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ３Ｐとし、正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ３Ｐとし、正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ３Ｐとしたとき、次式で定義される
　θｇＦ３Ｐ＝（ｎｇ３Ｐ－ｎＦ３Ｐ）／（ｎＦ３Ｐ－ｎＣ３Ｐ）
　条件式（７）は、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズの部分分散比と、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズのアッベ数との適切な関係を規定するものである。条件式（８）は、第３レンズ群Ｇ３の接合レンズにおける正レンズのアッベ数について、適切な範囲を規定するものである。条件式（７）および条件式（８）を満足することで、軸上色収差の補正において、１次の色消しに加え、２次スペクトルを良好に補正することができる。
　条件式（７）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差の２次スペクトルの補正が過剰になり、軸上色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（７）の上限値を０．１、さらに０．０８に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（７）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルを十分に補正することが困難になる。条件式（７）の下限値を０．０２１、さらに０．０２２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（８）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差の２次スペクトルを十分に補正することが困難になる。条件式（８）の上限値を３３、さらに３０に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　条件式（８）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差の２次スペクトルの補正が過剰になり、軸上色収差を良好に補正することが困難になる。条件式（８）の下限値を２１、さらに２２に設定することで、本実施形態の効果をより確実なものとすることができる。
　以下、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの実施例を図面に基づいて説明する。図１、図４、図７は、第１～第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ｛ＯＬ（１）～ＯＬ（３）｝の構成を示す光路図である。これら図１、図４、図７において、各レンズ群を符号Ｇと数字（もしくはアルファベット）の組み合わせにより、各レンズを符号Ｌと数字（もしくはアルファベット）の組み合わせにより、それぞれ表している。この場合において、符号、数字の種類および数が大きくなって煩雑化するのを防止するため、実施例毎にそれぞれ独立して符号と数字の組み合わせを用いてレンズ等を表している。このため、実施例間で同一の符号と数字の組み合わせが用いられていても、同一の構成であることを意味するものでは無い。
　以下に表１～表３を示すが、この内、表１は第１実施例、表２は第２実施例、表３は第３実施例における各諸元データを示す表である。各実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線（波長λ＝587.6nm）、Ｆ線（波長λ＝486.1nm）、ｇ線（波長λ＝435.8nm）、ｈ線（波長λ＝404.7nm）を選んでいる。
　［全体諸元］の表において、ｆは、顕微鏡対物レンズの焦点距離を示す。βは、顕微鏡対物レンズの倍率を示す。ＮＡは、顕微鏡対物レンズの開口数を示す。ＷＤは、顕微鏡対物レンズの作動距離（ワーキングディスタンス）を示す。θｇＦ１Ｎは、第１レンズ群の接合レンズにおける負レンズの部分分散比を示す。θｇＦ３Ｐは、第３レンズ群の最も物体側の接合レンズにおける正レンズの部分分散比を示す。
　［レンズデータ］の表において、面番号は物体側からのレンズ面の順序を示し、Ｒは各面番号に対応する曲率半径（物体側に凸のレンズ面の場合を正の値としている）、Ｄは各面番号に対応する光軸上のレンズ厚もしくは空気間隔、ｎｄは各面番号に対応する光学材料のｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率、νｄは各面番号に対応する光学材料のｄ線を基準とするアッベ数、θｇＦは各面番号に対応する光学部材の材料の部分分散比をそれぞれ示す。曲率半径の「∞」は平面又は開口を示す。また、空気の屈折率ｎｄ＝1.00000の記載は省略している。
　光学部材の材料のｇ線（波長λ＝435.8nm）に対する屈折率をｎｇとし、光学部材の材料のＦ線（波長λ＝486.1nm）に対する屈折率をｎＦとし、光学部材の材料のＣ線（波長λ＝656.3nm）に対する屈折率をｎＣとする。このとき、光学部材の材料の部分分散比θｇＦは次式（Ａ）で定義される。
　θｇＦ＝（ｎｇ－ｎＦ）／（ｎＦ－ｎＣ）　　…（Ａ）
　［レンズ群データ］の表には、各レンズ群のそれぞれの始面（最も物体側の面）と焦点距離を示す。
　以下、全ての諸元値において、掲載されている焦点距離ｆ、曲率半径Ｒ、面間隔Ｄ、その他の長さ等は、特記のない場合一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。
　ここまでの表の説明は全ての実施例において共通であり、以下での重複する説明は省略する。
　（第１実施例）
　第１実施例について、図１～図３および表１を用いて説明する。図１は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す光路図である。第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（１）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（１）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２２１６とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、物体からの光束を集光する。また、第１レンズ群Ｇ１は、物体からの軸外光線をより光軸側に集める。第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ１１および物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２を接合してなる正の屈折力を有する接合レンズＣＬ１１から構成される。
　第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１からの光束を発散させる。第２レンズ群Ｇ２は、光軸に沿って物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ２１および両凹形状の負レンズＬ２２を接合してなる負の屈折力を有する接合レンズＣＬ２１から構成される。
　第３レンズ群Ｇ３は、第２レンズ群Ｇ２からの発散光束を平行光束にする。第３レンズ群Ｇ３は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凹形状の負レンズＬ３１および両凸形状の正レンズＬ３２を接合してなる第１接合レンズＣＬ３１と、両凹形状の負レンズＬ３３および両凸形状の正レンズＬ３４を接合してなる第２接合レンズＣＬ３２と、両凸形状の正レンズＬ３５と、から構成される。
　以下の表１に、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。
（表１）
［全体諸元］
　　　　ｆ＝100　　　　　　　　　 　　　　　　　β＝2倍
　　　ＮＡ＝0.1　　　　　　　　　 　　　　　　ＷＤ＝9.00
θｇＦ１Ｎ＝0.6319　　　　　　　　　　　θｇＦ３Ｐ＝0.6319
［レンズデータ］
　面番号　　　　Ｒ　　 　　Ｄ　　 　ｎｄ　　　νｄ　　θｇ
　　1　　　 　　∞　　　　0.170　　1.52216　　58.80
　　2　　　 　　∞　　　　9.000
　　3　　 　　18.606　　　5.002　　1.67300　　38.26　　
　　4　　　　-14.481　　　1.000　　1.66382　　27.35　　0.6319
　　5　 　　-221.845　　　7.083
　　6　　 　　20.393　　　2.682　　1.53172　　48.78
　　7　　　　-12.357　　　1.000　　1.59319　　67.90
　　8　　　　　7.645　 　18.512
　　9　　　　-23.591　　　1.000　　1.83481　　42.73
　　10　　　　18.490　　　1.884　　1.66382　　27.35　　0.6319
　　11　　　-289.431　　　3.859
　　12　 　　-77.261　　　1.000　　1.83400　　37.18
　　13　　　　35.655　　　3.668　　1.43425　　94.77
　　14　 　　-18.472　　　3.017
　　15　 　　252.747　　　5.424　　1.49782　　82.57
　　16　 　　-17.110　　 　―
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　3　　　　25.42
　G2　　　　6　　 　-19.35
　G3　　　　9　　　　63.66
　図２は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差を示す図である。図３は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差を示す図である。なお、各収差図は、顕微鏡対物レンズに第２対物レンズを組み合わせた状態での諸収差を示す。図２および図３の各収差図において、ｄはｄ線（波長λ＝587.6nm）、ＦはＦ線（波長λ＝486.1nm）、ｇはｇ線（波長λ＝435.8nm）、ｈはｈ線（波長λ＝404.7nm）に対する諸収差をそれぞれ示す。球面収差図において、縦軸は入射瞳半径の最大値を１として規格化して示した値を示し、横軸は各光線における収差の値［ｍｍ］を示す。倍率色収差を示す収差図において、縦軸は像高［ｍｍ］を示し、横軸は収差の値［ｍｍ］を示す。なお、以下に示す各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用い、重複する説明は省略する。
　各収差図より、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第２実施例）
　第２実施例について、図４～図６および表２を用いて説明する。図４は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す光路図である。第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（２）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（２）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２２１６とする。第２実施例における各レンズ群Ｇ１～Ｇ３は、第１実施例と同様に構成されるため、第１実施例の場合と同じ符号を付して、これらの各レンズの詳細な説明を省略する。
　以下の表２に、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。
（表２）
［全体諸元］
　　　　ｆ＝100　　　　　　　　　 　　　　　　　β＝2倍
　　　ＮＡ＝0.1　　　　　　　　　 　　　　　　ＷＤ＝9.00
θｇＦ１Ｎ＝0.6291　　　　　　　　　　　θｇＦ３Ｐ＝0.6319
［レンズデータ］
　面番号　　　　Ｒ　　 　　Ｄ　　 　ｎｄ　　　νｄ　　θｇＦ
　　1　　　 　　∞　　　　0.170　　1.52216　　58.80
　　2　　　 　　∞　　　　9.000
　　3　　 　　19.231　　　5.062　　1.67300　　38.26
　　4　　　　-14.923　　　1.000　　1.75575　　24.71　　0.6291
　　5　　　　-43.104　　　6.798
　　6　　 　　37.284　　　2.260　　1.53172　　48.78
　　7　　　　-13.393　　　1.000　　1.59319　　67.90
　　8　　　　　7.643　 　18.803
　　9　　　　-28.414　　　1.000　　1.83481　　42.73
　　10　　　　18.979　　　2.355　　1.66382　　27.35　　0.6319
　　11　　　-397.602　　　4.025
　　12　 　　-80.473　　　1.000　　1.83400　　37.18
　　13　　　　36.493　　　3.514　　1.43425　　94.77
　　14　 　　-19.325　　　3.410
　　15　 　　229.471　　　4.903　　1.49782　　82.57
　　16　 　　-17.582　　 　―
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　3　　　　22.02
　G2　　　　6　　 　-15.21
　G3　　　　9　　　　58.79
　図５は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差を示す図である。図６は、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差を示す図である。各収差図より、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
（第３実施例）
　第３実施例について、図７～図９および表３を用いて説明する。図７は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの構成を示す光路図である。第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（３）は、光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成される。第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ（３）の先端部と物体を覆うカバーガラスＣＶとの間は、空気で満たされている。なお、カバーガラスＣＶのｄ線（波長λ＝587.6nm）に対する屈折率は１．５２２１６とする。
　第１レンズ群Ｇ１は、物体からの光束を集光する。また、第１レンズ群Ｇ１は、物体からの軸外光線をより光軸側に集める。第１レンズ群Ｇ１は、光軸に沿って物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１および物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１２を接合してなる正の屈折力を有する接合レンズＣＬ１１から構成される。第３実施例における第２レンズ群Ｇ２および第３レンズ群Ｇ３は、第１実施例と同様に構成されるため、第１実施例の場合と同じ符号を付して、これらの各レンズの詳細な説明を省略する。
　以下の表３に、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。
（表３）
［全体諸元］
　　　　ｆ＝100　　　　　　　　　 　　　　　　　β＝2倍
　　　ＮＡ＝0.1　　　　　　　　　 　　　　　　ＷＤ＝8.95
θｇＦ１Ｎ＝0.6319　　　　　　　　　　　θｇＦ３Ｐ＝0.6319
［レンズデータ］
　面番号　　　　Ｒ　　 　　Ｄ　　 　ｎｄ　　　νｄ　　θｇＦ
　　1　　　 　　∞　　　　0.170　　1.52216　　58.80
　　2　　　 　　∞　　　　8.950
　　3　　 　　14.268　　　1.000　　1.66382　　27.35　　0.6319
　　4　　　　　9.446　　　4.819　　1.61266　　44.46
　　5　　　　528.106　　　7.296
　　6　　 　　23.325　　　2.911　　1.53172　　48.78
　　7　　 　　-8.772　　　1.000　　1.59240　　68.37
　　8　　　　　7.406　 　21.332
　　9　　　　-22.486　　　1.000　　1.88300　　40.69
　　10　　　　32.290　　　1.717　　1.66382　　27.35　　0.6319
　　11　　　-270.274　　　1.036
　　12　　　-207.121　　　1.000　　1.83481　　42.73
　　13　　　　35.026　　　3.679　　1.43384　　95.26
　　14　 　　-17.219　　　3.406
　　15　 　　279.391　　　4.984　　1.49782　　82.57
　　16　 　　-17.022　　 　―
［レンズ群データ］
　群　　　始面　　　焦点距離
　G1　　　　3　　　　24.83
　G2　　　　6　　 　-16.80
　G3　　　　9　　　　57.72
　図８は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差を示す図である。図９は、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの倍率色収差を示す図である。各収差図より、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズは、広い波長域において諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることがわかる。
　各実施例に係る顕微鏡対物レンズは、無限遠補正型のレンズであるため、顕微鏡対物レンズからの光を集光する第２対物レンズと組み合わせて使用される。そこで、顕微鏡対物レンズと組み合わせて使用される第２対物レンズの一例について、図１０および表４を用いて説明する。図１０は、各実施例に係る顕微鏡対物レンズと組み合わせて使用される第２対物レンズの構成を示す断面図である。各実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図は、この第２対物レンズと組み合わせて使用したときのものである。図１０に示す第２対物レンズＩＬは、光軸に沿って物体側から順に並んだ、両凸形状の正レンズＬ４１および両凹形状の負レンズＬ４２を接合してなる第１接合レンズＣＬ４１と、両凸形状の正レンズＬ４３および両凹形状の負レンズＬ４４を接合してなる第２接合レンズＣＬ４２と、から構成される。
　以下の表４に、第２対物レンズの諸元の値を掲げる。なお、［レンズデータ］の表において、面番号、Ｒ、Ｄ、ｎｄ、およびνｄは、前述の表１～表３の説明で示したものと同じである。
（表４）
［レンズデータ］
　面番号　　　　Ｒ　　 　　Ｄ　　 　ｎｄ　　　νｄ
　　1　　 　　75.043　　　5.100　　1.62280　　57.03
　　2　　　　-75.043　　　2.000　　1.74950　　35.19
　　3　　 　1600.580　　　7.500
　　4　　 　　50.256　　　5.100　　1.66755　　41.96
　　5　　　　-84.541　　　1.800　　1.61266　　44.40
　　6　　 　　36.911　　 　―
　次に、［条件式対応値］の表を下記に示す。この表には、各条件式（１）～（８）に対応する値を、全実施例（第１～第３実施例）について纏めて示す。
　条件式（１）　　　０．６２５＜θｇＦ１Ｎ＜０．７２５
　条件式（２）　　　２２．５＜νｄ１Ｎ＜３０
　条件式（２－１）　２３＜νｄ１Ｎ＜２９
　条件式（３）　　　－３＜（Ｒｃ２＋Ｒｃ１）／（Ｒｃ２－Ｒｃ１）＜－１
　条件式（４）　　　－３５＜νｄ３Ｐ－νｄ３Ｎ＜０
　条件式（５）　　　０．６＜θｇＦ３Ｐ＜０．７
　条件式（６）　　　０．０２２＜θｇＦ１Ｎ－（０．６４５－０．００１７×νｄ１Ｎ）＜０．１２５
　条件式（７）　　　０．０２＜θｇＦ３Ｐ－（０．６４５－０．００１７×νｄ３Ｐ）＜０．１２
　条件式（８）　　　２０＜νｄ３Ｐ＜３５
　［条件式対応値］
　条件式　　　　　　　第１実施例　第２実施例　第３実施例
　（１）　　　　　　　　0.6319　　　0.6291　　　0.6319
　（２）（２－１）　 　27.35　　 　24.71　　 　27.35
　（３）　　　　　　 　-2.199　　　-1.516　　　-1.93
　（４）　　　　　　　-15.38　　　-15.38　　　-13.34
　（５）　　　　　　　　0.6319　　　0.6319　　　0.6319
　（６）　　　　　　　　0.0334　　　0.0261　　　0.0334
　（７）　　　　　　　　0.0334　　　0.0334　　　0.0334
　（８）　　　　　 　　27.35　　 　27.35　　 　27.35
　上記各実施例によれば、広い波長域において倍率色収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを実現することができる。
　ここで、上記各実施例は本実施形態の一具体例を示しているものであり、本実施形態はこれらに限定されるものではない。
　Ｇ１　第１レンズ群　　　　　　　　　　　Ｇ２　第２レンズ群
　Ｇ３　第３レンズ群

Claims (9)

  1. 　光軸に沿って物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とからなり、
    　前記第１レンズ群は、負レンズを含む接合レンズを有し、物体からの光束を集光し、
    　前記第２レンズ群は、前記第１レンズ群からの光束を発散させ、
    　前記第３レンズ群は、前記第２レンズ群からの発散光束を平行光束にし、
    　以下の条件式を満足する顕微鏡対物レンズ。
    　０．６２５＜θｇＦ１Ｎ＜０．７２５
    　２２．５＜νｄ１Ｎ＜３０
    　但し、νｄ１Ｎ：前記第１レンズ群の前記接合レンズにおける前記負レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦ１Ｎ：前記第１レンズ群の前記接合レンズにおける前記負レンズの部分分散比であり、前記負レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ１Ｎとし、前記負レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ１Ｎとし、前記負レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ１Ｎとしたとき、次式で定義される
    　θｇＦ１Ｎ＝（ｎｇ１Ｎ－ｎＦ１Ｎ）／（ｎＦ１Ｎ－ｎＣ１Ｎ）
  2. 　以下の条件式を満足する請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　２３＜νｄ１Ｎ＜２９
  3. 　前記第２レンズ群は、負の屈折力を有する接合レンズを有し、
    　以下の条件式を満足する請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　－３＜（Ｒｃ２＋Ｒｃ１）／（Ｒｃ２－Ｒｃ１）＜－１
    　但し、Ｒｃ１：前記第２レンズ群の前記接合レンズにおける最も物体側のレンズ面の曲率半径
    　　　　Ｒｃ２：前記第２レンズ群の前記接合レンズにおける最も像側のレンズ面の曲率半径
  4. 　前記第３レンズ群は、接合レンズを１つ以上有し、
    　前記第３レンズ群の前記接合レンズは、２枚のレンズからなる請求項１～３のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  5. 　前記第３レンズ群は、正レンズと負レンズとを含む接合レンズを有し、
    　以下の条件式を満足する請求項１～４のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　－３５＜νｄ３Ｐ－νｄ３Ｎ＜０
    　０．６＜θｇＦ３Ｐ＜０．７
    　但し、νｄ３Ｐ：前記第３レンズ群の前記接合レンズにおける前記正レンズのアッベ数
    　　　　νｄ３Ｎ：前記第３レンズ群の前記接合レンズにおける前記負レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦ３Ｐ：前記第３レンズ群の前記接合レンズにおける前記正レンズの部分分散比であり、前記正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ３Ｐとし、前記正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ３Ｐとし、前記正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ３Ｐとしたとき、次式で定義される
    　θｇＦ３Ｐ＝（ｎｇ３Ｐ－ｎＦ３Ｐ）／（ｎＦ３Ｐ－ｎＣ３Ｐ）
  6. 　以下の条件式を満足する請求項１～５のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　０．０２２＜θｇＦ１Ｎ－（０．６４５－０．００１７×νｄ１Ｎ）＜０．１２５
  7. 　前記第３レンズ群は、正レンズを含む接合レンズを有し、
    　以下の条件式を満足する請求項１～６のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
    　０．０２＜θｇＦ３Ｐ－（０．６４５－０．００１７×νｄ３Ｐ）＜０．１２
    　２０＜νｄ３Ｐ＜３５
    　但し、νｄ３Ｐ：前記第３レンズ群の前記接合レンズにおける前記正レンズのアッベ数
    　　　　θｇＦ３Ｐ：前記第３レンズ群の前記接合レンズにおける前記正レンズの部分分散比であり、前記正レンズのｇ線に対する屈折率をｎｇ３Ｐとし、前記正レンズのＦ線に対する屈折率をｎＦ３Ｐとし、前記正レンズのＣ線に対する屈折率をｎＣ３Ｐとしたとき、次式で定義される
    　θｇＦ３Ｐ＝（ｎｇ３Ｐ－ｎＦ３Ｐ）／（ｎＦ３Ｐ－ｎＣ３Ｐ）
  8. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズと、前記顕微鏡対物レンズからの光を集光する第２対物レンズとを備える顕微鏡光学系。
  9. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズを備える顕微鏡装置。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003337285A (ja) * 2002-05-21 2003-11-28 Nikon Corp 液浸系アポクロマート顕微鏡対物レンズ
JP2004219537A (ja) * 2003-01-10 2004-08-05 Nikon Engineering Co Ltd 共焦点顕微鏡
JP2007011092A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Nikon Corp 対物レンズ
JP2010160371A (ja) * 2009-01-09 2010-07-22 Nikon Corp 共焦点顕微鏡
JP2012252037A (ja) * 2011-05-31 2012-12-20 Olympus Corp ズーム結像光学系、及び、それを備えた顕微鏡

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003337285A (ja) * 2002-05-21 2003-11-28 Nikon Corp 液浸系アポクロマート顕微鏡対物レンズ
JP2004219537A (ja) * 2003-01-10 2004-08-05 Nikon Engineering Co Ltd 共焦点顕微鏡
JP2007011092A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Nikon Corp 対物レンズ
JP2010160371A (ja) * 2009-01-09 2010-07-22 Nikon Corp 共焦点顕微鏡
JP2012252037A (ja) * 2011-05-31 2012-12-20 Olympus Corp ズーム結像光学系、及び、それを備えた顕微鏡

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