JPH0735983A - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents
液浸系顕微鏡対物レンズInfo
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- JPH0735983A JPH0735983A JP5177780A JP17778093A JPH0735983A JP H0735983 A JPH0735983 A JP H0735983A JP 5177780 A JP5177780 A JP 5177780A JP 17778093 A JP17778093 A JP 17778093A JP H0735983 A JPH0735983 A JP H0735983A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 倍率６０倍程度、ＮＡ１．４で、少ない構成
枚数でありながら、球面収差や軸上色収差を十分に補正
し、像面平坦性にも優れた顕微鏡対物レンズ。 【構成】 全体として正の屈折力を有し、接合面が物体
側に凹形状の接合レンズを含む第１レンズ群Ｇ１と、全
体として正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、物体
側から像側に負レンズと正レンズと負レンズとの接合レ
ンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、正の屈折力の第４レ
ンズ群Ｇ４と、最も物体側に凸面を有すると共に、最も
像側の面が像側に凹面を有する第５レンズ群Ｇ５と、最
も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の面が像側に
凸面を有する第６レンズ群Ｇ６とを備えた液浸系顕微鏡
対物レンズ。
枚数でありながら、球面収差や軸上色収差を十分に補正
し、像面平坦性にも優れた顕微鏡対物レンズ。 【構成】 全体として正の屈折力を有し、接合面が物体
側に凹形状の接合レンズを含む第１レンズ群Ｇ１と、全
体として正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、物体
側から像側に負レンズと正レンズと負レンズとの接合レ
ンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、正の屈折力の第４レ
ンズ群Ｇ４と、最も物体側に凸面を有すると共に、最も
像側の面が像側に凹面を有する第５レンズ群Ｇ５と、最
も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の面が像側に
凸面を有する第６レンズ群Ｇ６とを備えた液浸系顕微鏡
対物レンズ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液浸系顕微鏡対物レン
ズに関し、特に、倍率が６０倍程度で開口数（ＮＡ）が
１．４のアポクロマート級液浸系顕微鏡対物レンズに関
するものである。
ズに関し、特に、倍率が６０倍程度で開口数（ＮＡ）が
１．４のアポクロマート級液浸系顕微鏡対物レンズに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】後述する本発明の顕微鏡対物レンズに類
似する従来例としては、特開昭５９−１５５８２２号と
特開昭６１−２４０２１８号に記載されたものがある。
特開昭５９−１５５８２２号記載の対物レンズは、物体
側から順に、埋め込みレンズの第１群、メニスカス正レ
ンズの第２群、正・負・正の３枚接合レンズからなる第
３群、負・正・負の３枚接合レンズからなる第４群、像
側に強い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第５群、
物体側に強い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第６
群で構成され、像面平坦性の良いアポクロマート対物レ
ンズであることを特徴としている。また、特開昭６１−
２４０２１８号記載の対物レンズは、物体側から順に、
埋め込みレンズの第１群、メニスカス正レンズの第２
群、負・正の２枚接合レンズからなる第３群と第４群、
負・正・負の３枚接合レンズからなる第５群、像側に強
い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第６群、物体側
に強い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第７群、物
体側に凹面を向けたメニスカス正レンズの第８群で構成
され、像面平坦性の良いアポクロマート対物レンズであ
ることを特徴としている。上記２つの従来例は、埋め込
みレンズの第１群と、負・正・負の３枚接合レンズ及び
後群に凹面を向かい合わせたガウスタイプのレンズを配
置していることで共通している。
似する従来例としては、特開昭５９−１５５８２２号と
特開昭６１−２４０２１８号に記載されたものがある。
特開昭５９−１５５８２２号記載の対物レンズは、物体
側から順に、埋め込みレンズの第１群、メニスカス正レ
ンズの第２群、正・負・正の３枚接合レンズからなる第
３群、負・正・負の３枚接合レンズからなる第４群、像
側に強い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第５群、
物体側に強い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第６
群で構成され、像面平坦性の良いアポクロマート対物レ
ンズであることを特徴としている。また、特開昭６１−
２４０２１８号記載の対物レンズは、物体側から順に、
埋め込みレンズの第１群、メニスカス正レンズの第２
群、負・正の２枚接合レンズからなる第３群と第４群、
負・正・負の３枚接合レンズからなる第５群、像側に強
い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第６群、物体側
に強い凹面を向けた接合メニスカスレンズの第７群、物
体側に凹面を向けたメニスカス正レンズの第８群で構成
され、像面平坦性の良いアポクロマート対物レンズであ
ることを特徴としている。上記２つの従来例は、埋め込
みレンズの第１群と、負・正・負の３枚接合レンズ及び
後群に凹面を向かい合わせたガウスタイプのレンズを配
置していることで共通している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
５９−１５５８２２号の対物レンズは、球面収差や、軸
上色収差の補正が十分でない。また、特開昭６１−２４
０２１８号の対物レンズは、軸上収差の補正は十分であ
るが、８群１５枚と構成枚数が多い。
５９−１５５８２２号の対物レンズは、球面収差や、軸
上色収差の補正が十分でない。また、特開昭６１−２４
０２１８号の対物レンズは、軸上収差の補正は十分であ
るが、８群１５枚と構成枚数が多い。
【０００４】本発明は上記のような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、その目的は、倍率が６０倍
程度、ＮＡが１．４で、特開昭６１−２４０２１８号記
載のものよりも少ない構成枚数でありながら、球面収差
や軸上色収差を十分に補正し、さらに、像面平坦性にも
優れた液浸系顕微鏡対物レンズを提供することにある。
鑑みてなされたものであり、その目的は、倍率が６０倍
程度、ＮＡが１．４で、特開昭６１−２４０２１８号記
載のものよりも少ない構成枚数でありながら、球面収差
や軸上色収差を十分に補正し、さらに、像面平坦性にも
優れた液浸系顕微鏡対物レンズを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、全体
として正の屈折力を有し、接合面が物体側に凹形状の接
合レンズを含む第１レンズ群と、少なくとも１つの正レ
ンズと少なくとも１つの負レンズとを含んだ全体として
正の屈折力を有する第２レンズ群と、物体側から像側に
負レンズと正レンズと負レンズとの接合レンズからなる
第３レンズ群と、正の屈折力の第４レンズ群と、最も物
体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に凹面
を有する第５レンズ群と、最も物体側に凹面を有すると
共に、最も像側の面が像側に凸面を有する第６レンズ群
とを備えたものである。
明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、全体
として正の屈折力を有し、接合面が物体側に凹形状の接
合レンズを含む第１レンズ群と、少なくとも１つの正レ
ンズと少なくとも１つの負レンズとを含んだ全体として
正の屈折力を有する第２レンズ群と、物体側から像側に
負レンズと正レンズと負レンズとの接合レンズからなる
第３レンズ群と、正の屈折力の第４レンズ群と、最も物
体側に凸面を有すると共に、最も像側の面が像側に凹面
を有する第５レンズ群と、最も物体側に凹面を有すると
共に、最も像側の面が像側に凸面を有する第６レンズ群
とを備えたものである。
【０００６】また、もう１つの本発明の液浸系顕微鏡対
物レンズは、物体側から順に、平凸レンズと物体側に他
の面よりパワーの強い凹面を向けたメニスカスレンズと
の接合レンズを有する正屈折力の第１レンズ群と、全体
として正の屈折力を有し、少なくとも１つの正レンズと
少なくとも１つの負レンズとを含んだ第２レンズ群と、
負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合レンズからな
る第３レンズ群と、正屈折力の第４レンズ群と、像側に
他の面よりパワーの強い凹面を向けた接合メニスカスレ
ンズを含む第５レンズ群と、物体側に他の面よりパワー
の強い凹面を向けた接合メニスカスレンズを含む第６レ
ンズ群とで構成され、第３レンズ群の負レンズ、正レン
ズ、負レンズの３枚接合レンズの物体側接合面で最大開
口数の光線が通る光線高をＨ3 、第４レンズ群の最も物
体側の面で最大開口数の光線が通る光線高をＨ4 とした
時、 （１） Ｈ3 ＜Ｈ4 の条件を満足することを特徴とするものである。
物レンズは、物体側から順に、平凸レンズと物体側に他
の面よりパワーの強い凹面を向けたメニスカスレンズと
の接合レンズを有する正屈折力の第１レンズ群と、全体
として正の屈折力を有し、少なくとも１つの正レンズと
少なくとも１つの負レンズとを含んだ第２レンズ群と、
負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合レンズからな
る第３レンズ群と、正屈折力の第４レンズ群と、像側に
他の面よりパワーの強い凹面を向けた接合メニスカスレ
ンズを含む第５レンズ群と、物体側に他の面よりパワー
の強い凹面を向けた接合メニスカスレンズを含む第６レ
ンズ群とで構成され、第３レンズ群の負レンズ、正レン
ズ、負レンズの３枚接合レンズの物体側接合面で最大開
口数の光線が通る光線高をＨ3 、第４レンズ群の最も物
体側の面で最大開口数の光線が通る光線高をＨ4 とした
時、 （１） Ｈ3 ＜Ｈ4 の条件を満足することを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】以下、上記の構成を採用した理由と作用につい
て説明する。本発明においては、まず、周知の技術では
あるが、プラン対物レンズを得るために、第１レンズ群
の先玉レンズを接合レンズとし、その接合面の曲率半径
を非常に小さくして、その面に負のパワーを持たせる。
また、これも周知の技術であるが、対物レンズの後部、
本発明の場合は、第５レンズ群と第６レンズ群にガウス
タイプにしたレンズ群を配置し、このレンズ群の凹面に
よって像面湾曲を補正する。次に、球面収差や軸上色収
差を効果的に補正するために、第２レンズ群として、正
レンズと負レンズをそれぞれ少なくとも１つ含み、全体
として正屈折力のレンズ群を、また、第３レンズ群に、
負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合レンズを配置
する。ここまでは従来例の特開昭５９−１５５８２２号
の構成と同じであるが、本発明においては、さらに、球
面収差や軸上色収差を補正するために、第３レンズ群と
第５レンズ群の間に正屈折力の第４レンズ群を配置す
る。この構成によって、第３レンズ群の負・正・負の３
枚接合レンズの物体側接合面の負のパワーを効果的に軸
上収差補正に役立てることが可能となる。ＮＡが１．４
で軸上収差補正を十分に行うためには、接合面での負の
パワーが必要不可欠であり、従来例の特開昭５９−１５
５８２２号でも、接合面の負のパワーは効いてはいるが
不十分なため、軸上収差の補正が不十分となってしま
う。本発明においては、第３レンズ群の物体側接合面と
第４レンズ群の最物体側面での最大開口数の光線が通る
光線高をそれぞれＨ3 、Ｈ4 とした時、 （１） Ｈ3 ＜Ｈ4 の条件を満足することが必要である。
て説明する。本発明においては、まず、周知の技術では
あるが、プラン対物レンズを得るために、第１レンズ群
の先玉レンズを接合レンズとし、その接合面の曲率半径
を非常に小さくして、その面に負のパワーを持たせる。
また、これも周知の技術であるが、対物レンズの後部、
本発明の場合は、第５レンズ群と第６レンズ群にガウス
タイプにしたレンズ群を配置し、このレンズ群の凹面に
よって像面湾曲を補正する。次に、球面収差や軸上色収
差を効果的に補正するために、第２レンズ群として、正
レンズと負レンズをそれぞれ少なくとも１つ含み、全体
として正屈折力のレンズ群を、また、第３レンズ群に、
負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合レンズを配置
する。ここまでは従来例の特開昭５９−１５５８２２号
の構成と同じであるが、本発明においては、さらに、球
面収差や軸上色収差を補正するために、第３レンズ群と
第５レンズ群の間に正屈折力の第４レンズ群を配置す
る。この構成によって、第３レンズ群の負・正・負の３
枚接合レンズの物体側接合面の負のパワーを効果的に軸
上収差補正に役立てることが可能となる。ＮＡが１．４
で軸上収差補正を十分に行うためには、接合面での負の
パワーが必要不可欠であり、従来例の特開昭５９−１５
５８２２号でも、接合面の負のパワーは効いてはいるが
不十分なため、軸上収差の補正が不十分となってしま
う。本発明においては、第３レンズ群の物体側接合面と
第４レンズ群の最物体側面での最大開口数の光線が通る
光線高をそれぞれＨ3 、Ｈ4 とした時、 （１） Ｈ3 ＜Ｈ4 の条件を満足することが必要である。
【０００８】この条件（１）を外れると、第３レンズ群
の物体側接合面の負のパワーが不十分となり、軸上収差
の補正が十分でなくなる。
の物体側接合面の負のパワーが不十分となり、軸上収差
の補正が十分でなくなる。
【０００９】さらに、以下の条件（２）を加えることに
よって、さらに良好に諸収差を補正することができる。 （２） ０．０５＜ｆ／ｆ4 ＜０．２ ただし、ｆ4 は第４レンズ群の焦点距離、ｆは対物レン
ズ全系の焦点距離である。
よって、さらに良好に諸収差を補正することができる。 （２） ０．０５＜ｆ／ｆ4 ＜０．２ ただし、ｆ4 は第４レンズ群の焦点距離、ｆは対物レン
ズ全系の焦点距離である。
【００１０】条件（２）は、第４レンズ群のパワーを規
定したもので、軸外収差、特にコマ収差を良好に補正す
るために必要なものである。本発明と従来例の特開昭５
９−１５５８２２号のものとの違いは、正屈折力の第４
レンズ群の有無であるが、これがあることによって、前
述のように、第３レンズ群の３枚接合レンズの物体側接
合面の負のパワーを軸上収差補正に役立てることができ
る。第４レンズ群は、これと同時に軸外収差の補正にも
役立っている。すなわち、特開昭５９−１５５８２２号
では、いわゆるガウスタイプの前群である像側に強い凹
面を向けた接合メニスカスレンズが配置されているが、
本発明では、この第４レンズ群をこのレンズの物体側に
付加することによって、ガウスタイプ群の最物体側面の
正のパワーを分散させることが可能となる。上記条件
（２）の上限の０．２を外れると、第４レンズ群の正の
パワーが強くなりすぎて、第５レンズ群の最物体側面の
正のパワーが弱くなってしまい、コマ収差が補正できな
くなる。下限の０．０５を外れると、第４レンズ群のパ
ワーが弱く、第５レンズ群の最物体側面の正のパワーが
強くなってしまい、同様にコマ収差が補正できなくな
る。
定したもので、軸外収差、特にコマ収差を良好に補正す
るために必要なものである。本発明と従来例の特開昭５
９−１５５８２２号のものとの違いは、正屈折力の第４
レンズ群の有無であるが、これがあることによって、前
述のように、第３レンズ群の３枚接合レンズの物体側接
合面の負のパワーを軸上収差補正に役立てることができ
る。第４レンズ群は、これと同時に軸外収差の補正にも
役立っている。すなわち、特開昭５９−１５５８２２号
では、いわゆるガウスタイプの前群である像側に強い凹
面を向けた接合メニスカスレンズが配置されているが、
本発明では、この第４レンズ群をこのレンズの物体側に
付加することによって、ガウスタイプ群の最物体側面の
正のパワーを分散させることが可能となる。上記条件
（２）の上限の０．２を外れると、第４レンズ群の正の
パワーが強くなりすぎて、第５レンズ群の最物体側面の
正のパワーが弱くなってしまい、コマ収差が補正できな
くなる。下限の０．０５を外れると、第４レンズ群のパ
ワーが弱く、第５レンズ群の最物体側面の正のパワーが
強くなってしまい、同様にコマ収差が補正できなくな
る。
【００１１】また、第２レンズ群を正レンズ、負レン
ズ、正レンズの３枚接合レンズにし、物体側正レンズと
負レンズのｄ線の屈折率をｎ4 、ｎ5 とした時、 （３） ｎ5 −ｎ4 ＞０．０３ の条件を満たすようにすると、球面収差や軸上色収差の
曲がりを良好に補正することができる。従来例の特開昭
５９−１５５８２２号記載のものでは、正・負・正の３
枚接合レンズの物体側の２枚のレンズをハイパークロマ
ティックにして、色の球面収差の曲がりを取り除くよう
にしたとしているが、この接合面にも屈折率差を付けて
接合面の負のパワーを有効利用したほうがよい。この条
件（３）の下限の０．０３を外れると、接合面の負のパ
ワーが弱くなって、球面収差や軸上色収差の曲がりを良
好に補正することが難しくなる。
ズ、正レンズの３枚接合レンズにし、物体側正レンズと
負レンズのｄ線の屈折率をｎ4 、ｎ5 とした時、 （３） ｎ5 −ｎ4 ＞０．０３ の条件を満たすようにすると、球面収差や軸上色収差の
曲がりを良好に補正することができる。従来例の特開昭
５９−１５５８２２号記載のものでは、正・負・正の３
枚接合レンズの物体側の２枚のレンズをハイパークロマ
ティックにして、色の球面収差の曲がりを取り除くよう
にしたとしているが、この接合面にも屈折率差を付けて
接合面の負のパワーを有効利用したほうがよい。この条
件（３）の下限の０．０３を外れると、接合面の負のパ
ワーが弱くなって、球面収差や軸上色収差の曲がりを良
好に補正することが難しくなる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズの実
施例１〜２について説明する。
施例１〜２について説明する。
【００１３】各実施例のレンズデータは後記するが、図
１は実施例１のレンズ構成を示す断面図であり、実施例
２の構成もほぼ同じであるので図示は省く。
１は実施例１のレンズ構成を示す断面図であり、実施例
２の構成もほぼ同じであるので図示は省く。
【００１４】各群の構成については、両実施例共、第１
群Ｇ１は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカ
スレンズの接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズの３枚からなり、第２群Ｇ２は、両凸レン
ズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合レンズからな
り、第３群Ｇ３は、物体側に凸面を向けた負メニスカス
レンズ、両凸レンズ、像側に凸面を向けた負メニスカス
レンズの３枚接合レンズからなり、第４群Ｇ４は、物体
側に凸面を向けた正メニスカスレンズ１枚からなり、第
５群Ｇ５は、両凸レンズと両凹レンズの２枚接合レンズ
からなり、第６群Ｇ６は、実施例１は、両凹レンズと両
凸レンズの２枚接合レンズからなり、実施例２は、平凹
レンズと平凸レンズの２枚接合レンズからなる。
群Ｇ１は、平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカ
スレンズの接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズの３枚からなり、第２群Ｇ２は、両凸レン
ズ、両凹レンズ、両凸レンズの３枚接合レンズからな
り、第３群Ｇ３は、物体側に凸面を向けた負メニスカス
レンズ、両凸レンズ、像側に凸面を向けた負メニスカス
レンズの３枚接合レンズからなり、第４群Ｇ４は、物体
側に凸面を向けた正メニスカスレンズ１枚からなり、第
５群Ｇ５は、両凸レンズと両凹レンズの２枚接合レンズ
からなり、第６群Ｇ６は、実施例１は、両凹レンズと両
凸レンズの２枚接合レンズからなり、実施例２は、平凹
レンズと平凸レンズの２枚接合レンズからなる。
【００１５】以下に各実施例のレンズデータを示すが、
記号は、上記の他、ｒ1 、ｒ2 …は物体側から順に示し
た各レンズ面の曲率半径、ｄ1 、ｄ2 …は物体側から順
に示した各レンズ面間の間隔、ｎd1、ｎd2…は物体側か
ら順に示した各レンズのｄ線の屈折率、νd1、νd2…は
物体側から順に示した各レンズのアッベ数である。さら
に、ｈ1 、ｈ2 …は各レンズ面における最大開口数の光
線が通る光線高である。
記号は、上記の他、ｒ1 、ｒ2 …は物体側から順に示し
た各レンズ面の曲率半径、ｄ1 、ｄ2 …は物体側から順
に示した各レンズ面間の間隔、ｎd1、ｎd2…は物体側か
ら順に示した各レンズのｄ線の屈折率、νd1、νd2…は
物体側から順に示した各レンズのアッベ数である。さら
に、ｈ1 、ｈ2 …は各レンズ面における最大開口数の光
線が通る光線高である。
【００１６】なお、実施例１、２共に、焦点距離ｆ＝
３、倍率＝６０×、開口数ＮＡ＝１．４、作動距離は
０．１４である。なお、何れも油浸系であり、使用する
オイルの屈折率とアッベ数は、それぞれｎd ＝１．５１
５４８、νd ＝４３．１０して設計してある。また、カ
バーガラスの屈折率、アッベ数、厚みは、それぞれｎd
＝１．５２１、νd ＝５６．０２、ｄ＝０．１７ｍｍと
して設計してある。
３、倍率＝６０×、開口数ＮＡ＝１．４、作動距離は
０．１４である。なお、何れも油浸系であり、使用する
オイルの屈折率とアッベ数は、それぞれｎd ＝１．５１
５４８、νd ＝４３．１０して設計してある。また、カ
バーガラスの屈折率、アッベ数、厚みは、それぞれｎd
＝１．５２１、νd ＝５６．０２、ｄ＝０．１７ｍｍと
して設計してある。
【００１７】実施例１ ｒ1 = ∞ ｄ1 = 0.6000 ｎd1 =1.51633 νd1 =64.15 ｈ1 = 0.738 ｒ2 = -1.8192 ｄ2 = 3.8400 ｎd2 =1.88300 νd2 =40.78 ｈ2 = 1.165 ｒ3 = -3.2177 ｄ3 = 0.1000 ｈ3 = 3.217 ｒ4 = -20.4857 ｄ4 = 2.1418 ｎd3 =1.56907 νd3 =71.30 ｈ4 = 4.744 ｒ5 = -8.7588 ｄ5 = 0.3000 ｈ5 = 5.181 ｒ6 = 11.0685 ｄ6 = 5.3000 ｎd4 =1.49700 νd4 =81.61 ｈ6 = 6.329 ｒ7 = -10.4406 ｄ7 = 1.0000 ｎd5 =1.61340 νd5 =43.84 ｈ7 = 6.251 ｒ8 = 18.9938 ｄ8 = 4.5000 ｎd6 =1.43875 νd6 =94.97 ｈ8 = 6.237 ｒ9 = -17.4921 ｄ9 = 0.1500 ｈ9 = 6.324 ｒ10= 25.5110 ｄ10= 1.0000 ｎd7 =1.67650 νd7 =37.54 ｈ10= 6.081 ｒ11= 6.4981 ｄ11= 6.5000 ｎd8 =1.43875 νd8 =94.97 ｈ11= 5.519 ｒ12= -16.9602 ｄ12= 1.0000 ｎd9 =1.74000 νd9 =31.71 ｈ12= 5.638 ｒ13= -37.6734 ｄ13= 0.3000 ｈ13= 5.789 ｒ14= 8.7662 ｄ14= 3.1000 ｎd10=1.45600 νd10=90.31 ｈ14= 5.971 ｒ15= 145.8837 ｄ15= 0.1500 ｈ15= 5.769 ｒ16= 7.8660 ｄ16= 5.7340 ｎd11=1.61800 νd11=63.38 ｈ16= 5.130 ｒ17= -8.8483 ｄ17= 1.0000 ｎd12=1.67650 νd12=37.54 ｈ17= 3.554 ｒ18= 3.0648 ｄ18= 3.2000 ｈ18= 2.284 ｒ19= -3.4631 ｄ19= 2.0409 ｎd13=1.74000 νd13=31.71 ｈ19= 2.127 ｒ20= 270.3729 ｄ20= 6.7011 ｎd14=1.80518 νd14=25.43 ｈ20= 2.839 ｒ21= -8.4836 ｈ21= 4.206 Ｈ3 ＝5.519 、Ｈ4 ＝5.971 より、（１）Ｈ3 ＜Ｈ4 ｆ＝３、ｆ4 ＝20.309 より、（２）ｆ／ｆ4 ＝0.
148すなわち、0.05＜ｆ／ｆ4 ＜0.2 ｎ5 ＝1.6134、ｎ4 ＝1.497 より、（３）ｎ5 −ｎ4 ＝
0.1164＞0.03 。
148すなわち、0.05＜ｆ／ｆ4 ＜0.2 ｎ5 ＝1.6134、ｎ4 ＝1.497 より、（３）ｎ5 −ｎ4 ＝
0.1164＞0.03 。
【００１８】実施例２ ｒ1 = ∞ ｄ1 = 0.6000 ｎd1 =1.51633 νd1 =64.15 ｈ1 = 0.738 ｒ2 = -1.6667 ｄ2 = 3.8400 ｎd2 =1.88300 νd2 =40.78 ｈ2 = 1.127 ｒ3 = -3.2023 ｄ3 = 0.1000 ｈ3 = 3.202 ｒ4 = -52.2796 ｄ4 = 2.1703 ｎd3 =1.56907 νd3 =71.30 ｈ4 = 4.936 ｒ5 = -10.3690 ｄ5 = 0.3000 ｈ5 = 5.292 ｒ6 = 11.2374 ｄ6 = 5.3000 ｎd4 =1.49700 νd4 =81.61 ｈ6 = 6.242 ｒ7 = -11.1093 ｄ7 = 1.0000 ｎd5 =1.61340 νd5 =43.84 ｈ7 = 9.139 ｒ8 = 14.1710 ｄ8 = 4.4000 ｎd6 =1.43875 νd6 =94.97 ｈ8 = 6.087 ｒ9 = -17.7800 ｄ9 = 0.1500 ｈ9 = 6.172 ｒ10= 23.3833 ｄ10= 1.0000 ｎd7 =1.67650 νd7 =37.54 ｈ10= 5.969 ｒ11= 6.6345 ｄ11= 6.5000 ｎd8 =1.43875 νd8 =94.97 ｈ11= 5.457 ｒ12= -14.2468 ｄ12= 1.1000 ｎd9 =1.74000 νd9 =31.71 ｈ12= 5.524 ｒ13= -39.1279 ｄ13= 0.3000 ｈ13= 5.692 ｒ14= 9.6642 ｄ14= 3.1000 ｎd10=1.43875 νd10=94.97 ｈ14= 5.837 ｒ15= 676.3617 ｄ15= 0.1500 ｈ15= 5.623 ｒ16= 7.3814 ｄ16= 5.7117 ｎd11=1.61800 νd11=63.38 ｈ16= 5.055 ｒ17= -7.8434 ｄ17= 1.0000 ｎd12=1.64450 νd12=40.82 ｈ17= 3.682 ｒ18= 3.0966 ｄ18= 3.2000 ｈ18= 2.310 ｒ19= -3.3876 ｄ19= 2.0626 ｎd13=1.74000 νd13=31.71 ｈ19= 2.119 ｒ20= ∞ ｄ20= 6.7611 ｎd14=1.80518 νd14=25.43 ｈ20= 2.826 ｒ21= -8.5494 ｈ21= 4.198 Ｈ3 ＝5.457 、Ｈ4 ＝5.837 より、（１）Ｈ3 ＜Ｈ4 ｆ＝３、ｆ4 ＝22.314 より、（２）ｆ／ｆ4 ＝0.
134すなわち、0.05＜ｆ／ｆ4 ＜0.2 ｎ5 ＝1.6134、ｎ4 ＝1.497 より、（３）ｎ5 −ｎ4 ＝
0.1164＞0.03 。
134すなわち、0.05＜ｆ／ｆ4 ＜0.2 ｎ5 ＝1.6134、ｎ4 ＝1.497 より、（３）ｎ5 −ｎ4 ＝
0.1164＞0.03 。
【００１９】上記各実施例の対物レンズは、例えば以下
に示すレンズデータを有し、図２にレンズ断面を示す結
像レンズと組み合わせて用いられる。ただし、データ
中、ｒ1'、ｒ2'…は物体側から順に示した各レンズ面の
曲率半径、ｄ1'、ｄ2'…は物体側から順に示した各レン
ズ面間の間隔、ｎd1' 、ｎd2' …は物体側から順に示し
た各レンズのｄ線の屈折率、νd1' 、νd2' …は物体側
から順に示した各レンズのアッベ数である。
に示すレンズデータを有し、図２にレンズ断面を示す結
像レンズと組み合わせて用いられる。ただし、データ
中、ｒ1'、ｒ2'…は物体側から順に示した各レンズ面の
曲率半径、ｄ1'、ｄ2'…は物体側から順に示した各レン
ズ面間の間隔、ｎd1' 、ｎd2' …は物体側から順に示し
た各レンズのｄ線の屈折率、νd1' 、νd2' …は物体側
から順に示した各レンズのアッベ数である。
【００２０】 ｒ1'= 68.7541 ｄ1'= 7.7321 ｎd1'=1.48749 νd1'=70.20 ｒ2'= -37.5679 ｄ2'= 3.4742 ｎd2'=1.80610 νd2'=40.95 ｒ3'= -102.8477 ｄ3'= 0.6973 ｒ4'= 84.3099 ｄ4'= 6.0238 ｎd3'=1.83400 νd3'=37.16 ｒ5'= -50.7100 ｄ5'= 3.0298 ｎd4'=1.64450 νd4'=40.82 ｒ6'= 40.6619 。
【００２１】この場合、実施例１、２の対物レンズと図
２の結像レンズの間の間隔は５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間
の何れの位置でもよいが、この間隔を５６ｍｍとした場
合についての実施例１、２の球面収差、非点収差、歪曲
収差を表す収差図をそれぞれ図３、図４に示す。なお、
上記間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間で５６ｍｍ以外の
位置においてもほぼ同様の収差状況を示す。
２の結像レンズの間の間隔は５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間
の何れの位置でもよいが、この間隔を５６ｍｍとした場
合についての実施例１、２の球面収差、非点収差、歪曲
収差を表す収差図をそれぞれ図３、図４に示す。なお、
上記間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間で５６ｍｍ以外の
位置においてもほぼ同様の収差状況を示す。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
倍率が６０倍程度、ＮＡが１．４で、特開昭６１−２４
０２１８号記載のものよりも少ない構成枚数でありなが
ら、球面収差や軸上色収差を十分に補正し、さらに、広
視野にわたって像面を平坦にすることができる。
倍率が６０倍程度、ＮＡが１．４で、特開昭６１−２４
０２１８号記載のものよりも少ない構成枚数でありなが
ら、球面収差や軸上色収差を十分に補正し、さらに、広
視野にわたって像面を平坦にすることができる。
【図１】本発明の液浸系顕微鏡対物レンズの実施例１の
レンズ断面図である。
レンズ断面図である。
【図２】各実施例の対物レンズと共に用いる結像レンズ
のレンズ断面図である。
のレンズ断面図である。
【図３】実施例１の球面収差、非点収差、歪曲収差を表
す収差図である。
す収差図である。
【図４】実施例２の球面収差、非点収差、歪曲収差を表
す収差図である。
す収差図である。
Ｇ１…第１レンズ群 Ｇ２…第２レンズ群 Ｇ３…第３レンズ群 Ｇ４…第４レンズ群 Ｇ５…第５レンズ群 Ｇ６…第６レンズ群
Claims (2)
- 【請求項１】 物体側から順に、全体として正の屈折力
を有し、接合面が物体側に凹形状の接合レンズを含む第
１レンズ群と、少なくとも１つの正レンズと少なくとも
１つの負レンズとを含んだ全体として正の屈折力を有す
る第２レンズ群と、物体側から像側に負レンズと正レン
ズと負レンズとの接合レンズからなる第３レンズ群と、
正の屈折力の第４レンズ群と、最も物体側に凸面を有す
ると共に、最も像側の面が像側に凹面を有する第５レン
ズ群と、最も物体側に凹面を有すると共に、最も像側の
面が像側に凸面を有する第６レンズ群とを備えた液浸系
顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項２】 物体側から順に、平凸レンズと物体側に
他の面よりパワーの強い凹面を向けたメニスカスレンズ
との接合レンズを有する正屈折力の第１レンズ群と、全
体として正の屈折力を有し、少なくとも１つの正レンズ
と少なくとも１つの負レンズとを含んだ第２レンズ群
と、負レンズ、正レンズ、負レンズの３枚接合レンズか
らなる第３レンズ群と、正屈折力の第４レンズ群と、像
側に他の面よりパワーの強い凹面を向けた接合メニスカ
スレンズを含む第５レンズ群と、物体側に他の面よりパ
ワーの強い凹面を向けた接合メニスカスレンズを含む第
６レンズ群とで構成され、第３レンズ群の負レンズ、正
レンズ、負レンズの３枚接合レンズの物体側接合面で最
大開口数の光線が通る光線高をＨ3 、第４レンズ群の最
も物体側の面で最大開口数の光線が通る光線高をＨ4 と
した時、 （１） Ｈ3 ＜Ｈ4 の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レ
ンズ。
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|---|---|---|---|
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| JP3318060B2 JP3318060B2 (ja) | 2002-08-26 |
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ID=16036983
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1993
- 1993-07-19 JP JP17778093A patent/JP3318060B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-18 US US08/276,460 patent/US5517360A/en not_active Expired - Lifetime
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