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結合剤の加水分解は、主要部分が２２０±５０℃の極めて低い温度で２００ミリバールを上廻る水蒸気分圧で行なわれる。酸素分圧は、Ｃｕ含有電極と認容性である値に調節される。これは、Ｃｕの大きな表面積に接触させてガス流からの酸素にゲッター作用を付与するかまたはＨ２を供給することによって行なわれる。この酸素分圧は、結合剤の除去の間に試験片が酸化することによって低下するが、しかし、ガス流は、セラミックの損傷を回避させる。実際に、電極層は、この電極層によって結合剤の運搬にとって好ましい通路が形成される限り、結合剤の除去に貢献しているが、しかし、それでもなお殊に１６０個の電極を有するアクチュエーター（寸法９．８＊９．８＊１２．７ｍｍ３）には、著しい結合剤の除去時間が必要とされる。
図１は、結合剤の除去および焼結の際の温度経過を示す。７５℃の露点に相応して窒素流に供給される水蒸気の分圧も同様に記載されている。
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DE (3) DE20023051U1 (ja)
WO (1) WO2001045138A2 (ja)

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2830701A (en) 1999-12-16 2001-06-25 Epcos Ag Piezoelectric component
DE10033588C2 (de) * 2000-07-11 2002-05-16 Bosch Gmbh Robert Keramisches Mehrlagenbauteil und Verfahren zu dessen Herstellung
JP2002260951A (ja) * 2000-12-28 2002-09-13 Denso Corp 積層型誘電素子及びその製造方法，並びに電極用ペースト材料
JP2002261345A (ja) * 2000-12-28 2002-09-13 Denso Corp 積層一体焼成型の電気機械変換素子
DE10227509A1 (de) * 2002-04-22 2003-11-06 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor
DE10141820A1 (de) * 2001-08-27 2003-03-20 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Kupferelektroden
DE10146704A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotoren mit Piezoelementen, hergestellt nach dem Keramikkondensatorverfahren
JP4225033B2 (ja) 2001-12-14 2009-02-18 株式会社日本自動車部品総合研究所 セラミック積層体とその製造方法
DE10205877A1 (de) * 2002-02-13 2003-09-04 Epcos Ag Keramisches Vielschichtbauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Haltevorrichtung
JP3884669B2 (ja) * 2002-04-05 2007-02-21 株式会社デンソー セラミック積層体の製造方法
US6936301B2 (en) * 2002-05-06 2005-08-30 North Carolina State University Methods of controlling oxygen partial pressure during annealing of a perovskite dielectric layer
JP3678234B2 (ja) * 2002-07-25 2005-08-03 株式会社村田製作所 積層型圧電部品の製造方法、及び積層型電子部品
DE10245130A1 (de) * 2002-09-27 2004-04-08 Epcos Ag Piezoelektrischer Transformator mit Cu-Innenelektroden
DE10249900A1 (de) * 2002-10-25 2004-05-06 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement
JP4590868B2 (ja) * 2003-02-12 2010-12-01 株式会社デンソー 積層型圧電体素子及びその製造方法
JP4698161B2 (ja) * 2003-05-13 2011-06-08 独立行政法人科学技術振興機構 圧電材料とその製造方法
DE10326040A1 (de) 2003-06-10 2004-12-30 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile
DE10345500B4 (de) 2003-09-30 2015-02-12 Epcos Ag Keramisches Vielschicht-Bauelement
DE10345499A1 (de) * 2003-09-30 2005-04-28 Epcos Ag Piezoelektrisches Keramikmaterial, Vielschichtbauelement und Verfahren zur Herstellung des Keramikmaterials
JP4028508B2 (ja) * 2004-03-26 2007-12-26 Ｔｄｋ株式会社 積層セラミック素子の製造方法
US7713896B2 (en) 2004-04-14 2010-05-11 Robert Bosch Gmbh Method for producing ceramic green compacts for ceramic components
DE102004020329A1 (de) * 2004-04-26 2005-11-10 Epcos Ag Elektrische Funktionseinheit und Verfahren zu deren Herstellung
JP2006196717A (ja) * 2005-01-14 2006-07-27 Nec Tokin Corp 積層型圧電セラミックス素子およびその製造方法
DE102005017108A1 (de) * 2005-01-26 2006-07-27 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement
JP3923064B2 (ja) * 2005-03-25 2007-05-30 Ｔｄｋ株式会社 積層型圧電素子及びその製造方法
CN101189743B (zh) * 2005-06-03 2011-04-13 株式会社村田制作所 压电元件
CA2561615A1 (en) * 2005-10-04 2007-04-04 Tdk Corporation Piezoelectric ceramic composition and laminated piezoelectric element
JP2007230839A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Tdk Corp 圧電磁器組成物、積層型圧電素子及びその製造方法
JP4877232B2 (ja) * 2005-12-08 2012-02-15 株式会社村田製作所 積層型圧電素子およびその製造方法
DE102005061529B4 (de) * 2005-12-22 2008-04-17 Siemens Ag Bleizirkonattitanat mit Nickel-Molybdän-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils
JP2007258280A (ja) * 2006-03-20 2007-10-04 Tdk Corp 積層型圧電素子
EP2101364A4 (en) * 2006-12-06 2013-04-03 Murata Manufacturing Co LAMINATED PIEZOELECTRIC DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
JP4711083B2 (ja) * 2006-12-27 2011-06-29 Ｔｄｋ株式会社 積層型圧電素子
DE102007029600A1 (de) * 2007-06-27 2009-01-02 Siemens Ag Bleizirkonattitanat mit Scandium-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils
DE102007029601A1 (de) * 2007-06-27 2009-01-02 Siemens Ag Bleizirkonattitanat mit Eisen-Niob-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils
DE102007029613A1 (de) * 2007-06-27 2009-01-02 Siemens Ag Bleizirkonattitanat mit Nickel-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils
DE102007037554A1 (de) 2007-08-09 2009-02-12 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
DE102009047512A1 (de) 2009-04-09 2010-10-14 Robert Bosch Gmbh Aktormodul und Brennstoffeinspritzventil
DE102009002304A1 (de) 2009-04-09 2010-10-14 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktors
DE102010027845A1 (de) 2010-04-16 2011-10-20 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
DE102010062112A1 (de) 2010-04-16 2011-10-20 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Heißpolarisieren eines piezokeramischen Bauelements
DE102010030206A1 (de) 2010-06-17 2011-12-22 Robert Bosch Gmbh Messverfahren für einen thermischen Prozess
DE102011003078A1 (de) 2011-01-25 2012-07-26 Robert Bosch Gmbh Sinterhilfsmittel zum Aufnehmen von Bauteilen und Verfahren zum Sintern von Bauteilen
DE102011003079B4 (de) 2011-01-25 2021-01-07 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Sintern von Bauteilen
DE102011077263A1 (de) 2011-06-09 2012-12-13 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktors
DE102011112008B4 (de) * 2011-08-30 2018-01-11 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements
DE102011117709A1 (de) * 2011-11-04 2013-05-08 Epcos Ag Keramikmaterial, Verfahren zur Herstellung desselben und elektrokeramisches Bauelement umfassend das Keramikmaterial
JP6144753B2 (ja) 2012-04-10 2017-06-07 エプコス アクチエンゲゼルシャフトＥｐｃｏｓ Ａｇ セラミック材料およびこのセラミック材料を備えるコンデンサ
DE102012104033A1 (de) 2012-05-08 2013-11-14 Epcos Ag Keramischer Vielschichtkondensator
US9511393B2 (en) * 2012-08-17 2016-12-06 The Boeing Company Flexible ultrasound inspection system
US9324931B2 (en) 2013-05-14 2016-04-26 Tdk Corporation Piezoelectric device
US20140339458A1 (en) * 2013-05-14 2014-11-20 Tdk Corporation Piezoelectric ceramic and piezoelectric device containing the same
JP6428345B2 (ja) * 2015-02-16 2018-11-28 三菱マテリアル株式会社 Ｐｔｚｔ圧電体膜及びその圧電体膜形成用液組成物の製造方法
CN111302798B (zh) * 2020-02-25 2022-02-22 西安工业大学 一种氧化镧掺杂改性的铌酸钾钠基透明陶瓷及其制备方法
JP2021158247A (ja) * 2020-03-27 2021-10-07 Tdk株式会社 圧電素子、圧電アクチュエータ、および圧電トランス
DE102020116805A1 (de) * 2020-06-25 2021-12-30 Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG Sinterverfahren für elektrische Durchführungen
US11802087B2 (en) 2021-01-28 2023-10-31 Kemet Electronics Corporation Dielectric ceramic composition and ceramic capacitor using the same

Family Cites Families (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4189760A (en) * 1973-05-13 1980-02-19 Erie Technological Products, Inc. Monolithic capacitor with non-noble metal electrodes and method of making the same
US3809973A (en) * 1973-07-06 1974-05-07 Sprague Electric Co Multilayer ceramic capacitor and method of terminating
US4063341A (en) * 1975-07-09 1977-12-20 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for making multilayer capacitors
JPS5946112B2 (ja) * 1975-12-29 1984-11-10 三菱油化株式会社 アツデンザイリヨウ
US4078284A (en) * 1977-04-04 1978-03-14 Zenith Radio Corporation Piezoelectric substrate fabrication process
JPS6047753B2 (ja) * 1978-06-01 1985-10-23 日本特殊陶業株式会社 圧電性高分子複合材料
JPS5817143B2 (ja) * 1979-02-22 1983-04-05 鳴海製陶株式会社 セラミツクテ−プの製造方法
US4347167A (en) * 1980-10-01 1982-08-31 University Of Illinois Foundation Fine-grain semiconducting ceramic compositions
JPS6287456A (ja) * 1985-10-11 1987-04-21 日本碍子株式会社 誘電体磁器用セラミツク組成物
US5112433A (en) * 1988-12-09 1992-05-12 Battelle Memorial Institute Process for producing sub-micron ceramic powders of perovskite compounds with controlled stoichiometry and particle size
US4988909A (en) * 1989-01-20 1991-01-29 Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. Piezoelectric element with giant electrostrictive effect and ceramic composition for preparing same
JPH0666219B2 (ja) * 1989-02-22 1994-08-24 株式会社村田製作所 積層セラミックスコンデンサ
JP2615977B2 (ja) * 1989-02-23 1997-06-04 松下電器産業株式会社 誘電体磁器組成物およびこれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法
US5014158A (en) * 1989-04-11 1991-05-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laminated ceramic capacitor
US5163209A (en) * 1989-04-26 1992-11-17 Hitachi, Ltd. Method of manufacturing a stack-type piezoelectric element
JPH02303078A (ja) * 1989-05-17 1990-12-17 Murata Mfg Co Ltd 圧電性磁器組成物
JP2881424B2 (ja) 1989-07-25 1999-04-12 京セラ株式会社 圧電磁器
JP2536671B2 (ja) * 1990-07-09 1996-09-18 株式会社村田製作所 圧電性磁器の製造方法
US5210455A (en) * 1990-07-26 1993-05-11 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate having recess defining thin-walled portion
JPH04171990A (ja) * 1990-11-06 1992-06-19 Toto Ltd 圧電セラミック焼結体
JPH04324687A (ja) * 1991-04-24 1992-11-13 Onoda Cement Co Ltd 卑金属電極材料
JPH05190376A (ja) * 1991-07-19 1993-07-30 Toshiba Corp セラミックコンデンサ
US5335139A (en) * 1992-07-13 1994-08-02 Tdk Corporation Multilayer ceramic chip capacitor
US5390949A (en) * 1993-03-08 1995-02-21 The University Of Toledo Active suspension systems and components using piezoelectric sensing and actuation devices
JP3151644B2 (ja) * 1993-03-08 2001-04-03 日本碍子株式会社 圧電／電歪膜型素子
US5340510A (en) * 1993-04-05 1994-08-23 Materials Systems Incorporated Method for making piezoelectric ceramic/polymer composite transducers
US5433917A (en) * 1993-09-16 1995-07-18 The Penn State Research Foundation PZT ceramic compositions having reduced sintering temperatures and process for producing same
DE4332831C1 (de) * 1993-09-27 1994-10-06 Fraunhofer Ges Forschung Formkörper auf der Basis von PZT (Pb(Zr,Ti)O¶3¶, Bleizirkonat-Bleititanat), Verfahren und Zwischenprodukt zu deren Herstellung
JPH07277822A (ja) 1994-04-11 1995-10-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電素子材料及びその製造方法
JPH0826824A (ja) * 1994-07-08 1996-01-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電磁器組成物およびその製造方法
JPH08167536A (ja) * 1994-12-14 1996-06-25 Tdk Corp 銅内部電極積層セラミックコンデンサの製造方法
US5648012A (en) 1994-12-22 1997-07-15 Kyocera Corporation Piezoelectric ceramic composition
JP3266483B2 (ja) * 1995-11-30 2002-03-18 京セラ株式会社 圧電磁器組成物
JP2570644B2 (ja) * 1994-12-26 1997-01-08 日本電気株式会社 圧電セラミックス
JPH08301654A (ja) * 1995-05-10 1996-11-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電磁器組成物及びその製造方法
DE19615695C1 (de) * 1996-04-19 1997-07-03 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors monolithischer Vielschichtbauweise
DE19615694C1 (de) * 1996-04-19 1997-07-03 Siemens Ag Monolithischer Vielschicht-Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung
DE19716356A1 (de) * 1996-04-26 1997-10-30 Murata Manufacturing Co Verfahren zur Herstellung von monolithischen elektronischen Teilen
JPH1017364A (ja) * 1996-06-28 1998-01-20 Kyocera Corp 圧電磁器組成物
DE19646676C1 (de) * 1996-11-12 1998-04-23 Siemens Ag Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren
DE19700463A1 (de) 1997-01-09 1998-07-16 Robel Georg Gmbh & Co Schienenverfahrbarer Wagen zum Abziehen langverschweißter Schienen von Transportwagen
JPH1149572A (ja) * 1997-08-01 1999-02-23 Honda Motor Co Ltd セラミックス複合粒子及びその製造方法
JP3831537B2 (ja) 1997-10-27 2006-10-11 Ｔｄｋ株式会社 電子デバイスおよびその製造方法
DE19749858C1 (de) 1997-11-11 1999-04-22 Siemens Matsushita Components Reduktionsstabile Keramikmassen, Verfahren zur Herstellung und Verwendung
JP3538700B2 (ja) 1998-02-23 2004-06-14 株式会社村田製作所 抵抗材料、これを用いた抵抗ペーストおよび抵抗体、ならびにセラミック多層基板
JP3341672B2 (ja) * 1998-04-13 2002-11-05 株式会社村田製作所 圧電セラミック素子の製造方法
JP3955389B2 (ja) 1998-05-12 2007-08-08 松下電器産業株式会社 コンデンサ内蔵基板およびその製造方法
US6266230B1 (en) * 1998-06-29 2001-07-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Multilayer ceramic capacitor
DE19841487C2 (de) 1998-09-10 2002-03-14 Epcos Ag Reduktionsstabile Keramikmasse und ihre Verwendung
US6182340B1 (en) * 1998-10-23 2001-02-06 Face International Corp. Method of manufacturing a co-fired flextensional piezoelectric transformer
DE19860001C2 (de) * 1998-12-23 2001-10-04 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung eines derartigen Bauelements
JP3596743B2 (ja) * 1999-08-19 2004-12-02 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品
DE19946834A1 (de) * 1999-09-30 2001-05-03 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE10051388B4 (de) * 1999-10-18 2009-02-12 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi Verfahren zur Herstellung einer keramischen Grünfolie und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Vielschichtbauelements
JP2001126946A (ja) * 1999-10-28 2001-05-11 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品及びその製造方法
AU2830701A (en) * 1999-12-16 2001-06-25 Epcos Ag Piezoelectric component
DE10035172B4 (de) * 2000-07-19 2004-09-16 Epcos Ag Keramikmasse und Kondensator mit der Keramikmasse
DE10201641A1 (de) * 2002-01-17 2003-08-07 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10249900A1 (de) * 2002-10-25 2004-05-06 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement
DE10351377A1 (de) * 2002-11-05 2004-10-28 Nippon Soken, Inc., Nishio Laminiertes dielektrisches Element und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10307825A1 (de) * 2003-02-24 2004-09-09 Epcos Ag Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel
US7713896B2 (en) * 2004-04-14 2010-05-11 Robert Bosch Gmbh Method for producing ceramic green compacts for ceramic components
US20080203853A1 (en) * 2005-07-26 2008-08-28 Carsten Schuh Method For Producing a Monolithic Piezo Actuator With Stack Elements, Monilithic Piezo Actuator With Stack Elements, and Use of the Piezo Actuator
DE102005061528B8 (de) * 2005-12-22 2010-06-10 Siemens Ag Piezokeramisches Bauteil mit Bleizirkonattitanat mit Eisen-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen des piezokeramischen Bauteils und seine Verwendung
DE102005061529B4 (de) * 2005-12-22 2008-04-17 Siemens Ag Bleizirkonattitanat mit Nickel-Molybdän-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils

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