JP7218758B2 - 走査光学系、走査型顕微鏡および走査型共焦点顕微鏡 - Google Patents
走査光学系、走査型顕微鏡および走査型共焦点顕微鏡 Download PDFInfo
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Description
νd1>80
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
νd2<50
さらに、前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズについて以下の条件式を満足し、
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズについて以下の条件式を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002
さらに、以下の条件式を満足する。
0.35<FOV/Fh<0.55
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
FOV:前記走査光学系の最大視野数
Fh:前記走査光学系の焦点距離
νd1>80
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
νd2<50
さらに、前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズについて以下の条件式を満足し、
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズについて以下の条件式を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002
さらに、以下の条件式を満足する。
0.8<(-Fh3)/Fh<1.3
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
Fh3:前記第3レンズ群の焦点距離
Fh:前記走査光学系の焦点距離
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002
さらに、以下の条件式を満足する。
0.35<FOV/Fh<0.55
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
FOV:前記走査光学系の最大視野数
Fh:前記走査光学系の焦点距離
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002
さらに、以下の条件式を満足する。
0.8<(-Fh3)/Fh<1.3
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
Fh3:前記第3レンズ群の焦点距離
Fh:前記走査光学系の焦点距離
Φb×θb>63[mm×度]
但し、Φb:前記走査機構から前記走査光学系に入射するレーザ光の径
θb:前記走査機構から前記走査光学系に入射するレーザ光の光軸となす最大角度
但し、νd1:正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
但し、νd2:負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
但し、hmax:対物レンズ24の後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離
但し、θgF1:正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
但し、θgF2:負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
但し、FOV:走査光学系SLの最大視野数
但し、Φmax:走査光学系SLの最大外径
但し、FOV:走査光学系SLの最大視野数
Fh:走査光学系SLの焦点距離
但し、θCt1:正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1とし、正の屈折力を有するレンズのt線に対する屈折率をnt1とし、正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1としたとき、次式で定義される
θCt1=(nC1-nt1)/(nF1-nC1)
但し、θCt2:負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2とし、負の屈折力を有するレンズのt線に対する屈折率をnt2とし、負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2としたとき、次式で定義される
θCt2=(nC2-nt2)/(nF2-nC2)
0.6<Fh2/Fh<0.9 ・・・(16)
0.8<(-Fh3)/Fh<1.3 ・・・(17)
但し、Fh1:第1レンズ群G1の焦点距離
Fh2:第2レンズ群G2の焦点距離
Fh3:第3レンズ群G3の焦点距離
Fh:走査光学系SLの焦点距離
但し、νd3:第1の接合レンズを構成する正レンズのd線を基準とするアッベ数であり、正レンズのd線に対する屈折率をnd3とし、正レンズのF線に対する屈折率をnF3とし、正レンズのC線に対する屈折率をnC3としたとき、次式で定義される
νd3=(nd3-1)/(nF3-nC3)
νd4:第1の接合レンズを構成する負レンズのd線を基準とするアッベ数であり、負レンズのd線に対する屈折率をnd4とし、負レンズのF線に対する屈折率をnF4とし、負レンズのC線に対する屈折率をnC4としたとき、次式で定義される
νd4=(nd4-1)/(nF4-nC4)
但し、FOV:走査光学系SLの最大視野数
Fh:走査光学系SLの焦点距離
NAob:対物レンズ24の開口数
Fob:対物レンズ24の焦点距離
=(2×y)/(y/tanω)=2×tanω ・・・(19-1A)
=(2×Fob×NAob)/2=φ/2 ・・・(19-1B)
但し、Φb:走査機構31から走査光学系SLに入射するレーザ光の径(励起光のビーム径)
θb:走査機構31から走査光学系SLに入射するレーザ光の光軸となす最大角度
第1実施例について、図2~図3および表1を用いて説明する。図2は、第1~第6実施形態の第1実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第1実施例に係る走査光学系SL(1)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。なお、瞳共役面Pの近傍には、上述の走査機構31(ガルバノミラー等)が配置される。像面Iは、上述の結像面13に相当する。各レンズ群記号に付けている符号(+)もしくは(-)は、各レンズ群の屈折力を示す。このことは以下の全ての実施例でも同様である。
[全体諸元]
Fh=60
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=11.8
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 49.6000
2 -24.9930 10.0000 64.14 1.516800 0.5357 0.8647
3 -139.9370 10.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
4 -48.4330 0.2000
5 -133.2080 6.5500 70.31 1.487490 0.5291 0.8982
6 -63.1220 0.2000
7 183.8690 10.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
8 -65.4640 2.7000
9 162.0030 11.3000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
10 -53.8120 2.7000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
11 ∞ 0.2000
12 67.2210 8.1500 67.90 1.593190 0.5440 0.7962
13 -349.4370 0.2000
14 49.8630 6.3000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
15 400.6380 3.2500 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
16 25.8310 2.0000
17 26.0490 13.6500 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
18 -57.1400 2.2500 60.20 1.640000 0.5377 0.8593
19 31.7990 30.2711
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -134.490
G2 5 47.642
G3 14 -71.221
[条件式対応値]
条件式(1)
「正メニスカスレンズL12」 νd1=82.57
「正レンズL22」 νd1=82.57
「正レンズL23」 νd1=91.36
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負レンズL24」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=18.34
条件式(4)
「正メニスカスレンズL12」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL23」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負レンズL24」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正メニスカスレンズL12」 θgF1=0.5386
「正レンズL22」 θgF1=0.5386
「正レンズL23」 θgF1=0.5342
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負レンズL24」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=50.0
条件式(10) FOV/Fh=0.4167
条件式(11)
「正メニスカスレンズL12」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL23」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負レンズL24」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正メニスカスレンズL12」 θCt1=0.8175
「正レンズL22」 θCt1=0.8175
「正レンズL23」 θCt1=0.8399
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負レンズL24」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=2.241
条件式(16) Fh2/Fh=0.794
条件式(17) (-Fh3)/Fh=1.187
条件式(18) νd3=22.80
νd4=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=4.17
条件式(20) Φb×θb=70.8
第2実施例について、図4~図5および表2を用いて説明する。図4は、第1~第6実施形態の第2実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第2実施例に係る走査光学系SL(2)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。
[全体諸元]
Fh=60
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=11.8
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 53.5500
2 -23.8529 12.0000 64.14 1.516800 0.5357 0.8647
3 -77.8908 8.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
4 -36.0676 3.5000
5 141.3954 9.5000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
6 -65.6628 2.0000
7 117.4037 10.5000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
8 -56.5472 2.5000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
9 ∞ 0.2000
10 53.4466 8.0000 67.90 1.593190 0.5440 0.7962
11 2062.1589 0.2000
12 47.5676 6.5000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
13 213.5680 2.5000 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
14 25.4452 2.5000
15 28.1569 12.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
16 -51.3695 2.5000 60.20 1.640000 0.5377 0.8593
17 32.6237 30.3130
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -275.012
G2 5 50.765
G3 12 -65.154
[条件式対応値]
条件式(1)
「正メニスカスレンズL12」 νd1=82.57
「正レンズL21」 νd1=82.57
「正レンズL22」 νd1=91.36
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負レンズL23」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=18.79
条件式(4)
「正メニスカスレンズL12」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL21」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負レンズL23」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正メニスカスレンズL12」 θgF1=0.5386
「正レンズL21」 θgF1=0.5386
「正レンズL22」 θgF1=0.5342
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負レンズL23」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=49.5
条件式(10) FOV/Fh=0.4167
条件式(11)
「正メニスカスレンズL12」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL21」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負レンズL23」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正メニスカスレンズL12」 θCt1=0.8175
「正レンズL21」 θCt1=0.8175
「正レンズL22」 θCt1=0.8399
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負レンズL23」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=4.584
条件式(16) Fh2/Fh=0.846
条件式(17) (-Fh3)/Fh=1.086
条件式(18) νd3=22.80
νd4=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=4.17
条件式(20) Φb×θb=70.8
第3実施例について、図6~図7並びに表3を用いて説明する。図6は、第1~第6実施形態の第3実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第3実施例に係る走査光学系SL(3)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。
[全体諸元]
Fh=60
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=11.8
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 53.3500
2 -25.0182 10.0000 64.14 1.516800 0.5357 0.8647
3 -53.7878 8.5000
4 -504.7816 9.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
5 -41.7126 0.5000
6 224.3104 12.5000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
7 -41.0225 2.7000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
8 -116.3799 0.2000
9 56.0783 9.0000 67.90 1.593190 0.5440 0.7962
10 -582.1135 0.2000
11 45.7256 7.0000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
12 179.3373 3.0000 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
13 21.6575 2.0000
14 21.7592 14.5000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
15 -50.7847 2.5000 60.20 1.640000 0.5377 0.8593
16 30.2698 30.3911
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -102.666
G2 4 41.948
G3 11 -65.054
[条件式対応値]
条件式(1)
「正メニスカスレンズL21」 νd1=82.57
「正レンズL22」 νd1=82.57
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負メニスカスレンズL23」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=19.56
条件式(4)
「正メニスカスレンズL21」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負メニスカスレンズL23」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正メニスカスレンズL21」 θgF1=0.5386
「正レンズL22」 θgF1=0.5386
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負メニスカスレンズL23」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=50.0
条件式(10) FOV/Fh=0.4167
条件式(11)
「正メニスカスレンズL21」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負メニスカスレンズL23」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正メニスカスレンズL21」 θCt1=0.8175
「正レンズL22」 θCt1=0.8175
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負メニスカスレンズL23」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=1.711
条件式(16) Fh2/Fh=0.699
条件式(17) (-Fh3)/Fh=1.084
条件式(18) νd3=22.80
νd4=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=4.17
条件式(20) Φb×θb=70.8
第4実施例について、図8~図9並びに表4を用いて説明する。図8は、第1~第6実施形態の第4実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第4実施例に係る走査光学系SL(4)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。
[全体諸元]
Fh=60
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=11.8
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 53.4000
2 -25.0242 12.5000 64.14 1.516800 0.5357 0.8647
3 -54.1369 6.0000
4 -640.8906 9.5000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
5 -41.7085 0.5000
6 178.2157 12.5000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
7 -42.4059 2.7000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
8 -108.8746 0.2000
9 56.5598 8.5000 67.90 1.593190 0.5440 0.7962
10 -1309.3827 0.2000
11 47.4110 7.5000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
12 240.8185 3.0000 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
13 21.5861 2.0000
14 21.7736 14.5000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
15 -57.1461 2.5000 58.57 1.651600 0.5416 0.8341
16 31.4253 30.5716
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -105.472
G2 4 42.184
G3 11 -64.070
[条件式対応値]
条件式(1)
「正メニスカスレンズL21」 νd1=91.36
「正レンズL22」 νd1=82.57
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負メニスカスレンズL23」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=19.51
条件式(4)
「正メニスカスレンズL21」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負メニスカスレンズL23」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正メニスカスレンズL21」 θgF1=0.5342
「正レンズL22」 θgF1=0.5386
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負メニスカスレンズL23」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=50.0
条件式(10) FOV/Fh=0.4167
条件式(11)
「正メニスカスレンズL21」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負メニスカスレンズL23」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正メニスカスレンズL21」 θCt1=0.8399
「正レンズL22」 θCt1=0.8175
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負メニスカスレンズL23」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=1.758
条件式(16) Fh2/Fh=0.703
条件式(17) (-Fh3)/Fh=1.068
条件式(18) νd3=22.80
νd4=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=4.17
条件式(20) Φb×θb=70.8
第5実施例について、図10~図11および表5を用いて説明する。図10は、第1~第6実施形態の第5実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第5実施例に係る走査光学系SL(5)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。
[全体諸元]
Fh=60
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=11.8
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 53.1000
2 -23.3790 5.0000 64.14 1.516800 0.5357 0.8647
3 -521.0717 9.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
4 -36.5677 9.0000
5 -186.5659 6.5000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
6 -55.9777 0.2000
7 323.4123 8.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
8 -70.7578 0.2000
9 75.9315 9.5000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
10 -109.1223 2.5000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
11 747.7880 0.2000
12 46.4635 6.5000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
13 136.4644 0.2000
14 60.2797 3.0000 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
15 22.4138 6.0000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
16 28.1885 2.5000
17 29.5269 11.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
18 -60.8791 2.5000 58.57 1.651600 0.5416 0.8341
19 31.8482 30.3736
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -144.778
G2 5 42.055
G3 14 -53.948
[条件式対応値]
条件式(1)
「正メニスカスレンズL12」 νd1=91.36
「正メニスカスレンズL21」 νd1=82.57
「正レンズL22」 νd1=82.57
「正レンズL23」 νd1=91.36
「正メニスカスレンズL25」 νd1=82.57
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負レンズL24」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=19.62
条件式(4)
「正メニスカスレンズL12」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正メニスカスレンズL21」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL23」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正メニスカスレンズL25」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負レンズL24」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正メニスカスレンズL12」 θgF1=0.5342
「正メニスカスレンズL21」 θgF1=0.5386
「正レンズL22」 θgF1=0.5386
「正レンズL23」 θgF1=0.5342
「正メニスカスレンズL25」 θgF1=0.5386
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負レンズL24」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=51.0
条件式(10) FOV/Fh=0.4167
条件式(11)
「正メニスカスレンズL12」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正メニスカスレンズL21」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL23」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正メニスカスレンズL25」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負レンズL24」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正メニスカスレンズL12」 θCt1=0.8399
「正メニスカスレンズL21」 θCt1=0.8175
「正レンズL22」 θCt1=0.8175
「正レンズL23」 θCt1=0.8399
「正メニスカスレンズL25」 θCt1=0.8175
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負レンズL24」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=2.413
条件式(16) Fh2/Fh=0.701
条件式(17) (-Fh3)/Fh=0.899
条件式(18) νd3=22.80
νd4=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=4.17
条件式(20) Φb×θb=70.8
第6実施例について、図12~図13および表6を用いて説明する。図12は、第1~第6実施形態の第6実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第6実施例に係る走査光学系SL(6)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。
[全体諸元]
Fh=60
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=11.8
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 52.7000
2 -23.3121 8.0000 67.85 1.458504 0.5281 0.9062
3 -83.9105 7.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
4 -38.1125 8.0000
5 -416.3051 9.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
6 -45.3519 0.5000
7 161.0017 11.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
8 -49.1879 2.5000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
9 -147.7998 0.5000
10 48.8897 8.5000 67.90 1.593190 0.5440 0.7962
11 459.9026 0.5000
12 48.2794 6.5000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
13 153.1202 2.5000 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
14 24.6361 2.5000
15 24.8900 12.5000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
16 -61.8989 2.5000 60.20 1.640000 0.5377 0.8593
17 28.8701 30.2538
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -233.022
G2 5 47.089
G3 12 -61.973
[条件式対応値]
条件式(1)
「正メニスカスレンズL12」 νd1=82.57
「正メニスカスレンズL21」 νd1=91.36
「正レンズL22」 νd1=91.36
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負メニスカスレンズL23」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=18.96
条件式(4)
「正メニスカスレンズL12」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正メニスカスレンズL21」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負メニスカスレンズL23」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正メニスカスレンズL12」 θgF1=0.5386
「正メニスカスレンズL21」 θgF1=0.5342
「正レンズL22」 θgF1=0.5342
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負メニスカスレンズL23」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=49.0
条件式(10) FOV/Fh=0.4167
条件式(11)
「正メニスカスレンズL12」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正メニスカスレンズL21」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負メニスカスレンズL23」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正メニスカスレンズL12」 θCt1=0.8175
「正メニスカスレンズL21」 θCt1=0.8399
「正レンズL22」 θCt1=0.8399
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負メニスカスレンズL23」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=3.884
条件式(16) Fh2/Fh=0.785
条件式(17) (-Fh3)/Fh=1.033
条件式(18) νd3=22.80
νd4=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=4.17
条件式(20) Φb×θb=70.8
第7実施例について、図14~図15および表7を用いて説明する。図14は、第1~第6実施形態の第7実施例に係る走査光学系のレンズ構成を示す図である。第7実施例に係る走査光学系SL(7)は、瞳共役面P側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群G1と、正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負の屈折力を有する第3レンズ群G3とから構成される。
[全体諸元]
Fh=50
FOV=25
NAob=1
Fob=10
Φb=6
θb=14.0
[レンズ諸元]
面番号 R D νd nd θgF θCt
1 ∞ 40.5500
2 -20.5406 10.0000 64.14 1.516800 0.5357 0.8647
3 4483.9932 10.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
4 -33.2276 2.0000
5 459.9767 8.0000 82.57 1.497820 0.5386 0.8175
6 -62.4493 0.5000
7 1234.9246 8.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
8 -59.8704 2.5000 44.27 1.613397 0.5633 0.7825
9 -106.5074 0.5000
10 36.6007 13.0000 67.90 1.593190 0.5440 0.7962
11 -163.4401 2.5000 34.70 1.720467 0.5834 0.7267
12 171.5632 0.5000
13 61.9995 7.0000 22.80 1.808095 0.6307 0.6596
14 -522.0253 2.5000 32.30 1.738000 0.5900 0.7154
15 21.6480 3.0000
16 27.3158 14.0000 91.36 1.456000 0.5342 0.8399
17 -28.7338 2.5000 60.20 1.640000 0.5416 0.8341
18 69.8098 21.1140
[レンズ群データ]
群 始面 焦点距離
G1 2 -193.035
G2 5 41.909
G3 13 -55.895
[条件式対応値]
条件式(1)
「正レンズL12」 νd1=82.57
「正レンズL21」 νd1=82.57
「正レンズL22」 νd1=91.36
「正レンズL33」 νd1=91.36
条件式(2)
「負メニスカスレンズL23」 νd2=44.30
「負レンズL25」 νd2=34.70
条件式(3) hmax=19.25
条件式(4)
「正レンズL12」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL21」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0333
「正レンズL22」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
「正レンズL33」
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644=0.0437
条件式(5)
「負メニスカスレンズL23」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0063
「負レンズL25」
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644=-0.0023
条件式(6)
「正レンズL12」 θgF1=0.5386
「正レンズL21」 θgF1=0.5386
「正レンズL22」 θgF1=0.5342
「正レンズL33」 θgF1=0.5342
条件式(7)
「負メニスカスレンズL23」 θgF2=0.5633
「負レンズL25」 θgF2=0.5834
条件式(8) FOV=25
条件式(9) Φmax=48.5
条件式(10) FOV/Fh=0.5000
条件式(11)
「正レンズL12」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL21」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1208
「正レンズL22」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
「正レンズL33」
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542=-0.1406
条件式(12)
「負メニスカスレンズL23」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0279
「負レンズL25」
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542=0.0181
条件式(13)
「正レンズL12」 θCt1=0.8175
「正レンズL21」 θCt1=0.8175
「正レンズL22」 θCt1=0.8399
「正レンズL33」 θCt1=0.8399
条件式(14)
「負メニスカスレンズL23」 θCt2=0.7825
「負レンズL25」 θCt2=0.7267
条件式(15) (-Fh1)/Fh=3.861
条件式(16) Fh2/Fh=0.838
条件式(17) (-Fh3)/Fh=1.118
条件式(18) ν3d=22.80
ν4d=32.30
条件式(19) (FOV/Fh)×(NAob×Fob)=5.00
条件式(20) Φb×θb=84.0
G3 第3レンズ群
I 像面 P 瞳共役面
Claims (20)
- 対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群とから構成され、
前記第1レンズ群は、1つの接合レンズまたは単レンズから構成され、
前記第3レンズ群は、2つの接合レンズから構成され、
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式(1)を満足し、
νd1>80 (1)
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式(2)を満足し、
νd2<50 (2)
さらに、前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズについて以下の条件式(3)を満足し、
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03 (3)
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズについて以下の条件式(4)を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002 (4)
さらに、以下の条件式(7)を満足する走査光学系。
0.35<FOV/Fh<0.55 (7)
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
FOV:前記走査光学系の最大視野数
Fh:前記走査光学系の焦点距離 - 対物レンズと、走査機構との間に設けられる走査光学系であって、
前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群とから構成され、
前記第1レンズ群は、1つの接合レンズまたは単レンズから構成され、
前記第3レンズ群は、2つの接合レンズから構成され、
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式(1)を満足し、
νd1>80 (1)
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式(2)を満足し、
νd2<50 (2)
さらに、前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズについて以下の条件式(3)を満足し、
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03 (3)
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズについて以下の条件式(4)を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002 (4)
さらに、以下の条件式(17)を満足する走査光学系。
0.8<(-Fh3)/Fh<1.3 (17)
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
Fh3:前記第3レンズ群の焦点距離
Fh:前記走査光学系の焦点距離 - 以下の条件式(7)を満足する請求項2に記載の走査光学系。
0.35<FOV/Fh<0.55 (7)
但し、FOV:前記走査光学系の最大視野数 - 以下の条件式(17)を満足する請求項1に記載の走査光学系。
0.8<(-Fh3)/Fh<1.3 (17)
但し、Fh3:前記第3レンズ群の焦点距離 - 前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式(5)を満足し、
θgF1<0.55 (5)
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式(6)を満足する請求項1~4のいずれか一項に記載の走査光学系。
θgF2>0.56 (6) - 以下の条件式(8)を満足する請求項1または3に記載の走査光学系。
hmax≧18.0[mm] (8)
但し、hmax:前記対物レンズの後側焦点を通る主光線のうち、最大像高を規定する主光線の光軸からの最大距離 - 以下の条件式(9)を満足する請求項1または3に記載の走査光学系。
FOV≧23[mm] (9) - 以下の条件式(10)を満足する請求項1または3に記載の走査光学系。
Φmax≧48.0[mm] (10)
但し、Φmax:前記走査光学系の最大外径 - 前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式(11)を満足
し、
θCt1-(0.0048×νd1)-0.542<-0.05 (11)
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式(12)を満足する請求項1~8のいずれか一項に記載の走査光学系。
θCt2-(0.0048×νd2)-0.542>0.01 (12)
但し、θCt1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1とし、前記正の屈折力を有するレンズのt線に対する屈折率をnt1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1としたとき、次式で定義される
θCt1=(nC1-nt1)/(nF1-nC1)
θCt2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2とし、前記負の屈折力を有するレンズのt線に対する屈折率をnt2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2としたとき、次式で定義される
θCt2=(nC2-nt2)/(nF2-nC2) - 前記少なくとも1個の前記正の屈折力を有するレンズは、以下の条件式(13)を満足し、
θCt1>0.79 (13)
前記少なくとも1個の前記負の屈折力を有するレンズは、以下の条件式(14)を満足する請求項9に記載の走査光学系。
θCt2<0.8 (14) - 以下の条件式(15)および(16)を満足する請求項1~10のいずれか一項に記載の走査光学系。
1.5<(-Fh1)/Fh<5.0 (15)
0.6<Fh2/Fh<0.9 (16)
但し、Fh1:前記第1レンズ群の焦点距離
Fh2:前記第2レンズ群の焦点距離 - 光源と、前記光源からの光束を対物レンズを通して試料に向けて走査するための走査機構と、前記対物レンズと前記走査機構との間に設けられた走査光学系とを有する走査型顕微鏡において、
前記走査光学系は、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群とから構成され、
前記第1レンズ群は、1つの接合レンズまたは単レンズから構成され、
前記第3レンズ群は、2つの接合レンズから構成され、
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式(18)を満足し、
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03 (18)
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式(19)を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002 (19)
さらに、以下の条件式(7)を満足する走査型顕微鏡。
0.35<FOV/Fh<0.55 (7)
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
FOV:前記走査光学系の最大視野数
Fh:前記走査光学系の焦点距離 - 光源と、前記光源からの光束を対物レンズを通して試料に向けて走査するための走査機構と、前記対物レンズと前記走査機構との間に設けられた走査光学系とを有する走査型顕微鏡において、
前記走査光学系は、前記走査機構側から順に並んだ、負の屈折力を有する第1レンズ群と、正の屈折力を有する第2レンズ群と、負の屈折力を有する第3レンズ群とから構成され、
前記第1レンズ群は、1つの接合レンズまたは単レンズから構成され、
前記第3レンズ群は、2つの接合レンズから構成され、
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、正の屈折力を有して以下の条件式(18)を満足し、
θgF1-(-0.00168×νd1)-0.644>0.03 (18)
前記第1レンズ群、前記第2レンズ群、および前記第3レンズ群のいずれかに含まれる少なくとも1個のレンズは、負の屈折力を有して以下の条件式(19)を満足し、
θgF2-(-0.00168×νd2)-0.644<-0.002 (19)
さらに、以下の条件式(17)を満足する走査型顕微鏡。
0.8<(-Fh3)/Fh<1.3 (17)
但し、νd1:前記正の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
νd1=(nd1-1)/(nF1-nC1)
νd2:前記負の屈折力を有するレンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負の屈折力を有するレンズのd線に対する屈折率をnd2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
νd2=(nd2-1)/(nF2-nC2)
θgF1:前記正の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記正の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng1とし、前記正の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF1とし、前記正の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC1としたとき、次式で定義される
θgF1=(ng1-nF1)/(nF1-nC1)
θgF2:前記負の屈折力を有するレンズの部分分散比であり、前記負の屈折力を有するレンズのg線に対する屈折率をng2とし、前記負の屈折力を有するレンズのF線に対する屈折率をnF2とし、前記負の屈折力を有するレンズのC線に対する屈折率をnC2としたとき、次式で定義される
θgF2=(ng2-nF2)/(nF2-nC2)
Fh3:前記第3レンズ群の焦点距離
Fh:前記走査光学系の焦点距離 - 前記第1レンズ群の最も前記走査機構側に配置されたレンズにおける前記走査機構側のレンズ面が凹面であり、
前記第3レンズ群の最も前記対物レンズ側に配置されたレンズにおける前記対物レンズ側のレンズ面が凹面である請求項12または13に記載の走査型顕微鏡。 - 前記第2レンズ群は、少なくとも1個の接合正レンズを有する請求項14に記載の走査型顕微鏡。
- 前記第3レンズ群は、前記走査機構側から順に並んだ、第1の接合レンズと、第2の接合レンズとから構成される請求項14または15に記載の走査型顕微鏡。
- 前記第3レンズ群の前記最も前記対物レンズ側に配置されたレンズにおける前記対物レンズ側のレンズ凹面は、前記第2の接合レンズの対物レンズ側レンズ面である請求項16に記載の走査型顕微鏡。
- 以下の条件式(20)を満足する請求項16または17に記載の走査型顕微鏡。
νd3<νd4 (20)
但し、νd3:前記第1の接合レンズを構成する正レンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記正レンズのd線に対する屈折率をnd3とし、前記正レンズのF線に対する屈折率をnF3とし、前記正レンズのC線に対する屈折率をnC3としたとき、次式で定義される
νd3=(nd3-1)/(nF3-nC3)
νd4:前記第1の接合レンズを構成する負レンズのd線を基準とするアッベ数であり、前記負レンズのd線に対する屈折率をnd4とし、前記負レンズのF線に対する屈折率をnF4とし、前記負レンズのC線に対する屈折率をnC4としたとき、次式で定義される
νd4=(nd4-1)/(nF4-nC4) - 以下の条件式(21)を満足する請求項12~18のいずれか一項に記載の走査型顕微鏡。
(FOV/Fh)×(NAob×Fob)>3.1[mm] (21)
但し、FOV:前記走査光学系の最大視野数
NAob:前記対物レンズの開口数
Fob:前記対物レンズの焦点距離 - 前記走査型顕微鏡において、前記光源はレーザー光を供給し、前記走査機構は前記対物レンズを通るレーザ光で試料を走査する走査型共焦点顕微鏡であり、
以下の条件式(22)を満足する請求項12~19のいずれか一項に記載の走査型共焦点顕微鏡。
Φb×θb>63[mm×度] (22)
但し、Φb:前記走査機構から前記走査光学系に入射するレーザ光の径
θb:前記走査機構から前記走査光学系に入射するレーザ光の光軸となす最大角度
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