JP2012252037A - ズーム結像光学系、及び、それを備えた顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ズーム結像光学系20は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられるズーム結像光学系である。ズーム結像光学系20は、対物レンズからの光束を集光して中間像を形成する結像レンズ21と、中間像を像面に投影するズーム機能を有するリレーレンズであるズームレンズ22と、を含む。ズームレンズ22は、中間像側から順に、正のパワーを有する第1レンズ群G1と、正のパワーを有する可動群である第2レンズ群G2と、光軸方向に移動する開口絞りASと、正または負のパワーを有する可動群である第3レンズ群G3と、負のパワーを有する第4レンズ群G4と、を含み、第2レンズ群G2及び第3レンズ群G3の移動により変倍する。
【選択図】図2
Description
ズーム顕微鏡の変倍方式は、一般に、上述した2つの方式に大別することができる。
−2.7 < FTL/FMIN < −0.9
−0.16 < FTL/FMAX < −0.07
0.05 < φE/LPI < 0.17
−17 < LPC/FMIN < −5
−1.3 < LPC/FMAX < −0.3
120 < νdTLP×ndTLP < 140
本発明の第9の態様は、第2の態様乃至第8の態様のいずれか1つに記載のズーム結像光学系を含む顕微鏡を提供する。
次に、本発明の各実施例に係るズーム結像光学系に共通する構成及び作用について、図1に例示されるズーム結像光学系16を例に説明する。
従って、以上のように構成されたズーム結像光学系16によれば、コンパクトな構成でありながら、広い変倍範囲で収差を良好に補正することができる。
また、ズーム結像光学系16は、下記の条件式(1)を満足することが望ましい。
−2.7 < FTL/FMIN < −0.9 ・・・(1)
但し、FTLは、結像レンズ10の焦点距離であり、FMINは、結像レンズ10と低倍端状態におけるズームレンズ15との合成焦点距離である。
また、ズーム結像光学系16は、下記の条件式(2)を満足することが望ましい。
−0.16 < FTL/FMAX < −0.07 ・・・(2)
但し、FTLは、結像レンズ10の焦点距離であり、FMAXは、結像レンズ10と高倍端状態におけるズームレンズ15との合成焦点距離である。
0.05 < φE/LPI < 0.17 ・・・(3)
但し、φEは、高倍端状態での対物レンズ7の瞳径であり、LPIは、対物レンズ7の射出瞳位置から結像レンズ10により中間像が形成される一次結像位置までの距離である。
また、ズーム結像光学系16は、下記の条件式(4)及び条件式(5)を満足することが望ましい。
−17 < LPC/FMIN < −5 ・・・(4)
−1.3 < LPC/FMAX < −0.3 ・・・(5)
また、ズーム結像光学系16は、下記の条件式(6)を満足することが望ましい。
120 < νdTLP×ndTLP < 140 ・・・(6)
なお、条件式(1)から(6)は、それぞれ単独で用いることも、任意に組み合わせて用いることも有効である。
以下、各実施例に係るズーム結像光学系ついて具体的に説明する。
本実施例に係るズーム結像光学系20の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=89.146mm、FMIN=−61.1mm、FMAX=−830.6mm、
LPI=191.329mm、LIC=188.729mm、LPC=380.058mm
開口絞りASの絞り径φと、図2(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=5.54mm、φE=15mm
また、本実施例は2/3インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は11mm(像高IH=5.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系20のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系20
s r d nd vd
1 INF 98.141
2 52.1991 9.000 1.497 81.54
3 -34.3313 4.000 1.72047 34.71
4 -82.2406 0.500
5 55.7603 9.000 1.72342 37.95
6 -251.2977 3.500 1.6134 44.27
7 36.2202 67.188
8 INF 15.664
9 38.0153 2.000 1.72047 34.71
10 17.7201 4.000 1.48749 70.23
11 -47.5765 0.500
12 120.0000 3.000 1.8081 22.76
13 -21.9602 3.470 1.72047 34.71
14 37.1922 D14
15 46.4387 1.816 1.7552 27.51
16 20.9425 4.011 1.56384 60.67
17 -36.2791 D17
18 INF D18
19 36.2791 4.011 1.56384 60.67
20 -20.9425 1.816 1.7552 27.51
21 -46.4387 D21
22 -22.9648 2.299 1.741000 52.64
23 41.0097 4.154
24 17.2300 2.291 1.834 37.16
25 -11.3752 1.127 1.741 52.64
26 12.9604 2.000
27 53.3076 1.124 1.74 28.3
28 13.5951 2.811 1.516330 64.14
29 -32.7286 0.562
30 14.6817 3.373 1.723420 37.95
31 -15.1827 1.124 1.613400 44.27
32 10.7655 37.958
33 INF
ズーム結像光学系20の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -830.6 -145.8 -61.1
D14 2.424 43.530 83.838
D17 1.000 20.000 1.000
D18 1.000 20.450 1.157
D21 85.232 5.676 3.660
FTL/FMIN=−1.46 ・・・(11)
FTL/FMAX=−0.11 ・・・(12)
φE/LPI=0.08 ・・・(13)
LPC/FMIN=−6.22 ・・・(14)
LPC/FMAX=−0.46 ・・・(15)
νdTLP×ndTLP=122.1 ・・・(16)
本実施例に係るズーム結像光学系23の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=70.004mm、FMIN=−46.3mm、FMAX=−629.7mm、
LPI=150.303mm、LIC=185.057mm、LPC=335.359mm
開口絞りASの絞り径φと、図4(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=5.04mm、φE=14mm
また、本実施例は2/3インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は11mm(像高IH=5.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系23のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系23
s r d nd vd
1 INF 80.688
2 39.2015 6.800 1.497 81.54
3 -20.0397 2.250 1.72047 34.71
4 -55.7616 0.500
5 27.6094 6.300 1.72342 37.95
6 -27.6091 1.950 1.6134 44.27
7 16.4468 51.815
8 INF 13.547
9 110.2500 1.800 1.58913 61.14
10 17.1167 5.000 1.51742 52.43
11 -37.8129 0.500
12 110.2300 3.500 1.80518 25.42
13 -45.0035 2.000 1.738 32.26
14 50.9481 D14
15 45.5048 1.800 1.74 28.3
16 18.7325 4.024 1.56883 56.36
17 -36.6004 D17
18 INF D18
19 36.6004 4.024 1.56883 56.36
20 -18.7324 1.800 1.740000 28.3
21 -45.5048 D21
22 -17.2629 1.100 1.741 52.64
23 41.6569 2.601
24 15.4354 2.800 1.834 37.16
25 -10.4843 1.100 1.741 52.64
26 12.3165 1.300
27 97.1448 1.100 1.720470 34.71
28 17.7228 2.500 1.487490 70.23
29 -14.0024 44.908
30 INF
ズーム結像光学系23の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -629.7 -110.5 -46.3
D14 2.424 43.530 83.838
D17 1.000 20.000 1.000
D18 1.000 20.450 1.157
D21 85.232 5.676 3.660
FTL/FMIN=−1.51 ・・・(21)
FTL/FMAX=−0.11 ・・・(22)
φE/LPI=0.09 ・・・(23)
LPC/FMIN=−7.24 ・・・(24)
LPC/FMAX=−0.53 ・・・(25)
νdTLP×ndTLP=122.1 ・・・(26)
本実施例に係るズーム結像光学系26の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=39.620mm、FMIN=−31.6mm、FMAX=−427.9mm、
LPI=85.035mm、LIC=164.566mm、LPC=249.600mm
開口絞りASの絞り径φと、図6(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=6.8mm、φE=10mm
また、本実施例は1/1.8インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は9mm(像高IH=4.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系26のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系26
s r d nd vd
1 INF 43.618
2 23.1996 4.000 1.497 81.54
3 -15.2584 1.778 1.72047 34.71
4 -36.5514 0.222
5 24.7824 4.000 1.72342 37.95
6 -111.6879 1.556 1.6134 44.27
7 16.0979 29.861
8 INF 17.898
9 86.2150 4.500 1.57135 52.95
10 -15.7764 1.500
11 -23.7549 2.000 1.48749 70.23
12 28.5793 D12
13 45.5042 1.800 1.74 28.28
14 19.7410 4.000 1.55963 61.17
15 -36.0087 D15
16 INF D16
17 36.0081 4.000 1.55963 61.17
18 -19.7405 1.800 1.74 28.28
19 -45.5049 D19
20 -29.9530 1.830 1.755000 52.32
21 16.1386 23.130
22 INF
ズーム結像光学系26の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -427.9 -75.6 -31.6
D12 2.424 43.530 83.838
D15 1.000 20.000 1.000
D16 1.000 20.450 1.157
D19 97.679 18.123 16.107
FTL/FMIN=−1.25 ・・・(31)
FTL/FMAX=−0.09 ・・・(32)
φE/LPI=0.12 ・・・(33)
LPC/FMIN=−7.91 ・・・(34)
LPC/FMAX=−0.58 ・・・(35)
νdTLP×ndTLP=122.1 ・・・(36)
第3レンズ群G3は、光軸方向に移動する可動群であり、中間像側から順に、両凸レンズL6と両凹レンズL7からなる接合レンズCL3を含んでいる。
本実施例に係るズーム結像光学系29の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=60.058mm、FMIN=−42.4mm、FMAX=−670.7mm、
LPI=106.060mm、LIC=181.528mm、LPC=287.588mm
開口絞りASの絞り径φと、図8(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=6.4mm、φE=15mm
また、本実施例は1/1.8インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は9mm(像高IH=4.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系29のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系29
s r d nd vd
1 INF 43.845
2 37.2830 9.000 1.497 81.54
3 -18.6967 3.111 1.72047 34.71
4 -49.6206 0.389
5 27.7522 9.000 1.72342 37.95
6 -25.4867 2.722 1.6134 44.27
7 15.0818 37.993
8 INF 17.409
9 15.3564 4.500 1.834 37.16
10 23.7809 3.000 1.6134 44.27
11 12.5082 2.300
12 40.6731 2.000 1.51633 64.14
13 160.6160 D13
14 108.2635 3.000 1.883 40.76
15 -17.2113 1.500 1.738 32.26
16 -123.4327 D16
17 INF D17
18 23.8516 5.007 1.834000 37.16
19 -39.1201 1.500 1.922860 18.9
20 76.4049 D20
21 -49.7226 2.700 1.805180 25.42
22 -18.3531 2.000 1.677900 55.34
23 6.953 3.000
24 23.6499 3.000 1.438750 94.93
25 -13.999 2.000 1.846660 23.78
26 -30.1343 1.000
27 -1320.279 4.000 1.834000 37.16
28 -9.2895 2.000 1.487490 70.23
29 58.5085 22.000
30 INF
ズーム結像光学系29の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -670.7 -110.0 -42.4
D13 2.795 43.530 87.838
D16 1.000 20.000 1.000
D17 1.000 24.820 1.157
D20 95.77 12.214 10.569
FTL/FMIN=−1.42 ・・・(41)
FTL/FMAX=−0.09 ・・・(42)
φE/LPI=0.14 ・・・(43)
LPC/FMIN=−6.78 ・・・(44)
LPC/FMAX=−0.43 ・・・(45)
νdTLP×ndTLP=122.1 ・・・(46)
第3レンズ群G3は、光軸方向に移動する可動群であり、中間像側から順に、両凸レンズL7と両凹レンズL8からなる接合レンズCL3を含んでいる。
本実施例に係るズーム結像光学系32の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=59.929mm、FMIN=−41.1mm、FMAX=−657.3mm、
LPI=102.732mm、LIC=192.103mm、LPC=294.834mm
開口絞りASの絞り径φと、図10(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=6.8mm、φE=15mm
また、本実施例は2/3インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は11mm(像高IH=5.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系32のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系32
s r d nd vd
1 INF 40.604
2 40.6967 7.619 1.497 81.54
3 -18.8690 3.108 1.738 32.26
4 -44.6316 0.389
5 26.9382 7.442 1.72342 37.95
6 -28.0297 2.724 1.6134 44.27
7 15.4708 40.846
8 INF 14.500
9 -226.5379 3.000 1.48749 70.23
10 -27.0530 0.500
11 118.4971 2.814 1.72047 34.71
12 13.0007 4.136 1.48749 70.23
13 292.2744 0.5
14 15.3476 8.273 1.741 52.64
15 16.2906 D15
16 115.0134 4 1.83481 42.71
17 -19.9429 2.629 51.74 28.3
18 -68.8759 D18
19 INF D19
20 26.8406 7.500 1.834000 37.16
21 -41.1011 1.881 1.808100 22.76
22 72.7139 D22
23 -44.4543 2.762 1.654120 39.68
24 6.6178 3.615 1.516330 64.14
25 7.0092 3.000
26 -18.0965 1.500 1.613400 44.27
27 10.0373 5.500 1.741000 52.64
28 -11.7879 0.500
29 -434.1233 1.650 1.883000 40.76
30 69.6079 2.668 1.740000 28.3
31 -205.4905 22.000
32 INF
ズーム結像光学系32の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -657.3 -106.4 -41.1
D15 2.795 43.530 87.838
D18 1.000 20.000 1.000
D19 1.000 24.820 1.157
D22 94.197 10.642 8.996
FTL/FMIN=−1.46 ・・・(51)
FTL/FMAX=−0.09 ・・・(52)
φE/LPI=0.15 ・・・(53)
LPC/FMIN=−7.18 ・・・(54)
LPC/FMAX=−0.45 ・・・(55)
νdTLP×ndTLP=122.1 ・・・(56)
本実施例に係るズーム結像光学系35の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=89.994mm、FMIN=−46.4mm、FMAX=−630.4mm、
LPI=184.854mm、LIC=180.534mm、LPC=365.389mm
開口絞りASの絞り径φと、図12(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=4mm、φE=12mm
また、本実施例は1/1.8インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は9mm(像高IH=4.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系35のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系35
s r d nd vd
1 INF 87.238
2 72.5831 5.116 1.43875 94.93
3 -30.5978 2.000 1.51633 64.14
4 -82.3394 1.000
5 253.1699 6.000 1.48749 70.23
6 -62.9218 2.000 1.6134 44.27
7 -390.8422 81.501
8 INF 13.547
9 110.2050 1.800 1.58913 61.14
10 17.1162 5.000 1.51742 52.43
11 -37.8128 0.500
12 110.1090 3.500 1.80518 25.42
13 -45.0031 2 1.738 32.26
14 50.9485 D14
15 45.5047 1.8 1.74 28.3
16 18.7324 4.0236 1.56883 56.36
17 -36.6004 D17
18 INF D18
19 36.6004 4.024 1.568830 56.36
20 -18.7324 1.800 1.740000 28.3
21 -45.5040 D21
22 -7.3671 1.100 1.741000 52.64
23 -41.7573 2.601
24 12.7533 2.800 1.834000 37.16
25 -8.1609 1.100 1.741000 52.64
26 11.0659 1.300
27 49.2067 1.100 1.720470 34.71
28 9.2020 2.500 1.487490 70.23
29 -9.2522 40.397
30 INF
ズーム結像光学系35の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -630.4 -140.1 -46.4
D14 2.424 30.866 83.838
D17 1.000 20.000 1.000
D18 1.000 26.820 1.157
D21 85.232 11.969 3.660
FTL/FMIN=−1.94 ・・・(61)
FTL/FMAX=−0.14 ・・・(62)
φE/LPI=0.06 ・・・(63)
LPC/FMIN=−7.88 ・・・(64)
LPC/FMAX=−0.58 ・・・(65)
νdTLP×ndTLP=136.6 ・・・(66)
本実施例に係るズーム結像光学系38の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=40.000mm、FMIN=−16.4mm、FMAX=−222.7mm、
LPI=83.765mm、LIC=176.031mm、LPC=259.797mm
開口絞りASの絞り径φと、図14(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=3.2mm、φE=5mm
また、本実施例は1/3インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は6mm(像高IH=3mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系38のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系38
s r d nd vd
1 INF 38.772
2 27.3862 4.444 1.43875 94.93
3 -11.4894 0.889 1.51633 64.14
4 -31.6061 0.444
5 119800.0000 4.444 1.48749 70.23
6 -31.1465 0.889 1.6134 44.27
7 -151.4758 33.882
8 INF 13.547
9 110.2000 1.800 1.58913 61.14
10 17.1160 5.000 1.51742 52.43
11 -37.8120 0.500
12 110.2000 3.500 1.80518 25.42
13 -45.0030 2 1.738 32.26
14 50.9480 D14
15 45.5040 1.8 1.74 28.3
16 18.7324 4.0236 1.56883 56.36
17 -36.6004 D17
18 INF D18
19 36.6004 4.024 1.568830 56.36
20 -18.7324 1.8 1.740000 28.3
21 -45.5040 D21
22 -5.8312 1.100 1.741000 52.64
23 -20.0094 2.601
24 11.3525 4.000 1.834000 37.16
25 -8.1566 1.100 1.741000 52.64
26 10.4721 1.300
27 54.1094 1.100 1.720470 34.71
28 7.1748 4.000 1.487490 70.23
29 -7.7492 33.181
30 INF
ズーム結像光学系38の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -222.7 -49.5 -16.4
D14 2.424 30.866 83.838
D17 1.000 20.000 1.000
D18 1.000 26.820 1.157
D21 85.232 11.969 3.660
FTL/FMIN=−2.44 ・・・(71)
FTL/FMAX=−0.18 ・・・(72)
φE/LPI=0.06 ・・・(73)
LPC/FMIN=−15.86 ・・・(74)
LPC/FMAX=−1.17 ・・・(75)
νdTLP×ndTLP=136.6 ・・・(76)
本実施例に係るズーム結像光学系41の各種データについて記載する。なお、基準波長は、d線(587.56nm)である。
FTL=40.000mm、FMIN=−38.2mm、FMAX=−518.9mm、
LPI=83.326mm、LIC=188.758mm、LPC=272.083mm
開口絞りASの絞り径φと、図16(c)に例示される高倍端状態における対物レンズの瞳径φEは、以下のとおりである。
φ=3.2mm、φE=10mm
また、本実施例は1/1.8インチのCCD等の撮像素子を対象としており、その対角長は9mm(像高IH=4.5mm)である。
本実施例に係るズーム結像光学系41のレンズデータは、以下のとおりである。
ズーム結像光学系41
s r d nd vd
1 INF 38.333
2 27.3862 4.444 1.43875 94.93
3 -11.4894 0.889 1.51633 64.14
4 -31.6061 0.444
5 119800.0000 4.444 1.48749 70.23
6 -31.1465 0.889 1.6134 44.27
7 -151.4758 33.881
8 INF 13.547
9 110.2000 1.800 1.58913 61.14
10 17.1160 5.000 1.51742 52.43
11 -37.8120 0.500
12 110.2000 3.500 1.80518 25.42
13 -45.0030 2 1.738 32.26
14 50.9480 D14
15 45.5040 1.8 1.74 28.3
16 18.7324 4.0236 1.56883 56.36
17 -36.6004 D17
18 INF D18
19 36.6004 4.024 1.568830 56.36
20 -18.7324 1.8 1.740000 28.3
21 -45.5040 D21
22 -14.9733 1.100 1.741000 52.64
23 -26.9230 2.601
24 24.4003 2.800 1.834000 37.16
25 6.3612 1.100 1.741000 52.64
26 15.8988 1.300
27 36.2466 1.100 1.720470 34.71
28 -7.6950 2.500 1.487490 70.23
29 11.4988 48.606
30 INF
ズーム結像光学系41の焦点距離と面間隔
状態 高倍端 中間 低倍端
焦点距離 -518.9 -115.3 -38.2
D14 2.424 30.866 83.838
D17 1.000 20.000 1.000
D18 1.000 26.820 1.157
D21 85.232 11.969 3.660
FTL/FMIN=−1.05 ・・・(81)
FTL/FMAX=−0.08 ・・・(82)
φE/LPI=0.12 ・・・(83)
LPC/FMIN=−7.13 ・・・(84)
LPC/FMAX=−0.52 ・・・(85)
νdTLP×ndTLP=136.6 ・・・(86)
2・・・照明光学系
3、12・・・視野絞り
4・・・ポラライザ
5・・・ハーフミラー
6・・・DICプリズム
7・・・対物レンズ
8・・・標本面
9・・・アナライザ
10、21、24、27、30、33、36、39、42・・・結像レンズ
11・・・ミラー
13・・・レンズ群
14、AS・・・開口絞り
15、22、25、28、31、34、37、40、43・・・ズームレンズ
16、20、23、26、29、32、35、38、41・・・ズーム結像光学系
17・・・CCD
18・・・像面
100・・・ズーム顕微鏡
G1・・・第1レンズ群
G2・・・第2レンズ群
G3・・・第3レンズ群
G4・・・第4レンズ群
Claims (9)
- 無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられるズーム結像光学系であって、
前記対物レンズからの光束を集光して中間像を形成する結像レンズと、
前記中間像を像面に投影する、ズーム機能を有するリレーレンズと、を含み、
前記リレーレンズは、前記中間像側から順に、
正のパワーを有する第1レンズ群と、
正のパワーを有する可動群である第2レンズ群と、
正または負のパワーを有する可動群である第3レンズ群と、
負のパワーを有する第4レンズ群と、を含み、
前記第2レンズ群及び前記第3レンズ群の前記光軸方向への移動により、変倍する
ことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項1に記載のズーム結像光学系において、
前記リレーレンズは、第2レンズ群と第3レンズ群の間に光軸方向に移動する開口絞りを有し、
前記開口絞りは、前記対物レンズの射出瞳位置と光学的に共役な位置又はその近傍に配置される
ことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2に記載のズーム結像光学系において、
FTLを前記結像レンズの焦点距離とし、FMINを前記結像レンズと低倍端状態における前記リレーレンズとの合成焦点距離とするとき、以下の条件式
−2.7 < FTL/FMIN < −0.9
を満たすことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2または請求項3に記載のズーム結像光学系において、
FTLを前記結像レンズの焦点距離とし、FMAXを前記結像レンズと高倍端状態における前記リレーレンズとの合成焦点距離とするとき、以下の条件式
−0.16 < FTL/FMAX < −0.07
を満たすことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2乃至請求項4のいずれか1項に記載のズーム結像光学系において、
φEを高倍端状態での前記対物レンズの瞳径とし、LPIを前記対物レンズの前記射出瞳位置から前記結像レンズにより前記中間像が形成される一次結像位置までの距離とするとき、以下の条件式
0.05 < φE/LPI < 0.17
を満たすことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2乃至請求項5のいずれか1項に記載のズーム結像光学系において、
FMINを前記結像レンズと低倍端状態における前記リレーレンズとの合成焦点距離とし、FMAXを前記結像レンズと高倍端状態における前記リレーレンズとの合成焦点距離とし、LPCを前記対物レンズの前記射出瞳位置から前記リレーレンズにより像が形成される二次結像位置までの距離とするとき、以下の条件式
−17 < LPC/FMIN < −5
−1.3 < LPC/FMAX < −0.3
を満たすことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2乃至請求項6のいずれか1項に記載のズーム結像光学系において、
前記結像レンズは、凸レンズを含み、
νdTLPを前記凸レンズのアッベ数とし、ndTLPを前記凸レンズのd線に対する屈折率とするとき、以下の条件式
120 < νdTLP×ndTLP < 140
を満たすことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2乃至請求項7のいずれか1項に記載のズーム結像光学系において、
前記開口絞りは、絞り径が可変な可変絞りである
ことを特徴とするズーム結像光学系。 - 請求項2乃至請求項8のいずれか1項に記載のズーム結像光学系を含む
ことを特徴とする顕微鏡。
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