JP3454935B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡対物レンズに関
し、特に、物体側に配置されるカバーガラスのよな透明
な平行平面板の厚さが変化した場合にも良好な結像性能
を維持できるようにした補正環付顕微鏡対物レンズに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、顕微鏡対物レンズは、カバーガ
ラス等の平行平面板の厚さが一定であることを前提とし
て設計されている。そのため、カバーガラスの厚さが設
計基準値より大きく変化する場合、その結像性能は劣化
し、この傾向は対物レンズの開口数（Ｎ．Ａ．) が大き
くなる程顕著になる。そこで、従来より、カバーガラス
の厚さの変化に応じて対物レンズ内のレンズ間隔を変化
させて収差変動を補正するいわゆる補正環付対物レンズ
が知られている。

【０００３】このような補正環付対物レンズとして、特
公平３−５８０８９号に、物体側から順に、物体側に凹
面を向けた正の接合メニスカスレンズ成分の第１レンズ
群、正レンズ又は接合正レンズの第２レンズ群、合成で
正屈折力の第３レンズ群より構成され、カバーガラスの
厚さの変化による収差補正を第２レンズ群を光軸に沿っ
て移動させることにより行う技術が開示されている。

【０００４】次に、特公平４−２６４４８号のものは、
物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
ンズ成分を有する第１レンズ群、正屈折力を有する第２
レンズ群、接合面を持ち合成で負屈折力を有する第３レ
ンズ群、負屈折力を有する第４レンズ群より構成され、
カバーガラスの厚さの変化による収差補正を第３レンズ
群を光軸に沿って移動させることにより行っている。

【０００５】また、特開平４−２２０６１５号のもの
は、物体側より遠い順に、負レンズと正レンズの接合レ
ンズであって、全体で負屈折力の第１レンズ群、負レン
ズと正レンズの接合レンズであって、物体側に凸面を向
けた負メニスカスレンズの第２レンズ群、像側よりも物
体側により強い凸面を向けた正レンズを含む第３レンズ
群、複数の凹レンズと複数の凸レンズ、物体に最も近い
側に物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズを含み全
体で正屈折力を有する第４レンズ群より構成され、カバ
ーガラスの厚さの変化による収差補正を第２レンズ群及
び第３レンズ群を光軸に沿って同時に同方向に移動させ
ることにより行う。

【０００６】さらに、特公平３−５８４９２号のもの
は、物体側から順に、正屈折力を持ち物体からの光束を
収斂光束に変換する第１レンズ群、この収斂光束中で光
軸に沿って移動可能な屈折力の小さい第２レンズ群、負
屈折力の第３レンズ群より構成され、カバーガラスの厚
さの変化による収差補正を第２レンズ群を光軸に沿って
移動させることにより行っている。

【０００７】

【発明の解決しようとする課題】近年、生物学の分野で
は、従来の細胞の形態観察から細胞間の情報伝達機構を
調べることに主眼が移りつつある。それに伴い、顕微鏡
及び対物レンズの高性能化に対するニーズも拡大してき
ており、例えば、倒立型顕微鏡で培養細胞等を観察する
場合においても、細胞の入っているプラスチックシャー
レやガラスシャーレには厚さのばらつきが大きいため、
前述のよな補正環機構を設けるのはもちろんのこと、多
くの観察対象の細胞の大きさから考えて適切な倍率であ
る６０倍程度を持ち、高解像・高コントラストな顕微鏡
対物レンズに対する要求が高まってきている。

【０００８】しかしながら、上記の特公平３−５８０８
９号、特公平４−２６４４８号に開示された技術は、倍
率は４０倍程度、開口数（Ｎ．Ａ．）も０．５５程度で
あり、倍率・解像度の点で物足りない。また、視野の直
径も１８ｍｍ（視野数１８）にすぎない。

【０００９】特開平４−２２０６１５号のものについて
も、Ｎ．Ａ．が０．５と小さく、また、２つのレンズ群
をそれぞれ独立に光軸に沿って移動させているため、対
物レンズ鏡筒枠の構成が複雑になり、高コストとなる。

【００１０】さらに、特公平３−５８４９２号に開示さ
れた技術は、倍率は６０倍、Ｎ．Ａ．は０．７であり、
物体からの光束を収斂光束に変換する第１レンズ群で大
きな負の球面収差を発生させ、正の球面収差を発生させ
る第２レンズ群を光軸に沿って移動させることにより、
カバーガラスの厚さの変化により発生する球面収差の変
化を打ち消しているが、第１レンズ群で大きな負の球面
収差を発生させていることにより、他の諸収差、特に色
収差及びコマ収差も大きく発生しており、第２レンズ群
の移動では打ち消されていないため、色収差がカバーガ
ラスの厚さの補正可能範囲の全般において、また、コマ
収差がカバーガラスの厚さの補正可能範囲の境界付近で
残存している。また、この技術でも視野数は１８にすぎ
ない。

【００１１】本発明は従来技術のこのような状況に鑑み
てなされたもであり、その目的は、倍率が６０倍程度で
開口数（Ｎ．Ａ．）は０．７と大きく、比較的広視野に
わたって球面収差・色収差・コマ収差等の諸収差が良好
に補正され、カバーガラスの厚さが所定の基準値より大
きく変化した場合でも常に優れた結像性能を維持する補
正環付顕微鏡対物レンズを提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、物体側に凹
面を向けた正メニスカスレンズ成分を有し、物体からの
光束をほぼ平行光束に変換する正屈折力の第１レンズ
群、発散性の接合面を含み、合成で正屈折力を有し、光
軸に沿って移動可能な第２レンズ群、強い発散作用を持
つ負屈折力面を有する第３レンズ群、負屈折力の第４レ
ンズ群から構成され、前記第１レンズ群と物体面の間に
配置される透明な平行平面板の厚さに応じて、前記第２
レンズ群を前記第１レンズ群及び前記第３レンズ群に対
して相対的に移動可能に構成し、対物レンズ全系の焦点
距離をＦ、前記第１レンズ群の焦点距離をｆ₁ 、前記第
２レンズ群の焦点距離をｆ₂ 、前記第３レンズ群中の負
屈折力面の中少なくとも１つの曲率半径をＲ₃ 、前記曲
率半径Ｒ₃ の前後の媒質の屈折率差をΔｎとしたとき、
以下の条件を満足することを特徴とするものである。 ２＜ｆ₁ ／Ｆ＜３ ・・・（１） ３＜ｆ₂ ／ｆ₁ ＜６ ・・・（２） １＜｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＜１２ ・・・（３）

【００１３】

【００１４】この場合、前記第２レンズ群が正レンズと
負レンズを含む接合レンズを有することが望ましい。

【００１５】

【作用】以下、上記構成を採用した理由と作用について
説明する。本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、正屈折
力の第１レンズ群は、物体からの光束をほぼ平行光束に
近い状態に変換し、球面収差・軸上色収差・像面湾曲を
補正不足の状態にする。第２レンズ群は、正屈折力を有
し、第２レンズ群を射出した平行光束に近い光束を収斂
光束に変換し、球面収差をさらに補正不足の状態にす
る。軸上色収差は、第２レンズ群中の発散性の接合面に
より若干補正過剰の方向に補正される。第３レンズ群
は、発散性の強い負屈折力面により大きな正の球面収差
を発生させ、さらに、軸上色収差を補正過剰にする役割
を果たしている。負屈折力の第４レンズ群は、補正不足
となっている像面湾曲を補正すると同時に、倍率色収差
を補正する役割も果たしている。このような第１〜４レ
ンズ群の各機能により、対物レンズ全体として良好な結
像性能を維持している。

【００１６】次に、本発明の顕微鏡対物レンズの大きな
特徴である、カバーガラスの厚さの変化により発生する
球面収差の変化が、第２レンズ群を光軸に沿って移動す
ることにより打ち消される過程について説明する。一般
的に、顕微鏡対物レンズにおいては、物体側からの発散
光束を物体側に近いレンズ群の持つ正屈折力により収斂
光束に変換し、像面側へ導くようになっている。そこ
で、物体側に最も近いレンズ群、本発明においては第１
レンズ群、の焦点距離は、他のレンズ群に比べて小さく
なっているのが通常である。したがって、このレンズ群
では諸収差が大きく補正不足あるいは補正過剰になって
おり、後続のレンズ群で如何に大きく発生した諸収差を
補正するかがレンズ設計上の重要なポイントの１つであ
る。特に、本発明のような補正環付顕微鏡対物レンズに
おいては、レンズ群移動による収差補正も行うため、上
記顕微鏡対物レンズの基本的な収差補正のポイントに加
え、より一層の考慮が必要になる。

【００１７】そこで、本発明の補正環付顕微鏡対物レン
ズでは、移動レンズ群での収差発生量・収差変動量及び
固定レンズ群での収差発生量をできる限り小さく抑える
ことを基本としている。具体的には、諸収差が大きく発
生しがちな第１レンズ群には、物体側からの発散光束を
ほぼ平行光束に変換する程度の正屈折力を持たせて、諸
収差の発生、特に負の球面収差や色収差及びコマ収差の
発生をできるだけ抑えている。また、カバーガラスの厚
さが変化しても、その変化量の空気換算長だけ作動距離
を変化させれば、第１レンズ群へ入射する光線高は余り
変化しないため、第１レンズ群での収差変化はごく僅か
である。

【００１８】このとき、もう１つの考え方として、第１
レンズ群での収差発生量を小さくするために、第１レン
ズ群を射出する光束を発散光束とすることも考えられる
が、その場合、対物レンズの限られた全長、いわゆる同
焦点距離の中では、結局これに続くレンズ群での収斂作
用を必要以上に強くせざるを得ず、高次の収差が発生
し、諸収差のバランスが取れなくなる。無理に収差補正
しようとすると、光線高を低く抑えるために作動距離が
極端に短くなり、適切な手段とは言えない。

【００１９】さて、第２レンズ群は、第１レンズ群によ
りほぼ平行に変換された光束を、対物レンズを射出する
所定の径に向けて収斂光束に変換するが、第２レンズ群
より対物レンズ最終面までの距離は十分あるため、余り
大きな正屈折力は必要としない。したがって、第２レン
ズ群で発生する負の球面収差や色収差の発生も少なくて
すむ。さらに、前述のように、カバーガラスの厚さが変
化しても、その変化量の空気換算長だけ作動距離を変化
させているので、第１レンズ群を射出する光線高にはほ
とんど変化はなく、第１レンズ群を射出する光束も平行
に近い状態に維持されているため、第２レンズ群で発生
する負の球面収差の変化量も少ない。したがって、カバ
ーガラスの厚さの変化による球面収差の変化は、第１、
２レンズ群にほとんど影響を与えず、第２レンズ群射出
後でもそのまま保存されている。

【００２０】そこで、第３レンズ群で発生する正の球面
収差の発生量を変化させて、カバーガラスの厚さの変化
による球面収差の変化を打ち消すようにする。具体的に
は、カバーガラスの厚さが所定の基準値よりも薄くなっ
たときは、カバーガラスで発生する正の球面収差量が減
少するため、第２レンズ群を第３レンズ群側へ移動さ
せ、第３レンズ群へ入射する光線高を高くして、第３レ
ンズ群で発生する正の球面収差の発生量を増加させて、
全体として球面収差の変化を打ち消している。逆に、カ
バーガラスの厚さが所定の基準値よりも厚くなったとき
は、カバーガラスで発生する正の球面収差量が増加する
ため、第２レンズ群を第１レンズ群側へ移動させ、第３
レンズ群へ入射する光線高を低くして、第３レンズ群で
発生する正の球面収差の発生量を減少させて、全体とし
て球面収差の変化を打ち消している。

【００２１】繰り返しになるが、各レンズ群、特に第１
レンズ群での球面収差・色収差・コマ収差も発生はでき
る限り抑えてあり、さらに、カバーガラスの厚さが変化
した場合でも、第１レンズ群に入射あるいは射出する光
線高はあまり変化しないので、第１レンズ群・第２レン
ズ群での球面収差・色収差・コマ収差の変動はごく僅か
である。したがって、カバーガラスの厚さの変化による
球面収差の変化を打ち消す目的で第２レンズ群を光軸に
沿って移動させれば、色収差・コマ収差の変化も同時に
打ち消すことができ、視野中心から視野数２２という比
較的広視野にわたって、良好な収差補正が可能となる。

【００２２】本発明において、上記のような各レンズ群
の収差補正機能を満足させるために、以下の条件を満た
すことが望ましい。

【００２３】 ２＜ｆ₁ ／Ｆ＜３ ・・・（１） ３＜ｆ₂ ／ｆ₁ ＜６ ・・・（２） １＜｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＜１２ ・・・（３） ただし、Ｆは対物レンズ全系の焦点距離、ｆ₁ は第１レ
ンズ群の焦点距離、ｆ_２は第２レンズ群の焦点距離、Ｒ
_３ は第３レンズ群中の負屈折力面の中少なくとも１つ
の曲率半径、Δｎはこの曲率半径Ｒ₃ の前後の媒質の屈
折率差である。

【００２４】以下、これら（１）〜（３）の各条件式に
ついて説明する。条件式（１）は、第１レンズ群の屈折
力を定めたもので、球面収差・コマ収差・色収差の補正
に関して設けられた条件である。この条件の下限である
２を外れると、第１レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、
球面収差・コマ収差・色収差・像面湾曲が大きく補正不
足になり、また、短波長域で発生する高次の球面収差も
大きく補正不足になり、後続のレンズ群では補正し切れ
なくなる。他方、この条件の上限である３を越えると、
第１レンズ群の屈折力が弱くなりすぎ、第１レンズ群を
射出する光線高が高くなり、高次の球面収差が発生して
しまう。また、対物レンズの全長を同焦点距離に保つの
が困難になる。さらに、この条件の上限、下限を外れる
と、十分な作動距離を維持しつつ、第１レンズ群を射出
する光束を平行に近い状態に維持することが困難にな
り、カバーガラスの厚さの変化による球面収差変化を、
第２レンズ群の移動により効果的に打ち消すことができ
なくなる。

【００２５】条件式（２）は、第１レンズ群と第２レン
ズ群の屈折力の比を定めたもので、カバーガラスの厚さ
の変化による球面収差の変化を、第２レンズ群の移動に
より効果的に打ち消すために設けられた条件である。こ
の条件の下限である３を外れると、第２レンズ群の屈折
力が相対的に強くなりすぎ、また、この条件の上限であ
る６を越えると、第１レンズ群の屈折力が相対的に強く
なりすぎ、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生する負
の球面収差の発生量がどちらか一方のレンズ群に偏り、
カバーガラスの厚さの変化による球面収差の変化だけ
は、第２レンズ群の移動により打ち消すことができるも
のの、色収差・コマ収差が残存してしまう。

【００２６】条件式（３）は、第３レンズ群の負屈折力
面の発散力を定めたもので、この負屈折力面で正の球面
収差を発生させ、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生
する負の球面収差の発生量を効果的に打ち消すために設
けられた条件である。この条件の下限である１を外れる
と、この負屈折力面がきつくなり、発生する正の球面収
差が多くなりすぎ、また、高次の球面収差も発生して、
カバーガラスの厚さの変化による球面収差の変化を打ち
消すために第２レンズ群を移動しても、正の球面収差や
高次の球面収差が残存してしまう。他方、この条件の上
限である１２を越えると、この負屈折力面で発生する正
の球面収差が少なくなり、また、軸上色収差が補正不足
になってしまい、カバーガラスの厚さの変化による球面
収差の変化を打ち消すために第２レンズ群を移動して
も、負の球面収差や軸上色収差が補正し切れずに残って
しまう。

【００２７】なお、軸上色収差をより一層良好に補正す
るために、第２レンズ群は、正レンズと負レンズを含む
接合レンズを有し、以下の条件を満足することが望まし
い。 ν_2p−ν_2n＞２５ ・・・（４） ただし、ν_2pは第２レンズ群中の少なくとも１つの正レ
ンズのアッベ数、ν_2nは第２レンズ群中の少なくとも１
つの負レンズのアッベ数である。

【００２８】条件式（４）の下限の２５を外れると、軸
上色収差が大きく補正不足のまま残存して、後続の第３
レンズ群の負屈折力面に負担がかかりすぎ、高次収差が
発生し、全系の収差バランスが取れなくなる。

【００２９】また、第３レンズ群中の負屈折力面の発散
力により発生する正の球面収差と軸上色収差を補正過剰
にする作用のバランスを図るために、第３レンズ群は、
正レンズと負レンズを含む接合レンズを有し、以下の条
件を満足することが望ましい。

【００３０】 ｎ_3n−ｎ_3p＞０．１ ・・・（５） ν_3p−ν_3n＞２５ ・・・（６） ただし、ｎ_3pは第３レンズ群中の接合レンズの中の少な
くとも１つの正レンズの屈折率、ｎ_3nは第３レンズ群中
の接合レンズの中の少なくとも１つの負レンズの屈折
率、ν_3pは第３レンズ群中の接合レンズの中の少なくと
も１つの正レンズのアッベ数、ν_3nは第３レンズ群中の
接合レンズの中の少なくとも１つの負レンズのアッベ数
である。

【００３１】条件式（５）の下限の０．１を外れると、
正の球面収差を発生させようとして接合面がきつくな
り、また、他の負屈折力面の曲率も強くなる。その結
果、高次の球面収差が発生してしまい、後続の第４レン
ズ群だけでは補正し切れなくなる。また、条件式（６）
の下限の２５を外れると、軸上色収差が補正し切れない
か、無理に補正しようとすると、接合面がきつくなり、
前述のように高次の球面収差が発生してしまう。

【００３２】さらに、負屈折力の第４レンズ群は、像面
湾曲と倍率色収差をより一層良好に補正するために、物
体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分からなる前群
と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分からなる
後群とからなり、前群で像面湾曲を、後群で倍率色収差
をそれぞれ独立に補正するような構成にすることが望ま
しい。さらに、以下の条件も満足することが望ましい。

【００３３】 Ｄ_4f／Ｒ_4f＞１．２ ・・・（７） ν_4B＜５０ ・・・（８） ただし、Ｄ_4fは第４レンズ群中の物体側に凸面を向けた
メニスカスレンズ成分の中心厚、Ｒ_4fは第４レンズ群中
の最も物体側の凸面の曲率半径、ν_4Bは第４レンズ群中
の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分を構成す
るレンズのアッベ数の平均値である。

【００３４】条件式（７）の下限の１．２を外れると、
第４レンズ群の物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ
成分の中心肉厚が薄くなって、光束径を絞ることができ
なくなり、全系の像面湾曲が補正不足になってしまう。
さらに、条件式（８）の上限の５０を越えると、倍率色
収差が補正過剰のまま残存してしまう。無理に補正しよ
うとすると、軸上色収差が発生してしまい、全系の色収
差補正のバランスが取れなくなる。

【００３５】

【実施例】以下、本発明の補正環付顕微鏡対物レンズの
実施例１〜７について説明する。各実施例のレンズデー
タは後記するが、図１に実施例１のレンズ構成を示す断
面図を、図２に実施例２の、図３に実施例４の、図４に
実施例６の、図５に実施例７の同様の断面図をそれぞれ
示す。なお、実施例３、５については、図１と同様であ
るので、図示は省く。

【００３６】実施例１、３、５は、図１に示すように、
第１レンズ群Ｇ₁ は、物体側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと
両凸レンズの接合レンズからなり、第２レンズ群Ｇ
₂ は、両凸レンズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合
レンズからなり、第３レンズ群Ｇ₃ は、両凸レンズ、物
体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接合レンズか
らなり、第４レンズ群Ｇ₄は、両凸レンズ、両凹レンズ
の接合メニスカスレンズと、両凹レンズ、両凸レンズの
接合メニスカスレンズから構成されている。

【００３７】実施例２は、図２に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズからなり、
第２レンズ群Ｇ₂ は、両凸レンズ、両凹レンズ、両凸レ
ンズの３枚接合レンズからなり、第３レンズ群Ｇ₃ は、
両凸レンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズ
の接合レンズからなり、第４レンズ群Ｇ₄ は、凸平レン
ズ、平凹レンズの接合メニスカスレンズと、両凹レン
ズ、両凸レンズの接合メニスカスレンズから構成されて
いる。

【００３８】実施例４は、図３に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレン
ズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レ
ンズの接合レンズからなり、第２レンズ群Ｇ₂ は、両凸
レンズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合レンズから
なり、第３レンズ群Ｇ₃ は、物体側に凸面を向けた負メ
ニスカスレンズ、両凸レンズ、物体側に凹面を向けた負
メニスカスレンズの３枚接合レンズからなり、第４レン
ズ群Ｇ₄ は、両凸レンズ、両凹レンズの接合メニスカス
レンズと、両凹レンズ、両凸レンズの接合メニスカスレ
ンズから構成されている。

【００３９】実施例６は、図４に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレン
ズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レ
ンズの接合レンズからなり、第２レンズ群Ｇ₂ は、両凸
レンズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合レンズから
なり、第３レンズ群Ｇ₃ は、両凸レンズ、両凹レンズの
接合レンズからなり、第４レンズ群Ｇ₄ は、両凸レン
ズ、両凹レンズの接合メニスカスレンズと、両凹レン
ズ、両凸レンズの接合メニスカスレンズから構成されて
いる。

【００４０】実施例７は、図４に示すように、第１レン
ズ群Ｇ₁ は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレン
ズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レ
ンズの接合レンズからなり、第２レンズ群Ｇ₂ は、両凸
レンズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合レンズから
なり、第３レンズ群Ｇ₃ は、物体側に凸面を向けた負メ
ニスカス単レンズと、両凸レンズ、物体側に凹面を向け
た負メニスカスレンズの接合レンズからなり、第４レン
ズ群Ｇ₄ は、両凸レンズ、両凹レンズの接合メニスカス
レンズと、両凹レンズ、両凸レンズの接合メニスカスレ
ンズから構成されている。

【００４１】以下に、上記各実施例の数値データを示す
が、記号は、上記の他、Ｆは全系の焦点距離、βは倍
率、Ｎ．Ａ．は開口数、Ｗ．Ｄ．は作動距離（カバーガ
ラス上面から最も物体側のレンズの面頂までの距離）、
ｒ₁ 、ｒ₂ …は物体側から順に示した各レンズ面の曲率
半径、ｄ₁ 、ｄ₂ …は物体側から順に示した各レンズ面
間の間隔、ｎ_d1、ｎ_d2…は物体側から順に示した各レン
ズのｄ線の屈折率、ν_d1、ν_d2…は物体側から順に示し
た各レンズのアッベ数である。さらに、カバーガラスの
材質は、実施例１、２、３、５、６はガラスシャーレ
で、そのｄ線の屈折率、アッベ数はそれぞれｎ_d ＝１．
５２２８７、ν_d ＝５９．８９、実施例４、７はプラス
チックシャーレで、そのｄ線の屈折率、アッベ数はそれ
ぞれｎ_d ＝１．５９１０８、ν_d ＝３０．８５として設
計してある。

【００４２】実施例１ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝３．２８ ｒ₁ = -9.6578 ｄ₁ = 2.0003 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.78 ｒ₂ = -5.1212 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = 13.5846 ｄ₃ = 1.2500 ｎ_d2 =1.61340 ν_d2 =43.84 ｒ₄ = 8.1323 ｄ₄ = 4.0000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₅ = -14.3368 ｄ₅ = 1.1533 ｒ₆ = 89.8012 ｄ₆ = 2.7000 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 ｒ₇ = -14.6341 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.61340 ν_d5 =43.84 ｒ₈ = 23.2012 ｄ₈ = 3.8000 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₉ = -11.1740 ｄ₉ = 1.0123 ｒ₁₀= 13.8482 ｄ₁₀= 3.5000 ｎ_d7 =1.43875 ν_d7 =94.97 ｒ₁₁= -8.3788 ｄ₁₁= 1.1000 ｎ_d8 =1.88300 ν_d8 =40.78 ｒ₁₂= -90.3554 ｄ₁₂= 0.2000 ｒ₁₃= 6.0907 ｄ₁₃= 5.2829 ｎ_d9 =1.49700 ν_d9 =81.61 ｒ₁₄= -26.0741 ｄ₁₄= 3.5246 ｎ_d10=1.64450 ν_d10=40.82 ｒ₁₅= 2.9872 ｄ₁₅= 9.7709 ｒ₁₆= -11.5949 ｄ₁₆= 0.9000 ｎ_d11=1.71850 ν_d11=33.52 ｒ₁₇= 7.4340 ｄ₁₇= 2.5000 ｎ_d12=1.84666 ν_d12=23.78 ｒ₁₈= -20.7236 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．３１ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ４．２９ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ６．２９ （４）ν_2p−ν_2n ＝３７．７７ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．４４４ （６）ν_3p−ν_3n ＝５４．１９ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ １．４５ （８）ν_4B ＝２８．６５
。

【００４３】実施例２ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝３．５５９ ｒ₁ = -12.7415 ｄ₁ = 2.0000 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.78 ｒ₂ = -5.9568 ｄ₂ = 0.1016 ｒ₃ = -61.9075 ｄ₃ = 2.8000 ｎ_d2 =1.49700 ν_d2 =81.61 ｒ₄ = -9.1673 ｄ₄ = 0.9481 ｒ₅ = 19.2425 ｄ₅ = 4.5000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₆ = -7.2265 ｄ₆ = 0.8000 ｎ_d4 =1.57041 ν_d4 =48.13 ｒ₇ = 12.8924 ｄ₇ = 4.5000 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.97 ｒ₈ = -9.5328 ｄ₈ = 0.8385 ｒ₉ = 19.1216 ｄ₉ = 3.5000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.97 ｒ₁₀= -8.2659 ｄ₁₀= 1.0400 ｎ_d7 =1.88300 ν_d7 =40.78 ｒ₁₁= -50.7371 ｄ₁₁= 0.2000 ｒ₁₂= 6.4644 ｄ₁₂= 5.6637 ｎ_d8 =1.49700 ν_d8 =81.61 ｒ₁₃= ∞ ｄ₁₃= 3.1816 ｎ_d9 =1.61340 ν_d9 =43.84 ｒ₁₄= 3.1560 ｄ₁₄=10.5670 ｒ₁₅= -16.3696 ｄ₁₅= 0.9000 ｎ_d10=1.67650 ν_d10=37.54 ｒ₁₆= 7.7796 ｄ₁₆= 2.0000 ｎ_d11=1.84666 ν_d11=23.78 ｒ₁₇= -55.8895 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．５５ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ３．３１ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ６．２ （４）ν_2p−ν_2n ＝４６．８４ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．４４４ （６）ν_3p−ν_3n ＝５４．１９ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ １．３７ （８）ν_4B ＝３０．６６
。

【００４４】実施例３ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝３．２８ ｒ₁ = -11.0439 ｄ₁ = 2.0003 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.78 ｒ₂ = -5.5914 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = 19.2358 ｄ₃ = 1.2500 ｎ_d2 =1.64450 ν_d2 =40.82 ｒ₄ = 10.0046 ｄ₄ = 4.0000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₅ = -10.4821 ｄ₅ = 1.4499 ｒ₆ = 88.7979 ｄ₆ = 3.0000 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 r₇ = -11.8605 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.52944 ν_d5 =51.72 ｒ₈ = 22.3672 ｄ₈ = 3.8000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.97 ｒ₉ = -11.3298 ｄ₉ = 1.1987 ｒ₁₀= 16.7912 ｄ₁₀= 3.5000 ｎ_d7 =1.43875 ν_d7 =94.97 ｒ₁₁= -8.8222 ｄ₁₁= 1.1000 ｎ_d8 =1.88300 ν_d8 =40.78 ｒ₁₂= -48.3711 ｄ₁₂= 0.2000 ｒ₁₃= 6.6151 ｄ₁₃= 5.3839 ｎ_d9 =1.49700 ν_d9 =81.61 ｒ₁₄= -55.2564 ｄ₁₄= 3.6439 ｎ_d10=1.61340 ν_d10=43.84 ｒ₁₅= 3.1662 ｄ₁₅= 8.7675 ｒ₁₆= -10.8858 ｄ₁₆= 0.9000 ｎ_d11=1.74000 ν_d11=31.71 ｒ₁₇= 6.2752 ｄ₁₇= 2.5000 ｎ_d12=1.84666 ν_d12=23.78 ｒ₁₈= -22.7825 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．４６ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ４．１７ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ６．６２ （４）ν_2p−ν_2n ＝４２．７９ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．４４４ （６）ν_3p−ν_3n ＝５４．１９ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ １．３６ （８）ν_4B ＝２７．７５
。

【００４５】実施例４ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝３．２８ ｒ₁ = -11.7635 ｄ₁ = 2.0003 ｎ_d1 =1.78650 ν_d1 =50.00 ｒ₂ = -5.5705 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = 51.1040 ｄ₃ = 1.0000 ｎ_d2 =1.64450 ν_d2 =40.82 ｒ₄ = 15.3942 ｄ₄ = 4.5000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₅ = -8.9120 ｄ₅ = 2.3509 ｒ₆ = 95.3605 ｄ₆ = 2.7000 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 ｒ₇ = -19.7362 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.61340 ν_d5 =43.84 ｒ₈ = 33.8588 ｄ₈ = 3.3000 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₉ = -17.0558 ｄ₉ = 1.9182 ｒ₁₀= 19.0855 ｄ₁₀= 1.1000 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₁= 10.7969 ｄ₁₁= 4.8000 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.97 ｒ₁₂= -9.2156 ｄ₁₂= 1.0000 ｎ_d9 =1.78650 ν_d9 =50.00 ｒ₁₃= -25.0641 ｄ₁₃= 0.2000 ｒ₁₄= 7.0957 ｄ₁₄= 6.4566 ｎ_d10=1.49700 ν_d10=81.61 ｒ₁₅= -7.7479 ｄ₁₅= 3.1462 ｎ_d11=1.50847 ν_d11=60.83 ｒ₁₆= 3.0054 ｄ₁₆= 5.2221 ｒ₁₇= -9.5350 ｄ₁₇= 1.0000 ｎ_d12=1.67650 ν_d12=37.54 ｒ₁₈= 5.0231 ｄ₁₈= 2.0000 ｎ_d13=1.80518 ν_d13=25.43 ｒ₁₉= -64.1774 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．７６ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ５．５３ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ８．８３ （４）ν_2p−ν_2n ＝３７．７７ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．１７５ （６）ν_3p−ν_3n ＝４４．９７ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ １．３５ （８）ν_4B ＝３１．４９
。

【００４６】実施例５ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝３．９５ ｒ₁ = -10.6324 ｄ₁ = 2.0003 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.78 ｒ₂ = -5.7706 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = 24.5759 ｄ₃ = 1.2500 ｎ_d2 =1.64450 ν_d2 =40.82 ｒ₄ = 12.5729 ｄ₄ = 4.0000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₅ = -11.4323 ｄ₅ = 1.9951 ｒ₆ = 89.6205 ｄ₆ = 2.5000 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 ｒ₇ = -16.8675 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.61340 ν_d5 =43.84 ｒ₈ = 16.4265 ｄ₈ = 4.5000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.97 ｒ₉ = -11.8392 ｄ₉ = 1.6260 ｒ₁₀= 29.5303 ｄ₁₀= 3.5000 ｎ_d7 =1.43875 ν_d7 =94.97 ｒ₁₁= -9.8799 ｄ₁₁= 1.1000 ｎ_d8 =1.88300 ν_d8 =40.78 ｒ₁₂= -28.4429 ｄ₁₂= 0.2000 ｒ₁₃= 8.3500 ｄ₁₃= 7.0168 ｎ_d9 =1.49700 ν_d9 =81.61 ｒ₁₄= -11.1787 ｄ₁₄= 5.9355 ｎ_d10=1.52944 ν_d10=51.72 ｒ₁₅= 3.0488 ｄ₁₅= 3.0000 ｒ₁₆= -8.4468 ｄ₁₆= 0.9000 ｎ_d11=1.74000 ν_d11=31.71 r₁₇= 4.2614 ｄ₁₇= 2.5000 ｎ_d12=1.84666 ν_d12=23.78 ｒ₁₈= -23.7958 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．７１ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ５．４１ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ７．４１ （４）ν_2p−ν_2n ＝５１．１３ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．４４４ （６）ν_3p−ν_3n ＝５４．１９ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ １．５５ （８）ν_4B ＝２７．７５
。

【００４７】実施例６ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝２．７ ｒ₁ = -9.7625 ｄ₁ = 2.0003 ｎ_d1 =1.88300 ｎ_d1 =40.78 ｒ₂ = -5.3952 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = 19.4183 ｄ₃ = 1.2500 ｎ_d2 =1.64450 ｎ_d2 =40.82 ｒ₄ = 10.4219 ｄ₄ = 4.0000 ｎ_d3 =1.43875 ｎ_d3 =94.97 ｒ₅ = -10.5480 ｄ₅ = 1.7794 ｒ₆ = 91.1232 ｄ₆ = 2.5000 ｎ_d4 =1.43875 ｎ_d4 =94.97 ｒ₇ = -25.3541 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.52944 ｎ_d5 =51.72 r₈ = 19.7586 ｄ₈ = 4.5000 ｎ_d6 =1.43875 ｎ_d6 =94.97 ｒ₉ = -11.2549 ｄ₉ = 1.5090 ｒ₁₀= 11.9296 ｄ₁₀= 3.5000 ｎ_d7 =1.43875 ｎ_d7 =94.97 ｒ₁₁= -8.8854 ｄ₁₁= 1.1000 ｎ_d8 =1.88300 ｎ_d8 =40.78 ｒ₁₂= 28.3383 ｄ₁₂= 0.2000 ｒ₁₃= 5.9893 ｄ₁₃= 7.3398 ｎ_d9 =1.49700 ｎ_d9 =81.61 ｒ₁₄= -6.1436 ｄ₁₄= 5.5333 ｎ_d10=1.71850 ｎ_d10=33.52 ｒ₁₅= 3.1779 ｄ₁₅= 2.8617 ｒ₁₆= -4.2400 ｄ₁₆= 0.9000 ｎ_d11=1.74000 ｎ_d11=31.71 ｒ₁₇= 9.3356 ｄ₁₇= 2.5000 ｎ_d12=1.84666 ｎ_d12=23.78 ｒ₁₈= -6.0462 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．４９ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ３．７５ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ６．６７ （４）ν_2p−ν_2n ＝４３．２５ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．４４４ （６）ν_3p−ν_3n ＝５４．１９ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ ２．１５ （８）ν_4B ＝２７．７５
。

【００４８】実施例７ Ｆ＝ ３，β＝６０，Ｎ．Ａ＝０．７，Ｗ．Ｄ．＝３．２８ ｒ₁ = -11.6223 ｄ₁ = 2.0003 ｎ_d1 =1.78650 ν_d1 =50.00 ｒ₂ = -5.4525 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = 61.8844 ｄ₃ = 1.0000 ｎ_d2 =1.64450 ν_d2 =40.82 ｒ₄ = 15.9784 ｄ₄ = 4.5000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₅ = -8.9897 ｄ₅ = 2.4631 ｒ₆ = 95.4796 ｄ₆ = 2.7000 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.97 ｒ₇ = -17.5712 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.61340 ν_d5 =43.84 ｒ₈ = 28.9861 ｄ₈ = 3.3000 ｎ_d6 =1.49700 ν_d6 =81.61 ｒ₉ = -15.8673 ｄ₉ = 1.9850 ｒ₁₀= 18.8671 ｄ₁₀= 1.1000 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₁= 10.3141 ｄ₁₁= 1.5000 ｒ₁₂= 10.6729 ｄ₁₂= 4.8000 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.97 ｒ₁₃= -9.4265 ｄ₁₃= 1.0000 ｎ_d9 =1.78650 ν_d9 =50.00 ｒ₁₄= -23.3004 ｄ₁₄= 0.2000 ｒ₁₅= 7.0330 ｄ₁₅= 6.4526 ｎ_d10=1.49700 ν_d10=81.61 ｒ₁₆= -8.3944 ｄ₁₆= 3.1409 ｎ_d11=1.50847 ν_d11=60.83 ｒ₁₇= 2.8095 ｄ₁₇= 3.5523 ｒ₁₈= -8.7565 ｄ₁₈= 1.0000 ｎ_d12=1.67650 ν_d12=37.54 ｒ₁₉= 4.3890 ｄ₁₉= 2.0000 ｎ_d13=1.80518 ν_d13=25.43 ｒ₂₀= -96.2784 （１）ｆ₁ ／Ｆ ＝ ２．７５ （２）ｆ₂ ／ｆ₁ ＝ ５．３８ （３）｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＝ ２．１３ （４）ν_2p−ν_2n ＝３７．７７ （５）ｎ_3n−ｎ_3p ＝ ０．１７４６５ （６）ν_3p−ν_3n ＝４４．９７ （７）Ｄ_4f／Ｒ_4f ＝ １．４２ （８）ν_4B ＝３１．４９
。

【００４９】上記実施例１〜７は何れも対物レンズから
の射出光が平行光束となる無限遠補正型の対物レンズで
あり、それ自身では結像しない。そこで、例えば図６に
断面を示す結像レンズと組み合わせて使用される。

【００５０】以下に、この結像レンズのレンズデータを
示す。ただし、データ中、ｒ₁'、ｒ₂'…は物体側から順
に示した各レンズ面の曲率半径、ｄ₁'、ｄ₂'…は物体側
から順に示した各レンズ面間の間隔、ｎ_d1' 、ｎ_d2' …
は物体側から順に示した各レンズのｄ線の屈折率、
ν_d1' 、ν_d2' …は物体側から順に示した各レンズのア
ッベ数である。

【００５１】 ｒ₁'= 68.7541 ｄ₁'= 7.7321 ｎ_d1'=1.48749 ν_d1'=70.20 ｒ₂'= -37.5679 ｄ₂'= 3.4742 ｎ_d2'=1.80610 ν_d2'=40.95 ｒ₃'= -102.8477 ｄ₃'= 0.6973 ｒ₄'= 84.3099 ｄ₄'= 6.0238 ｎ_d3'=1.83400 ν_d3'=37.16 ｒ₅'= -50.7100 ｄ₅'= 3.0298 ｎ_d4'=1.64450 ν_d4'=40.82 ｒ₆'= 40.6619 。

【００５２】この場合、実施例１〜７の対物レンズと図
６の結像レンズの間の間隔は５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間
の何れの位置でもよいが、この間隔を５５ｍｍとした場
合について、実施例１のカバーガラス厚が０．７ｍｍ、
１．２ｍｍ、１．７ｍｍの場合の収差図をそれぞれ図７
〜図９に、実施例２のカバーガラス厚が０．７ｍｍ、
１．２ｍｍ、１．７ｍｍの場合の収差図をそれぞれ図１
０〜図１２に、実施例３のカバーガラス厚が０．６ｍ
ｍ、１．２ｍｍ、１．８ｍｍの場合の収差図をそれぞれ
図１３〜図１５に、実施例４のカバーガラス厚が０．７
ｍｍ、１．２ｍｍ、１．７ｍｍの場合の収差図をそれぞ
れ図１６〜図１８に、実施例５のカバーガラス厚が０．
７ｍｍ、１．２ｍｍ、１．７ｍｍの場合の収差図をそれ
ぞれ図１９〜図２１に、実施例６のカバーガラス厚が
２．５ｍｍ、３ｍｍ、３．５ｍｍの場合の収差図をそれ
ぞれ図２２〜図２４に、実施例７のカバーガラス厚が
０．７ｍｍ、１．２ｍｍ、１．７ｍｍの場合の収差図を
それぞれ図２５〜図２７に示す。ただし、これら収差図
において、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、
（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。なお、上
記間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間で５５ｍｍ以外の位
置においてもほぼ同様の収差状況を示す。

【００５３】なお、上記本発明の顕微鏡対物レンズは、
例えば以下のように構成することができる。 〔１〕 物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ成分を有し、物体からの光束をほぼ平行光
束に変換する正屈折力の第１レンズ群、発散性の接合面
を含み、合成で正屈折力を有し、光軸に沿って移動可能
な第２レンズ群、強い発散作用を持つ負屈折力面を有す
る第３レンズ群、負屈折力の第４レンズ群から構成さ
れ、前記第１レンズ群と物体面の間に配置される透明な
平行平面板の厚さに応じて、前記第２レンズ群を前記第
１レンズ群及び前記第３レンズ群に対して相対的に移動
可能に構成したことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。

【００５４】〔２〕 対物レンズ全系の焦点距離をＦ、
前記第１レンズ群の焦点距離をｆ₁ 、前記第２レンズ群
の焦点距離をｆ₂ 、前記第３レンズ群中の負屈折力面の
中少なくとも１つの曲率半径をＲ₃ 、前記曲率半径Ｒ₃
の前後の媒質の屈折率差をΔｎとしたとき、以下の条件
を満足することを特徴とする上記〔１〕記載の顕微鏡対
物レンズ。

【００５５】 ２＜ｆ₁ ／Ｆ＜３ ・・・（１） ３＜ｆ₂ ／ｆ₁ ＜６ ・・・（２） １＜｜Ｒ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＜１２ ・・・（３） 〔３〕 前記第２レンズ群が正レンズと負レンズを含む
接合レンズを有することを特徴とする上記〔１〕又は
〔２〕記載の顕微鏡対物レンズ。

【００５６】〔４〕 前記第２レンズ群が以下の条件を
満足することを特徴とする上記〔３〕記載の顕微鏡対物
レンズ。 ν_2p−ν_2n＞２５ ・・・（４） ただし、ν_2pは前記第２レンズ群中の少なくとも１つの
正レンズのアッベ数、ν_2nは前記第２レンズ群中の少な
くとも１つの負レンズのアッベ数である。

【００５７】〔５〕 前記第３レンズ群が正レンズと負
レンズを含む接合レンズを有することを特徴とする上記
〔１〕又は〔２〕記載の顕微鏡対物レンズ。

【００５８】〔６〕 前記第３レンズ群が以下の条件を
満足することを特徴とする上記〔５〕記載の顕微鏡対物
レンズ。 ｎ_3n−ｎ_3p＞０．１ ・・・（５） ν_3p−ν_3n＞２５ ・・・（６） ただし、ｎ_3pは前記第３レンズ群中の接合レンズの中の
少なくとも１つの正レンズの屈折率、ｎ_3nは前記第３レ
ンズ群中の接合レンズの中の少なくとも１つの負レンズ
の屈折率、ν_3pは前記第３レンズ群中の接合レンズの中
の少なくとも１つの正レンズのアッベ数、ν_3nは前記第
３レンズ群中の接合レンズの中の少なくとも１つの負レ
ンズのアッベ数である。

【００５９】〔７〕 前記第４レンズ群が以下の条件を
満足する上記〔１〕又は〔２〕記載の顕微鏡対物レン
ズ。 Ｄ_4f／Ｒ_4f＞１．２ ・・・（７） ν_4B＜５０ ・・・（８） ただし、Ｄ_4fは前記第４レンズ群中の物体側に凸面を向
けたメニスカスレンズ成分の中心厚、Ｒ_4fは前記第４レ
ンズ群中の最も物体側の凸面の曲率半径、ν_4Bは前記第
４レンズ群中の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ
成分を構成するレンズのアッベ数の平均値である。

【００６０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、高倍率、高開口数を有し、比較的広視野にわ
たって諸収差が良好に補正され、物体側に配置されたカ
バーガラスのような透明な平行平面板の厚さが所定の基
準値より大きく変化した場合でも、優れた結像性能を維
持する補正環付顕微鏡対物レンズを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１のレンズ
構成を示す断面図である。

【図２】実施例２のレンズ構成を示す断面図である。

【図３】実施例４のレンズ構成を示す断面図である。

【図４】実施例６のレンズ構成を示す断面図である。

【図５】実施例７のレンズ構成を示す断面図である。

【図６】各実施例の顕微鏡対物レンズと組み合わせて使
用される結像レンズの１例の断面図である。

【図７】実施例１のカバーガラス厚が０．７ｍｍの場合
の収差図である。

【図８】実施例１のカバーガラス厚が１．２ｍｍの場合
の収差図である。

【図９】実施例１のカバーガラス厚が１．７ｍｍの場合
の収差図である。

【図１０】実施例２のカバーガラス厚が０．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図１１】実施例２のカバーガラス厚が１．２ｍｍの場
合の収差図である。

【図１２】実施例２のカバーガラス厚が１．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図１３】実施例３のカバーガラス厚が０．６ｍｍの場
合の収差図である。

【図１４】実施例３のカバーガラス厚が１．２ｍｍの場
合の収差図である。

【図１５】実施例３のカバーガラス厚が１．８ｍｍの場
合の収差図である。

【図１６】実施例４のカバーガラス厚が０．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図１７】実施例４のカバーガラス厚が１．２ｍｍの場
合の収差図である。

【図１８】実施例４のカバーガラス厚が１．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図１９】実施例５のカバーガラス厚が０．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図２０】実施例５のカバーガラス厚が１．２ｍｍの場
合の収差図である。

【図２１】実施例５のカバーガラス厚が１．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図２２】実施例６のカバーガラス厚が２．５ｍｍの場
合の収差図である。

【図２３】実施例６のカバーガラス厚が３ｍｍの場合の
収差図である。

【図２４】実施例６のカバーガラス厚が３．５ｍｍの場
合の収差図である。

【図２５】実施例７のカバーガラス厚が０．７ｍｍの場
合の収差図である。

【図２６】実施例７のカバーガラス厚が１．２ｍｍの場
合の収差図である。

【図２７】実施例７のカバーガラス厚が１．７ｍｍの場
合の収差図である。

【符号の説明】

Ｇ₁ …第１レンズ群 Ｇ₂ …第２レンズ群 Ｇ₃ …第３レンズ群 Ｇ₄ …第４レンズ群

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体側から順に、物体側に凹面を向けた
   正メニスカスレンズ成分を有し、物体からの光束をほぼ
   平行光束に変換する正屈折力の第１レンズ群、 発散性の接合面を含み、合成で正屈折力を有し、光軸に
   沿って移動可能な第２レンズ群、 強い発散作用を持つ負屈折力面を有する第３レンズ群、 負屈折力の第４レンズ群から構成され、 前記第１レンズ群と物体面の間に配置される透明な平行
   平面板の厚さに応じて 、前記第２レンズ群を前記第１レンズ群及び前記第３レ
   ンズ群に対して相対的に移動可能に構成し、 対物レンズ全系の焦点距離をＦ、前記第１レンズ群の焦
   点距離をｆ ₁ 、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ ₂ 、前
   記第３レンズ群中の負屈折力面の中少なくとも１つの曲
   率半径をＲ ₃ 、前記曲率半径Ｒ ₃ の前後の媒質の屈折率
   差をΔｎとしたとき、以下の条件を満足する ことを特徴
   とする顕微鏡対物レンズ。 ２＜ｆ ₁ ／Ｆ＜３ ・・・（１） ３＜ｆ ₂ ／ｆ ₁ ＜６ ・・・（２） １＜｜Ｒ ₃ ／Δｎ｜／Ｆ＜１２ ・・・（３）
2. 【請求項２】 前記第２レンズ群が正レンズと負レンズ
   を含む接合レンズを有することを特徴とする請求項１記
   載の顕微鏡対物レンズ。
3. 【請求項３】 前記第２レンズ群が以下の条件を満足す
   ることを特徴とする請求項２記載の顕微鏡対物レンズ。 ν_2p−ν_2n＞２５ ・・・（４） ただし、ν_2pは前記第２レンズ群中の少なくとも１つの
   正レンズのアッベ数、ν_2nは前記第２レンズ群中の少な
   くとも１つの負レンズのアッベ数である。
4. 【請求項４】 前記第３レンズ群が正レンズと負レンズ
   を含む接合レンズを有することを特徴とする請求項１記
   載の顕微鏡対物レンズ。
5. 【請求項５】 前記第３レンズ群が以下の条件を満足す
   ることを特徴とする請求項４記載の顕微鏡対物レンズ。 ｎ_3n−ｎ_3p＞０．１ ・・・（５） ν_3p−ν_3n＞２５ ・・・（６） ただし、ｎ_3pは前記第３レンズ群中の接合レンズの中の
   少なくとも１つの正レンズの屈折率、ｎ_3nは前記第３レ
   ンズ群中の接合レンズの中の少なくとも１つの負レンズ
   の屈折率、ν_3pは前記第３レンズ群中の接合レンズの中
   の少なくとも１つの正レンズのアッベ数、ν_3nは前記第
   ３レンズ群中の接合レンズの中の少なくとも１つの負レ
   ンズのアッベ数である。
6. 【請求項６】 前記第４レンズ群が以下の条件を満足す
   る請求項１記載の顕微鏡対物レンズ。 Ｄ_4f／Ｒ_4f＞１．２ ・・・（７） ν_4B＜５０ ・・・（８） ただし、Ｄ_4fは前記第４レンズ群中の物体側に凸面を向
   けたメニスカスレンズ成分の中心厚、Ｒ_4fは前記第４レ
   ンズ群中の最も物体側の凸面の曲率半径、ν_4Bは前記第
   ４レンズ群中の物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ
   成分を構成するレンズのアッベ数の平均値である。