JP2005286026A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、
   最も被露光体側に配置されるレンズおよび前記レンズを保持する鏡筒を有し、前記レチクルのパターンを前記被露光体に投影する投影光学系とを備え、
   前記レンズと前記被露光体の間の空間に満たされた液体を介して前記被露光体を露光する露光装置において、
   前記レンズは、前記レチクル側に形成された凸面、前記被露光体側の中央に形成され前記液体と接触する第１の面、および、前記被露光体側の端部に形成され、前記鏡筒の保持部に保持される、前記第１の面と平行な第２の面を有し、
   前記第１の面は、前記第２の面よりも前記被露光体に近く、前記凸面における有効領域よりも小さいことを特徴とする露光装置。
2. 前記第１の面は、前記有効領域の１／４以下の面積を持つことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 前記第１の面の外径は、前記凸面における有効径よりも小さいことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
4. 前記第１の面の外径は、前記凸面における有効径の１／２以下であることを特徴とする請求項３記載の露光装置。
5. 前記レンズは、前記レンズと前記液体間の接触を防止する保護層を有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の露光装置。
6. 前記第１の面は円形形状を有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の露光装置。
7. 前記第１の面は長方形形状を有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の露光装置。
8. 光源からの光でレチクルを照明する照明光学系と、平凸レンズ及び前記平凸レンズを保持する鏡筒を有し、前記レチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系と、を備え、前記平凸レンズの平面と前記被露光体の間の空間に満たされた液体を介して前記被露光体を露光する露光装置において、
   前記平凸レンズの前記平面は、前記平凸レンズの凸面における有効領域よりも小さく、
   前記平凸レンズの前記平面の外形形状は長方形であり、前記平凸レンズの前記凸面の外形形状は円形であり、
   前記鏡筒は、前記平凸レンズを保持する保持部と、前記液体を供給口を介して供給する供給流路と、を含み、
   前記鏡筒の前記保持部は、前記供給流路の上部に形成されていることを特徴とする露光装置。
9. 前記平凸レンズは、前記鏡筒に保持されるための被保持部を有し、前記平凸レンズの前記被保持部は円形状であることを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
10. 前記供給口と前記投影光学系の光軸との距離は、前記平凸レンズの前記凸面の外径の１／２未満であることを特徴とする請求項８又は９に記載の露光装置。
11. 前記供給流路は、前記平凸レンズの前記凸面と前記被露光体の間に突出していることを特徴としている請求項８乃至１０のうちいずれか一項に記載の露光装置。
12. 請求項１乃至１１のうちいずれか一項に記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
    当該露光された被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。