JP2005268759A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系により前記マスクのパターンを基板ステージ上に保持される基板上に液体を介して転写する投影露光装置のステージ上に搭載される光学部品であって、
   前記露光ビームにより照射される光照射面と、
   前記光照射面の表面に形成された二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムの中の少なくとも１つからなる微粒子層により構成される接着微粒子層と、
   前記接着微粒子層の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜と、
   を備える光学部品。
2. 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系により前記マスクのパターンを基板ステージ上に保持される基板上に液体を介して転写する投影露光装置のステージ上に搭載される光学部品であって、
   前記露光ビームにより照射される光照射面と、
   前記光照射面の表面に形成された接着面と、
   前記接着面の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜と、
   を備える光学部品。
3. 前記接着面は、フッ化水素によるエッチング面である請求項２に記載の光学部品。
4. 前記光照射面は、基材ガラスの表面を含む請求項１または２に記載の光学部品。
5. 前記光照射面は、前記基材ガラスの表面及び前記基材ガラスの少なくとも一部に形成された金属膜の表面を含む請求項４に記載の光学部品。
6. 前記ステージは、基板ステージあるいは計測ステージである請求項１乃至５のいずれか一項に記載の光学部品。
7. 前記基板ステージと、前記ステージ上に設けられた請求項１または２に記載の光学部品と、前記マスクのパターンを基板ステージ上に保持される基板上に液体を介して投影する投影光学系とを備える露光装置。
8. 露光ビームでマスクを照明し、投影光学系により前記マスクのパターンを基板ステージ上に保持される基板上に液体を介して転写する露光装置であって、
   ステージ上に、
   前記露光ビームにより照射される光照射面と、
   前記光照射面の表面に形成された接着微粒子層と、
   前記接着微粒子層の表面に形成された非晶質フッ素樹脂により構成される撥水性膜とを有する光学部品とを備える露光装置。
9. 前記接着微粒子層は、二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムの中の少なくとも１つからなる微粒子層により構成されている請求項８に記載の露光装置。
10. 前記光照射面は、基材ガラスの表面を含む請求項８に記載の露光装置。
11. 前記光照射面は、前記基材ガラスの少なくとも一部に形成された金属膜の表面を含む請求項１０に記載の露光装置。
12. 前記光学部品が設けられる前記ステージは、基板ステージあるいは計測ステージである請求項７乃至１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 光学部品であって、
    光照射面を有する部品本体と、
    前記光照射面の表面に形成された二酸化ケイ素、フッ化マグネシウム及びフッ化カルシウムからなる群から選ばれた少なくとも１種の微粒子により形成された微粒子層と、
    前記微粒子層の表面に、非晶質フッ素樹脂により形成された撥水性膜と、
    を備える光学部品。
14. 前記部品本体がセンサである請求項１３に記載の光学部品。
15. 光学部品であって、
    光照射面を有する部品本体と、
    前記光照射面の表面にエッチングにより形成された接着面と、
    前記接着面に、非晶質フッ素樹脂により形成された撥水性膜と、
    を備える光学部品。
16. 前記エッチングがフッ化水素によるエッチングである請求項１５に記載の光学部品。
17. 前記部品本体がセンサである請求項１５に記載の光学部品。