JP4959230B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

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Description

本発明は、顕微鏡対物レンズに関し、特に、物体側に配置されたカバーガラス等の透明な平行平面板の厚さが変化した場合でも良好な結像性能が得られるようにした補正環付顕微鏡対物レンズに関するものである。
一般に、顕微鏡対物レンズは、カバーガラス等の平行平面板の厚さが設計値より大きく異なる場合は、その結像性能が劣化する。この傾向は、対物レンズの開口数（ＮＡ）が大きくなる程顕著になる。
従来、カバーガラスの厚さの変化に応じて、対物レンズ内のレンズ間隔を変化させて、収差変動を補正するいわゆる補正環対物レンズが知られている。
このような補正環対物レンズの従来例として、下記文献のレンズ系が知られている。
特開平１０−１４２５１０号公報 特開平８−１１４７４７号公報 これら従来例のうち、特許文献１に記載されている対物レンズは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つレンズと像側に凸面を向けた正の屈折力を持つレンズとの接合レンズからなる第１レンズ群と、負の屈折力の接合面を有する接合レンズの第２レンズ群と、発散光束を収斂光束に変える第３レンズ群と、最も像側の面が凹面である負の屈折力を有する第４レンズ群とより構成され、第２レンズ群を光軸に沿って移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差補正を行なっている。
また、特許文献２には、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズ成分を有し、物体からの光をほぼ平行光束に変換する正の屈折力を有する第１レンズ群と、発散性の接合面を含み合成の屈折力が正の屈折力である第２レンズ群と、強い発散作用を持つ負の屈折面を有する第３レンズ群と負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成された対物レンズで、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることにより、カバーガラスの厚さの変化による収差補正を行なっている。
近年、ガラス等の透明な平行平面板の下に配線を行なう製品や、光学素子を組み込んだ電子機器が増加しており、液晶基板の検査等に見られるような、透明な平行平面板越しに物体の検査を行ない得る装置の需要が高まっている。
このような装置に用いられる顕微鏡対物レンズは、高開口数であることと、長作動距離であることが求められ、補正環対物レンズにおいても高開口数であることと、長作動距離であることが求められる。補正環対物レンズの場合、更に透明な平行平面板越しの物体検査装置に組み込み易いように、コンパクトであることが要求される。
しかし、対物レンズは、高ＮＡで、長作動距離になるにつれ、レンズの径は大になる傾向にある。
前記特許文献１の対物レンズは、ＮＡが大きく、収差が抑えられ、高解像で高コントラストであるが、移動群の後ろの群の光線高を十分に抑えきれず、対物レンズの最大光線高つまり対物レンズ全体の径が大であり、装置に組み込みにくい。
また、特許文献２の対物レンズは、ＮＡが大きく、接合レンズにより色収差が補正され、高解像で高コントラストであるが、移動群の光線高が高く、補正群の移動メカ機構を配置するスペースがなくなり、移動機構を配置すると移動機構を含む対物レンズ全体の径が大になり、装置に組み込みにくい。
本発明は、上記のような従来例の問題点を解決するためになされたもので、良好な結像性能を有し、かつ補正環による移動機構のスペースを確保したコンパクトな対物レンズを提供するものである。
本発明の顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、次の条件（１）、（２）、（３）を満足するものである。
（１） ６＜ｆ2／ｆ＜１６
（２） ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
ただし、ｆ2は第２レンズ群の焦点距離、ｆ3は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ3は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ4は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径である。
また、本発明の対物レンズは、上記構成のレンズ系であって、全系の焦点距離が下記条件（５）を満足するもので、更に条件（４）を満足することを特徴とする。
（４） −１０＜ｆ4／ｆ＜−２
（５） １＜ｆ＜５
ただし、ｆ4は第４レンズ群の焦点距離である。
本発明の顕微鏡対物レンズは、前記のレンズ構成つまり前記の第１、第２、第３、第４レンズ群よりなり、条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが下記条件（７）を満足する範囲内で、第４レンズ群の焦点距離ｆ4’が条件（６）を満足するものである。
（６） −４０＜ｆ4’／ｆ＜−２０
（７） ８＜ｆ＜１１
本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群が下記条件（８）を満足することが望ましい。
（８） １＜ｆ1／ｆ＜５
ただし、ｆ1は第１レンズ群の焦点距離である。
前記の顕微鏡対物レンズにおいて、即ち、前記第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群にて構成され、条件（１）、（２）、（３）を満足する対物レンズで、第２レンズ群のうちの最も高い光線高をＨ2、第３レンズ群のうちの最も高い光線高をＨ3とする時、下記条件（９）を満足することが望ましい。
（９） Ｈ2／Ｈ3＜１
また、前記本発明の対物レンズにおいて、第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率Ｎ1を下記条件（１０）を満足する範囲内にすることが望ましい。
（１０） Ｎ1＞１．７
前記顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群の物体側の面の曲率半径をＲ1、像側の面の曲率半径をＲ2とする時、下記条件（１１）を満足することが好ましい。
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＞１
前記本発明の対物レンズにおいて、第４レンズ群を凸レンズと凹レンズを接合した接合レンズを含む構成とし、凸レンズのアッベ数をν(4p)とする時、下記条件（１２）を満足することが望ましい。
（１２） ν(4p)＜３５
前記本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群と第４レンズ群の間の空気間隔をＤとする時、下記条件（１３）を満足することが好ましい。
（１３） ０＜Ｄ＜３
尚、本発明の顕微鏡対物レンズは、以上述べた通りであるが、下記の通りのレンズ系も本発明の目的を達成し得る。
即ち、本発明の対物レンズは、前記のように、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズを有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面である第４レンズ群とよりなり、前記の条件（１）、（２）、（３）を満足するレンズ系で、全系の焦点距離ｆが前記の（５）に示す範囲内であって、条件（４）を満足するもの、あるいは全系の焦点距離ｆが前記の（７）に示す範囲内であって、条件（６）を満足する対物レンズで、更に条件（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）の少なくとも一つの条件を満足するレンズ系も本発明の目的を達成し得る。
次に、上記の本発明のレンズ構成並びに各条件の設定の理由について述べる。
本発明の顕微鏡対物レンズは、前述のように、正の第１レンズ群と、正の第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含む正の第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に凸の面である負の第４レンズ群とよりなり、前記条件（１）、（２）、（３）を満足する。
本発明の対物レンズは、まず正の第１レンズ群により物体より出る高いＮＡの光線の開き角を小さくする作用を有する。
そして、次の第２レンズ群により光束径の広がりを抑えるようにしている。これにより、球面収差や色収差を効果的に補正するようにしている。また、この第２レンズ群は、光軸に沿って移動させることによりガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化による球面収差の変動を調整している。
更に、第２レンズ群は、条件（１）を満足するようにその屈折力を規定している。
この条件（１）において、ｆ2／ｆが下限値の６よりも小になると、第２レンズ群の屈折力が強くなりすぎて負の球面収差が発生し、第１レンズ群で発生する球面収差を補正することが困難である。逆に条件（１）の上限値の１６より大になると、第２レンズ群の屈折力が弱くなり、光束径を抑えきれず、次の第３レンズ群の最大光線高が高くなりすぎて、対物レンズ全体の径が大になる。
次に、第２レンズ群からの光束は、第３レンズ群により収斂される。
本発明の対物レンズは、第２レンズ群を移動させるため、この移動群の移動機構のスペースを確保する必要がある。そのため、光線高のバランスをとることを特徴としている。
対物レンズ全体の最大光線高よりも、移動レンズ群の光線高が小であるとメカ機構を含めた対物レンズ全体の径を大にすることなしに移動レンズ群のメカ機構を配置することができる。
このような関係にするためには、第２レンズ群と第３レンズ群の屈折力の比が条件（２）を満足する必要がある。
（２） ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
この条件（２）は、第２レンズ群と第３レンズ群における収斂させる屈折力の比を定めたもので、これにより第２レンズ群と第３レンズ群の収斂のバランスをとるようにしている。
第２レンズ群の焦点距離が第３レンズ群の焦点距離よりも小さいか、近い値であると両レンズ群による収斂のバランスをとることができる。
ｆ2／ｆ3の値が条件（２）の上限値の１．２よりも大になると、移動レンズ群（第２レンズ群）より後ろのレンズ群の光線高が高くなりすぎて、対物レンズ全体の径が大きくなる。また光線高の高い光線では、高次の収差が発生する。
逆にｆ2／ｆ3の値が下限値の０．２より外れて小になると、移動レンズ群である第２レンズ群の光線高が高くなりすぎて移動群のメカ機構のスペースがなくなる。
更に、本発明の対物レンズは、第３レンズ群が接合レンズ成分を含むことにより、色収差の補正を行なっている。
また、本発明のレンズ径は、第１レンズ群、第２レンズ群、第３レンズ群に大きな屈折力を有する。そのために、第４レンズ群をその最も物体側の面を物体側に凸の面とし、このレンズ群全体を負の屈折力を有するようにし、更に、第３レンズ群の最も像側の面と第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径の関係を条件（３）を満足するように定める必要がある。
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
この条件（３）より外れ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜の値が４より小になると、第３レンズ群から第４レンズ群にかけて光線を十分に下げることができなくなり、十分な負の屈折力を得られず、ペッツバール和を適正な値にコントロールできなくなる。
本発明の対物レンズは、全系の焦点距離ｆが、下記条件（５）の範囲内のレンズ系の場合、第４レンズ群の焦点距離ｆ4を次の条件（４）を満足するようにしている。
（４） −１０＜ｆ4／ｆ＜−２
（５） １＜ｆ＜５
条件（４）においてｆ4／ｆの値が上限値の−２より大になると、コマ収差が発生するため好ましくない。またｆ4／ｆの値が下限値の−１０より小になると、この第４レンズ群の負の屈折力が小になり、ペッツバール和を適正な値に保つことができなくなる。
また、本発明の対物レンズの全系の焦点距離ｆが下記条件（７）の範囲内の場合は、第４レンズ群の焦点距離ｆ4’が下記条件（６）を満足することが望ましい。
（６） −４０＜ｆ4’／ｆ＜−２０
（７） ８＜ｆ＜１１
この場合も、ｆ4’／ｆの値が条件（６）の上限値の−２０より大になると、コマ収差が発生するため好ましくない。またｆ4’／ｆの値が下限値の−４０より小になると、この第４レンズ群の負の屈折力が小になり、ペッツバール和を適正な値に保つことができなくなる。
本発明の対物レンズは、前述のように、第１レンズ群において物体から出る高ＮＡの光束の開き角を小さくしている。この第１レンズ群の屈折力ｆ1は、次の条件（８）を満足するように設定することが望ましい。
（８） １＜ｆ1／ｆ＜５
この条件（８）は、第１レンズ群の屈折力を規定するもので、球面収差、コマ収差、色収差を補正し、また光線高をコントロールするための条件である。
この条件（８）において、ｆ1／ｆが下限値の１より小になると、この第１レンズ群の屈折力が強くなりすぎて、球面収差、コマ収差、色収差が大きく補正不足になり、この第１レンズ群より後のレンズ群にての補正が困難になる。
逆に、ｆ1／ｆが上限値の５より大になると、第１レンズ群の屈折力が弱くなりすぎて、光束径を十分絞りきれなくなり、次の第２レンズ群で光線高が高くなり、移動群である第２レンズ群の移動させるためのメカ機構のスペースを確保できなるなる。更に、第２レンズ群での光線高が高くなることにより高次の球面収差が発生する。
以上述べた本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、下記条件（９）を満足することが望ましい。
（９） Ｈ2／Ｈ3＜１
この条件（９）において、Ｈ2／Ｈ3の値が上限値１より大になると、第２レンズ群の光線高が高くなりレンズの径が大になり、移動群のメカ機構のスペースがなくなる。
更に、本発明の対物レンズにおいて、下記条件（１０）を満足することが望ましい。
（１０） Ｎ1＞１．７
第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率Ｎ1に関する条件で、球面収差、コマ収差を良好に補正するための条件である。この屈折率Ｎ1を大きな値にすることにより、このレンズの像側の面の曲率を緩くして球面収差、コマ収差の発生を防ぐことができる。Ｎ1の値の条件（１０）の下限値の１．７より小になると、球面収差、コマ収差が発生し、後のレンズ群にて補正することが困難になる。
また、本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、下記条件（１１）を満足すればより望ましい。
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＞１
ただし、Ｒ1、Ｒ2は、夫々第１レンズ群の最も物体側のレンズの物体側の面の曲率半径および像側の面の曲率半径である。
この条件（１１）は長い作動距離の対物レンズで、球面収差、コマ収差、フレア等に関するものである。
長作動距離の対物レンズは、第１レンズ群の最も物体側の面の曲率半径を大にしてフレアを小さくし、像側の面の曲率半径を小さくして球面収差、コマ収差の発生を防ぐようにしている。
この条件（１１）において、下限値の１より小になると、フレアが発生すると共に、球面収差、コマ収差が発生し、このレンズ以降のレンズにより補正しきれなくなる。
また、本発明の対物レンズにおいて、第４レンズ群中の接合レンズの凸レンズのアッベ数ν(4p)が下記条件（１２）を満足することが望ましい。
（１２） ν(4p)＜３５
上記条件（１２）は、色収差を補正するためのもので、前記凸レンズのアッベ数ν(4p)が３５より大になると、色収差が補正不足になる。
更に、本発明の顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群と第４レンズ群の軸上空気間隔Ｄを下記条件（１３）を満足する範囲内に設定することが望ましい。
（１３） ０＜Ｄ＜３
この空気間隔Ｄが上限値の３以上になって大になると、第３レンズ群にて高くなっている第４レンズ群のスペースが小になりすぎる。もしくは、第４レンズ群の負の屈折力を強くせざるを得なくなり、コマ収差が発生するため好ましくない。
本発明の対物レンズは、十分良好な結像性能を有し、補正環による移動機構のスペースを確保し、しかもコンパクトな構成で、透明な平行平面板の厚さの変化による収差変動を良好に補正し得るものである。
次に本発明の顕微鏡対物レンズの各実施例について述べる。
本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１は、図１に示す通りの構成であって、下記データを有する。
ＮＡ＝０．４５、ＷＤ＝７．７、β＝−２０、ｆ＝９
ｒ1 ＝511.7622 ｄ1 ＝2.8337 ｎ1 ＝1.75500 ν1 ＝52.32
ｒ2 ＝-10.6395 ｄ2 ＝1.6761
ｒ3 ＝786.4951 ｄ3 ＝1.4031 ｎ2 ＝1.63775 ν2 ＝42.41
ｒ4 ＝11.7157 ｄ4 ＝4.0224 ｎ3 ＝1.43875 ν3 ＝94.93
ｒ5 ＝-13.7840 ｄ5 ＝1.2031
ｒ6 ＝20.4811 ｄ6 ＝3.8894 ｎ4 ＝1.43875 ν4 ＝94.93
ｒ7 ＝-9.9917 ｄ7 ＝1.4079 ｎ5 ＝1.63775 ν5 ＝42.41
ｒ8 ＝-63.5867 ｄ8 ＝2.5875
ｒ9 ＝6.9516 ｄ9 ＝6.0001 ｎ6 ＝1.43875 ν6 ＝94.93
ｒ10＝-12.8237 ｄ10＝1.9998 ｎ7 ＝1.51633 ν7 ＝64.14
ｒ11＝6.2806 ｄ11＝6.4514
ｒ12＝-3.9606 ｄ12＝2.1830 ｎ8 ＝1.51633 ν8 ＝64.14
ｒ13＝-340.3705 ｄ13＝3.7868 ｎ9 ＝1.74100 ν9 ＝52.64
ｒ14＝-9.3379

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ ２
ＷＤ ８．１１９ ７．６９８ ６．９２１
ｄ2 ２．１９ １．６７６ ０．６５
ｄ5 ０．６９ １．２０３ ２．２２９

（１） ｆ2／ｆ＝６．５３７
（２） ｆ2／ｆ3＝０．７０７
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝９．１４７
（６） ｆ4’／ｆ＝−１９．１７２
（７） ｆ＝８．９５４
（８） ｆ1／ｆ＝１．５４６
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．９９２
（１０） Ｎ1＝１．７５５
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝４８．１００
（１２） ν(4p)＝５２．６４０
（１３） Ｄ＝２．５８８

上記データ中、ｒ1 ，ｒ2 ，・・・は各レンズ面の曲率半径、ｄ1 ，ｄ2 ，・・・は各レンズの肉厚および空気間隔、ｎ1 ，ｎ2 ，・・・ は各レンズの屈折率、ν1 ，ν2 ，・・・ は各レンズのアッベ数である。また、ＮＡは開口数、ＷＤは作動距離、βは倍率、ｆは全系の焦点距離、である。尚、上記値において長さの単位はｍｍである。
この実施例１は、図１に示すように、単体の両凸レンズ（ｒ1〜ｒ2）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凹レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ14）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成された対物レンズである。
この実施例１の対物レンズは、使用するカバーガラスの厚さに応じて第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って移動させて補正を行なう。つまり間隔ｄ2 、ｄ5 を変化させて補正を行なう。
このカバーガラスの厚さに対する作動距離ＷＤ、第２レンズ群の移動量（ｄ2 、ｄ5の変化量）をデータ中に示してある。
この実施例１は、データに示すように全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足する。又データに示すように、条件（１）、（２）、（３）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。
この実施例１における第２レンズ群の各位置における収差状況は、つまりカバーガラスの厚さが０ｍｍの時、０．７ｍｍの時、２ｍｍの時の収差状況は夫々図１０、図１１、図１２に示す通りである。
尚、この実施例１の対物レンズは、無限遠補正型であり、図３７に示す結像レンズと組み合わせて用いられる。したがって、前記収差図も上記結像レンズを装着した状態でのものである。
これら図１０、図１１、図１２より明らかなように、収差はいずれも良好に補正されており、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は第２レンズ群の移動により良好に補正されている。
本発明の顕微鏡対物レンズの実施例２は、図２に示す通りの構成であって、下記データを有する。

ＮＡ＝０．４５、ＷＤ＝７．７、β＝−２０、ｆ＝９
ｒ1 ＝351.0865 ｄ1 ＝2.8152 ｎ1 ＝1.75500 ν1 ＝52.32
ｒ2 ＝-10.6513 ｄ2 ＝1.5666
ｒ3 ＝281.3200 ｄ3 ＝1.3969 ｎ2 ＝1.63775 ν2 ＝42.41
ｒ4 ＝11.6679 ｄ4 ＝4.0041 ｎ3 ＝1.43875 ν3 ＝94.93
ｒ5 ＝-13.9484 ｄ5 ＝1.8755
ｒ6 ＝20.3507 ｄ6 ＝3.8962 ｎ4 ＝1.43875 ν4 ＝94.93
ｒ7 ＝-9.5944 ｄ7 ＝1.3983 ｎ5 ＝1.63775 ν5 ＝42.41
ｒ8 ＝-82.6239 ｄ8 ＝2.5950
ｒ9 ＝6.8783 ｄ9 ＝6.0035 ｎ6 ＝1.43875 ν6 ＝94.93
ｒ10＝-12.1962 ｄ10＝2.0045 ｎ7 ＝1.51633 ν7 ＝64.14
ｒ11＝6.6924 ｄ11＝6.4612
ｒ12＝-3.8209 ｄ12＝2.1906 ｎ8 ＝1.51633 ν8 ＝64.14
ｒ13＝121.4062 ｄ13＝3.7920 ｎ9 ＝1.74100 ν9 ＝52.64
ｒ14＝-9.3348

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ ２
ＷＤ ８．１１７ ７．６９２ ６．９１３
ｄ2 ２．０２７ １．５６７ ０．５５６
ｄ5 １．４１７ １．８７８ ２．８８８

（１） ｆ2／ｆ＝６．２０７
（２） ｆ2／ｆ3＝０．５１８
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝１２．０１２
（６） ｆ4’／ｆ＝−３７．２３７
（７） ｆ＝８．９９２
（８） ｆ1／ｆ＝１．５２８
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．９９６
（１０） Ｎ1＝１．７５５
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝３２．９６２
（１２） ν(4p)＝５２．６４０
（１３） Ｄ＝２．９５０

この実施例２は、図２に示すように、単体の両凸レンズ（ｒ1〜ｒ2）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凹レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凹レンズ（ｒ12〜ｒ13）と両凸レンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ14）からなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
そして、この実施例２も第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差を補正している。
この第２レンズ群Ｇ２の移動による間隔ｄ2 、ｄ5 の変化で使用するカバーガラスの値に応じた第２レンズ群の移動量は、データ中に示す通りである。
この実施例２も全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足するレンズ系である。つまり、この実施例２はデータ中に記載するように、条件（１）、（２）、（３）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。
また、第２レンズ群の各位置における収差状況は、夫々図１３、図１４、図１５に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまりカバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、第２レンズ群の移動により良好に補正される。
本発明の顕微鏡対物レンズの実施例３は、図３に示す通りの構成であって、下記データを有する。

ＮＡ＝０．４５、ＷＤ＝７．６、β＝−１７、ｆ＝１０．４
ｒ1 ＝590.8302 ｄ1 ＝2.7526 ｎ1 ＝1.75500 ν1 ＝52.32
ｒ2 ＝-10.8634 ｄ2 ＝1.6914
ｒ3 ＝188.935 ｄ3 ＝1.4109 ｎ2 ＝1.63775 ν2 ＝42.41
ｒ4 ＝11.804 ｄ4 ＝4.0068 ｎ3 ＝1.43875 ν3 ＝94.93
ｒ5 ＝-15.7728 ｄ5 ＝1.1681
ｒ6 ＝27.4571 ｄ6 ＝3.8801 ｎ4 ＝1.43875 ν4 ＝94.93
ｒ7 ＝-9.9939 ｄ7 ＝1.3337 ｎ5 ＝1.60562 ν5 ＝43.7
ｒ8 ＝-42.8394 ｄ8 ＝2.4607
ｒ9 ＝7.131 ｄ9 ＝5.9995 ｎ6 ＝1.43875 ν6 ＝94.93
ｒ10＝-17.6713 ｄ10＝1.9938 ｎ7 ＝1.51823 ν7 ＝58.9
ｒ11＝6.2859 ｄ11＝6.4885
ｒ12＝-3.9297 ｄ12＝2.1174 ｎ8 ＝1.51742 ν8 ＝52.43
ｒ13＝-95.1977 ｄ13＝3.7247 ｎ9 ＝1.755 ν9 ＝52.32
ｒ14＝-8.7085

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ ２
ＷＤ ８．０３９ ７．６１９ ６．８４９
ｄ2 ２．１７５ １．６９１ ０．６２９
ｄ5 ０．６８４ １．１６８ ２．２３１

（１） ｆ2／ｆ＝６．２９２
（２） ｆ2／ｆ3＝０．８８２
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝６．００７
（６） ｆ4’／ｆ＝−３９．５０１
（７） ｆ＝１０．３５９
（８） ｆ1／ｆ＝１．３６７
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．９８６
（１０） Ｎ1＝１．７７５
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝５４．３１１
（１２） ν(4p)＝５２．３２
（１３） Ｄ＝２．４６１

この実施例３は、図３に示すように、物体側より順に単体の両凸レンズ（ｒ1〜ｒ2）よりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凹レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ12〜ｒ14）からなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
この実施例３も第２レンズ群を移動させてカバーガラス等の厚さの変化による収差の補正を行なっている。
データ中にはカバーガラスの厚さに対応する第２レンズ群の位置（ｄ2 、ｄ5 ）等を示してある。
この実施例３は、データに示すように全系の焦点距離がｆ＝９であって条件（７）に示す範囲内の値である。したがって、第４レンズ群Ｇ４が条件（６）を満足する。又データに示すように、条件（１）、（２）、（３）、（８）、（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）を満足する。
この実施例３における第２レンズ群がデータ中に示す各位置における収差状況は、図１６、図１７、図１８に示す通りである。これら図より明らかなように、いずれも収差は良好に補正されており、カバーガラスの厚さによる収差の変動は良好に補正されている。
本発明の実施例４は、図４に示す通りのレンズ構成であって、下記データを有する。

ＮＡ＝０．７、ＷＤ＝３．３、β＝−５０、ｆ＝３．６
ｒ1 ＝-7.1161 ｄ1 ＝3.9842 ｎ1 ＝1.74100 ν1 ＝52.64
ｒ2 ＝-5.3759 ｄ2 ＝0.2017
ｒ3 ＝30.4018 ｄ3 ＝3.6526 ｎ2 ＝1.49700 ν2 ＝81.54
ｒ4 ＝-8.3706 ｄ4 ＝1.4000 ｎ3 ＝1.72047 ν3 ＝34.71
ｒ5 ＝-14.5668 ｄ5 ＝1.1749
ｒ6 ＝31.0081 ｄ6 ＝1.3300 ｎ4 ＝1.78590 ν4 ＝44.2
ｒ7 ＝13.6781 ｄ7 ＝4.5217 ｎ5 ＝1.49700 ν5 ＝81.54
ｒ8 ＝-13.6781 ｄ8 ＝1.2763
ｒ9 ＝-13.3810 ｄ9 ＝1.3500 ｎ6 ＝1.72047 ν6 ＝34.71
ｒ10＝17.8619 ｄ10＝3.7416 ｎ7 ＝1.49700 ν7 ＝81.54
ｒ11＝-20.0357 ｄ11＝0.3057
ｒ12＝19.6054 ｄ12＝3.7698 ｎ8 ＝1.43875 ν8 ＝94.93
ｒ13＝-17.6832 ｄ13＝1.4107 ｎ9 ＝1.83400 ν9 ＝37.16
ｒ14＝-48.3594 ｄ14＝0.3058
ｒ15＝28.4034 ｄ15＝3.4387 ｎ10＝1.61800 ν10＝63.33
ｒ16＝-16.2132 ｄ16＝1.6859 ｎ11＝1.61340 ν11＝44.27
ｒ17＝-71.1011 ｄ17＝1.4457
ｒ18＝8.1527 ｄ18＝3.1866 ｎ12＝1.80518 ν12＝25.42
ｒ19＝73.3349 ｄ19＝1.4016 ｎ13＝1.61340 ν13＝44.27
ｒ20＝3.8916 ｄ20＝3.3130
ｒ21＝-11.7951 ｄ21＝0.9147 ｎ14＝1.56384 ν14＝60.67
ｒ22＝13.2420

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ １．２
ＷＤ ３．８３２ ３．３３３ ２．９７４
ｄ5 ２．０３８ １．１７５ ０．４０９
ｄ8 ０．４１３ １．２７６ ２．０４２

（１） ｆ2／ｆ＝６．９８５
（２） ｆ2／ｆ3＝０．５９０
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝−８．７２１
（４） ｆ4／ｆ＝−２．９２７
（５） ｆ＝３．６０１
（８） ｆ1／ｆ＝２．５９０
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．９１８
（１０） Ｎ1＝１．７４１
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝１．３２４
（１２） ν(4p)＝２５．４２０
（１３） Ｄ＝１．４４６

この実施例４は、図４に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と両凸レンズ（ｒ3〜ｒ4）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）と両凸レンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凸レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ12〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ15〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）と像側と凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と単体の両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
この実施例４は、ｆ＝３．６であって、全系の焦点距離ｆが条件（５）に示す範囲内のレンズ系である。したがって、実施例４は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
この実施例４のレンズ系は、第２レンズ群Ｇ２を移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。つまりデータ中にカバーガラスの厚さに応じてｄ5とｄ8を変化させる。
この実施例４の収差状況は、図１９、図２０、図２１に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さに応じて第２レンズ群を移動させて収差の変動を補正している。
本発明の実施例５は、図５に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．６５、ＷＤ＝３．３、β＝−５０、ｆ＝３．６
ｒ1 ＝-6.6412 ｄ1 ＝3.5687 ｎ1 ＝1.74100 ν1 ＝52.64
ｒ2 ＝-5.0534 ｄ2 ＝0.4356
ｒ3 ＝23.6979 ｄ3 ＝3.5505 ｎ2 ＝1.49700 ν2 ＝81.54
ｒ4 ＝-8.1019 ｄ4 ＝1.5638 ｎ3 ＝1.72047 ν3 ＝34.71
ｒ5 ＝-11.7521 ｄ5 ＝1.5309
ｒ6 ＝78.7455 ｄ6 ＝1.4746 ｎ4 ＝1.78590 ν4 ＝44.2
ｒ7 ＝19.2598 ｄ7 ＝2.4362 ｎ5 ＝1.49700 ν5 ＝81.54
ｒ8 ＝-15.8295 ｄ8 ＝1.9591
ｒ9 ＝-10.1039 ｄ9 ＝1.4738 ｎ6 ＝1.72047 ν6 ＝34.71
ｒ10＝21.3847 ｄ10＝3.1322 ｎ7 ＝1.49700 ν7 ＝81.54
ｒ11＝-14.3025 ｄ11＝0.3869
ｒ12＝36.9212 ｄ12＝3.5375 ｎ8 ＝1.43875 ν8 ＝94.93
ｒ13＝-32.2728 ｄ13＝2.9110 ｎ9 ＝1.83400 ν9 ＝37.16
ｒ14＝-66.6984 ｄ14＝0.2023
ｒ15＝16.2178 ｄ15＝5.7735 ｎ10＝1.61800 ν10＝63.33
ｒ16＝-9.5268 ｄ16＝2.9318 ｎ11＝1.61340 ν11＝44.27
ｒ17＝34.5869 ｄ17＝2.2517
ｒ18＝8.6250 ｄ18＝3.6906 ｎ12＝1.80518 ν12＝25.42
ｒ19＝-4963.6686 ｄ19＝1.8920 ｎ13＝1.61340 ν13＝44.27
ｒ20＝3.7707 ｄ20＝2.3770
ｒ21＝-13.6585 ｄ21＝1.4756 ｎ14＝1.56384 ν14＝60.67
ｒ22＝52.7443

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ １．２
ＷＤ ３．８４６ ３．３３５ ２．９６８
ｄ5 ２．６６１ １．５３１ ０．６１７
ｄ8 ０．８２９ １．９５９ ２．８７３

（１） ｆ2／ｆ＝１０．４８６
（２） ｆ2／ｆ3＝０．３００
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝４．０１０
（４） ｆ4／ｆ＝−４．６４３
（５） ｆ＝３．６０１
（８） ｆ1／ｆ＝２．２６０
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．８６２
（１０） Ｎ1＝１．７４１
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝１．３１４
（１２） ν(4p)＝２５．４２０
（１３） Ｄ＝２．２５２

この実施例５は、図５に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と両凸レンズ（ｒ3〜ｒ4）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）と両凸レンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凸レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ12〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と両凹レンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ15〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ18〜ｒ19）と両凹レンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と単体の両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
この実施例５は、全系の焦点距離ｆがデータに示すようにｆ＝３．６であって、条件（５）に示す範囲のレンズ系である。したがって、実施例５は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する対物レンズである。
この実施例５のレンズ系も、第２レンズ群Ｇ２を移動させてカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。つまりデータに示すように、カバーガラスの厚さに対応してｄ5とｄ8を変化させて収差変動を補正している。
この実施例５の収差状況は、図２２、図２３、図２４に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動を補正している。
本発明の実施例６は、図６に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．６５、ＷＤ＝３．４９、β＝−５０、ｆ＝３．６
ｒ1 ＝-6.6651 ｄ1 ＝3.9041 ｎ1 ＝1.74100 ν1 ＝52.64
ｒ2 ＝-5.3303 ｄ2 ＝0.2960
ｒ3 ＝20.5175 ｄ3 ＝3.6703 ｎ2 ＝1.49700 ν2 ＝81.54
ｒ4 ＝-8.6224 ｄ4 ＝1.6318 ｎ3 ＝1.72047 ν3 ＝34.71
ｒ5 ＝-12.5643 ｄ5 ＝1.1662
ｒ6 ＝186.6075 ｄ6 ＝1.4671 ｎ4 ＝1.78590 ν4 ＝44.2
ｒ7 ＝32.0895 ｄ7 ＝4.3406 ｎ5 ＝1.49700 ν5 ＝81.54
ｒ8 ＝-17.0960 ｄ8 ＝1.5963
ｒ9 ＝-10.8824 ｄ9 ＝1.5113 ｎ6 ＝1.72047 ν6 ＝34.71
ｒ10＝15.1231 ｄ10＝3.7860 ｎ7 ＝1.49700 ν7 ＝81.54
ｒ11＝-18.3524 ｄ11＝0.3896
ｒ12＝17.6826 ｄ12＝5.0208 ｎ8 ＝1.43875 ν8 ＝94.93
ｒ13＝-17.1958 ｄ13＝2.7453 ｎ9 ＝1.83400 ν9 ＝37.16
ｒ14＝-49.0717 ｄ14＝0.2018
ｒ15＝19.5170 ｄ15＝4.0367 ｎ10＝1.61800 ν10＝63.33
ｒ16＝-11.2916 ｄ16＝1.8551 ｎ11＝1.61340 ν11＝44.27
ｒ17＝-124.4000 ｄ17＝1.4947
ｒ18＝7.5168 ｄ18＝3.2427 ｎ12＝1.80518 ν12＝25.42
ｒ19＝21.8154 ｄ19＝1.4959 ｎ13＝1.61340 ν13＝44.27
ｒ20＝3.5464 ｄ20＝3.1412
ｒ21＝-13.9111 ｄ21＝0.8932 ｎ14＝1.56384 ν14＝60.67
ｒ22＝11.1115

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．７ １．２
ＷＤ ４ ３．４９１ ３．１２６
ｄ5 ２．１５８ １．１６６ ０．４０５
ｄ8 ０．６０５ １．５９６ ２．３５８

（１） ｆ2／ｆ＝１１．２８６
（２） ｆ2／ｆ3＝１．１９０
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝−１６．５５０
（４） ｆ4／ｆ＝−２．８５６
（５） ｆ＝３．６０１
（８） ｆ1／ｆ＝２．３０９
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．８３９
（１０） Ｎ1＝１．７４１
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝１．２５０
（１２） ν(4p)＝２５．４２０
（１３） Ｄ＝１．４９５

この実施例６は、図６に示すように、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と両凸レンズ（ｒ3〜ｒ4）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）と両凸レンズ（ｒ7〜ｒ8）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ6〜ｒ8）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ9〜ｒ10）と両凸レンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ11）と両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ12〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ15〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と単体の両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
この実施例６は、全系の焦点距離ｆがｆ＝３．６で、条件（５）の範囲の焦点距離のレンズ系である。
この実施例６は、データに示すように、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
また、第２レンズ群Ｇ２をデータに示すようにｄ5とｄ8を変化させて移動することによって、カバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。
この実施例６の収差状況は、図２５、図２６、図２７に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
本発明の実施例７は、図７に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．８、ＷＤ＝１．５、β＝−１００、ｆ＝１．８
ｒ1 ＝-6.4131 ｄ1 ＝1.8872 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.76
ｒ2 ＝-3.5144 ｄ2 ＝0.15
ｒ3 ＝116.8536 ｄ3 ＝1.7485 ｎ2 ＝1.72047 ν2 ＝34.71
ｒ4 ＝9.8301 ｄ4 ＝3.9577 ｎ3 ＝1.49700 ν3 ＝81.54
ｒ5 ＝-6.0797 ｄ5 ＝1.1614
ｒ6 ＝14.897 ｄ6 ＝2.7659 ｎ4 ＝1.43875 ν4 ＝94.93
ｒ7 ＝-10.2282 ｄ7 ＝1.1828
ｒ8 ＝-7.8385 ｄ8 ＝1.6088 ｎ5 ＝1.75500 ν5 ＝52.32
ｒ9 ＝20.1451 ｄ9 ＝3.8246 ｎ6 ＝1.43875 ν6 ＝94.93
ｒ10＝-7.1339 ｄ10＝1.3945 ｎ7 ＝1.65412 ν7 ＝39.68
ｒ11＝-14.5872 ｄ11＝0.1
ｒ12＝28.1671 ｄ12＝3.7541 ｎ8 ＝1.56907 ν8 ＝71.3
ｒ13＝-14.8567 ｄ13＝0.2
ｒ14＝14.172 ｄ14＝1 ｎ9 ＝1.72916 ν9 ＝54.68
ｒ15＝8.8213 ｄ15＝3.5586 ｎ10＝1.43875 ν10＝94.93
ｒ16＝-15.6932 ｄ16＝1.0289 ｎ11＝1.72047 ν11＝34.71
ｒ17＝-292.431 ｄ17＝0.1
ｒ18＝10.3581 ｄ18＝3.928 ｎ12＝1.60300 ν12＝65.44
ｒ19＝15 ｄ19＝3.4576 ｎ13＝1.51633 ν13＝64.14
ｒ20＝3.222 ｄ20＝5.0454
ｒ21＝4.7959 ｄ21＝2.0368 ｎ14＝1.80518 ν14＝25.42
ｒ22＝-13.4523 ｄ22＝0.4 ｎ15＝1.75500 ν15＝52.32
ｒ23＝5.0917 ｄ23＝1.2
ｒ24＝-9.9082 ｄ24＝1.2 ｎ16＝1.80518 ν16＝25.42
ｒ25＝28.8646

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．４ ０．７
ＷＤ １．７８ １．４９９ １．２８７
ｄ5 １．６２１ １．１６１ ０．７３７
ｄ7 ０．７２４ １．１８３ １．６０９

（１） ｆ2／ｆ＝７．９４６
（２） ｆ2／ｆ3＝０．２３８
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝２８．２３２
（４） ｆ4／ｆ＝−４．６４７
（５） ｆ＝１．８
（８） ｆ1／ｆ＝３．０３９
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．７４８
（１０） Ｎ1＝１．８８３
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝１．８２５
（１２） ν(4p)＝２５．４２
（１３） Ｄ＝０．１

実施例７のレンズ系は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、単体の両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凹レンズ（ｒ8〜ｒ9）と両凸レンズ（ｒ9〜ｒ10）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ10〜ｒ11）を貼り合わせた３枚の接合レンズ（ｒ8〜ｒ11）と単体の両凸レンズ（ｒ12〜ｒ13）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ14〜ｒ15）と両凸レンズ（ｒ15〜ｒ16）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ16〜ｒ17）とを貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ14〜ｒ17）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ19〜ｒ20）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ20）と両凸レンズ（ｒ21〜ｒ22）と両凹レンズ（ｒ22〜ｒ23）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ21〜ｒ23）と単体の両凹レンズ（ｒ24〜ｒ25）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
この実施例７のレンズ系は、データ中に示すように全系の焦点距離ｆがｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内の焦点距離である。したがって、第４レンズ群が条件（４）を満足する。つまり実施例７はデータに示すように、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
この実施例７も、第２レンズ群Ｇ２を移動して、つまり、カバーガラスの厚さの変化に対応して、データに示すように、間隔ｄ5、ｄ7を変化させて、カバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。
この実施例７の収差状況は、図２８、図２９、図３０に示す通りで、良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
本発明の実施例８の光学系は、図８に示す通りの構成で、下記データを有する。

ＮＡ＝０．８５、ＷＤ＝１．２８、β＝−１００、ｆ＝１．８
ｒ1 ＝-10.1037 ｄ1 ＝1.5759 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.76
ｒ2 ＝-5.4838 ｄ2 ＝0.15
ｒ3 ＝73.2387 ｄ3 ＝2.278 ｎ2 ＝1.74951 ν2 ＝35.33
ｒ4 ＝14.3381 ｄ4 ＝4.6437 ｎ3 ＝1.49700 ν3 ＝81.54
ｒ5 ＝-6.6845 ｄ5 ＝1.273
ｒ6 ＝473.0632 ｄ6 ＝2.3126 ｎ4 ＝1.58913 ν4 ＝61.14
ｒ7 ＝-16.3646 ｄ7 ＝1.5111
ｒ8 ＝66.6774 ｄ8 ＝4.8207 ｎ5 ＝1.43875 ν5 ＝94.93
ｒ9 ＝-8.7946 ｄ9 ＝1.35 ｎ6 ＝1.65412 ν6 ＝39.68
ｒ10＝-31.5482 ｄ10＝0.1
ｒ11＝27.0709 ｄ11＝2.473 ｎ7 ＝1.49700 ν7 ＝81.54
ｒ12＝-29.8881 ｄ12＝0.2
ｒ13＝18.2202 ｄ13＝1.4 ｎ8 ＝1.72916 ν8 ＝54.68
ｒ14＝9.0694 ｄ14＝5.7345 ｎ9 ＝1.43875 ν9 ＝94.93
ｒ15＝-7.7731 ｄ15＝1.2 ｎ10＝1.61340 ν10＝44.27
ｒ16＝118.3338 ｄ16＝0.1
ｒ17＝6.0069 ｄ17＝3.5034 ｎ11＝1.49700 ν11＝81.54
ｒ18＝100.0715 ｄ18＝2.5178 ｎ12＝1.61340 ν12＝44.27
ｒ19＝3.9277 ｄ19＝3.1927
ｒ20＝4.5166 ｄ20＝2.4729 ｎ13＝1.80518 ν13＝25.42
ｒ21＝-9.4524 ｄ21＝0.62 ｎ14＝1.72916 ν14＝54.68
ｒ22＝3.66 ｄ22＝1.5328
ｒ23＝-2.9476 ｄ23＝1.0016 ｎ15＝1.69895 ν15＝30.13
ｒ24＝-6.9668

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．４ ０．７
ＷＤ １．４５４ １．２８２ １．１６１
ｄ5 ２．１４８ １．２７３ ０．４９９
ｄ7 ０．６３７ １．５１１ ２．２８６

（１） ｆ2／ｆ＝４．２４４
（２） ｆ2／ｆ3＝１４．９４２
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝１９．７
（４） ｆ4／ｆ＝−９．０８７
（５） ｆ＝１．８
（８） ｆ1／ｆ＝４．２４４
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．９５６
（１０） Ｎ1＝１．８８３
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝１．８４２
（１２） ν(4p)＝２５．４２
（１３） Ｄ＝０．１

この実施例８のレンズ系は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、単体の両凸レンズ（ｒ6〜ｒ7）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズ（ｒ8〜ｒ9）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ10）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ8〜ｒ10）と単体の両凸レンズ（ｒ11〜ｒ12）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ14〜ｒ15）と両凹レンズ（ｒ15〜ｒ16）とを貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ13〜ｒ16）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ17〜ｒ18）と像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ18〜ｒ19）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ17〜ｒ19）と両凸レンズ（ｒ20〜ｒ21）と両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ20〜ｒ22）と物体側に凹面を向けた単体の負のメニスカスレンズ（ｒ23〜ｒ24）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成された対物レンズである。
この実施例８の対物レンズの全系の焦点距離ｆはｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内の値で、したがって、この実施例８は条件（４）を満足する。つまり実施例８の対物レンズは、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
また実施例８も、第２レンズ群Ｇ２を移動してカバーガラスの厚さの変化による収差変動を補正している。例えばデータに示すように、カバーガラスの厚さに応じて、第２レンズ群を移動して、その前後の間隔ｄ5、ｄ7を変化させて収差変動を補正している。
この実施例８の収差状況は、図３１、図３２、図３３に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
本発明の実施例９は、図９に示す通りの対物レンズで、下記データを有する。

ＮＡ＝０．８、ＷＤ＝１．５、β＝−１００、ｆ＝１．８
ｒ1 ＝-11.0153 ｄ1 ＝1.25 ｎ1 ＝1.88300 ν1 ＝40.76
ｒ2 ＝-4.7398 ｄ2 ＝0.15
ｒ3 ＝75.4804 ｄ3 ＝1.834 ｎ2 ＝1.74951 ν2 ＝35.33
ｒ4 ＝12.2874 ｄ4 ＝5.2782 ｎ3 ＝1.49700 ν3 ＝81.54
ｒ5 ＝-6.7073 ｄ5 ＝1.3145
ｒ6 ＝-460.618 ｄ6 ＝2.2185 ｎ4 ＝1.58913 ν4 ＝61.14
ｒ7 ＝-15.4389 ｄ7 ＝1.3144
ｒ8 ＝-315.987 ｄ8 ＝4.6485 ｎ5 ＝1.43875 ν5 ＝94.93
ｒ9 ＝-7.6277 ｄ9 ＝1.5 ｎ6 ＝1.65412 ν6 ＝39.68
ｒ10＝-22.2502 ｄ10＝0.1
ｒ11＝25.6319 ｄ11＝2.6017 ｎ7 ＝1.49700 ν7 ＝81.54
ｒ12＝-122.917 ｄ12＝0.2
ｒ13＝11.0415 ｄ13＝1.2 ｎ8 ＝1.72916 ν8 ＝54.68
ｒ14＝7.2433 ｄ14＝6.1973 ｎ9 ＝1.43875 ν9 ＝94.93
ｒ15＝-10.786 ｄ15＝1 ｎ10＝1.61340 ν10＝44.27
ｒ16＝25 ｄ16＝0.1
ｒ17＝5.4163 ｄ17＝3.262 ｎ11＝1.49700 ν11＝81.54
ｒ18＝-226.993 ｄ18＝3.1635 ｎ12＝1.61340 ν12＝44.27
ｒ19＝2.8676 ｄ19＝4.6293
ｒ20＝4.1817 ｄ20＝1.9386 ｎ13＝1.80518 ν13＝25.42
ｒ21＝-14.5209 ｄ21＝0.5 ｎ14＝1.755 ν14＝52.32
ｒ22＝3.9555 ｄ22＝1.4401
ｒ23＝-3.4982 ｄ23＝0.6 ｎ15＝1.80518 ν15＝25.42
ｒ24＝-5.8209

カバーガラス厚（ｍｍ） ０ ０．４ ０．７
ＷＤ １．６９３ １．４９９ １．３５８
ｄ5 ２．１８ １．３１４ ０．５４６
ｄ7 ０．４４９ １．３１４ ２．０８３

（１） ｆ2／ｆ＝１５．７１１
（２） ｆ2／ｆ3＝０．７０４
（３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＝４．７４
（４） ｆ4／ｆ＝−９．０１７
（５） ｆ＝１．８
（８） ｆ1／ｆ＝３．７９１
（９） Ｈ2／Ｈ3＝０．９４２
（１０） Ｎ1＝１．８８３
（１１） ｜Ｒ1｜／｜Ｒ2｜＝２．３２４
（１２） ν(4p)＝２５．４２
（１３） Ｄ＝０．１

この実施例９は、物体側より順に、像面側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ1〜ｒ2）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ3〜ｒ4）と両凸レンズ（ｒ4〜ｒ5）を貼り合わせた接合レンズ（ｒ3〜ｒ5）とよりなる第１レンズ群Ｇ１と、像側に凸面を向けた単体の正のメニスカスレンズ（ｒ6〜ｒ7）よりなる第２レンズ群Ｇ２と、物体側に凹面を向けた正のメニスカスレンズ（ｒ8〜ｒ9）と像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ9〜ｒ10）とを貼り合わせた接合レンズ（ｒ8〜ｒ10）と単体の両凸レンズ（ｒ11〜ｒ12）と物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ（ｒ13〜ｒ14）と両凸レンズ（ｒ14〜ｒ15）と両凹レンズ（ｒ15〜ｒ16）を貼り合わせた３枚接合レンズ（ｒ13〜ｒ16）よりなる第３レンズ群Ｇ３と、両凸レンズ（ｒ17〜ｒ18）と両凹レンズ（ｒ18〜ｒ19）を貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ17〜ｒ19）と両凸レンズ（ｒ20〜ｒ21）と両凹レンズ（ｒ21〜ｒ22）とを貼り合わせた接合メニスカスレンズ（ｒ20〜ｒ22）と物体側に凹面を向けた単体の負のメニスカスレンズ（ｒ23〜ｒ24）とよりなる第４レンズ群Ｇ４とにて構成されたレンズ系である。
この実施例９の対物レンズは、全系の焦点距離ｆがｆ＝１．８であって、条件（５）の範囲内のレンズ系であり、条件（４）を満足する。つまり実施例９は、条件（１）乃至条件（５）および条件（８）乃至条件（１３）を満足する。
また実施例９のレンズ系は、カバーガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化による収差変動を、第２レンズ群Ｇ２を移動して補正している。データに示すように、この実施例９は、カバーガラスの厚さに応じて、第２レンズ群Ｇ２を移動して（間隔ｄ5、ｄ7を変化させて）収差変動を補正している。
この実施例９の収差状況は、図３４、図３５、図３６に示す通りで、いずれも良好に補正されている。つまり、カバーガラスの厚さの変化による収差の変動は、良好に補正されている。
尚、実施例１と同様に実施例２乃至実施例９も無限遠補正のレンズ系であり、例えば図３７に示すような結像レンズを配置して使用される。
この図３７に示す結像レンズは、次のデータを有する。

Ｆ＝１８０
Ｒ1 ＝68.754 Ｄ1 ＝7.732 Ｎ1 ＝1.487 Ｖ1 ＝70.2
Ｒ2 ＝-37.567 Ｄ2 ＝3.474 Ｎ2 ＝1.806 Ｖ2 ＝40.9
Ｒ3 ＝-102.847 Ｄ3 ＝0.697
Ｒ4 ＝84.309 Ｄ4 ＝6.023 Ｎ3 ＝1.834 Ｖ3 ＝37.1
Ｒ5 ＝-50.710 Ｄ5 ＝3.029 Ｎ4 ＝1.644 Ｖ4 ＝40.8
Ｒ6 ＝40.661
ここで、Ｒ1 ，Ｒ2 ，・・・Ｒ6は結像レンズの各レンズ面の曲率半径、Ｄ1 ，Ｄ2 ，・・・Ｄ5 は結像レンズの各レンズの肉厚および空気間隔、Ｎ1 ，Ｎ2 ，Ｎ3 ，Ｎ4は結像レンズの各レンズの屈折率、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 ，Ｖ4は結像レンズの各レンズのアッベ数、Ｆは結像レンズの焦点距離である。
前記実施例１〜実施例９の対物レンズは、図３７に示す結像レンズとの間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間のいずれかの間隔を設けた配置にて用いられる。
前記各実施例の収差図は、対物レンズと結像レンズとの間隔が１１９ｍｍの時のものである。しかし、１１９ｍｍ以外で前記範囲内の間隔であれば、前記収差図に示すものとほぼ同様の収差状況である。
本発明の対物は、補正環付顕微鏡対物レンズで、カバーガラス等の透明な平行平面板の厚さの変化にも対応でき、厚さの変化による収差変動を容易に補正し得て、常に良好な結像性能にての物体の観察が可能である。
本発明の実施例１の断面図 本発明の実施例２の断面図 本発明の実施例３の断面図 本発明の実施例４の断面図 本発明の実施例５の断面図 本発明の実施例６の断面図 本発明の実施例７の断面図 本発明の実施例８の断面図 本発明の実施例９の断面図 本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例１のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例２のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例３のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例４のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例５のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例６のカバーガラスの厚さが１．２ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例７のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例８のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０．４ｍｍの場合の収差図 本発明の実施例９のカバーガラスの厚さが０．７ｍｍの場合の収差図 上記各実施例の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズの断面図
符号の説明
Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ３ 第３レンズ群
Ｇ４ 第４レンズ群

Claims (9)

  1. 物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有し光軸に沿って移動可能な第２レンズ群と、少なくとも一つの接合レンズ成分を含み全体として正の屈折力を有する第３レンズ群と、最も物体側の面が物体側に向けた凸面で全体として負の屈折力を有する第４レンズ群にて構成され、下記条件（１）、（２）、（３）を満足し、全系の焦点距離が下記（７）の範囲内で下記条件（６）を満足する顕微鏡対物レンズ。
    （１） ６＜ｆ2／ｆ＜１６
    （２） ０．２＜ｆ2／ｆ3＜１．２
    （３） ｜Ｒ3｜／｜Ｒ4｜＞４
    （６） −４０＜ｆ 4 ’／ｆ＜−２０
    （７） ８＜ｆ＜１１
    ただし、ｆ2は第２レンズ群の焦点距離、ｆ3は第３レンズ群の焦点距離、ｆは対物レンズ全系の焦点距離、Ｒ3は第３レンズ群の最も像側の面の曲率半径、Ｒ4は第４レンズ群の最も物体側の面の曲率半径、ｆ 4 ’は第４レンズ群の焦点距離である。
  2. 下記条件（８）を満足する請求項１の顕微鏡対物レンズ。
    （８） １＜ｆ 1 ／ｆ＜５
    ただし、ｆ 1 は前記第１レンズ群の焦点距離である。
  3. 下記条件（９）を満足する請求項１又は２の顕微鏡対物レンズ。
    （９） Ｈ 2 ／Ｈ 3 ＜１
    ただし、Ｈ 2 は第２レンズ群の最も高い光線高、Ｈ 3 は第３レンズ群の最も高い光線高である。
  4. 下記条件（１０）を満足する請求項１、２又は３の顕微鏡対物レンズ。
    （１０） Ｎ 1 ＞１．７
    ただし、Ｎ 1 は第１レンズ群の最も物体側のレンズの屈折率である。
  5. 下記条件（１１）を満足する請求項１、２、３又は４の顕微鏡対物レンズ。
    （１１） ｜Ｒ 1 ｜／｜Ｒ 2 ｜＞１
    ただし、Ｒ 1 、Ｒ 2 は夫々前記第１レンズ群の最も物体側のレンズの物体側の面および像側の面の曲率半径である。
  6. 前記第４レンズ群が凸レンズと凹レンズを接合した接合レンズを含み下記条件（１２）を満足する請求項１、２、３、４又は５の顕微鏡対物レンズ。
    （１２） ν (4p) ＜３５
    ただし、ν (4p) は、前記第４レンズ群の接合レンズの凸レンズのアッベ数である。
  7. 下記条件（１３）を満足する請求項１、２、３、４、５又は６の顕微鏡対物レンズ。
    （１３） ０＜Ｄ＜３
    ただし、Ｄは第３レンズ群と第４レンズ群の光軸上の空気間隔（ｍｍ）である。
  8. 単体の両凸レンズよりなる前記１レンズ群と、
    物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第２レンズ群と、
    両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第３レンズ群と、
    両凸レンズと両凹レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと物体側に凹面を向けた負のメニスカスレンズと像側に凸面を向けた正のメニスカスレンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズとよりなる前記第４レンズ群とにて構成された請求項１から７のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  9. 単体の両凸レンズよりなる前記第１レンズ群と、
    物体側に凸面を向けた負のメニスカスレンズと両凸レンズを貼り合わせた接合レンズとよりなる前記第２レンズ群と、
    両凸レンズと像側に凸面を向けた負のメニスカスレンズを貼り合わせた接合レンズよりなる前記第３レンズ群と、
    両凸レンズと両凹レンズを貼り合わせた接合メニスカスレンズと両凹レンズと両凸レンズとを貼り合わせた接合メニスカスレンズからなる前記第４レンズ群とにて構成された請求項１から７のいずれか１項に記載の顕微鏡対物レンズ。
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