JP2007150350A5 - - Google Patents
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本発明は、少なくとも2個のセラミック層および2個のセラミック層の間に配置された電極層からなるスタックを有する圧電構造素子の製造法に関する。
この課題は、次の工程:
a)結合剤を含有するセラミック生フィルムと銅含有の電極層とのスタックを、生フィルムまたは電極層を積重ねかつ引続き貼合わせることによって、製造する工程、
b)不活性ガスおよび酸素を含有する雰囲気中でスタックから結合剤を除去し、その際、酸素含量は、適当な量の水蒸気の供給またはゲッター作用の付与によって、電極層が酸化されないように減少される工程を有することを特徴とする、圧電構造素子を製造する方法によって解決される。
本発明によれば、圧電セラミック構造素子は、任意の組成の圧電セラミック、有利にPZT型のペロフスカイトセラミックを基礎とする、銅含有内部電極を有するモノリシリック多層構造形式で設けられている。この場合、混晶形成による変性は、A空間上への陽イオンの組込みならびに適当な別の陽イオンまたは陽イオンの組合せ物によるB陽イオンの置換によって実現されており、多層コンデンサーの完成によるセラミックフィルム技術の公知方法ならびに例えばスクリーン印刷により交互に導入される、銅またはCuとセラミックもしくは他の金属添加剤との混合物からなる内部電極を有するセラミック層の共通の焼結が使用されうる。
a)結合剤を含有するセラミック生フィルムと銅含有の電極層とのスタックを、生フィルムまたは電極層を積重ねかつ引続き貼合わせることによって、製造する工程、
b)不活性ガスおよび酸素を含有する雰囲気中でスタックから結合剤を除去し、その際、酸素含量は、適当な量の水蒸気の供給またはゲッター作用の付与によって、電極層が酸化されないように減少される工程を有することを特徴とする、圧電構造素子を製造する方法によって解決される。
本発明によれば、圧電セラミック構造素子は、任意の組成の圧電セラミック、有利にPZT型のペロフスカイトセラミックを基礎とする、銅含有内部電極を有するモノリシリック多層構造形式で設けられている。この場合、混晶形成による変性は、A空間上への陽イオンの組込みならびに適当な別の陽イオンまたは陽イオンの組合せ物によるB陽イオンの置換によって実現されており、多層コンデンサーの完成によるセラミックフィルム技術の公知方法ならびに例えばスクリーン印刷により交互に導入される、銅またはCuとセラミックもしくは他の金属添加剤との混合物からなる内部電極を有するセラミック層の共通の焼結が使用されうる。
Claims (10)
- 圧電構造素子を製造する方法において、次の工程:
a)結合剤を含有するセラミック生フィルムと銅含有の電極層とのスタックを、生フィルムまたは電極層を積重ねかつ引続き貼合わせることによって、製造する工程、
b)不活性ガスおよび酸素を含有する雰囲気中でスタックから結合剤を除去し、その際、酸素含量は、適当な量の水蒸気の供給またはゲッター作用の付与によって、電極層が酸化されないように減少される工程を有することを特徴とする、圧電構造素子を製造する方法。 - 結合剤の除去を150〜600℃の温度で行なう、請求項1記載の方法。
- 結合剤の除去に使用される雰囲気が200ミリバールを上廻る部分圧をもつ水蒸気を有している、請求項1または2記載の方法。
- ゲッター作用の付与を銅表面を用いて行なう、請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法。
- 酸素分圧は結合剤の除去中、5×10 -2 〜2×10 -1 Paの間にある、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。
- 酸素分圧は結合剤の除去中に減少する、請求項1から5までのいずれか1項に記載の方法。
- 層スタックを結合剤の除去後に銅の融点未満の温度で焼結し、その際、焼結のために、窒素、水素および水蒸気を含有する雰囲気を使用し、酸素分圧を適当な水蒸気濃度によって、Cu/Cu2Oの平衡の平衡分圧を超えないように調節する、請求項1から6までのいずれか1項に記載の方法。
- 酸素分圧を焼結中、数段階で適合させる、請求項7記載の方法。
- 2〜12時間継続させて最大温度を維持する、請求項7または8記載の方法。
- 焼結を1000℃の温度で行なう、請求項7から9までのいずれか1項に記載の方法。
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---|---|---|---|---|
DE20023051U1 (de) * | 1999-12-16 | 2003-01-09 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement |
DE10033588C2 (de) * | 2000-07-11 | 2002-05-16 | Bosch Gmbh Robert | Keramisches Mehrlagenbauteil und Verfahren zu dessen Herstellung |
JP2002261345A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-09-13 | Denso Corp | 積層一体焼成型の電気機械変換素子 |
JP2002260951A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-09-13 | Denso Corp | 積層型誘電素子及びその製造方法,並びに電極用ペースト材料 |
DE10227509A1 (de) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor |
DE10141820A1 (de) * | 2001-08-27 | 2003-03-20 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotor mit Kupferelektroden |
DE10146704A1 (de) * | 2001-09-21 | 2003-04-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezomotoren mit Piezoelementen, hergestellt nach dem Keramikkondensatorverfahren |
JP4225033B2 (ja) | 2001-12-14 | 2009-02-18 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | セラミック積層体とその製造方法 |
DE10205877A1 (de) * | 2002-02-13 | 2003-09-04 | Epcos Ag | Keramisches Vielschichtbauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Haltevorrichtung |
JP3884669B2 (ja) * | 2002-04-05 | 2007-02-21 | 株式会社デンソー | セラミック積層体の製造方法 |
US6936301B2 (en) * | 2002-05-06 | 2005-08-30 | North Carolina State University | Methods of controlling oxygen partial pressure during annealing of a perovskite dielectric layer |
JP3678234B2 (ja) * | 2002-07-25 | 2005-08-03 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電部品の製造方法、及び積層型電子部品 |
DE10245130A1 (de) * | 2002-09-27 | 2004-04-08 | Epcos Ag | Piezoelektrischer Transformator mit Cu-Innenelektroden |
DE10249900A1 (de) * | 2002-10-25 | 2004-05-06 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement |
JP4590868B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2010-12-01 | 株式会社デンソー | 積層型圧電体素子及びその製造方法 |
JP4698161B2 (ja) * | 2003-05-13 | 2011-06-08 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 圧電材料とその製造方法 |
DE10326040A1 (de) | 2003-06-10 | 2004-12-30 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von keramischen Grünfolien für keramische Bauteile |
DE10345500B4 (de) * | 2003-09-30 | 2015-02-12 | Epcos Ag | Keramisches Vielschicht-Bauelement |
DE10345499A1 (de) * | 2003-09-30 | 2005-04-28 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Keramikmaterial, Vielschichtbauelement und Verfahren zur Herstellung des Keramikmaterials |
JP4028508B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2007-12-26 | Tdk株式会社 | 積層セラミック素子の製造方法 |
US7713896B2 (en) | 2004-04-14 | 2010-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Method for producing ceramic green compacts for ceramic components |
DE102004020329A1 (de) * | 2004-04-26 | 2005-11-10 | Epcos Ag | Elektrische Funktionseinheit und Verfahren zu deren Herstellung |
JP2006196717A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Nec Tokin Corp | 積層型圧電セラミックス素子およびその製造方法 |
DE102005017108A1 (de) * | 2005-01-26 | 2006-07-27 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement |
JP3923064B2 (ja) * | 2005-03-25 | 2007-05-30 | Tdk株式会社 | 積層型圧電素子及びその製造方法 |
CN101189743B (zh) * | 2005-06-03 | 2011-04-13 | 株式会社村田制作所 | 压电元件 |
CA2561615A1 (en) * | 2005-10-04 | 2007-04-04 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition and laminated piezoelectric element |
JP2007230839A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Tdk Corp | 圧電磁器組成物、積層型圧電素子及びその製造方法 |
JP4877232B2 (ja) * | 2005-12-08 | 2012-02-15 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電素子およびその製造方法 |
DE102005061529B4 (de) * | 2005-12-22 | 2008-04-17 | Siemens Ag | Bleizirkonattitanat mit Nickel-Molybdän-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils |
JP2007258280A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Tdk Corp | 積層型圧電素子 |
JPWO2008068975A1 (ja) * | 2006-12-06 | 2010-03-18 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電素子及びその製造方法 |
JP4711083B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2011-06-29 | Tdk株式会社 | 積層型圧電素子 |
DE102007029613A1 (de) * | 2007-06-27 | 2009-01-02 | Siemens Ag | Bleizirkonattitanat mit Nickel-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils |
DE102007029600A1 (de) * | 2007-06-27 | 2009-01-02 | Siemens Ag | Bleizirkonattitanat mit Scandium-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils |
DE102007029601A1 (de) * | 2007-06-27 | 2009-01-02 | Siemens Ag | Bleizirkonattitanat mit Eisen-Niob-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils |
DE102007037554A1 (de) | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor |
DE102009047512A1 (de) | 2009-04-09 | 2010-10-14 | Robert Bosch Gmbh | Aktormodul und Brennstoffeinspritzventil |
DE102009002304A1 (de) | 2009-04-09 | 2010-10-14 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktors |
DE102010062112A1 (de) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Heißpolarisieren eines piezokeramischen Bauelements |
DE102010027845A1 (de) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor |
DE102010030206A1 (de) | 2010-06-17 | 2011-12-22 | Robert Bosch Gmbh | Messverfahren für einen thermischen Prozess |
DE102011003079B4 (de) | 2011-01-25 | 2021-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Sintern von Bauteilen |
DE102011003078A1 (de) | 2011-01-25 | 2012-07-26 | Robert Bosch Gmbh | Sinterhilfsmittel zum Aufnehmen von Bauteilen und Verfahren zum Sintern von Bauteilen |
DE102011077263A1 (de) | 2011-06-09 | 2012-12-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrischer Aktor und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Aktors |
DE102011112008B4 (de) | 2011-08-30 | 2018-01-11 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements |
DE102011117709A1 (de) | 2011-11-04 | 2013-05-08 | Epcos Ag | Keramikmaterial, Verfahren zur Herstellung desselben und elektrokeramisches Bauelement umfassend das Keramikmaterial |
JP6144753B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2017-06-07 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | セラミック材料およびこのセラミック材料を備えるコンデンサ |
DE102012104033A1 (de) | 2012-05-08 | 2013-11-14 | Epcos Ag | Keramischer Vielschichtkondensator |
US9511393B2 (en) * | 2012-08-17 | 2016-12-06 | The Boeing Company | Flexible ultrasound inspection system |
US20140339458A1 (en) * | 2013-05-14 | 2014-11-20 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic and piezoelectric device containing the same |
US9324931B2 (en) | 2013-05-14 | 2016-04-26 | Tdk Corporation | Piezoelectric device |
JP6428345B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2018-11-28 | 三菱マテリアル株式会社 | Ptzt圧電体膜及びその圧電体膜形成用液組成物の製造方法 |
CN111302798B (zh) * | 2020-02-25 | 2022-02-22 | 西安工业大学 | 一种氧化镧掺杂改性的铌酸钾钠基透明陶瓷及其制备方法 |
JP7491713B2 (ja) * | 2020-03-27 | 2024-05-28 | Tdk株式会社 | 圧電素子、圧電アクチュエータ、および圧電トランス |
DE102020116805A1 (de) * | 2020-06-25 | 2021-12-30 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Sinterverfahren für elektrische Durchführungen |
CN116615399A (zh) | 2021-01-28 | 2023-08-18 | 基美电子公司 | 介电陶瓷组合物和使用该介电陶瓷组合物的陶瓷电容器 |
Family Cites Families (65)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4189760A (en) * | 1973-05-13 | 1980-02-19 | Erie Technological Products, Inc. | Monolithic capacitor with non-noble metal electrodes and method of making the same |
US3809973A (en) * | 1973-07-06 | 1974-05-07 | Sprague Electric Co | Multilayer ceramic capacitor and method of terminating |
US4063341A (en) * | 1975-07-09 | 1977-12-20 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for making multilayer capacitors |
JPS5946112B2 (ja) | 1975-12-29 | 1984-11-10 | 三菱油化株式会社 | アツデンザイリヨウ |
US4078284A (en) * | 1977-04-04 | 1978-03-14 | Zenith Radio Corporation | Piezoelectric substrate fabrication process |
JPS6047753B2 (ja) | 1978-06-01 | 1985-10-23 | 日本特殊陶業株式会社 | 圧電性高分子複合材料 |
JPS5817143B2 (ja) * | 1979-02-22 | 1983-04-05 | 鳴海製陶株式会社 | セラミツクテ−プの製造方法 |
US4347167A (en) * | 1980-10-01 | 1982-08-31 | University Of Illinois Foundation | Fine-grain semiconducting ceramic compositions |
JPS6287456A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-21 | 日本碍子株式会社 | 誘電体磁器用セラミツク組成物 |
US5112433A (en) * | 1988-12-09 | 1992-05-12 | Battelle Memorial Institute | Process for producing sub-micron ceramic powders of perovskite compounds with controlled stoichiometry and particle size |
US4988909A (en) * | 1989-01-20 | 1991-01-29 | Mitsui Toatsu Chemicals, Inc. | Piezoelectric element with giant electrostrictive effect and ceramic composition for preparing same |
JPH0666219B2 (ja) * | 1989-02-22 | 1994-08-24 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックスコンデンサ |
JP2615977B2 (ja) * | 1989-02-23 | 1997-06-04 | 松下電器産業株式会社 | 誘電体磁器組成物およびこれを用いた積層セラミックコンデンサとその製造方法 |
US5014158A (en) * | 1989-04-11 | 1991-05-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laminated ceramic capacitor |
US5163209A (en) | 1989-04-26 | 1992-11-17 | Hitachi, Ltd. | Method of manufacturing a stack-type piezoelectric element |
JPH02303078A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電性磁器組成物 |
JP2881424B2 (ja) | 1989-07-25 | 1999-04-12 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器 |
JP2536671B2 (ja) * | 1990-07-09 | 1996-09-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電性磁器の製造方法 |
US5210455A (en) * | 1990-07-26 | 1993-05-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate having recess defining thin-walled portion |
JPH04171990A (ja) * | 1990-11-06 | 1992-06-19 | Toto Ltd | 圧電セラミック焼結体 |
JPH04324687A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Onoda Cement Co Ltd | 卑金属電極材料 |
JPH05190376A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-07-30 | Toshiba Corp | セラミックコンデンサ |
US5335139A (en) * | 1992-07-13 | 1994-08-02 | Tdk Corporation | Multilayer ceramic chip capacitor |
US5390949A (en) * | 1993-03-08 | 1995-02-21 | The University Of Toledo | Active suspension systems and components using piezoelectric sensing and actuation devices |
JP3151644B2 (ja) * | 1993-03-08 | 2001-04-03 | 日本碍子株式会社 | 圧電/電歪膜型素子 |
US5340510A (en) * | 1993-04-05 | 1994-08-23 | Materials Systems Incorporated | Method for making piezoelectric ceramic/polymer composite transducers |
US5433917A (en) * | 1993-09-16 | 1995-07-18 | The Penn State Research Foundation | PZT ceramic compositions having reduced sintering temperatures and process for producing same |
DE4332831C1 (de) * | 1993-09-27 | 1994-10-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Formkörper auf der Basis von PZT (Pb(Zr,Ti)O¶3¶, Bleizirkonat-Bleititanat), Verfahren und Zwischenprodukt zu deren Herstellung |
JPH07277822A (ja) | 1994-04-11 | 1995-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電素子材料及びその製造方法 |
JPH0826824A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物およびその製造方法 |
JPH08167536A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Tdk Corp | 銅内部電極積層セラミックコンデンサの製造方法 |
US5648012A (en) * | 1994-12-22 | 1997-07-15 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
JP3266483B2 (ja) * | 1995-11-30 | 2002-03-18 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器組成物 |
JP2570644B2 (ja) * | 1994-12-26 | 1997-01-08 | 日本電気株式会社 | 圧電セラミックス |
JPH08301654A (ja) * | 1995-05-10 | 1996-11-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器組成物及びその製造方法 |
DE19615695C1 (de) * | 1996-04-19 | 1997-07-03 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors monolithischer Vielschichtbauweise |
DE19615694C1 (de) * | 1996-04-19 | 1997-07-03 | Siemens Ag | Monolithischer Vielschicht-Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung |
DE19716356A1 (de) * | 1996-04-26 | 1997-10-30 | Murata Manufacturing Co | Verfahren zur Herstellung von monolithischen elektronischen Teilen |
JPH1017364A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-20 | Kyocera Corp | 圧電磁器組成物 |
DE19646676C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-04-23 | Siemens Ag | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
DE19700463A1 (de) | 1997-01-09 | 1998-07-16 | Robel Georg Gmbh & Co | Schienenverfahrbarer Wagen zum Abziehen langverschweißter Schienen von Transportwagen |
JPH1149572A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-23 | Honda Motor Co Ltd | セラミックス複合粒子及びその製造方法 |
JP3831537B2 (ja) | 1997-10-27 | 2006-10-11 | Tdk株式会社 | 電子デバイスおよびその製造方法 |
DE19749858C1 (de) * | 1997-11-11 | 1999-04-22 | Siemens Matsushita Components | Reduktionsstabile Keramikmassen, Verfahren zur Herstellung und Verwendung |
JP3538700B2 (ja) | 1998-02-23 | 2004-06-14 | 株式会社村田製作所 | 抵抗材料、これを用いた抵抗ペーストおよび抵抗体、ならびにセラミック多層基板 |
JP3341672B2 (ja) * | 1998-04-13 | 2002-11-05 | 株式会社村田製作所 | 圧電セラミック素子の製造方法 |
JP3955389B2 (ja) | 1998-05-12 | 2007-08-08 | 松下電器産業株式会社 | コンデンサ内蔵基板およびその製造方法 |
US6266230B1 (en) | 1998-06-29 | 2001-07-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor |
DE19841487C2 (de) * | 1998-09-10 | 2002-03-14 | Epcos Ag | Reduktionsstabile Keramikmasse und ihre Verwendung |
US6182340B1 (en) * | 1998-10-23 | 2001-02-06 | Face International Corp. | Method of manufacturing a co-fired flextensional piezoelectric transformer |
DE19860001C2 (de) | 1998-12-23 | 2001-10-04 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung eines derartigen Bauelements |
JP3596743B2 (ja) * | 1999-08-19 | 2004-12-02 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品 |
DE19946834A1 (de) * | 1999-09-30 | 2001-05-03 | Bosch Gmbh Robert | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
US6692598B1 (en) * | 1999-10-18 | 2004-02-17 | Murata Manufacturing Co. Ltd | Method of producing ceramic green sheet and method of manufacturing multilayer ceramic electronic part |
JP2001126946A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 |
DE20023051U1 (de) * | 1999-12-16 | 2003-01-09 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement |
DE10035172B4 (de) | 2000-07-19 | 2004-09-16 | Epcos Ag | Keramikmasse und Kondensator mit der Keramikmasse |
DE10201641A1 (de) * | 2002-01-17 | 2003-08-07 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE10249900A1 (de) * | 2002-10-25 | 2004-05-06 | Epcos Ag | Piezoelektrisches Bauelement |
DE10351377A1 (de) * | 2002-11-05 | 2004-10-28 | Nippon Soken, Inc., Nishio | Laminiertes dielektrisches Element und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE10307825A1 (de) * | 2003-02-24 | 2004-09-09 | Epcos Ag | Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel |
US7713896B2 (en) * | 2004-04-14 | 2010-05-11 | Robert Bosch Gmbh | Method for producing ceramic green compacts for ceramic components |
WO2007012654A1 (de) * | 2005-07-26 | 2007-02-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Momolithischer piezoaktor mit drehung der polarisationsrichtung im übergangsbereich sowie verwendung des piezoaktors |
DE102005061528B8 (de) * | 2005-12-22 | 2010-06-10 | Siemens Ag | Piezokeramisches Bauteil mit Bleizirkonattitanat mit Eisen-Wolfram-Dotierung, Verfahren zum Herstellen des piezokeramischen Bauteils und seine Verwendung |
DE102005061529B4 (de) * | 2005-12-22 | 2008-04-17 | Siemens Ag | Bleizirkonattitanat mit Nickel-Molybdän-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Bauteils unter Verwendung des Bleizirkonattitanats und Verwendung des piezokeramischen Bauteils |
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