JP2000035541A - 液浸系顕微鏡対物レンズ - Google Patents
液浸系顕微鏡対物レンズInfo
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- JP2000035541A JP2000035541A JP10216544A JP21654498A JP2000035541A JP 2000035541 A JP2000035541 A JP 2000035541A JP 10216544 A JP10216544 A JP 10216544A JP 21654498 A JP21654498 A JP 21654498A JP 2000035541 A JP2000035541 A JP 2000035541A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/33—Immersion oils, or microscope systems or objectives for use with immersion fluids
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高倍率、高開口数で広視野にわたって諸収差
が良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供する
こと。 【解決手段】 物体側から順に、平凸レンズと像側に凸
面を向けたメニスカスレンズとの貼合わせレンズからな
る第１レンズ群Ｇ１と、像側により屈折力の大きな面を
向けた正屈折力の単レンズからなる第２レンズ群Ｇ２
と、像側により屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単
レンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、負レンズと正レン
ズとの貼合わせレンズからなる第４〜第６レンズ群Ｇ４
〜Ｇ６と、正レンズと負レンズとの貼合わせレンズから
なり物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ
群Ｇ７と、負レンズと正レンズとの貼合わせレンズから
なり像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群
Ｇ８とから構成され、所定の条件を満足する。
が良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供する
こと。 【解決手段】 物体側から順に、平凸レンズと像側に凸
面を向けたメニスカスレンズとの貼合わせレンズからな
る第１レンズ群Ｇ１と、像側により屈折力の大きな面を
向けた正屈折力の単レンズからなる第２レンズ群Ｇ２
と、像側により屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単
レンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、負レンズと正レン
ズとの貼合わせレンズからなる第４〜第６レンズ群Ｇ４
〜Ｇ６と、正レンズと負レンズとの貼合わせレンズから
なり物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ
群Ｇ７と、負レンズと正レンズとの貼合わせレンズから
なり像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群
Ｇ８とから構成され、所定の条件を満足する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡対物レン
ズ、特に極めて大きな開口数を有する高倍率のアポクロ
マート級液浸系顕微鏡対物レンズに関する。
ズ、特に極めて大きな開口数を有する高倍率のアポクロ
マート級液浸系顕微鏡対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】液浸系の顕微鏡対物レンズは、物体（観
察試料）と第１レンズ面との間に液浸油が満たされてい
る。このため、乾燥系顕微鏡対物レンズのように第１レ
ンズ面に強い凹面を有するレンズを用いることが困難で
ある。したがって、液浸系顕微鏡対物レンズで像面湾曲
の補正をする場合は、最物体側の先端レンズに相対的に
屈折率の低い平凸レンズを埋め込み、屈折率差を利用し
て接合面に負の屈折力を与えることでペッツバール和を
低減させている。さらに、光束径が小さい位置で、互い
に向き合った凹面を配置し、その強い負の屈折力により
ペッツバール和を減少させるいわゆるガウスタイプとを
組み合わせた構成が従来から知られている。
察試料）と第１レンズ面との間に液浸油が満たされてい
る。このため、乾燥系顕微鏡対物レンズのように第１レ
ンズ面に強い凹面を有するレンズを用いることが困難で
ある。したがって、液浸系顕微鏡対物レンズで像面湾曲
の補正をする場合は、最物体側の先端レンズに相対的に
屈折率の低い平凸レンズを埋め込み、屈折率差を利用し
て接合面に負の屈折力を与えることでペッツバール和を
低減させている。さらに、光束径が小さい位置で、互い
に向き合った凹面を配置し、その強い負の屈折力により
ペッツバール和を減少させるいわゆるガウスタイプとを
組み合わせた構成が従来から知られている。
【０００３】高倍率のアポクロマート級液浸系顕微鏡対
物レンズとしては、例えば特公平６−４４１０２号公
報、特公平５−４０２８８号公報、特開平７−３５９８
３号公報、又は特開平８−２９２３７３号公報に開示さ
れたレンズがある。
物レンズとしては、例えば特公平６−４４１０２号公
報、特公平５−４０２８８号公報、特開平７−３５９８
３号公報、又は特開平８−２９２３７３号公報に開示さ
れたレンズがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特公平６−４
４１０２号公報に開示されたレンズは、開口数はＮＡ＝
１．４と大きいが、像高が９ｍｍまでしか示されておら
ず不十分である。特公平５−４０２８８号公報に開示さ
れたレンズは、高開口数、広視野なレンズについて記載
されているが、球面収差又は色収差の補正が十分でな
い。特開平７−３５９８３号公報に開示されたレンズ
も、像高が９ｍｍまでしか開示されておらず、必ずしも
広視野にわたり優れた結像性能を有しているとは言えな
い。特開平８−２９２３７３号公報に開示されたレンズ
は、広視野にわたり比較的良く収差が補正されている
が、開口数がＮＡ＝１．２と小さいので不十分である。
４１０２号公報に開示されたレンズは、開口数はＮＡ＝
１．４と大きいが、像高が９ｍｍまでしか示されておら
ず不十分である。特公平５−４０２８８号公報に開示さ
れたレンズは、高開口数、広視野なレンズについて記載
されているが、球面収差又は色収差の補正が十分でな
い。特開平７−３５９８３号公報に開示されたレンズ
も、像高が９ｍｍまでしか開示されておらず、必ずしも
広視野にわたり優れた結像性能を有しているとは言えな
い。特開平８−２９２３７３号公報に開示されたレンズ
は、広視野にわたり比較的良く収差が補正されている
が、開口数がＮＡ＝１．２と小さいので不十分である。
【０００５】本発明はかかる状況に鑑みてなされたもの
であり、高倍率、高開口数で広視野にわたって諸収差が
良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供するこ
とを目的とする。
であり、高倍率、高開口数で広視野にわたって諸収差が
良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明では、物体側から順に、平凸レ
ンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとの貼合わ
せレンズレンズからなる第１レンズ群Ｇ１と、像側によ
り屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単レンズからな
る第２レンズ群Ｇ２と、像側により屈折力の大きな面を
向けた正屈折力の単レンズからなる第３レンズ群Ｇ３
と、負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなる第
４レンズ群Ｇ４と、負レンズと正レンズとの貼合わせレ
ンズからなる第５レンズ群Ｇ５と、負レンズと正レンズ
との貼合わせレンズからなる第６レンズ群Ｇ６と、正レ
ンズと負レンズとの貼合わせレンズからなり物体側に凸
面を向けたメニスカス形状の第７レンズ群Ｇ７と、負レ
ンズと正レンズとの貼合わせレンズからなり像側に凸面
を向けたメニスカス形状の第８レンズ群Ｇ８とから構成
され、前記第１レンズ群Ｇ１の前記平凸レンズのｄ線
（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎ１１、前記
第１レンズ群Ｇ１の前記メニスカスレンズのｄ線に対す
る屈折率をｎ１２としたとき、 ｎ１２−ｎ１１＞０．２６ （１） の条件を満足することを特徴とする。
に、請求項１記載の発明では、物体側から順に、平凸レ
ンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとの貼合わ
せレンズレンズからなる第１レンズ群Ｇ１と、像側によ
り屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単レンズからな
る第２レンズ群Ｇ２と、像側により屈折力の大きな面を
向けた正屈折力の単レンズからなる第３レンズ群Ｇ３
と、負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなる第
４レンズ群Ｇ４と、負レンズと正レンズとの貼合わせレ
ンズからなる第５レンズ群Ｇ５と、負レンズと正レンズ
との貼合わせレンズからなる第６レンズ群Ｇ６と、正レ
ンズと負レンズとの貼合わせレンズからなり物体側に凸
面を向けたメニスカス形状の第７レンズ群Ｇ７と、負レ
ンズと正レンズとの貼合わせレンズからなり像側に凸面
を向けたメニスカス形状の第８レンズ群Ｇ８とから構成
され、前記第１レンズ群Ｇ１の前記平凸レンズのｄ線
（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎ１１、前記
第１レンズ群Ｇ１の前記メニスカスレンズのｄ線に対す
る屈折率をｎ１２としたとき、 ｎ１２−ｎ１１＞０．２６ （１） の条件を満足することを特徴とする。
【０００７】かかる構成では、第１レンズ群Ｇ１は所謂
埋め込みレンズであり、また、埋め込む平凸レンズの屈
折率を液体（液浸油）の屈折率とほぼ等しい屈折率とす
ることで、液体とレンズとの境界面において球面収差が
殆ど発生しないという利点を有する。また、埋め込まれ
るメニスカスレンズとの接合面に強い負の屈折力を持た
せることでペッツバール和を減少させている。第１レン
ズ群Ｇ１を出た光束は、正の屈折力の単レンズである第
２、第３レンズ群Ｇ２、Ｇ３によって緩やかに曲げられ
る。その際に像側により屈折力の大きな面を持たせるこ
とでマージナル光線の偏角をできるだけ小さくなるよう
にしている。第４、第５、第６レンズ群Ｇ４〜Ｇ６では
第３レンズ群Ｇ３からの発散光を収斂光に変換するとと
もに負レンズと正レンズとを貼り合わせることで球面収
差、軸上色収差を補正している。第７、第８レンズ群Ｇ
７、Ｇ８は所謂ガウスタイプであり、ペッツバール和を
減少させつつ軸上色収差と倍率色収差をバランスよく補
正している。
埋め込みレンズであり、また、埋め込む平凸レンズの屈
折率を液体（液浸油）の屈折率とほぼ等しい屈折率とす
ることで、液体とレンズとの境界面において球面収差が
殆ど発生しないという利点を有する。また、埋め込まれ
るメニスカスレンズとの接合面に強い負の屈折力を持た
せることでペッツバール和を減少させている。第１レン
ズ群Ｇ１を出た光束は、正の屈折力の単レンズである第
２、第３レンズ群Ｇ２、Ｇ３によって緩やかに曲げられ
る。その際に像側により屈折力の大きな面を持たせるこ
とでマージナル光線の偏角をできるだけ小さくなるよう
にしている。第４、第５、第６レンズ群Ｇ４〜Ｇ６では
第３レンズ群Ｇ３からの発散光を収斂光に変換するとと
もに負レンズと正レンズとを貼り合わせることで球面収
差、軸上色収差を補正している。第７、第８レンズ群Ｇ
７、Ｇ８は所謂ガウスタイプであり、ペッツバール和を
減少させつつ軸上色収差と倍率色収差をバランスよく補
正している。
【０００８】また、本発明では以下の条件式（１）、 ｎ１２−ｎ１１＞０．２６ （１） を満足することが望ましい。ここで、ｎ１１は第１レン
ズ群Ｇ１の平凸レンズのｄ線に対する屈折率、ｎ１２は
第１レンズ群Ｇ１のメニスカスレンズのｄ線に対する屈
折率をそれぞれ表している。
ズ群Ｇ１の平凸レンズのｄ線に対する屈折率、ｎ１２は
第１レンズ群Ｇ１のメニスカスレンズのｄ線に対する屈
折率をそれぞれ表している。
【０００９】条件式（１）は、埋め込む平凸レンズと埋
め込まれるメニスカスレンズとの適切な屈折率差を規定
している。平凸レンズの屈折率は使用する液体とほぼ等
しい屈折率のため、この条件は実質的にはメニスカスレ
ンズの屈折率を規定していることとなる。条件式（１）
の下限値を下回ると、接合面での十分な負の屈折力が得
られなくなるので、ペッツバール和を減少させることが
できず像面の平坦性が悪くなる。さらに好ましくは、視
野数２５まで良好に像面湾曲を補正するために、第１レ
ンズ群Ｇ１の屈折率差が０．３８より大きいことが望ま
しい。
め込まれるメニスカスレンズとの適切な屈折率差を規定
している。平凸レンズの屈折率は使用する液体とほぼ等
しい屈折率のため、この条件は実質的にはメニスカスレ
ンズの屈折率を規定していることとなる。条件式（１）
の下限値を下回ると、接合面での十分な負の屈折力が得
られなくなるので、ペッツバール和を減少させることが
できず像面の平坦性が悪くなる。さらに好ましくは、視
野数２５まで良好に像面湾曲を補正するために、第１レ
ンズ群Ｇ１の屈折率差が０．３８より大きいことが望ま
しい。
【００１０】また、本発明では、以下の条件式（２）、 （ｎ２＋ｎ３）／２＞１．５ （２） を満足することが望ましい。ここで、ｎ２は前記第２レ
ンズ群Ｇ２のｄ線に対する屈折率、ｎ３は前記第３レン
ズ群Ｇ３のｄ線に対する屈折率をそれぞれ表している。
ンズ群Ｇ２のｄ線に対する屈折率、ｎ３は前記第３レン
ズ群Ｇ３のｄ線に対する屈折率をそれぞれ表している。
【００１１】条件式（２）は、像側により屈折力の大き
な面を向けた正屈折力の単レンズからなる第２レンズ群
Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との適切な平均屈折率を規定し
ている。正の等しい屈折力のレンズでは屈折率が大きい
方がペッツバール和を減少させるだけでなく諸収差、特
に球面収差の発生を抑えることができるので、収差を補
正する上で有利である。従って、条件式（２）の下限値
を下回ると、像面の平坦性が悪くなるだけでなく球面収
差の補正も困難となってしまう。さらに好ましくは、視
野数２５まで優れた結像性能を有するためには、第２及
び第３レンズ群Ｇ２、Ｇ３の屈折率が各々１．５より大
きいことが望ましい。
な面を向けた正屈折力の単レンズからなる第２レンズ群
Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との適切な平均屈折率を規定し
ている。正の等しい屈折力のレンズでは屈折率が大きい
方がペッツバール和を減少させるだけでなく諸収差、特
に球面収差の発生を抑えることができるので、収差を補
正する上で有利である。従って、条件式（２）の下限値
を下回ると、像面の平坦性が悪くなるだけでなく球面収
差の補正も困難となってしまう。さらに好ましくは、視
野数２５まで優れた結像性能を有するためには、第２及
び第３レンズ群Ｇ２、Ｇ３の屈折率が各々１．５より大
きいことが望ましい。
【００１２】また、本発明では、以下の条件式（３），
（４）、 ｎ７１＞１．４９ （３） ｎ８２＞１．６０ （４） を満足することが好ましい。ここで、ｎ７１は前記第７
レンズ群Ｇ７の前記正レンズのｄ線に対する屈折率、ｎ
８２は前記第８レンズ群Ｇ８の前記正レンズのｄ線に対
する屈折率をそれぞれ表している。
（４）、 ｎ７１＞１．４９ （３） ｎ８２＞１．６０ （４） を満足することが好ましい。ここで、ｎ７１は前記第７
レンズ群Ｇ７の前記正レンズのｄ線に対する屈折率、ｎ
８２は前記第８レンズ群Ｇ８の前記正レンズのｄ線に対
する屈折率をそれぞれ表している。
【００１３】条件式（３）は、第７レンズ群Ｇ７の正レ
ンズの適切な屈折率を規定している。条件式（３）の下
限値を下回ると、ペッツバール和を減少させるには第７
レンズ群Ｇ７の空気側面の曲率半径が小さくなりすぎる
ので、色（波長）のコマ収差やサジタル方向のコマ収差
が悪化する。さらに好ましくは、像面湾曲を補正しつつ
良好な結像性能を有するために、第７レンズ群Ｇ７の正
レンズの屈折率は１．５６より大きいことが望ましい。
ンズの適切な屈折率を規定している。条件式（３）の下
限値を下回ると、ペッツバール和を減少させるには第７
レンズ群Ｇ７の空気側面の曲率半径が小さくなりすぎる
ので、色（波長）のコマ収差やサジタル方向のコマ収差
が悪化する。さらに好ましくは、像面湾曲を補正しつつ
良好な結像性能を有するために、第７レンズ群Ｇ７の正
レンズの屈折率は１．５６より大きいことが望ましい。
【００１４】条件式（４）は第８レンズ群Ｇ８の正レン
ズの適切な屈折率を規定している。条件式（４）の下限
値を下回ると、ペッツバール和を減少させるには第８レ
ンズ群Ｇ８の空気側面の曲率半径が小さくなりすぎるの
で、色のコマ収差やサジタル方向のコマ収差が悪化す
る。さらに好ましくは、像面湾曲を補正しつつ良好な結
像性能を有するためには、第８レンズ群Ｇ８の正レンズ
の屈折率は１．７３より大きいことが望ましい。
ズの適切な屈折率を規定している。条件式（４）の下限
値を下回ると、ペッツバール和を減少させるには第８レ
ンズ群Ｇ８の空気側面の曲率半径が小さくなりすぎるの
で、色のコマ収差やサジタル方向のコマ収差が悪化す
る。さらに好ましくは、像面湾曲を補正しつつ良好な結
像性能を有するためには、第８レンズ群Ｇ８の正レンズ
の屈折率は１．７３より大きいことが望ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
の実施形態にかかる顕微鏡対物レンズを説明する。 （第１実施形態）図１は、本実施形態にかかる液浸系顕
微鏡対物レンズの構成を示す図である。物体から順に、
平凸レンズと当該平凸レンズに貼合わされた像側に凸面
を向けたメニスカスレンズからなる第１レンズ群Ｇ１
と、像側により屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単
レンズからなる第２レンズ群Ｇ２と、像側により屈折力
の大きな面を向けた正屈折力の単レンズからなる第３レ
ンズ群Ｇ３と、負レンズと正レンズとの貼合わせで構成
された第４レンズ群Ｇ４と、負レンズと正レンズとの貼
合わせで構成された第５レンズ群Ｇ５と、負レンズと正
レンズとの貼合わせで構成された第６レンズ群Ｇ６と、
正レンズと負レンズとの貼合わせレンズからなり物体側
に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ群Ｇ７と、
負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなり像側に
凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群Ｇ８とから
構成されている。
の実施形態にかかる顕微鏡対物レンズを説明する。 （第１実施形態）図１は、本実施形態にかかる液浸系顕
微鏡対物レンズの構成を示す図である。物体から順に、
平凸レンズと当該平凸レンズに貼合わされた像側に凸面
を向けたメニスカスレンズからなる第１レンズ群Ｇ１
と、像側により屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単
レンズからなる第２レンズ群Ｇ２と、像側により屈折力
の大きな面を向けた正屈折力の単レンズからなる第３レ
ンズ群Ｇ３と、負レンズと正レンズとの貼合わせで構成
された第４レンズ群Ｇ４と、負レンズと正レンズとの貼
合わせで構成された第５レンズ群Ｇ５と、負レンズと正
レンズとの貼合わせで構成された第６レンズ群Ｇ６と、
正レンズと負レンズとの貼合わせレンズからなり物体側
に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ群Ｇ７と、
負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなり像側に
凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群Ｇ８とから
構成されている。
【００１６】表１に第１実施形態にかかる液浸系顕微鏡
対物レンズの諸元値を掲げる。表１において、βは倍
率、ＮＡは開口数、Ｆは顕微鏡対物レンズ全系の合成焦
点距離、Ｗ．Ｄはカバーガラスの対物レンズ側の面から
第１レンズ群Ｇ１の第１レンズ面までの距離をそれぞれ
表している。また、レンズデータにおいて、面番号は物
体側からのレンズ面の順番、ｒはレンズ面の曲率半径、
ｄはレンズ面間隔、ｎｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）
に対する屈折率、νｄはｄ線におけるアッベ数をそれぞ
れ表している。また、物体面と第１レンズ群Ｇ１との間
に配置される厚さｔ＝０．１７，屈折率ｎｄ＝１．５２
２，アッベ数νｄ＝５８．８を有する平行平面板を基準
状態として設計されている。なお、以下全ての実施形態
の諸元値に第１実施形態と同様の符号を用いる。
対物レンズの諸元値を掲げる。表１において、βは倍
率、ＮＡは開口数、Ｆは顕微鏡対物レンズ全系の合成焦
点距離、Ｗ．Ｄはカバーガラスの対物レンズ側の面から
第１レンズ群Ｇ１の第１レンズ面までの距離をそれぞれ
表している。また、レンズデータにおいて、面番号は物
体側からのレンズ面の順番、ｒはレンズ面の曲率半径、
ｄはレンズ面間隔、ｎｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）
に対する屈折率、νｄはｄ線におけるアッベ数をそれぞ
れ表している。また、物体面と第１レンズ群Ｇ１との間
に配置される厚さｔ＝０．１７，屈折率ｎｄ＝１．５２
２，アッベ数νｄ＝５８．８を有する平行平面板を基準
状態として設計されている。なお、以下全ての実施形態
の諸元値に第１実施形態と同様の符号を用いる。
【００１７】
【表１】β＝−６０．０ ＮＡ＝１．４ Ｗ．Ｄ ＝０．２１ Ｆ＝３．３３ （条件対応値） （１） ｎ１２−ｎ１１ ＝０．３８４４２ （２）（ｎ２＋ｎ３）／２＝１．５６９０７ （３） ｎ７１ ＝１．５６９０７ （４） ｎ８２ ＝１．７３０４６
【００１８】図２は、本実施形態にかかる液浸系顕微鏡
対物レンズの諸収差を示す図である。球面収差図等にお
いて、実線はｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）、破線はＣ線
（λ＝６５６．３ｎｍ）、一点鎖線はＦ線（λ＝４８
６．１ｎｍ）、２点鎖線はｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）
をそれぞれ表している。また、非点収差図において、実
線はサジタル像面、破線はメリジオナル像面をそれぞれ
表している。なお、以下全ての実施形態において同様の
符号を用いる。図からも明らかなように諸収差が良好に
補正されていることがわかる。
対物レンズの諸収差を示す図である。球面収差図等にお
いて、実線はｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）、破線はＣ線
（λ＝６５６．３ｎｍ）、一点鎖線はＦ線（λ＝４８
６．１ｎｍ）、２点鎖線はｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）
をそれぞれ表している。また、非点収差図において、実
線はサジタル像面、破線はメリジオナル像面をそれぞれ
表している。なお、以下全ての実施形態において同様の
符号を用いる。図からも明らかなように諸収差が良好に
補正されていることがわかる。
【００１９】（第２実施形態）図３は、本実施形態にか
かる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を示す図である。物
体から順に、平凸レンズと当該平凸レンズに貼合わされ
た像側に凸面を向けたメニスカスレンズからなる第１レ
ンズ群Ｇ１と、像側により屈折力の大きな面を向けた正
屈折力の単レンズからなる第２レンズ群Ｇ２と、像側に
より屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単レンズから
なる第３レンズ群Ｇ３と、負レンズと正レンズとの貼合
わせで構成された第４レンズ群Ｇ４と、負レンズと正レ
ンズとの貼合わせで構成された第５レンズ群Ｇ５と、負
レンズと正レンズとの貼合わせで構成された第６レンズ
群Ｇ６と、正レンズと負レンズとの貼合わせレンズから
なり物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ
群Ｇ７と、負レンズと正レンズとの貼合わせレンズから
なり像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群
Ｇ８とから構成されている。本実施形態の液浸系顕微鏡
対物レンズは、物体面と第１レンズ群Ｇ１との間に配置
される厚さｔ＝０．１７，屈折率ｎｄ＝１．５２２，ア
ッベ数νｄ＝５８．８を有する平行平面板を基準状態と
して設計されている。表２に第２実施形態にかかる液浸
系顕微鏡対物レンズの諸元値を掲げる。
かる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を示す図である。物
体から順に、平凸レンズと当該平凸レンズに貼合わされ
た像側に凸面を向けたメニスカスレンズからなる第１レ
ンズ群Ｇ１と、像側により屈折力の大きな面を向けた正
屈折力の単レンズからなる第２レンズ群Ｇ２と、像側に
より屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単レンズから
なる第３レンズ群Ｇ３と、負レンズと正レンズとの貼合
わせで構成された第４レンズ群Ｇ４と、負レンズと正レ
ンズとの貼合わせで構成された第５レンズ群Ｇ５と、負
レンズと正レンズとの貼合わせで構成された第６レンズ
群Ｇ６と、正レンズと負レンズとの貼合わせレンズから
なり物体側に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ
群Ｇ７と、負レンズと正レンズとの貼合わせレンズから
なり像側に凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群
Ｇ８とから構成されている。本実施形態の液浸系顕微鏡
対物レンズは、物体面と第１レンズ群Ｇ１との間に配置
される厚さｔ＝０．１７，屈折率ｎｄ＝１．５２２，ア
ッベ数νｄ＝５８．８を有する平行平面板を基準状態と
して設計されている。表２に第２実施形態にかかる液浸
系顕微鏡対物レンズの諸元値を掲げる。
【００２０】
【表２】β＝−６０．０ ＮＡ＝１．４ Ｗ．Ｄ ＝０．２１ Ｆ＝３．３３（レンズデータ） （条件対応値） （１） ｎ１２−ｎ１１＝０．３８４４２ （２） （ｎ２＋ｎ３）／２＝１．５３３４４５ （３） ｎ７１ ＝１．５６９０７ （４） ｎ８２ ＝１．７３０４６
【００２１】図４は第２実施形態にかかる液浸系顕微鏡
対物レンズの諸収差を示す図である。図からも明らかな
ように、諸収差が良好に補正されている事が分かる。ま
た、上記各実施形態の液浸系顕微鏡対物レンズは、例え
ば表３に掲げる諸元値を有する結像レンズと組み合わせ
て用いられる。結像レンズと顕微鏡対物レンズとの間の
間隔は約１５０ｍｍであるが、これに限られるものでは
なく、５０ｍｍ〜１８０ｍｍの何れの位置でもよい
対物レンズの諸収差を示す図である。図からも明らかな
ように、諸収差が良好に補正されている事が分かる。ま
た、上記各実施形態の液浸系顕微鏡対物レンズは、例え
ば表３に掲げる諸元値を有する結像レンズと組み合わせ
て用いられる。結像レンズと顕微鏡対物レンズとの間の
間隔は約１５０ｍｍであるが、これに限られるものでは
なく、５０ｍｍ〜１８０ｍｍの何れの位置でもよい
【００２２】
【表３】
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
倍率が６０倍程度、開口数が１．４と大きく、かつ広視
野にわたって優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物
レンズを提供できる。
倍率が６０倍程度、開口数が１．４と大きく、かつ広視
野にわたって優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物
レンズを提供できる。
【図１】本発明による第１実施形態の液浸系顕微鏡対物
レンズの構成を示す図である。
レンズの構成を示す図である。
【図２】本発明による第１実施形態の液浸系顕微鏡対物
レンズの諸収差を示す図である。
レンズの諸収差を示す図である。
【図３】本発明による第２実施形態の液浸系顕微鏡対物
レンズの構成を示す図である。
レンズの構成を示す図である。
【図４】本発明による第２実施形態の液浸系顕微鏡対物
レンズの諸収差を示す図である。
レンズの諸収差を示す図である。
Ｇ１ 第１レンズ群 Ｇ２ 第２レンズ群 Ｇ３ 第３レンズ群 Ｇ４ 第４レンズ群 Ｇ５ 第５レンズ群 Ｇ６ 第６レンズ群 Ｇ７ 第７レンズ群 Ｇ８ 第８レンズ群
Claims (3)
- 【請求項１】 物体側から順に、平凸レンズと像側に凸
面を向けたメニスカスレンズとの貼合わせレンズからな
る第１レンズ群と、 像側により屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単レン
ズからなる第２レンズ群と、 像側により屈折力の大きな面を向けた正屈折力の単レン
ズからなる第３レンズ群と、 負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなる第４レ
ンズ群と、 負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなる第５レ
ンズ群と、 負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなる第６レ
ンズ群と、 正レンズと負レンズとの貼合わせレンズからなり物体側
に凸面を向けたメニスカス形状の第７レンズ群と、 負レンズと正レンズとの貼合わせレンズからなり像側に
凸面を向けたメニスカス形状の第８レンズ群とから構成
され、 前記第１レンズ群の前記平凸レンズのｄ線（λ＝５８
７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎ１１、 前記第１レンズ群の前記メニスカスレンズのｄ線に対す
る屈折率をｎ１２としたとき、 ｎ１２−ｎ１１＞０．２６ （１） の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レ
ンズ。 - 【請求項２】 前記第２レンズ群のｄ線に対する屈折率
をｎ２、 前記第３レンズ群のｄ線に対する屈折率をｎ３としたと
き、 （ｎ２＋ｎ３）／２＞１．５ （２） の条件を満足することを特徴とする請求項１記載の液浸
系顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項３】 前記第７レンズ群の前記正レンズのｄ線
に対する屈折率をｎ７１、 前記第８レンズ群の前記正レンズのｄ線に対する屈折率
をｎ８２としたとき、 ｎ７１＞１．４９ （３） ｎ８２＞１．６０ （４） の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２記載
の液浸系顕微鏡対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10216544A JP2000035541A (ja) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10216544A JP2000035541A (ja) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000035541A true JP2000035541A (ja) | 2000-02-02 |
Family
ID=16690108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10216544A Withdrawn JP2000035541A (ja) | 1998-07-16 | 1998-07-16 | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000035541A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6519092B2 (en) | 2000-11-14 | 2003-02-11 | Nikon Corporation | Immersion microscope objective lens |
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| US7046451B2 (en) * | 2004-10-18 | 2006-05-16 | Nikon Corporation | Immersion microscope objective lens |
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| CN113866994A (zh) * | 2020-06-30 | 2021-12-31 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种准直镜及像传感器 |
-
1998
- 1998-07-16 JP JP10216544A patent/JP2000035541A/ja not_active Withdrawn
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| US7642525B2 (en) | 2006-12-11 | 2010-01-05 | Olympus Corporation | Microscope objective and fluorescent observation apparatus therewith |
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| US10324269B2 (en) | 2016-10-20 | 2019-06-18 | Olympus Corporation | Immersion objective |
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| CN113866994A (zh) * | 2020-06-30 | 2021-12-31 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种准直镜及像传感器 |
| CN113866994B (zh) * | 2020-06-30 | 2023-04-18 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种准直镜及像传感器 |
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