JPH11249025A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- JPH11249025A JPH11249025A JP10064686A JP6468698A JPH11249025A JP H11249025 A JPH11249025 A JP H11249025A JP 10064686 A JP10064686 A JP 10064686A JP 6468698 A JP6468698 A JP 6468698A JP H11249025 A JPH11249025 A JP H11249025A
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- Japan
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- lens
- lens group
- microscope objective
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 可視領域と遠紫外領域とを同時に補正でき、
操作性が格段に良好な超長作動距離をもつ顕微鏡対物レ
ンズを得るにある。 【解決手段】 全体に負の屈折力をもつ第１レンズ群
と、この第１レンズ群よりも物体側に近い側に順に位置
されかつ全体に正の屈折力をもつ第２レンズ群とを含む
レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の２０倍以上の
高倍率顕微鏡対物レンズにおいて、前記第１レンズ群は
１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合わせた接合レ
ンズからなり、前記第２レンズ群は１枚以上の単独の凸
レンズ並びに１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合
わせた接合レンズを含み、前記光学系の全体の焦点距離
をｆ、前記第１レンズ群の焦点距離をＦ1 、前記第１レ
ンズ群の物体側の面の頂点から前記第２レンズ群の物体
より遠い面の頂点までの距離をＤ12とするときに、 （１）式、１ｆ＜｜Ｆ1 ｜＜４．５ｆ （２）式、２．５ｆ＜Ｄ12＜７．５ｆ を満たす顕微鏡対物レンズ。
操作性が格段に良好な超長作動距離をもつ顕微鏡対物レ
ンズを得るにある。 【解決手段】 全体に負の屈折力をもつ第１レンズ群
と、この第１レンズ群よりも物体側に近い側に順に位置
されかつ全体に正の屈折力をもつ第２レンズ群とを含む
レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の２０倍以上の
高倍率顕微鏡対物レンズにおいて、前記第１レンズ群は
１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合わせた接合レ
ンズからなり、前記第２レンズ群は１枚以上の単独の凸
レンズ並びに１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合
わせた接合レンズを含み、前記光学系の全体の焦点距離
をｆ、前記第１レンズ群の焦点距離をＦ1 、前記第１レ
ンズ群の物体側の面の頂点から前記第２レンズ群の物体
より遠い面の頂点までの距離をＤ12とするときに、 （１）式、１ｆ＜｜Ｆ1 ｜＜４．５ｆ （２）式、２．５ｆ＜Ｄ12＜７．５ｆ を満たす顕微鏡対物レンズ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は顕微鏡対物レンズに
関し、特に、レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の
顕微鏡対物レンズに関する。
関し、特に、レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の
顕微鏡対物レンズに関する。
【０００２】
【背景技術】周知のように、集積回路チップ等の半導体
ＩＣパターンの検査工程等においては、顕微鏡を用いた
同パターンの視覚的な拡大観察が行われる。また、半導
体マスクのリペア加工等においては、ＹＡＧレーザ（波
長；１０６４ｎｍ）やＹＡＧレーザの第２高調波（波
長；５３２ｎｍ）やＹＡＧレーザの第３高調波（波長；
３５５ｎｍ）等によるレーザ加工が行われている。
ＩＣパターンの検査工程等においては、顕微鏡を用いた
同パターンの視覚的な拡大観察が行われる。また、半導
体マスクのリペア加工等においては、ＹＡＧレーザ（波
長；１０６４ｎｍ）やＹＡＧレーザの第２高調波（波
長；５３２ｎｍ）やＹＡＧレーザの第３高調波（波長；
３５５ｎｍ）等によるレーザ加工が行われている。
【０００３】最近では、さらに短波長の光[ 例えば、Ｙ
ＡＧレーザの第４高調波（波長；２６６ｎｍ）] を利用
する高解像観察や微細加工、光化学反応を利用してのレ
ーザ加工等が試みられつつある。
ＡＧレーザの第４高調波（波長；２６６ｎｍ）] を利用
する高解像観察や微細加工、光化学反応を利用してのレ
ーザ加工等が試みられつつある。
【０００４】ところで、これらの目的に用いる顕微鏡に
おいては、操作の便宜上、顕微鏡対物レンズの作動距離
が長いことが要求されるけれども、このような目的の従
来の顕微鏡対物レンズとしては、例えば特開平７−２０
３８５号公報に開示された顕微鏡対物レンズが知られて
いる。
おいては、操作の便宜上、顕微鏡対物レンズの作動距離
が長いことが要求されるけれども、このような目的の従
来の顕微鏡対物レンズとしては、例えば特開平７−２０
３８５号公報に開示された顕微鏡対物レンズが知られて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この顕
微鏡対物レンズは、主に、可視領域と近紫外領域におい
て使用可能なものであるから、同顕微鏡対物レンズを用
いて、遠紫外領域のＹＡＧ第４高調波によるレーザ加工
や遠紫外観察などを行おうとした場合、一般の光学ガラ
スでは遠紫外光を透過しないため加工及び観察が不可能
となる。
微鏡対物レンズは、主に、可視領域と近紫外領域におい
て使用可能なものであるから、同顕微鏡対物レンズを用
いて、遠紫外領域のＹＡＧ第４高調波によるレーザ加工
や遠紫外観察などを行おうとした場合、一般の光学ガラ
スでは遠紫外光を透過しないため加工及び観察が不可能
となる。
【０００６】このような遠紫外領域においても使用可能
な対物レンズとしては、従来では、例えば、特開平９−
２４３９２３号公報に開示された顕微鏡対物レンズが知
られている。しかし、この顕微鏡対物レンズの作動距離
は、１００倍程度の倍率の対物レンズにおいて、たかだ
か焦点距離の０．２倍というように極めて短いので例え
ば顕微鏡下での半導体ＩＣパターンや半導体マスクの不
良解析作業が大きく制限されてしまう。
な対物レンズとしては、従来では、例えば、特開平９−
２４３９２３号公報に開示された顕微鏡対物レンズが知
られている。しかし、この顕微鏡対物レンズの作動距離
は、１００倍程度の倍率の対物レンズにおいて、たかだ
か焦点距離の０．２倍というように極めて短いので例え
ば顕微鏡下での半導体ＩＣパターンや半導体マスクの不
良解析作業が大きく制限されてしまう。
【０００７】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、可視領域と遠紫外領域とを同時に補正でき、操
作性が格段に良好な超長作動距離をもつ顕微鏡対物レン
ズを得るにある。
解消し、可視領域と遠紫外領域とを同時に補正でき、操
作性が格段に良好な超長作動距離をもつ顕微鏡対物レン
ズを得るにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、全体に負の屈折力をもつ第１レンズ群
と、この第１レンズ群よりも物体側に近い側に順に位置
されかつ全体に正の屈折力をもつ第２レンズ群とを含む
レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の２０倍以上の
高倍率顕微鏡対物レンズにおいて、前記第１レンズ群は
１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合わせた接合レ
ンズからなり、前記第２レンズ群は１枚以上の単独の凸
レンズ並びに１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合
わせた接合レンズを含み、前記光学系の全体の焦点距離
をｆ、前記第１レンズ群の焦点距離をＦ1 、前記第１レ
ンズ群の物体側の面の頂点から前記第２レンズ群の物体
より遠い面の頂点までの距離をＤ12とするときに、 （１）式、１ｆ＜｜Ｆ1 ｜＜４．５ｆ （２）式、２．５ｆ＜Ｄ12＜７．５ｆ を満たす顕微鏡対物レンズを提案するものである。
め、本発明は、全体に負の屈折力をもつ第１レンズ群
と、この第１レンズ群よりも物体側に近い側に順に位置
されかつ全体に正の屈折力をもつ第２レンズ群とを含む
レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の２０倍以上の
高倍率顕微鏡対物レンズにおいて、前記第１レンズ群は
１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合わせた接合レ
ンズからなり、前記第２レンズ群は１枚以上の単独の凸
レンズ並びに１個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合
わせた接合レンズを含み、前記光学系の全体の焦点距離
をｆ、前記第１レンズ群の焦点距離をＦ1 、前記第１レ
ンズ群の物体側の面の頂点から前記第２レンズ群の物体
より遠い面の頂点までの距離をＤ12とするときに、 （１）式、１ｆ＜｜Ｆ1 ｜＜４．５ｆ （２）式、２．５ｆ＜Ｄ12＜７．５ｆ を満たす顕微鏡対物レンズを提案するものである。
【０００９】また、後述の実施例で述べるように、可視
領域と遠紫外領域までの範囲で対物レンズを使用するに
は、螢石、合成石英など、遠紫外領域においても十分な
透過率を持つ材料のみを用いることが好ましい。
領域と遠紫外領域までの範囲で対物レンズを使用するに
は、螢石、合成石英など、遠紫外領域においても十分な
透過率を持つ材料のみを用いることが好ましい。
【００１０】
【作用】前述した（１）式、つまり１ｆ＜｜Ｆ1 ｜＜
４．５ｆは、第１レンズ群の焦点距離を規定する。即
ち、（１）式において、｜Ｆ1 ｜が上限を越えると、作
動距離が大きくできず、又ペッツバール和も大きくな
る。また、｜Ｆ1 ｜が下限を越えると、作動距離は大き
くできるが、第１レンズ群の焦点距離が短くなり、球面
収差やコマ収差が発生し、特に、全体で補正しきれない
程の高次の球面収差やコマ収差が短波長領域において発
生する。
４．５ｆは、第１レンズ群の焦点距離を規定する。即
ち、（１）式において、｜Ｆ1 ｜が上限を越えると、作
動距離が大きくできず、又ペッツバール和も大きくな
る。また、｜Ｆ1 ｜が下限を越えると、作動距離は大き
くできるが、第１レンズ群の焦点距離が短くなり、球面
収差やコマ収差が発生し、特に、全体で補正しきれない
程の高次の球面収差やコマ収差が短波長領域において発
生する。
【００１１】また、前記（２）式、２．５ｆ＜ Ｄ12＜
７．５ｆは前記第１レンズ群の物体側の面の頂点から前
記第２レンズ群の物体側より遠い面の頂点までの距離を
規定する。つまり、（２）式において、Ｄ12が上限を越
えると、作動距離は伸ばすことができるが、第２レンズ
群中で軸上光束及び軸外光束の周辺光線がよりレンズ周
辺部を通ることになり、高次の球面収差やコマ収差が発
生し、これらを補正することは非常に難しくなる。ま
た、Ｄ12が下限を越えると、収差補正上有利になるけれ
ども、作動距離は短くなり、操作作業性が悪化する。
７．５ｆは前記第１レンズ群の物体側の面の頂点から前
記第２レンズ群の物体側より遠い面の頂点までの距離を
規定する。つまり、（２）式において、Ｄ12が上限を越
えると、作動距離は伸ばすことができるが、第２レンズ
群中で軸上光束及び軸外光束の周辺光線がよりレンズ周
辺部を通ることになり、高次の球面収差やコマ収差が発
生し、これらを補正することは非常に難しくなる。ま
た、Ｄ12が下限を越えると、収差補正上有利になるけれ
ども、作動距離は短くなり、操作作業性が悪化する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面について本発明の主な
実施例の詳細を説明する。図１は本発明の第１実施例に
よる顕微鏡対物レンズを示し、図示された顕微鏡対物レ
ンズは、倍率５０倍、焦点距離ｆ２６６＝４．０ｍｍ、
開口数Ｎ．Ａ．＝０．４０、作動距離 Ｗ．Ｄ．＝１
４．０ｍｍである。
実施例の詳細を説明する。図１は本発明の第１実施例に
よる顕微鏡対物レンズを示し、図示された顕微鏡対物レ
ンズは、倍率５０倍、焦点距離ｆ２６６＝４．０ｍｍ、
開口数Ｎ．Ａ．＝０．４０、作動距離 Ｗ．Ｄ．＝１
４．０ｍｍである。
【００１３】ここで、作動距離Ｗ．Ｄ．は、第２レンズ
群の最も物体側のレンズの面の頂点から物体面までの距
離であり、また倍率は、焦点距離２００ｍｍの結像レン
ズを付けた時の物体高に対する像高の比、また、図中、
符号「Ｌｉ」は物体面に遠い側から近い側に向かってｉ
番目のレンズを指し、「ｒｉ」及び「ｄｉ」はレンズ
「Ｌｉ」の曲率半径を、レンズの厚さあるいは隣接する
レンズの間の距離をそれぞれ示す。
群の最も物体側のレンズの面の頂点から物体面までの距
離であり、また倍率は、焦点距離２００ｍｍの結像レン
ズを付けた時の物体高に対する像高の比、また、図中、
符号「Ｌｉ」は物体面に遠い側から近い側に向かってｉ
番目のレンズを指し、「ｒｉ」及び「ｄｉ」はレンズ
「Ｌｉ」の曲率半径を、レンズの厚さあるいは隣接する
レンズの間の距離をそれぞれ示す。
【００１４】表１は第１実施例による顕微鏡対物レンズ
の諸量を示している。
の諸量を示している。
【００１５】
【表１】 ５０ｘ対物レンズ 焦点距離 ｆ２６６＝４．０ｍｍ Ｎ．Ａ．…０．４０ Ｗ．Ｄ．…１４．０ｍｍ Ｎｏ． ｒ ｄ 材質 1 -11.484 2.50 螢石 2 -4.181 1.50 合成石英 3 15.525 28.50 4 -84.700 3.50 螢石 5 -14.364 1.00 6 -84.700 1.30 合成石英 7 12.496 5.60 螢石 8 -22.000 2.50 9 -18.365 1.30 合成石英 10 10.500 6.20 螢石 11 -24.465 3.00 12 -12.496 1.50 合成石英 13 13.200 6.00 螢石 14 -27.211 1.00 15 25.289 5.90 螢石 16 -13.448 1.30 合成石英 17 -100.080 1.00 18 24.117 3.00 螢石 19 -71.790 1.00 20 12.496 3.00 螢石 21 33.980 （１）式 ｜Ｆ1 ｜＝ １１．６ｍｍ （２）式 Ｄ12 ＝２８．５ｍｍ
【００１６】ここで、第１コラムの「Ｎｏ．」は物体面
に遠い側から近い側への各レンズ面の番号を指し、第２
コラムの「ｒ」は曲率半径を、第３コラムの「ｄ」はレ
ンズの厚さあるいは隣接するレンズの間の距離をそれぞ
れ示している。
に遠い側から近い側への各レンズ面の番号を指し、第２
コラムの「ｒ」は曲率半径を、第３コラムの「ｄ」はレ
ンズの厚さあるいは隣接するレンズの間の距離をそれぞ
れ示している。
【００１７】第１実施例における顕微鏡対物レンズの第
１レンズ群は、凸レンズＬ１と凹レンズＬ２との接合レ
ンズで構成されており、第２レンズ群は、物体面から遠
い側から近い側に向かって順に、単独の凸レンズＬ３、
凹レンズＬ４と凸レンズＬ５との接合レンズ、凹レンズ
Ｌ６と凸レンズＬ７との接合レンズ、凹レンズＬ８と凸
レンズＬ９との接合レンズ、凸レンズＬ１０と凹レンズ
Ｌ１１との接合レンズ、単独の凸レンズＬ１２及び単独
の凸レンズＬ１３とから構成してある。
１レンズ群は、凸レンズＬ１と凹レンズＬ２との接合レ
ンズで構成されており、第２レンズ群は、物体面から遠
い側から近い側に向かって順に、単独の凸レンズＬ３、
凹レンズＬ４と凸レンズＬ５との接合レンズ、凹レンズ
Ｌ６と凸レンズＬ７との接合レンズ、凹レンズＬ８と凸
レンズＬ９との接合レンズ、凸レンズＬ１０と凹レンズ
Ｌ１１との接合レンズ、単独の凸レンズＬ１２及び単独
の凸レンズＬ１３とから構成してある。
【００１８】図２は図１に示した第１実施例の顕微鏡対
物レンズの収差図であり、図２の符号「Ｙ´」は、焦点
距離２００ｍｍの結像レンズを付けた時の物体高に対す
る像高を示してある。
物レンズの収差図であり、図２の符号「Ｙ´」は、焦点
距離２００ｍｍの結像レンズを付けた時の物体高に対す
る像高を示してある。
【００１９】図２において、「球面収差」は可視領域の
５５０ｎｍと遠紫外領域でのＹＡＧレーザの発信波長で
ある２６６ｎｍの各々について示されており、このこと
から良好に補正されていることがわかる。「非点収差」
は像高Ｙ´＝１２ｍｍについて示されており、サジタル
面Ｓ及びメリジオナル面Ｍについて良好に補正されてい
ることが認められる。「歪曲収差」も同様に、像高Ｙ´
＝１２ｍｍについて示しており、同内容より良好に補正
されていることが認められる。
５５０ｎｍと遠紫外領域でのＹＡＧレーザの発信波長で
ある２６６ｎｍの各々について示されており、このこと
から良好に補正されていることがわかる。「非点収差」
は像高Ｙ´＝１２ｍｍについて示されており、サジタル
面Ｓ及びメリジオナル面Ｍについて良好に補正されてい
ることが認められる。「歪曲収差」も同様に、像高Ｙ´
＝１２ｍｍについて示しており、同内容より良好に補正
されていることが認められる。
【００２０】図３は本発明の第２実施例による顕微鏡対
物レンズを示し、この顕微鏡対物レンズは、倍率８０
倍、焦点距離ｆ２６６＝２．５ｍｍ、開口数Ｎ．Ａ．＝
０．５５、作動距離 Ｗ．Ｄ．＝１１．７ｍｍである。
物レンズを示し、この顕微鏡対物レンズは、倍率８０
倍、焦点距離ｆ２６６＝２．５ｍｍ、開口数Ｎ．Ａ．＝
０．５５、作動距離 Ｗ．Ｄ．＝１１．７ｍｍである。
【００２１】同顕微鏡対物レンズの第１レンズ群は、物
体面から遠い側から近い側に向かって順に、凸レンズＬ
１と凹レンズＬ２との接合レンズ、凸レンズＬ３と凹レ
ンズＬ４との接合レンズで構成してある。また、第２レ
ンズ群は、物体面から遠い側から近い側に向かって順
に、単独の凸レンズＬ５、凹レンズＬ６と凸レンズＬ７
との接合レンズ、凹レンズＬ８と凸レンズＬ９との接合
レンズ、凹レンズＬ１０と凸レンズＬ１１との接合レン
ズ、凹レンズＬ１２と凸レンズＬ１３との接合レンズ、
凹レンズＬ１４と凸レンズＬ１５との接合レンズ、凹レ
ンズＬ１６と凸レンズＬ１７との接合レンズ、単独の凸
レンズＬ１８及び単独の凸レンズＬ１９とから構成され
る。
体面から遠い側から近い側に向かって順に、凸レンズＬ
１と凹レンズＬ２との接合レンズ、凸レンズＬ３と凹レ
ンズＬ４との接合レンズで構成してある。また、第２レ
ンズ群は、物体面から遠い側から近い側に向かって順
に、単独の凸レンズＬ５、凹レンズＬ６と凸レンズＬ７
との接合レンズ、凹レンズＬ８と凸レンズＬ９との接合
レンズ、凹レンズＬ１０と凸レンズＬ１１との接合レン
ズ、凹レンズＬ１２と凸レンズＬ１３との接合レンズ、
凹レンズＬ１４と凸レンズＬ１５との接合レンズ、凹レ
ンズＬ１６と凸レンズＬ１７との接合レンズ、単独の凸
レンズＬ１８及び単独の凸レンズＬ１９とから構成され
る。
【００２２】表２は第２実施例による顕微鏡対物レンズ
の諸量を示す。表２における表示記号は表１と同様であ
る。
の諸量を示す。表２における表示記号は表１と同様であ
る。
【００２３】
【表２】 ８０ｘ対物レンズ 焦点距離 ｆ２６６＝２．５ｍｍ Ｎ．Ａ．…０．５５ Ｗ．Ｄ．…１１．７ｍｍ Ｎｏ． ｒ ｄ 材質 1 -10.196 3.00 螢石 2 -5.546 1.10 合成石英 3 5.100 3.60 4 -16.887 3.90 螢石 5 -6.202 1.10 合成石英 6 37.430 7.50 7 -80.007 4.00 螢石 8 -15.525 0.50 9 -100.080 1.50 合成石英 10 24.800 6.00 螢石 11 -15.330 0.20 12 -71.607 1.30 合成石英 13 16.626 5.80 螢石 14 -31.201 1.00 15 -51.626 1.20 合成石英 16 16.626 5.80 螢石 17 -31.201 2.00 18 -28.965 1.10 合成石英 19 12.200 7.00 螢石 20 -30.894 2.00 21 -16.450 1.45 合成石英 22 17.043 6.85 螢石 23 -33.980 0.50 24 33.980 1.10 合成石英 25 14.498 7.80 螢石 26 -52.638 0.50 27 16.166 3.90 螢石 28 50.507 0.30 29 10.994 4.30 螢石 30 25.897 （１）式 ｜Ｆ1 ｜＝ ３．９ｍｍ （２）式 Ｄ12 ＝７．５ｍｍ
【００２４】図４は図３に示した第２実施例による顕微
鏡対物レンズの収差図であるが、図４の内容から球面収
差、非点収差及び歪曲収差がともに良好に補正されてい
ることが理解できる。
鏡対物レンズの収差図であるが、図４の内容から球面収
差、非点収差及び歪曲収差がともに良好に補正されてい
ることが理解できる。
【００２５】図５は本発明の第３実施例による顕微鏡対
物レンズを示し、この顕微鏡対物レンズは、倍率２０
倍、焦点距離ｆ２６６＝１０．０ｍｍ、開口数Ｎ．Ａ．
＝０．３６、作動距離 Ｗ．Ｄ．＝１６．０ｍｍの特性
である。
物レンズを示し、この顕微鏡対物レンズは、倍率２０
倍、焦点距離ｆ２６６＝１０．０ｍｍ、開口数Ｎ．Ａ．
＝０．３６、作動距離 Ｗ．Ｄ．＝１６．０ｍｍの特性
である。
【００２６】第３実施例による顕微鏡対物レンズの第１
レンズ群は、凹レンズＬ１と凸レンズＬ２との接合レン
ズで構成してある。また、同顕微鏡対物レンズの第２レ
ンズ群は、物体面から遠い側から近い側に向かって順
に、単独の凸レンズＬ３、凹レンズＬ４と凸レンズＬ５
との接合レンズ、凹レンズＬ６と凸レンズＬ７との接合
レンズ、凹レンズＬ８と凸レンズＬ９との接合レンズ、
単独の凸レンズＬ１０及び単独の凸レンズＬ１１とから
構成される。
レンズ群は、凹レンズＬ１と凸レンズＬ２との接合レン
ズで構成してある。また、同顕微鏡対物レンズの第２レ
ンズ群は、物体面から遠い側から近い側に向かって順
に、単独の凸レンズＬ３、凹レンズＬ４と凸レンズＬ５
との接合レンズ、凹レンズＬ６と凸レンズＬ７との接合
レンズ、凹レンズＬ８と凸レンズＬ９との接合レンズ、
単独の凸レンズＬ１０及び単独の凸レンズＬ１１とから
構成される。
【００２７】表３は第３実施例による顕微鏡対物レンズ
の諸量を示す。表３における表示記号は表１と同様であ
る。
の諸量を示す。表３における表示記号は表１と同様であ
る。
【００２８】
【表３】 ２０ｘ対物レンズ 焦点距離 ｆ２６６＝１０．０ｍｍ Ｎ．Ａ．…０．３６ Ｗ．Ｄ．…１６．０ｍｍ Ｎｏ． ｒ ｄ 材質 1 -11.998 1.50 螢石 2 7.817 3.60 合成石英 3 -67.710 33.00 4 ∞ 3.50 螢石 5 -26.001 0.45 6 211.500 1.30 合成石英 7 10.500 7.00 螢石 8 -18.365 2.00 9 -17.926 1.50 合成石英 10 9.609 6.00 螢石 11 -35.191 3.10 12 -14.498 1.30 合成石英 13 11.998 6.00 螢石 14 -31.696 0.30 15 19.800 4.20 螢石 16 -54.942 0.30 17 15.525 4.00 螢石 18 211.500 （１）式 ｜Ｆ1 ｜＝ ３９．６ｍｍ （２）式 Ｄ12 ＝３３．０ｍｍ
【００２９】図６は図５に示した第３実施例による顕微
鏡対物レンズの収差図を示すが、図６の内容より球面収
差、非点収差及び歪曲収差がともに良好に補正されてい
ることが理解できる。
鏡対物レンズの収差図を示すが、図６の内容より球面収
差、非点収差及び歪曲収差がともに良好に補正されてい
ることが理解できる。
【００３０】なお、本発明の好適な実施例を以上に例示
したが、本発明は、これらの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
例えば、第１レンズ群や第２レンズ群のレンズの枚数の
変更、凸レンズや凹レンズやそれらの接合レンズの配列
関係の変更等は、本発明の要旨を逸脱しない限り本発明
の範囲に含まれる。
したが、本発明は、これらの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
例えば、第１レンズ群や第２レンズ群のレンズの枚数の
変更、凸レンズや凹レンズやそれらの接合レンズの配列
関係の変更等は、本発明の要旨を逸脱しない限り本発明
の範囲に含まれる。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、前述した構成であるので、可視光領域と遠紫外領域
においての球面収差やその他の諸収差を良好に補正され
た長作動の無限遠補正型の顕微鏡対物レンズを提供でき
る。
は、前述した構成であるので、可視光領域と遠紫外領域
においての球面収差やその他の諸収差を良好に補正され
た長作動の無限遠補正型の顕微鏡対物レンズを提供でき
る。
【図１】本発明の第１実施例による顕微鏡対物レンズの
レンズ構成図である。
レンズ構成図である。
【図２】同顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図３】本発明の第２実施例による顕微鏡対物レンズの
レンズ構成図である。
レンズ構成図である。
【図４】同顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図５】本発明の第３実施例による顕微鏡対物レンズの
レンズ構成図である。
レンズ構成図である。
【図６】同顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
Ｌｉ レンズ ｒｉ 曲率半径 ｄｉ レンズの厚さあるいは隣接するレンズの
間の距離 Ｗ．Ｄ． 作動距離
間の距離 Ｗ．Ｄ． 作動距離
Claims (2)
- 【請求項１】 全体に負の屈折力をもつ第１レンズ群
と、この第１レンズ群よりも物体側に近い側に順に位置
されかつ全体に正の屈折力をもつ第２レンズ群とを含む
レトロフォーカス光学系の無限遠補正型の２０倍以上の
高倍率顕微鏡対物レンズにおいて、 前記第１レンズ群は１個以上の凸レンズと凹レンズとを
組み合わせた接合レンズからなり、 前記第２レンズ群は１枚以上の単独の凸レンズ並びに１
個以上の凸レンズと凹レンズとを組み合わせた接合レン
ズを含み、 前記光学系の全体の焦点距離をｆ、前記第１レンズ群の
焦点距離をＦ1 、前記第１レンズ群の物体側の面の頂点
から前記第２レンズ群の物体より遠い面の頂点までの距
離をＤ12とするときに、 （１）式、１ｆ＜｜Ｆ1 ｜＜４．５ｆ （２）式、２．５ｆ＜Ｄ12＜７．５ｆ を満たすことを特徴とする顕微鏡対物レンズ。 - 【請求項２】 前記各レンズを構成するガラス材料は、
螢石又は合成石英を含むことを特徴とする請求項１記載
の顕微鏡対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10064686A JPH11249025A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 顕微鏡対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10064686A JPH11249025A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11249025A true JPH11249025A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=13265296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10064686A Pending JPH11249025A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 顕微鏡対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11249025A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001208976A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
| US6507442B2 (en) | 2000-02-29 | 2003-01-14 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens |
| US6822805B2 (en) | 2001-07-09 | 2004-11-23 | Olympus Corporation | Objective lens |
| JP2006227310A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Olympus Corp | 小型対物光学系 |
| JP2008102295A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Olympus Corp | 長作動距離顕微鏡対物レンズ |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP10064686A patent/JPH11249025A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001208976A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 顕微鏡用対物レンズ |
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| JP2006227310A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Olympus Corp | 小型対物光学系 |
| JP4727252B2 (ja) * | 2005-02-17 | 2011-07-20 | オリンパス株式会社 | 小型対物光学系 |
| JP2008102295A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Olympus Corp | 長作動距離顕微鏡対物レンズ |
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