CN111158129B

CN111158129B - 显微镜物镜

Info

Publication number: CN111158129B
Application number: CN202010044997.6A
Authority: CN
Inventors: 张雷梦婷; 李伸朋; 孙长胜
Original assignee: Ningbo Sunny Instruments Co Ltd
Current assignee: Ningbo Sunny Instruments Co Ltd
Priority date: 2020-01-15
Filing date: 2020-01-15
Publication date: 2021-11-23
Anticipated expiration: 2040-01-15
Also published as: CN111158129A

Abstract

本发明涉及一种显微镜物镜，从物方起依次包括:具有正光焦度的第一透镜群(T1)、具有正光焦度的第二透镜群(T2)和具有负光焦度的第三透镜群(T3)；所述第一透镜群(T1)包括至少一片正光焦度透镜，并且所述第一透镜群(T1)中从物侧起的第一片透镜的物面为凹面；所述第二透镜群(T2)由多组胶合透镜组组成；所述第三透镜群(T3)由正光焦度透镜部分和负光焦度透镜部分组成。本发明的显微镜物镜可满足最大视场数40、数值孔径大于0.8、工作距离大于0.8mm和400nm‑1000nm实现复消色差，并具有较低灵敏度，较好的可加工性。

Description

显微镜物镜

技术领域

本发明涉及显微镜领域，尤其涉及一种显微镜物镜。

背景技术

平面电子感光器件(如CCD、CMOS)在显微镜成像中广泛使用。相比于人眼，电子感光器件的分辨能力、同时观察视场大大增加；同时由于生命科学、工业领域对于观察分辨能力和成像速度要求的提升，显微镜物镜的趋势是视场更大和孔径(NA)更大。因此，为提高显微镜物镜的性能，大视场、大数值孔径是显微镜物镜的发展趋势。实现大视场、大数值孔径复消色差的同时，需要保证显微镜物镜的结构具有较好的可加工性能，对大视场、大数值孔径显微镜物镜投入生产具有重要作用。更换第一部分镜片的曲率、厚度和空气间隙，改变工作距离，观察不同厚度和折射率介质覆盖下的样本，使显微镜物镜的应用更加广泛。

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供一种显微镜物镜。

为实现上述目的，本发明提供一种显微镜物镜，从物方起依次包括:具有正光焦度的第一透镜群、具有正光焦度的第二透镜群和具有负光焦度的第三透镜群；

所述第一透镜群包括至少一片正光焦度透镜，并且所述第一透镜群中从物侧起的第一片透镜为弯月形透镜，朝向物面的一面为凹面；

所述第二透镜群由多组胶合透镜组组成；

所述第三透镜群由正光焦度透镜部分和负光焦度透镜部分组成。

根据本发明的一个方面，4＜D/fobj＜9，3＜fobj；其中，D表示物面到所述显微镜物镜最后一面的距离；fobj表示所述显微镜物镜焦距。

根据本发明的一个方面，0.7＜NA＜1；NA表示所述显微镜物镜物方数值孔径。

根据本发明的一个方面，0.1＜|H2/H1|＜1，0.1＜|H2/H3|＜1；其中，H1表示中心视场边缘光线在透镜表面最高的投射高度；H2表示中心视场边缘光线在透镜表面最低的投射高度；H3表示中心视场边缘光线在最后一片透镜表面的投射高度。

根据本发明的一个方面，1＜|fL1/fobj|，0.2＜|RL1/fobj|＜10；其中，fL1表示所述第一透镜群中的第一片透镜的焦距，其凹面朝向物面；RL1表示该第一片透镜朝向物体一侧表面的半径值；fobj表示所述显微镜物镜焦距。

根据本发明的一个方面，0.1＜|fT1/fobj|＜30，其中，fT1为所述第一透镜群的组合焦距，fobj为所述显微镜物镜的焦距。

根据本发明的一个方面，1＜|fT2/fobj|，其中，fT2为所述第二透镜群的组合焦距，fobj为所述显微镜物镜的焦距。

根据本发明的一个方面，0.1＜|fT3/fobj|＜50，其中，fT3为所述第三透镜群的组合焦距，fobj为所述显微镜物镜的焦距。

根据本发明的一个方面，所述显微镜物镜的工作波段为400-1000nm。

根据本发明的一个方面，所述显微镜物镜中的镜片边缘厚度大于1mm。

根据本发明的一个方案，第一透镜群中的第一透镜和第二透镜提供光焦度，并为后面部分减小数值孔径。而第三透镜为第一透镜和第二透镜分担部分光焦度，降低二者灵敏度。第一透镜群可以更改厚度、曲率和间隔用以观察不同厚度和折射率介质覆盖下的样本。

根据本发明的一个方案，第二透镜群可以包含单透镜、双胶合透镜以及三胶合透镜，用于校正色差、增大孔径。可通过修改第一透镜群和第二透镜群的曲率、厚度和间隔，以适应不同厚度和折射率的盖玻片。

根据本发明的一个方案，第三透镜群包含了正光焦度透镜部分和负光焦度透镜部分，用于校正场曲、增大视场。整体显微镜物镜工作距离可达0.85mm及以上，当然也可在0mm-0.85mm之间。

根据本发明的一个方案，显微镜物镜的工作波段为400-1000nm。这样有利于复消色差。而显微镜物镜中的镜片边缘厚度大于1mm。这样有利于本发明的显微镜物镜中的镜片的加工。

附图说明

图1是根据本发明的第一种实施方式的显微镜物镜的平面示意图；

图2是根据本发明的第一种实施方式的显微镜物镜的0视场横向像差图；

图3是根据本发明的第一种实施方式的显微镜物镜的1视场横向像差图；

图4是根据本发明的第一种实施方式的显微镜物镜的场曲畸变图；

图5是根据本发明的第一种实施方式的显微镜物镜的色差曲线图；

图6是根据本发明的第二种实施方式的显微镜物镜的平面示意图；

图7是根据本发明的第二种实施方式的显微镜物镜的0视场横向像差图；

图8是根据本发明的第二种实施方式的显微镜物镜的1视场横向像差图；

图9是根据本发明的第二种实施方式的显微镜物镜的场曲畸变图；

图10是根据本发明的第二种实施方式的显微镜物镜的色差曲线图；

图11是根据本发明的第三种实施方式的显微镜物镜的平面示意图；

图12是根据本发明的第三种实施方式的显微镜物镜的0视场横向像差图；

图13是根据本发明的第三种实施方式的显微镜物镜的1视场横向像差图；

图14是根据本发明的第三种实施方式的显微镜物镜的场曲畸变图；

图15是根据本发明的第三种实施方式的显微镜物镜的色差曲线图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

在针对本发明的实施方式进行描述时，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”所表达的方位或位置关系是基于相关附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本发明的限制。

下面结合附图和具体实施方式对本发明作详细地描述，实施方式不能在此一一赘述，但本发明的实施方式并不因此限定于以下实施方式。

图1是根据本发明的第一种实施方式的显微镜物镜的平面示意图。如图1所示，本发明的显微镜物镜包括沿着光轴从物侧至像侧(即从右至左)依次排列的具有正光焦度的第一透镜群T1、具有正光焦度的第二透镜群T2、具有负光焦度的第三透镜群T3。第一透镜群T1包括第一透镜L1、第二透镜L2和第三透镜L3。第二透镜群T2由多组胶合透镜组组成，分别为第四镜组G4、第五镜组G5、第六镜组G6和第七镜组G7。第三透镜群T3由高折射率的正光焦度透镜部分和低折射率的负光焦度透镜部分组成，其中负光焦度角度部分更靠近物侧。第一透镜L1和第二透镜L2提供光焦度，并为后面部分减小数值孔径。第三透镜L3为第一透镜L1和第二透镜L2分担部分光焦度，降低二者灵敏度。显微镜物镜工作距离可达0.85mm及以上，当然也可在0mm-0.85mm之间。第一透镜群T1可以更改厚度、曲率和间隔用以观察不同厚度和折射率介质覆盖下的样本。第二透镜群T2用于校正色差、增大孔径。显微镜物镜可通过修改第一透镜群T1和第二透镜群T2的曲率、厚度和间隔，以适应不同厚度和折射率的盖玻片。第三透镜群T3用于校正场曲、增大视场。

本发明中，显微镜物镜的结构分为两类，第一类为第一透镜L1为正光焦度或负光焦度厚弯月透镜，物面为凹面。第二透镜L2为正光焦度弯月透镜，凹面朝向物面。第三透镜L3为正光焦度弯月透镜，凹面朝向物面，或为平面朝向物面的平凸透镜。第四镜组G4为三胶合镜组，由两个正光焦度透镜一个负透镜组成，其中两个正光焦度透镜材料可以相同，也可以不同，是低色散材料。第五镜组G5为双胶合镜组，其中离物面近的一片为负光焦度镜片，另一片为正光焦度镜片。第六镜组G6为双胶合镜组，其中离物面近的一片为正光焦度镜片，另一片为负光焦度镜片，与第五镜组G5组成两个对称双胶合组。第七镜组G7为双胶合镜组，其中离物面近的一片为正光焦度镜片，另一片为负光焦度镜片，与第六镜组G6组成两个密接双胶合组。负光焦度透镜部分可以为单透镜也可以为胶合透镜，正光焦度透镜部分也可以为单透镜也可以为胶合透镜。

第二类为第一透镜L1为正光焦度或负光焦度厚弯月透镜，凹面朝向物面。第二透镜L2为正光焦度弯月透镜，凹面朝向物面。第一透镜L1与第二透镜L2可组合为胶合镜组。第三透镜L3为正光焦度弯月透镜，凹面朝向物面，或为平面朝向物面的平凸透镜。第四镜组G4为三胶合镜组，由两个正光焦度透镜一个负透镜组成，其中两个正光焦度透镜材料可以相同，也可以不同，是低色散材料。第五镜组G5为三胶合镜组，由两个正光焦度透镜和一个负光焦度透镜组成，负光焦度透镜可以位于两个正光焦度透镜之间；或者由两个负光焦度透镜和一个正光焦度透镜组成，正光焦度透镜可以位于两个负光焦度透镜之间。第六镜组G6为正光焦度镜组，可以为单透镜也可以为胶合镜组。第七镜组G7为负光焦度镜组，可以为单透镜也可以为胶合镜组。负光焦度透镜部分为低折射率，可以为单透镜也可以为胶合透镜；正光焦度透镜部分为高折射率，可以为单透镜也可以为胶合透镜。

上述设置的显微镜物镜可以实现436-1000nm波段任意区间的复消色差效果，其工作波段可为436nm-1000nm。可通过修改第一透镜群T1和第二透镜群T2的曲率、厚度和间隔，以适应不同厚度和折射率的盖玻片。而本发明的显微镜物镜中，每个镜片边缘厚度均应该大于1mm，这样有利于加工。

第一类显微镜物镜的工作距离为0.75mm，工作距离为盖玻片到物镜第一透镜群T1边缘(即第一透镜L1的物侧面的平面部分)的距离。第一透镜L1凹向物面，所用材料折射率n＝1.88，阿贝数v＝40.8。第一透镜L1为弯月厚透镜，用于校正场曲。第二透镜L2凹向物面，所用材料折射率n＝1.54，阿贝数v＝74.7。第一透镜L1为弯月透镜，用于提供光焦度。第三透镜L3所用材料折射率n＝1.62，阿贝数v＝64.3，用于分担光焦度。第四镜组G4中，依次为正光焦度镜片、负光焦度镜片、正光焦度镜片。所用材料折射率n1＝1.43、n2＝1.52、n3＝1.43，阿贝数v1＝95，v2＝52.4、v3＝95，用于校正色差。第五镜组G5依次为负光焦度镜片、正光焦度镜片。所用材料折射率n1＝1.72、n2＝1.6，阿贝数v1＝34.7，v2＝67.7。用于校正色差。第六镜组G6依次为正光焦度镜片、负光焦度镜片。所用材料折射率n1＝1.78、n2＝1.7，阿贝数v1＝25.7，v2＝30.1。用于校正色差，增大视场。第七镜组G7依次为正光焦度镜片、负光焦度镜片。所用材料折射率n1＝1.5、n2＝1.62，阿贝数v1＝81.5，v2＝53.2。用于校正色差，增大孔径。第三透镜群T3中负光焦度透镜部分，所用材料折射率n＝1.58，阿贝数v＝41.5；而正光焦度透镜部分，所用材料折射率n＝1.79，阿贝数v＝44.2。

本发明的显微镜物镜光谱范围为548nm-770nm，视场数FN范围为30-40，数值孔径可达0.8。采用两片CaF2材料，用于实现复消色差。

以下根据本发明的上述两类显微镜物镜结构给出三组具体实施方式来具体说明根据本发明的显微镜物镜。其中第一类显微镜物镜结构给出第一、第二两种实施方式，第二类所对应的实施方式为第三种实施方式。以下实施方式中，本发明将透镜从物侧至像侧的面按照结构顺序编号为S1、S2、S3…，胶合面记为一面。

第一种实施方式：

参照图1，本实施方式的显微镜物镜由14个透镜组成，第一透镜L1的物侧面为S1，第十四透镜L14的像侧面为S23，像面为无限远，工作距离为0.82mm。

本实施例中，盖玻片与第一透镜L1之间的间隔为D0＝1.06mm，第一透镜L1与第二透镜L2之间间隔为D1＝0.45mm，第二透镜L2和第三透镜L3之间间隔为D2＝0.1mm，第三透镜L3和第四镜组G4之间间隔为D3＝0.1mm，第四镜组G4和第五镜组G5之间间隔为D4＝0.1mm，第五镜组G5和第六镜组G6之间间隔为D5＝0.05mm，第六镜组G6和第七镜组G7之间间隔为D6＝1mm，第七镜组G7和第十三透镜L13之间间隔为D7＝5.13mm，第十三透镜L13和第十四透镜L14之间间隔为D8＝10.71mm。

在本实施方式中，系统焦距f＝10mm，工作距离为0.82mm(可以给结构设计留出余量)，显微镜物镜的透镜厚度和半径满足下面表1的条件：

表1

其中，半径是指表面的曲率半径，厚度是指当前表面到下一个表面的轴上距离，例如表面S1的厚度即为S1到S2的距离，其可能是介质或镜片的轴上厚度，也可能是它们之间的轴上空气间隙。

图2是本发明第一种实施方式的显微镜物镜的0视场横向像差图，其中横坐标PY、PX代表归一化入瞳尺寸，纵坐标代表横向像差，Y方向为子午方向，X方向为弧矢方向，由图可见像差平衡较好，具有较好的成像性能。

图3是本发明第一种实施方式的显微镜物镜的1视场横向像差图，由图可见曲线贴近横轴，具有较好的成像性能。

图4是本发明第一种实施方式的显微镜物镜的场曲畸变图，左图为场曲图，图中纵坐标代表视场，横坐标代表场曲，单位为μm。边缘视场最佳聚焦点与中心视场最佳聚焦点轴向差异小于2λ/²，理论值满足全视场清晰，达到平场物镜要求。图中纵坐标为归一化视场；横坐标代表场曲，最大值为2μm，最小值为-2μm。右图为畸变图，图中纵坐标代表视场，横坐标代表畸变(百分比)，由图可知，全视场畸变小于1.2％。图中纵坐标为归一化视场，横坐标代表畸变，最大为2％，最小为-2％。

图5是本发明第一种实施方式的显微镜物镜的色差曲线图，全波长曲线色差校正较好，各视场处任意两条曲线差值小于λ/²。

本实施方式的大视场大数值孔径显微镜物镜具有工作波段为548nm-770nm，数值孔径大，为NA＝0.8；物方视场大，为1.52mm，在一些较好的实施方式中视场可大于2mm。系统成像质量很好。

第二种实施方式：

参照图6，本实施方式的显微镜物镜由14个透镜组成，第一透镜L1的物侧面为S1，第十四透镜L14的像侧面为S23，像面为无限远，工作距离为0.75mm。

本实施方式中，盖玻片与第一透镜L1之间的间隔为D0＝1.1mm，第一透镜L1与第二透镜L2之间间隔为D1＝0.45mm，第二透镜L2和第三透镜L3之间间隔为D2＝0.1mm，第三透镜L3和第四镜组G4之间间隔为D3＝0.1mm，第四镜组G4和第五镜组G5之间间隔为D4＝0.1mm，第五镜组G5和第六镜组G6之间间隔为D5＝0.25mm，第六镜组G6和第七镜组G7之间间隔为D6＝0.54mm，第七镜组G7和第十三透镜L13之间间隔为D7＝3.72mm，第十三透镜L13和第十四透镜L14之间间隔为D8＝12.98mm。

本实施方式中，系统焦距f＝10mm，工作距离为0.75mm，显微镜物镜的透镜厚度和半径满足下面表2的条件：

表2

图7是根据本发明第二种实施方式的显微镜物镜的0视场横向像差图，其中横坐标PY、PX代表归一化入瞳尺寸，纵坐标代表横向像差，Y方向为子午方向，X方向为弧矢方向，由图可见像差平衡较好，具有较好的成像性能。

图8是根据本发明第二种实施方式的显微镜物镜的1视场横向像差图，由图可见曲线贴近横轴，具有较好的成像性能。

图9是根据本发明第二种实施方式的显微镜物镜的场曲畸变图，左图为场曲图，图中纵坐标代表视场，横坐标代表场曲，单位为μm。边缘视场最佳聚焦点与中心视场最佳聚焦点轴向差异小于2λ/²，理论值满足全视场清晰，达到平场物镜要求。图中纵坐标为归一化视场；横坐标代表场曲，最大值为5μm，最小值为-5μm。右图为畸变图，图中纵坐标代表视场，横坐标代表畸变(百分比)，由图可知，全视场畸变小于1％。图中纵坐标为归一化视场，横坐标代表畸变，最大为1％，最小为-1％。

图10是根据本发明第二种实施方式的显微镜物镜的色差曲线图，全波长曲线色差校正较好，各视场处任意两条曲线差值小于λ/²。

本实施方式的显微镜物镜工作波段为436nm-656nm；数值孔径较大，为NA＝0.75；物方视场大，为1.5mm，在一些较好的实施方式中视场可大于2mm，系统成像质量很好。

第三种实施方式：

参照图11，本实施方式的显微镜物镜由13个透镜组成，第一透镜L1的物侧面为S1，第十三透镜L13的像侧面为S22(即第一透镜L1与第二透镜L2未胶合)，像面为无限远，工作距离>0.75mm。

本实施方式中，盖玻片与第一透镜L1之间的间隔为D0＝1.1mm，第一透镜L1与第二透镜L2之间间隔为D1＝0.15mm，第二透镜L2和第三透镜L3之间间隔为D2＝0.1mm，第三透镜L3和第四镜组G4之间间隔为D3＝0.15mm，第四镜组G4和第五镜组G5之间间隔为D4＝0.15mm，第五镜组G5和第十透镜L10之间间隔为D5＝0.15mm，第十透镜L10和第十一透镜L11之间间隔为D6＝0.1mm，第十一透镜L11和第十二透镜L12之间间隔为D7＝4.84mm，第十二透镜L12和第十三透镜L13之间间隔为D8＝8.45mm。

第一透镜L1凹向物面，所用材料折射率n＝1.88，阿贝数v＝40.8。第一透镜L1为弯月厚透镜，用于校正场曲。第二透镜L2凹向物面，所用材料折射率n＝1.52，阿贝数v＝80.6。第一透镜L1为弯月透镜，用于提供光焦度。第三透镜L3所用材料折射率n＝1.52，阿贝数v＝80.6，用于分担光焦度。第四镜组G4中，依次为正光焦度镜片、负光焦度镜片、正光焦度镜片。所用材料折射率n1＝1.43、n2＝1.52、n3＝1.43，阿贝数v1＝95，v2＝52.4、v3＝95，用于校正色差。第五镜组G5依次为负光焦度镜片、正光焦度镜片、负光焦度镜片。所用材料折射率n1＝1.61、n2＝1.43、n3＝1.76，阿贝数v1＝61.4，v2＝95，v2＝24.6，用于校正色差。第六镜组G6为正光焦度镜片，所用材料折射率n＝1.75、阿贝数v＝53.2。用于承担光焦度，增大孔径。第七镜组G7为正光焦度镜片。所用材料折射率n＝1.69，阿贝数v＝81.5。用于承担光焦度，增大孔径。第三透镜群T3中负光焦度透镜部分，所用材料折射率n＝1.59，阿贝数v＝36.1；而正光焦度透镜部分，所用材料折射率n＝1.73，阿贝数v＝29。

本实施方式中，系统焦距f＝10mm，工作距离为0.82mm，显微镜物镜的透镜厚度和半径满足下面表3的条件：

表3

图12是根据本发明第三种实施方式的显微镜物镜的0视场横向像差图，其中横坐标PY、PX代表归一化入瞳尺寸，纵坐标代表横向像差，Y方向为子午方向，X方向为弧矢方向，由图可见像差平衡较好，具有较好的成像性能。

图13是根据本发明第三种实施方式的显微镜物镜的1视场横向像差图，由图可见像差平衡较好,具有较好的成像性能。

图14是根据本发明第三种实施方式的显微镜物镜的场曲畸变图，左图为场曲图，图中纵坐标代表视场，横坐标代表场曲，单位为μm。边缘视场最佳聚焦点与中心视场最佳聚焦点轴向差异小于2λ/²，理论值满足全视场清晰，达到平场物镜要求。图中纵坐标为归一化视场；横坐标代表场曲，最大值为2μm，最小值为-2μm。右图为畸变图，图中纵坐标代表视场，横坐标代表畸变(百分比)，由图可知，全视场畸变小于2％。图中纵坐标为归一化视场，横坐标代表畸变，最大为2％，最小为-2％。

图15是根据本发明第三种实施方式的显微镜物镜的色差曲线图，全波长曲线色差校正较好，各视场处任意两条曲线差值小于。

本发明大视场大数值孔径显微镜物镜工作波段为543nm-770nm，数值孔径较大，为NA＝0.8；物方视场较大，为1.52mm，在一些较好的实施方式中视场可大于2mm，系统成像质量很好。

以上所述仅为本发明的一个实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种显微镜物镜，其特征在于，从物方起依次包括:具有正光焦度的第一透镜群(T1)、具有正光焦度的第二透镜群(T2)和具有负光焦度的第三透镜群(T3)；

所述第一透镜群(T1)包括至少一片正光焦度透镜，并且所述第一透镜群(T1)中从物侧起的第一片透镜为弯月形透镜，朝向物面的一面为凹面；

所述第二透镜群(T2)由多组胶合透镜组组成；

所述第三透镜群(T3)由独立的正光焦度透镜部分和负光焦度透镜部分组成；

0.1＜|H2/H3|＜1；其中，H2表示中心视场边缘光线在透镜表面最低的投射高度；H3表示中心视场边缘光线在最后一片透镜表面的投射高度。

2.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，4＜D/fobj＜9，3＜fobj；其中，D表示物面到所述显微镜物镜最后一面的距离；fobj表示所述显微镜物镜焦距。

3.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，0.7＜NA＜1；NA表示所述显微镜物镜物方数值孔径。

4.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，0.1＜|H2/H1|＜1；其中，H1表示中心视场边缘光线在透镜表面最高的投射高度；H2表示中心视场边缘光线在透镜表面最低的投射高度。

5.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，1＜|fL1/fobj|，0.2＜|RL1/fobj|＜10；其中，fL1表示所述第一透镜群(T1)中的第一片透镜的焦距，其凹面朝向物面；RL1表示该第一片透镜朝向物体一侧表面的半径值；fobj表示所述显微镜物镜焦距。

6.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，0.1＜|fT1/fobj|＜30，其中，fT1为所述第一透镜群(T1)的组合焦距，fobj为所述显微镜物镜的焦距。

7.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，1＜|fT2/fobj|，其中，fT2为所述第二透镜群(T2)的组合焦距，fobj为所述显微镜物镜的焦距。

8.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，0.1＜|fT3/fobj|＜50，其中，fT3为所述第三透镜群(T3)的组合焦距，fobj为所述显微镜物镜的焦距。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的显微镜物镜，其特征在于，所述显微镜物镜的工作波段为400-1000nm。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的显微镜物镜，其特征在于，所述显微镜物镜中的镜片边缘厚度大于1mm。