JP3288441B2 - 近紫外対物レンズ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡用の対物レンズ
に関し、特に、近紫外から可視域にわたって色補正をし
た液浸高倍対物レンズに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、近紫外域用の対物レンズとして
は、一般の紫外蛍光用高倍対物レンズやドイツ特許公開
明細書第３９１５８６８号等のものが知られている。

【０００３】しかしながら、これら従来例においては、
一般の紫外蛍光用対物レンズは、単に近紫外光が通るだ
けであり、近紫外から可視にわたって焦点位置が一致し
ているわけではなく、また、たとえ焦点位置をずらして
も結像性能が充分になっていないのが通例である。

【０００４】また、ドイツ特許公開明細書第３９１５８
６８号に述べられている対物レンズは、紫外から可視域
にわたって用いる波長（単波長）に応じてフローティン
グするものであり、広い波長範囲で同時に使えるもので
はない。これは、ある特定波長で観察するには適してい
るが、異なる波長で厳密な同一焦点位置性能が必要な蛍
光共焦点顕微鏡等には使えず、また、異なる波長での切
り換え観察時のフローティング操作が面倒で、操作性が
悪くなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、近紫外光
での高解像観察や紫外蛍光共焦点を可能とするように、
近紫外から可視域にわたって色補正して焦点位置が一致
している近紫外対物レンズを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の近紫外対物レン
ズは、物体側から順に、平凸の単レンズあるいは接合レ
ンズを含み、全体として正パワーの第１レンズ群Ｌ１、
３枚接合レンズを少なくとも２つ含み、全体として正パ
ワーの第２レンズ群Ｌ２、互いに凹面を向け合った接合
又は単体の２つのレンズよりなる第３レンズ群Ｌ３、及
び、正パワーの第４レンズ群Ｌ４よりなり、以下の条件
を満足することを特徴とするものである。 （１） ０．５＜｜ｆ₁ ／ｆ｜＜２．５ （２） ０．５＜｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＜１．２ （３） ５＜｜ｆ₄ ／ｆ｜＜１５ ただし、ｆ₁ 、ｆ₄ 、ｆはそれぞれ第１レンズ群Ｌ１、
第４レンズ群Ｌ４及び全系の焦点距離、Ｒ₃ 、Ｄ₃ はそ
れぞれ第３レンズ群Ｌ３の最も物体側レンズの物体側面
の曲率半径及びその中心肉厚である 。

【０００７】この場合、１０ｍｍ厚、波長３５０ｎｍで
の内部透過率が５０％以上の硝材のみを用いて構成する
のが望ましい。また、平凸レンズを含む両凸レンズの少
なくとも半数を蛍石から構成するのが望ましい。

【０００８】

【作用】以下、上記構成を採用した理由と作用について
説明する。液浸の対物レンズでは、先玉（最も物体側の
レンズ）の第１面は平面でなければならない。そうでな
いと、液の中に気泡が入りやすくなるからである。その
ため、第１レンズは平凸形状のものとなる。近紫外から
可視域にわたっての広い波長範囲で色補正をするために
は、接合面を多用し、そこで効果的に色収差を補正しな
ければならない。第１レンズ群Ｌ１は、物体から出た高
角度（高ＮＡ）の光線をその角度を徐々に小さくしつ
つ、３枚接合レンズや蛍石を多用した効果的な色補正能
力を持つ第２レンズ群Ｌ２に導入するためのものであ
り、それを効果的に行うために設定された条件が上記の
条件（１）である。ここで、その下限の０．５を越える
と、第１レンズ群Ｌ１のパワーが強くなりすぎ、そこで
発生する球面収差、色収差が後群で補正しきれず、逆
に、その上限の２．５を越えると、大きな角度を持った
ままの光線群を第２レンズ群Ｌ２に導入することにな
り、第１レンズ群Ｌ１で発生した色収差等が第２レンズ
群Ｌ２で補正しきれなくなる。

【０００９】第２レンズ群Ｌ２で色補正した後、今度は
像面湾曲を補正するために、互いに強い凹面を向け合っ
た第３レンズ群Ｌ３（俗に言うガウスタイプ）に導く必
要があるが、ここで効果的に像面湾曲を補正するため
に、上記の条件（２）が設定される。ここで、この条件
の下限の０．５を越えると、第３レンズ群Ｌ３の最も物
体側レンズの物体側面のパワーが強くなりすぎ、そこで
大きな正のペッツバール値が発生し、続く凹面の負のペ
ッツバール値でも打ち消し難くなり、また、あまりにも
急激に光線が曲がるため、そこで発生する球面収差、色
収差、コマ収差等が他群で補正しきれなくなる。逆に、
その上限の１．２を越えると、光線高を下げて強い凹面
に導けなくなり、効果的に負のペッツバール値を発生さ
せることができず、像面湾曲が補正できない。

【００１０】また、第４レンズ群Ｌ４は第３レンズ群Ｌ
３から出てきた発散光束を平行光にするためのものであ
り（本発明の対物レンズは全て無限遠補正設計であ
る。）、全体の収差のバランスをとりつつ平行光にする
ために、上記の条件（３）が設定される。ここで、その
条件の下限の５を越えると、光線が急激に曲がりすぎて
諸収差が発生しすぎ、逆に、その上限の１５を越える
と、第３レンズ群Ｌ３から出てくる光線の角度を緩くせ
ざるをえず、必然的に第３レンズ群Ｌ３での効果的な像
面湾曲補正ができなくなる。

【００１１】また、本発明の対物レンズは、１０ｍｍ
厚、波長３５０ｎｍでの内部透過率が５０％以上の硝材
のみを用いることが望ましい。本対物レンズでは、近紫
外から可視域にわたっての広い範囲で色補正するため、
レンズ枚数が通常の対物レンズに比べてかなり多くなっ
ており、そのためにも是非とも必要な条件である。

【００１２】さらに、本発明の対物レンズは、平凸レン
ズを含む両凸レンズの少なくとも半数が蛍石であること
が望ましい。近紫外から可視域にわたっての広い範囲で
色補正するためには、俗に言う異常分散ガラスを多用す
る必要があるが、その最たるものが蛍石である。他に
も、凸レンズ用の異常分散ガラスがあるが、色補正能力
や紫外線の透過率を考慮すると、蛍石を使わざるを得な
い（両凸レンズや平凸レンズは、縁肉確保等の理由によ
り、どうしても中心肉厚が厚くなり、その透過率が問題
となるからである。）。

【００１３】また、第３レンズ群Ｌ３と第４レンズ群Ｌ
４を合わせた２つのレンズ群の中に少なくとも２面以上
の接合面を設けることによって、倍率色収差を含めた色
収差をよりよく補正することができる。

【００１４】

【実施例】以下に、本発明の近紫外対物レンズの実施例
１から６について説明する。各実施例のレンズデータは
後記するが、実施例１から６のレンズ断面をそれぞれ図
１から図６に示す。ここで、実施例１〜４が１００×、
開口数（ＮＡ）１．１、焦点距離１．８のもの、実施例
５、６が４０×、ＮＡ０．９、焦点距離４．５のもので
あり、何れも水浸無限遠補正設計としてある。

【００１５】レンズ系の配置としては（蛍石で構成され
ているものも括弧内に表示する。）、物体（標本）側か
ら順に、実施例１においては、第１レンズ群Ｌ１は、平
凸レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
と、両凸レンズ（蛍石）からなり、第２レンズ群Ｌ２
は、両凸レンズ（蛍石）、両凹レンズ、両凸レンズ（蛍
石）の３枚接合レンズと、両凸レンズ（蛍石）と、像側
に凹面を向けた負メニスカスレンズ、両凸レンズ（蛍
石）、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの３枚
接合レンズからなり、第３レンズ群Ｌ３は、両凸レンズ
（蛍石）、両凹レンズの接合レンズと、物体側に凹面を
向けた負メニスカスレンズ、両凹レンズの接合レンズか
らなり、第４レンズ群Ｌ４は、凹平レンズ、平凸レンズ
の接合レンズからなる。したがって、蛍石は６枚に使用
している。

【００１６】実施例２は、第１レンズ群Ｌ１は、平凸レ
ンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接合
レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
と、両凸レンズ（蛍石）からなり、第２レンズ群Ｌ２
は、実施例１とレンズ配置、蛍石の配置が同様であり、
第３レンズ群Ｌ３は、凸平レンズ（蛍石）、平凹レンズ
の接合レンズと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズ、両凹レンズの接合レンズからなり、第４レンズ群
Ｌ４は、凹平レンズ、平凸レンズの接合レンズからな
る。したがって、蛍石は６枚に使用している。

【００１７】また、実施例３は、第１レンズ群Ｌ１は、
平凸レンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズ
の接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
ンズと、凸平レンズ（蛍石）からなり、第２レンズ群Ｌ
２、第３レンズ群Ｌ３は、実施例２とレンズ配置、蛍石
の配置が同様であり、第４レンズ群Ｌ４は、物体側に凹
面を向けた正メニスカスレンズからなる。この場合も、
蛍石は６枚に使用している。

【００１８】実施例４は、第１レンズ群Ｌ１は、平凸レ
ンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接合
レンズと、物体側に凹面を向けた２枚の正メニスカスレ
ンズからなり、第２レンズ群Ｌ２は、両凸レンズ（蛍
石）、両凹レンズ、両凸レンズ（蛍石）の３枚接合レン
ズと、両凸レンズと、像側に凹面を向けた負メニスカス
レンズ、両凸レンズ（蛍石）、両凹レンズの３枚接合レ
ンズからなり、第３レンズ群Ｌ３は、両凸レンズ（蛍
石）、両凹レンズの接合レンズと、両凹レンズからな
り、第４レンズ群Ｌ４は、実施例１と同様のレンズ配置
からなる。したがって、蛍石は４枚に使用している。

【００１９】実施例５は、第１レンズ群Ｌ１は、平凸レ
ンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズから
なり、第２レンズ群Ｌ２は、両凸レンズ（蛍石）、両凹
レンズ、両凸レンズ（蛍石）の３枚接合レンズと、両凸
レンズ（蛍石）と、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズ、両凸レンズ（蛍石）、物体側に凹面を向けた負メ
ニスカスレンズの３枚接合レンズからなり、第３レンズ
群Ｌ３は、両凸レンズ、両凹レンズの接合レンズと、凹
平レンズ、平凸レンズ（蛍石）の接合レンズからなり、
第４レンズ群Ｌ４は、物体側に凹面を向けた正メニスカ
スレンズからなる。したがって、蛍石は５枚に使用して
いる。

【００２０】実施例６は、第１レンズ群Ｌ１は、平凸レ
ンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの接合
レンズと、両凸レンズからなり、第２レンズ群Ｌ２は、
両凸レンズ（蛍石）、凹平レンズ、平凸レンズ（蛍石）
の３枚接合レンズと、両凸レンズ（蛍石）と、像側に凹
面を向けた負メニスカスレンズ、両凸レンズ（蛍石）、
物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズの３枚接合レ
ンズからなり、第３レンズ群Ｌ３は、両凸レンズ（蛍
石）、両凹レンズの接合レンズと、凹平レンズ、平凸レ
ンズ（蛍石）の接合レンズからなり、第４レンズ群Ｌ４
は、両凸レンズからなる。したがって、蛍石は６枚に使
用している。

【００２１】以下に各実施例のレンズデータを示すが、
各データは実際の光線進行方向とは逆の順序で示してあ
る。なお、記号は、上記の外、ｆは全系の焦点距離、Ｎ
Ａは開口数、Ｍは倍率、ｒ₁ 、ｒ₂ …は各レンズ面の曲
率半径、ｄ₁ 、ｄ₂ …は各レンズ面間の間隔、ｎ_d1、ｎ
_d2…は各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1、ν_d2…は各レン
ズのアッベ数である。

【００２２】実施例１ ｆ ＝1.8 ＮＡ＝1.1 Ｍ ＝ 100× ｒ₁ = 7.773 ｄ₁ = 4.00 ｎ_d1 =1.596 ν_d1 =39.2 ｒ₂ = ∞ ｄ₂ = 1.69 ｎ_d2 =1.527 ν_d2 =51.1 ｒ₃ = 11.504 ｄ₃ = 4.50 ｒ₄ = -5.143 ｄ₄ = 1.00 ｎ_d3 =1.573 ν_d3 =57.8 ｒ₅ = 3.513 ｄ₅ = 1.48 ｎ_d4 =1.678 ν_d4 =55.3 ｒ₆ = 2.968 ｄ₆ = 1.69 ｒ₇ = -7.299 ｄ₇ = 3.24 ｎ_d5 =1.508 ν_d5 =60.8 ｒ₈ = 6.939 ｄ₈ = 4.72 ｎ_d6 =（蛍石）ν_d6 = . ｒ₉ = -4.417 ｄ₉ = 0.15 ｒ₁₀= 72.121 ｄ₁₀= 1.00 ｎ_d7 =1.613 ν_d7 =43.8 ｒ₁₁= 10.077 ｄ₁₁= 4.84 ｎ_d8 =（蛍石）ν_d8 = . ｒ₁₂= -3.848 ｄ₁₂= 1.00 ｎ_d9 =1.741 ν_d9 =52.6 ｒ₁₃= -13.318 ｄ₁₃= 0.15 ｒ₁₄= 24.676 ｄ₁₄= 2.12 ｎ_d10=（蛍石）ν_d10= . ｒ₁₅= -32.661 ｄ₁₅= 0.15 ｒ₁₆= 12.021 ｄ₁₆= 3.16 ｎ_d11=（蛍石）ν_d11= . ｒ₁₇= -26.324 ｄ₁₇= 1.00 ｎ_d12=1.613 ν_d12=43.8 ｒ₁₈= 7.029 ｄ₁₈= 4.46 ｎ_d13=（蛍石）ν_d13= . ｒ₁₉= -8.795 ｄ₁₉= 0.15 ｒ₂₀= 47.931 ｄ₂₀= 2.58 ｎ_d14=（蛍石）ν_d14= . r₂₁= -17.197 ｄ₂₁= 0.15 ｒ₂₂= 5.878 ｄ₂₂= 2.20 ｎ_d15=1.596 ν_d15=39.2 ｒ₂₃= 12.171 ｄ₂₃= 0.17 ｒ₂₄= 1.958 ｄ₂₄= 2.76 ｎ_d16=1.523 ν_d16=50.8 ｒ₂₅= ∞ ｄ₂₅= 0.13 ｎ_d17=（水） ν_d17= . ｒ₂₆= ∞ ｄ₂₆= 0.17 ｎ_d18=（カバーガラス） ｒ₂₇= ∞（標本） ｜ｆ₁ ／ｆ｜＝1.83 ｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＝0.936 ｜ｆ₄ ／ｆ｜＝12.7 。

【００２３】実施例２ ｆ ＝1.8 ＮＡ＝1.1 Ｍ ＝ 100× ｒ₁ = 6.705 ｄ₁ = 4.20 ｎ_d1 =1.596 ν_d1 =39.2 ｒ₂ = ∞ ｄ₂ = 1.03 ｎ_d2 =1.527 ν_d2 =51.1 ｒ₃ = 7.359 ｄ₃ = 4.00 ｒ₄ = -3.730 ｄ₄ = 1.00 ｎ_d3 =1.498 ν_d3 =65.0 ｒ₅ = 5.805 ｄ₅ = 3.14 ｎ_d4 =1.596 ν_d4 =39.2 ｒ₆ = 4.435 ｄ₆ = 1.71 ｒ₇ = -7.141 ｄ₇ = 1.91 ｎ_d5 =1.527 ν_d5 =51.1 ｒ₈ = ∞ ｄ₈ = 4.79 ｎ_d6 =（蛍石）ν_d6 = . ｒ₉ = -4.420 ｄ₉ = 0.15 ｒ₁₀= 291.784 ｄ₁₀= 1.00 ｎ_d7 =1.613 ν_d7 =43.8 ｒ₁₁= 9.325 ｄ₁₁= 4.59 ｎ_d8 =（蛍石）ν_d8 = . ｒ₁₂= -3.693 ｄ₁₂= 1.00 ｎ_d9 =1.741 ν_d9 =52.6 ｒ₁₃= -13.087 ｄ₁₃= 0.15 ｒ₁₄= 22.447 ｄ₁₄= 1.96 ｎ_d10=（蛍石）ν_d10= . r₁₅= -53.082 ｄ₁₅= 0.15 ｒ₁₆= 11.264 ｄ₁₆= 3.90 ｎ_d11=（蛍石）ν_d11= . ｒ₁₇= -7.196 ｄ₁₇= 1.00 ｎ_d12=1.613 ν_d12=43.8 ｒ₁₈= 8.108 ｄ₁₈= 4.24 ｎ_d13=（蛍石）ν_d13= . ｒ₁₉= -8.204 ｄ₁₉= 0.15 ｒ₂₀= 50.667 ｄ₂₀= 2.53 ｎ_d14=（蛍石）ν_d14= . ｒ₂₁= -20.660 ｄ₂₁= 0.15 ｒ₂₂= 6.257 ｄ₂₂= 2.43 ｎ_d15=1.564 ν_d15=43.8 ｒ₂₃= 32.061 ｄ₂₃= 0.15 ｒ₂₄= 2.174 ｄ₂₄= 2.60 ｎ_d16=1.596 ν_d16=39.2 ｒ₂₅= 0.700 ｄ₂₅= 0.42 ｎ_d17=1.516 ν_d17=64.2 ｒ₂₆= ∞ ｄ₂₆= 0.13 ｎ_d18=（水） ν_d18= . ｒ₂₇= ∞ ｄ₂₇= 0.17 ｎ_d19=（カバーガラス） ｒ₂₈= ∞（標本） ｜ｆ₁ ／ｆ｜＝1.92 ｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＝0.923 ｜ｆ₄ ／ｆ｜＝14.4 。

【００２４】実施例３ ｆ ＝1.8 ＮＡ＝1.1 Ｍ ＝ 100× ｒ₁ = 7.960 ｄ₁ = 1.95 ｎ_d1 =1.596 ν_d1 =39.2 ｒ₂ = 53.024 ｄ₂ = 5.38 ｒ₃ = -8.037 ｄ₃ = 1.00 ｎ_d2 =1.527 ν_d2 =51.1 ｒ₄ = 3.853 ｄ₄ = 2.00 ｎ_d3 =1.596 ν_d3 =39.2 ｒ₅ = 2.901 ｄ₅ = 1.94 ｒ₆ = -4.061 ｄ₆ = 3.50 ｎ_d4 =1.527 ν_d4 =51.1 ｒ₇ = ∞ ｄ₇ = 6.06 ｎ_d5 =（蛍石）ν_d5 = . r₈ = -4.739 ｄ₈ = 0.15 ｒ₉ = 794.675 ｄ₉ = 1.14 ｎ_d6 =1.613 ν_d6 =43.8 ｒ₁₀= 10.264 ｄ₁₀= 5.06 ｎ_d7 =（蛍石）ν_d7 = . ｒ₁₁= -3.602 ｄ₁₁= 1.00 ｎ_d8 =1.741 ν_d8 =52.6 ｒ₁₂= -14.284 ｄ₁₂= 0.15 ｒ₁₃= 28.278 ｄ₁₃= 2.05 ｎ_d9 =（蛍石）ν_d9 = . ｒ₁₄= -21.843 ｄ₁₄= 0.15 ｒ₁₅= 12.804 ｄ₁₅= 3.60 ｎ_d10=（蛍石）ν_d10= . ｒ₁₆= -7.391 ｄ₁₆= 1.00 ｎ_d11=1.613 ν_d11=43.8 ｒ₁₇= 7.391 ｄ₁₇= 4.25 ｎ_d12=（蛍石）ν_d12= . ｒ₁₈= -7.391 ｄ₁₈= 0.15 ｒ₁₉= ∞ ｄ₁₉= 2.38 ｎ_d13=（蛍石）ν_d13= . ｒ₂₀= -17.970 ｄ₂₀= 0.15 ｒ₂₁= 5.084 ｄ₂₁= 2.46 ｎ_d14=1.564 ν_d14=43.8 ｒ₂₂= 15.745 ｄ₂₂= 0.15 ｒ₂₃= 1.987 ｄ₂₃= 2.27 ｎ_d15=1.596 ν_d15=39.2 ｒ₂₄= 0.700 ｄ₂₄= 0.42 ｎ_d16=1.516 ν_d16=64.2 ｒ₂₅= ∞ ｄ₂₅= 0.13 ｎ_d17=（水） ν_d17= . ｒ₂₆= ∞ ｄ₂₆= 0.17 ｎ_d18=（カバーガラス） ｒ₂₇= ∞（標本） ｜ｆ₁ ／ｆ｜＝1.82 ｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＝0.782 ｜ｆ₄ ／ｆ｜＝8.5 。

【００２５】実施例４ ｆ ＝1.8 ＮＡ＝1.1 Ｍ ＝ 100× ｒ₁ = 9.252 ｄ₁ = 4.02 ｎ_d1 =1.596 ν_d1 =39.2 r₂ = ∞ ｄ₂ = 1.69 ｎ_d2 =1.527 ν_d2 =51.1 ｒ₃ = 35.813 ｄ₃ = 4.46 ｒ₄ = -8.219 ｄ₄ = 4.63 ｎ_d3 =1.678 ν_d3 =55.3 ｒ₅ = 3.918 ｄ₅ = 1.69 ｒ₆ = -3.305 ｄ₆ = 1.57 ｎ_d4 =1.527 ν_d4 =51.1 ｒ₇ = 7.383 ｄ₇ = 4.72 ｎ_d5 =（蛍石）ν_d6 = . ｒ₈ = -4.049 ｄ₈ = 0.15 ｒ₉ = -220.622 ｄ₉ = 1.00 ｎ_d6 =1.613 ν_d6 =43.8 ｒ₁₀= 28.273 ｄ₁₀= 4.84 ｎ_d7 =（蛍石）ν_d8 = . ｒ₁₁= -3.596 ｄ₁₁= 1.00 ｎ_d8 =1.787 ν_d8 =50 ｒ₁₂= -16.157 ｄ₁₂= 0.15 ｒ₁₃= 11.611 ｄ₁₃= 1.92 ｎ_d9 =1.497 ν_d9 =81.6 ｒ₁₄= -18.269 ｄ₁₄= 0.15 ｒ₁₅= 18.216 ｄ₁₅= 3.16 ｎ_d10=（蛍石）ν_d10= . ｒ₁₆= -9.609 ｄ₁₆= 1.00 ｎ_d11=1.613 ν_d12=43.8 ｒ₁₇= 6.281 ｄ₁₇= 4.46 ｎ_d12=（蛍石）ν_d10= . ｒ₁₈= -8.145 ｄ₁₈= 0.15 ｒ₁₉= 7.673 ｄ₁₉= 2.58 ｎ_d13=1.497 ν_d13=81.6 ｒ₂₀= 11.252 ｄ₂₀= 0.15 ｒ₂₁= 4.876 ｄ₂₁= 2.20 ｎ_d14=1.596 ν_d14=39.2 ｒ₂₂= 14.139 ｄ₂₂= 0.10 ｒ₂₃= 2.047 ｄ₂₃= 2.15 ｎ_d15=1.787 ν_d15=50 ｒ₂₄= 0.700 ｄ₂₄= 0.42 ｎ_d16=1.516 ν_d16=64.1 ｒ₂₅= ∞ ｄ₂₅= 0.13 ｎ_d17=（水） ν_d17= . ｒ₂₆= ∞ ｄ₂₆= 0.17 ｎ_d18=（カバーガラス） ｒ₂₇= ∞（標本） ｜ｆ₁ ／ｆ｜＝2.02 ｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＝0.858 ｜ｆ₄ ／ｆ｜＝10.46 。

【００２６】実施例５ ｆ ＝4.5 ＮＡ＝0.9 Ｍ ＝40× ｒ₁ = 16.884 ｄ₁ = 2.73 ｎ_d1 =1.596 ν_d1 =39.2 ｒ₂ = 84.109 ｄ₂ = 0.15 ｒ₃ = 5.873 ｄ₃ = 6.48 ｎ_d2 =（蛍石）ν_d2 = . ｒ₄ = ∞ ｄ₄ = 1.50 ｎ_d3 =1.741 ν_d3 =52.6 ｒ₅ = 2.411 ｄ₅ = 3.91 ｒ₆ = -5.118 ｄ₆ = 2.33 ｎ_d4 =1.741 ν_d4 =52.6 ｒ₇ = 13.258 ｄ₇ = 5.31 ｎ_d5 =1.497 ν_d5 =81.1 ｒ₈ = -5.234 ｄ₈ = 0.15 ｒ₉ = 21.858 ｄ₉ = 1.00 ｎ_d6 =1.613 ν_d6 =43.8 ｒ₁₀= 7.369 ｄ₁₀= 5.32 ｎ_d7 =（蛍石）ν_d7 = . ｒ₁₁= -5.718 ｄ₁₁= 1.00 ｎ_d8 =1.678 ν_d8 =55.3 ｒ₁₂= -24.119 ｄ₁₂= 0.15 ｒ₁₃= 37.330 ｄ₁₃= 3.04 ｎ_d9 =（蛍石）ν_d9 = . ｒ₁₄= -17.150 ｄ₁₄= 0.15 ｒ₁₅= 12.185 ｄ₁₅= 3.02 ｎ_d10=（蛍石）ν_d10= . ｒ₁₆= -754.744 ｄ₁₆= 1.00 ｎ_d11=1.527 ν_d11=51.1 ｒ₁₇= 6.235 ｄ₁₇= 4.23 ｎ_d12=（蛍石）ν_d12= . ｒ₁₈= -12.985 ｄ₁₈= 0.15 ｒ₁₉= 4.976 ｄ₁₉= 3.00 ｎ_d13=1.596 ν_d13=39.2 ｒ₂₀= 9.254 ｄ₂₀= 0.15 ｒ₂₁= 4.636 ｄ₂₁= 3.59 ｎ_d14=1.741 ν_d14=52.6 ｒ₂₂= ∞ ｄ₂₂= 0.13 ｎ_d15=（水） ν_d15= . ｒ₂₃= ∞ ｄ₂₃= 0.17 ｎ_d16=（カバーガラス） ｒ₂₄= ∞（標本） ｜ｆ₁ ／ｆ｜＝1.15 ｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＝0.985 ｜ｆ₄ ／ｆ｜＝7.72 。

【００２７】実施例６ ｆ ＝4.5 ＮＡ＝0.9 Ｍ ＝40× ｒ₁ = 26.350 ｄ₁ = 2.78 ｎ_d1 =1.596 ν_d1 =39.2 ｒ₂ = -47.284 ｄ₂ = 0.15 ｒ₃ = 6.366 ｄ₃ = 5.38 ｎ_d2 =（蛍石）ν_d2 = . ｒ₄ = ∞ ｄ₄ = 2.00 ｎ_d3 =1.741 ν_d3 =52.6 ｒ₅ = 2.794 ｄ₅ = 3.98 ｒ₆ = -5.519 ｄ₆ = 2.91 ｎ_d4 =1.741 ν_d4 =52.6 ｒ₇ = 19.495 ｄ₇ = 4.94 ｎ_d5 =（蛍石）ν_d5 = . ｒ₈ = -5.227 ｄ₈ = 0.15 ｒ₉ = 24.269 ｄ₉ = 2.98 ｎ_d6 =1.613 ν_d6 =43.8 ｒ₁₀= 12.216 ｄ₁₀= 4.84 ｎ_d7 =（蛍石）ν_d7 = . ｒ₁₁= -5.839 ｄ₁₁= 1.00 ｎ_d8 =1.678 ν_d8 =55.3 ｒ₁₂= -19.374 ｄ₁₂= 0.15 ｒ₁₃= 15.928 ｄ₁₃= 3.02 ｎ_d9 =（蛍石）ν_d9 = . ｒ₁₄= -46.528 ｄ₁₄= 0.15 ｒ₁₅= 9.301 ｄ₁₅= 3.27 ｎ_d10=（蛍石）ν_d10= . ｒ₁₆= ∞ ｄ₁₆= 1.00 ｎ_d11=1.527 ν_d11=51.1 ｒ₁₇= 5.116 ｄ₁₇= 3.71 ｎ_d12=（蛍石）ν_d12= . ｒ₁₈= -37.037 ｄ₁₈= 0.15 ｒ₁₉= 11.962 ｄ₁₉= 2.51 ｎ_d13=1.596 ν_d13=39.2 ｒ₂₀= -35.940 ｄ₂₀= 0.15 ｒ₂₁= 2.684 ｄ₂₁= 2.72 ｎ_d14=1.741 ν_d14=52.6 r₂₂= 0.700 ｄ₂₂= 0.42 ｎ_d15=1.516 ν_d15=64.2 ｒ₂₃= ∞ ｄ₂₃= 0.13 ｎ_d16=（水） ν_d16= . ｒ₂₄= ∞ ｄ₂₄= 0.17 ｎ_d17=（カバーガラス） ｒ₂₅= ∞（標本） ｜ｆ₁ ／ｆ｜＝1.21 ｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＝1.059 ｜ｆ₄ ／ｆ｜＝6.37 。

【００２８】以上の実施例１〜６の近紫外対物レンズの
球面収差、非点収差、歪曲収差を示す収差図を図７〜図
１２に示す。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
近紫外から可視域にわたって良好に色補正され、像面の
平坦性、透過率も良い高倍液浸対物レンズを得ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の近紫外対物レンズの実施例１のレンズ
断面図である。

【図２】実施例２のレンズ断面図である。

【図３】実施例３のレンズ断面図である。

【図４】実施例４のレンズ断面図である。

【図５】実施例５のレンズ断面図である。

【図６】実施例６のレンズ断面図である。

【図７】実施例１の球面収差、非点収差、歪曲収差を示
す収差図である。

【図８】実施例２の図７と同様な収差図である。

【図９】実施例３の図７と同様な収差図である。

【図１０】実施例４の図７と同様な収差図である。

【図１１】実施例５の図７と同様な収差図である。

【図１２】実施例６の図７と同様な収差図である。

【符号の説明】

Ｌ１…第１レンズ群 Ｌ２…第２レンズ群 Ｌ３…第３レンズ群 Ｌ４…第４レンズ群

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体側から順に、平凸の単レンズあるい
   は接合レンズを含み、全体として正パワーの第１レンズ
   群Ｌ１、３枚接合レンズを少なくとも２つ含み、全体と
   して正パワーの第２レンズ群Ｌ２、互いに凹面を向け合
   った接合又は単体の２つのレンズよりなる第３レンズ群
   Ｌ３、及び、正パワーの第４レンズ群Ｌ４よりなり、以
   下の条件を満足することを特徴とする近紫外対物レン
   ズ： （１） ０．５＜｜ｆ₁ ／ｆ｜＜２．５ （２） ０．５＜｜Ｒ₃ ／Ｄ₃ ｜＜１．２ （３） ５＜｜ｆ₄ ／ｆ｜＜１５ ただし、ｆ₁ 、ｆ₄ 、ｆはそれぞれ第１レンズ群Ｌ１、
   第４レンズ群Ｌ４及び全系の焦点距離、Ｒ₃ 、Ｄ₃ はそ
   れぞれ第３レンズ群Ｌ３の最も物体側レンズの物体側面
   の曲率半径及びその中心肉厚である。
2. 【請求項２】 １０ｍｍ厚、波長３５０ｎｍでの内部透
   過率が５０％以上の硝材のみを用いて構成されているこ
   とを特徴とする請求項１記載の近紫外対物レンズ。