JP2001344967A - 半導体装置及びその動作方法 - Google Patents
半導体装置及びその動作方法Info
- Publication number
- JP2001344967A JP2001344967A JP2000161123A JP2000161123A JP2001344967A JP 2001344967 A JP2001344967 A JP 2001344967A JP 2000161123 A JP2000161123 A JP 2000161123A JP 2000161123 A JP2000161123 A JP 2000161123A JP 2001344967 A JP2001344967 A JP 2001344967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory
- dram
- semiconductor device
- address
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 84
- 238000011017 operating method Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 17
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 11
- 101100371495 Colletotrichum gloeosporioides UBC1 gene Proteins 0.000 description 59
- 230000008859 change Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 8
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 101000644689 Homo sapiens Ubiquitin-conjugating enzyme E2 K Proteins 0.000 description 3
- 102100020696 Ubiquitin-conjugating enzyme E2 K Human genes 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 3
- 102100034184 Macrophage scavenger receptor types I and II Human genes 0.000 description 2
- 101710134306 Macrophage scavenger receptor types I and II Proteins 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 102200091804 rs104894738 Human genes 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 101150000715 DA18 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 101001021527 Homo sapiens Huntingtin-interacting protein 1 Proteins 0.000 description 1
- 102100035957 Huntingtin-interacting protein 1 Human genes 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000011423 initialization method Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/005—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor comprising combined but independently operative RAM-ROM, RAM-PROM, RAM-EPROM cells
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/406—Management or control of the refreshing or charge-regeneration cycles
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/406—Management or control of the refreshing or charge-regeneration cycles
- G11C11/40607—Refresh operations in memory devices with an internal cache or data buffer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/406—Management or control of the refreshing or charge-regeneration cycles
- G11C11/40618—Refresh operations over multiple banks or interleaving
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
- G11C11/40—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
- G11C11/401—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
- G11C11/4063—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
- G11C11/407—Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
- G11C11/4076—Timing circuits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/02—Disposition of storage elements, e.g. in the form of a matrix array
- G11C5/04—Supports for storage elements, e.g. memory modules; Mounting or fixing of storage elements on such supports
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/06—Arrangements for interconnecting storage elements electrically, e.g. by wiring
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/06—Arrangements for interconnecting storage elements electrically, e.g. by wiring
- G11C5/063—Voltage and signal distribution in integrated semi-conductor memory access lines, e.g. word-line, bit-line, cross-over resistance, propagation delay
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
- G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
- G11C5/143—Detection of memory cassette insertion or removal; Continuity checks of supply or ground lines; Detection of supply variations, interruptions or levels ; Switching between alternative supplies
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C8/00—Arrangements for selecting an address in a digital store
- G11C8/12—Group selection circuits, e.g. for memory block selection, chip selection, array selection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/06—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
- H01L2224/061—Disposition
- H01L2224/0612—Layout
- H01L2224/0614—Circular array, i.e. array with radial symmetry
- H01L2224/06144—Circular array, i.e. array with radial symmetry covering only portions of the surface to be connected
- H01L2224/06145—Covering only the peripheral area of the surface to be connected, i.e. peripheral arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/06—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
- H01L2224/061—Disposition
- H01L2224/0612—Layout
- H01L2224/0615—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry
- H01L2224/06154—Mirror array, i.e. array having only a reflection symmetry, i.e. bilateral symmetry covering only portions of the surface to be connected
- H01L2224/06156—Covering only the central area of the surface to be connected, i.e. central arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/32145—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/48137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48135—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/48137—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
- H01L2224/48139—Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate with an intermediate bond, e.g. continuous wire daisy chain
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01055—Cesium [Cs]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
- H01L2924/143—Digital devices
- H01L2924/1433—Application-specific integrated circuit [ASIC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1901—Structure
- H01L2924/1904—Component type
- H01L2924/19041—Component type being a capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3025—Electromagnetic shielding
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Dram (AREA)
- Read Only Memory (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Abstract
メモリを安価に実現すること。 【解決手段】不揮発性メモリ、SRAM、DRAM、制御回路を
一つのパッケージにモジュール化する。制御回路によっ
てSRAMへのアドレスとDRAMへのアドレスを割り当て、長
期間保持することが必要なデータはSRAMへ保管する。DR
AMは複数のバンクを2つの組に分けて同じアドレス空間
にマッピングし、組毎にリフレッシュを交代で行う。こ
れら複数のチップは相互に積層して配置され、BGAやチ
ップ間ボンディングによって配線される。 【効果】DRAMへの外部からリフレッシュを行う必要の無
い大容量メモリが実現される。また、データ保持領域と
ワークエリアを設定してそれぞれ電源制御を行うことに
よってデータ保持電流の低減がはかれる。更に、複数の
半導体チップを一つの封止体に実装することによって小
型化が図れる。
Description
複合型メモリ半導体装置に関し、更にはDRAMのリフ
レッシュ方法に関する。
以下の通りであり、文献の参照は文献番号をもってする
こととする。[文献1]:LRS1337 Stacked Chip 32M Fla
sh Memory and 4M SRAM Data Sheet([平成12年4月
21日検索]、インターネット<URL:http://www.sharps
ma.com/index.html>)、[文献2]: 特開平11-21998
4号公報、[文献3]:特開平5-299616号公報(対応欧州
特許公開公報566,306号、1993年10月20
日)、[文献4]:特開平8-305680号公報、[文献5]:特
開平11-204721号公報、[文献6]: 特開平10-11348号
公報。
MとがスタックチップでBGA型パッケージに一体封止
された複合型半導体メモリが記載される。フラッシュメ
モリとSRAMとはFBGA型パッケージの入出力電極
に対してアドレス入力端子とデータ入出力端子が共通化
されているが、各々の制御端子はそれぞれ独立とされて
いる。
AMとがBGA型パッケージに一体封止された複合型半
導体メモリが記載される。フラッシュメモリはBGAパ
ッケージの回路基板に対して半田バンプを介して信号パ
ッドがフェースダウンボンデイングされる。フラッシュ
メモリの上に搭載されたSRAMはワイヤボンディング
により基板に信号パッドが接続される。
チップとDRAMチップとがリードフレーム型パッケー
ジに一体封止された複合型半導体メモリが記載される。
また、図1にはフラッシュメモリとDRAMとはパッケ
ージの入出力電極に対してアドレス入力端子、データ入
出力端子、及び制御端子が共通化されて入出力されるも
のが記載されている。
チップが搭載され、そのSRAMチップ上にバンプ電極
を介して接続されたフラッシュメモリチップとマイコン
チップとが搭載され、それらのチップがリード端子型の
パッケージに一体封止された半導体装置が記載される。
プの裏面に絶縁プレートを介してそれよりも小型の2個
のチップ搭載された、リードフレーム型のパッケージに
一体封止された半導体装置が記載されている。搭載しう
るチップの組合せとしてフラッシュメモリチップ、DR
AMチップ、及びASIC(Application Specific I
C)があり、これによりメモリ−ロジック混載LSIが
1つのパッケージで実現されると記載される。
を有し、同じデータを2重化して記憶し、2つのDRA
Mブロック間でリフレッシュタイミングをずらし、外部
からのアクセスとDRAMのリフレッシュの衝突を回避
する技術が記載される。この制御はDRAMコントロー
ラによって行われるが、このDRAMコントローラは2
つのDRAMブロックに対して物理的に各々独立したア
ドレス信号や制御信号が発する。
に先立って携帯電話及びそれに使用されるフラッシュメ
モリとSRAMが1パッケージに実装された複合型メモリに
ついて検討を行った。フラッシュメモリには携帯電話シ
ステムのOS(オペレーションシステム)の他、通信やアプ
リケーションのプログラムが格納されている。一方、SR
AMには電話番号、住所録、着信音等が記憶されているほ
か、アプリケーションの実行時に一時的に使用されるワ
ークエリアが確保されている。
ータを保持するため、携帯電話の電源がオフになってい
る場合でもSRAMにはデータを保持するための電源が接続
されている。長期にわたってデータを保持するためには
SRAMのデータ保持電流が小さい事が望ましい。しかしな
がら、アプリケーションが使用するワークエリアは携帯
電話に付加される機能(音楽やゲーム等配信等)が増え
るにつれて大きくなり、より大きな記憶容量のSRAMが必
要となることが予想される。特に最近の携帯電話は高機
能化が目覚しく、SRAMの大容量化で対応することがしだ
いに困難になってくることが判明した。即ちSRAMの大容
量化には以下のような課題がある。大容量SRAMの課題
は、記憶容量の増大分だけ、データ保持電流が増加して
しまう他に、ゲートリーク電流の増大によるデータ保持
電流が増加する点にある。これは大容量SRAMを実現する
ために微細加工を導入してMOSトランジスタの酸化絶縁
膜を薄膜化するとゲートから基盤へトンネル電流が流れ
てしまいデータ保持電流が増えてしまうという理由によ
る。
が大きくかつデータ保持電流の少ないメモリを実現にあ
る。
示せば以下の通りである。フラッシュメモリと、スタテ
ィック・ランダム・アクセスメモリ(SRAM)と、複
数のメモリバンクから構成される、クロックに同期した
コマンドにより読出し/書込みを行うダイナミック・ラ
ンダムアクセス・メモリ(DRAM)を一つの封止体に
実装し、封止体に半導体チップとの配線を行うための電
極と封止体と封止体外部との接続を行うための電極を設
ける。
フレッシュを隠蔽するために、2つ以上のバンクを1チ
ップに含むDRAMにメモリコントローラを接続してDRAMへ
のメモリアクセスを制御させる。前記メモリコントロー
ラによって第1の期間にメモリアクセスが行われた場合
には第1のバンクへアクセスを行い第2の期間にメモリ
アクセスが行われた場合には第2のバンクへアクセスを
行うとよい。
る、クロックに同期したコマンドにより読出し/書込み
を行うダイナミック・ランダムアクセス・メモリ(DR
AM)を使用して、複数のメモリバンクを同じメモリ容
量を持つ第1メモリブロックと第2メモリブロックとに
割り当てて、メモリへのアクセスを第1期間と第2期間
が交互に行う。前記第1期間では、前記DRAMに対す
る読み出し/書き込みコマンドは前記第1メモリブロッ
クに対して実行し、前記第2メモリブロックはリフレッ
シュを優先して実行する。また、前記第2期間におい
て、前記DRAMに対する読み出し/書き込みコマンド
は前記第2メモリブロックに対して実行するとともに、
前記第1メモリブロックはリフレッシュを優先して実行
すると良い。
いて詳細に説明する。実施例の各ブロックを構成する回
路素子は、特に制限されないが、公知のCMOS(相補
型MOSトランジスタ)等の集積回路技術によって、単
結晶シリコンのような1個の半導体基板上に形成され
る。
体集積回路装置の一例であるメモリモジュールの第一の
実施例を示したものである。本メモリモジュールは3つ
のチップによって構成されている。以下に夫々のチップ
について説明する。
ある。不揮発性メモリにはROM(リードオンリーメモ
リ)、EEPROM(エレクトリカリイレーサブルアンドプログ
ラマブルROM)、フラッシュメモリ等を用いることが出来
る。本実施例ではフラッシュメモリを例に説明する。CH
IP2(SRAM+CTL_LOGIC)にはスタティックランダムアクセ
スメモリ(SRAM)と制御回路(CTL_LOGIC)が集積されてい
る。制御回路はCHIP2に集積されたSRAMとCHIP3の制御を
行う。CHIP3(DRAM)はダイナミックランダムアクセスメ
モリ(DRAM)である。DRAMは内部構成やインターフェイス
の違いからEDO、SDRAM、DDR等様々な種類がある。本メ
モリモジュールにはいずれのDRAMでも用いることが出来
るが、本実施例ではSDRAMを例に説明する。
ス(A0〜A20)とコマンド信号(S-/CE1, S-CE2, S-/OE, S-
/WE, S-/LB, S-/UB, F-/WE, F-/RP, F-/WP, F-RDY/BUS
Y, F-/CE, F-/OE)が入力される。電源はS-VCC, S-VSS,
F-VCC, F-VSS, L-VCC, L-VSSを通して供給され、データ
の入出力にはI/O0〜I/O15が用いられる。アドレス信号
線及びデータ入出力線はCHIP1(FLASH)とCHIP2(SRAM)に
共通して接続される。CHIP2はCHIP3の動作に必要となる
クロック(D-CLK)、アドレス(D-A0〜D-A13)、コマンド(D
-CKE, D-/CS, D-/RAS, D-/CAS, D-/WE, D-DQMU/DQML)、
DRAM用データ(D-DQ0〜D-DQ15)、電源(D-VCC, D-VSS, D-
VCCQ, D-VSSQ)を供給する。このメモリモジュールと外
部との入手力ノードはDRAMのインタフェースのため
の信号端子は直接には見えなくしているところが特徴の
一つである。従って、後の実施例の図16等で本発明の
BGA(ボールグリッドアレイ)型パッケージについて
説明するが、このパッケージで外部端子として利用され
る端子には、DRAMを制御するための信号端子は通常
設けられない。これにより、ユーザはDRAMの存在が
外部からはリフレッシュ隠蔽され記憶容量の増大のメリ
ットを享受できるようになる。もっとも、BGA型パッ
ケージの信号端子数が非常に多く余裕がある場合には、
主に製造業者の製造時のテストの目的のためDRAMの
制御端子を並列して外部に引き出すようにしてもよい。
こうすることにより、製造業者は不良解析等が迅速に行
えるようになる。もちろんこの機能は、通常はユーザに
は開放されない。
する。 CHIP2に入力されるS-/CE1,S-CE2はチップイネー
ブル信号、 S-/OEはアウトプットイネーブル信号、 S-/
WEはライトイネーブル信号、 S-/LBはロアーバイト選択
信号、S-/UBはアッパーバイト選択信号である。CHIP1に
入力されるF-/WEはライトイネーブル信号、F-/RPはリセ
ット/ディープパワーダウン信号、F-/WPはライトプロテ
クト信号、F-RDY/BUSYはレディ/ビジィアウトプット信
号、F-/CEチップイネーブル信号、F-/OEはアウトプット
イネーブル信号でフラッシュメモリの制御に用いられ
る。
(A0〜A20)、データ入出力線(I/O0〜I/O15)を用いてフラ
ッシュメモリ、SRAM、DRAMへアクセスすることが出来
る。
場合はアドレス線(A0〜A20)の他、コマンド信号F-/WE,
F-/RP, F-/WP, F-RDY/BUSY, F-/CE, F-/OEのうち必要な
信号をアクティブにする。SRAM(CHIP2)又はDRAM(CHIP3)
へアクセスする場合はアドレス線(A0〜A20)の他、コマ
ンド信号S-/CE1, S-CE2, S-/OE, S-/WE, S-/LB, S-/UB
のうち必要な信号をアクティブにする。いずれのアクセ
スもいわゆるSRAMインターフェイス方式によって行われ
る。
力されるアドレスの値によって区別される、入力された
アドレスの値によって制御回路(CTL_LOGIC)がアクセス
先を判定する。SRAMへのアクセスとなるアドレスの範囲
とDRAMへのアクセスとなるアドレスの範囲は制御回路(C
TL_LOGIC)に設けられたレジスタにあらかじめ値を設定
しておくことによって決められる。
セスに必要なアドレス信号やコマンド信号類を制御回路
(CTL_LOGIC)が生成し、DRAMへのアクセスを行う。リー
ドアクセスの場合にはDRAMからの読み出しデータはDRAM
用データI/O(D-DQ0〜D-DQ15)から一旦制御回路(CTL_LOG
IC)に読み出され、その後メモリモジュールのデータ入
出力線(I/O0〜I/O15)へ出力される。ライトアクセスの
場合は書込みデータはメモリモジュールのデータ入出力
線(I/O0〜I/O15)から入力され、その後DRAM用データI/O
(D-DQ0〜D-DQ15)を通してDRAMに入力される。
れ、制御回路(CTL_LOGIC)を通してD-VCC, D-VSS, D-VCC
Q, D-VSSQへ接続される。DRAMへの電源供給はコマンド
信号PSによって制御され、必要に応じて切断することが
出来る。切断したDRAMの電源を再投入する場合にはDRAM
の初期化を行う必要がある。DRAMの初期化に必要な信号
生成やタイミング制御は制御回路(CTL_LOGIC)が行う。
制御回路(CTL_LOGIC)が定期的にリフレッシュコマンド
を投入して行うことが出来る。一般にDRAMのリフレッシ
ュ特性は高温時に悪化するが、制御回路(CTL_LOGIC)に
温度計を設けて高温時にリフレッシュコマンドの投入間
隔を狭めることによってDRAMをより広い温度範囲で使用
することが出来る。
つのデータをDRAMの異なった2個所のアドレスに保持さ
せた上で、リフレッシュを行うタイミングを調整するこ
とによってメモリモジュール外部からはリフレッシュ動
作によってアクセスに制限が生じないようリフレッシュ
を隠蔽する。
ーフェイス方式を踏襲しながら安価な汎用DRAMを用いた
大容量メモリモジュールが実現出来る。本発明によるメ
モリモジュールではDRAMが使用されているがDRAMに必要
なリフレッシュはモジュール内部で実行されるためSRAM
と同様にリフレッシュを考慮せずに使用することが出来
る。また、モジュール内部で実行されるリフレッシュの
間隔を温度によって変えることによってDRAMの使用温度
範囲を広げることが可能となり、使用温度範囲の広い大
容量メモリモジュールが実現できる。
とリフレッシュを行うタイミングを調整することにより
DRAMのリフレッシュをメモリモジュール外部から隠蔽す
ることが出来るため、本メモリモジュールにアクセスす
る場合にリフレッシュを考慮してタイミングを調整する
必要は無い。従って従来のSRAMだけを用いたメモリモジ
ュールと同様に使用することが出来るため、従来システ
ムを変更せずに大容量メモリモジュールを使用すること
が出来る。
いメモリモジュールを実現することである。この目的の
ためにはDRAMへ供給する電源を切断し、SRAMに記憶され
たデータだけを保持すればよい。保持すべきデータだけ
をSRAMに記憶して、保持する必要の無いデータが記憶さ
れたメモリへの電源供給を停止することによって最小限
のデータ保持電流で必要なデータだけを保持することが
可能である。
のである。CHIP2(SRAM+CTL_LOGIC)はSRAMと制御回路(CT
L_LOGIC)から構成されており、集積されるSRAMは従来よ
り一般的に使用されている非同期SRAMである。制御回路
(CTL_LOGIC)はCHIP2のSRAM以外の部分で、図2では破線
に囲まれた領域として示されており、AS、MMU、ATD、DT
D、FIFO、R/W BUFFER、A_CONT、INT、 TMP、RC、PM、CLK
_GEN、COM_GENによって構成される。
ネージメントユニットMMUは設定された値に従って入力
されたアドレスを変換し、アクセスを行うメモリを選択
する。SRAMが選択された場合にはアクセススイッチ(AS)
によってSRAMへコマンド信号が送られ、SRAMへのアクセ
スが行われる。アドレストランジションディテクタ回路
(ATD)はアドレス信号とコマンド信号の変化を検出して
パルスを出力する。データトランジションディテクタ回
路(DTD)はデータ信号とコマンド信号の変化を検出して
パルスを出力する。R/W BUFFERはDRAMの読み出し、書込
みの為にデータを一時的に保持する。ファーストインフ
ァーストアウトメモリFIFOは先入れ先出しのバッファ回
路でDRAMへ書込みデータとそのアドレスを一時的に保持
する。初期化回路INTはDRAMへの電源供給開始時にDRAM
の初期化を行う。温度計測モジュール(TMP)は温度を検
出し、検出した温度に応じた信号をRCとA_CONTに出力す
る。RCはリフレッシュカウンタで、DRAMのリフレッシュ
間隔にあわせてリフレッシュを行うアドレスを生成す
る。また、温度計測モジュール(TMP)の出力信号によっ
て温度に応じたリフレッシュ間隔の変更を行う。パワー
モジュール(PM)はCHIP2の制御回路(CTL_LOGIC)と DRAM
への電源供給及び電源の制御を行う。クロックジェネレ
ータ(CLK_GEN)はクロックを生成し、DRAMと制御回路(CT
L_LOGIC)へ供給する。コマンドジェネレータ(COM_GEN)
はDRAMへのアクセスに必要なコマンドを生成する。アク
セスコントローラ(A_CONT)はCHIP2 (SRAM+CTL_LOGIC)全
体動作の制御と、DRAMへアクセスを行うためのアドレス
を発生する。
を行うには従来より一般に使用されている非同期SRAM方
式でインターフェイスする。外部からアドレス(A0〜A2
1)がCHIP2 (SRAM+CTL_LOGIC)に入力されるとまずMMUに
よってアドレスの値が変換される。変換のパターンはあ
らかじめMMU内部のレジスタに入力した値によって決め
られる。変換されたアドレスによってアクセス先がSRAM
なのかDRAMなのかが決定する。
変換したアドレスをSRAMへ送ると同時に、アドレスアク
セススイッチ(AS)にコマンド転送を指示する。アドレス
アクセススイッチ(AS)はコマンドをSRAMへ転送し、SRAM
へのアクセスが開始される。これ以降の動作はいわゆる
非同期SRAMへのアクセスが行われる。
制御回路の各ブロックの動作を以下に説明する。まず、
外部から入力されてMMUによって変換されたアドレスとA
TDで検知されたコマンドがA_CONTに送られる。A_CONTは
送られたアドレスとコマンドからDRAMへのアクセスの実
行を判断し、COM_GENにDRAMへのコマンド発行を指示す
る。また、 A_CONTはMMUから受け取ったアドレスをDRAM
用に変換してDRAMへ出力する。 COM_GENはCLK_GENが生
成したクロックに同期してDRAMにコマンドを発行する。
コマンドとアドレスを受け取ったDRAMはデータを出力
し、出力されたデータはR/W BUFFERを介してI/O0〜I/O1
5へ転送されてリードアクセスが終了する。
から入力されMMUによって変換されたアドレスとATDで検
知されたコマンド及びDTDで検知されたコマンドとデー
タがA_CONTに送られる。 A_CONTは送られたアドレスと
コマンドからDRAMへのアクセスの実行を判断し、COM_GE
NにDRAMへのコマンド発行を指示する。また、 A_CONTは
MMUから受け取ったアドレスをDRAM用に変換してDRAMへ
出力する。 COM_GENはCLK_GENが生成したクロックに同
期してDRAMにコマンドを発行する。書込まれるデータは
I/O0〜I/O15から入力されR/W BUFFERに一旦保持された
後、DRAMに送られて書込みが行われる。この他、このよ
うに書込みが行われたデータとアドレスはFIFOにも保持
され、後でDRAMの別のバンクにも書込みが行われる。
(PM)によって制御される。メモリモジュールが実装され
た機器は動作状態に応じて消費電流を削減したい場合が
ある。そのような場合にはパワーモジュールは、例えば
コマンド信号PSに従ってリフレッシュカウンタが行うリ
フレッシュを停止させてDRAMのリフレッシュに必要な電
力を削減することが出来る。さらに消費電力を削減した
い場合にはメモリモジュール内部においてDRAMへ供給す
る電源を切断すればよい。この場合にはパワーモジュー
ルは機器が出力するコマンド信号PSにしたがってDRAMへ
供給されるD-VCCへの電力供給を停止する。
はパワーモジュールがコマンド信号PSにしたがってCHIP
2(SRAM+CTL_LOGIC)のうちDRAMへのメモリアクセスに関
与する部分への電源供給を停止すれば良い。この状態で
は例えばCHIP2(SRAM+CTL_LOGIC)のうちSRAMの他にはMMU
とASだけに電源を接続して動作状態とし、SRAMへのアク
セスだけを実行するモードとすることが可能である。
持だけを行う動作状態とすることも可能である。この様
な場合にはSRAMへ接続される電源(S-VCC, S-VSS)以外を
切断し、メモリへのアクセスは禁止される。この状態で
メモリモジュールはSRAMに記憶されたデータの保持を行
う。
AMを再び動作させるためには電源供給の再開の他、DRAM
の初期化を行う必要がある。初期化方法は一般的なもの
だが本メモリモジュールではイニシャル回路(INT)が初
期化の手順をアクセスコントローラ(A_CONT)に指示して
初期化が実行される。
にもDRAMを再び動作させるためにはDRAMの初期化が必要
であるが、やはりイニシャル回路(INT)が初期化の手順
をアクセスコントローラ(A_CONT)に指示して初期化が実
行されるリフレッシュカウンタRCはDRAMのリフレッシュ
間隔に従ってリフレッシュ用アドレスを出力し、アクセ
スコントローラにリフレッシュの実行を要求する。アク
セスコントローラはリフレッシュカウンタの要求に従っ
て、外部から行われるDRAMへのアクセスと調停を取りな
がらリフレッシュコマンドを発行し、DRAMのリフレッシ
ュを行う。
にはDRAMのリフレッシュ間隔を短くして頻繁にリフレッ
シュを行うことが必要となる。この様な場合には温度計
測モジュール(TMP)が温度を検出してリフレッシュカウ
ンタとアクセスコントローラに通知する。高温になれば
リフレッシュカウンタはリフレッシュ間隔を短く変更し
てリフレッシュ用アドレスを出力する。
ロックジェネレータ(CLK_GEN)で生成される。クロック
ジェネレータはDRAMの他、制御回路内の各ブロックにク
ロックを供給する。DRAMがクロックに同期して動作する
場合はコマンドジェネレータ(COM_GEN)のコマンド発行
はクロックに同期して行われる。
て消費電力を削減することが出来る。DRAMの電源を遮断
しSRAMだけにアクセスをおこなった場合には小記憶容量
ながらより低電力で動作をおこなうことが可能である。
この場合にはさらにDRAMへのアクセスに必要な制御回路
への電源供給も停止し、より低電力で動作させることも
出来る。さらにSRAMだけに電力を供給してSRAMに記憶さ
れたデータだけを保持することによってより低消費電力
なデータ保持モードが実現できる。DRAMに電源を再投入
する場合にもDRAMの初期化を制御回路によっておこなえ
るため、外部からモジュールに対して初期化のための手
続きを実行する必要は無い。従って簡易に消費電力を削
減するメモリモジュールが実現出来る。
プの一例を示したものである。本実施例では特に限定さ
れないが、不揮発メモリの記憶領域が32Mb、SRAMによる
データ保持領域が2Mb、DRAMの記憶領域が32Mbあるメモ
リモジュールを例に説明する。外部から入力されたアド
レスA0〜A20はフラッシュメモリ(CHIP1)とCHIP2で共用
されている。アクセス先の選択にはチップ選択のための
信号S-CS,F-CSを使用する。F-CSがアクティブとなった
場合はCHIP1が選択されてアクセスが行われ、S-CSがア
クティブとなった場合はCHIP2が選択されてアクセスが
行われる。F-CSはCHIP1のアクセスに使用するコマンド
信号F-/WE, F-/RP, F-/WP, F-RDY/BUSY, F-/CE, F-/OE
の総称であり、S-CSはCHIP2のアクセスに使用するコマ
ンド信号S-/CE1, S-CE2, S-/OE, S-/WE, S-/LB, S-/UB
の総称である。アクセス先にCHIP2が選択された場合はM
MUがアドレスに応じてアクセスするメモリを選択する。
レス空間の一部に集中してSRAM領域が設定されている。
SRAMのアドレス空間はDRAMのアドレス空間に重なってお
り、重なったアドレス空間へのアクセスはSRAMに対して
行われる。同じアドレス空間にあるDRAMはシャドー領域
となりアクセスが行われない。
プの例では複数のアドレス空間に分散してSRAM領域が設
定されている。やはりSRAMのアドレス空間はDRAMのアド
レス空間に重なっており、重なったアドレス空間へのア
クセスはSRAMに対して行われる。この例ではSRAM領域が
512Kb単位で設定してあるが、これはFLASHメモリの書込
み消去単位に合わせており、アドレス空間の管理単位を
FLASHメモリとそろえておくことによってOSやプログラ
ムによって扱いやすくするためである。
RAM領域やDRAM領域をわりあてることが出来る。特にデ
ータ保持電流を少なくしたい場合には保持したいデータ
を格納するアドレス空間をSRAM領域に割り当て、DRAMへ
の電源供給を停止すればよい。この方法によってデータ
保持電流の少ないメモリモジュールを実現することがで
きる。
プの別の一例を示したものである。
レス空間の一部に集中してSRAM領域が設定されている。
図3(A)に示したメモリマップの例との違いはSRAMのアド
レス空間とDRAMのアドレス空間に重なりがないことであ
る。DRAMにシャドー領域が発生しないためDRAMのメモリ
空間を有効に利用することが出来る。図4(B)も同様に図
3(B)に示したメモリマップの例とはSRAMのアドレス空間
とDRAMのアドレス空間に重なりが無い。 DRAMにシャド
ー領域が発生しないためDRAMのメモリ空間を有効に利用
することが出来る。図4(A)、図4(B)に示したメモリマッ
プを行うとアドレス空間が2Mbほど増加する。これに対
応するにはアドレス線A21を追加すれば良い。このよう
に図4(A)、図4(B)に示したメモリマップではDRAMの記憶
領域をより有効に使用することが出来る。
たものである。アドレストランジションディテクション
回路(ATD)はアドレス信号線の値が変化したことを検知
してパルスを発生するものである。回路図面で使用され
ているD1、D2の記号はそれぞれ遅延を発生するためのデ
ィレイエレメントを表している。ATDはアドレス線(A0〜
AN)に変化が生じるとディレイエレメントD1とディレイ
エレメントD2による遅延を足し合わせた幅のパルス(/φ
A0〜/φAN)を出力する。さらに個々のアドレス線の動作
ばらつきを勘案し、これらのパルスを足し合わせた信号
/φATDを生成することによってアドレス線に現れるアド
レス値が変化したことが検知される。図2に示されてい
るようにATDにはアドレス線だけではなくコマンド信号
も接続して新たなコマンドが入力されたことを検出す
る。データトランジションディテクション回路(DTD)の
構成はATDと同様である。DTDはデータ線と書き込みのた
めのコマンド信号の変化を検出して書き込み用データと
書込みコマンドを認識する。
するSRAMインターフェイス信号を検出してメモリモジュ
ールの動作を開始する。これらの回路によって非同期SR
AMインターフェイスによって動作するメモリモジュール
が実現できる。非同期に変化する信号をパルス化して検
知するため、メモリモジュール内部で同期式の動作をす
るメモリデバイスを使用することも可能である。
を目的にDRAMを時間分割して動作させる様子を示した。
ここでは1チップが4つのバンクで構成されているDRAMを
例に説明する。4つのバンクBANK-A0, BANK-A1, BANK-B
0, BANK-B1をBANK-A0, BANK-A1とBANK-B0, BANK-B1の2
つの組に分けて2つの組は同じアドレス空間にマッピン
グする。つまり、一つのアドレスで指定されるメモリセ
ルが2つの組に夫々存在し、データが2倍冗長に記憶され
ている。
75℃以下での動作をしめした。通常DRAMのメモリセルは
64msに1回リフレッシュを行う必要があるが、その64ms
を8msづつ8期間に分割してBANK-A0、A1の組とBANK-B0、
B1の組で交互に動作させる。図面でWORKと表示されたWO
RK期間はそのバンクの組が動作する期間を表しており、
最初のWORK期間中はBANK-A0、A1の組が動作している。
はWORK期間中であるBANK-A0、A1の組から読み出しが行わ
れる。ライトアクセスが行われた場合はWORK期間中のBA
NK-A0、A1の組へ書込みが行われるほか、書込まれるデー
タとアドレスがFIFOに一時保管される。保管されたデー
タは期間T2においてBANK-B0、B1の組へも書込まれる。期
間T2については後述する。 BANK-A0、A1がWORK期間中
はBANK-B0、B1はREF期間である。REF期間中にBANK-B0、
B1の組のバンクの半分の領域にリフレッシュが行われ
る。REF期間は連続してリフレッシュを行うT1期間とREF
期間中に行われた書込みをFIFOから書き戻すT2期間に分
けられる。
nsとするとリフレッシュに必要な時間は70ns X 2048回
で0.144msとなる。従ってT2期間は7.856ns(8ms - 0.144
ms)となる。ここで、メモリモジュールには75nsに一回
アクセスが行われると仮定する。REF期間中に行われた
アクセスが全てライトアクセスだとするとその最大回数
は106667回(8ms/75ns)である。これをDRAMに書込むのに
必要な時間は7.47ms(106667回 X 70ns)でありT2期間(7.
856ms)以下であるためREF期間中に行われるライトアク
セスはT1期間においてリフレッシュを行ってもT2期間内
に全て書き戻すことが出来る。
ンクで同時に実行することも出来る。この場合にはT1期
間に1つのバンクで実行されるリフレッシュの回数は半
分の1024回になるのでT1期間を半分に短縮出来る。T1期
間が短縮されればFIFOの記憶容量を減らすことが出来る
ほか、外部からアクセスされる間隔をより短くして高速
なメモリが実現できる。
した場合について示した。一般にDRAMのリフレッシュ特
性は高温時に悪化する。従って例えば75℃以上の高温時
には図示したようにリフレッシュ間隔を短くすることに
よってデータを保持することが可能である。本実施例で
は温度検出回路TMPによって温度を検出し、リフレッシ
ュカウンタとアクセス制御回路(A_CONT)によってリフレ
ッシュ間隔を変更する。
の32nsに短縮しており、一回のWORK期間とREF期間は夫
々4msである。ここでも同様に、REF期間中に行われたア
クセスが全てライトアクセスだとするとその最大回数は
53334回(4ms/75ns)である。これをDRAMに書込むのに必
要な時間は3.74ms(53334回 X 70ns)でありT2期間(3.856
ms)以下であるためREF期間中に行われるライトアクセス
はT1期間においてにリフレッシュを行ってもT2期間内に
全て書き戻すことが出来る。
することが出来る。本実施例により汎用のDRAMを使用し
ながらそのリフレッシュを隠蔽して非同期SRAMと同様に
扱うことが出来るため、非同期SRAMインターフェイスで
アクセス出来る大容量メモリモジュールを実現すること
が出来る。また、高温時にもDRAMを使用する場合にも本
実施例のようにリフレッシュ間隔を短縮させるだけで簡
単に実現することが出来る。本実施例ではDRAMの動作単
位を2バンク毎としたが、メモリモジュールやメモリチ
ップの構成に応じて変更しても良い。また、リフレッシ
ュ間隔である64msを8つの期間に分割してWORK期間とREF
期間にしたが、さらに細かく分割すればデータとアドレ
スを保持するFIFOの記憶容量を少なくすることが出来
る。逆に大きく分割すればWORK期間とREF期間の切り換
え回数を減らせるため、切り換えに伴う制御回路が簡単
に構成出来る。
るフローチャートである。STEP1ではアドレスが入力さ
れて動作が開始する。STEP2ではコマンドからアクセス
の種類が判定される。以降の動作はアクセスの種類によ
って異なる。アクセスが読み出しの場合はSTEP3に進
む。STEP3ではWORK期間中のバンクからデータが読み出
されて動作が終了する。アクセスが書込みの場合はSTEP
4及びSTEP5に進む。STEP4ではWORK期間中のバンクに書
込みが行われる。一方STEP5では書込まれるデータとア
ドレスがFIFOに保持される。ここでREF期間中のバンク
がT1期間からT2期間へ移行したらSTEP6に進みREF期間中
のバンクにFIFOに保持されていたデータの書込みを行
う。
によって、リフレッシュの影響を排除することができる
ため大容量DRAMを用いて非同期SRAMインターフェイスの
メモリモジュールを構成することが出来る。
動作を説明するフローチャートである。SETP1からSTEP3
までがT1期間、STEP4からSTEP6まではT2期間である。ST
EP1でREF期間が開始しSTEP2で集中してリフレッシュが
実行される。STEP3ではリフレッシュ回数が管理されて
おり、決められた領域のリフレッシュが終了したらSTEP
4に進み、FIFOに蓄積されたデータがバンクに書込まれ
る。STEP5でFIFOに保持されたデータの書込みが終了し
たと判断された場合はSTEP6に進みライトアクセスを受
け付けることも出来る。但し、STEP4の状態のままFIFO
へのデータ入力を待ってからライトアクセスを実行して
もよい。
動作させれば、リフレッシュ動作とライトアクセスの実
行をREF期間内に両立させることができる。これにより
リフレッシュの影響を排除することができるため大容量
DRAMを用いて非同期SRAMインターフェイスのメモリモジ
ュールを構成することが出来る。
た様子を示したものである。本発明にあるDRAMの動作は
REF期間中のバンクへのアクセスに優先順位を付けて実
行するという考え方で説明出来る。
のである。この図に示したように、WORK期間中のBANK−
A0、A1では外部からのアクセスだけが行われる。これ
はREF期間中のBANK-B0,B1に対して優先的に実行され
る。一方、REF期間中のBANK-B0,B1ではリフレッシュ
、FIFOに保持されたデータの書込み、外部からのラ
イトアクセスが行われる。これらの実行にはアクセス
制御回路(A_CONT)によって優先順位が付けられて上記
、、の優先順位で実行される。
って実行される様子を示したものである。ここではBANK
-A0,A1がWORK期間中になっておりBANK-B0、B1がREF期間
中である。 BANK-A0,A1では外部アクセスだけが実行
されている。一方、 BANK-B0、B1はちょうどT1期間から
T2期間へ移り変わる所で、T1期間で実行されていたリフ
レッシュが終了してT2期間へ移行し、FIFOで保持され
ていたデータの書込みが実行されている。また、外部
アクセスが75nsで行われるのに対して内部動作は70nsで
実行されるのでFIFOで保持されていたデータの処理が外
部アクセスより高速に進んでいる。
間中のバンクを動作させれば、REF期間中のバンクにリ
フレッシュ動作とFIFOに保持されたデータの書込みを実
行しながらWORK期間中のバンクが外部からのアクセスを
実行することが出来る。この動作方法によってリフレッ
シュの影響を排除することができるため大容量DRAMを用
いて非同期SRAMインターフェイスのメモリモジュールを
構成することが出来る。
構成例である。XアドレスバッファX-ADB, XデコーダX
-DEC, メモリアレイMA, YアドレスバッファY-ADB, Y
デコーダY-DEC, Yゲート(カラムスイッチ)&センス
アンプ回路Y-GATE/SENS AMP.,状態/ID保持レジスタST
ATUS/ID REG, マルチプレクサMULTIPLEXER, データ入出
力バッファI/O BUF, 書き込み及び消去の制御回路であ
るライトステートマシンWSM, コマンドのデコード及び
実行のためのコマンドユーザインターフェイスCUIより
構成されている。CHIP1の動作は従来から一般的に使用
されているFLASHメモリと同様である。このCHIP1(FLAS
H)によって本実施例であるメモリモジュールが構成出来
る。
示したものである。Xデコーダ X-DEC, メモリアレイM
A, YゲートY-GATE, YデコーダY-DEC, 入力データ制御
回路D_CTL, 制御回路CONTROL LOGICと各信号線の入出力
バッファから構成されている。このSRAMは一般的ないわ
ゆる非同期SRAMである。このSRAMによって本実施例であ
るメモリモジュールが構成出来る。
示したものである。XアドレスバッファX-ADB, リフレ
ッシュカウンタREF. COUNTER, XデコーダX-DEC, メモ
リアレイMA, YアドレスバッファY-ADB, Yアドレスカ
ウンタY-AD COUNTER, YデコーダY-DEC, メモリアレイM
A, センスアンプ回路&Yゲート(カラムスイッチ)SEN
S AMP.& I/O BUS, 入力データバッファ回路INPUT BUFFE
R, 出力データバッファ回路OUTPUT BUFFER, 制御回路&
タイミング発生回路CONTROL LOGIC & TGで構成されてい
る。DRAMは従来より用いられている汎用SDRAMである。
特に制限されないが具体的には4個の独立動作可能なメ
モリバンクを含み、それらに対するアドレス入力端子及
びデータ入出力端子は共通化されバンク毎に時分割で利
用される。このDRAMによって本実施例であるメモリモジ
ュールが構成出来る。
波形の一例を示したものである。A0〜A20, S−
/CE1, S−CE2, S−/LB, S−/U
B, S−/OE, S−/WEはメモリモジュールへ
入力される信号で、いわゆる非同期SRAMのインターフェ
イス信号である。データ入出力信号I/O0〜I/O15はデー
タの入力と出力を分けて夫々DIN、DOUTとして表した。M
MU, ATD, DTDは夫々MMU回路、ATD回路、DTD回路の出力
信号を表している。D-CLKはDRAMへ供給されるクロッ
ク、D-COMはDRAMへ供給されるコマンド信号の総称、D-A
0〜D-A15はDRAMのアドレス線、D-DQ0〜D-DQ15はDRAMのI
/O線である。
について説明する。アドレスA0〜A20が入力されるとMMU
回路は変換したアドレスを出力する。 ATD回路はアドレ
スA0〜A20とコマンド類(S-/CE1, S-CE2, S-/LB, S-/UB,
S-/OE, S-/WE)の変化を検知し、アドレスとコマンドが
確定するとパルスを出力する。このパルスをきっかけに
DRAMへバンクアクティブコマンドAが発行され、DRAMは
バンクアクティブ状態にされる。次に制御回路はS-/OE
信号の立ち下がりをきっかけにリードコマンドRを発行
する。DRAMから読み出されたデータはD-DQ0〜D-DQ15に
出力され、一旦R/WBUFFERを通してからI/O0〜I/O15へ出
力される。
を示した。ライトアクセスの場合もリードアクセスと同
様にATD信号の立ち下がりをきっかけにバンクアクティ
ブコマンドAが発行される。その後、DTD回路がI/O0〜I/
O15とコマンド類(S-/CE1, S-CE2, S-/LB, S-/UB, S-/O
E, S-/WE)の変化を検知してパルスを出力し、このパル
スをきっかけにライトコマンドが実行される。書き込ま
れるデータはライトアクセスの終了を示すS-/WEの立ち
上がりで確定するため、ライトコマンドはS-/WEが立ち
上がるまで連続して発行される。これはライトサイクル
開始後に書込まれるデータが変化した場合にも対応する
ためである。図13に示した動作例では2回のライトコマ
ンドが連続して発行され、その後S-/WE信号の立ち上が
りにしたがってライトが終了し、プリチャージコマンド
が発行されている。
ーフェイス方式を踏襲しながら安価な汎用DRAMを用いた
大容量メモリモジュールが実現出来る。本発明による制
御回路(CTL_LOGIC)ではDRAMが使用されているがDRAMに
必要なリフレッシュは制御回路(CTL_LOGIC)によって実
行されるためSRAMと同様にリフレッシュを考慮せずに使
用することが出来る。さらに、DRAMにおけるデータ保持
の二重化とリフレッシュを行うタイミングを調整するこ
とによりDRAMのリフレッシュをメモリモジュール外部か
ら隠蔽することが出来るため、本メモリモジュールにア
クセスする場合にリフレッシュを考慮してタイミングを
調整する必要は無い。従って従来のSRAMだけを用いたメ
モリモジュールと同様に使用することが出来るため、従
来システムを変更せずに大容量メモリモジュールを使用
することが出来る。
モジュールを構成するCHIP2の別の実施例を示したもの
である。
回路(CTL_LOGIC)から構成されており、 ATD、DTD、FIF
O、R/W BUFFER、A_CONT、INT、 TMP、RC、PM、CLK_GEN、
COM_GENによって構成される。図2に示したCHIP2とはSR
AM、アクセススイッチAS、MMUが内蔵されていない点が
異なる。したがって、全てのアクセスはDRAMに対して実
行される。以下でその動作を説明する。
TD)はアドレス信号とコマンド信号の変化を検出してパ
ルスを出力する。データトランジションディテクタ回路
(DTD)はデータ信号とコマンド信号の変化を検出してパ
ルスを出力する。R/W BUFFERはDRAMの読み出し、書込み
の為にデータを一時的に保持する。FIFOは先入れ先出し
のバッファ回路でDRAMへ書込みデータとそのアドレスを
一時的に保持する。INTはDRAMへの電源供給開始時にDRA
Mの初期化を行う。温度計測モジュール(TMP)は温度を検
出し、検出した温度に応じた信号をRCとA_CONTに出力す
る。RCはリフレッシュカウンタで、DRAMのリフレッシュ
間隔にあわせてリフレッシュを行うアドレスを生成す
る。また、温度計測モジュール(TMP)の出力信号によっ
て温度に応じたリフレッシュ間隔の変更を行う。パワー
モジュール(PM)はCHIP2の制御回路(CTL_LOGIC)と DRAM
への電源供給及び電源の制御を行う。クロックジェネレ
ータ(CLK_GEN)はクロックを生成し、DRAMと制御回路(CT
L_LOGIC)へ供給する。コマンドジェネレータ(COM_GEN)
はDRAMへのアクセスに必要なコマンドを生成する。アク
セスコントローラ(A_CONT)はCHIP2(CTL_LOGIC)全体動作
の制御と、DRAMへアクセスを行うためのアドレスを発生
する。
ンターフェイスされる。外部から非同期SRAM方式で信号
が送られるとCHIP2はこれを変換してDRAMへアクセスを
行う。データ入出力やリフレッシュ動作をCHIP2が制御
する。
制御回路の各ブロックの動作を以下に説明する。まず、
外部から入力されたアドレスとATDで検知されたコマン
ドがA_CONTに送られる。A_CONTは送られたアドレスとコ
マンドからDRAMへのアクセスの実行を判断し、COM_GEN
にDRAMへのコマンド発行を指示する。また、 A_CONTは
受け取ったアドレスをDRAM用に変換してDRAMへ出力す
る。 COM_GENはCLK_GENが生成したクロックに同期してD
RAMにコマンドを発行する。コマンドとアドレスを受け
取ったDRAMはデータを出力し、出力されたデータはR/W
BUFFERを介してI/O0〜I/O15へ転送されてリードアクセ
スが終了する。
から入力されたアドレスとATDで検知されたコマンド及
びDTDで検知されたコマンドとデータがA_CONTに送られ
る。A_CONTは送られたアドレスとコマンドからDRAMへの
アクセスの実行を判断し、COM_GENにDRAMへのコマンド
発行を指示する。やはり、 A_CONTは受け取ったアドレ
スをDRAM用に変換してDRAMへ出力する。 COM_GENはCLK_
GENが生成したクロックに同期してDRAMにコマンドを発
行する。書込まれるデータはI/O0〜I/O15から入力されR
/W BUFFERに一旦保持された後、DRAMに送られて書込み
が行われる。この他、書込みが行われたデータとアドレ
スはFIFOにも保持され、後でDRAMの別のバンクにも書込
みが行われる。なお、メモリへのアクセス以外の動作は
実施例1で説明したものと同様である。
セススイッチASとMMUを内蔵せずより小さな面積でCHIP2
が構成できるため、安価に大容量メモリモジュールを実
現することが出来る。また、アクセススイッチASとMMU
の動作を介せずDRAMへアクセスを行うことが出来るため
より高速な大容量メモリモジュールが実現出来る。な
お、本実施例によるその他の効果は実施例1で既に説明
したものと同様である。
リモジュールを構成するCHIP2及びCHIP3の第三の実施例
を示したものである。本実施例におけるCHIP4(DRAM+CTL
_LOGIC)は制御回路(CTL_LOGIC)とDRAMから構成されてお
り、 制御回路を構成するATD、DTD、FIFO、R/W BUFFE
R、A_CONT、INT、 TMP、RC、PM、CLK_GEN、COM_GENとDRA
Mとが1チップに集積されている。図14に示したCHIP2にD
RAMを混載した構成となっている。以下でその動作を説
明する。
TD)はアドレス信号とコマンド信号の変化を検出してパ
ルスを出力する。データトランジションディテクタ回路
(DTD)はデータ信号とコマンド信号の変化を検出してパ
ルスを出力する。R/W BUFFERはDRAMの読み出し、書込み
の為にデータを一時的に保持する。FIFOは先入れ先出し
のバッファ回路でDRAMへ書込みデータとそのアドレスを
一時的に保持する。イニシャル回路(INT)はDRAMへの電
源供給開始時にDRAMの初期化を行う。温度計測モジュー
ル(TMP)は温度を検出し、検出した温度に応じた信号を
リフレッシュカウンタ(RC)とアクセスコントローラ(A_C
ONT)に出力する。リフレッシュカウンタはDRAMのリフレ
ッシュ間隔にあわせてリフレッシュを行うアドレスを生
成する。また、温度計測モジュール(TMP)の出力信号に
よって温度に応じたリフレッシュ間隔の変更を行う。パ
ワーモジュール(PM)はCHIP4の制御回路(CTL_LOGIC)と
DRAMへの電源供給及び電源の制御を行う。クロックジェ
ネレータ(CLK_GEN)はクロックを生成し、DRAMと制御回
路(CTL_LOGIC)へ供給する。コマンドジェネレータ(COM_
GEN)はDRAMへのアクセスに必要なコマンドを生成する。
アクセスコントローラ(A_CONT)はCHIP4 (DRAM+CTL_LOGI
C)全体動作の制御と、DRAMへアクセスを行うためのアド
レスを発生する。CHIP4(DRAM+CTL_LOGIC)へメモリアク
セスを行うにはいわゆる非同期SRAM方式でインターフェ
イスする。外部から非同期SRAM方式で信号が送られると
制御回路はこれを変換してDRAMへアクセスを行う。
制御回路の各ブロックの動作を以下に説明する。まず、
外部から入力されたアドレスがA_CONTに送られる。アド
レスの変化とコマンド信号がATDで検知され、ATDはパル
スをA_CONTへ出力する。A_CONTは送られたアドレスとコ
マンドからDRAMへのアクセスの実行を判断し、COM_GEN
にDRAMへのコマンド発行を指示する。また、A_CONTは受
け取ったアドレスをDRAM用に変換してDRAMへ出力する。
COM_GENはCLK_GENが生成したクロックに同期してDRAM
にコマンドを発行する。コマンドとアドレスを受け取っ
たDRAMはデータを出力し、出力されたデータはR/W BUFF
ERを介してI/O0〜I/O15へ転送されてリードアクセスが
終了する。
いて説明する。外部から入力されたアドレスとATDで検
知されたコマンド及びDTDで検知されたコマンドとデー
タがA_CONTに送られる。 A_CONTは送られたアドレスと
コマンドからDRAMへのアクセスの実行を判断し、COM_GE
NにDRAMへのコマンド発行を指示する。また、 A_CONTは
受け取ったアドレスをDRAM用に変換してDRAMへ出力す
る。 COM_GENはCLK_GENが生成したクロックに同期してD
RAMにコマンドを発行する。書込まれるデータはI/O0〜I
/O15から入力されR/W BUFFERに一旦保持された後、DRAM
に送られて書込みが行われる。この他、このように書込
みが行われたデータとアドレスはFIFOにも保持され、後
でDRAMの別のバンクにも書込みが行われる。
(PM)によって制御される。メモリモジュールが実装され
た機器は動作状態に応じて消費電流を削減したい場合が
ある。そのような場合にはパワーモジュールはコマンド
信号PSに従ってリフレッシュカウンタが行うリフレッシ
ュを停止させてDRAMのリフレッシュに必要な電力を削減
することが出来る。
4内部においてDRAMへ供給する電源を切断すればよい。
この場合にはパワーモジュールは機器が出力するコマン
ド信号PSにしたがってDRAMへ供給されるD-VCCへの電力
供給を停止する。
はパワーモジュールがコマンド信号PSにしたがってCHIP
4(DRAM+CTL_LOGIC)のうちDRAMへのメモリアクセスに関
与する部分への電源供給を停止すれば良い。この状態で
は例えば、CHIP4(DRAM+CTL_LOGIC)のうちATDだけに電源
を接続して待機状態とすることが可能である。なお、こ
れ以外の動作は実施例1で説明したものと同様である。
ーフェイス方式を踏襲しながらDRAMを用いた大容量メモ
リモジュールが実現出来る。本発明による効果は既に実
施例1で説明したものに加えて次のようなものがある。
品点数を削減してモジュールの組立工程を簡略化しコス
トを低減することが出来る。さらに、本実施例はメモリ
モジュールとして用いる他に、単体で大容量SRAMとして
使用することも出来る。SRAMインターフェイス方式を踏
襲しながら安価なDRAMを用いることによってより小さな
面積で大容量SRAM互換チップが実現出来る <実施例4>図16は本発明におけるメモリモジュール
の第四の実施例を示したものである。図16(A)には上
面図、図16(B)には断面図を示した。本メモリモジュ
ールはボールグリッドアレイ(BGA)によって装置に実装
する基盤(例えばガラスエポキシ基板でできたプリント
回路ボードPCB)上にCHIP1(FLASH)とCHIP3(DRAM)が搭載
されている。とくに制限されないが、CHIP3にはいわゆ
るチップの中央に信号及び電源パッド列が1列に並ぶ汎
用DRAMのベアチップが使用されている。CHIP1(FLASH)の
上面にはさらに CHIP2 (SRAM+CTL_LOGIC)が搭載されて
いる。CHIP1と基盤上のボンディングパットはボンディ
ングワイヤ(PATH1)で接続され、CHIP2と基盤上のボンデ
ィングパットはボンディングワイヤ(PATH2)で接続され
ている。CHIP3は基盤上のボンディングパッドとボンデ
ィングワイヤ(PATH3)で接続される他、CHIP2とボンディ
ングワイヤ(PATH4)でも接続される。チップの搭載され
た基盤上面は封止物となるレジン樹脂によりモールドが
行われて各チップと接続配線を保護する。なお、さらに
その上から金属、セラミック、あるいは樹脂のカバー(C
OVER)を使用しても良い。
搭載することができるため実装面積の小さなメモリモジ
ュールを構成することが出来る。また、各チップを近接
して配置することが出来るため、チップ間配線長を短く
することが出来る。チップ間の配線及び各チップと基盤
間の配線をボンディングワイヤ方式で統一することによ
って少ない工程数でメモリモジュールを製造することが
出来る。さらにチップ間をボンディングワイヤで直接配
線することによって基盤上のボンディングパット数とボ
ンディングワイヤの本数を削減して少ない工程数でメモ
リモジュールを製造することが出来る。大量に量産され
る汎用DRAMのベアチップを用いることができるため、メ
モリモジュールを安価に安定供給することが出来る。樹
脂のカバーを使用した場合にはより強靭なメモリモジュ
ールを構成することが出来る。セラミックや金属のカバ
ーを使用した場合には強度のほか、放熱性やシールド効
果に優れたメモリモジュールを構成することが出来る。
の図16の変形例である。図17(A)には上面図、図1
7(B)には断面図を示した。この例ではCHIP3 (DRAM)の
基盤への実装及び配線にボールグリッドアレイ(BGA)が
用いられている。この半導体チップの回路形成面を下に
して半田バンプに代表される金属バンプを介して接続す
る方法はフェースダウンとも呼ばれる。この実装方法に
よってCHIP3と基盤間及びCHIP2とのボンディングが不要
となりボンディング配線の本数を削減することが出来る
ため組立工数を削減出来る上、より信頼性の高いメモリ
モジュールが実現できる。
の図16の変形例である。図18(A)には上面図、図1
8(B)には断面図を示した。この例ではCHIP1 (FLASH)
の基盤への実装及び配線にボールグリッドアレイ(BGA)
が用いられている。さらにCHIP1上に搭載されたCHIP2と
基盤間の配線にはPATH5が用いられ、CHIP2とCHIP3との
配線にはPATH6が用いられている。この実装方法によっ
てCHIP1と基盤間のボンディングが不要となり配線本数
を削減することが出来るため組立工数を削減出来る上、
より信頼性の高いメモリモジュールが実現できる。ま
た、CHIP1から基盤への配線が無いため高低差の大きなC
HIP2から基盤への配線PATH5を低い配線密度で容易に行
うことが出来る。PATH6も同様に配線の密度が下がる
他、CHIP3の上面への配線のため高低差が緩和され、ボ
ンディングを容易に行うことが出来る。
の図16変形例である。図19(A)には上面図、図19
(B)には断面図を示した。この例ではCHIP1とCHIP3の基
盤への実装にボールグリッドアレイが用いられている。
ボンディング配線はCHIP2と基盤間だけ行えば良いので
配線本数を削減することにより信頼性の高いメモリモジ
ュールが実現できる。また、CHIP1から基盤への配線が
無いためCHIP2への配線であるPATH5は配線の密度を下げ
ることが可能となりボンディング工程を容易化すること
が出来る。
の図16の変形例である。図20(A)には上面図、図2
0(B)には断面図を示した。この例ではボールグリッド
アレイで基盤に実装されたCHIP3の上にCHIP1が搭載さ
れ、さらにその上にCHIP2が搭載されている。最上位に
搭載されたCHIP2とCHIP1との配線はPATH7によって行わ
れる。またCHIP2と基盤との配線にはPATH8が用いられ
る。この実装方法によって3チップを積層することが出
来るため、メモリモジュールの実装面積を小さくするこ
とが出来る。CHIP2と基盤間の接続は配線PATH8を用いる
ほかに配線PATH5と配線PATH7を用いて信号を中継して接
続することも出来る。中継して配線する方法を特にCHIP
1とCHIP2に共通に使用される信号の配線に用いた場合に
は配線本数が削減できるためボンディング工程を簡略化
できる。
の図16の変形例である。図21(A)には上面図、図2
1(B)には断面図を示した。この例ではCHIP3がボールグ
リッドアレイによって基盤上に搭載されて、さらにその
上にCHIP1とCHIP2が搭載されている。CHIP1とCHIP2の間
の配線にはPATH9が用いられている。また、CHIP1及びCH
IP2上にあってモジュールの中心側に配置されたボンデ
ィングパットから基盤への配線にはPATH10が用いられて
いる。
合にはモジュールの実装面積を小さくする上で有効であ
る。CHIP3をBGAで接続しているためボンディングによる
配線の密度を下げられるため配線工程を簡易にすること
が出来る。また、同じCHIP3上に搭載されたCHIP1とCHIP
2はボンディングパットの高さをそろえやすく、CHIP1と
CHIP2の間の配線PATH9は簡易に行えるため配線工程を簡
易に行うことが出来る。配線PATH10によってCHIP1及びC
HIP2上でモジュールの中心側に配置された配線パットと
基盤間の配線を行うことが出来る。また、CHIP3の同一
面上にCHIP1とCHIP2を配置することによってモジュー
ルの高さが均一になるためより強固な封止体とすること
が出来る。
の図16の変形例である。図22(A)には上面図、図2
2(B)には断面図を示した。この例ではCHIP1がボールグ
リッドアレイによって基盤上に搭載されて、さらにその
上にCHIP2とCHIP3が搭載されている。配線PATH11によっ
てLOC形式のCHIP3とCHIP2の間の配線を行うことが出来
る。
合にモジュールの実装面積を小さくする上で有効であ
る。 CHIP1をBGAで接続しているためボンディングによ
る配線の密度を下げられるため配線工程を簡易にするこ
とが出来る。また、同じCHIP1上に搭載されたCHIP3とCH
IP2はボンディングパットの高さをそろえやすく、LOC形
式のCHIP3とCHIP2の間の配線PATH11は簡易に行える。配
線PATH11によってCHIP2上でモジュールの中心側に配置
された配線パットとCHIP3の間の配線を行うことが出来
る。また、CHIP3の同一面上にCHIP1とCHIP2を配置する
ことによってモジュールの高さが均一になるためより強
固な封止体とすることが出来る。
の第四の実施例を示したものである。図23(A)には上
面図、図23(B)には断面図を示した。この例ではまずC
HIP1が基盤上に搭載されて、さらにその上にCHIP2とCHI
P3が搭載されている。配線PATH12によってCHIP1とCHIP2
の間の配線を行うことが出来る。
合にモジュールの実装面積を小さくする上で有効であ
る。 配線はすべてボンディングに統一されており、基
盤の製作工程が簡易になる。また、同じCHIP1上に搭載
されたCHIP3とCHIP2はボンディングパットの高さをそろ
えやすく、CHIP3とCHIP2の間の配線は簡易に行える。配
線PATH12によってCHIP1とCHIP2の間の配線を行うことが
出来る。特にCHIP1とCHIP2に共通に使用される信号の配
線に用いた場合にはそれぞれの配線を基盤から接続する
場合に比べて配線本数が削減できるためボンディング工
程を簡略化できる。また、CHIP3の同一面上にCHIP1とC
HIP2を配置することによってモジュールの高さが均一に
なるためより強固な封止体とすることが出来る。
れる効果は以下の通りである。第一にDRAMへのアクセス
をコントローラで制御することによって外部からリフレ
ッシュを行う必要の無い大容量メモリが実現される。第
二にデータ保持領域とワークエリアを設定してそれぞれ
電源制御を行うことによってデータ保持電流の少ないメ
モリモジュールが実現される。第三に複数の半導体チッ
プを一つの封止体に実装することによって実装面積の小
さなメモリモジュールを提供できる。
ある。
マップの一例を示す説明図である。
マップの一例を示す説明図である。
ある。
すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
う様子を説明する説明図である。
図である。
ングチャートの一例である。
図である。
ターフェイス方式の大容量メモリの実施例である。
一例である。
一例である。
一例である。
一例である。
一例である。
一例である。
一例である。
一例である。
C)またはスタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)と
制御回路(CTL_LOGIC)が集積された半導体チップ、 CHI
P3…ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)、 CH
IP4…ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)と制
御回路(CTL_LOGIC)が集積された半導体チップ、 A0〜A
20…アドレス信号、 S-/CE1…CHIP2のチップイネーブ
ル信号、S-CE2…CHIP2のチップイネーブル信号、 S-/E
…CHIP2のアウトプットイネーブル信号、 S-/WE…CHIP
2のライトイネーブル信号、 S-/LB…CHIP2のロアーバ
イト選択信号、 S-/UB…CHIP2のアッパーバイト選択信
号、 F-/WE…CHIP1のライトイネーブル信号、 F-/RP
…CHIP1リセット/ディープパワーダウン信号、 F-/WP
…CHIP1ライトプロテクト信号、 F-RDY/BUSY…CHIP1レ
ディ/ビジィアウトプット信号、 F-/CE…CHIP1チップ
イネーブル信号、 F-/OE…CHIP1アウトプットイネーブ
ル信号、 F-VCC…CHIP1の電源、 F-VSS…CHIP1グラウ
ンド、 S-VCC…CHIP2の電源、 S-VSS…CHIP2のグラウ
ンド、 L-VCC…CHIP2の電源、 L-VSS…CHIP2グラウン
ド、 PS…パワー制御信号、 I/O0〜I/O15…データ入
出力、D-CLK…CHIP3のクロック、 D-A0〜D-A13…CHIP3
のアドレス信号、 D-CKE…CHIP3のクロックイネーブル
信号、 D-/CS…CHIP3のチップセレクト信号、 D-/RAS
…CHIP3のロウアドレスストローブ信号、 D-/CAS…CHI
P3のカラムアドレスストローブ信号、 D-/WE…CHIP3の
ライトイネーブル信号、 D-DQMU/DQML…CHIP3のインプ
ット/アウトプットマスク信号、 D-DQ0〜D-DQ15…CHIP
3のデータ入出力、 D-VCC…CHIP3の電源、 D-VSS…CH
IP3のグラウンド、 D-VCCQ…CHIP3のI/O用電源、 D-V
SSQ…CHIP3のI/O用グラウンド、 AS…アクセススイッ
チ回路、SRAM…スタティックランダムアクセスメモリ、
ATD…アドレストランジションディテクタ、 DTD…デ
ータトランジションディテクタ、 MMU…メモリマネー
ジメントユニット、 FIFO…ファーストインファースト
アウト(メモリ)、 R/WBUFFER リード/ライトバッフ
ァ、 INT…初期化回路、 TMP…温度測定モジュール、
RC…リフレッシュカウンタ、 PM…パワーマネージメ
ントモジュール、A_CONTアクセスコントローラ、 CLK_
GEN…クロックジェネレータ、 COM_GEN…コマンドジェ
ネレータ、 S-CS…SRAM用チップセレクト信号の総称、
F-CS…不揮発メモリ用チップセレクト信号の総称、
SHADOW…シャドウ領域、 /ΦA0…ATD回路によるアドレ
ス変化検出信号、 /ΦAN ATD回路によるアドレス変化
検出信号、 /ΦATD…ATD回路出力信号、 D1…ディレ
イエレメント、 D2…ディレイエレメント、 WORK…ワ
ーク期間、 REF…リフレッシュ期間、 PCB…プリント
回路基板、 COVER…モジュールの封止カバー、 PATH1
…PCBとCHIP1を接続するボンディング配線、 PATH2…P
CBとCHIP1上に搭載されたCHIP2とを接続するボンディン
グ配線、 PATH3…PCBとCHIP3を接続するボンディング
配線、 PATH4…CHIP3とCHIP1上に搭載されたCHIP2とを
接続するボンディング配線、 PATH5…PCBとBGAによっ
て配置されたCHIP1上に搭載されたCHIP2とを接続するボ
ンディング配線、 PATH6…CHIP3とBGAによって配置さ
れたCHIP1上に搭載されたCHIP2とを接続するボンディン
グ配線、 PATH7…BGAによって配置されたCHIP3上に搭
載されたCHIP1とさらにその上に搭載されたCHIP2とを接
続するボンディング配線、PATH8…BGAによって配置され
たCHIP3上に搭載されたCHIP1の上に搭載されたCHIP2とP
CBとを接続するボンディング配線 、 PATH9…BGAによ
って配置されたCHIP3上に搭載されたCHIP1と同じくCHIP
2とを接続するボンディング配線、 PATH10…BGAによっ
て配置されたCHIP3上に搭載されたCHIP2において、モジ
ュールの中心側に配置されたボンディングパットとPCB
とを接続するボンディング配線、 PATH11…BGAによっ
て配置されたCHIP1上に搭載されたCHIP2と同じくCHIP3
とを接続するボンディング配線で、CHIP3がLOC形式のボ
ンディングパット配置のもの、PATH12…CHIP1とCHIP1上
に搭載されたCHIP2を接続するボンディング配線。
Claims (33)
- 【請求項1】第1キャパシタと第1MISFETをそれ
ぞれに持つ複数の第1メモリセルを含む第1メモリブロ
ックと、第2キャパシタと第2MISFETをそれぞれ
に持つ複数の第2メモリセルを含む第2メモリブロック
と、前記第1及び第2メモリブロックで共用されるコマ
ンド信号入力のための第1ノード、アドレス信号入力の
ための第2ノード、及びデータ入出力のための第3ノー
ドとを有するメモリと、 前記メモリに対するコマンド信号を出力するためのに設
けられ前記メモリの前記第1ノードに結合される第4ノ
ードと、前記メモリに対するアドレスを出力するために
設けられ前記第2ノードに結合される第5ノードと、前
記第3ノードに結合される第6ノードと、アクセス要求
信号を受けるための第7ノードと、アクセスアドレスを
受けるための第8ノードとを有するメモリコントローラ
とを備え、 前記メモリコントローラは、第1期間において前記第8
ノードに第1アクセスアドレスが入力された際には前記
メモリの前記第1メモリブロックに対するコマンド信号
及び第1アドレスを前記第4及び第5ノードから出力す
るとともに、第2期間において前記第8ノードに前記第
1アクセスアドレスが入力された際には前記メモリの前
記第2メモリブロックに対するコマンド信号及び前記第
1アドレスを前記第4及び第5ノードから出力すること
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】請求項1において、 前記第1期間において、前記メモリコントローラは、前
記第1メモリブロックに対して前記第1アクセスアドレ
スに対応する第1メモリセルに対する読み出しまたは書
込コマンド信号を前記第4ノードから出力可能とされる
ともに、前記第2メモリブロックの前記第2メモリセル
に対するリフレッシュを行うためのリフレッシュコマン
ド信号を前記第4ノードから出力し、 前記第2期間において、前記メモリコントローラは、前
記第1メモリブロックの前記第1メモリセルに対するリ
フレッシュを行うためのリフレッシュコマンド信号を前
記第4ノードから出力するとともに、前記第2メモリブ
ロックに対して前記第1アクセスアドレスに対応する第
2メモリセルに対する読み出しまたは書込コマンド信号
を前記第4ノードから出力可能とされることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項3】請求項2において、前記第1メモリブロッ
クと前記第2メモリブロックとは同じ情報を重複して記
憶する期間を有することを特徴とする半導体装置。 - 【請求項4】請求項2において、前記第1期間におい
て、前記メモリコントローラは、前記第1メモリブロッ
クにデータ書込が起きた場合には、当該書込データは所
定の手順で前記第2メモリブロックの対応するアドレス
の前記第2メモリセルに転写されることを特徴とする半
導体装置。 - 【請求項5】請求項2において、 前記メモリコントローラは、前記第1期間と前記第2期
間とは交互に時分割で発生することを特徴とする半導体
装置。 - 【請求項6】請求項1において、 前記半導体装置は、前記第1メモリブロックに対する読
出し/書込み許容期間であるとともに前記第2メモリブ
ロックに対するリフレッシュ期間となる前記第1期間
と、前記第1メモリブロックに対するリフレッシュ期間
となるとともに前記第2メモリブロックに対する読出し
/書込み許容期間である前記第2期間とを交互に繰り返
すことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項7】請求項1において、 前記メモリコントローラは、書込データを保持するため
のバッファメモリを更に有し、 前記第1期間において前記メモリコントローラが第1ア
クセスアドレスとともにデータ書込みのアクセス要求信
号を受けた場合であって、前記メモリコントローラは第
1メモリブロックに対する書込コマンド、前記第1アド
レス、及び書込データを前記第4、第5、および第6ノ
ードから出力し、しかる後に第2メモリブロックに対す
る書込コマンド、及び前記第1アドレスを前記第4、及
び第5ノードから出力する共に、前記バッファメモリに
保持された書込データを前記第6ノードから出力するこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項8】請求項1において、 前記メモリコントローラの前記第8ノードに入力される
アクセス要求のサイクル時間は、前記メモリコントロー
ラが前記第4ノードから出力するコマンド信号のサイク
ル時間より長いことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項9】請求項1において、 前記メモリコントローラは、リフレッシュ制御回路と、
アクセス優先判定回路と、書込データを保持するための
バッファメモリとをさらに有し、 前記第1期間において、前記アクセス優先判定回路は、
前記リフレッシュ制御回路が発生する前記第2メモリブ
ロックに対するリフレッシュ要求を第1優先とし、前記
バッファメモリに書込みデータが保持されている場合に
前記バッファメモリの書込みデータの転写のための前記
第2メモリブロックに対する書込コマンドの発行を第2
優先とすることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項10】請求項1において、 前記メモリは第1半導体チップ上に形成され、前記メモ
リコントローラは第2半導体チップ上に形成され、 前記半導体装置は、前記第1及び第2半導体チップが内
部に含まれる封止体をさらに有し、 前記封止体は、前記第1及び第2半導体チップと電気的
接続をするための複数の第1電極と、前記複数の第1電
極に接続され前記封止体の外部に対して電気的接続をす
るための複数の第2電極とを有することを特徴とする半
導体装置。 - 【請求項11】請求項10において、前記封止体は基板
を含み、 前記第1電極は前記基板の第1主面に設けられるととも
に、前記第1及び第2半導体チップは前記第1主面に搭
載され、 前記基板の前記第1主面は封止物で覆われ、 前記第2電極は前記基板の前記第1主面に対して対向す
る側に設けられた第2主面に形成されることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項12】請求項11において、前記封止物はレジ
ン樹脂であることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項13】請求項1において、 前記半導体装置は、フラッシュメモリが形成された第1
半導体チップと、スタティック・ランダム・アクセスメ
モリ(SRAM)と前記メモリコントローラが形成され
た第2半導体チップと、前記メモリが形成される前記第
3半導体チップとが内部に含まれる封止体を有し、 前記封止体は、前記第1から第3チップがその第1主面
に搭載された基板を含み、 前記基板は、前記第1主面に設けられ前記第1から第3
半導体チップと電気的接続をするための複数の第1電極
と、前記複数の第1電極に接続され前記封止体の外部に
対して電気的接続をするための複数の第2電極とを有す
ることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項14】請求項13において、前記複数の第2電
極は、前記フラッシュメモリと前記スタティック・ラン
ダム・アクセスメモリ(SRAM)に対して共通に設け
られた複数のアドレス信号端子と、前記フラッシュメモ
リのアクセス制御のための複数の第1制御信号端子と、
前記スタティック・ランダム・アクセスメモリ(SRA
M)のアクセス制御のための複数の第2制御信号端子
と、前記第1から第3半導体チップに対する複数の電源
端子とを含み、 前記第3半導体チップの前記メモリの第1から第3ノー
ドは前記第3半導体チップ上に設けられるとともに、前
記第2半導体チップの前記メモリコントローラの第4か
ら第6ノードは前記第2半導体チップ上に設けられ、前
記第1から第3ノードと前記第4から第6ノードは前記
第1主面上の前記複数の第1電極の所定のものを介して
接続されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項15】請求項14において、前記複数の第2電
極は、前記第3半導体チップの前記メモリの機能テスト
のためのテスト端子を更に含むことを特徴とする半導体
装置。 - 【請求項16】請求項14において、前記半導体装置
は、前記複数の第2電極から前記第3半導体チップの前
記メモリに対するリフレッシュ制御コマンドの投入が不
要とされることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項17】請求項14において、前記第3半導体チ
ップの前記メモリは、複数のメモリバンクを有し、クロ
ックに同期したコマンドにより読出し/書込みを行うダ
イナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)で
あることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項18】請求項1において、前記第3半導体チッ
プの前記メモリは、複数のメモリバンクを有し、クロッ
クに同期したコマンドにより読出し/書込みを行うダイ
ナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)であ
ることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項19】請求項18において、前記ダイナミック
・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)チップは、複
数のメモリバンクとして4個のメモリバンクを有し、2
個の前記メモリバンクが前記第1メモリブロックに割り
当てられるとともに、残る2個の前記メモリバンクが前
記第2メモリブロックに割り当てられることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項20】複数のメモリバンクを有し、クロックに
同期したコマンドにより読出し/書込みを行うダイナミ
ック・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)を含む半
導体装置の動作方法であって、 前記複数のメモリバンクを同じメモリ容量を持つ第1メ
モリブロックと第2メモリブロックとに割り当ててると
ともに、前記半導体装置に対するアクセスを第1期間と
第2期間が交互に起こるように割り当て、 前記第1期間において、前記DRAMに対する読み出し
/書き込みコマンドは前記第1メモリブロックに対して
実行するとともに、前記第2メモリブロックはリフレッ
シュを優先して実行し、 前記第2期間において、前記DRAMに対する読み出し
/書き込みコマンドは前記第2メモリブロックに対して
実行するとともに、前記第1メモリブロックはリフレッ
シュを優先して実行することを特徴とする半導体装置の
動作方法。 - 【請求項21】請求項20において、 前記第1期間において、前記第2メモリブロックはリフ
レッシュを優先して実行しし、その後に前記第1メモリ
ブロックに対して書き込みコマンドが発行されたいた場
合には同じデータを前記第2メモリブロックの対応する
アドレスに書き込むコマンドを実行し、 前記第2期間において、前記第1メモリブロックはリフ
レッシュを優先して実行しし、その後に前記第2メモリ
ブロックに対して書き込みコマンドが発行されたいた場
合には同じデータを前記第1メモリブロックの対応する
アドレスに書き込むコマンドを実行することを特徴とす
る半導体装置の動作方法。 - 【請求項22】フラッシュメモリが形成された第1半導
体チップと、 スタティック・ランダム・アクセスメモリ(SRAM)
が形成された第2半導体チップと、 複数のメモリバンクを有し、クロックに同期したコマン
ドにより読出し/書込みを行うダイナミック・ランダム
アクセス・メモリ(DRAM)を含む第3半導体チップ
と、 前記第1から第3半導体チップとが内部に含まれる封止
体とを有し、 前記封止体は、前記第1から第3半導体チップと電気的
接続をするための複数の第1電極と、前記複数の第1電
極に接続され前記封止体の外部に対して電気的接続をす
るための複数の第2電極とを有することを特徴とする半
導体装置。 - 【請求項23】請求項22において、 前記封止体はその第1主面に前記複数の第1電極が設け
られ前記第1主面に対向する第2主面に前記複数の第2
電極が設けられた基板を含み、 前記第1チップと前記第3チップは、前記基板の前記第
1主面上に並んで搭載され、 前記第2チップは前記第1チップの上に搭載されること
を特徴とする半導体装置。 - 【請求項24】請求項23において、 前記第1から第3チップと前記複数の第1電極との間の
接続はボンディングワイヤを介して形成されることを特
徴とする半導体そうち。 - 【請求項25】請求項23において、 前記第1チップ及び第3チップの少なくとの一つと前記
複数の第1電極との間の接続は半田バンプを介したフェ
ースダウンボンディングによって形成されることを特徴
とする半導体装置。 - 【請求項26】請求項22において、 前記封止体はその第1主面に前記複数の第1電極が設け
られ前記第1主面に対向する第2主面に前記複数の第2
電極が設けられた基板を含み、 前記前記第3チップは、前記基板の前記第1主面上に搭
載され、 前記第1チップ及び第2チップは前記第3チップの上に
搭載されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項27】請求項26において、前記第2チップ
は、前記第1チップの上に搭載されることを特徴とする
半導体装置。 - 【請求項28】請求項22において、前記複数の第2電
極は、前記フラッシュメモリと前記スタティック・ラン
ダム・アクセスメモリ(SRAM)に対して共通に設け
られた複数のアドレス信号端子と、前記フラッシュメモ
リのアクセス制御のための複数の第1制御信号端子と、
前記スタティック・ランダム・アクセスメモリ(SRA
M)のアクセス制御のための複数の第2制御信号端子
と、前記第1から第3半導体チップに対する複数の電源
端子とを含み、 前記第3半導体チップは、前記ダイナミック・ランダム
アクセス・メモリ(DRAM)に対して設けられた、コ
マンド信号入力のための第1ノード、アドレス信号入力
のための第2ノード、及びデータ入出力のための第3ノ
ードとを有し、 前記第2半導体チップは、前記メモリに対するコマンド
信号を出力するための第4ノードと、前記メモリに対す
るアドレスを出力するための第5ノードと、第6ノード
とを含むメモリコントローラを更に有し、 前記第1から第3ノードと前記第4から第6ノードとは
前記第1主面上の前記複数の第1電極の所定のものを介
して接続されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項29】請求項22において、前記複数の第2電
極は、前記フラッシュメモリと前記スタティック・ラン
ダム・アクセスメモリ(SRAM)に対して共通に設け
られた複数のアドレス信号端子と、前記フラッシュメモ
リのアクセス制御のための複数の第1制御信号端子と、
前記スタティック・ランダム・アクセスメモリ(SRA
M)のアクセス制御のための複数の第2制御信号端子
と、前記第1から第3半導体チップに対する複数の電源
端子とを含むことを特徴とする半導体装置。 - 【請求項30】請求項29において、前記複数の第2電
極は、前記第3半導体チップの前記メモリの機能テスト
のためのテスト端子を更に含むことを特徴とする半導体
装置。 - 【請求項31】請求項29において、前記半導体装置
は、前記複数の第2電極から前記第3半導体チップの前
記ダイナミック・ランダムアクセス・メモリ(DRA
M)に対するリフレッシュ制御コマンドの投入が不要と
されることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項32】請求項22において、前記ダイナミック
・ランダムアクセス・メモリ(DRAM)はシンクロナ
スDRAMであることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項33】請求項32において、前記シンクロナス
DRAMは、4個のメモリバンクを有し、2個の前記メ
モリバンクが第1メモリブロックに割り当てられるとと
もに、残る2個の前記メモリバンクが第2メモリブロッ
クに割り当てられることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000161123A JP3871853B2 (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 半導体装置及びその動作方法 |
US09/803,958 US6392950B2 (en) | 2000-05-26 | 2001-03-13 | Semiconductor device including multi-chip |
KR1020010013395A KR100734410B1 (ko) | 2000-05-26 | 2001-03-15 | 반도체 장치 및 그 동작 방법 |
TW90106389A TWI286317B (en) | 2000-05-26 | 2001-03-19 | Semiconductor device including multi-chip |
US09/897,503 US6411561B2 (en) | 2000-05-26 | 2001-07-03 | Semiconductor device including multi-chip |
US10/140,945 US6587393B2 (en) | 2000-05-26 | 2002-05-09 | Semiconductor device including multi-chip |
US10/411,237 US6847575B2 (en) | 2000-05-26 | 2003-04-11 | Semiconductor device including multi-chip |
US11/037,088 US7554872B2 (en) | 2000-05-26 | 2005-01-19 | Semiconductor device including multi-chip |
US12/482,579 US8223578B2 (en) | 2000-05-26 | 2009-06-11 | Semiconductor device including multi-chip |
US13/533,003 US8711650B2 (en) | 2000-05-26 | 2012-06-26 | Semiconductor device including multi-chip |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000161123A JP3871853B2 (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 半導体装置及びその動作方法 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004061771A Division JP2004206873A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | 半導体装置 |
JP2006245061A Division JP4574602B2 (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 半導体装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001344967A true JP2001344967A (ja) | 2001-12-14 |
JP2001344967A5 JP2001344967A5 (ja) | 2005-02-10 |
JP3871853B2 JP3871853B2 (ja) | 2007-01-24 |
Family
ID=18665196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000161123A Expired - Fee Related JP3871853B2 (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 半導体装置及びその動作方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (7) | US6392950B2 (ja) |
JP (1) | JP3871853B2 (ja) |
KR (1) | KR100734410B1 (ja) |
TW (1) | TWI286317B (ja) |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033436A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2002324393A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2003006041A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2003051186A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Fujitsu Ltd | 半導体メモリ |
WO2004010502A1 (ja) * | 2002-07-19 | 2004-01-29 | Renesas Technology Corp. | 混成集積回路装置 |
JP2004507856A (ja) * | 2000-08-17 | 2004-03-11 | マイクロン・テクノロジー・インコーポレーテッド | ダイナミックランダムアクセスメモリのリフレッシュを隠す方法およびシステム |
JP2004102781A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | メモリシステム |
WO2004049168A1 (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-10 | Renesas Technology Corp. | メモリモジュール、メモリシステム、及び情報機器 |
JP2005142312A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法ならびに配線基板の製造方法 |
JP2007149919A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Renesas Technology Corp | マルチチップモジュール |
JP2007227537A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Renesas Technology Corp | 不揮発性記憶装置 |
JP2008153576A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2009123763A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Denso Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009252277A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Spansion Llc | 積層型メモリ装置、メモリシステム、及びそのリフレッシュ動作制御方法 |
JP2009540431A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | マイクロソフト コーポレーション | 1つのインターフェースを有するハイブリッド・メモリ・デバイス |
WO2010084550A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | サンケン電気株式会社 | 半導体モジュール及びその制御方法 |
US8044518B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-10-25 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Junction member comprising junction pads arranged in matrix and multichip package using same |
JP2012043342A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Buffalo Inc | メモリモジュール |
JP2013101728A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Elpida Memory Inc | 半導体装置 |
US8812744B1 (en) | 2013-03-14 | 2014-08-19 | Microsoft Corporation | Assigning priorities to data for hybrid drives |
US8885380B2 (en) | 2010-09-03 | 2014-11-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor memory device |
JP2015079293A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | Necプラットフォームズ株式会社 | メモリ制御装置、メモリ制御方法、及び、情報処理装置 |
US9626126B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-04-18 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Power saving mode hybrid drive access management |
US9946495B2 (en) | 2013-04-25 | 2018-04-17 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Dirty data management for hybrid drives |
JP2022519851A (ja) * | 2019-04-15 | 2022-03-25 | 長江存儲科技有限責任公司 | スタックされた3次元異種メモリデバイス、および、それを形成するための方法 |
Families Citing this family (76)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6418070B1 (en) * | 1999-09-02 | 2002-07-09 | Micron Technology, Inc. | Memory device tester and method for testing reduced power states |
US6614703B2 (en) * | 2000-01-13 | 2003-09-02 | Texas Instruments Incorporated | Method and system for configuring integrated systems on a chip |
TW587252B (en) * | 2000-01-18 | 2004-05-11 | Hitachi Ltd | Semiconductor memory device and data processing device |
KR100380409B1 (ko) * | 2001-01-18 | 2003-04-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 소자의 패드배열구조 및 그의 구동방법 |
JP2002251884A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-09-06 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びそのシステム装置 |
US6625081B2 (en) | 2001-08-13 | 2003-09-23 | Micron Technology, Inc. | Synchronous flash memory with virtual segment architecture |
US6795360B2 (en) | 2001-08-23 | 2004-09-21 | Integrated Device Technology, Inc. | Fifo memory devices that support all four combinations of DDR or SDR write modes with DDR or SDR read modes |
US7082071B2 (en) * | 2001-08-23 | 2006-07-25 | Integrated Device Technology, Inc. | Integrated DDR/SDR flow control managers that support multiple queues and MUX, DEMUX and broadcast operating modes |
TW525168B (en) * | 2001-09-04 | 2003-03-21 | Macronix Int Co Ltd | Memory structure and the controller used therewith |
TW516118B (en) * | 2001-09-11 | 2003-01-01 | Leadtek Research Inc | Decoding conversion device and method capable of supporting multiple memory chips and their application system |
US6728150B2 (en) * | 2002-02-11 | 2004-04-27 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for supplementary command bus |
US6917544B2 (en) * | 2002-07-10 | 2005-07-12 | Saifun Semiconductors Ltd. | Multiple use memory chip |
US6876563B1 (en) * | 2002-12-20 | 2005-04-05 | Cypress Semiconductor Corporation | Method for configuring chip selects in memories |
US20050149792A1 (en) * | 2002-12-20 | 2005-07-07 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method for testing the same |
JP4068974B2 (ja) * | 2003-01-22 | 2008-03-26 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP4194561B2 (ja) * | 2003-04-23 | 2008-12-10 | 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体記憶装置 |
US6982892B2 (en) * | 2003-05-08 | 2006-01-03 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and methods for a physical layout of simultaneously sub-accessible memory modules |
US7120075B1 (en) | 2003-08-18 | 2006-10-10 | Integrated Device Technology, Inc. | Multi-FIFO integrated circuit devices that support multi-queue operating modes with enhanced write path and read path queue switching |
US20050127490A1 (en) * | 2003-12-16 | 2005-06-16 | Black Bryan P. | Multi-die processor |
US7657706B2 (en) * | 2003-12-18 | 2010-02-02 | Cisco Technology, Inc. | High speed memory and input/output processor subsystem for efficiently allocating and using high-speed memory and slower-speed memory |
KR100944349B1 (ko) * | 2003-12-22 | 2010-03-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 분할 신호라인을 갖는 반도체 메모리 장치 |
KR100596776B1 (ko) * | 2004-01-08 | 2006-07-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 멀티 칩 어셈블리 및 이의 구동 방법 |
US7126829B1 (en) | 2004-02-09 | 2006-10-24 | Pericom Semiconductor Corp. | Adapter board for stacking Ball-Grid-Array (BGA) chips |
US7339837B2 (en) * | 2004-05-18 | 2008-03-04 | Infineon Technologies Ag | Configurable embedded processor |
US7308526B2 (en) * | 2004-06-02 | 2007-12-11 | Intel Corporation | Memory controller module having independent memory controllers for different memory types |
KR100585158B1 (ko) * | 2004-09-13 | 2006-05-30 | 삼성전자주식회사 | Ecc 메모리 모듈 |
US8156276B2 (en) * | 2005-08-01 | 2012-04-10 | Ati Technologies Ulc | Method and apparatus for data transfer |
KR100799158B1 (ko) * | 2005-09-21 | 2008-01-29 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 및 이를 포함하는 반도체 메모리 모듈 |
US7562271B2 (en) | 2005-09-26 | 2009-07-14 | Rambus Inc. | Memory system topologies including a buffer device and an integrated circuit memory device |
US11328764B2 (en) | 2005-09-26 | 2022-05-10 | Rambus Inc. | Memory system topologies including a memory die stack |
WO2007058617A1 (en) * | 2005-11-17 | 2007-05-24 | Chee Keng Chang | A controller for non-volatile memories, and methods of operating the memory controller |
CN100454438C (zh) * | 2005-12-27 | 2009-01-21 | 中国科学院计算技术研究所 | 适合矩阵转置的ddr存储控制器及矩阵行列访问方法 |
JP4894306B2 (ja) * | 2006-03-09 | 2012-03-14 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体メモリ、メモリシステムおよび半導体メモリの動作方法 |
KR100816690B1 (ko) * | 2006-04-13 | 2008-03-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 온도 감지장치를 구비하는 반도체메모리소자 |
TWI530791B (zh) | 2007-01-10 | 2016-04-21 | 木比爾半導體股份有限公司 | 用於改善外部計算裝置效能的調適性記憶體系統 |
US7821069B2 (en) | 2007-01-25 | 2010-10-26 | Denso Corporation | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
WO2008131058A2 (en) | 2007-04-17 | 2008-10-30 | Rambus Inc. | Hybrid volatile and non-volatile memory device |
US8874831B2 (en) * | 2007-06-01 | 2014-10-28 | Netlist, Inc. | Flash-DRAM hybrid memory module |
JP4922860B2 (ja) * | 2007-08-01 | 2012-04-25 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
US7944047B2 (en) * | 2007-09-25 | 2011-05-17 | Qimonda Ag | Method and structure of expanding, upgrading, or fixing multi-chip package |
DE102007051839B4 (de) * | 2007-10-30 | 2015-12-10 | Polaris Innovations Ltd. | Kontrollschaltung, Speichervorrichtung mit einer Kontrollschaltung und Verfahren zum Durchführen eines Schreibkommandos bzw. zum Betrieb einer Speichervorrichtung mit einer Kontrollschaltung |
JP5259369B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2013-08-07 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2011065732A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置 |
JP2011081732A (ja) | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその調整方法並びにデータ処理システム |
JP5426311B2 (ja) * | 2009-10-14 | 2014-02-26 | ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル | 半導体装置 |
JP2011170943A (ja) * | 2010-02-22 | 2011-09-01 | Sony Corp | 記憶制御装置、記憶装置、記憶装置システム |
CN101866695B (zh) * | 2010-06-21 | 2013-01-16 | 苏州国芯科技有限公司 | 一种NandflashU盘控制器读写Norflash存储器的方法 |
KR101736384B1 (ko) | 2010-09-29 | 2017-05-16 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 시스템 |
US8713379B2 (en) * | 2011-02-08 | 2014-04-29 | Diablo Technologies Inc. | System and method of interfacing co-processors and input/output devices via a main memory system |
US9170744B1 (en) | 2011-04-06 | 2015-10-27 | P4tents1, LLC | Computer program product for controlling a flash/DRAM/embedded DRAM-equipped system |
US9176671B1 (en) | 2011-04-06 | 2015-11-03 | P4tents1, LLC | Fetching data between thread execution in a flash/DRAM/embedded DRAM-equipped system |
US9158546B1 (en) | 2011-04-06 | 2015-10-13 | P4tents1, LLC | Computer program product for fetching from a first physical memory between an execution of a plurality of threads associated with a second physical memory |
US9432298B1 (en) * | 2011-12-09 | 2016-08-30 | P4tents1, LLC | System, method, and computer program product for improving memory systems |
US8930647B1 (en) | 2011-04-06 | 2015-01-06 | P4tents1, LLC | Multiple class memory systems |
US9164679B2 (en) | 2011-04-06 | 2015-10-20 | Patents1, Llc | System, method and computer program product for multi-thread operation involving first memory of a first memory class and second memory of a second memory class |
US9417754B2 (en) | 2011-08-05 | 2016-08-16 | P4tents1, LLC | User interface system, method, and computer program product |
US8705307B2 (en) | 2011-11-17 | 2014-04-22 | International Business Machines Corporation | Memory system with dynamic refreshing |
KR101903520B1 (ko) * | 2012-01-06 | 2018-10-04 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 |
JP5976392B2 (ja) * | 2012-05-16 | 2016-08-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路およびその動作方法 |
KR20140030962A (ko) * | 2012-09-04 | 2014-03-12 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 데이터 저장 장치 및 그것의 동작 방법 |
KR102097027B1 (ko) | 2013-05-28 | 2020-05-27 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 시스템 |
US9436600B2 (en) | 2013-06-11 | 2016-09-06 | Svic No. 28 New Technology Business Investment L.L.P. | Non-volatile memory storage for multi-channel memory system |
KR102140784B1 (ko) * | 2013-12-03 | 2020-08-03 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 장치의 데이터 기록 방법 |
US9536590B1 (en) * | 2014-09-03 | 2017-01-03 | Marvell International Ltd. | System and method of memory electrical repair |
US10078448B2 (en) * | 2015-07-08 | 2018-09-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Electronic devices and memory management methods thereof |
KR102373544B1 (ko) | 2015-11-06 | 2022-03-11 | 삼성전자주식회사 | 요청 기반의 리프레쉬를 수행하는 메모리 장치, 메모리 시스템 및 메모리 장치의 동작방법 |
US10163494B1 (en) * | 2017-05-31 | 2018-12-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Memory device and fabrication method thereof |
TWI631681B (zh) * | 2017-12-15 | 2018-08-01 | 來揚科技股份有限公司 | 雙晶片封裝結構 |
US10803920B2 (en) * | 2018-11-26 | 2020-10-13 | Birad—Research & Development Company Ltd. | Refresh controller for first-in first-out memories |
CN113906505B (zh) * | 2019-05-31 | 2023-04-18 | 美光科技公司 | 用于片上系统装置的存储器组件 |
US10790039B1 (en) * | 2019-09-26 | 2020-09-29 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device having a test circuit |
JPWO2021106224A1 (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | ||
KR20210127339A (ko) * | 2020-04-14 | 2021-10-22 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 리프레시 주기가 다른 다수의 영역을 구비한 메모리 장치, 이를 제어하는 메모리 컨트롤러 및 이를 포함하는 메모리 시스템 |
US11309301B2 (en) | 2020-05-28 | 2022-04-19 | Sandisk Technologies Llc | Stacked die assembly including double-sided inter-die bonding connections and methods of forming the same |
US11335671B2 (en) | 2020-05-28 | 2022-05-17 | Sandisk Technologies Llc | Stacked die assembly including double-sided inter-die bonding connections and methods of forming the same |
JP2022143741A (ja) * | 2021-03-18 | 2022-10-03 | キオクシア株式会社 | 半導体集積回路及びその動作方法 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US604953A (en) * | 1898-05-31 | Reading attachment for meters | ||
US599474A (en) * | 1898-02-22 | Edgar peckham | ||
JPS63282997A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | ブロツクアクセスメモリ |
KR970003232B1 (ko) * | 1987-05-22 | 1997-03-15 | 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 | 내부전압 발생회로를 구비하는 반도체장치 |
EP0304263A3 (en) | 1987-08-17 | 1990-09-12 | Lsi Logic Corporation | Semiconductor chip assembly |
JP2865170B2 (ja) | 1988-07-06 | 1999-03-08 | 三菱電機株式会社 | 電子回路装置 |
JPH03225695A (ja) | 1990-01-30 | 1991-10-04 | Nec Corp | メモリカード |
US5278796A (en) * | 1991-04-12 | 1994-01-11 | Micron Technology, Inc. | Temperature-dependent DRAM refresh circuit |
JPH05189964A (ja) | 1992-01-16 | 1993-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | Dramコントロール回路及び半導体装置のコントロール回路 |
JPH05299616A (ja) | 1992-04-16 | 1993-11-12 | Hitachi Ltd | 半導体記憶装置 |
JPH05299575A (ja) | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Mitsubishi Electric Corp | メモリ内蔵半導体装置 |
JP3400824B2 (ja) * | 1992-11-06 | 2003-04-28 | 三菱電機株式会社 | 半導体記憶装置 |
JPH07153286A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-16 | Sony Corp | 半導体不揮発性記憶装置 |
JPH07176185A (ja) | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Canon Inc | リフレッシュ制御装置 |
KR0129197B1 (ko) * | 1994-04-21 | 1998-10-01 | 문정환 | 메모리셀어레이의 리플레쉬 제어회로 |
JPH08185695A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-07-16 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置、その動作方法およびその製造方法 |
US5737748A (en) * | 1995-03-15 | 1998-04-07 | Texas Instruments Incorporated | Microprocessor unit having a first level write-through cache memory and a smaller second-level write-back cache memory |
JPH08263229A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 半導体記憶装置 |
JPH08305680A (ja) | 1995-04-28 | 1996-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
US5933623A (en) * | 1995-10-26 | 1999-08-03 | Hitachi, Ltd. | Synchronous data transfer system |
US5644541A (en) * | 1995-11-03 | 1997-07-01 | Philip K. Siu | Memory substitution system and method for correcting partially defective memories |
JPH1011348A (ja) | 1996-06-24 | 1998-01-16 | Ricoh Co Ltd | Dramの制御装置およびそのdram |
JP2907127B2 (ja) | 1996-06-25 | 1999-06-21 | 日本電気株式会社 | マルチチップモジュール |
US5996096A (en) * | 1996-11-15 | 1999-11-30 | International Business Machines Corporation | Dynamic redundancy for random access memory assemblies |
US5966736A (en) * | 1997-03-07 | 1999-10-12 | Advanced Micro Devices, Inc. | Multiplexing DRAM control signals and chip select on a processor |
US6094704A (en) * | 1997-06-17 | 2000-07-25 | Micron Technology, Inc. | Memory device with pipelined address path |
JP3161383B2 (ja) * | 1997-09-16 | 2001-04-25 | 日本電気株式会社 | 半導体記憶装置 |
JP3092558B2 (ja) * | 1997-09-16 | 2000-09-25 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
US5889714A (en) * | 1997-11-03 | 1999-03-30 | Digital Equipment Corporation | Adaptive precharge management for synchronous DRAM |
JPH11219984A (ja) | 1997-11-06 | 1999-08-10 | Sharp Corp | 半導体装置パッケージおよびその製造方法ならびにそのための回路基板 |
JPH11204721A (ja) | 1998-01-07 | 1999-07-30 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JPH11220091A (ja) | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Toshiba Microelectronics Corp | 半導体装置 |
JPH11219600A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
WO1999046775A2 (en) * | 1998-03-10 | 1999-09-16 | Rambus, Inc. | Performing concurrent refresh and current control operations in a memory subsystem |
JPH11283361A (ja) | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 記憶装置 |
EP0955640A3 (en) * | 1998-03-30 | 2000-01-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Decoded autorefresh mode in a DRAM |
US6016282A (en) * | 1998-05-28 | 2000-01-18 | Micron Technology, Inc. | Clock vernier adjustment |
US5999474A (en) * | 1998-10-01 | 1999-12-07 | Monolithic System Tech Inc | Method and apparatus for complete hiding of the refresh of a semiconductor memory |
JP2000339954A (ja) * | 1999-05-31 | 2000-12-08 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置 |
JP4555416B2 (ja) | 1999-09-22 | 2010-09-29 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体集積回路およびその制御方法 |
-
2000
- 2000-05-26 JP JP2000161123A patent/JP3871853B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-03-13 US US09/803,958 patent/US6392950B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-03-15 KR KR1020010013395A patent/KR100734410B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-03-19 TW TW90106389A patent/TWI286317B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-07-03 US US09/897,503 patent/US6411561B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-05-09 US US10/140,945 patent/US6587393B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-04-11 US US10/411,237 patent/US6847575B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-01-19 US US11/037,088 patent/US7554872B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2009
- 2009-06-11 US US12/482,579 patent/US8223578B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-06-26 US US13/533,003 patent/US8711650B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033436A (ja) * | 2000-07-14 | 2002-01-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2004507856A (ja) * | 2000-08-17 | 2004-03-11 | マイクロン・テクノロジー・インコーポレーテッド | ダイナミックランダムアクセスメモリのリフレッシュを隠す方法およびシステム |
JP2002324393A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2003006041A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2003051186A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Fujitsu Ltd | 半導体メモリ |
WO2004010502A1 (ja) * | 2002-07-19 | 2004-01-29 | Renesas Technology Corp. | 混成集積回路装置 |
JP2004102781A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | メモリシステム |
JP4499982B2 (ja) * | 2002-09-11 | 2010-07-14 | 株式会社日立製作所 | メモリシステム |
KR100786603B1 (ko) * | 2002-11-28 | 2007-12-21 | 가부시끼가이샤 르네사스 테크놀로지 | 메모리 모듈, 메모리시스템 및 정보기기 |
JPWO2004049168A1 (ja) * | 2002-11-28 | 2006-03-30 | 株式会社ルネサステクノロジ | メモリモジュール、メモリシステム、及び情報機器 |
JP5138869B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2013-02-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | メモリモジュール及びメモリシステム |
CN1717662B (zh) * | 2002-11-28 | 2010-04-28 | 株式会社瑞萨科技 | 存储器模块、存储器系统和信息仪器 |
US8185690B2 (en) | 2002-11-28 | 2012-05-22 | Renesas Electronics Corporation | Memory module, memory system, and information device |
US7991954B2 (en) | 2002-11-28 | 2011-08-02 | Renesas Electronics Corporation | Memory module, memory system, and information device |
US7613880B2 (en) | 2002-11-28 | 2009-11-03 | Renesas Technology Corp. | Memory module, memory system, and information device |
JP2011146075A (ja) * | 2002-11-28 | 2011-07-28 | Renesas Electronics Corp | メモリモジュール、メモリシステム、及び情報機器 |
WO2004049168A1 (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-10 | Renesas Technology Corp. | メモリモジュール、メモリシステム、及び情報機器 |
JP2005142312A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Renesas Technology Corp | 半導体装置およびその製造方法ならびに配線基板の製造方法 |
US8044518B2 (en) | 2004-01-23 | 2011-10-25 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Junction member comprising junction pads arranged in matrix and multichip package using same |
JP2007149919A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Renesas Technology Corp | マルチチップモジュール |
US7656039B2 (en) | 2005-11-28 | 2010-02-02 | Renesas Technology Corp. | Multi chip module |
KR101252305B1 (ko) * | 2005-11-28 | 2013-04-08 | 르네사스 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 멀티칩 모듈 |
JP2007227537A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Renesas Technology Corp | 不揮発性記憶装置 |
JP2011181098A (ja) * | 2006-06-07 | 2011-09-15 | Microsoft Corp | 1つのインターフェースを有するハイブリッド・メモリ・デバイス |
JP2009540431A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | マイクロソフト コーポレーション | 1つのインターフェースを有するハイブリッド・メモリ・デバイス |
JP2008153576A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路 |
JP2009123763A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Denso Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009252277A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Spansion Llc | 積層型メモリ装置、メモリシステム、及びそのリフレッシュ動作制御方法 |
JP2010171169A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Sanken Electric Co Ltd | 半導体モジュール及びその制御方法 |
WO2010084550A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | サンケン電気株式会社 | 半導体モジュール及びその制御方法 |
JP2012043342A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Buffalo Inc | メモリモジュール |
US8885380B2 (en) | 2010-09-03 | 2014-11-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor memory device |
JP2013101728A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-23 | Elpida Memory Inc | 半導体装置 |
US8812744B1 (en) | 2013-03-14 | 2014-08-19 | Microsoft Corporation | Assigning priorities to data for hybrid drives |
US8990441B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-03-24 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Assigning priorities to data for hybrid drives |
US9323460B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-04-26 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Assigning priorities to data for hybrid drives |
US9626126B2 (en) | 2013-04-24 | 2017-04-18 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Power saving mode hybrid drive access management |
US9946495B2 (en) | 2013-04-25 | 2018-04-17 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Dirty data management for hybrid drives |
JP2015079293A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | Necプラットフォームズ株式会社 | メモリ制御装置、メモリ制御方法、及び、情報処理装置 |
JP2022519851A (ja) * | 2019-04-15 | 2022-03-25 | 長江存儲科技有限責任公司 | スタックされた3次元異種メモリデバイス、および、それを形成するための方法 |
JP7209857B2 (ja) | 2019-04-15 | 2023-01-20 | 長江存儲科技有限責任公司 | スタックされた3次元異種メモリデバイス、および、それを形成するための方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7554872B2 (en) | 2009-06-30 |
KR20010107538A (ko) | 2001-12-07 |
US6411561B2 (en) | 2002-06-25 |
US8711650B2 (en) | 2014-04-29 |
US20020131318A1 (en) | 2002-09-19 |
US6392950B2 (en) | 2002-05-21 |
US6587393B2 (en) | 2003-07-01 |
US8223578B2 (en) | 2012-07-17 |
US6847575B2 (en) | 2005-01-25 |
JP3871853B2 (ja) | 2007-01-24 |
US20050128853A1 (en) | 2005-06-16 |
US20030206478A1 (en) | 2003-11-06 |
KR100734410B1 (ko) | 2007-07-03 |
US20090245004A1 (en) | 2009-10-01 |
US20120262992A1 (en) | 2012-10-18 |
US20010048616A1 (en) | 2001-12-06 |
TWI286317B (en) | 2007-09-01 |
US20010046167A1 (en) | 2001-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3871853B2 (ja) | 半導体装置及びその動作方法 | |
KR100884157B1 (ko) | 반도체 장치 | |
KR100924408B1 (ko) | 반도체 장치 | |
JP4574602B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4534485B2 (ja) | 半導体装置及びメモリモジュール | |
JP5391370B2 (ja) | メモリモジュールとコントローラ | |
JP2004206873A (ja) | 半導体装置 | |
KR100958767B1 (ko) | 메모리 모듈 | |
JP2010231883A (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040305 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040305 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131027 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |