JP2004184825A - ズーム結像レンズ及びそれを用いた顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定された無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用される、ズーム結像レンズを提供する。
【解決手段】物体側から順に、開口絞りSPと、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とから構成され、前記第2レンズ群G2および前記第3レンズ群G3を光軸方向に移動することにより変倍するズーム結像レンズZLにおいて、第1レンズ群G1は1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成され、低倍端状態における第3レンズ群G3の倍率をβ3Lとしたとき、次式
−0.03<1/β3L<0.01 (1)
で表される条件を満足するように構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】物体側から順に、開口絞りSPと、正の屈折力を有する第1レンズ群G1と、負の屈折力を有する第2レンズ群G2と、正の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とから構成され、前記第2レンズ群G2および前記第3レンズ群G3を光軸方向に移動することにより変倍するズーム結像レンズZLにおいて、第1レンズ群G1は1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成され、低倍端状態における第3レンズ群G3の倍率をβ3Lとしたとき、次式
−0.03<1/β3L<0.01 (1)
で表される条件を満足するように構成する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はズーム結像レンズに関し、さらに詳細には無限遠補正型顕微鏡システム、特にCCD等の撮像素子を使用する電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用されるズーム結像レンズ、及びそれを用いた顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
無限遠補正型顕微鏡システムの第2結像レンズに使用されるズームレンズとしては、例えば、特許文献1又は特許文献2に開示されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−18784号公報
【特許文献2】
特開平7−56087号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし特許文献1又は特許文献2に開示された顕微鏡の場合、ズームレンズ部は一般的な正負負正の4群ズームレンズの構成をしており、開口絞りは多くの場合、第2〜第3群間、又は第3〜第4群間にある。この場合、対物レンズ側からみた瞳位置は遠くなり、且つ変倍に伴い瞳位置は移動してしまう。このため、対物レンズは実体顕微鏡用の対物レンズの様に、瞳位置の移動を考慮した収差補正が必要となり、対物レンズの構成が複雑になるという課題があった。
【0005】
また、対物レンズ系を通して落射照明を行う場合、瞳位置が移動することにより、照明光学系との瞳位置の関係が変化し、照明光にケラレが生じ、照明の効率が悪化するという課題もあった。
【0006】
さらに、近年では小型の固体撮像素子を用いて撮影された電子画像が一般的になり、顕微鏡の分野においても用いられている。通常、顕微鏡において電子画像の撮影を行う場合、接眼レンズ部と別の光路に分けた撮影ポート部に撮影機器を設置し撮影していた。しかし、電子画像を撮影することを主目的とした場合、通常の顕微鏡では、撮像素子に対して視野がかなり大きく、装置全体が大型化してしまうという課題もあった。
【0007】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定された無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用される、ズーム結像レンズを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明に係るズーム結像レンズは、物体側から順に、開口絞りと、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とから構成され、第2レンズ群及び第3レンズ群を光軸方向に移動することにより変倍するズーム結像レンズにおいて、第1レンズ群は1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成され、低倍端状態における第3レンズ群の倍率をβ3Lとしたとき、式−0.03<1/β3L<0.01で表される条件を満足するように構成される。
【0009】
なお、低倍端状態における第2レンズ群の倍率をβ2Lとしたとき、式−0.6<β2L<−0.15で表される条件を満足するように構成されることが好ましい。
【0010】
また、ズーム比をZ、開口絞りから像面までの距離をTLとしたとき、式0.02<Z/TL<0.06で表される条件を満足するように構成されることが好ましい。
【0011】
さらに、第4レンズ群は正の屈折力を有する前群と、負の屈折力を有する後群とから構成され、後群の倍率をβ4Rとしたとき、式0.15<1/β4R<0.85で表される条件を満足するように構成されることが好ましい。
【0012】
本発明に係る顕微鏡は、物体側より順に、対物レンズ系と、上述のズーム結像レンズと、撮像手段とを備え、対物レンズ系の瞳位置がズーム結像レンズの開口絞りと同じ位置かその近傍となるように配置されるように構成される。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係るズーム結像レンズZLは、図1に示す通り、物体側から順に、開口絞りSPと、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3及び第4レンズ群G4から構成されている。開口絞りSPは、後述する対物レンズ系OBJの瞳位置近傍となるように配置され、変倍中固定されている。第1レンズ群G1は正の屈折力を有し、1枚の正レンズL1と1枚の負レンズL2とからなり変倍中固定されている。第2レンズ群G2は負の屈折力を有し、第3レンズ群G3は正の屈折力を有し、互いに光軸に沿って移動することにより変倍、及び変倍による像面位置変動の補正を行う。さらに第4レンズ群G4は正の屈折力を有し、変倍中は像面に対し固定である。
【0014】
ここで本発明の目的である、小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定の無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用されるズーム結像レンズを提供するために、本発明では以下の条件式(1)を満足する事が望ましい。
【0015】
【数1】
−0.03<1/β3L<0.01 (1)
但し、
β3L:低倍端状態における第3レンズ群G3の倍率
【0016】
条件式(1)は低倍率側での画面周辺部において良好な光学性能と、ズーム結像レンズZLの小型化、特に第4レンズ群G4の小型化を達成するための条件である。条件式(1)の下限値を下回ると、第3レンズ群G3の屈折力が強くなり、低倍率側での画面周辺部の収差補正が困難となる。条件式(1)の上限値を上回ると、第3レンズ群G3の屈折力が弱くなり、第4レンズ群G4に入射する周辺光束の入射高が高くなるため、第4レンズ群G4が大型化し、好ましくない。
【0017】
また、本発明においては次の条件式(2)を満足する事が望ましい。
【0018】
【数2】
−0.6<β2L<−0.15 (2)
但し、
β2L:低倍端状態における前記第2レンズ群G2の倍率
【0019】
条件式(2)はズーム結像レンズZLの小型化、特に第2レンズ群G2の移動量を適切な値とし、第3レンズ群G3の小型化を達成するための条件である。条件式(2)の下限値を下回ると、低倍率側での第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔が大きくなる。このため、第3レンズ群G3に入射する周辺光束の入射高が高くなるため、第3レンズ群G3が大型化し、好ましくない。条件式(2)の上限値を上回ると、第2レンズ群G2の移動量が大きくなり、変倍のための第2レンズ群G2、第3レンズ群G3を移動させるための機構が大型化、複雑化し、好ましくない。また、同条件下で移動量を小さくするためには、第2レンズ群G2の屈折力を強くしなければならず、この場合、画面周辺部の収差補正が困難となる。
【0020】
また、本発明では以下の条件式(3)を満足する事が望ましい。
【0021】
【数3】
0.02<Z/TL<0.06 (3)
但し、
Z :ズーム結像レンズのズーム比
TL :開口絞りから像面までの距離
【0022】
条件式(3)はズーム倍率が大きく、且つレンズ全長が短いズーム結像レンズZLを得るための条件である。条件式(3)の下限値を下回ると、ズーム倍率と比較してレンズ全長が長くなるため、顕微鏡システム全体の小型化が困難となる。条件式(3)の上限値を上回ると、各レンズ群G1〜G4の屈折力が強くなる様に構成することになり、良好な光学性能を得るための収差補正が困難となり好ましくない。
【0023】
また、本発明では、さらに良好な光学性能を有したレンズ全長の短いズーム結像レンズを得るため、第4レンズ群G4は正の屈折力を有する前群G4Fと、負の屈折力を有する後群G4Rとから構成されことが好ましい。これは第4レンズ群の全長を、第4レンズ群の焦点距離よりも短くするためであり、一般的に望遠タイプと呼ばれる構成である。この場合、次の条件式(4)を満足する事がより望ましい。
【0024】
【数4】
0.15<1/β4R<0.85 (4)
但し、
β4R:後群G4Rの倍率
【0025】
条件式(4)の下限値を下回ると、第4レンズ群G4内の前群G4Fと後群G4Rの屈折力が強くなるため、良好な収差補正が困難となる。条件式(4)の上限値を上回ると、第4レンズ群G4の焦点距離に対して、第4レンズ群4の全長を小さくできず、ズーム結像レンズZL全系が大型化し、好ましくない。
【0026】
また、本発明では第1レンズ群G1は1枚の正レンズと1枚の負レンズとから構成されているが、この場合、次の条件式(4)を満足する事がより望ましい。
【0027】
【数5】
0.8<f1/fL<2.5 (5)
但し、
f1 :第1レンズ群G1の焦点距離
fL :ズーム結像レンズ全系の低倍端状態での焦点距離
【0028】
条件式(5)は第1レンズ群G1の最適な屈折力を規定するための条件である。条件式(5)の下限値を下回ると、第1レンズ群G1の屈折力が強くなり、高倍率側での球面収差、及び軸上色収差の補正が困難となる。条件式(4)の上限値を上回ると、ズーム結像レンズZLの全系が大型化し、好ましくない。
【0029】
また、本発明では、小型化、簡略化のため、第3レンズ群G3は1枚、乃至2枚の正レンズで構成されることが望ましく、さらにこの場合、色収差を良好に補正するため、次の条件式(6)を満足する事がより望ましい。
【0030】
【数6】
ν3>62 (6)
但し、
ν3 :第3レンズ群G3の正レンズに使用される硝材のアッベ数
【0031】
条件式(6)を満足することにより、第3レンズ群G3を色消し接合レンズで構成しなくとも、ズーム結像レンズZLの全系の色収差を良好に補正することが可能となる。
【0032】
また、本発明では各変倍域での最適な開口数を得るために、ズーム結像レンズZLの変倍に連動する開口絞り径の可変機構を備えていることが望ましく、さらに、光学設計上の自由度を上げるため、ズーム結像レンズZLの変倍に対して非線形に連動することがより望ましい。また、焦点深度の調整を行うためには、ズーム結像レンズZLの変倍に連動する開口絞り径の可変機構とは別に、ズーム結像レンズZLの変倍に連動せずに開口絞り径を変更可能な可変機構を備えていることがより望ましい。
【0033】
また、本発明では落射照明を行う場合、開口絞りSPと第1レンズ群G1の最も開口絞りSP側の面との間に、ハーフミラーまたはハーフビームスプリッタ等を挿入し、ズーム結像レンズZLの側方より、照明光を導入するように構成することが望ましく、さらに、この場合、照明光を導入するための有効な空間を確保するために、次の条件式(7)を満足することがより望ましい。
【0034】
【数7】
1.2<d/P<2 (7)
但し、
P=fH/FNH
d:開口絞りSPから第1レンズ群G1の最も開口絞り側の面までの
距離
fH:ズーム結像レンズZL全系の高倍端状態での焦点距離
FNH:ズーム結像レンズZL全系の高倍端状態でのFナンバー
【0035】
条件式(7)の下限値を下回ると、開口絞り径を満たす照明光束を開口絞りSPから第1レンズ群G1の最も開口絞りSP側の面までの空間に導入することが困難となり、好ましくない。条件式(7)の上限値を上回ると、入射瞳位置が遠くなるため、ズーム結像レンズZL全系が大型化し、好ましくない。
【0036】
また本発明は、図21に示すように、物体側より順に、対物レンズ系OBJと、上述のズーム結像レンズZLと、撮像手段(図示せず)とを備え、前記対物レンズ系OBJの瞳位置が前記ズーム結像レンズZLの開口絞りSP近傍となるように配置されることを特徴とする顕微鏡を提供する。
【0037】
上記構成の顕微鏡では、固体撮像素子等の撮像手段からの画像情報を、液晶表示素子等の表示手段に表示することにより、接眼レンズを使用することなく、顕微鏡画像の観察が可能となり、且つ電子画像の撮影も簡便に行える、小型の電子画像顕微鏡を得る事が出来る。
【0038】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。下記第1〜第5実施例ともに、物体から順に、開口絞りSP、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、負の屈折力を有する第2レンズ群G2、正の屈折力を有する第3レンズ群G3、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを備え、前記第2レンズ群G2と前記第3レンズ群G3とを光軸方向に移動させて変倍を行い、前記第1レンズ群G1と前記第4レンズ群G4は変倍中固定である。また、第1レンズ群G1は、1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成される。また第4レンズ群G4は、正の屈折力を有する前群G4Fと、負の屈折力を有する後群G2Rとで構成される。さらに、物体側には、瞳位置を開口絞りSPとほぼ一致させるように対物レンズ系OBJが配置される。
【0039】
(第1実施例)
図1は、第1実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL1と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL2との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3と両凹レンズL4との接合レンズと、両凹レンズL5とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL6からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL7と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL8との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL9とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL10と両凹レンズL11との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0040】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0041】
以下の表1に、第1実施例の諸元の値を示す。表中fはd0=∞時のレンズ全系の焦点距離、FnoはFナンバーを示す。また、面番号は拡大側から数えたレンズ面の番号、rはレンズ面の曲率半径、dはレンズ面間隔、nはd線(587nm)の屈折率、νはアッベ数、SPは絞りをそれぞれ表している。かかる符号は以下全ての実施例において同様である。なお、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離f、曲率半径r、面間隔dその他の長さの単位は、特記の無い場合一般に「mm」が使われるが、光学系は比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「mm」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【0042】
【表1】
f=75.0〜750.0Fno=25.0〜50.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.001
(2) β2L =−0.256
(3) Z/TL = 0.042
(4) 1/β4R= 0.357
(5) f1/fL= 1.067
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0043】
図2〜図4は、第1実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=230)における諸収差図、高倍端状態(f=750)における諸収差図をそれぞれ示している。各収差図において、FnoはFナンバー、Yは像高、dはd線(λ=587nm)及びgはg線(λ=436nm)を示している。かかる符号は以下全ての実施例の諸収差図において同様である。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0044】
(第2実施例)
図5は、第2実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL21と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL23と両凹レンズL24との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL25とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL26からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL27と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL28との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL29とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL30と両凹レンズL31と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL32の接合レンズとからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0045】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0046】
以下表2に、本発明における第2実施例の諸元を示す。
【0047】
【表2】
f=75.0〜750.0
Fno=25.0〜50.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.002
(2) β2L =−0.230
(3) Z/TL = 0.045
(4) 1/β4R= 0.203
(5) f1/fL= 1.333
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0048】
図6〜図8は、第2実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=230)における諸収差図、高倍端状態(f=750)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0049】
(第3実施例)
図9は、第3実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL41と両凸レンズL42との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL43と、両凹レンズL44とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL45からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL46と両凸レンズL47との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL48とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL49と両凹レンズL50との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0050】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0051】
以下表3に、本発明における第3実施例の諸元を示す。
【0052】
【表3】
f=75.0〜750.0
Fno=25.0〜50.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.005
(2) β2L =−0.295
(3) Z/TL = 0.042
(4) 1/β4R= 0.322
(5) f1/fL= 1.067
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0053】
図10〜図12は、第3実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=230)における諸収差図、高倍端状態(f=750)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0054】
(第4実施例)
図13は、第4実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL61と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL62との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL63と両凹レンズL64との接合レンズと、両凹レンズL65とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL66からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL67と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL68との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL69とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL70と両凹レンズL71との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0055】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0056】
以下表4に、本発明における第4実施例の諸元を示す。
【0057】
【表4】
f=75.0〜375.0
Fno=25.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L= 0.000
(2) β2L =−0.356
(3) TL/Z = 0.028
(4) 1/β4R= 0.325
(5) f1/fL= 0.933
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0058】
図14〜図16は、第4実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=120)における諸収差図、高倍端状態(f=375)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0059】
(第5実施例)
図17は、第5実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL81と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL82との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、両凸レンズL83と両凹レンズL84との接合レンズと、両凹レンズL85とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL86と両凸レンズL87とからなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL88と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL89との接合レンズと、両凸レンズL90とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL91と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL92との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0060】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0061】
以下表5に、本発明における第5実施例の諸元を示す。
【0062】
【表5】
f=45.0〜225.0
Fno=15.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.016
(2) β2L =−0.317
(3) Z/TL = 0.027
(4) 1/β4R= 0.672
(5) f1/fL= 2.000
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0063】
図18〜図20は、第5実施例において低倍端状態(f=45)における諸収差図、中間状態(f=72)における諸収差図、高倍端状態(f=225)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0064】
図21は、第1実施例のズーム結像レンズZLの物体側に焦点距離15mm、開口数0.5の対物レンズOBJを配置した例である。この場合、対物レンズOBJとズーム結像レンズZLとで得られる総合倍率は、5倍〜50倍であり、開口数は0.1〜0.5である。なお、図21に示す対物レンズOBJは、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL100と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL101と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL102と両凸レンズL103との接合レンズと、両凸レンズL104と両凹レンズL105の接合レンズと、両凸レンズL106と両凹レンズL107との接合レンズとから構成されている。
【0065】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定の無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用される、ズーム結像レンズを提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すレンズ構成図である。
【図2】第1実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図3】第1実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図4】第1実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図5】本発明の第2実施例を示すレンズ構成図である。
【図6】第2実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図7】第2実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図8】第2実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図9】本発明の第3実施例を示すレンズ構成図である。
【図10】第3実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図11】第3実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図12】第3実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図13】本発明の第4実施例を示すレンズ構成図である。
【図14】第4実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図15】第4実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図16】第4実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図17】本発明の第5実施例を示すレンズ構成図である。
【図18】第5実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図19】第5実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図20】第5実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図21】第1実施例と対物レンズの組み合わせを示すレンズ構成図である。
【符号の説明】
OBJ 対物レンズ
SP 開口絞り
ZL ズーム結像レンズ
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
G4 第4レンズ群
G4F 前群
G4R 後群
【発明の属する技術分野】
本発明はズーム結像レンズに関し、さらに詳細には無限遠補正型顕微鏡システム、特にCCD等の撮像素子を使用する電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用されるズーム結像レンズ、及びそれを用いた顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
無限遠補正型顕微鏡システムの第2結像レンズに使用されるズームレンズとしては、例えば、特許文献1又は特許文献2に開示されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−18784号公報
【特許文献2】
特開平7−56087号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし特許文献1又は特許文献2に開示された顕微鏡の場合、ズームレンズ部は一般的な正負負正の4群ズームレンズの構成をしており、開口絞りは多くの場合、第2〜第3群間、又は第3〜第4群間にある。この場合、対物レンズ側からみた瞳位置は遠くなり、且つ変倍に伴い瞳位置は移動してしまう。このため、対物レンズは実体顕微鏡用の対物レンズの様に、瞳位置の移動を考慮した収差補正が必要となり、対物レンズの構成が複雑になるという課題があった。
【0005】
また、対物レンズ系を通して落射照明を行う場合、瞳位置が移動することにより、照明光学系との瞳位置の関係が変化し、照明光にケラレが生じ、照明の効率が悪化するという課題もあった。
【0006】
さらに、近年では小型の固体撮像素子を用いて撮影された電子画像が一般的になり、顕微鏡の分野においても用いられている。通常、顕微鏡において電子画像の撮影を行う場合、接眼レンズ部と別の光路に分けた撮影ポート部に撮影機器を設置し撮影していた。しかし、電子画像を撮影することを主目的とした場合、通常の顕微鏡では、撮像素子に対して視野がかなり大きく、装置全体が大型化してしまうという課題もあった。
【0007】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定された無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用される、ズーム結像レンズを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明に係るズーム結像レンズは、物体側から順に、開口絞りと、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とから構成され、第2レンズ群及び第3レンズ群を光軸方向に移動することにより変倍するズーム結像レンズにおいて、第1レンズ群は1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成され、低倍端状態における第3レンズ群の倍率をβ3Lとしたとき、式−0.03<1/β3L<0.01で表される条件を満足するように構成される。
【0009】
なお、低倍端状態における第2レンズ群の倍率をβ2Lとしたとき、式−0.6<β2L<−0.15で表される条件を満足するように構成されることが好ましい。
【0010】
また、ズーム比をZ、開口絞りから像面までの距離をTLとしたとき、式0.02<Z/TL<0.06で表される条件を満足するように構成されることが好ましい。
【0011】
さらに、第4レンズ群は正の屈折力を有する前群と、負の屈折力を有する後群とから構成され、後群の倍率をβ4Rとしたとき、式0.15<1/β4R<0.85で表される条件を満足するように構成されることが好ましい。
【0012】
本発明に係る顕微鏡は、物体側より順に、対物レンズ系と、上述のズーム結像レンズと、撮像手段とを備え、対物レンズ系の瞳位置がズーム結像レンズの開口絞りと同じ位置かその近傍となるように配置されるように構成される。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。本発明に係るズーム結像レンズZLは、図1に示す通り、物体側から順に、開口絞りSPと、第1レンズ群G1と、第2レンズ群G2と、第3レンズ群G3及び第4レンズ群G4から構成されている。開口絞りSPは、後述する対物レンズ系OBJの瞳位置近傍となるように配置され、変倍中固定されている。第1レンズ群G1は正の屈折力を有し、1枚の正レンズL1と1枚の負レンズL2とからなり変倍中固定されている。第2レンズ群G2は負の屈折力を有し、第3レンズ群G3は正の屈折力を有し、互いに光軸に沿って移動することにより変倍、及び変倍による像面位置変動の補正を行う。さらに第4レンズ群G4は正の屈折力を有し、変倍中は像面に対し固定である。
【0014】
ここで本発明の目的である、小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定の無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用されるズーム結像レンズを提供するために、本発明では以下の条件式(1)を満足する事が望ましい。
【0015】
【数1】
−0.03<1/β3L<0.01 (1)
但し、
β3L:低倍端状態における第3レンズ群G3の倍率
【0016】
条件式(1)は低倍率側での画面周辺部において良好な光学性能と、ズーム結像レンズZLの小型化、特に第4レンズ群G4の小型化を達成するための条件である。条件式(1)の下限値を下回ると、第3レンズ群G3の屈折力が強くなり、低倍率側での画面周辺部の収差補正が困難となる。条件式(1)の上限値を上回ると、第3レンズ群G3の屈折力が弱くなり、第4レンズ群G4に入射する周辺光束の入射高が高くなるため、第4レンズ群G4が大型化し、好ましくない。
【0017】
また、本発明においては次の条件式(2)を満足する事が望ましい。
【0018】
【数2】
−0.6<β2L<−0.15 (2)
但し、
β2L:低倍端状態における前記第2レンズ群G2の倍率
【0019】
条件式(2)はズーム結像レンズZLの小型化、特に第2レンズ群G2の移動量を適切な値とし、第3レンズ群G3の小型化を達成するための条件である。条件式(2)の下限値を下回ると、低倍率側での第2レンズ群G2と第3レンズ群G3との間隔が大きくなる。このため、第3レンズ群G3に入射する周辺光束の入射高が高くなるため、第3レンズ群G3が大型化し、好ましくない。条件式(2)の上限値を上回ると、第2レンズ群G2の移動量が大きくなり、変倍のための第2レンズ群G2、第3レンズ群G3を移動させるための機構が大型化、複雑化し、好ましくない。また、同条件下で移動量を小さくするためには、第2レンズ群G2の屈折力を強くしなければならず、この場合、画面周辺部の収差補正が困難となる。
【0020】
また、本発明では以下の条件式(3)を満足する事が望ましい。
【0021】
【数3】
0.02<Z/TL<0.06 (3)
但し、
Z :ズーム結像レンズのズーム比
TL :開口絞りから像面までの距離
【0022】
条件式(3)はズーム倍率が大きく、且つレンズ全長が短いズーム結像レンズZLを得るための条件である。条件式(3)の下限値を下回ると、ズーム倍率と比較してレンズ全長が長くなるため、顕微鏡システム全体の小型化が困難となる。条件式(3)の上限値を上回ると、各レンズ群G1〜G4の屈折力が強くなる様に構成することになり、良好な光学性能を得るための収差補正が困難となり好ましくない。
【0023】
また、本発明では、さらに良好な光学性能を有したレンズ全長の短いズーム結像レンズを得るため、第4レンズ群G4は正の屈折力を有する前群G4Fと、負の屈折力を有する後群G4Rとから構成されことが好ましい。これは第4レンズ群の全長を、第4レンズ群の焦点距離よりも短くするためであり、一般的に望遠タイプと呼ばれる構成である。この場合、次の条件式(4)を満足する事がより望ましい。
【0024】
【数4】
0.15<1/β4R<0.85 (4)
但し、
β4R:後群G4Rの倍率
【0025】
条件式(4)の下限値を下回ると、第4レンズ群G4内の前群G4Fと後群G4Rの屈折力が強くなるため、良好な収差補正が困難となる。条件式(4)の上限値を上回ると、第4レンズ群G4の焦点距離に対して、第4レンズ群4の全長を小さくできず、ズーム結像レンズZL全系が大型化し、好ましくない。
【0026】
また、本発明では第1レンズ群G1は1枚の正レンズと1枚の負レンズとから構成されているが、この場合、次の条件式(4)を満足する事がより望ましい。
【0027】
【数5】
0.8<f1/fL<2.5 (5)
但し、
f1 :第1レンズ群G1の焦点距離
fL :ズーム結像レンズ全系の低倍端状態での焦点距離
【0028】
条件式(5)は第1レンズ群G1の最適な屈折力を規定するための条件である。条件式(5)の下限値を下回ると、第1レンズ群G1の屈折力が強くなり、高倍率側での球面収差、及び軸上色収差の補正が困難となる。条件式(4)の上限値を上回ると、ズーム結像レンズZLの全系が大型化し、好ましくない。
【0029】
また、本発明では、小型化、簡略化のため、第3レンズ群G3は1枚、乃至2枚の正レンズで構成されることが望ましく、さらにこの場合、色収差を良好に補正するため、次の条件式(6)を満足する事がより望ましい。
【0030】
【数6】
ν3>62 (6)
但し、
ν3 :第3レンズ群G3の正レンズに使用される硝材のアッベ数
【0031】
条件式(6)を満足することにより、第3レンズ群G3を色消し接合レンズで構成しなくとも、ズーム結像レンズZLの全系の色収差を良好に補正することが可能となる。
【0032】
また、本発明では各変倍域での最適な開口数を得るために、ズーム結像レンズZLの変倍に連動する開口絞り径の可変機構を備えていることが望ましく、さらに、光学設計上の自由度を上げるため、ズーム結像レンズZLの変倍に対して非線形に連動することがより望ましい。また、焦点深度の調整を行うためには、ズーム結像レンズZLの変倍に連動する開口絞り径の可変機構とは別に、ズーム結像レンズZLの変倍に連動せずに開口絞り径を変更可能な可変機構を備えていることがより望ましい。
【0033】
また、本発明では落射照明を行う場合、開口絞りSPと第1レンズ群G1の最も開口絞りSP側の面との間に、ハーフミラーまたはハーフビームスプリッタ等を挿入し、ズーム結像レンズZLの側方より、照明光を導入するように構成することが望ましく、さらに、この場合、照明光を導入するための有効な空間を確保するために、次の条件式(7)を満足することがより望ましい。
【0034】
【数7】
1.2<d/P<2 (7)
但し、
P=fH/FNH
d:開口絞りSPから第1レンズ群G1の最も開口絞り側の面までの
距離
fH:ズーム結像レンズZL全系の高倍端状態での焦点距離
FNH:ズーム結像レンズZL全系の高倍端状態でのFナンバー
【0035】
条件式(7)の下限値を下回ると、開口絞り径を満たす照明光束を開口絞りSPから第1レンズ群G1の最も開口絞りSP側の面までの空間に導入することが困難となり、好ましくない。条件式(7)の上限値を上回ると、入射瞳位置が遠くなるため、ズーム結像レンズZL全系が大型化し、好ましくない。
【0036】
また本発明は、図21に示すように、物体側より順に、対物レンズ系OBJと、上述のズーム結像レンズZLと、撮像手段(図示せず)とを備え、前記対物レンズ系OBJの瞳位置が前記ズーム結像レンズZLの開口絞りSP近傍となるように配置されることを特徴とする顕微鏡を提供する。
【0037】
上記構成の顕微鏡では、固体撮像素子等の撮像手段からの画像情報を、液晶表示素子等の表示手段に表示することにより、接眼レンズを使用することなく、顕微鏡画像の観察が可能となり、且つ電子画像の撮影も簡便に行える、小型の電子画像顕微鏡を得る事が出来る。
【0038】
【実施例】
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。下記第1〜第5実施例ともに、物体から順に、開口絞りSP、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、負の屈折力を有する第2レンズ群G2、正の屈折力を有する第3レンズ群G3、正の屈折力を有する第4レンズ群G4とを備え、前記第2レンズ群G2と前記第3レンズ群G3とを光軸方向に移動させて変倍を行い、前記第1レンズ群G1と前記第4レンズ群G4は変倍中固定である。また、第1レンズ群G1は、1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成される。また第4レンズ群G4は、正の屈折力を有する前群G4Fと、負の屈折力を有する後群G2Rとで構成される。さらに、物体側には、瞳位置を開口絞りSPとほぼ一致させるように対物レンズ系OBJが配置される。
【0039】
(第1実施例)
図1は、第1実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL1と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL2との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3と両凹レンズL4との接合レンズと、両凹レンズL5とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL6からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL7と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL8との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL9とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL10と両凹レンズL11との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0040】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0041】
以下の表1に、第1実施例の諸元の値を示す。表中fはd0=∞時のレンズ全系の焦点距離、FnoはFナンバーを示す。また、面番号は拡大側から数えたレンズ面の番号、rはレンズ面の曲率半径、dはレンズ面間隔、nはd線(587nm)の屈折率、νはアッベ数、SPは絞りをそれぞれ表している。かかる符号は以下全ての実施例において同様である。なお、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離f、曲率半径r、面間隔dその他の長さの単位は、特記の無い場合一般に「mm」が使われるが、光学系は比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「mm」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【0042】
【表1】
f=75.0〜750.0Fno=25.0〜50.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.001
(2) β2L =−0.256
(3) Z/TL = 0.042
(4) 1/β4R= 0.357
(5) f1/fL= 1.067
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0043】
図2〜図4は、第1実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=230)における諸収差図、高倍端状態(f=750)における諸収差図をそれぞれ示している。各収差図において、FnoはFナンバー、Yは像高、dはd線(λ=587nm)及びgはg線(λ=436nm)を示している。かかる符号は以下全ての実施例の諸収差図において同様である。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0044】
(第2実施例)
図5は、第2実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL21と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL22との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL23と両凹レンズL24との接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL25とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL26からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL27と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL28との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL29とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL30と両凹レンズL31と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL32の接合レンズとからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0045】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0046】
以下表2に、本発明における第2実施例の諸元を示す。
【0047】
【表2】
f=75.0〜750.0
Fno=25.0〜50.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.002
(2) β2L =−0.230
(3) Z/TL = 0.045
(4) 1/β4R= 0.203
(5) f1/fL= 1.333
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0048】
図6〜図8は、第2実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=230)における諸収差図、高倍端状態(f=750)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0049】
(第3実施例)
図9は、第3実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL41と両凸レンズL42との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL43と、両凹レンズL44とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL45からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL46と両凸レンズL47との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL48とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL49と両凹レンズL50との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0050】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0051】
以下表3に、本発明における第3実施例の諸元を示す。
【0052】
【表3】
f=75.0〜750.0
Fno=25.0〜50.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.005
(2) β2L =−0.295
(3) Z/TL = 0.042
(4) 1/β4R= 0.322
(5) f1/fL= 1.067
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0053】
図10〜図12は、第3実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=230)における諸収差図、高倍端状態(f=750)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0054】
(第4実施例)
図13は、第4実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL61と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL62との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL63と両凹レンズL64との接合レンズと、両凹レンズL65とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL66からなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL67と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL68との接合レンズと、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL69とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL70と両凹レンズL71との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0055】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0056】
以下表4に、本発明における第4実施例の諸元を示す。
【0057】
【表4】
f=75.0〜375.0
Fno=25.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L= 0.000
(2) β2L =−0.356
(3) TL/Z = 0.028
(4) 1/β4R= 0.325
(5) f1/fL= 0.933
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0058】
図14〜図16は、第4実施例において低倍端状態(f=75)における諸収差図、中間状態(f=120)における諸収差図、高倍端状態(f=375)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0059】
(第5実施例)
図17は、第5実施例のズーム結像レンズZLの構成を示す図である。物体側から順に、開口絞りSPと、両凸レンズL81と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL82との接合レンズからなる第1レンズ群G1と、両凸レンズL83と両凹レンズL84との接合レンズと、両凹レンズL85とからなる第2レンズ群G2と、両凸レンズL86と両凸レンズL87とからなる第3レンズ群G3と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL88と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズL89との接合レンズと、両凸レンズL90とからなる前群G4Fと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL91と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズL92との接合レンズからなる後群G4Rとを有する第4レンズ群G4とから構成される。
【0060】
低倍端から高倍端に変倍する際には、開口絞りSP、第1レンズ群G1および第4レンズ群G4が固定されており、第2レンズ群G2は像側に移動し、第3レンズ群G3は第2レンズ群G2の移動による焦点移動を補正するように移動する。
【0061】
以下表5に、本発明における第5実施例の諸元を示す。
【0062】
【表5】
f=45.0〜225.0
Fno=15.0
(条件式対応値)
(1) 1/β3L=−0.016
(2) β2L =−0.317
(3) Z/TL = 0.027
(4) 1/β4R= 0.672
(5) f1/fL= 2.000
(6) ν3 = 82.52
(7) d/P = 1.333
【0063】
図18〜図20は、第5実施例において低倍端状態(f=45)における諸収差図、中間状態(f=72)における諸収差図、高倍端状態(f=225)における諸収差図をそれぞれ示している。図からも明らかなように諸収差が良好に補正されていることが分かる。
【0064】
図21は、第1実施例のズーム結像レンズZLの物体側に焦点距離15mm、開口数0.5の対物レンズOBJを配置した例である。この場合、対物レンズOBJとズーム結像レンズZLとで得られる総合倍率は、5倍〜50倍であり、開口数は0.1〜0.5である。なお、図21に示す対物レンズOBJは、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL100と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL101と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL102と両凸レンズL103との接合レンズと、両凸レンズL104と両凹レンズL105の接合レンズと、両凸レンズL106と両凹レンズL107との接合レンズとから構成されている。
【0065】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、小型で良好な光学性能と、十分なズーム倍率を有し、物体側の瞳位置が各変倍域で固定の無限遠補正型顕微鏡システム、特に電子画像顕微鏡システムの第2結像レンズに使用される、ズーム結像レンズを提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すレンズ構成図である。
【図2】第1実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図3】第1実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図4】第1実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図5】本発明の第2実施例を示すレンズ構成図である。
【図6】第2実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図7】第2実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図8】第2実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図9】本発明の第3実施例を示すレンズ構成図である。
【図10】第3実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図11】第3実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図12】第3実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図13】本発明の第4実施例を示すレンズ構成図である。
【図14】第4実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図15】第4実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図16】第4実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図17】本発明の第5実施例を示すレンズ構成図である。
【図18】第5実施例の低倍端状態における諸収差を示す図である。
【図19】第5実施例の中間状態における諸収差を示す図である。
【図20】第5実施例の高倍端状態における諸収差を示す図である。
【図21】第1実施例と対物レンズの組み合わせを示すレンズ構成図である。
【符号の説明】
OBJ 対物レンズ
SP 開口絞り
ZL ズーム結像レンズ
G1 第1レンズ群
G2 第2レンズ群
G3 第3レンズ群
G4 第4レンズ群
G4F 前群
G4R 後群
Claims (5)
- 物体側から順に、開口絞りと、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する
第2レンズ群と、正の屈折力を有する第3レンズ群と、正の屈折力を有する第4レンズ群とから構成され、前記第2レンズ群および前記第3レンズ群を光軸方向に移動することにより変倍するズーム結像レンズにおいて、
前記第1レンズ群は1枚の正レンズと1枚の負レンズより構成され、低倍端状態における前記第3レンズ群の倍率をβ3Lとしたとき、次式
−0.03<1/β3L<0.01 (1)
で表される条件を満足することを特徴とするズーム結像レンズ。 - 低倍端状態における前記第2レンズ群の倍率をβ2Lとしたとき、次式
−0.6<β2L<−0.15 (2)
で表される条件を満足することを特徴とする請求項1に記載のズーム結像レンズ。 - ズーム比をZ、前記開口絞りから像面までの距離をTLとしたとき、次式
0.02<Z/TL<0.06 (3)
で表される条件を満足することを特徴とする請求項1または2に記載のズーム結像レンズ。 - 前記第4レンズ群は正の屈折力を有する前群と、負の屈折力を有する後群とから構成され、前記後群の倍率をβ4Rとしたとき、次式
0.15<1/β4R<0.85 (4)
で表される条件を満足することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のズーム結像レンズ。 - 物体側より順に、対物レンズ系と、請求項1から4のいずれかに記載のズーム結像レンズと、撮像手段とを備え、前記対物レンズ系の瞳位置が前記ズーム結像レンズの前記開口絞りと同じ位置かその近傍となるように配置されることを特徴とする顕微鏡。
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