JP2003048780A5 - - Google Patents
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誘電率
上記と同様にして調整した１０％ＳｉＯ２の試料について、熱処理（１９００℃×３時間）前後の誘電率を測定した。この２つの試料についての気孔率、熱伝導率及び誘電率を表３に示す。
熱処理後は試料は窒化アルミニウムとなっているため（表２）、熱伝導率は処理前の１５倍以上である。気孔率も４８％と高くなって多孔質になっているため、窒化アルミニウムの誘電率８と空気の誘電率が１であることから複合則に従って予測したとおりに、４．８という低い誘電率を有する窒化アルミニウムが生成したことを確認できた。
上記と同様にして調整した１０％ＳｉＯ２の試料について、熱処理（１９００℃×３時間）前後の誘電率を測定した。この２つの試料についての気孔率、熱伝導率及び誘電率を表３に示す。
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| JP2001233369A JP2003048780A (ja) | 2001-08-01 | 2001-08-01 | 多孔質窒化アルミニウム |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2003048780A JP2003048780A (ja) | 2003-02-21 |
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2001
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