JP4862368B2 - ズーム顕微鏡 - Google Patents
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また、無限遠補正型のズーム対物レンズを通常の顕微鏡のレボルバに取り付け、ズーム対物レンズと顕微鏡の結像レンズとの組み合わせにより、ズーム顕微鏡を構築することも提案されている(例えば特許文献2参照)。このような構成では、ズーム対物レンズの中の変倍用のレンズ群を光軸方向に沿って移動させることにより、標本の像の観察倍率を任意に変更できる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のズーム顕微鏡において、前記アフォーカルズーム系は標本側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、弱い正の屈折力を有する第4レンズ群とで構成され、前記第2レンズ群及び前記第3レンズ群を光軸方向に移動させる。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載のズーム顕微鏡において、前記アフォーカルズーム系は、低倍端状態における前記第2レンズ群の倍率をβ2Lとして以下の条件式−0.1<β2L<−0.3を満足する。
請求項4に記載の発明は、請求項2または請求項3に記載のズーム顕微鏡において、前記アフォーカルズーム系は、低倍端状態における前記第3レンズ群の倍率をβ3Lとして以下の条件式−0.01<1/β3L<0.04を満足する。
請求項5に記載の発明は、請求項1から請求項4の何れか1項に記載のズーム顕微鏡において、前記アフォーカルズーム系は、光軸方向に沿って移動可能な変倍用のレンズ群を有し、前記開口絞りは、前記変倍用のレンズ群の移動に応じて絞り径が可変であるものである。
請求項7に記載の発明は、請求項1から請求項6の何れか1項に記載のズーム顕微鏡において、前記対物レンズを交換可能に保持する保持部材を備え、前記開口絞りは、前記保持部材の像側に配置されるものである。
(第1実施形態)
第1実施形態のズーム顕微鏡10は、図1に示す通り、標本10Aの側から順に、対物レンズ11と、開口絞り12と、アフォーカルズーム系13と、結像光学系14とが配置されたものである。標本10Aの各点から発生した光束は、対物レンズ11を介して平行光束に変換され、アフォーカルズーム系13を介して変倍され、結像光学系14を介して集光されて、像面10Bに到達する。
そして、低倍の対物レンズ11(1)を光軸上に配置したときには、対物レンズ11(1)の物体側のテレセントリック性を保ちながら、対物レンズ11(1)の焦点距離と(結像光学系14を組み合わせた)アフォーカルズーム系13の焦点距離との比に応じて、標本10Aの像の観察倍率を変更できる。同様に、高倍の対物レンズ11(2)を光軸上に配置したときには、対物レンズ11(2)の物体側のテレセントリック性を保ちながら、対物レンズ11(2)の焦点距離と(結像光学系14を組み合わせた)アフォーカルズーム系13の焦点距離との比に応じて、標本10Aの像の観察倍率を変更できる。
そして、交換可能な対物レンズ11の1つとして極低倍の対物レンズ(例えば0.5倍の対物レンズ))を用いることにより、簡素な構成で、変倍域を極低倍域(0.5倍〜2倍程度)まで拡大することができる。この場合、ズーム顕微鏡10は“マクロズーム顕微鏡”として機能し、標本10Aのマクロ観察も可能となる。マクロ観察では、例えば金属の標本や機械部品(歯車など)のように比較的大きな標本10Aの観察が行われる。標本10Aの厚さ変化に対応するには、対物レンズ11から結像光学系14までの観察光学系を全体的に上下動させればよい。
また、第1実施形態のズーム顕微鏡10では、アフォーカルズーム系13の前後(つまり対物レンズ11とアフォーカルズーム系13との間やアフォーカルズーム系13と結像光学系14との間)に、同軸落射照明装置や蛍光落射照明装置や写真鏡筒などを組み込むことにより、広い変倍域で(低倍域でも)多彩な観察方法を実現できる。なお、透明な標本10Aを観察する場合には、標本10Aの下方(対物レンズ11とは反対側)に透過照明装置を配置すればよい。
−0.1<β2L<−0.3 …(1)
条件式(1)の下限値を下回ると、第2レンズ群G2の移動量が大きくなり、変倍用のレンズ群(G2,G3)を移動させるための機構が大型化・複雑化するため、好ましくない。なお、同じ条件下で第2レンズ群G2の移動量を小さくするには、第2レンズ群G2の屈折力を強くしなければならず、この場合、画面周辺部の収差補正が困難となる。一方、条件式(1)の上限値を上回ると、低倍率側での第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔が大きくなる。このため、第3レンズ群G3に入射する周辺光束の入射高が高くなり、第3レンズ群G3が大型化し、好ましくない。したがって、条件式(1)を満足することにより、アフォーカルズーム系13の小型化、特に第2レンズ群G2の移動量を適切な値とし、第3レンズ群G3の小型化を達成することができる。
−0.01<1/β3L<0.04 …(2)
条件式(2)の下限値を下回ると、第3レンズ群G3の屈折力が強くなり、低倍率側での画面周辺部の収差補正が困難となる。一方、条件式(2)の上限値を上回ると、第3レンズ群G3の屈折力が弱くなり、第4レンズ群G4に入射する周辺光束の入射高が高くなるため、第4レンズ群G4が大型化し、好ましくない。したがって、条件式(2)を満足することにより、アフォーカルズーム系13の小型化、特に第4レンズ群G4の小型化と、低倍率側での画面周辺部において良好な光学性能を達成することができる。
0.05<Ymax/fL<0.16 …(3)
条件式(3)の下限値を下回ると、最大像高に対して低倍端状態における(結像光学系14と組み合わせた)アフォーカルズーム系13の焦点距離が長くなる。このため、極低倍(0.5倍)の対物レンズの焦点距離も長くなり、極低倍観察を行う際のズーム顕微鏡システムが大型化し、好ましくない。一方、条件式(3)の上限値を上回ると、低倍率側での像最周辺の光束がアフォーカルズーム系13へ入射する角度が大きくなり、第3レンズ群G3,第4レンズ群G4が大型化すると共に、画面周辺部の収差補正が困難となり、好ましくない。したがって、条件式(3)を満足することにより、極低倍観察を行う際のズーム顕微鏡システムの小型化と、低倍率側での画面周辺部において良好な光学性能を達成することができる。
対物レンズ11は、図4に示す通り、物体側(図の左方)から順に、平板ガラス21、両凸レンズ22、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズ23、両凸レンズ24と両凹レンズ25との接合レンズ、両凹レンズ26と両凸レンズ27との接合レンズ、および、両凸レンズ28が配置されたものである。この対物レンズ11の倍率は1倍である。平板ガラス21には、同軸落射照明を想定する場合、1/4波長板が用いられる。同軸落射照明を想定しない場合には、平板ガラス21としてダミーガラス(保護ガラス)を用いることが好ましい。
(1) β2L =−0.217
(2) 1/β3L= 0.008
(3) Ymax/fL= 0.110
結像光学系14は、図6に示す通り、4枚のレンズ61〜64により構成される。また、図6に示す結像光学系14の諸元値を表3に例示する。表3において、面番号1は鏡筒胴付面(PL)に対応し、面番号2〜7は物体側から順に付したレンズ面の番号である。最も物体側の面から鏡筒胴付面(PL)までの距離は1mmである。fは結像光学系14の焦点距離、Bfは最も像側の面から像面までの距離を示す。
第2実施形態のズーム顕微鏡40は、図10に示す通り、第1実施形態のズーム顕微鏡10(図1)のアフォーカルズーム系13と結像光学系14との間に、同軸落射照明装置(43〜46)を設けたものである。このズーム顕微鏡40は、工業用途での不透明な標本10Aの垂直観察(画像取得)に用いられる。
第3実施形態のズーム顕微鏡50は、図11に示す通り、第1実施形態のズーム顕微鏡10(図1)の対物レンズ11と開口絞り12との間に、蛍光落射照明装置(51〜56)を設けたものである。このズーム顕微鏡50は、生体標本のように蛍光物質で標識された標本10Aからの微弱光に基づく垂直観察(画像取得)に用いられる。
(第4実施形態)
ここでは、3群構成のアフォーカルズーム系70について説明する。
アフォーカルズーム系70は、図12に示す通り、3つのレンズ群G1,G2,G3からなる。さらに、第1レンズ群G1は、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズ71と両凸レンズ72との接合レンズ、および、物体に凸面を向けた正メニスカスレンズ73からなる。第2レンズ群G2は、両凹レンズ74、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ75と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズ76との接合レンズ、および、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズからなる。第3レンズ群G3は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ78、両凸レンズ79と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズ80との接合レンズからなる。
(1)β2L =−0.221
(2)1/β3L= 0.000
(3) Ymax/fL= 0.110
さらに、表4の諸元値に基づくアフォーカルズーム系70および開口絞り12と、表3の諸元値に基づく結像光学系14とを備えたズーム顕微鏡において、その諸収差(球面収差,非点収差,歪曲収差,倍率色収差,コマ収差)を図13〜図15に示す。図13は低倍端状態(f=100)、図14は中間状態(f=250)、図15は高倍端状態(f=750)に対応している。図からも明らかなように、3群構成のアフォーカルズーム系70を備えたズーム顕微鏡は諸収差が良好に補正されている。
ここでは、上記の構成において瞳を像側に出した無限遠系の対物レンズ90(図16)について説明する。対物レンズ90は、上記した対物レンズ11の代わりに用いることができる。
低倍で観察を行う場合、実視野が大きくなる。即ち、物体高が大きくなり、レンズを通過する光軸上の光束と周辺光束の高さの差が大きくなるため、結像に係わる通常の収差に加え、瞳の収差、色収差の補正は格段に困難となってくる。そして、既に述べた如く、落射照明観察を行う場合等、視野周辺まで均一な明るさで、パースペクティブが無く、物体の位置変化に対する像の倍率変動を小さく抑えるためには、物体側に略テレセントリックに照明される必要がある。
−0.3 < α < 0.3 …(4)
但し、αは、物体上任意の位置における主光線が光軸となす角度(単位は度)である。
この条件式(4)の範囲外では、落射照明時に照明ムラが発生してしまい均一な明るさの像を得ることが出来ない。また条件式(4)の上限を外れると、レンズ径が大きくなり過ぎ、システム構成上問題となる。
対物レンズ90は、物体側より順に、第1レンズ群G1、第2レンズ群G2、第3レンズ群G3で構成される。第1レンズ群G1は、両凸レンズである第1レンズ成分L11と、物体側に凸面を向けた正屈折力の接合メニスカスレンズである、レンズL12とレンズL13とから成る第2レンズ成分ML1とで構成される。第2レンズ群G2は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズである第3レンズ成分L21および、レンズL22とレンズL23とより成る第4レンズ成分ML2、レンズL24とレンズL25とより成る第5レンズ成分ML3の、2つのメニスカス形状接合レンズより構成される。ML2およびML3は、互いに凹面が向かい合うように配置されている。第3レンズ群G3は、像側により屈折力の大きな面を有する両凸レンズである第6レンズ成分L31で構成されている。
以下、表5に対物レンズ90の諸元値を示す。表5において、βは対応倍率、NAは物体側開口数、Fは対物レンズ全系の合成焦点距離(単位mm)、D0は物体から第1レンズ面までの距離(単位mm)である。左端の数字は物体側からの順序を表し、Rは各レンズ面の曲率半径(単位mm)、Dはレンズ厚および各レンズ面間隔(単位mm)、ndはd線(λ=587.562nm)に対する屈折率、νdは各レンズ硝材のアッベ数である。
図17は、対物レンズ90に後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が100mmの理想レンズとして計算された、球面収差、非点収差、歪曲収差およびコマ収差の収差図である。図17に示すように、第5実施形態の対物レンズ90では、d線(587.562nm)、C線(656.273nm)、F線(486.133nm)、g線(435.835nm)の各波長においてNA=0.015、視野数22まで良好に補正されている。
図19は、対物レンズ90に後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が750mmの理想レンズとして計算された諸収差図である。図19に示すように第5実施形態の対物レンズ90では、d線、C線、F線、g線の各波長においてNA=0.05、視野数22まで良好に補正されている。
(変形例)
なお、上記した実施形態では、開口絞り12の絞り径が変倍用のレンズ群(G2,G3)の移動に応じて可変である例を説明したが、本発明はこれに限定されない。絞り径を一定にした状態で変倍用のレンズ群(G2,G3)を移動させる場合にも、本発明を適用できる。
10A 標本
10B 像面
11 対物レンズ
12 開口絞り
13,70 アフォーカルズーム系
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
G4 第4レンズ群
14 結像光学系
43,51 ファイバ光源
44,52 コレクタレンズ
45,53 リレーレンズ
46 ビームスプリッタ
54 励起フィルタ
55 ダイクロイックミラー
56 バリアフィルタ
Claims (8)
- 標本側から順に、交換可能な無限遠補正型の対物レンズと、開口絞りと、アフォーカルズーム系と、結像光学系とが配置され、
前記開口絞りは、前記対物レンズの後側焦点面またはその近傍に配置され、
低倍端状態における前記結像光学系と組み合わせた前記アフォーカルズーム系の焦点距離をfL、最大像高をYmaxとして、次の条件式を満足することを特徴とするズーム顕微鏡。
0.05<Ymax/fL<0.16 - 請求項1に記載のズーム顕微鏡において、
前記アフォーカルズーム系は標本側から順に、
正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、弱い正の屈折力を有する第4レンズ群とで構成され、
前記第2レンズ群及び前記第3レンズ群を光軸方向に移動させることを特徴とするズーム顕微鏡。 - 請求項2に記載のズーム顕微鏡において、
前記アフォーカルズーム系は、
低倍端状態における前記第2レンズ群の倍率をβ2Lとして以下の条件式を満足することを特徴とするズーム顕微鏡。
−0.1<β2L<−0.3 - 請求項2または請求項3に記載のズーム顕微鏡において、
前記アフォーカルズーム系は、
低倍端状態における前記第3レンズ群の倍率をβ3Lとして以下の条件式を満足することを特徴とするズーム顕微鏡。
−0.01<1/β3L<0.04 - 請求項1から請求項4の何れか1項に記載のズーム顕微鏡において、
前記アフォーカルズーム系は、光軸方向に沿って移動可能な変倍用のレンズ群を有し、
前記開口絞りは、前記変倍用のレンズ群の移動に応じて絞り径が可変である
ことを特徴とするズーム顕微鏡。 - 請求項1から請求項5の何れか1項に記載のズーム顕微鏡において、
前記アフォーカルズーム系と前記結像光学系との間に、光源像を前記開口絞りまたはその近傍に形成する同軸落射照明手段が配置される
ことを特徴とするズーム顕微鏡。 - 請求項1から請求項6の何れか1項に記載のズーム顕微鏡において、
前記対物レンズを交換可能に保持する保持部材を備え、
前記開口絞りは、前記保持部材の像側に配置される
ことを特徴とするズーム顕微鏡。 - 請求項1から請求項7の何れか1項に記載のズーム顕微鏡において、
前記対物レンズは、物体側より順に、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第2レンズ群と、全体として正の屈折力を有する第3レンズ群とより構成され、
前記第1レンズ群は、正屈折力を有する物体側に凸面を向けたメニスカス形状の単レンズまたは正屈折力を有する物体側に凸面を向けたメニスカス形状の接合レンズを含み、
前記第2レンズ群は,少なくとも1つの接合レンズを含み、物体側に略テレセントリックであり、
前記対物レンズは、物体上任意の位置における主光線が光軸となす角度をα(単位は度)として、以下の条件式を満たすことを特徴とするズーム顕微鏡。
−0.3<α<0.3
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