JP3335391B2 - 高倍率顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高倍率顕微鏡対物レン
ズに関し、特に、高倍率、高開口数を有し、像面の平坦
性が良く、アポクロマートの性能を持つ液浸系顕微鏡対
物レンズに関する。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡対物レンズにおいて、高開口数
（ＮＡ）化による解像力の向上は必要不可欠の仕様であ
り、従来から多くの提案がなされてきている。例えば、
特開昭６１−２７５８１３号のものは、ＮＡ１．４であ
り、かつ、色収差が非常に良く補正されている。しか
し、像面の平坦性に欠けている。

【０００３】また、特願平３−３０３４０７号のもの
は、像面の平坦性は確保されているが、わずかではある
が残存色収差があり、また、ＮＡがやや足りない。

【０００４】特公昭３８−２４６３０号のものは、後述
する本発明の構成とやや似ているが、色収差が完全に補
正されていないこと、また、ＮＡが１．２５と小さい点
で問題がある。

【０００５】本発明の構成と最も似ているのが特願平４
−２３４７９６号のものであるが、近紫外域まで収差補
正を行っているためと、水浸系の対物レンズであるため
に、ＮＡが小さい。したがって、光線高をあまり高くせ
ずにレンズ構成ができ、物体側近くのレンズの厚さが比
較的薄くなり、像側（本発明では、第４レンズ群以降）
近くのレンズの肉厚、空気間隔を厚くすることができ
る。このため、本発明における第５レンズ群に相当する
レンズへの入射光線高を、その前の群のレンズの正屈折
力を強くしなくても、低くできるため、第５レンズ群ま
でで十分な像面湾曲の補正ができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】一般に、油浸系の高Ｎ
Ａ顕微鏡対物レンズには、以下のような問題点があっ
た。

【０００７】 先玉の形状は平面で、凹面にできない
ために、像面湾曲をとり難い。これを補うために、先玉
を接合レンズとして、接合面でペッツバール和を負側に
動かすレンズ構成があるが、色収差補正等を考慮する
と、接合面での屈折率差を大きくすることができず、効
果はあるが、全体の像面湾曲の補正としては不十分であ
り、レンズ構成上工夫が必要となる。

【０００８】 ＮＡが大きくなると、光線高が高くな
る。顕微鏡対物レンズには、物体面から対物レンズ胴付
までの距離に制限がある。光線高が高くなると、レンズ
の縁厚を確保するためには、レンズの中心厚を厚くしな
ければならず、上記制限のために構成するレンズ枚数に
も制限が出て、収差補正を難しくする。光線高を無理に
低く抑えようとすると、光線の屈折面が大きくなり、高
次収差が発生しやすくなり、トータルの収差補正が難し
くなる。また、高倍率顕微鏡対物レンズでは、像側のレ
ンズを射出する光線高が低いので、物体側のレンズから
光線高を低く抑えると、像面湾曲を小さくするために
は、凹面に入射する光線をさらに低くし、負の屈折力を
強くしなければならない。このため、凹面で発生する高
次収差も増え、トータルの収差を小さくすることができ
なくなる。

【０００９】従来例では、特開昭６１−２７５８１３号
のごとく、ＮＡが大きく色収差は良好に補正されている
が、像面湾曲が大きい発明、特願平４−２３４７９６
号、特願平３−３０３４０７号のように、色収差、像面
湾曲は良好に補正されているが、ＮＡが小さい発明があ
る。しかし、ＮＡが大きく、色収差も像面湾曲も良好に
補正されている例はない。

【００１０】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、ＮＡ１．４という高開口数を
持ち、球面収差、色収差、像面湾曲を良好に補正できる
構成にした高倍率アポクロマート顕微鏡対物レンズを提
供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の高倍率顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、平凸
レンズ又は像側に強い凸面を向けた接合面を有する平凸
レンズの第１レンズ群Ｇ１、正屈折力の第２レンズ群Ｇ
２、接合レンズを含む第３レンズ群Ｇ３、物体側に凸面
を向けた正屈折力のメニスカスレンズを含む第４レンズ
群Ｇ４、負の屈折力の第５レンズ群Ｇ５、像側に凸面を
向けた接合メニスカスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６か
ら構成され、以下の条件を満足することを特徴とするも
のである。 （１’）｜ｆ₅ ／ｆ｜＜４．４ （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＞１５ ただし、ｆ₅ 、ｆ₆ 、ｆはそれぞれ第５レンズ群Ｇ５、
第６レンズ群Ｇ６、対物レンズ全系の焦点距離である。
本発明のもう１つの高倍率顕微鏡対物レンズは、物体側
から順に、平凸レンズ又は像側に強い凸面を向けた接合
面を有する平凸レンズの第１レンズ群Ｇ１、正屈折力の
第２レンズ群Ｇ２、接合レンズを含む第３レンズ群Ｇ
３、物体側に凸面を向けた正屈折力のメニスカスレンズ
を含む第４レンズ群Ｇ４、負の屈折力の第５レンズ群Ｇ
５、像側に凸面を向けた接合メニスカスレンズを含む第
６レンズ群Ｇ６から構成され、以下の条件（１）、
（２）を満足し、前記第２レンズ群Ｇ２を構成する正レ
ンズの少なくとも１枚が以下の条件（３）を満足し、前
記第３レンズ群Ｇ３中に以下の条件（４）を満足する正
屈折力のレンズを少なくとも３個以上含むことを特徴と
するものである。 （１） ｜ｆ₅ ／ｆ｜＜５ （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＞１５ （３） ν_2P＞７０ （４） ν_3P＞７０ ただし、ｆ₅ 、ｆ₆ 、ｆはそれぞれ第５レンズ群Ｇ５、
第６レンズ群Ｇ６、対物レンズ全系の焦点距離、ν_2Pは
第２レンズ群Ｇ２中に含まれる正レンズのアッベ数、ν
_3Pは第３レンズ群Ｇ３中に含まれる正レンズのアッベ数
である。

【００１２】（１） ｜ｆ₅ ／ｆ｜＜５ （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＞１５ ただし、ｆ₅ 、ｆ₆ 、ｆはそれぞれ第５レンズ群Ｇ５、
第６レンズ群Ｇ６、対物レンズ全系の焦点距離である。

【００１３】

【作用】以下、上記構成を採用した理由と作用について
説明する。本発明の高倍率顕微鏡対物レンズは、上記し
たように、物体側から順に、平凸レンズ又は像側に強い
凸面を向けた接合面を有する平凸レンズの第１レンズ群
Ｇ１、正屈折力の第２レンズ群Ｇ２、接合レンズと含む
第３レンズ群Ｇ３、物体側に凸面を向けた正屈折力のメ
ニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４、負の屈折力の
第５レンズ群Ｇ５、像側に凸面を向けた接合メニスカス
レンズを含む第６レンズ群Ｇ６から構成されていること
を特徴としている。

【００１４】第１群Ｇ１は、平凸レンズ又は像側に強い
凸面を向けた接合面を有する平凸レンズであり、凸面の
曲率は不遊条件を満足し、球面収差の発生を抑えてい
る。

【００１５】第２群Ｇ２は正屈折力を持ち、光線の発散
を小さくして第３群Ｇ３へ導く。

【００１６】第３群Ｇ３は、接合レンズを使用すること
によって、球面収差、色収差の補正をする。

【００１７】第４群Ｇ４は、物体側に凸面を向けた正屈
折力のメニスカスレンズにより、光線高を大きく引き下
げる。これによって、第５群Ｇ５以降の凹面の負の屈折
力を強くすることができるため、ペッツバール和を大き
く正にすることができる。ペッツバール和を正に持って
くるために、レンズ後群に物体側に凸面を向けたメニス
カスレンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズを組
み合わせた、いわゆるガウスタイプの構成をとった顕微
鏡対物レンズは、特開昭６１−２７５８１３号、特願平
３−３０３４０７号等、数多く発明されているが、開口
数１．４と大きくなると、ガウスタイプでは十分な像面
の平坦性が得られず、無理に平坦性を確保しようとする
と、球面収差、色収差が多く発生する。高開口数を持つ
顕微鏡対物レンズで、球面収差、色収差を良好に補正
し、かつ、像面の平坦性を確保するためには、本発明の
ように諸収差の発生をできるだけ少なく光線高を下側に
下げるレンズ群と、ペッツバール和を正にする負レンズ
群が必要になる。

【００１８】第５レンズ群Ｇ５は、上記に示したごと
く、強い負の屈折力を持つレンズによってペッツバール
和を正に持って行き、像面湾曲を補正する。下記の条件
を満たすことによって、諸収差は良好に補正される。 （１） ｜ｆ₅ ／ｆ｜＜５ ただし、ｆ₅ 、ｆはそれぞれ第５レンズ群Ｇ５、対物レ
ンズ全系の焦点距離である。

【００１９】上記（１）の条件の上限である５を越える
と、第５レンズ群Ｇ５の負屈折力が弱くなり、ペッツバ
ール和を正の方向に大きく動かすことが難しくなり、像
面の平坦性が悪くなる。これを、第６レンズ群Ｇ６で補
正するには、光線を急激に上げて平行に射出するように
しなければならないために、第６レンズ群Ｇ６での凹面
も凸面も屈折力を強くしなければならない。しかし、こ
のようにすると、第６レンズ群Ｇ６のレンズ面での球面
収差、コマ収差の発生が多くなるために、収差補正が困
難となる。なお、上記条件の代わりに、以下の条件
（１’）を満足するようにしてもよい。 （１’）｜ｆ₅ ／ｆ｜＜４．４

【００２０】第６レンズ群Ｇ６は、像側に凸面を向けた
接合メニスカスレンズにより、像面湾曲と倍率色収差を
補正している。物体側の凹面での光線高は第４レンズ群
Ｇ４によって下げられているために、凹面の曲率を小さ
くでき、ペッツバール和を正に動かすことができる。以
下の条件を満たすことによって、諸収差を補正すること
ができる。 （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＞１５ ただし、ｆ₆ は第６レンズ群Ｇ６の焦点距離である。

【００２１】上記（２）の条件の下限である１５を越え
ると、ｆ₆ ＜０のとき、第６レンズ群Ｇ６の正屈折力が
強くなり、ペッツバール和を正に動かすことが難しくな
る。ｆ₆ ＜０のとき、第６レンズ群Ｇ６の負屈折力が強
くなるが、第６群Ｇ６の物体側に向いている凹面の曲率
が小さくなるので、発生する収差の量が多くなり、球面
収差、コマ収差等の補正が難しくなる。

【００２２】さらに、以下の構成、条件を加えることに
よって、さらに良好に諸収差を補正することができる。

【００２３】第２レンズ群Ｇ２は、正屈折力を持ち光線
の発散を小さくし、第３レンズ群Ｇ３に光線を導くの
で、色収差をさらに良好に補正するためには、第２レン
ズ群Ｇ２を構成する正レンズの少なくとも１枚は、以下
の条件と満たすことが望ましい。 （３） ν_2P＞７０ ただし、ν_2Pは第２レンズ群Ｇ２中に含まれる正レンズ
のアッベ数である。

【００２４】第３レンズ群Ｇ３では、諸収差の補正のた
めに接合レンズを用いているが、特に色収差をさらに良
好に補正するために、凸凹凸の３枚接合レンズを用いる
ことが有効である。また、以下の条件を満足する正屈折
力のレンズを第３レンズ群Ｇ３中に少なくとも３個以上
含むことによっても、色収差をさらに良好に補正するこ
とができる。 （４） ν_3P＞７０ ただし、ν_3Pは第３レンズ群Ｇ３中に含まれる正レンズ
のアッベ数である。

【００２５】正メニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ
４は、正屈折力によって光線を引き下げ、第５レンズ群
Ｇ５、第６レンズ群Ｇ６でペッツバール和を正に持て行
きやすくしているが、以下の条件を第４レンズ群Ｇ４が
満足することによって、さらに良好に像面湾曲を含めた
諸収差を補正することができる。 （５） ５＜ｆ₄ ／ｆ＜２０ ただし、ｆ₄ 、ｆはそれぞれ第４レンズ群Ｇ４、対物レ
ンズ全系の焦点距離である。

【００２６】（５）の条件の下限の５を越えると、第４
レンズ群Ｇ４での正の屈折力が強くなりすぎ、球面収
差、コマ収差、色収差の発生が多くなり、他の群で収差
補正ができなくなる。上限の２０を越えると、第４レン
ズ群Ｇ４の正の屈折力が弱くなり、第５群Ｇ５へ向かう
光線の光線高が低くならず、第５群Ｇ５、第６群Ｇ６で
ペッツバール和を正に動かすことが難しくなり、像面湾
曲を補正することが困難になる。

【００２７】

【実施例】次に、本発明の高倍率顕微鏡対物レンズの実
施例１、２について説明する。各実施例のレンズデータ
は後記するが、実施例１、２のレンズ構成図をそれぞれ
図１、図２に示す。各群の構成については、第１レンズ
群Ｇ１が、実施例１では、平凸レンズとメニスカスレン
ズの接合レンズからなる平凸レンズからなり、実施例２
では、平凸レンズ１枚からなる。第２レンズ群Ｇ２は、
実施例１では、両凸レンズからなり、実施例２では、像
側に凸面を向けた正メニスカスレンズ２枚からなる。第
３レンズ群Ｇ３は、実施例１では、両凸レンズ、両凹レ
ンズ、両凸レンズの３枚接合レンズと、両凸レンズと、
物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ、両凸レン
ズ、像側に凸面を向けた負メニスカスレンズの３枚接合
レンズからなり、実施例２では、両凸レンズ、両凹レン
ズ、両凸レンズの３枚接合レンズと、物体側に凸面を向
けた負メニスカスレンズ、両凸レンズ、像側に凸面を向
けた負メニスカスレンズの３枚接合レンズからなる。第
４レンズ群Ｇ４は、実施例１、２共、両凸レンズと両凹
レンズの接合レンズからなっている。第５レンズ群Ｇ５
は、実施例１では、両凹レンズ、実施例２では、物体側
に凸面を向けた負メニスカスレンズからなっている。第
６レンズ群Ｇ６は、実施例１、２共に、両凹レンズと両
凸レンズの接合レンズからなっている。

【００２８】以下に各実施例のレンズデータを示すが、
記号は、上記の他、ｒ₁ 、ｒ₂ …は物体側から順に示し
た各レンズ面の曲率半径、ｄ₁ 、ｄ₂ …は物体側から順
に示した各レンズ面間の間隔、ｎ_d1、ｎ_d2…は物体側か
ら順に示した各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1、ν_d2…は
物体側から順に示した各レンズのアッベ数である。

【００２９】実施例１、２共に、焦点距離ｆ＝１．８ｍ
ｍ、倍率＝１００×、開口数ＮＡ＝１．４である。な
お、何れも油浸系であり、カバーガラス厚さは０．１７
ｍｍ、その屈折率、アッベ数はそれぞれｎ_d ＝１．５２
１、ν_d ＝５６．０２であり、使用するオイルの屈折率
とアッベ数はそれぞれｎ_d ＝１．５１５４８、ν_d ＝４
３．１として設計してある。また、カバーガラスから対
物レンズ第１面までの作動距離は、何れの実施例も０．
１１ｍｍである。

【００３０】実施例１ ｒ₁ = ∞ ｄ₁ = 0.3950 ｎ_d1 =1.51633 ν_d1 =64.15 ｒ₂ = -1.6683 ｄ₂ = 3.5448 ｎ_d2 =1.78650 ν_d2 =50.00 ｒ₃ = -2.9250 ｄ₃ = 0.0953 ｒ₄ = 275.3248 ｄ₄ = 4.0500 ｎ_d3 =1.45600 ν_d3 =90.31 ｒ₅ = -7.4685 ｄ₅ = 0.1406 ｒ₆ = 14.0876 ｄ₆ = 4.7006 ｎ_d4 =1.45600 ν_d4 =90.31 ｒ₇ = -13.2198 ｄ₇ = 1.0000 ｎ_d5 =1.78650 ν_d5 =50.00 ｒ₈ = 13.2328 ｄ₈ = 6.5500 ｎ_d6 =1.43389 ν_d6 =95.15 ｒ₉ = -10.7963 ｄ₉ = 0.1000 ｒ₁₀= 44.9580 ｄ₁₀= 2.7002 ｎ_d7 =1.49700 ν_d7 =81.61 ｒ₁₁= -28.1850 ｄ₁₁= 0.4000 ｒ₁₂= 22.2836 ｄ₁₂= 1.4000 ｎ_d8 =1.64450 ν_d8 =40.82 ｒ₁₃= 6.5970 ｄ₁₃= 6.9872 ｎ_d10=1.43389 ν_d10=95.15 ｒ₁₄= -20.1360 ｄ₁₄= 1.1000 ｎ_d11=1.61340 ν_d11=43.84 ｒ₁₅= -402.2765 ｄ₁₅= 0.1000 ｒ₁₆= 6.2551 ｄ₁₆= 6.3000 ｎ_d12=1.49700 ν_d12=81.61 ｒ₁₇= -7.4000 ｄ₁₇= 1.3500 ｎ_d13=1.49831 ν_d13=65.03 ｒ₁₈= 10.9935 ｄ₁₈= 1.9366 ｒ₁₉= -6.2656 ｄ₁₉= 1.0000 ｎ_d14=1.50847 ν_d14=60.83 ｒ₂₀= 4.0200 ｄ₂₀= 1.5000 ｒ₂₁= -3.5244 ｄ₂₁= 0.9500 ｎ_d15=1.61340 ν_d15=43.84 ｒ₂₂= 35.9857 ｄ₂₂= 2.0298 ｎ_d16=1.80518 ν_d16=25.43 ｒ₂₃= -6.1809 （１） ｜ｆ₅ ／ｆ｜＝2.59 （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＝6673 （３） ν_2P ＝90.31 （４） ν_3P ＝90.31 , 95.15 , 81.61 , 95.1
5 （５） ｆ₄ ／ｆ ＝10.6
。

【００３１】実施例２ ｒ₁ = ∞ ｄ₁ = 3.5907 ｎ_d1 =1.51633 ν_d1 =64.15 ｒ₂ = -2.4903 ｄ₂ = 0.0953 ｒ₃ = -17.9716 ｄ₃ = 4.3131 ｎ_d2 =1.56907 ν_d2 =71.30 ｒ₄ = -6.5645 ｄ₄ = 0.1000 ｒ₅ = -87.9947 ｄ₅ = 3.0675 ｎ_d3 =1.72342 ν_d3 =37.95 ｒ₆ = -25.7689 ｄ₆ = 0.1406 ｒ₇ = 9.5978 ｄ₇ = 5.6000 ｎ_d4 =1.43389 ν_d4 =95.15 ｒ₈ = -654.1610 ｄ₈ = 1.0000 ｎ_d5 =1.79952 ν_d5 =42.24 ｒ₉ = 7.2613 ｄ₉ = 7.8000 ｎ_d6 =1.43389 ν_d6 =95.15 ｒ₁₀= -11.8192 ｄ₁₀= 0.1368 ｒ₁₁= 11.0217 ｄ₁₁= 1.4000 ｎ_d7 =1.83400 ν_d7 =37.16 ｒ₁₂= 7.0321 ｄ₁₂= 6.9952 ｎ_d8 =1.43389 ν_d8 =95.15 ｒ₁₃= -8.5430 ｄ₁₃= 1.1000 ｎ_d9 =1.64450 ν_d9 =40.82 ｒ₁₄=-2595.3289 ｄ₁₄= 0.1000 ｒ₁₅= 5.6838 ｄ₁₅= 4.7717 ｎ_d10=1.56907 ν_d10=71.30 ｒ₁₆= -11.6183 ｄ₁₆= 1.3500 ｎ_d11=1.64450 ν_d11=40.82 ｒ₁₇= 7.0244 ｄ₁₇= 1.3190 ｒ₁₈= 49.7404 ｄ₁₈= 1.0000 ｎ_d12=1.72916 ν_d12=54.68 ｒ₁₉= 3.2440 ｄ₁₉= 1.6000 ｒ₂₀= -2.8414 ｄ₂₀= 0.9500 ｎ_d13=1.61340 ν_d13=43.84 ｒ₂₁= 34.6279 ｄ₂₁= 1.9000 ｎ_d14=1.80518 ν_d14=25.43 ｒ₂₂= -4.9690 （１） ｜ｆ₅ ／ｆ｜＝2.67 （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＝63.5 （３） ν_2P ＝71.3 （４） ν_3P ＝95.15 , 95.15 , 95.15 （５） ｆ₄ ／ｆ ＝14.25
。

【００３２】上記各実施例の対物レンズは、例えば以下
に示すレンズデータを有し、図３にレンズ断面を示す結
像レンズと組み合わせて用いられる。ただし、データ
中、ｒ₁'、ｒ₂'…は物体側から順に示した各レンズ面の
曲率半径、ｄ₁'、ｄ₂'…は物体側から順に示した各レン
ズ面間の間隔、ｎ_d1' 、ｎ_d2' …は物体側から順に示し
た各レンズのｄ線の屈折率、ν_d1' 、ν_d2' …は物体側
から順に示した各レンズのアッベ数である。

【００３３】 ｒ₁'= 68.7541 ｄ₁'= 7.7321 ｎ_d1'=1.48749 ν_d1'=70.20 ｒ₂'= -37.5679 ｄ₂'= 3.4742 ｎ_d2'=1.80610 ν_d2'=40.95 ｒ₃'= -102.8477 ｄ₃'= 0.6973 ｒ₄'= 84.3099 ｄ₄'= 6.0238 ｎ_d3'=1.83400 ν_d3'=37.16 ｒ₅'= -50.7100 ｄ₅'= 3.0298 ｎ_d4'=1.64450 ν_d4'=40.82 ｒ₆'= 40.6619 。

【００３４】この場合、実施例１、２の対物レンズと図
３の結像レンズの間の間隔は５０ｍｍ〜１７０ｍｍの間
の何れの位置でもよいが、この間隔を１００ｍｍとした
場合についの実施例１、２の球面収差、非点収差、ＯＳ
Ｃ’（倍率色収差を表すコンラディのＯＳＣ’）、コマ
収差を表す収差図をそれぞれ図４、図５に示す（非点収
差は像高１３．２５まで、コマ収差は像高７．９５の値
を示す。）。なお、上記間隔が５０ｍｍ〜１７０ｍｍの
間で１００ｍｍ以外の位置においてもほぼ同様の収差状
況を示す。

【００３５】

【発明の効果】本発明によると、ＮＡ１．４と大きな開
口数を持ちながら、球面収差、色収差、像面湾曲等の諸
収差が良好に補正された高倍率アポクロマートの顕微鏡
対物レンズを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１の高倍率顕微鏡対物レンズの
レンズ断面図である。

【図２】実施例２のレンズ断面図である。

【図３】各実施例の対物レンズと共に用いる結像レンズ
のレンズ断面図である。

【図４】実施例１の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、コ
マ収差を表す収差図である。

【図５】実施例２の球面収差、非点収差、ＯＳＣ’、コ
マ収差を表す収差図である。

【符号の説明】

Ｇ１…第１レンズ群 Ｇ２…第２レンズ群 Ｇ３…第３レンズ群 Ｇ４…第４レンズ群 Ｇ５…第５レンズ群 Ｇ６…第６レンズ群

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物体側から順に、平凸レンズ又は像側に
   強い凸面を向けた接合面を有する平凸レンズの第１レン
   ズ群Ｇ１、正屈折力の第２レンズ群Ｇ２、接合レンズを
   含む第３レンズ群Ｇ３、物体側に凸面を向けた正屈折力
   のメニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４、負の屈折
   力の第５レンズ群Ｇ５、像側に凸面を向けた接合メニス
   カスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６から構成され、以下
   の条件を満足することを特徴とする高倍率顕微鏡対物レ
   ンズ。 （１’） ｜ｆ₅ ／ｆ｜＜４．４ （２） ｜ｆ₆ ／ｆ｜＞１５ ただし、ｆ₅ 、ｆ₆ 、ｆはそれぞれ第５レンズ群Ｇ５、
   第６レンズ群Ｇ６、対物レンズ全系の焦点距離である。
2. 【請求項２】 物体側から順に、平凸レンズ又は像側に
   強い凸面を向けた接合面を有する平凸レンズの第１レン
   ズ群Ｇ１、正屈折力の第２レンズ群Ｇ２、接合レンズを
   含む第３レンズ群Ｇ３、物体側に凸面を向けた正屈折力
   のメニスカスレンズを含む第４レンズ群Ｇ４、負の屈折
   力の第５レンズ群Ｇ５、像側に凸面を向けた接合メニス
   カスレンズを含む第６レンズ群Ｇ６から構成され、以下
   の条件（１）、（２）を満足し、 前記第２レンズ群Ｇ２を構成する正レンズの少なくとも
   １枚が以下の条件（３）を満足し、前記第３レンズ群Ｇ
   ３中に以下の条件（４）を満足する正屈折力のレンズを
   少なくとも３個以上含むことを特徴とする高倍率顕微鏡
   対物レンズ。（１） ｜ｆ ₅ ／ｆ｜＜５ （２） ｜ｆ ₆ ／ｆ｜＞１５ （３） ν_2P＞７０ （４） ν_3P＞７０ ただし、ｆ ₅ 、ｆ ₆ 、ｆはそれぞれ第５レンズ群Ｇ５、
   第６レンズ群Ｇ６、対物レンズ全系の焦点距離、ν_2Pは
   第２レンズ群Ｇ２中に含まれる正レンズのアッベ数、ν
   _3Pは第３レンズ群Ｇ３中に含まれる正レンズのアッベ数
   である。
3. 【請求項３】 前記第４レンズ群Ｇ４が以下の条件
   （５）を満足することを特徴とする請求項１記載の高倍
   率顕微鏡対物レンズ。 （５） ５＜ｆ₄ ／ｆ＜２０ ただし、ｆ₄ は第４レンズ群Ｇ４の焦点距離である。