JPS5912411A - Ｉｃマスク検査機用対物レンズ - Google Patents
Ｉｃマスク検査機用対物レンズInfo
- Publication number
- JPS5912411A JPS5912411A JP57121346A JP12134682A JPS5912411A JP S5912411 A JPS5912411 A JP S5912411A JP 57121346 A JP57121346 A JP 57121346A JP 12134682 A JP12134682 A JP 12134682A JP S5912411 A JPS5912411 A JP S5912411A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- group
- group lens
- biconvex
- focal length
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/24—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for reproducing or copying at short object distances
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、螢光物質を用いたフライングスポットスキャ
ナーによるＩＣマスク検査機等に用いる対物レンズに関
するものである。
ナーによるＩＣマスク検査機等に用いる対物レンズに関
するものである。
ＩＣマスク検査機用の対物レンズは、マスクパターンが
微細であるために解像力が高く視野の中心から周辺まで
の像側が平坦で歪曲収差も小さく作動距離の長いレンズ
系であることが必要である。
微細であるために解像力が高く視野の中心から周辺まで
の像側が平坦で歪曲収差も小さく作動距離の長いレンズ
系であることが必要である。
また色収差も十分補正されている必要があり、しかも使
用する螢光の波長においても良好に補正されている必要
がある。
用する螢光の波長においても良好に補正されている必要
がある。
本発明の対物レンズに類似する構成のものとして特開昭
４７−４５７４１号および特開昭４７−４５７４２号公
報に記載された顕微鏡対物レンズが知られている。しか
しこれらの従来の対物レンズは、２０Ｘ、４０Ｘ程度の
低い倍率では使用し得るが、本発明の目的とするような
１４０Ｘ程度の高倍率では上述のような要求を満たすこ
とが出来ないため使用し得ない。また上記従来例のよう
な顕微鏡対物レンズで高倍（’１ｏｏｘ程度）のものは
、本発明の目的の一つとしている十分長い作動距離のも
のは存在しない。更に通常の色収差の他に螢光波長につ
いての色収差の補正されたものも知られていない。
４７−４５７４１号および特開昭４７−４５７４２号公
報に記載された顕微鏡対物レンズが知られている。しか
しこれらの従来の対物レンズは、２０Ｘ、４０Ｘ程度の
低い倍率では使用し得るが、本発明の目的とするような
１４０Ｘ程度の高倍率では上述のような要求を満たすこ
とが出来ないため使用し得ない。また上記従来例のよう
な顕微鏡対物レンズで高倍（’１ｏｏｘ程度）のものは
、本発明の目的の一つとしている十分長い作動距離のも
のは存在しない。更に通常の色収差の他に螢光波長につ
いての色収差の補正されたものも知られていない。
本発明は、像面が平坦で、歪曲収差が極めて小さく、通
常の色収差と共に中心波長５１０ｎｙｒｒ＋のガウシア
ンのスペクトルを有する螢光についての色収差も良好に
補正され、更に作動距離の長い高い倍率のＩＣマスク検
査機用対物レンズを提供するものである。
常の色収差と共に中心波長５１０ｎｙｒｒ＋のガウシア
ンのスペクトルを有する螢光についての色収差も良好に
補正され、更に作動距離の長い高い倍率のＩＣマスク検
査機用対物レンズを提供するものである。
本発明のレンズ系は、正のメニスカスレンズの第１群レ
ンズと、両凸レンズの第２群レンズと、両凸レンズと両
凹レンズの接合レンズの第３群レンズと、両凹レンズと
両凸レンズの接合レンズの第４群レンズと、゛両凸レン
ズの第５群レンズと、負のメニスカスレンズの第６群レ
ンズより構成されている。
ンズと、両凸レンズの第２群レンズと、両凸レンズと両
凹レンズの接合レンズの第３群レンズと、両凹レンズと
両凸レンズの接合レンズの第４群レンズと、゛両凸レン
ズの第５群レンズと、負のメニスカスレンズの第６群レ
ンズより構成されている。
本発明レンズ系は、作動距離を長くするために第１群レ
ンズから第５群レンズまでの全体として正の屈折力を有
する前群と、第６群レンズの負の屈折力を有する後群と
にて構成した。又像面湾曲および歪曲収差を補正するた
めに前群をガウスタイプにし、このガウスタイプの互い
に向い合って配置された凹面（第３群レンズの像側の面
と第４群レンズのや体側の面）にて上記収差を補正する
ようにした。又後群（第６群レンズ）をメニスカスレン
ズにすることによっても像面湾曲と歪曲収差を良好に補
正するようにした。このようにして本発明レンズ系は、
像面湾曲と歪曲収差の極めて少ないレンズ系にしである
。
ンズから第５群レンズまでの全体として正の屈折力を有
する前群と、第６群レンズの負の屈折力を有する後群と
にて構成した。又像面湾曲および歪曲収差を補正するた
めに前群をガウスタイプにし、このガウスタイプの互い
に向い合って配置された凹面（第３群レンズの像側の面
と第４群レンズのや体側の面）にて上記収差を補正する
ようにした。又後群（第６群レンズ）をメニスカスレン
ズにすることによっても像面湾曲と歪曲収差を良好に補
正するようにした。このようにして本発明レンズ系は、
像面湾曲と歪曲収差の極めて少ないレンズ系にしである
。
更に色収差を補正するために光線とのなす角の比較的大
きい第１群レンズ、第２群レンズおよび第３群レンズの
うちの正レンズ（物体側のレンズ）に分散の低い（アツ
ベ数の大きい）硝材を用い、前群のうちやや後方に配置
された第３群レンズの像側のレンズと第４群レンズの物
体側のレンズにはアツベ数の小さい硝材を用い、前群の
うちの後方に配置された第４群レンズの像側のレンズと
第５群レンズには分散の小さい（アツベ数の大きい）硝
材を用いている。このようにして前群の色収差を良好に
補正している。
きい第１群レンズ、第２群レンズおよび第３群レンズの
うちの正レンズ（物体側のレンズ）に分散の低い（アツ
ベ数の大きい）硝材を用い、前群のうちやや後方に配置
された第３群レンズの像側のレンズと第４群レンズの物
体側のレンズにはアツベ数の小さい硝材を用い、前群の
うちの後方に配置された第４群レンズの像側のレンズと
第５群レンズには分散の小さい（アツベ数の大きい）硝
材を用いている。このようにして前群の色収差を良好に
補正している。
本発明のレンズ系は、以上のような構成にすると共に次
の各条件を満足することを特徴とするものである。
の各条件を満足することを特徴とするものである。
（１） １．２ ｆ ＜ ｆｐ＜ １．８ ｆ（２）
１．５ ｆ ＜ ｆＩ （３） ｄ、 ＜ ０．３．、、．６ ｆ（４）
１．２７ ｆ ＜ ｒ＋３＜ １．．４０ ｆ（５）
１． Ｏｆ ＜ ｒ１４． ＜ １．、０５ ｆ（６
） シ２．シ３．シロ〉６５ ただしｆは全系の焦点距離、ｆ、は第１群レンズから第
５群レンズまでの（前群の）合成焦点距離、ｆＩは第１
群レンズの焦点距離、ｄｌは第１群レンズの肉厚、ｒ＋
ｓ ＋ ｒ＋＋は夫々第６群レンズの両面の曲率半径、
シ２．シ３．シロは夫々第２群レンズ、第３群レンズの
正レンズ（物体側のレンズ）、第４群レンズの正レンズ
（像側のレンズ）のアツベ数である。
１．５ ｆ ＜ ｆＩ （３） ｄ、 ＜ ０．３．、、．６ ｆ（４）
１．２７ ｆ ＜ ｒ＋３＜ １．．４０ ｆ（５）
１． Ｏｆ ＜ ｒ１４． ＜ １．、０５ ｆ（６
） シ２．シ３．シロ〉６５ ただしｆは全系の焦点距離、ｆ、は第１群レンズから第
５群レンズまでの（前群の）合成焦点距離、ｆＩは第１
群レンズの焦点距離、ｄｌは第１群レンズの肉厚、ｒ＋
ｓ ＋ ｒ＋＋は夫々第６群レンズの両面の曲率半径、
シ２．シ３．シロは夫々第２群レンズ、第３群レンズの
正レンズ（物体側のレンズ）、第４群レンズの正レンズ
（像側のレンズ）のアツベ数である。
庵
上記速性のうち、条件（１） 、 （２） 、（３）は
作動距離を長くするために設けたものである。前群の焦
点距離（第１群レンズから第５群レンズまでの合成焦点
距離）ｆｐが小になり条件（１）の下限以下になると作
動距離を長くとれなくなる。又ｆ が大になると作動距
離は長く出来るが条件（１）の上限を越えると軸上の色
収差が悪くなり好ましくない。
作動距離を長くするために設けたものである。前群の焦
点距離（第１群レンズから第５群レンズまでの合成焦点
距離）ｆｐが小になり条件（１）の下限以下になると作
動距離を長くとれなくなる。又ｆ が大になると作動距
離は長く出来るが条件（１）の上限を越えると軸上の色
収差が悪くなり好ましくない。
条件（３）において、ｄ、が犬になると色収差補正にと
っては有利である。しかしｄ、が条件（３）からはずれ
ると作動距離を長くすることができなくなる。
っては有利である。しかしｄ、が条件（３）からはずれ
ると作動距離を長くすることができなくなる。
第１群レンズの焦点距離ｆ、が条件（２）よりはずれる
と作動距離を長くすることが出来なくなる。
と作動距離を長くすることが出来なくなる。
次に条件（４） 、 （５）は像面湾曲、歪曲収差およ
びコマ収差を除去するために設けた条件である。
びコマ収差を除去するために設けた条件である。
条件（４） 、 （５）においてｒ＋３＋ ｒ１４がこ
れら条件の上限を越えると像面湾曲が増大する○又ｒ１
３１ ｒ１４が小さければ像面湾曲の補正にとっては有
利である。しかしｒ１３１ ｒ１４が夫々条件（４）お
よび条件（５）の下限を越えると歪曲収差が増大し又コ
マ収差もバランスを損ない他の面での補正が出来なくな
る。
れら条件の上限を越えると像面湾曲が増大する○又ｒ１
３１ ｒ１４が小さければ像面湾曲の補正にとっては有
利である。しかしｒ１３１ ｒ１４が夫々条件（４）お
よび条件（５）の下限を越えると歪曲収差が増大し又コ
マ収差もバランスを損ない他の面での補正が出来なくな
る。
条件（６）は色収差を良好に補正するために設けたもの
である。つまり第２群レンズ、第３群レンズのうちの凸
レンズおよび第４群レンズのうちの凸レンズにアツベ数
の大きい硝材を用いることによって色収差を十分良好に
補正するものである。この条件において下限をこえると
２次゛スペクトルが増大し軸上色収差１倍率の色収差の
補正が不可能になる。
である。つまり第２群レンズ、第３群レンズのうちの凸
レンズおよび第４群レンズのうちの凸レンズにアツベ数
の大きい硝材を用いることによって色収差を十分良好に
補正するものである。この条件において下限をこえると
２次゛スペクトルが増大し軸上色収差１倍率の色収差の
補正が不可能になる。
以上説明したように第１図に示すレンズ構成で条件（１
）乃至条件（６）を満足するようにしたレンズ系は、本
発明の目的にかなったものである。しかし次に示す条件
（７）乃至条件（１０）を更に満足するようにすれば一
層収差の良好なレンズ系が得られる。
）乃至条件（６）を満足するようにしたレンズ系は、本
発明の目的にかなったものである。しかし次に示す条件
（７）乃至条件（１０）を更に満足するようにすれば一
層収差の良好なレンズ系が得られる。
（７） ０．６ ｆ＜ｄ＋３＜０．７ ｆ（８）
０．０３ ｆ ＜ ｄ＋２＜ ０．１３ ｆ（９）
ｎ４・ｎ５〉１・６５ （１０）ν４．ν、〈４０ ただしｄ１□は第５群レンズと第６群レンズの間の空気
間隔、ｄ１３は第６群レンズの肉厚、ｎ４． ＋ ｎ５
は夫々第３群レンズの負レンズ（像側のレンズ）および
第４群レンズの負レンズ（物体側のレンズ）の屈折率、
シ４．シ５は夫々第３群レンズの負レンズおよび第４群
レンズの負レンズのアツベ数である。
０．０３ ｆ ＜ ｄ＋２＜ ０．１３ ｆ（９）
ｎ４・ｎ５〉１・６５ （１０）ν４．ν、〈４０ ただしｄ１□は第５群レンズと第６群レンズの間の空気
間隔、ｄ１３は第６群レンズの肉厚、ｎ４． ＋ ｎ５
は夫々第３群レンズの負レンズ（像側のレンズ）および
第４群レンズの負レンズ（物体側のレンズ）の屈折率、
シ４．シ５は夫々第３群レンズの負レンズおよび第４群
レンズの負レンズのアツベ数である。
上記の条件（７）および条件（８）は像面湾曲に関する
ものである。条件（７）においてｄ１３を犬にすると像
面湾曲を補正する上では有利であるが、この条件の上限
を越えると色収差が悪化（軸上の色収差の曲がりが増大
）し補正できなくなる。ｄ＋３が条件（７）の下限を越
えると像面湾曲１球面収差が増大しまた非点収差が大き
くなって補正し得なくなる。またｄ１□はｄ１３とは逆
に条件（８）の上限を越えると像面湾曲１球面収差、非
点隔差が増大し、下限を越えると軸上色収差の曲りが大
きくなる。
ものである。条件（７）においてｄ１３を犬にすると像
面湾曲を補正する上では有利であるが、この条件の上限
を越えると色収差が悪化（軸上の色収差の曲がりが増大
）し補正できなくなる。ｄ＋３が条件（７）の下限を越
えると像面湾曲１球面収差が増大しまた非点収差が大き
くなって補正し得なくなる。またｄ１□はｄ１３とは逆
に条件（８）の上限を越えると像面湾曲１球面収差、非
点隔差が増大し、下限を越えると軸上色収差の曲りが大
きくなる。
条件（９） 、 （１０）は色収差を補正するためのも
のである。
のである。
ガウスタイプのレンズ系の互いに凹面を向い合わせて配
置されたレンズの屈折率を高くすることによりコマ収差
、像面湾曲を補正すると共にこれらレンズのアツベ数を
低くすることによって軸上の色収差の絶対量を小さくし
ている。したがってｎ４ ＋ ｎｓが条件（９）を満足
しないとコマ収差、像面湾曲が悪化する。又ν４．ν、
が条件（１０）を満足しないと軸上の色収差が悪くなる
。
置されたレンズの屈折率を高くすることによりコマ収差
、像面湾曲を補正すると共にこれらレンズのアツベ数を
低くすることによって軸上の色収差の絶対量を小さくし
ている。したがってｎ４ ＋ ｎｓが条件（９）を満足
しないとコマ収差、像面湾曲が悪化する。又ν４．ν、
が条件（１０）を満足しないと軸上の色収差が悪くなる
。
次に以上説明した本発明対物レンズの実施例を示す。
実施例１
ｒ＋ ニー０．９０７
ｄ＋ ＝ ０．３４７ ｎ、ｌ ＝ １．７２９１
６ シ、＝５４．６８ｒ２＝ ０．６９２ ｄ２＝ ０．０１７ ｒ３” １．２８７ ｄ３＝ ０．２６８ ｎ２＝ １．４９７００ １
’２ ＝ ８１．６１ｒ４ ＝ １．５１７ ｄ４＝０．０１７ ｒ５ ＝ ０．７８９ ｄｉ ＝ ０．３３Ｏｎ３ ＝、１．４９７００ シ
３＝８１．６１ｒ６＝ ７．４６８ ｄａ−０，２６７ｎ４＝ １．６５１２８ ν４＝３
８．２５ｒｔ ＝ ０．５７３ ｄ７＝ ０．３０９ ｒＢ＝−０，４１９ ｄ８．＝ ０．１２４ ｎｉ ＝ １．７２０４７
ν５ ＝ ３４．７２ｒ９ ＝ １．８９２ ｄｏ ” ０．３６１ ｎｉ ＝ １．５１７２８
νａ”６９．５６ｒｌＯ＝ −０，７５８ ｄ＋ｏ ＝ ０．０１９ ｒｌｌ ＝ ７．４７１ ｄｏ ＝０．２５３ ｎ７＝ １．６５８３０
シ？＝５７．３３ｒ１□＝ −１，３１４ ｄｕ ＝ ０．０５０ ｒｌ、＝ １．３５４ ｄｏｓ ＝ ０．６９９ ｎ８＝ １．７８６５０
シフ＝５０．０Ｏｒ＋＋ ＝ １．０３２ ｆ＝１． ＮＡ＝０．４． 倍率１４０Ｘｆ ＝
１．３１ 、 ｆｌ＝２．３８ 、 ＷＤ
＝０．４７８実施例２ ｒｌ ＝ ０．９０３ ｄ＋ ” ０．３４３ ｎｌ ＝ １．７２９１６
シ、＝５４．６８ｒ２＝ −０，６５１ ｄ、＝０．０１７ ｒｓ ＝ １．６５２ ｄｓ ” ０．２６６ ｎ２＝ １．４９７００
シ２＝８１．６１ｒ４： １．３３３ ａ、＝０．０１７ ｒ５ ” ｏ、ａ ４１ ｄｓ ＝ ０．３２７ ｎｓ ＝ １．４９７０
０ シ３＝８１．６１ｒ、： ３．３８７ ｄａ ＝０．２６５ ｎｉ ＝ １．６５４１２
’４ ＝ ３９．７０ｒｔ ＝ ０．５１４ ｄ７＝ ０．３０６ ｒ６ ＝ −０，４２６ ｄａ ＝０．２６５ ｎｉ ＝ １．７２０４７
シ５＝３４．７２ｒＱ ＝ １．５７９ ｄｏ＝０．３２７ ｎａ＝１．５１８２１ １／
６＝５５．Ｑ４ｒ＋ｏ＝ ０．８０３ ｄ＋ｏ ＝ ０．０１８ ｒＨ＝４．１６５ ｄＩＩ ＝ ０．２６６ ｎｌ ”Ｆ
１．６５８３０ シ？＝５７．３３ｒ＋２＝
１．６３６ ｄ＋２＝ ０．０４９ ｒｌｓ ＝ １．２８６ ｄｏｓ ＝ ０．６１５ ｎ８＝ １．７８６５
０ νｇ＝５０．０゜ｒｌｌ ＝ １．０２３ ｆ＝１． ＮＡ＝０．．４． 倍率１４０Ｘｆｐ＝
１．２２． ｆ１＝１．８５５１ ｗＤ＝０．４２５実
施例３ ｒ、 ＝−０，９０１ ｄ＋ ” Ｏ，’３１７ ｎｉ ＝ １．７２９１
６ Ｊ ＝ ５４．６８ｒ２＝ ０．６４５ ｄ２＝ ０．０１７ ｒｓ ” １．３９６ ｄａ ＝０．２６６ ｎ２＝ １．４９７００
シ２＝８１．６１ｒ＋＝ １．５６９ ｄ４＝ ０．０１７ ｒ、＝０．７４９ ｄ５ ＝ ０．３２８ ｎｓ ＝ １．４９７００
シ３＝８１．６１ｒａ” ５．９７９ ｄａ ” ０．２６６ ｎ４ ＝ １．６６９９８
シ、＝３９．３２ｒ７＝ ０．５３４ ｄ７＝ ０．３０７ ｒａ” ０．４０８ ｄａ ＝０．１２３ ｎｓ ＝ １．７２０４７
Ｖｓ ＝ ３４．７２ｒ９＝ ６．５９７ ｄｏ ＝０．３５９’ ｎＢ ＝ １．４９７００
ｒａ ＝ ８１．６１ｒｌｏ＝ ０．６４７ ｄ、。＝ ０．０１８ ｒｌｌ ＝ ４．３３９ ｄ＋＋ ＝ ０．２５２ ｎ７＝ １．６５８３
０ シ？＝５７．３３ｒ１２ ＝−１，６’１７ （ｎ２＝ ０．１２７ ｒｌ３＝ １．３４１ ｄｉ ＝ ０．６１７ ｎＢ ＝ １．’７８６５
０ ’Ｂ ＝ ５０．０Ｏｒ＋＋ ＝ １．０１６ ｆ＝１． ＮＡ＝０．４． 倍率１４０Ｘｆｐ ＝
１．２６ 、ｆ＋ ＝ ２．０３ ｌＷＤ ＝ ０．
４１まただしｒｔ Ｔ ｒ２ ＋・・・、ｒ１４はレン
ズ各面の曲率半径、ｄ４ ＋ ｄ２ ＋・・・、ｄ１３
は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、ｎｌ ｒ ｎ２
＋・・・ｒ ｎＢは各レンズのｄ線に対する屈折率、シ
１．シ２．・・・、ν８は各レンズのｄ線に対するアツ
ベ数である。
６ シ、＝５４．６８ｒ２＝ ０．６９２ ｄ２＝ ０．０１７ ｒ３” １．２８７ ｄ３＝ ０．２６８ ｎ２＝ １．４９７００ １
’２ ＝ ８１．６１ｒ４ ＝ １．５１７ ｄ４＝０．０１７ ｒ５ ＝ ０．７８９ ｄｉ ＝ ０．３３Ｏｎ３ ＝、１．４９７００ シ
３＝８１．６１ｒ６＝ ７．４６８ ｄａ−０，２６７ｎ４＝ １．６５１２８ ν４＝３
８．２５ｒｔ ＝ ０．５７３ ｄ７＝ ０．３０９ ｒＢ＝−０，４１９ ｄ８．＝ ０．１２４ ｎｉ ＝ １．７２０４７
ν５ ＝ ３４．７２ｒ９ ＝ １．８９２ ｄｏ ” ０．３６１ ｎｉ ＝ １．５１７２８
νａ”６９．５６ｒｌＯ＝ −０，７５８ ｄ＋ｏ ＝ ０．０１９ ｒｌｌ ＝ ７．４７１ ｄｏ ＝０．２５３ ｎ７＝ １．６５８３０
シ？＝５７．３３ｒ１□＝ −１，３１４ ｄｕ ＝ ０．０５０ ｒｌ、＝ １．３５４ ｄｏｓ ＝ ０．６９９ ｎ８＝ １．７８６５０
シフ＝５０．０Ｏｒ＋＋ ＝ １．０３２ ｆ＝１． ＮＡ＝０．４． 倍率１４０Ｘｆ ＝
１．３１ 、 ｆｌ＝２．３８ 、 ＷＤ
＝０．４７８実施例２ ｒｌ ＝ ０．９０３ ｄ＋ ” ０．３４３ ｎｌ ＝ １．７２９１６
シ、＝５４．６８ｒ２＝ −０，６５１ ｄ、＝０．０１７ ｒｓ ＝ １．６５２ ｄｓ ” ０．２６６ ｎ２＝ １．４９７００
シ２＝８１．６１ｒ４： １．３３３ ａ、＝０．０１７ ｒ５ ” ｏ、ａ ４１ ｄｓ ＝ ０．３２７ ｎｓ ＝ １．４９７０
０ シ３＝８１．６１ｒ、： ３．３８７ ｄａ ＝０．２６５ ｎｉ ＝ １．６５４１２
’４ ＝ ３９．７０ｒｔ ＝ ０．５１４ ｄ７＝ ０．３０６ ｒ６ ＝ −０，４２６ ｄａ ＝０．２６５ ｎｉ ＝ １．７２０４７
シ５＝３４．７２ｒＱ ＝ １．５７９ ｄｏ＝０．３２７ ｎａ＝１．５１８２１ １／
６＝５５．Ｑ４ｒ＋ｏ＝ ０．８０３ ｄ＋ｏ ＝ ０．０１８ ｒＨ＝４．１６５ ｄＩＩ ＝ ０．２６６ ｎｌ ”Ｆ
１．６５８３０ シ？＝５７．３３ｒ＋２＝
１．６３６ ｄ＋２＝ ０．０４９ ｒｌｓ ＝ １．２８６ ｄｏｓ ＝ ０．６１５ ｎ８＝ １．７８６５
０ νｇ＝５０．０゜ｒｌｌ ＝ １．０２３ ｆ＝１． ＮＡ＝０．．４． 倍率１４０Ｘｆｐ＝
１．２２． ｆ１＝１．８５５１ ｗＤ＝０．４２５実
施例３ ｒ、 ＝−０，９０１ ｄ＋ ” Ｏ，’３１７ ｎｉ ＝ １．７２９１
６ Ｊ ＝ ５４．６８ｒ２＝ ０．６４５ ｄ２＝ ０．０１７ ｒｓ ” １．３９６ ｄａ ＝０．２６６ ｎ２＝ １．４９７００
シ２＝８１．６１ｒ＋＝ １．５６９ ｄ４＝ ０．０１７ ｒ、＝０．７４９ ｄ５ ＝ ０．３２８ ｎｓ ＝ １．４９７００
シ３＝８１．６１ｒａ” ５．９７９ ｄａ ” ０．２６６ ｎ４ ＝ １．６６９９８
シ、＝３９．３２ｒ７＝ ０．５３４ ｄ７＝ ０．３０７ ｒａ” ０．４０８ ｄａ ＝０．１２３ ｎｓ ＝ １．７２０４７
Ｖｓ ＝ ３４．７２ｒ９＝ ６．５９７ ｄｏ ＝０．３５９’ ｎＢ ＝ １．４９７００
ｒａ ＝ ８１．６１ｒｌｏ＝ ０．６４７ ｄ、。＝ ０．０１８ ｒｌｌ ＝ ４．３３９ ｄ＋＋ ＝ ０．２５２ ｎ７＝ １．６５８３
０ シ？＝５７．３３ｒ１２ ＝−１，６’１７ （ｎ２＝ ０．１２７ ｒｌ３＝ １．３４１ ｄｉ ＝ ０．６１７ ｎＢ ＝ １．’７８６５
０ ’Ｂ ＝ ５０．０Ｏｒ＋＋ ＝ １．０１６ ｆ＝１． ＮＡ＝０．４． 倍率１４０Ｘｆｐ ＝
１．２６ 、ｆ＋ ＝ ２．０３ ｌＷＤ ＝ ０．
４１まただしｒｔ Ｔ ｒ２ ＋・・・、ｒ１４はレン
ズ各面の曲率半径、ｄ４ ＋ ｄ２ ＋・・・、ｄ１３
は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、ｎｌ ｒ ｎ２
＋・・・ｒ ｎＢは各レンズのｄ線に対する屈折率、シ
１．シ２．・・・、ν８は各レンズのｄ線に対するアツ
ベ数である。
上記各実施例に対する収差曲線は夫々第２図乃至第４図
に示しである。これらのうち球面収差。
に示しである。これらのうち球面収差。
Ｏ８Ｃ’はｄ、Ｃ，Ｆ線と波長５１０ｎ’１ｒｒｌに対
するものを示しである０又フライングスボットキャスナ
−とじて中心波長が５１０ｎｍで半値幅］、 ＯＯｎｍ
のスペクトルを持つ螢光に対する球面収差を実施例１乃
至実施例３について夫々第５図乃至第７図に示しである
。つまりこれら図に示す球面収差は、上記螢光の中心波
長である５ １０ ｎｍと上記螢光のスペクトルの両端
近くの波長である４ ７５ ｎｍ ＋５７５ ｎｍに対
するものを示しである。尚第５図にはこれら波長のほか
にｄ線のものが又第６図。
するものを示しである０又フライングスボットキャスナ
−とじて中心波長が５１０ｎｍで半値幅］、 ＯＯｎｍ
のスペクトルを持つ螢光に対する球面収差を実施例１乃
至実施例３について夫々第５図乃至第７図に示しである
。つまりこれら図に示す球面収差は、上記螢光の中心波
長である５ １０ ｎｍと上記螢光のスペクトルの両端
近くの波長である４ ７５ ｎｍ ＋５７５ ｎｍに対
するものを示しである。尚第５図にはこれら波長のほか
にｄ線のものが又第６図。
第７図には７２０ ｎｍのものが記載しである。
上記の各実施例およびその収差曲線図から明ら 区か
なように本発明の対物レンズは、像面が平坦で、 −歪
曲収差も小さく、色収差も通常光および螢光に 味つ
いて良好に補正されており、更に作動距離が長くなって
いる。
なように本発明の対物レンズは、像面が平坦で、 −歪
曲収差も小さく、色収差も通常光および螢光に 味つ
いて良好に補正されており、更に作動距離が長くなって
いる。
第１図は本発明対物レンズの断面図、第２図乃至第４図
は本発明の実施例１乃至実施例３の収差曲線図、第５図
乃至第７図は夫々実施例１乃至実施例３の螢光について
の球面収差である。 出願人 オリンパス光学工業株式会社４７− 球面収差 ｏ ｓ ｃ’ ４図 非点収差 歪血収差
は本発明の実施例１乃至実施例３の収差曲線図、第５図
乃至第７図は夫々実施例１乃至実施例３の螢光について
の球面収差である。 出願人 オリンパス光学工業株式会社４７− 球面収差 ｏ ｓ ｃ’ ４図 非点収差 歪血収差
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）正のメニスカスレンズの第１群レンズと、両凸レ
ンズの第２群レンズと、両凸レンズと両凹レンズを貼合
わせた接合レンズの第３群レンズと、両凹レンズと両凸
レンズを貼合わせた接合レンズの第４群レンズと、両凸
レンズの第５群レンズと、負のメニスカスレンズの第６
群レンズとよりなり、次の条件（１）乃至条件（６）を
満足するＩＣマスク検査機用対物レンズ。 （１） １．２ ｆ ＜ ｆｐ＜ １．８ ｆ（２）
１．５ ｆ ＜ ｆＩ （３） ｄｌ＜ ｏ、 ３６ ｆ （４） １．２７ ｆ ＜ ｒ＋３＜ １．４０ ｆ
（５） １．Ｏｆ ＜ ｒ＋＋＜ １．０５ ｆ（６
） シ２．シ３．シロ〉６５ ただしｆは全系の焦点距離、ｆ、は第１群レンズから第
５群レンズまでの合成焦点距離、ｆＩは第１群レンズの
焦５点距離、ｄｌは第１群レンズの肉厚、ｒ１３１ ｒ
１４は夫々第６群レンズの各面の曲率半径、シ２．シ３
．シロは夫々第２群レンズ、第３群レンズの物体側のレ
ンズ、第４群レンズの像側のレンズのアツベ数である。 （２）下記の条件（７）乃至条件（１０）を満足する特
許請求の範囲（１）のＩＣマスク検査機用対物レンズ。 （７） ０．６ ｆ ＜ ｄ＋ａ ＜ｏ、 ７ ｆ（
８） ０．０３ ｆ ＜ｄｌ２＜０．１３ ｆ（９）
ｎ４．ｎｓ ＞ １．６５ （１０）ν４．ν、＜４０ ただしｄｌ３は第６群レンズの肉厚、ｄｌ２は第５群レ
ンズと第６群レンズの間の空気間隔、ｎ４ ＊ ｎ５は
第３群レンズの像側のレンズおよび第４群レンズの物体
側のレンズの屈折率、ν４．ν、は第３群レンズの像側
のレンズおよび第４群レンズの物体側のレンズのアツベ
数である。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57121346A JPS5912411A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | Ｉｃマスク検査機用対物レンズ |
| US06/509,798 US4521086A (en) | 1982-07-14 | 1983-06-30 | Objective for an IC mask testing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57121346A JPS5912411A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | Ｉｃマスク検査機用対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5912411A true JPS5912411A (ja) | 1984-01-23 |
Family
ID=14808993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57121346A Pending JPS5912411A (ja) | 1982-07-14 | 1982-07-14 | Ｉｃマスク検査機用対物レンズ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4521086A (ja) |
| JP (1) | JPS5912411A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0711630B2 (ja) * | 1985-08-07 | 1995-02-08 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡対物レンズ |
| US5258777A (en) * | 1991-08-23 | 1993-11-02 | Eastman Kodak Company | Thermal printer system with a high aperture micro relay lens system |
| US5272568A (en) * | 1991-12-11 | 1993-12-21 | Eastman Kodak Company | High aperture finite conjugate lens system |
| US5274503A (en) * | 1991-08-23 | 1993-12-28 | Eastman Kodak Company | High aperture finite conjugate lens system suitable for use as a micro relay lens |
| JP6472558B1 (ja) * | 2018-03-13 | 2019-02-20 | エーエーシー テクノロジーズ ピーティーイー リミテッド | 撮像光学レンズ |
| US10656379B2 (en) * | 2018-04-26 | 2020-05-19 | AAC Technologies Pte. Ltd. | Camera optical lens |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5436746A (en) * | 1977-08-26 | 1979-03-17 | Olympus Optical Co Ltd | Objective lens of microscope |
-
1982
- 1982-07-14 JP JP57121346A patent/JPS5912411A/ja active Pending
-
1983
- 1983-06-30 US US06/509,798 patent/US4521086A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4521086A (en) | 1985-06-04 |
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