JPH10288740A - 長作動距離顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １００倍を越える倍率でも従来以上に作動距
離の長い顕微鏡対物レンズ。 【解決手段】 物体側に凹面を向けた正メニスカスレン
ズ及び複数の接合レンズを含み、正の屈折力を持ち、物
体からの光線を収斂光束に変換するＡレンズ群と、負の
屈折力を持つＢレンズ群から構成され、ｆ_A をＡレンズ
群の焦点距離、ｆ_B をＢレンズ群の焦点距離とすると、 ５＜｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＜２０
・・・（１） の条件を満足する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、長作動距離顕微鏡
対物レンズに関し、特に、作動距離の特に長い高倍率の
顕微鏡対物レンズに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、工業顕微鏡の対物レンズにおいて
は、長作動距離が求められることが多くなっている。例
えば、ＩＣのパッケージを外して内部のＩＣを観察する
場合については、凹部の底面のパターンを見ることにな
るため、３ｍｍ以上の作動距離が必要となる。また、基
板に組み込んだＩＣを観察する場合では、凹凸のある基
板上の観察になるため、基板保護のために長い作動距離
が必要となる。

【０００３】また、半導体の集積度は年々上がり続け、
パターンも微細化している。このため、従来は使用され
ることの少なかった１００倍を越える対物レンズの要求
も大きくなっている。

【０００４】乾燥系の対物レンズでは、人間の目による
観察の対物レンズ倍率は１００倍程度が限界と言われて
いる。これ以上に倍率を上げてもぼやけた像が観察され
るのみで、微細なパターンを認識することはできないと
考えられてきた。

【０００５】しかし、上記の考え方は肉眼観察において
言えることである。近年の半導体の検査工程ではＴＶ装
置や画像解析を使用することが多い。この場合、撮像素
子の解像度が低いため、肉眼観察と同様な解像を得るた
めには倍率を上げる必要がある。また、画像処理により
顕微鏡像のコントラスト強調を行った場合、肉眼観察で
は観察できなかった微細構造を観察することが可能とな
る。

【０００６】高倍率で作動距離の長い対物レンズについ
ては、特開平４−４０４０９号、特公平４−２６４４６
号、特開平８−１９００５５号、特開平８−２８６１１
２号のものが知られている。しかし、これらの先行例に
おいては、倍率は２５０倍と高い倍率のものもあるが、
作動距離は長くても１ｍｍ程度であり、半導体の基板に
取り付けた状態での検査においては不足する。

【０００７】特公平７−１０４４８８号のものは１００
倍で１５ｍｍ程度の作動距離を持ち、半導体を基板に取
り付けた検査において十分な作動距離を持つが、倍率は
１００倍までしか実現されていない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術の上
記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、１
００倍を越える倍率でも従来以上に作動距離の長い顕微
鏡対物レンズを提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の長作動距離顕微鏡対物レンズは、物体から順
に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ及び複数
の接合レンズを含み、正の屈折力を持ち、物体からの光
線を収斂光束に変換するＡレンズ群と、負の屈折力を持
つＢレンズ群から構成され、以下の条件を満たすことを
特徴とするものである。 ５＜｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＜２０ ・・・（１） ここで、ｆ_A はＡレンズ群の焦点距離、ｆ_B はＢレンズ
群の焦点距離を表す。

【００１０】この場合、以下の条件を満足することが望
ましい。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記Ａレンズ群の最も物体側の正メニス
カスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニスカ
スレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離である。

【００１１】また、本発明のもう１つの長作動距離顕微
鏡対物レンズは、物体側から順に、物体側に凹面を向け
た正メニスカスレンズ及び複数の接合レンズを含み、正
の屈折力を持ち、物体からの光線を収斂光線に変換する
第１レンズ群と、負の屈折力を持ち、凹レンズと凸レン
ズと凹レンズの組み合わせの３枚接合レンズからなる第
２レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群により構
成され、以下の条件を満たすことを特徴とするものであ
る。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記第１レンズ群の最も物体側の正メニ
スカスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニス
カスレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離であ
る。

【００１２】以下、本発明において上記構成をとる理由
と作用について説明する。同焦距離が一定である対物レ
ンズの作動距離を長くするためには、物体側に正の屈折
力を持つレンズ群を配置し、像側に強い負の屈折力を持
つレンズ群を配置する必要がある。一般に、対物レンズ
の作動距離が長くなる程諸収差が急激に悪化する。この
ため、長作動距離の対物レンズは、この構成でなるべく
作動距離を長くしたまま諸収差を補正することが必要と
なる。

【００１３】本発明の長作動距離対物レンズは、物体側
から順に、正の屈折力のＡレンズ群と負の屈折力を持つ
Ｂレンズ群で構成されている。Ａレンズ群は、物体側に
凹面を向けた正メニスカスレンズ及び複数の接合レンズ
を含み、物体からの光線を緩やかに収斂光束に変換する
役割を持つ。作動距離が長くなると光線高が高くなり、
球面収差の補正が困難となる。このため、Ａレンズ群の
最も物体側には、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
ンズを配置し、アプラナティックな条件を満たすことが
必要である。また、作動距離が長くなると色収差の補正
が困難となるため、Ａレンズ群中には色収差補正のため
複数の接合レンズを配置する必要がある。

【００１４】Ｂレンズ群は強い負の屈折力を持ち、Ａレ
ンズ群通過後の収束光線を強い負の屈折力によって大き
な倍率を得る役割を果たしている。また、Ｂレンズ群の
強い負の屈折率は対物レンズのペッツバール和を小さく
し、像面湾曲を良好に補正する役割も果たしている。

【００１５】前記（１）式は、Ａレンズ群とＢレンズ群
の屈折力の関係を定めたものである。（１）式の下限の
５を下回ると、Ｂレンズ群の屈折力が弱まり対物レンズ
のペッツバール和が大きくなり、像面湾曲の補正が困難
になる。（１）式の上限の２０を越えると、Ｂレンズ群
の屈折力が強くなり、像面湾曲の補正については有利で
あるが、Ａレンズ群の光線高が高くなるため、高次の諸
収差が発生し、補正が困難になる。また、レンズ外径も
大きくなり、対物レンズの操作性が悪くなる。

【００１６】さらに、上記の本発明の長作動距離顕微鏡
対物レンズにおいて、以下の条件を満たすことが望まし
い。 ７＜｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＜１９ ・・・（１）’ この式（１）’はさらに長作動距離を確保するための条
件であり、球面収差、像面湾曲を良好に補正することが
可能である。

【００１７】また、上記の本発明の長作動距離顕微鏡対
物レンズにおいて、（２）式を満たすことが望ましい。
（２）式は、Ａレンズ群の最も物体側の正メニスカスレ
ンズの物体側の屈折力を規定したものである。１００倍
以上の高倍率の長作動距離顕微鏡対物レンズにおいて
は、（２）式を満たすことが望ましい。（２）式の範囲
を越えると、アプラナティックな条件から外れ、コマ収
差や球面収差が増大する。また、（２）式の範囲を越え
ると、最も物体側の面の曲率半径が小さくなり、十分な
作動距離を確保することができなくなる。

【００１８】また、上記の本発明の長作動距離顕微鏡対
物レンズにおいて、Ａレンズ群中に物体側に凹面を向け
た単体正メニスカスレンズを２枚以上含むことが望まし
い。単体正メニスカスレンズを２枚以上含むことによ
り、物体からの光線を球面収差の発生を抑えながら徐々
に曲げることが可能となる。

【００１９】また、Ａレンズ群中に凸レンズと凹レンズ
と凸レンズの組み合わせの３枚接合レンズを含むことが
望ましい。長作動距離対物レンズでは、色収差の補正が
困難になる傾向にある。また、Ａレンズ群では単体正メ
ニスカスレンズを２枚以上含む場合、この単体レンズで
発生した色収差を補正するためにも、強い色収差補正能
力がある３枚接合レンズを配置することが必要である。
Ａレンズ群は正の屈折力を持ち、物体からの光線を収斂
光束に変換するため、凸レンズと凹レンズと凸レンズの
組み合わせの正の屈折力を持つ３枚接合レンズを配置し
て、正の屈折力を負担させることが望ましい。

【００２０】さらに、このような長作動距離対物レンズ
において、３枚接合レンズが以下の条件を満たすことが
望ましい。 ν_T −ν_O ＞２５ ・・・（３） ここで、ν_T は上記３枚接合レンズの凸レンズの平均ア
ッベ数、ν_O は上記３枚接合レンズの凹レンズのアッべ
数である。（３）式の範囲を越えると、対物レンズの色
収差が十分に補正できなくなる。

【００２１】また、上記の本発明の長作動距離顕微鏡対
物レンズにおいて、Ｂレンズ群の最も物体側の接合レン
ズが凹レンズと凸レンズと凹レンズの組み合わせの負の
屈折力の３枚接合レンズにより構成されることが望まし
い。本発明の長作動距離対物レンズは、Ａレンズ群のみ
では色収差補正が十分ではなく、Ｂレンズ群でも色収差
を補正することが必要である。また、Ｂレンズ群では、
負の屈折力により像面湾曲やコマ収差の補正も行ってい
る。そこで、Ｂレンズ群の最も物体側には凹レンズと凸
レンズと凹レンズの負の屈折力の３枚接合レンズを配置
して色収差を補正すると共に、負の屈折力を負担させる
ことで、像面湾曲やコマ収差を補正することが望まし
い。

【００２２】また、上記の本発明の長作動距離顕微鏡対
物レンズにおいて、３枚接合レンズを少なくとも３群有
することが望ましい。対物レンズの設計上、高倍率にな
るに従って色収差の補正が困難になる。このため、２５
０倍のような超高倍率の対物レンズでは、色収差補正の
ため３枚接合レンズを３群以上有することが望ましい。

【００２３】また、以下のような構成においても長作動
距離対物レンズの構成は可能である。

【００２４】すなわち、物体側から順に、物体側に凹面
を向けた正メニスカスレンズ及び複数の接合レンズを含
み、正の屈折力を持ち、物体からの光線を収斂光線に変
換する第１レンズ群と、負の屈折力を持ち、凹レンズと
凸レンズと凹レンズの組み合わせの３枚接合レンズから
なる第２レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群に
より構成され、以下の条件を満たすことを特徴とする長
作動距離顕微鏡対物レンズである。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記第１レンズ群の最も物体側の正メニ
スカスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニス
カスレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離であ
る。

【００２５】この長作動距離顕微鏡対物レンズは、物体
側から順に、正の屈折力の第１レンズ群と負の屈折力を
持つ第２レンズ群と負の屈折力を持つ第３レンズ群から
構成されている。

【００２６】この本発明の第１レンズ群の作用は、前記
の発明のＡレンズ群につてい述べたものと同じである。
第１レンズ群は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
ンズ及び複数の接合レンズを含み、物体からの光線を緩
やかに収束光線に変換する役割を持つ。第１レンズ群の
最も物体側の物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
はアプラナティックな条件を満たしている。また、色収
差補正のため、複数の接合レンズを配置している。

【００２７】第２レンズ群は、負の屈折力を持ち、凹レ
ンズと凸レンズと凹レンズの３枚接合レンズにより構成
される。第２レンズ群と第３レンズ群は負の屈折力を持
ち、第１レンズ群を通過する収斂光線を所定の倍率を得
るために徐々に曲げる役割を持つ。また、特に第２レン
ズ群では、第１レンズ群のみでは不足する色収差の補正
を行う。

【００２８】第３レンズ群は、負の屈折力を持ち、所定
の倍率を得る役割を持っている。また、第３レンズ群は
対物レンズの像面湾曲やコマ収差等をバランス良く補正
する役割も持っている。

【００２９】上記の（２）式は第１レンズ群の最も物体
側の正メニスカスレンズの物体側の屈折力を規定したも
のである。（２）式の範囲を越えるとアプラナティック
な条件から外れ、コマ収差や球面収差が増大する。ま
た、この式の範囲を越えると、最も物体側の面の曲率半
径が小さくなり、十分な作動距離を確保することができ
なくなる。

【００３０】上記の長作動距離顕微鏡対物レンズにおい
て、第１レンズ群中に物体側に凹面を向けた単体正メニ
スカスレンズを少なくとも２枚以上持つことが望まし
い。単体正メニスカスレンズを２枚以上含むことによ
り、物体からの光線を球面収差の発生を抑えながら徐々
に曲げることが可能となる。

【００３１】また、第１レンズ群中に凸レンズと凹レン
ズと凸レンズの組み合わせの３枚接合レンズを含むこと
が望ましい。この３枚接合レンズは色収差を良好に補正
する役割を持つ。

【００３２】さらに、この３枚接合レンズが以下の条件
を満たすことが望ましい。 ν_T −ν_O ＞２５ ・・・（３） ここで、ν_T はその３枚接合レンズの凸レンズの平均ア
ッベ数、ν_O はその３枚接合レンズの凹レンズのアッべ
数である。（３）式の範囲を越えると、３枚接合レンズ
の色収差補正が十分にできなくなる。

【００３３】また、第２レンズ群の凹レンズと凸レンズ
と凹レンズの３枚接合レンズが以下の条件を満たすこと
が望ましい。

【００３４】 ν_T2−ν_O2＞３５ ・・・（４） ここで、ν_T2はその３枚接合レンズの凸レンズのアッべ
数であり、ν_O2はその３枚接合レンズの物体側の凹レン
ズのアッべ数である。（４）式の範囲から外れると、第
２レンズ群の色収差補正が十分でなくなる。

【００３５】さらに、第３レンズ群の最も物体側に物体
側に凸面を向けた接合メニスカスレンズが配置されてい
ることが望ましい。第３レンズ群に入射する光線は収束
光線であるため、第３レンズ群の最も物体側のレンズは
物体側に凸面を向けたメニスカスレンズを配置すること
が収差補正上有利である。第３レンズ群では球面収差、
色収差、コマ収差等のバランスをとって補正する役割が
あるため、このメニスカスレンズは接合レンズとするこ
とが望ましい。

【００３６】以上の長作動距離顕微鏡対物レンズは、測
定顕微鏡と組み合わさせて用いることができる。以上の
長作動距離顕微鏡対物レンズにより、凹凸のある試料の
高倍率の観察又は測定が可能となる。

【００３７】また、以上の長作動距離顕微鏡対物レンズ
は、半導体検査装置と組み合わさせて用いることができ
る。以上の長作動距離顕微鏡対物レンズにより、半導体
を基板に取り付けた状態の高倍率の半導体検査が可能と
なる。

【００３８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の長作動距離顕微
鏡対物レンズの実施例１〜６について説明する。各実施
例のレンズデータは後記するが、図１〜図６はそれぞれ
実施例１〜６のレンズ構成を示す断面図である。

【００３９】実施例１は、１００倍対物レンズの設計例
であり、図１に断面図を示すように、Ａレンズ群は、物
体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ２枚と、両凸レ
ンズと両凹レンズと両凸レンズの組み合わせの３枚接合
レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合レンズと、両
凸単体正レンズにより構成される。第１レンズ群Ｇ１
は、Ａレンズ群と同じである。Ｂレンズ群は、平凹レン
ズと両凸レンズと両凹レンズの組み合わせの負の屈折力
の３枚接合レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合で
物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズと、２枚の
両凹単体負レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合レ
ンズにより構成される。Ｂレンズ群の３枚接合レンズが
第２レンズ群Ｇ２を、物体側に凸面を向けた接合メニス
カスレンズと、２枚の単体負レンズと、接合レンズが第
３レンズ群Ｇ３を構成している。

【００４０】実施例２は、１５０倍対物レンズの設計例
であり、図２に断面図を示すように、Ａレンズ群は、物
体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ２枚と、両凸レ
ンズと両凹レンズと両凸レンズの組み合わせの３枚接合
レンズと、両凸レンズと物体側に凹面を向けた負メニス
カスレンズの接合レンズと、両凸単体正レンズにより構
成される。第１レンズ群Ｇ１は、Ａレンズ群と同じであ
る。Ｂレンズ群は、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズと両凸レンズと両凹レンズの組み合わせの負の屈折
力の３枚接合レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合
で物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズと、両凹
単体負レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合レンズ
により構成される。Ｂレンズ群の３枚接合レンズが第２
レンズ群Ｇ２を、物体側に凸面を向けた接合メニスカス
レンズと、単体負レンズと、接合レンズが第３レンズ群
Ｇ３を構成している。

【００４１】実施例３は、２５０倍対物レンズの設計例
であり、図３に断面図を示すように、Ａレンズ群は、物
体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ２枚と、両凸単
体正レンズと、両凸レンズと両凹レンズと両凸レンズの
組み合わせの３枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負
メニスカスレンズと両凸レンズと物体側に凹面を向けた
負メニスカスレンズの組み合わせの３枚接合レンズと、
像側に凹面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズの
接合レンズにより構成される。Ｂレンズ群は、両凸レン
ズと両凹レンズの接合で物体側に凸面を向けた接合メニ
スカスレンズと、両凹単体負レンズと、両凸レンズと両
凹レンズと像側に凹面を向けた正メニスカスレンズの組
み合わせの３枚接合レンズと、両凹単体負レンズと、両
凸レンズと両凹レンズの接合レンズにより構成される。

【００４２】実施例４は、１５０倍対物レンズの設計例
であり、図４に断面図を示すように、Ａレンズ群は、物
体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ２枚と、両凸単
体正レンズと、両凸レンズと両凹レンズと両凸レンズの
組み合わせの３枚接合レンズと、像側に凹面を向けた負
メニスカスレンズと両凸レンズと物体側に凹面を向けた
負メニスカスレンズの組み合わせの３枚接合レンズと、
像側に凹面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズの
接合レンズにより構成される。Ｂレンズ群は、両凸レン
ズと両凹レンズの接合で物体側に凸面を向けた接合メニ
スカスレンズと、両凹単体負レンズと、両凸レンズと両
凹レンズと像側に凹面を向けた正メニスカスレンズの組
み合わせの３枚接合レンズと、両凹単体負レンズと、両
凸レンズと両凹レンズの接合レンズにより構成される。

【００４３】実施例５は、１５０倍対物レンズの設計例
であり、図５に断面図を示すように、Ａレンズ群は、物
体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ２枚と、両凸レ
ンズと両凹レンズと両凸レンズの組み合わせの３枚接合
レンズと、両凸レンズと物体側に凹面を向けた負メニス
カスレンズの接合レンズと、両凸単体正レンズにより構
成される。第１レンズ群Ｇ１は、Ａレンズ群と同じであ
る。Ｂレンズ群は、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズと両凸レンズと両凹レンズの組み合わせの負の屈折
力の３枚接合レンズと、像側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズと像側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接
合で物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズと、両
凹単体負レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合レン
ズにより構成される。Ｂレンズ群の３枚接合レンズが第
２レンズ群Ｇ２を、物体側に凸面を向けた接合レンズ
と、単体負レンズと、接合レンズが第３レンズ群Ｇ３を
構成している。

【００４４】実施例６は、１５０倍対物レンズの設計例
であり、図６に断面図を示すように、Ａレンズ群は、物
体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ２枚と、両凸レ
ンズと両凹レンズと両凸レンズの組み合わせの３枚接合
レンズと、両凸レンズと両凹レンズの接合レンズと、両
凸単体正レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズと像側に凹面を向けた正メニスカスレンズの接合レ
ンズにより構成される。Ｂレンズ群は、両凹単体負レン
ズと、像側に凹面を向けた負メニスカスレンズと像側に
凹面を向けた負メニスカスレンズの接合で物体側に凸面
を向けた接合メニスカスレンズと、両凹レンズと両凸レ
ンズと両凹レンズの組み合わせの３枚接合レンズにより
構成される。

【００４５】以下に、各実施例のレンズデータを示す。
記号は、上記の他、ＮＡは開口数、ＷＤは作動距離、β
は倍率、ｆは焦点距離である。また、ｒ₁ 、ｒ₂ …は物
体側から順に示した各レンズ面の曲率半径、ｄ₁ 、ｄ₂
…は物体側から順に示した各レンズ面間の間隔、ｎ_d1、
ｎ_d2…は物体側から順に示した各レンズのｄ線の屈折
率、ν_d1、ν_d2…は物体側から順に示した各レンズのア
ッべ数である。

【００４６】 実施例１ ＮＡ＝０．５５，ＷＤ＝１５．６５，β＝−１００，ｆ＝１．８ ｒ₁ = -32.7306 ｄ₁ = 3.7500 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.78 ｒ₂ = -15.8686 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = ∞ ｄ₃ = 2.9000 ｎ_d2 =1.88300 ν_d2 =40.78 ｒ₄ = -40.3819 ｄ₄ = 0.1925 ｒ₅ = 25.9655 ｄ₅ = 7.6000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.97 ｒ₆ = -24.2497 ｄ₆ = 2.5000 ｎ_d4 =1.61340 ν_d4 =43.84 ｒ₇ = 16.3184 ｄ₇ = 7.2500 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.97 ｒ₈ = -26.8974 ｄ₈ = 0.1998 ｒ₉ = 23.3616 ｄ₉ = 5.2000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.97 ｒ₁₀= -22.0208 ｄ₁₀= 1.9000 ｎ_d7 =1.65412 ν_d7 =39.69 ｒ₁₁= 66.5977 ｄ₁₁= 0.1992 ｒ₁₂= 14.2789 ｄ₁₂= 4.5000 ｎ_d8 =1.49700 ν_d8 =81.54 ｒ₁₃= -40.5665 ｄ₁₃= 0.5998 ｒ₁₄= ∞ ｄ₁₄= 1.4500 ｎ_d9 =1.74000 ν_d9 =31.71 ｒ₁₅= 6.7174 ｄ₁₅= 6.3000 ｎ_d10=1.43875 ν_d10=94.99 ｒ₁₆= -9.9876 ｄ₁₆= 1.0500 ｎ_d11=1.72047 ν_d11=34.71 ｒ₁₇= 56.6577 ｄ₁₇= 0.4500 ｒ₁₈= 6.2021 ｄ₁₈= 3.5000 ｎ_d12=1.78472 ν_d12=25.71 ｒ₁₉= -75.0219 ｄ₁₉= 1.0000 ｎ_d13=1.88300 ν_d13=40.78 ｒ₂₀= 5.2801 ｄ₂₀= 4.1064 ｒ₂₁= -11.1868 ｄ₂₁= 0.7000 ｎ_d14=1.51633 ν_d14=64.14 ｒ₂₂= 113.1551 ｄ₂₂= 3.5361 ｒ₂₃= -4.2773 ｄ₂₃= 0.7000 ｎ_d15=1.51633 ν_d15=64.14 ｒ₂₄= 5.1252 ｄ₂₄= 0.9000 ｒ₂₅= 6.3830 ｄ₂₅= 1.7000 ｎ_d16=1.78472 ν_d16=25.71 ｒ₂₆= -9.9448 ｄ₂₆= 0.7000 ｎ_d17=1.48749 ν_d17=70.23 ｒ₂₇= 6.1791 （１）｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＝8.95 （２）｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ＝20.6 （３）ν_T −ν_O ＝51.2 （４）ν_T2−ν_O2＝63.3 。

【００４７】 実施例２ ＮＡ＝０．７ ，ＷＤ＝７．９８ ，β＝−１５０，ｆ＝１．２ ｒ₁ = -16.5034 ｄ₁ = 3.0000 ｎ_d1 =1.83400 ν_d1 =37.16 ｒ₂ = -9.2834 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = -25.3109 ｄ₃ = 2.7000 ｎ_d2 =1.83400 ν_d2 =37.16 ｒ₄ = -16.0649 ｄ₄ = 0.2000 ｒ₅ = 41.7692 ｄ₅ = 6.4000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.99 ｒ₆ = -14.3661 ｄ₆ = 2.2000 ｎ_d4 =1.61340 ν_d4 =43.84 ｒ₇ = 26.0889 ｄ₇ = 6.8000 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.99 ｒ₈ = -18.7294 ｄ₈ = 0.2000 ｒ₉ = 52.4287 ｄ₉ = 6.8000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.99 ｒ₁₀= -17.2702 ｄ₁₀= 2.0000 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₁= -347.6269 ｄ₁₁= 0.2000 ｒ₁₂= 22.6857 ｄ₁₂= 5.2000 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.99 ｒ₁₃= -36.8545 ｄ₁₃= 0.2000 ｒ₁₄= 18.8585 ｄ₁₄= 1.4000 ｎ_d9 =1.64450 ν_d9 =40.82 ｒ₁₅= 8.5800 ｄ₁₅= 8.5000 ｎ_d10=1.43875 ν_d10=94.99 ｒ₁₆= -19.3649 ｄ₁₆= 1.1677 ｎ_d11=1.74000 ν_d11=31.71 ｒ₁₇= 34.6540 ｄ₁₇= 3.6022 ｒ₁₈= 8.0306 ｄ₁₈= 6.4427 ｎ_d12=1.72151 ν_d12=29.24 ｒ₁₉= -12.4726 ｄ₁₉= 2.1354 ｎ_d13=1.76200 ν_d13=40.10 ｒ₂₀= 3.5169 ｄ₂₀= 4.8885 ｒ₂₁= -5.3104 ｄ₂₁= 0.5000 ｎ_d14=1.51633 ν_d14=64.14 ｒ₂₂= 3.2932 ｄ₂₂= 2.8505 ｒ₂₃= 4.0956 ｄ₂₃= 2.0000 ｎ_d15=1.64769 ν_d15=33.79 ｒ₂₄= -2.7982 ｄ₂₄= 0.5000 ｎ_d16=1.74320 ν_d16=49.34 ｒ₂₅= 6.5000 （１）｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＝5.2 （２）｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ＝16.5 （３）ν_T −ν_O ＝51.2 （４）ν_T2−ν_O2＝54.2 。

【００４８】 実施例３ ＮＡ＝０．８ ，ＷＤ＝６ ，β＝−２５０，ｆ＝０．７２ ｒ₁ = -13.5691 ｄ₁ = 2.9917 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.76 ｒ₂ = -8.9845 ｄ₂ = 0.3481 ｒ₃ = -27.4726 ｄ₃ = 3.5646 ｎ_d2 =1.56907 ν_d2 =71.30 ｒ₄ = -13.6085 ｄ₄ = 0.2400 ｒ₅ = 158.2936 ｄ₅ = 3.9778 ｎ_d3 =1.56907 ν_d3 =71.30 ｒ₆ = -27.5994 ｄ₆ = 0.1788 ｒ₇ = 23.7183 ｄ₇ = 6.9297 ｎ_d4 =1.43875 ν_d4 =94.99 ｒ₈ = -21.7432 ｄ₈ = 1.9449 ｎ_d5 =1.61340 ν_d5 =43.84 ｒ₉ = 20.4975 ｄ₉ = 5.9468 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.99 ｒ₁₀= -30.3386 ｄ₁₀= 0.3368 ｒ₁₁= 28.0652 ｄ₁₁= 1.6557 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₂= 10.0304 ｄ₁₂=10.9710 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.99 ｒ₁₃= -12.6854 ｄ₁₃= 1.1777 ｎ_d9 =1.61340 ν_d9 =43.84 ｒ₁₄= -66.1818 ｄ₁₄= 0.2005 ｒ₁₅= 16.8332 ｄ₁₅= 2.6912 ｎ_d10=1.61340 ν_d10=43.84 ｒ₁₆= 10.2358 ｄ₁₆= 6.0075 ｎ_d11=1.43875 ν_d11=94.99 ｒ₁₇= -16.8186 ｄ₁₇= 0.2174 ｒ₁₈= 9.1196 ｄ₁₈= 3.4847 ｎ_d12=1.43875 ν_d12=94.99 ｒ₁₉= -18.3504 ｄ₁₉= 0.9859 ｎ_d13=1.71850 ν_d13=33.52 ｒ₂₀= 12.3214 ｄ₂₀= 1.4988 ｒ₂₁= -10.6834 ｄ₂₁= 1.2828 ｎ_d14=1.64450 ν_d14=40.82 ｒ₂₂= 16.3670 ｄ₂₂= 3.1932 ｒ₂₃= 6.0551 ｄ₂₃= 1.4142 ｎ_d15=1.80518 ν_d15=25.42 ｒ₂₄= -11.5680 ｄ₂₄= 0.9701 ｎ_d16=1.67790 ν_d16=55.34 ｒ₂₅= 2.2230 ｄ₂₅= 1.4631 ｎ_d17=1.74000 ν_d17=31.71 ｒ₂₆= 5.6395 ｄ₂₆= 1.8576 ｒ₂₇= -3.1922 ｄ₂₇= 0.9608 ｎ_d18=1.88300 ν_d18=40.76 ｒ₂₈= 3.8840 ｄ₂₈= 0.4526 ｒ₂₉= 2.7758 ｄ₂₉= 1.1860 ｎ_d19=1.60342 ν_d19=38.03 ｒ₃₀= -2.7070 ｄ₃₀= 0.6747 ｎ_d20=1.67790 ν_d20=55.34 ｒ₃₁= 4.2382 （１）｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＝17.4 （２）｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ＝21.3 （３）ν_T −ν_O ＝51.2 。

【００４９】 実施例４ ＮＡ＝０．７ ，ＷＤ＝９ ，β＝−１５０，ｆ＝１．２ ｒ₁ = -15.5119 ｄ₁ = 2.7769 ｎ_d1 =1.88300 ν_d1 =40.76 ｒ₂ = -10.8342 ｄ₂ = 0.1333 ｒ₃ = -100.2156 ｄ₃ = 3.6884 ｎ_d2 =1.56907 ν_d2 =71.30 ｒ₄ = -18.6951 ｄ₄ = 0.2416 ｒ₅ = 51.8287 ｄ₅ = 4.1923 ｎ_d3 =1.56907 ν_d3 =71.30 ｒ₆ = -42.9409 ｄ₆ = 0.2726 ｒ₇ = 32.3803 ｄ₇ = 7.0161 ｎ_d4 =1.56907 ν_d4 =71.30 ｒ₈ = -21.9151 ｄ₈ = 2.0300 ｎ_d5 =1.61340 ν_d5 =43.84 ｒ₉ = 12.4221 ｄ₉ = 7.0271 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.99 ｒ₁₀= -41.5623 ｄ₁₀= 0.2893 ｒ₁₁= 40.1665 ｄ₁₁= 1.7213 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₂= 10.7165 ｄ₁₂=11.0211 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.99 ｒ₁₃= -10.7326 ｄ₁₃= 1.2471 ｎ_d9 =1.61340 ν_d9 =43.84 ｒ₁₄= -71.7490 ｄ₁₄= 0.3020 ｒ₁₅= 12.5961 ｄ₁₅= 1.9760 ｎ_d10=1.61340 ν_d10=43.84 ｒ₁₆= 7.8203 ｄ₁₆= 6.0777 ｎ_d11=1.43875 ν_d11=94.99 ｒ₁₇= -15.4379 ｄ₁₇= 0.0929 ｒ₁₈= 8.4060 ｄ₁₈= 3.2331 ｎ_d12=1.43875 ν_d12=94.99 ｒ₁₉= -20.4563 ｄ₁₉= 0.9458 ｎ_d13=1.71850 ν_d13=33.52 ｒ₂₀= 7.9395 ｄ₂₀= 1.3405 ｒ₂₁= -10.3325 ｄ₂₁= 1.4415 ｎ_d14=1.64450 ν_d14=40.82 ｒ₂₂= 17.5755 ｄ₂₂= 1.1847 ｒ₂₃= 9.6049 ｄ₂₃= 1.6779 ｎ_d15=1.80518 ν_d15=25.42 ｒ₂₄= -5.9121 ｄ₂₄= 1.1003 ｎ_d16=1.67790 ν_d16=55.34 ｒ₂₅= 3.0804 ｄ₂₅= 1.5266 ｎ_d17=1.74000 ν_d17=31.71 ｒ₂₆= 7.8718 ｄ₂₆= 2.0053 ｒ₂₇= -3.3995 ｄ₂₇= 0.7465 ｎ_d18=1.88300 ν_d18=40.76 ｒ₂₈= 4.8217 ｄ₂₈= 0.4364 ｒ₂₉= 5.0498 ｄ₂₉= 0.9055 ｎ_d19=1.75520 ν_d19=27.51 ｒ₃₀= -4.2878 ｄ₃₀= 0.3860 ｎ_d20=1.56384 ν_d20=60.67 ｒ₃₁= 9.9620 （１）｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＝17 （２）｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ＝14.6 （３）ν_T −ν_O ＝39.3 。

【００５０】 実施例５ ＮＡ＝０．６５，ＷＤ＝８ ，β＝−１５０，ｆ＝１．２ ｒ₁ = -8.0159 ｄ₁ = 3.0000 ｎ_d1 =1.83400 ν_d1 =37.16 ｒ₂ = -7.1454 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = -40.5426 ｄ₃ = 2.7000 ｎ_d2 =1.83400 ν_d2 =37.16 ｒ₄ = -20.0956 ｄ₄ = 0.2000 ｒ₅ = 22.8457 ｄ₅ = 6.4000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.99 ｒ₆ = -21.9873 ｄ₆ = 2.2000 ｎ_d4 =1.61340 ν_d4 =43.84 ｒ₇ = 25.7160 ｄ₇ = 6.8000 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.99 ｒ₈ = -20.2299 ｄ₈ = 0.2000 ｒ₉ = 39.5687 ｄ₉ = 6.8000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.99 ｒ₁₀= -15.2716 ｄ₁₀= 2.0000 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₁= -279.5065 ｄ₁₁= 0.2000 ｒ₁₂= 15.3915 ｄ₁₂= 5.2000 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.99 ｒ₁₃= -405.4120 ｄ₁₃= 0.2000 ｒ₁₄= 18.6208 ｄ₁₄= 1.4000 ｎ_d9 =1.71850 ν_d9 =33.52 ｒ₁₅= 7.2754 ｄ₁₅= 8.5000 ｎ_d10=1.43875 ν_d10=94.99 ｒ₁₆= -12.6963 ｄ₁₆= 1.2645 ｎ_d11=1.74000 ν_d11=31.71 ｒ₁₇= 18.8951 ｄ₁₇= 3.6928 ｒ₁₈= 7.5299 ｄ₁₈= 6.4929 ｎ_d12=1.84666 ν_d12=23.78 ｒ₁₉= 9.2424 ｄ₁₉= 2.3538 ｎ_d13=1.83481 ν_d13=42.72 ｒ₂₀= 3.8580 ｄ₂₀= 4.6383 ｒ₂₁= -6.3325 ｄ₂₁= 0.5000 ｎ_d14=1.51633 ν_d14=64.14 ｒ₂₂= 3.5370 ｄ₂₂= 2.9474 ｒ₂₃= 3.9682 ｄ₂₃= 2.0000 ｎ_d15=1.64769 ν_d15=33.79 ｒ₂₄= -2.3996 ｄ₂₄= 0.5000 ｎ_d16=1.74320 ν_d16=49.34 ｒ₂₅= 6.5000 （１）｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＝5.31 （２）｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ＝8 （３）ν_T −ν_O ＝51.2 （４）ν_T2−ν_O2＝61.5 。

【００５１】 実施例６ ＮＡ＝０．６ ，ＷＤ＝１１．５ ，β＝−１５０，ｆ＝１．２ ｒ₁ = -27.2302 ｄ₁ = 3.3000 ｎ_d1 =1.83400 ν_d1 =37.16 ｒ₂ = -12.9167 ｄ₂ = 0.2000 ｒ₃ = -52.0182 ｄ₃ = 2.7000 ｎ_d2 =1.83400 ν_d2 =37.16 ｒ₄ = -27.9035 ｄ₄ = 0.2000 ｒ₅ = 21.7292 ｄ₅ = 7.2000 ｎ_d3 =1.43875 ν_d3 =94.99 ｒ₆ = -23.4390 ｄ₆ = 2.2000 ｎ_d4 =1.61340 ν_d4 =43.84 ｒ₇ = 19.3544 ｄ₇ = 7.1000 ｎ_d5 =1.43875 ν_d5 =94.99 ｒ₈ = -20.5622 ｄ₈ = 0.2000 ｒ₉ = 29.5832 ｄ₉ = 6.5000 ｎ_d6 =1.43875 ν_d6 =94.99 ｒ₁₀= -14.6507 ｄ₁₀= 1.5000 ｎ_d7 =1.61340 ν_d7 =43.84 ｒ₁₁= 39.4909 ｄ₁₁= 0.2000 ｒ₁₂= 10.9328 ｄ₁₂= 6.0000 ｎ_d8 =1.43875 ν_d8 =94.99 ｒ₁₃= -313.8411 ｄ₁₃= 0.2000 ｒ₁₄= 16.1692 ｄ₁₄= 1.5000 ｎ_d9 =1.61340 ν_d9 =43.84 ｒ₁₅= 5.9215 ｄ₁₅= 5.4000 ｎ_d10=1.43875 ν_d10=94.99 ｒ₁₆= 319.9092 ｄ₁₆= 1.5023 ｒ₁₇= -8.4854 ｄ₁₇= 0.9946 ｎ_d11=1.71850 ν_d11=33.52 ｒ₁₈= 95.8225 ｄ₁₈= 1.7922 ｒ₁₉= 6.7305 ｄ₁₉= 7.5471 ｎ_d12=1.76182 ν_d12=26.52 ｒ₂₀= 6.0000 ｄ₂₀= 2.1176 ｎ_d13=1.87400 ν_d13=35.26 ｒ₂₁= 2.1023 ｄ₂₁= 5.3531 ｒ₂₂= -9.3403 ｄ₂₂= 0.5000 ｎ_d14=1.64450 ν_d14=40.82 ｒ₂₃= 2.8474 ｄ₂₃= 2.0000 ｎ_d15=1.78472 ν_d15=25.68 ｒ₂₄= -5.8863 ｄ₂₄= 0.5000 ｎ_d16=1.78800 ν_d16=47.37 ｒ₂₅= 13.6533 （１）｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＝8.81 （２）｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ＝27.2 （３）ν_T −ν_O ＝51.2 。

【００５２】上記実施例１〜６は何れも対物レンズから
の射出光が平行光束となる無限遠補正型の対物レンズで
あり、これら単体では結像しない。そこで、例えば以下
に示すレンズデータを有し、図１３にレンズ断面を示す
結像レンズと組み合わせて使用される。ただし、レンズ
データ中、ｒ₁'、ｒ₂'…は物体側から順に示した各レン
ズ面の曲率半径、ｄ₁'、ｄ₂'…は物体側から順に示した
各レンズ面間の間隔、ｎ_d1' 、ｎ_d2' …は物体側から順
に示した各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1' 、ν_d2' …は
物体側から順に示した各レンズのアッベ数である。

【００５３】 ｒ₁'= 68.754 ｄ₁'= 7.732 ｎ_d1'=1.487 ν_d1'=70.2 ｒ₂'= -37.567 ｄ₂'= 3.474 ｎ_d2'=1.806 ν_d2'=40.9 ｒ₃'= -102.847 ｄ₃'= 0.697 ｒ₄'= 84.309 ｄ₄'= 6.023 ｎ_d3'=1.834 ν_d3'=37.1 ｒ₅'= -50.710 ｄ₅'= 3.029 ｎ_d4'=1.644 ν_d4'=40.8 ｒ₆'= 40.661 。

【００５４】この場合、実施例１〜６の対物レンズと図
１３の結像レンズの間の間隔は５０ｍｍ〜１７０ｍｍの
間の何れの位置でもよいが、この間隔を１２０ｍｍとし
た場合の実施例１〜６の収差図をそれぞれ図７〜図１２
に示す。ただし、これら収差図において、（ａ）は球面
収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）は歪曲収差、（ｄ）は
コマ収差を示す。これら収差図中、ＩＭ．Ｈは像高を示
す。なお、上記間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間で１２
０ｍｍ以外の位置においてもほぼ同様の収差状況を示
す。

【００５５】以上の本発明の長作動距離顕微鏡対物レン
ズは例えば次のように構成することができる。 〔１〕 物体から順に、物体側に凹面を向けた正メニス
カスレンズ及び複数の接合レンズを含み、正の屈折力を
持ち、物体からの光線を収斂光束に変換するＡレンズ群
と、負の屈折力を持つＢレンズ群から構成され、以下の
条件を満たすことを特徴とする長作動距離顕微鏡対物レ
ンズ。 ５＜｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＜２０ ・・・（１） ここで、ｆ_A はＡレンズ群の焦点距離、ｆ_B はＢレンズ
群の焦点距離を表す。

【００５６】〔２〕 以下の条件を満足することを特徴
とする上記〔１〕記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。

【００５７】 ７＜｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＜１９ ・・・（１）’ 。

【００５８】〔３〕 以下の条件を満たすことを特徴と
する上記〔１〕記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記Ａレンズ群の最も物体側の正メニス
カスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニスカ
スレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離である。

【００５９】〔４〕 前記Ａレンズ群中に物体側に凹面
を向けた単体正メニスカスレンズを２枚以上含むことを
特徴とする上記〔１〕記載の長作動距離顕微鏡対物レン
ズ。

【００６０】〔５〕 前記Ａレンズ群中に凸レンズと凹
レンズと凸レンズの組み合わせの３枚接合レンズを含む
ことを特徴とする上記〔１〕記載の長作動距離顕微鏡対
物レンズ。

【００６１】〔６〕 前記３枚接合レンズが以下の条件
を満たすことを特徴とする上記〔５〕記載の長作動距離
顕微鏡対物レンズ。 ν_T −ν_O ＞２５ ・・・（３） ここで、ν_T は前記３枚接合レンズの凸レンズの平均ア
ッベ数、ν_O は前記３枚接合レンズの凹レンズのアッべ
数である。

【００６２】〔７〕 前記Ｂレンズ群の最も物体側の接
合レンズが凹レンズと凸レンズと凹レンズの組み合わせ
の負の屈折力の３枚接合レンズにより構成される上記
〔１〕記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。

【００６３】〔８〕 ３枚接合レンズを少なくとも３群
有することを特徴とする上記〔１〕記載の長作動距離顕
微鏡対物レンズ。

【００６４】

〔９〕 物体側から順に、物体側に凹面を
向けた正メニスカスレンズ及び複数の接合レンズを含
み、正の屈折力を持ち、物体からの光線を収斂光線に変
換する第１レンズ群と、負の屈折力を持ち、凹レンズと
凸レンズと凹レンズの組み合わせの３枚接合レンズから
なる第２レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群に
より構成され、以下の条件を満たすことを特徴とする長
作動距離顕微鏡対物レンズ。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記第１レンズ群の最も物体側の正メニ
スカスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニス
カスレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離であ
る。

【００６５】〔１０〕 前記第１レンズ群中に物体側に
凹面を向けた単体正メニスカスレンズを少なくとも２枚
以上持つことを特徴とする上記

〔９〕記載の長作動距離
顕微鏡対物レンズ。

【００６６】〔１１〕 前記第１レンズ中に凸レンズと
凹レンズと凸レンズの組み合わせの３枚接合レンズを含
むことを特徴とする上記

〔９〕記載の長作動距離顕微鏡
対物レンズ。

【００６７】〔１２〕 前記第１レンズ中の３枚接合レ
ンズが以下の条件を満たすことを特徴とする上記〔１
１〕記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。 ν_T −ν_O ＞２５ ・・・（３） ここで、ν_T は前記３枚接合レンズの凸レンズの平均ア
ッベ数、ν_O は前記３枚接合レンズの凹レンズのアッべ
数である。

【００６８】〔１３〕 前記第２レンズ群の３枚接合レ
ンズが以下の条件を満たすことを特徴とする上記

〔９〕
記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。 ν_T2−ν_O2＞３５ ・・・（４） ここで、ν_T2は前記３枚接合レンズの凸レンズのアッべ
数であり、ν_O2は前記３枚接合レンズの物体側の凹レン
ズのアッべ数である。

【００６９】〔１４〕 前記第３レンズ群の最も物体側
に物体側に凸面を向けた接合メニスカスレンズが配置さ
れていることを特徴とする上記

〔９〕記載の長作動距離
顕微鏡対物レンズ。

【００７０】〔１５〕 上記〔１〕又は上記

〔９〕記載
の長作動距離顕微鏡対物レンズと組み合わされたことを
特徴とする測定顕微鏡。

【００７１】〔１６〕 上記〔１〕又は上記

〔９〕の長
作動距離顕微鏡対物レンズと組み合わされたことを特徴
とする半導体検査装置。

【００７２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の長作動距離顕微鏡対物レンズは、１００倍を越える倍
率でも従来以上に作動距離が長く、優れた結像性能を有
し、工業顕微鏡、生物顕微鏡に適した対物レンズであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例１のレンズ
断面図である。

【図２】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例２のレンズ
断面図である。

【図３】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例３のレンズ
断面図である。

【図４】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例４のレンズ
断面図である。

【図５】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例５のレンズ
断面図である。

【図６】本発明の顕微鏡対物レンズの実施例６のレンズ
断面図である。

【図７】実施例１の球面収差、非点収差、歪曲収差、コ
マ収差を示す収差図である。

【図８】実施例２の球面収差、非点収差、歪曲収差、コ
マ収差を示す収差図である。

【図９】実施例３の球面収差、非点収差、歪曲収差、コ
マ収差を示す収差図である。

【図１０】実施例４の球面収差、非点収差、歪曲収差、
コマ収差を示す収差図である。

【図１１】実施例５の球面収差、非点収差、歪曲収差、
コマ収差を示す収差図である。

【図１２】実施例６の球面収差、非点収差、歪曲収差、
コマ収差を示す収差図である。

【図１３】各実施例の顕微鏡対物レンズと共に用いる結
像レンズの１例のレンズ断面図である。

【符号の説明】

Ａ…Ａレンズ群 Ｂ…Ｂレンズ群 Ｇ１…第１レンズ群 Ｇ２…第２レンズ群 Ｇ３…第３レンズ群

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体から順に、物体側に凹面を向けた正
   メニスカスレンズ及び複数の接合レンズを含み、正の屈
   折力を持ち、物体からの光線を収斂光束に変換するＡレ
   ンズ群と、負の屈折力を持つＢレンズ群から構成され、
   以下の条件を満たすことを特徴とする長作動距離顕微鏡
   対物レンズ。 ５＜｜ｆ_A ／ｆ_B ｜＜２０ ・・・（１） ここで、ｆ_A はＡレンズ群の焦点距離、ｆ_B はＢレンズ
   群の焦点距離を表す。
2. 【請求項２】 以下の条件を満たすことを特徴とする請
   求項１記載の長作動距離顕微鏡対物レンズ。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記Ａレンズ群の最も物体側の正メニス
   カスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニスカ
   スレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離である。
3. 【請求項３】 物体側から順に、物体側に凹面を向けた
   正メニスカスレンズ及び複数の接合レンズを含み、正の
   屈折力を持ち、物体からの光線を収斂光線に変換する第
   １レンズ群と、負の屈折力を持ち、凹レンズと凸レンズ
   と凹レンズの組み合わせの３枚接合レンズからなる第２
   レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群により構成
   され、以下の条件を満たすことを特徴とする長作動距離
   顕微鏡対物レンズ。 ７＜｜ｒ₁ ／（ｎ₁ −１）｜／ｆ ・・・（２） ここで、ｒ₁ は前記第１レンズ群の最も物体側の正メニ
   スカスレンズの物体側の曲率半径、ｎ₁ は前記正メニス
   カスレンズの屈折率、ｆはレンズ全系の焦点距離であ
   る。