JP4552248B2 - 顕微鏡用対物レンズ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は倍率が50倍程度で、焦点距離の2倍以上の作動距離を有するアクロマート級の顕微鏡対物レンズに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、本発明のような50倍程度の倍率の顕微鏡対物レンズにおいては、
作動距離を長くしようとすると、球面収差、及び色収差の悪化を招きやすい。
このため、作動距離と開口数の両方を十分に大きくすることは、非常に困難であった。
【0003】
倍率が50倍程度のアクロマート級の長作動距離顕微鏡対物レンズとしては、特開平9−90230号公報に開示されているもの等が知られている。しかし、特開平9−90230号公報に開示されている対物レンズは、開口数が0.45程度であり、満足すべき開口数と作動距離の大きさが得られていなかった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、倍率が50倍程度で、作動距離が長く、開口数を0.55程度まで大きくできるアクロマート級顕微鏡対物レンズを提供する。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、請求項1においては、物体側より順に、
物体側に凹面を向けたメニスカス正レンズよりなる第1レンズ群と、
正レンズと、物体側が正レンズであって少なくとも1つの接合面が負屈折力
を有する接合レンズとを含み、発散光束を収斂光束に変換する正屈折力の第2レンズ群と、
少なくとも1つの接合面が負屈折力を有する、正屈折力の接合レンズよりなる第3レンズ群と、
接合レンズよりなる第4レンズ群と、
接合レンズよりなる第5レンズ群と、
からなり、
以下の条件式を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
n1 > 1.8
ν5N−ν5P ≧ 34.77
ただし、
n1 :第1レンズ群を構成するメニスカス正レンズのd線に対する屈折率
ν5N:第5レンズ群中の負レンズのd線に対するアッベ数
ν5P:第5レンズ群中の正レンズのd線に対するアッベ数
次に、請求項2の対物レンズにおいては、以下の条件式(3)を満足するこ
とを特徴とする。
(3) 1.2 < |r1|/d0 < 2.2
ただし、
d0 :物体面から第1レンズ群の最も物体側の面までの光軸上の距離
r1 :第1レンズ群の最も物体側の面の曲率半径
次に、請求項3の対物レンズにおいては、第3レンズ群が、物体側から順に
、両凸正レンズと、両凹負レンズと、正レンズとの接合レンズであることを特
徴とする。
【0006】
次に、請求項4の対物レンズにおいては、以下の条件式(4)を満足することを特徴とする。
(4) ν5P < 22
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の対物レンズにおいて、第1レンズ群は、物点から発した光束を、発散の度合をゆるめるように通過させる。このとき、第1レンズ群は、正の屈折力を有し、かつ、極力球面収差を発生させないように、物体側に凹面を向けたメニスカス正レンズによって構成される必要がある。さらに、球面収差を発生しにくくするためには、高い開口数の光線に対しても、レンズ面に対する光線の入射角ができるだけ大きくならないようにする必要があり、特に前記メニスカス正レンズの像側の曲率半径を大きくする必要がある。このためには、第1レンズ群を構成するメニスカス正レンズの屈折率ができるだけ高いことが望ましく、少なくとも以下の条件式(1)を満足する必要がある。
(1) n1 > 1.8
条件式(1)の値が下限値を下回ると、第1レンズ群において球面収差が過剰に発生し、後続のレンズ群によっても十分な補正が困難になる。また、上記の効果を十分に発揮するためには、条件式(1)の下限値は1.85であることが望ましい。
【0008】
また、第1レンズ群は、以下の条件式(3)を満足することが望ましい。
(3) 1.2 < |r1|/d0 < 2.2
ただし、
d0 :物体面から第1レンズ群の最も物体側の面までの光軸上の距離
r1 :第1レンズ群の最も物体側の面の曲率半径
球面収差の補正のみを考慮した場合、第1レンズ群の最も物体側の面に対して、物点から発した光束が垂直入射することが望ましい。このときの条件は、
|r1|/d0=1
である。しかしこのような構成であると、同軸落射照明を行なう場合、対物レンズ後方から入射された照明光が、第1レンズ群の最も物体側の面で反射し、フレアー光となって観察像面に戻るため、像のコントラストを著しく悪化させる。従って、条件式(3)の値が下限値を下回ると、同軸落射観察を行う際のフレアー光が大きくなり、観察像のコントラストが著しく悪化する。これに対し、条件式(3)の値が上限値を上回ると、第1レンズ群の最も物体側の面において負の球面収差が過大に発生してしまい、第2レンズ群以降において十分に補正できなくなる可能性がある。
【0009】
次に、第2レンズ群は、第1レンズ群によって発散の度合をゆるめられた光束を、さらに収斂光束に変換し、かつ、第1レンズ群において発生した球面収差及び軸上色収差の一部を補正する。
【0010】
従って、第2レンズ群は、正レンズと、少なくとも1つの接合面が負の屈折力を有する接合レンズとを含む必要がある。このとき、負の屈折力を有する接合面は、第1レンズ群において発生した負の球面収差の補正に寄与するが、接合レンズを構成する物体側のレンズが負レンズであると、接合面が物体側に凸面を向けた形状になる。そうすると、軸外光束の最周辺の光線が接合面に入射する時の角度が大きくなり、次の正の屈折力を有する面に入射するときの、光線の高さが不必要に高くなるため、球面収差の補正に伴って、下側のコマ収差がプラスになりやすい。従って、第2レンズ群に含まれる接合レンズは、接合面を物体側に凹面を向けた形状にするために、物体側が正レンズである必要がある。
【0011】
そして、第2レンズ群において良好な軸上色収差の補正を行なうためには、以下の条件式(5)を満足することが望ましい。
(5) ν2P > 65
ただし
ν2P:第2レンズ群中の接合レンズを構成する正レンズのアッベ数
条件式(5)の値が下限値を下回ると、接合レンズを構成する正レンズと負レンズとのアッベ数の差が小さくなり、軸上色収差の補正が困難になる。また、もし軸上色収差の補正が可能であっても、正レンズ及び負レンズの屈折力が大きくなり過ぎるため、それぞれの曲率半径が小さくなり、高次の球面収差が発生しやすくなる。
【0012】
次に、第3レンズ群は、負の屈折力を有する接合面によって残存する球面収差をさらに補正し、第4レンズ群及び第5レンズ群は接合レンズによって、残存する色収差をさらに補正する。
【0013】
ここで、第3レンズ群において、2次分散も含めた軸上色収差の補正を十分に行なうためには、正レンズを構成するガラスと負レンズを構成するガラスとの、部分分散比の差を小さくすることが望ましい。ただし一般的には、、部分分散比の差が小さくなるようにガラスを選択すると、正レンズを構成するガラスと負レンズを構成するガラスとのアッベ数の差が小さくなりがちであり、単なる2枚の接合レンズで第3レンズ群を構成した場合、十分に色収差を補正しようとすると、正レンズ及び負レンズそれぞれの屈折力が大きくなり過ぎ、それぞれの曲率半径が小さくなり過ぎるため、レンズ形状が加工困難なものになったり、高次の球面収差が発生しやすくなる可能性がある。従ってこれを防ぎ、かつ球面収差とコマ収差とをバランス良く補正するために、第3レンズ群を、物体側から順に、両凸正レンズと、両凹負レンズと、正レンズとの三枚接合レンズによって構成することが望ましい。
【0014】
そして、第3レンズ群において、さらに良好な軸上色収差の補正を行なうためには、第3レンズ群中の接合レンズを構成する正レンズのうちいずれか一つが、以下の条件式(6)を満足することが望ましい。
(6) ν3P > 65
ただし
ν3P:第3レンズ群中の接合レンズを構成する正レンズのうち、いずれか一つのアッベ数
条件式(5)の値が下限値を下回ると、接合レンズを構成する正レンズと負レンズとのアッベ数の差が小さくなり、たとえ第3レンズ群を三枚接合レンズによって構成したとしても、軸上色収差の補正が困難になる。また、もし軸上色収差の補正が可能であっても、正レンズ及び負レンズの屈折力が大きくなり過ぎるため、それぞれの曲率半径が小さくなり、高次の球面収差が発生しやすくなる。
【0015】
次に、第4レンズ群の接合レンズ、及び第5レンズ群の接合レンズによって、残存する軸上色収差、及び倍率色収差を補正する。そして、第4レンズ群において軸上色収差をより良好に補正するためには、第4レンズ群中の接合レンズを構成する正レンズが、以下の条件式を満足することが望ましい。
(7) ν4P > 65
ただし
ν4P:第3レンズ群中の接合レンズを構成する正レンズのうち、いずれか一つのアッベ数
条件式(7)の値が下限値を下回ると、接合レンズを構成する正レンズと負レンズとのアッベ数の差が小さくなり、軸上色収差の補正が困難になる。また、もし軸上色収差の補正が可能であっても、正レンズ及び負レンズの屈折力が大きくなり過ぎるため、それぞれの曲率半径が小さくなり、高次の球面収差が発生しやすくなる。
【0016】
しかし次に、第5レンズ群を構成する接合レンズを、アッベ数の大きな正レンズとアッベ数の小さな負レンズとの接合という通常の色消しレンズの構成とすると、軸上色収差は補正可能であるが、倍率色収差の補正が不十分になってしまう。従って、軸上色収差と倍率色収差とを、両方とも十分に補正するためには、まず第2乃至第4レンズ群において、軸上色収差を過剰に補正し、次に第5レンズ群を構成する接合レンズを、アッベ数の小さな正レンズとアッベ数の大きな負レンズとの接合という通常の色消しレンズとは逆の構成にすることにより、過剰に補正された軸上色収差を適正な補正に戻すとともに、倍率色収差を補正する。そして、倍率色収差を十分に補正するために、特に本発明のような長作動距離対物レンズの場合には、第1レンズ群が前記条件式(1)を満足するのと同時に、第5レンズ群が以下の条件式(2)を満足する必要がある。
(2) ν5N−ν5P > 30
ただし、
ν5N:第5レンズ群中の負レンズのアッベ数
ν5P:第5レンズ群中の正レンズのアッベ数
条件式(2)の値が下限値を下回ると、倍率色収差の補正効果が不足し、十分な倍率色収差の補正ができなくなる。
【0017】
さらに、第5レンズ群において、軸上色収差を補正しつつ、さらに十分に倍率色収差を補正するためには、以下の条件式(4)を満足することが望ましい。
(4) ν5P < 25
ただし
ν5P:第3レンズ群中の接合レンズを構成する正レンズのうち、いずれか一つのアッベ数
条件式(4)の値が上限値を上回ると、倍率色収差を十分に補正することが困難になる。
【0018】
以下、本発明の実施例について説明する。
【0019】
各実施例における顕微鏡対物レンズは無限遠系補正型のものであり、表1に示したような諸元の結像レンズと共に使用される。但し、表1及び以下全ての表中において、fは対物レンズの焦点距離を、N.A.は開口数を、βは倍率を示している。さらに、Rはレンズの曲率半径、Dはレンズ面の間隔、ndおよびνdはそれぞれd線(587.6nm)に対する屈折率およびアッベ数を示している。
また図1に、該結像レンズの構成図を示す。
【0020】
図2は、本発明の実施例1の構成図である。
【0021】
実施例1は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズからなる第1レンズ群G1と、最も物体側に正レンズを配置した接合レンズと、正単レンズとを含み、正屈折力の第2レンズ群G2と、両凸正レンズと負レンズとの接合レンズからなり、正屈折力の第3レンズ群G3と、正レンズと負レンズとの接合レンズからなる第4レンズ群G4と、正レンズと負レンズとの接合レンズからなる第5レンズ群G5によって構成されている。
表2に、実施例1の諸元を示す。
図3に、実施例1の収差図を示す。図2は、実施例1の対物レンズを、前記した結像レンズと組み合わせたときの収差図である。このとき、実施例1の対物レンズと結像レンズとの間隔は150mmとしている。また、図2の各収差図中において、dはd線(587.6nm)における収差を、CはC線(656.3nm)における収差を、FはF線(486.1nm)における収差を、gはg線(435.8nm)における収差を示している。また、非点収差図は、d線(587.6nm)における非点収差を示し、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面を表す。さらに、コマ収差図及び歪曲収差図は、基準波長であるd線のコマ収差及び歪曲収差を示す。
【0022】
図3より、実施例1は、0.55という大きな開口数を確保し、10mm以上の作動距離を有しながら、十分に各収差が補正されていることがわかる。
【0023】
図4は、本発明の実施例2の構成図である。
【0024】
実施例2は、物体側より順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズからなる第1レンズ群G1と、正単レンズと、最も物体側に正レンズを配置した接合レンズとを含み、正屈折力の第2レンズ群G2と、両凸正レンズと両凹負レンズと正レンズとの接合レンズからなり、正屈折力の第3レンズ群G3と、正レンズと負レンズとの接合レンズからなる第4レンズ群G4と、正レンズと負レンズとの接合レンズからなる第5レンズ群G5によって構成されている。
表3に、実施例2の諸元を示す。
図5に、実施例2の収差図を示す。図5は、実施例2の対物レンズを、前記した結像レンズと組み合わせたときの収差図である。このとき、実施例2の対物レンズと結像レンズとの間隔は150mmとしている。ただし、図5の各収差図中における記号は、全て図3と同様である。
【0025】
図5より、実施例2は、開口数が0.45で、17mm以上の作動距離を有するにもかかわらず、十分に各収差が補正されていることがわかる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、 これらの諸条件を満たす事により、作動距離が長い、結像性能の優れた50倍程度のアクロマート級顕微鏡対物レン
ズを得る事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】結像レンズの構成図。
【図2】実施例1の構成図。
【図3】実施例1の収差図。
【図4】実施例2の構成図。
【図5】実施例2の収差図。
【符号の説明】
G1: 第1レンズ群
G2: 第2レンズ群
G3: 第3レンズ群
G4: 第4レンズ群
G5: 第5レンズ群
Claims (4)
- 物体側より順に、
物体側に凹面を向けたメニスカス正レンズよりなる第1レンズ群と、
正レンズと、物体側が正レンズであって少なくとも1つの接合面が負屈折力
を有する接合レンズとを含み、発散光束を収斂光束に変換する正屈折力の第2レンズ群と、
少なくとも1つの接合面が負屈折力を有する、正屈折力の接合レンズよりなる第3レンズ群と、
接合レンズよりなる第4レンズ群と、
接合レンズよりなる第5レンズ群と、
からなり、
以下の条件式を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
n1 > 1.8
ν5N−ν5P ≧ 34.77
ただし、
n1 :第1レンズ群を構成するメニスカス正レンズのd線に対する屈折率
ν5N:第5レンズ群中の負レンズのd線に対するアッベ数
ν5P:第5レンズ群中の正レンズのd線に対するアッベ数 - 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レン
ズ。
1.2 < |r1|/d0 < 2.2
ただし、
d0 :物体面から第1レンズ群の最も物体側の面までの光軸上の距離
r1 :第1レンズ群の最も物体側の面の曲率半径 - 第3レンズ群が、物体側から順に、両凸正レンズと、両凹負レンズと、正レ
ンズとの接合レンズであることを特徴とする請求項1乃至2に記載の顕微鏡対
物レンズ。 - 以下の条件式を満足することを特徴とする請求項1乃至3に記載の顕微鏡対
物レンズ。
ν5P < 22
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