JP7194007B2

JP7194007B2 - 乾燥系対物レンズ

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Publication number: JP7194007B2
Application number: JP2018237017A
Authority: JP
Inventors: 隆笠原
Original assignee: Evident Corp
Current assignee: Evident Corp
Priority date: 2018-04-19
Filing date: 2018-12-19
Publication date: 2022-12-21
Anticipated expiration: 2038-12-19
Also published as: JP2019191555A

Description

本明細書の開示は、乾燥系対物レンズに関する。

近年、撮像素子の高画素化が著しく、顕微鏡分野において広視野と高分解能とを両立した観察及び画像取得が可能な顕微鏡装置への期待が高まっている。そして、そのような顕微鏡装置には、高い開口数（以降、ＮＡと記す）を有し、かつ広視野に渡って高い収差性能を実現した対物レンズが求められる。また、生物顕微鏡で使用される場合であれば、対物レンズは４００ｎｍ程度の短波長から近赤外波長までの広帯域での励起による蛍光観察にも対応していることが望ましい。さらに、観察時における作業性を考慮すると、対物レンズは乾燥系対物レンズであることが望ましい。

従来技術における高ＮＡを有する乾燥系対物レンズは、例えば、特許文献１に記載されている。

特開２０１０－１８６１６２号公報

しかしながら、上述した特許文献１に記載された対物レンズは、軸上色収差の補正と、像面湾曲やコマ収差などの軸外収差の補正が十分ではない。このため、広い視野に対して広い波長域で高い性能を発揮することは困難である。

以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、色収差と軸外性能とを良好に補正した高ＮＡを有する乾燥系対物レンズを提供することである。

本発明の一態様に係る対物レンズは、３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する乾燥系対物レンズであって、物体側から順に、各々が単レンズである複数のメニスカスレンズ成分からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、接合レンズを含み、最も物体側に両凸形状のレンズ成分を有し、前記第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する、正の屈折力を有し、前記第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換して出射する第２レンズ群と、互いに凹面を向けている前群と後群からなり、負の屈折力を有する第３レンズ群と、からなる。前記前群は、１つのレンズ成分からなり、前記前群と前記後群の境界は、前記乾燥系対物レンズのうち最も像側にある、互いに凹面を向けているレンズ成分の間である。この対物レンズは、以下の条件式を満たす。
0.43 ≦ （ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１ ≦ 0.9 （１）
｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ ≦ 0.2 （２）
1.3 ≦ ｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ ≦ 2.4 （３）
但し、ｇｔ_１は前記後群に含まれる最も物体側のレンズ成分の光軸上における厚さ、ｈｇ_１は前記レンズ成分の最も物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、ｈｇ_２は前記レンズ成分の最も像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。ｄ_１は前記複数のメニスカスレンズ成分のうちの最も物体側の第１メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さ、ｄ_２は前記複数のメニスカスレンズ成分のうちの２番目に物体側の第２メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さ、Ｆは前記乾燥系対物レンズの焦点距離である。ｒｇ_２は前記第２メニスカスレンズ成分の像側のレンズ面の曲率半径である。
本発明の別の態様に係る対物レンズは、３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する乾燥系対物レンズであって、物体側から順に、複数のメニスカスレンズ成分からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、接合レンズを含み、最も物体側に両凸形状のレンズ成分を有し、前記第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する、正の屈折力を有する第２レンズ群と、互いに凹面を向けている前群と後群からなり、負の屈折力を有し、前記第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換して出射する第３レンズ群と、からなる。前記前群は、１つのレンズ成分からなり、前記前群と前記後群の境界は、前記乾燥系対物レンズのうち最も像側にある、互いに凹面を向けているレンズ成分の間である。この対物レンズは、以下の条件式を満たす。
0.43 ≦ （ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１ ≦ 0.9 （１）
57.6 ≦ νｄ_１ ≦ 87.3 （５）
ただし、ｇｔ_１は前記後群に含まれる最も物体側のレンズ成分の光軸上における厚さ、ｈｇ_１は前記レンズ成分の最も物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、ｈｇ_２は前記レンズ成分の最も像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。νｄ_１は前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｄ線に対するアッベ数である。

本発明のさらに別の態様に係る対物レンズは、３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する乾燥系対物レンズであって、物体側から順に、複数のメニスカスレンズ成分からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、接合レンズを含み、最も物体側に両凸形状のレンズ成分を有し、前記第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する、正の屈折力を有する第２レンズ群と、互いに凹面を向けている前群と後群からなり、負の屈折力を有し、前記第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換して出射する第３レンズ群と、からなる。前記前群は、１つのレンズ成分からなり、前記前群と前記後群の境界は、前記乾燥系対物レンズのうち最も像側にある、互いに凹面を向けているレンズ成分の間である。この対物レンズは、以下の条件式を満たす。
57.6 ≦ νｄ_１≦ 87.3 （５）
但し、νｄ_１は前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｄ線に対するアッベ数である。

上記の態様によれば、色収差と軸外性能とを良好に補正した高ＮＡを有する乾燥系対物レンズを提供することができる。

本発明の実施例１に係る対物レンズ１の断面図である。結像レンズ１０の断面図である。対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。本発明の実施例２に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。本発明の実施例３に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。本発明の実施例４に係る対物レンズ４の断面図である。対物レンズ４と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。本発明の実施例５に係る対物レンズ５の断面図である。対物レンズ５と結像レンズ１０からなる光学系の収差図である。

本願の一実施形態に係る対物レンズについて説明する。本実施形態に係る対物レンズ（以降、単に対物レンズと記す）は、結像レンズと組み合わせて使用される無限遠補正型の顕微鏡対物レンズである。この対物レンズは、標本と対物レンズの間に空気を介在させた状態で標本を観察するときに用いられる、いわゆる乾燥系対物レンズである。

この対物レンズは、３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する。また、この対物レンズは、物体側から順に配置された、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群からなる。

第１レンズ群は、複数のメニスカスレンズ成分からなり、第２レンズ群の最も物体側のレンズ成分は、メニスカスレンズ成分ではない。第２レンズ群は、少なくとも１つの接合レンズを含み、第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する。第３レンズ群は、物体側から順に配置された、互いに凹面を向けている前群と後群からなる。前群は、単一のレンズ成分からなる。

なお、本明細書において、光線束(pencil of light)とは、物体の一点（物点）から出射した光線の束のことである。また、レンズ成分とは、単レンズ、接合レンズを問わず、物点からの光線が通るレンズ面のうち物体側の面と像側の面の２つの面のみが空気（又は浸液）と接する一塊のレンズブロックのことである。

第１レンズ群及び第２レンズ群は、物点からの発散光線束を少しずつ屈折させ、収斂光線束に変換して、第３レンズ群に入射させる。第３レンズ群は、第２レンズ群からの収斂光線束を互いに向かい合って配置されている強い負の屈折力を有する凹面において発散光線束に変換し、その後、平行光線束に変換して、出射する。

第１レンズ群及び第２レンズ群が物点からの発散光線束を少しずつ屈折させて収斂光線束に変換してから第３レンズ群に入射させることにより、第３レンズ群内部でのマージナル光線の高さを第２レンズ群内部でのマージナル光線の高さよりも低くすることができる。これにより、負の屈折力を有する第３レンズ群でペッツバール和を効果的に補正することが可能となり、その結果、広視野に渡り像面湾曲を良好に補正することが可能となっている。また、光線高さの高い第２レンズ群に接合レンズを含めることで、色収差を良好に補正することが可能となっている。

また、この対物レンズは、以下の条件式（１）を満たすように構成されている。
0.43 ≦ （ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１ ≦ 0.9 （１）

但し、ｇｔ_１は、後群に含まれる最も物体側のレンズ成分（後群第１成分と記す。）の光軸上における厚さである。ｈｇ_１は、後群第１成分の最も物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。ｈｇ_２は、後群第１成分の最も像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。なお、これらの軸上マージナル光線の高さは、光線がe線である場合の軸上マージナル光線の高さである。

条件式（１）は、後群第１成分への入射光と後群第１成分からの射出光との光線高さの差と後群第１成分の厚さの関係を規定した条件式である。後群第１成分で光線高さを大きく変化させることで、コマ収差と像面湾曲を良好に補正することができる。このため、３０倍以下の倍率を有する焦点距離の長い対物レンズにおいて、視野周辺部までコントラストの高い像を得ることが可能となる。

（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１が上限値を上回ると、後群第１成分の入射側と射出側のレンズ面で光線が強く屈折するため、高次の球面収差、コマ収差が発生してしまい、良好な像を得ることが困難となる。また、（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１が下限値を下回ると、焦点距離の長い対物レンズでは、コマ収差と像面湾曲を十分に補正することが難しい。このため、周辺部までコントラストの高い像を得ることが困難となる。

対物レンズは、条件式（１）の代わりに下記の条件式（１－１）を満たすように構成されてもよい。
0.43 ≦ （ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１ ≦ 0.6 （１－１）

以上のように構成された対物レンズによれば、高ＮＡを有し、且つ、色収差と軸外性能とを良好に補正することができる。なお、対物レンズは、条件式（１）の代わりに、後述する条件式（５）を満たしても良い。特に、上述した低倍から中倍程度の倍率を有する乾燥系対物レンズが条件式（５）を満たす場合には、ｈ線から近赤外域までの広い波長域において色収差が良好に補正される。このため、共焦点顕微鏡において良好な多色蛍光観察を行うことが可能となる。

以下、対物レンズの望ましい構成について説明する。
第１レンズ群に含まれる複数のメニスカスレンズ成分の各々は、単レンズであることが望ましい。乾燥系対物レンズにおいて、光線高さが低い第１レンズ群にそれぞれ単レンズからなる複数のメニスカスレンズ成分を含まれることで、色収差の発生を抑えながら、高い開口数を得ることが可能となるからでる。

第２レンズ群は、物体側から順に配置された、正レンズ、負レンズ、正レンズからなる３枚接合レンズを含むことが望ましい。負レンズの両側のレンズ面に色収差を補正する作用を有する正負正の３枚接合レンズを、光線高さが最も高くなる第２レンズ群に配置することで、効果的に色収差を補正することが可能となるからである。

第３レンズ群は、いわゆるダブルガウスと呼ばれるレンズ構成を含むことが望ましい。より詳細には、第３レンズ群は、物体側から順に、第１凸レンズ（正レンズ）、第１凹レンズ（負レンズ）、第２凹レンズ（負レンズ）、第２凸レンズ（正レンズ）を含むことが望ましい。第３レンズ群がダブルガウスを含むことで、互いに向かい合った一組の凹面におけるマージナル光線の高さを小さくすることができるからである。これにより、ペッツバール和を効果的に補正することが可能となり、像面湾曲を十分に小さくすることができる。

第３レンズ群に含まれる後群は、少なくとも２つのレンズ成分を含むことが望ましい。より詳細には、ダブルガウスを構成するレンズのうちの第２凹レンズと第２凸レンズが、空気を隔てて隣り合って配置されることで、第２凹レンズの像側のレンズ面と、第２凸レンズの物体側のレンズ面で、独立に収差補正を行うことが可能となる。これにより、コマ収差と倍率色収差の相関を小さくすることができるため、コマ収差と倍率色収差の両方をバランス良く補正することが容易になる。

対物レンズは、以下の条件式（２）から条件式（６）の少なくとも１つを満たすことが望ましい。
｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ ≦ 0.2 （２）
1.3 ≦ ｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ ≦ 2.4 （３）
0.6 ≦ Ｌｆ／Ｌｂ ≦ 1.6 （４）
57.6 ≦ νｄ_１ ≦ 87.3 （５）
0.440 ≦ Δｈｇ ≦ 0.453 （６）

但し、ｄ_１は、第１レンズ群に含まれる複数のメニスカスレンズ成分のうちの最も物体側に配置された第１メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さである。ｄ_２は、第１レンズ群に含まれる複数のメニスカスレンズ成分のうちの２番目に物体側に配置された第２メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さである。Ｆは、この対物レンズの焦点距離である。なお、この焦点距離は、e線に対する焦点距離である。ｒｇ_２は、第２メニスカスレンズ成分の像側のレンズ面の曲率半径である。Ｌｆは、前群の全長である。Ｌｂは、後群の全長である。νｄ_１は、対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｄ線に対するアッベ数である。Δｈｇは、対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｈ線の部分分散比であり、Δｈｇ＝（ｎ_ｈ－ｎ_ｇ）/（ｎ_Ｆ－ｎ_Ｃ）で定義される。ｎ_ｈはｈ線に対する屈折率であり、ｎ_ＣはＣ線に対する屈折率であり、ｎ_ＦはＦ線に対する屈折率であり、ｎ_ｇはｇ線に対する屈折率である。

条件式（２）は、第１メニスカスレンズ成分と第２メニスカスレンズ成分の厚さの差と対物レンズの焦点距離の関係を規定した条件式である。第１メニスカスレンズ成分はコマ収差及び像面湾曲の補正に大きく寄与し、第２メニスカスレンズ成分は軸上色収差の補正に大きく寄与している。対物レンズの焦点距離で規格化した第１メニスカスレンズ成分の厚さと第２メニスカスレンズ成分の厚さとの差が小さいことで、より詳細には、｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆを上限値以内に抑えることで、良好な軸上色収差性能を維持しつつ、周辺部まで高コントラストの像を得ることが可能となる。

条件式（３）は、第２メニスカスレンズ成分の厚さと第２メニスカスレンズ成分の像側のレンズ面の曲率半径の比を規定した条件式である。第２メニスカスレンズ成分の厚さに対して像側のレンズ面の曲率半径を小さくすることで、より詳細には、｜ｒｇ_２／ｄ_２｜を上限値以内に抑えることで、第２メニスカスレンズ成分が十分に強い屈折力を有することになる。このため、像側のレンズ面から出射される光線の高さや角度を抑えることが可能となり、３０倍以下の倍率を有する焦点距離の長い乾燥系対物レンズにおいて高ＮＡを得ることが容易になる。また、｜ｒｇ_２／ｄ_２｜を下限値以上とすることで、像側のレンズ面で過度に強く屈折することを回避することが可能であり、高次の球面収差に起因する像の劣化を抑制することができる。

条件式（４）は、第３レンズ群内の前群と後群の全長比を規定した条件式である。第３レンズ群では、前群において光線高さを低下させ、後群において光線高さを上昇させることで、主に像面湾曲とコマ収差が補正される。前群の全長と後群の全長が大きく異ならないことで、３０倍以下の倍率を有する、焦点距離の長く高開口数の乾燥系対物レンズにおいてその他の収差の発生を抑えながら、像面湾曲とコマ収差を補正することが容易となる。より詳細には、Ｌｆ／Ｌｂを上限値以内に抑えることで、対物レンズの射出瞳位置が物体面から離れすぎることなく設計することが可能となる。このため、色収差の発生量を抑えることが可能であり、特に倍率色収差を良好に補正することができる。また、Ｌｆ／Ｌｂを下限値以上とすることで、対物レンズの射出瞳位置が物体面に近づきすぎることなく設計することが可能となる。このため、前群での像面湾曲とコマ収差の発生量を抑えることが可能となるため、像面湾曲とコマ収差を良好に補正することができる。

条件式（５）は、像面湾曲と色収差を良好に保つために、対物レンズの最も物体側のレンズが有すべきｄ線に対するアッベ数を規定した条件式である。νｄ_１が上限値を上回ると、３０倍以下で且つ高開口数を有する乾燥系対物レンズでは、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲の補正が困難になる。νｄ_１が下限値を下回ると、最も物体側のレンズで倍率色収差色が大きく発生する。そのため、倍率色収差が十分に補正できなくなる。

条件式（６）は、色収差を良好に保つために、対物レンズの最も物体側のレンズが有すべきｈ線の部分分散比を規定した条件式である。Δｈｇが上限値を上回ると、部分分散比に対応して屈折率の低いレンズしか存在しない。つまり、屈折率の低いレンズしか上限値を上回る部分分散比を有しない。このため、上限値を上回る部分分散比を有するレンズを用いる場合、レンズ枚数を増やさず高開口数にするためには、曲率半径を小さくする必要があり、その結果、高次の収差が発生してしまう。Δｈｇが下限値を下回ると、ｈ線の色収差を補正することが困難になる。

なお、対物レンズは、条件式（２）の代わりに下記の条件式（２－１）を満たすように構成されてもよい。対物レンズは、条件式（３）の代わりに下記の条件式（３－１）を満たすように構成されてもよい。対物レンズは、条件式（４）の代わりに下記の条件式（４－１）を満たすように構成されてもよい。対物レンズは、条件式（５）の代わりに下記の条件式（５－１）を満たすように構成されてもよい。対物レンズは、条件式（６）の代わりに下記の条件式（６－１）を満たすように構成されてもよい。
｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ ≦ 0.18 （２－１）
1.4 ≦ ｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ ≦ 2.1 （３－１）
0.8 ≦ Ｌｆ／Ｌｂ ≦ 1.4 （４－１）
58.5 ≦ νｄ_１ ≦ 72.0 （５－１）
0.448 ≦ Δｈｇ ≦ 0.451 （６－１）

また、対物レンズは、上述したいずれかの条件式を単独で用いても、自由に組み合わせて用いてもよく、どのような組み合わせであっても十分な効果を奏する。また、上述した条件式の上限値、下限値をそれぞれ単独に変更して新たな条件式を作成してもよく、その場合であっても、同様の効果を奏する。

以下、上述した対物レンズの実施例について具体的に説明する。

［実施例１］
図１は、本実施例に係る対物レンズ１の断面図である。対物レンズ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３からなる。なお、対物レンズ１は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。

第１レンズ群Ｇ１は、複数のメニスカスレンズ成分からなる。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１（第１メニスカスレンズ成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ２（第２メニスカスレンズ成分）と、を含んでいる。レンズＬ１とレンズＬ２は、それぞれ単レンズである。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１を含み、第１レンズ群Ｇ１からの発散光線束を収斂光線束へ変換する。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズであるレンズＬ３と、３枚接合レンズである接合レンズＣＬ１と、を含んでいる。３枚接合レンズは、物体側から順に、両凸レンズであるレンズＬ４と、両凹レンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６からなる。

第３レンズ群Ｇ３は、互いに凹面を向けている、前群（接合レンズＣＬ２）と後群（レンズＬ９、レンズＬ１０）からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカス形状を有する接合レンズＣＬ２と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ９（後群第１成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、を含んでいる。接合レンズＣＬ２は、両凸レンズであるレンズＬ７と両凹レンズであるレンズＬ８とからなる２枚接合レンズである。即ち、第３レンズ群は、物体側から順に配置された、第１凸レンズであるレンズＬ７、第１凹レンズであるレンズＬ８、第２凹レンズであるレンズＬ９、第２凸レンズであるレンズＬ１０からなる、ダブルガウスを含んでいる。

対物レンズ１の各種データは、以下のとおりである。なお、βは、対物レンズ１を180mmの焦点距離を有する結像レンズと組み合わせたときの倍率である。ＮＡ_ｏｂは、対物レンズ１の物体側の開口数である。ｆ_Ｇ１、ｆ_Ｇ２、ｆ_Ｇ３は、それぞれ第１レンズ群Ｇ１の焦点距離、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離、第３レンズ群Ｇ３の焦点距離である。なお、基準波長はｅ線である。

β=-20, ＮＡ_ｏｂ=0.8, ｆ_Ｇ１=14.714mm, ｆ_Ｇ２=24.120mm, ｆ_Ｇ３=-76.418mm, ｇｔ_１=2.4854mm, ｈｇ_１=4.9121mm, ｈｇ_２=6.3050mm, ｄ_１=5.1142mm, ｄ_２=4.0708mm, Ｆ=8.9985mm, ｒｇ_２=-7.7412mm, Ｌｆ=6.8638mm, Ｌｂ=5.9202mm, νｄ_１= 65.44, Δｈｇ=0.450512

対物レンズ１のレンズデータは、以下のとおりである。なお、レンズデータ中のINFは無限大（∞）を示している。
対物レンズ１
s r d ne νd
0 INF 0.1700 1.52626 54.41
1 INF 1.1700
2 -3.1485 5.1142 1.60520 65.44
3 -4.9459 0.3439
4 -21.3731 4.0708 1.43986 94.66
5 -7.7412 0.3283
6 23.7065 3.8574 1.43985 94.93
7 -28.0810 4.6645
8 38.8862 4.9835 1.43985 94.93
9 -10.6104 1.5000 1.64132 42.41
10 20.0426 5.1722 1.43985 94.93
11 -13.3781 0.2448
12 9.8500 5.3638 1.43985 94.93
13 -22.0444 1.5000 1.64132 42.41
14 7.7482 5.0000
15 -6.1396 2.4854 1.59143 61.14
16 -11.5747 0.1886
17 -19.5016 3.2462 1.74341 32.26
18 -10.7423

ここで、sは面番号を、rは曲率半径(mm)を、dは面間隔(mm)を、neはe線に対する屈折率を、νdはｄ線に対するアッベ数を示す。これらの記号は、以降の実施例でも同様である。なお、面番号s0,s1が示す面は、それぞれカバーガラスＣＧの物体側の面、カバーガラスＣＧの像側の面である。面番号s2,s18が示す面は、それぞれ対物レンズ１の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。また、例えば、面間隔d1は、面番号s1が示す面から面番号s2が示す面までの光軸上の距離を示している。

対物レンズ１は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。また、対物レンズ１は、条件式（５）及び条件式（６）も満たしている。
（１）（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１= 0.560
（２）｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ = 0.116
（３）｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ = 1.902
（４）Ｌｆ／Ｌｂ = 0.863

図２は、対物レンズ１と組み合わせて使用される結像レンズ１０の断面図である。結像レンズ１０は、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて物体の拡大像を形成する顕微鏡結像レンズである。結像レンズ１０は、物体側から順に配置された、接合レンズＣＴＬ１と接合レンズＣＴＬ２からなる。接合レンズＣＴＬ１は、両凸レンズであるレンズＴＬ１と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＴＬ２と、からなる。接合レンズＣＴＬ２は、両凸レンズであるレンズＴＬ３と、両凹レンズであるレンズＴＬ４と、からなる。結像レンズ１０は、対物レンズ１の最も像側のレンズ面s18から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面s1までの光軸上の距離が１１４．６６５ｍｍになるように、配置されている。なお、結像レンズ１０の焦点距離は１７９．９９mmである。

結像レンズ１０のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１０
s r d ne νd
1 68.7541 7.7321 1.48915 70.23
2 -37.5679 3.4742 1.81078 40.92
3 -102.8477 0.6973
4 84.3099 6.0238 1.83932 37.16
5 -50.7100 3.0298 1.64824 40.82
6 40.6619

図３は、対物レンズ１と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ１と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図３（ａ）は球面収差図であり、図３（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図３（ｃ）は非点収差図であり、図３（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。なお、図中の“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。図３に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

［実施例２］
図４は、本実施例に係る対物レンズ２の断面図である。対物レンズ２は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３からなる。なお、対物レンズ２は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。

対物レンズ２の各種データは、以下のとおりである。
β=-20, ＮＡ_ｏｂ=0.8, ｆ_Ｇ１=21.927mm, ｆ_Ｇ２=18.790mm, ｆ_Ｇ３=-58.470mm, ｇｔ_１=2.4852mm, ｈｇ_１=4.8967mm, ｈｇ_２=6.2818mm, ｄ_１=4.6762mm, ｄ_２=3.5581mm, Ｆ=8.9970mm, ｒｇ_２=-6.7957mm, Ｌｆ=6.2937mm, Ｌｂ=5.8969mm, νｄ_１= 71.3, Δｈｇ= 0.449875

対物レンズ２のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ２
s r d ne νd
0 INF 0.1700 1.52626 54.41
1 INF 1.1700
2 -3.1129 4.6762 1.57098 71.30
3 -5.0543 0.2483
4 -10.4984 3.5581 1.49846 81.54
5 -6.7957 0.2485
6 30.0054 4.1552 1.43985 94.93
7 -18.3726 4.5623
8 16.1689 6.4511 1.43985 94.93
9 -13.3141 1.5000 1.64132 42.41
10 13.9146 5.1873 1.43985 94.93
11 -15.4042 0.2440
12 11.4105 4.7937 1.43985 94.93
13 -16.2900 1.5000 1.64132 42.41
14 8.3092 5.0000
15 -6.0703 2.4852 1.59143 61.14
16 -10.8089 0.1893
17 -18.2915 3.2224 1.74341 32.26
18 -10.6176

ここで、面番号s2,s18が示す面は、それぞれ対物レンズ２の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。なお、結像レンズ１０は、対物レンズ２の最も像側のレンズ面s18から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面s1までの光軸上の距離が１１４．６５５ｍｍになるように、配置されている。

対物レンズ２は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。また、対物レンズ２は、条件式（５）及び条件式（６）も満たしている。
（１）（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１= 0.557
（２）｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ = 0.124
（３）｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ = 1.910
（４）Ｌｆ／Ｌｂ = 0.937

図５は、対物レンズ２と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ２と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図５（ａ）は球面収差図であり、図５（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図５（ｃ）は非点収差図であり、図５（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。図５に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

［実施例３］
図６は、本実施例に係る対物レンズ３の断面図である。対物レンズ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３からなる。なお、対物レンズ３は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。

対物レンズ３の各種データは、以下のとおりである。
β=-20, ＮＡ_ｏｂ=0.8, ｆ_Ｇ１=21.012mm, ｆ_Ｇ２=18.939mm, ｆ_Ｇ３=-53.292mm, ｇｔ_１=2.4864mm, ｈｇ_１=4.8879mm, ｈｇ_２=6.2684mm, ｄ_１=4.8148mm, ｄ_２=3.9975mm, Ｆ=8.9970mm, ｒｇ_２=-7.1646mm, Ｌｆ=6.4015mm, Ｌｂ=5.9044mm, νｄ_１= 68.3, Δｈｇ= 0.452134

対物レンズ３のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ３
s r d ne νd
0 INF 0.1700 1.52626 54.41
1 INF 1.1700
2 -3.2576 4.8148 1.59446 68.30
3 -5.1068 0.2496
4 -10.7156 3.9975 1.49846 81.54
5 -7.1646 0.2502
6 26.9829 3.9849 1.43985 94.93
7 -20.4865 4.7103
8 15.8841 5.8149 1.43985 94.93
9 -13.8407 1.5000 1.64132 42.41
10 13.8407 5.1488 1.43985 94.93
11 -15.8537 0.2446
12 12.2969 4.9015 1.43985 94.93
13 -13.7829 1.5000 1.64132 42.41
14 8.5603 5.0000
15 -6.0580 2.4864 1.59143 61.14
16 -10.6080 0.1901
17 -18.1664 3.2279 1.74341 32.26
18 -10.6108

ここで、面番号s2,s18が示す面は、それぞれ対物レンズ３の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。なお、結像レンズ１０は、対物レンズ３の最も像側のレンズ面s18から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面s1までの光軸上の距離が１１４．６９８ｍｍになるように、配置されている。

対物レンズ３は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。また、対物レンズ３は、条件式（５）及び条件式（６）も満たしている。
（１）（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１= 0.555
（２）｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ = 0.091
（３）｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ = 1.792
（４）Ｌｆ／Ｌｂ = 0.922

図７は、対物レンズ３と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ３と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図７（ａ）は球面収差図であり、図７（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図７（ｃ）は非点収差図であり、図７（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。図７に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

［実施例４］
図８は、本実施例に係る対物レンズ４の断面図である。対物レンズ４は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３からなる。なお、対物レンズ４は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１及び接合レンズＣＬ２を含み、第１レンズ群Ｇ１からの発散光線束を収斂光線束へ変換する。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズであるレンズＬ３と、３枚接合レンズである接合レンズＣＬ１と、２枚接合レンズである接合レンズＣＬ２と、を含んでいる。３枚接合レンズは、物体側から順に、両凸レンズであるレンズＬ４と、両凹レンズであるレンズＬ５と、両凸レンズであるレンズＬ６からなる。２枚接合レンズは、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ７と、両凸レンズであるレンズＬ８からなる。

第３レンズ群Ｇ３は、互いに凹面を向けている、前群（接合レンズＣＬ３）と後群（レンズＬ１１、レンズＬ１２）からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、接合レンズＣＬ３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１１（後群第１成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１２と、を含んでいる。接合レンズＣＬ３は、両凸レンズであるレンズＬ９と両凹レンズであるレンズＬ１０とからなる２枚接合レンズである。即ち、第３レンズ群は、物体側から順に配置された、第１凸レンズであるレンズＬ９、第１凹レンズであるレンズＬ１０、第２凹レンズであるレンズＬ１１、第２凸レンズであるレンズＬ１２からなる、ダブルガウスを含んでいる。

対物レンズ４の各種データは、以下のとおりである。
β=-20, ＮＡ_ｏｂ=0.85, ｆ_Ｇ１=33.969mm, ｆ_Ｇ２=16.619mm, ｆ_Ｇ３=-75.641mm, ｇｔ_１=2.6098mm, ｈｇ_１=5.5339mm, ｈｇ_２=6.6569mm, ｄ_１=3.4603mm, ｄ_２=3.1935mm, Ｆ=8.9988mm, ｒｇ_２=-5.2556mm, Ｌｆ=5.2509mm, Ｌｂ=6.9328mm, νｄ_１= 59.0, Δｈｇ= 0.450764

対物レンズ４のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ４
s r d ne νd
0 INF 0.1700 1.52626 54.41
1 INF 0.6993
2 -2.8204 3.4603 1.69841 59.00
3 -6.4593 0.2458
4 -9.0625 3.1935 1.59446 68.30
5 -5.2556 0.2469
6 33.4843 2.7596 1.59446 68.30
7 -20.2765 1.7119
8 27.1383 6.0293 1.43985 94.93
9 -11.6092 1.0000 1.64132 42.41
10 15.2557 4.7007 1.43985 94.93
11 -15.2057 0.9421
12 22.7822 1.0000 1.69841 59.00
13 9.9300 5.9691 1.43985 94.93
14 -29.7436 0.2492
15 16.3026 4.1074 1.43985 94.93
16 -67.6000 1.1435 1.64132 42.41
17 10.9614 5.0000
18 -8.3089 2.6098 1.69841 59.00
19 -13.4504 1.3242
20 -21.0854 2.9988 1.74341 32.26
21 -12.7409

ここで、面番号s2,s21が示す面は、それぞれ対物レンズ４の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。なお、結像レンズ１０は、対物レンズ４の最も像側のレンズ面s21から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面s1までの光軸上の距離が１１４．４９９ｍｍになるように、配置されている。

対物レンズ４は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。また、対物レンズ４は、条件式（５）及び条件式（６）も満たしている。
（１）（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１= 0.430
（２）｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ = 0.030
（３）｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ = 1.646
（４）Ｌｆ／Ｌｂ = 1.320

図９は、対物レンズ４と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ４と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図９（ａ）は球面収差図であり、図９（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図９（ｃ）は非点収差図であり、図９（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。図９に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

［実施例５］
図１０は、本実施例に係る対物レンズ５の断面図である。対物レンズ５は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３からなる。なお、対物レンズ５は、乾燥系の顕微鏡用対物レンズである。

第２レンズ群Ｇ２は、接合レンズＣＬ１及び接合レンズＣＬ２を含み、第１レンズ群Ｇ１からの発散光線束を収斂光線束へ変換する。第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、２枚接合レンズである接合レンズＣＬ１と、３枚接合レンズである接合レンズＣＬ２と、を含んでいる。２枚接合レンズは、物体側から順に、両凸レンズであるレンズＬ３と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ４とからなる。３枚接合レンズは、物体側から順に、両凸レンズであるレンズＬ５と、両凹レンズであるレンズＬ６と、両凸レンズであるレンズＬ７とからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、互いに凹面を向けている、前群（接合レンズＣＬ３）と後群（接合レンズＣＬ４、レンズＬ１２）からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、接合レンズＣＬ３と、接合レンズＣＬ４（後群第１成分）と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１２と、を含んでいる。接合レンズＣＬ３は、両凸レンズであるレンズＬ８と両凹レンズであるレンズＬ９とからなる２枚接合レンズであり、全体として像側に凹面を向けたメニスカス形状を有する。また、接合レンズＣＬ４は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１０と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズであるレンズＬ１１とからなる２枚接合レンズであり、全体として物体側に凹面を向けたメニスカス形状を有する。即ち、第３レンズ群は、物体側から順に配置された、第１凸レンズであるレンズＬ８、第１凹レンズであるレンズＬ９、第２凹レンズであるレンズＬ１０、第２凸レンズであるレンズＬ１１からなる、ダブルガウスを含んでいる。

対物レンズ５の各種データは、以下のとおりである。
β=-20, ＮＡ_ｏｂ=0.9, ｆ_Ｇ１=13.205mm, ｆ_Ｇ２=23.094mm, ｆ_Ｇ３=-119.1265mm, ｇｔ_１=4.9471mm, ｈｇ_１=5.4368mm, ｈｇ_２=7.5835mm, ｄ_１=3.8360mm, ｄ_２=4.7280mm, Ｆ=8.9986mm, ｒｇ_２=-6.7319mm, Ｌｆ=6.6979mm, Ｌｂ=7.1638mm, νｄ_１= 59.0, Δｈｇ= 0.450764

対物レンズ５のレンズデータは、以下のとおりである。
対物レンズ５
s r d ne νd
0 INF 0.1700 1.52626 54.41
1 INF 0.7000
2 -3.2439 3.8360 1.69841 59.00
3 -4.4730 0.2500
4 -8.1816 4.7280 1.69841 59.00
5 -6.7317 0.2500
6 33.2321 7.2559 1.57098 71.30
7 -8.9286 1.0000 1.64132 42.41
8 -18.4167 0.2500
9 95.1016 3.6647 1.43985 94.93
10 -15.1492 1.0000 1.64132 42.41
11 12.4281 6.2785 1.43985 94.93
12 -14.4610 0.7890
13 11.2126 5.2164 1.49846 81.54
14 -27.8000 1.4815 1.64132 42.41
15 8.4946 5.5547
16 -6.6741 0.9979 1.77621 49.60
17 -16.5740 3.9492 1.74341 32.26
18 -9.4344 0.2012
19 -38.5353 2.0155 1.43985 94.93
20 -18.6541

ここで、面番号s2,s20が示す面は、それぞれ対物レンズ５の最も物体側のレンズ面、最も像側のレンズ面である。なお、結像レンズ１０は、対物レンズ５の最も像側のレンズ面s20から結像レンズ１０の最も物体側のレンズ面s1までの光軸上の距離が１１９．４７２になるように、配置されている。

対物レンズ５は、以下で示されるように、条件式（１）から（４）を満たしている。また、対物レンズ５は、条件式（５）及び条件式（６）も満たしている。
（１）（ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１= 0.434
（２）｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ = 0.099
（３）｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ = 1.424
（４）Ｌｆ／Ｌｂ = 1.070

図１１は、対物レンズ５と結像レンズ１０からなる光学系の収差図であり、対物レンズ５と結像レンズ１０が形成する像面における収差を示している。図１１（ａ）は球面収差図であり、図１１（ｂ）は正弦条件違反量を示した図であり、図１１（ｃ）は非点収差図であり、図１１（ｄ）は像高比0.7におけるコマ収差図である。図１１に示されるように、本実施例では、広い視野に渡って収差が良好に補正されている。

１、２、３、４、５対物レンズ
１０結像レンズ
ＣＧカバーガラス
Ｇ１第１レンズ群
Ｇ２第２レンズ群
Ｇ３第３レンズ群
Ｌ１～Ｌ１２、ＴＬ１～ＴＬ４レンズ
ＣＬ１～ＣＬ４、ＣＴＬ１、ＣＴＬ２接合レンズ

Claims

３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する乾燥系対物レンズであって、物体側から順に、
各々が単レンズである複数のメニスカスレンズ成分からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
接合レンズを含み、最も物体側に両凸形状のレンズ成分を有し、前記第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する、正の屈折力を有する第２レンズ群と、
互いに凹面を向けている前群と後群からなり、負の屈折力を有し、前記第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換して出射する第３レンズ群と、からなり、
前記前群は、１つのレンズ成分からなり、
前記前群と前記後群の境界は、前記乾燥系対物レンズのうち最も像側にある、互いに凹面を向けているレンズ成分の間であり、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.43 ≦ （ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１ ≦ 0.9 （１）
｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ ≦ 0.2 （２）
1.3 ≦ ｜ｒｇ_２／ｄ_２｜ ≦ 2.4 （３）
ただし、ｇｔ_１は前記後群に含まれる最も物体側のレンズ成分の光軸上における厚さ、ｈｇ_１は前記レンズ成分の最も物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、ｈｇ_２は前記レンズ成分の最も像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。ｄ_１は前記複数のメニスカスレンズ成分のうちの最も物体側の第１メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さ、ｄ_２は前記複数のメニスカスレンズ成分のうちの２番目に物体側の第２メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さ、Ｆは前記乾燥系対物レンズの焦点距離である。ｒｇ_２は前記第２メニスカスレンズ成分の像側のレンズ面の曲率半径である。
請求項１に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記後群は、少なくとも２つのレンズ成分を含み、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.6 ≦ Ｌｆ／Ｌｂ ≦ 1.6 （４）
ただし、Ｌｆは前記前群の全長、Ｌｂは前記後群の全長である。
請求項１又は請求項２に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群は、物体側から順に、正レンズ、負レンズ、正レンズからなる３枚接合レンズを含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、ダブルガウスを含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
57.6 ≦ νｄ_１ ≦ 87.3 （５）
ただし、νｄ_１は前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｄ線に対するアッベ数である。
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.440 ≦ Δｈｇ ≦ 0.453 （６）
ただし、Δｈｇは前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｈ線の部分分散比である。
３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する乾燥系対物レンズであって、物体側から順に、
複数のメニスカスレンズ成分からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
接合レンズを含み、最も物体側に両凸形状のレンズ成分を有し、前記第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する、正の屈折力を有する第２レンズ群と、
互いに凹面を向けている前群と後群からなり、負の屈折力を有し、前記第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換して出射する第３レンズ群と、からなり、
前記前群は、１つのレンズ成分からなり、
前記前群と前記後群の境界は、前記乾燥系対物レンズのうち最も像側にある、互いに凹面を向けているレンズ成分の間であり、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.43 ≦ （ｈｇ_２－ｈｇ_１）／ｇｔ_１ ≦ 0.9 （１）
57.6 ≦ νｄ_１ ≦ 87.3 （５）
ただし、ｇｔ_１は前記後群に含まれる最も物体側のレンズ成分の光軸上における厚さ、ｈｇ_１は前記レンズ成分の最も物体側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さ、ｈｇ_２は前記レンズ成分の最も像側のレンズ面における軸上マージナル光線の高さである。νｄ_１は前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｄ線に対するアッベ数である。
請求項７に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記複数のメニスカスレンズ成分の各々は、単レンズであり、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
｜ｄ_１－ｄ_２｜／Ｆ ≦ 0.2 （２）
ただし、ｄ_１は前記複数のメニスカスレンズ成分のうちの最も物体側の第１メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さ、ｄ_２は前記複数のメニスカスレンズ成分のうちの２番目に物体側の第２メニスカスレンズ成分の光軸上における厚さ、Ｆは前記乾燥系対物レンズの焦点距離である。
請求項７又は請求項８に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記後群は、少なくとも２つのレンズ成分を含み、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.6 ≦ Ｌｆ／Ｌｂ ≦ 1.6 （４）
ただし、Ｌｆは前記前群の全長、Ｌｂは前記後群の全長である。
請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第２レンズ群は、物体側から順に、正レンズ、負レンズ、正レンズからなる３枚接合レンズを含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
請求項７乃至請求項１０のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
前記第３レンズ群は、ダブルガウスを含む
ことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
請求項７乃至請求項１１のいずれか１項に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.440 ≦ Δｈｇ ≦ 0.453 （６）
ただし、Δｈｇは前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｈ線の部分分散比である。
３０倍以下の倍率を有し、且つ、０．７５以上の開口数を有する乾燥系対物レンズであって、物体側から順に、
複数のメニスカスレンズ成分からなり、正の屈折力を有する第１レンズ群と、
接合レンズを含み、最も物体側に両凸形状のレンズ成分を有し、前記第１レンズ群からの発散光線束を収斂光線束へ変換する、正の屈折力を有する第２レンズ群と、
互いに凹面を向けている前群と後群からなり、負の屈折力を有し、前記第２レンズ群からの収斂光線束を平行光線束に変換して出射する第３レンズ群と、からなり、
前記前群は、１つのレンズ成分からなり、
前記前群と前記後群の境界は、前記乾燥系対物レンズのうち最も像側にある、互いに凹面を向けているレンズ成分の間であり、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
57.6 ≦ νｄ_１ ≦ 87.3 （５）
ただし、νｄ_１は前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｄ線に対するアッベ数である。
請求項１３に記載の乾燥系対物レンズにおいて、
以下の条件式を満たすことを特徴とする乾燥系対物レンズ。
0.440 ≦ Δｈｇ ≦ 0.453 （６）
ただし、Δｈｇは前記乾燥系対物レンズに含まれる最も物体側のレンズのｈ線の部分分散比である。