KR101903520B1 - 반도체 장치 - Google Patents

반도체 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101903520B1
KR101903520B1 KR1020120001992A KR20120001992A KR101903520B1 KR 101903520 B1 KR101903520 B1 KR 101903520B1 KR 1020120001992 A KR1020120001992 A KR 1020120001992A KR 20120001992 A KR20120001992 A KR 20120001992A KR 101903520 B1 KR101903520 B1 KR 101903520B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
memory
controller
access mode
setting unit
path setting
Prior art date
Application number
KR1020120001992A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20130081039A (ko
Inventor
이정우
Original Assignee
에스케이하이닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에스케이하이닉스 주식회사 filed Critical 에스케이하이닉스 주식회사
Priority to KR1020120001992A priority Critical patent/KR101903520B1/ko
Priority to US13/601,552 priority patent/US8873267B2/en
Publication of KR20130081039A publication Critical patent/KR20130081039A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101903520B1 publication Critical patent/KR101903520B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/02Disposition of storage elements, e.g. in the form of a matrix array
    • G11C5/04Supports for storage elements, e.g. memory modules; Mounting or fixing of storage elements on such supports
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/71Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
    • H01L21/768Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0655Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 컨트롤러, 메모리, 노멀 라인, 테스트 라인 및 경로 설정부를 포함한다. 상기 노멀 라인은 상기 컨트롤러와 상기 메모리가 통신하기 위해 구비된다. 상기 테스트 라인은 상기 메모리의 테스트 동작을 위해 구비된다. 상기 경로 설정부는 접근 모드에 따라 상기 노멀 라인 및 상기 테스트 라인 중 하나를 상기 메모리와 접속시킨다.

Description

반도체 장치 {SEMICONDUCTOR APPARATUS}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 시스템-인-패키지(SIP: System-in-Package) 반도체 장치에 관한 것이다.
반도체 산업에서 집적 회로에 대한 패키징(packaging) 기술은 소형화에 대한 요구를 만족시키기 위해 지속적으로 발전하고 있으며, 각각 다른 기능을 갖는 복수의 반도체 칩을 단일의 패키지에 밀봉하여 시스템을 실현하는 시스템 인 패키지(System In Package, SIP)가 주목 받고 있다.
메모리를 적층하기 전에는 메모리의 노멀 핀(PIN)을 사용하여 메모리의 테스트가 가능하지만, 컨트롤러와 메모리를 적층한 후, 시스템 인 패키지 상태에서는 오직 컨트롤러를 통해서만 메모리의 불량 유무를 테스트 할 수 있는데, 이때 불량이 발생할 경우, 불량의 원인이 컨트롤러에 기인한 것인지 또는 메모리에 기인한 것인지 정확히 판별할 수 없다. 따라서, 시스템 인 패키지 상태에서 메모리만을 별도로 테스트 하기 위한 직접 접근 핀(Direct Access PIN)을 따로 사용하여, 메모리와 시스템 인 패키지의 외부 접근 핀을 직접 연결하는 직접 접근 모드(Direct Accesee mode)로 메모리를 테스트한다.
도 1은 종래기술에 따른 반도체 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다. 상기 반도체 장치는 시스템 인 패키지로 구성된다. 도 1에서, 상기 시스템 인 패키지는 기판(10), 인터포저(20), 컨트롤러(30), 제 1 및 제 2 메모리(40, 50)를 포함한다. 상기 기판(10)은 외부 회로와 통신하기 위한 제 1 및 제 2 접근 핀(11, 12)을 구비한다. 상기 기판(10)은 노멀 동작에서 상기 컨트롤러(30)로 억세스 하기 위한 제 1 접근 핀(11)을 구비하고, 테스트 동작에서 상기 제 1 및 제 2 메모리(40, 50)로 직접 억세스 하기 위한 제 2 접근 핀(12)을 구비한다. 상기 제 1 및 제 2 접근 핀(11, 12)은 각각 외부 회로가 상기 반도체 장치를 억세스하기 위한 외부 접근 핀에 해당한다. 또한, 상기 제 2 접근 핀(12)은 외부 회로가 상기 컨트롤러(30)를 매개로 하지 않고, 상기 메모리(40, 50)를 직접 억세스하기 위한 직접 접근 핀에 해당한다.
상기 인터포저(20)는 상기 제 1 접근 핀(11)과 상기 제 1 및 제 2 메모리(40, 50) 사이, 상기 제 2 접근 핀(12)과 컨트롤러(30) 사이 및 상기 컨트롤러(30)와 상기 제 1 및 제 2 메모리(40, 50) 사이의 연결을 형성하는 배선들을 포함할 수 있다.
상기 컨트롤러(30)는 노멀 동작에서 상기 제 1 접근 핀(11)을 통해 입력되는 외부 신호들(예를 들어, 커맨드, 어드레스, 데이터 신호 등)를 수신한다. 상기 컨트롤러(30)는 상기 제 1 및 제 2 메모리(40, 50)를 제어하기 위해, 상기 수신된 외부 신호들을 상기 제 1 및 제 2 메모리(40, 50)로 전송한다. 상기 외부 신호들은 상기 컨트롤러(30)와 상기 메모리(40, 50)에 각각 구비되는 송수신 회로를 통해 전송될 수 있다. 또는, 메모리(40, 50)로부터 출력되는 신호를 메모리 컨트롤러(30)가 수신하고, 상기 수신된 신호를 상기 제 1 접근 핀(11)을 통해 외부로 출력할 수 있다.
상기 제 1 및 제 2 메모리(40, 50)는 상기 제 2 접근 핀(12)을 통해 입력되는 신호를 직접 수신하므로, 컨트롤러(30)를 매개로 하지 않고 테스트가 수행될 수 있다. 그러나, 상기 메모리는 상기 제 2 접근 핀(12) 및 인터포저(20)를 통해 외부에서 입력되는 신호를 수신하기 위한 직접 수신 범프(41, 51)를 추가로 구비해야 한다. 상기 직접 수신 범프(41, 51)는 메모리의 사이즈를 증가시켜 집적화에 불리함으로 작용한다.
본 발명은 직접 접근 모드 및 일반 접근 모드에서 신호가 전송되는 경로를 공유할 수 있는 반도체 장치를 제공하는 것으로 그 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치는 컨트롤러; 메모리; 상기 컨트롤러와 상기 메모리가 통신하기 위한 노멀 라인; 상기 메모리의 테스트 동작을 위한 테스트 라인; 및 접근 모드에 따라 상기 노멀 라인 및 상기 테스트 라인 중 하나를 상기 메모리와 접속시키는 경로 설정부를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 장치는 기판; 상기 기판 상에 배치되는 인터포저; 상기 기판 상에 배치되는 컨트롤러; 상기 기판 상에 배치되는 메모리; 및 상기 인터포저 내부에 배치되고, 접근 모드에 따라서 상기 컨트롤러와 상기 기판의 직접 접근 핀을 선택적으로 상기 메모리에 접속시키는 경로 설정부를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 장치는 접근 모드에 따라서 컨트롤러와 직접 접근 핀 중 하나를 메모리에 접속시키는 경로 설정부를 포함하고, 상기 접근 모드는, 상기 메모리를 상기 직접 접근 핀에 연결하여 상기 메모리를 테스트하는 직접 접근 모드; 및 상기 메모리를 상기 컨트롤러와 연결하여 구동시키는 일반 접근 모드를 포함한다.
본 발명에 의하면 직접 접근 모드에서 요구되었던 메모리 내부의 TSV 나, 직접 접근 범프 등이 필요치 않게 되어 넷 다이(net die)를 개선할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 반도체 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 3에서, 상기 반도체 장치는 기판(10), 상기 기판(10) 상에 배치되는 인터포저(20), 상기 기판(10) 상에 배치되는 컨트롤러(30) 및 상기 기판(10) 상에 배치되는 복수개의 메모리(40, 50)를 포함한다. 상기 기판(10), 인터포저(20), 컨트롤러(30) 및 메모리(40, 50)는 단일 패키지로 패키징되어 시스템 인 패키지(1, System In package, SIP)를 구성할 수 있다. 도 2에서, 반도체 장치가 2개의 메모리(40, 50)를 포함하는 것을 예시하였지만 메모리의 개수를 한정하려는 것은 아니다. 또한, 상기 컨트롤러(30)와 상기 메모리(40, 50)는 기판 상에서 서로 수평하게 배치되는 것을 예시하였으나, 특별히 배치 위치를 한정하는 것은 아니다.
상기 인터포저(20)는 상기 반도체 장치의 외부 회로(미도시) 및 컨트롤러(30) 사이, 외부 회로 및 메모리(40, 50) 사이, 및 상기 컨트롤러(30)와 상기 메모리(40, 50) 사이의 통신을 가능하게 하는 논리 회로들을 포함하는 칩으로서 로직 다이에 해당할 수 있고, 상기 통신들을 가능하게 하기 위해 상기 외부 회로와 컨트롤러(30) 사이의 신호 라인들, 상기 외부 회로와 메모리(40, 50) 사이의 신호 라인들 및 상기 컨트롤러(30)와 메모리(40, 50) 사이의 신호 라인들을 포함할 수 있다. 상기 신호 라인은 상기 반도체 장치의 노멀 동작을 위해 노멀 신호들이 전송되는 노멀 라인(NALine)과 상기 반도체 장치의 테스트 동작을 위해 테스트 관련 신호들이 전송되는 테스트 라인(DALine)을 포함한다.
상기 노멀 라인(NALine)은 상기 컨트롤러(30)와 상기 메모리(40, 50) 사이를 연결한다. 상기 노멀 라인(NALine)은 상기 컨트롤러(30)와 상기 메모리(40, 50) 사이의 통신을 가능하게 한다. 상기 컨트롤러(30)는 상기 반도체 장치의 기판(10)에 구비되는 제 1 접근 핀(11)을 통해 상기 외부 회로, 예를 들어 외부 컨트롤러(CPU, 미도시)로부터 메모리(40, 50)의 노멀 동작을 위한 신호들, 예를 들어 커맨드 신호, 어드레스 신호 또는 데이터 신호 등을 수신할 수 있다. 상기 컨트롤러(30)는 상기 노멀 동작을 위한 신호들을 상기 노멀 라인(NALine)을 통해 상기 메모리(40, 50)로 전송할 수 있다. 또한, 상기 메모리(40, 50)로부터 출력되는 신호는 상기 노멀 라인(NALine)을 통해 상기 컨트롤러(30)로 전송될 수 있으며, 메모리(40, 50)로부터 전송된 신호는 상기 제 1 접근 핀(11)을 통해 상기 외부 회로로 출력될 수 있다.
상기 테스트 라인(DALine)은 상기 외부 회로와 상기 메모리(40, 50) 사이를 연결한다. 상기 테스트 라인(DALine)은 메모리의 테스트 동작을 위한 신호를 전송할 수 있다. 상기 반도체 장치는 외부 회로, 예를 들어 테스트 장비에 의해 직접 억세스 될 수 있으며, 상기 테스트 라인(DALine)은 상기 테스트 장비로부터 메모리(40, 50)의 테스트 동작을 위한 신호들을 전송한다. 상기 테스트 장비는 상기 상기 반도체 장치의 기판(10)에 구비되는 제 2 접근 핀(12)을 통해 상기 테스트 동작을 위한 신호를 상기 테스트 라인(DALine)으로 인가하고, 상기 테스트 라인(DALine)을 통해 전송되는 신호는 직접 메모리(40, 50)로 전송될 수 있다. 또한, 메모리(40, 50)로부터 출력되는 테스트 관련 신호들은 상기 테스트 라인(DALine)을 통해 전송되고, 상기 제 2 접근 핀(12)을 통해 상기 테스트 장비로 출력될 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 반도체 장치는 경로 설정부(100)를 포함한다. 상기 경로 설정부(100)는 접근 모드에 따라 상기 노멀 라인(NALine) 및 상기 테스트 라인(DAline) 중 하나를 상기 메모리(40, 50)로 접속시킨다. 즉, 상기 경로 설정부(100)는 접근 모드에 따라 상기 컨트롤러(30) 및 상기 제 2 접근 핀(12) 중 하나를 상기 메모리(40, 50)와 접속시킨다. 상기 상기 접근 모드는 일반 접근 모드 및 직접 접근 모드를 포함한다. 상기 일반 접근 모드는 상기 메모리(40, 50)의 노멀 동작을 위한 동작 모드에 해당하고, 상기 직접 접근 모드는 상기 메모리(40, 50)의 테스트 동작을 위한 동작 모드이다. 상기 경로 설정부(100)는 상기 일반 접근 모드에서 상기 노멀 라인(NALine)을 상기 메모리(40, 50)와 접속시키고, 상기 직접 접근 모드에서 상기 테스트 라인(DALine)을 상기 메모리(40, 50)와 접속시킨다. 따라서, 상기 메모리(40, 50)는 상기 경로 설정부(100)에 의해 상기 노멀 라인(NALine) 및 상기 테스트 라인(DALine)과 접속하는 범프를 별도로 구비할 필요가 없다. 즉, 상기 메모리(40, 50)는 공유 범프(43, 53)를 이용하여 상기 노멀 라인(NALine) 및 테스트 라인(DALine)과 접속될 수 있다.
상기 경로 설정부(100)는 복수개의 먹스부를 포함한다. 상기 복수개의 먹스부는 노멀 라인(NALine)과 테스트 라인(DALine)에 연결되며, 접근 모드에 따라 상기 노멀 라인(NALine) 및 테스트 라인(DALine) 중 하나를 상기 메모리(40, 50)로 접속시킨다. 상기 접근 모드는 접근 모드 제어신호(Mode_D/N)에 의해 지정될 수 있고, 상기 접근 모드 제어신호(Mode_D/N)는 한정하는 것은 아니지만 테스트 모드 신호에 의해 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 접근 모드 제어신호(Mode_D/N)가 제 1 레벨이면 상기 먹스부는 상기 노멀 라인(NALine)을 상기 메모리(40, 50)로 접속시킬 수 있고, 상기 접근 모드 제어신호(Mode_D/N)가 제 2 레벨이면 상기 먹스부는 상기 테스트 라인(DALine)을 상기 메모리(40, 50)로 접속시킬 수 있다. 상기 먹스부, 노멀 라인(NALine) 및 테스트 라인(DALine)의 개수는 각각 4개씩으로 예시되었지만, 개수를 한정하는 것은 아니며, 어플리케이션에 따라 상기 개수는 다양하게 변화될 수 있다.
상기 메모리(40, 50)는 적층되는 복수개의 집적 회로 칩을 포함할 수 있고, 상기 복수개의 집적 회로 칩은 관통 비아와 같은 연결 수단을 통해 서로 적층 연결될 수 있다. 또한, 상기 메모리(40, 50)는 일반 접근 블록(Normal Access Block)과 직접 접근 블록(Direct Access Block)을 포함할 수 있다. 상기 일반 접근 블록(Normal Access Block)은 상기 노멀 라인(NALine)을 통해 전송되는 신호를 수신하여 메모리(40, 50)의 노멀 동작을 수행하는 블록이고, 상기 직접 접근 블록(Direct Access Block)은 상기 테스트 라인(DALine)을 통해 전송되는 신호를 수신하여 메모리(40, 50)의 테스트 동작을 수행하는 블록이다.
본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치는 접근 모드에 따라 상기 노멀 라인(NALine)을 통해 전송되는 신호 및 상기 테스트 라인(DALine)을 통해 전송되는 신호를 동일한 범프(43, 53)를 통해 수신할 수 있다. 따라서, 직접 접근 모드에서 사용되었던 범프의 개수를 감소시킬 수 있고, 메모리의 면적확보에 유리하다.
일반 접근 모드에서 상기 결로 설정부(100)는 상기 노멀 라인(NALine)을 상기 메모리(40, 50)와 접속시킨다. 따라서, 상기 메모리(40, 50)는 상기 노멀 라인(NALine)을 통해 전송되는 신호, 즉, 컨트롤러(30)가 외부 컨트롤러로부터 수신한 신호를 수신하여 노멀 동작을 수행할 수 있다. 직접 접근 모드에서 상기 경로 설정부(100)는 상기 테스트 라인(DALine)을 상기 메모리(40, 50)와 접속시킨다. 따라서, 상기 메모리(40, 50)는 상기 테스트 라인(DALine)을 통해 전송되는 신호, 즉, 테스트 장비로부터 테스트 동작을 위한 신호를 수신하여 테스트 동작을 수행할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 시스템 인 패키지 10: 기판
11: 제 1 접근 핀 12: 제 2 접근 핀
20: 인터포저 30: 컨트롤러
40: 제 1 메모리 50: 제 2 메모리
100: 경로 설정부

Claims (9)

  1. 컨트롤러;
    메모리;
    상기 컨트롤러와 상기 메모리가 통신하기 위한 노멀 라인;
    상기 메모리의 테스트 동작을 위한 테스트 라인; 및
    접근 모드에 따라 상기 노멀 라인 및 상기 테스트 라인 중 하나를 상기 메모리와 접속시키는 경로 설정부를 포함하고,
    상기 컨트롤러, 상기 메모리 및 상기 경로 설정부는 단일 패키지에 포함되는 반도체 장치.
  2. ◈청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제 1 항에 있어서,
    상기 테스트 라인은 상기 반도체 장치 외부의 회로와 상기 메모리 사이를 직접 접속시키는 반도체 장치.
  3. 삭제
  4. 기판;
    상기 기판 상에 배치되는 인터포저;
    상기 기판 상에 배치되는 컨트롤러;
    상기 기판 상에 배치되는 메모리; 및
    상기 인터포저 내부에 배치되고, 접근 모드에 따라서 상기 컨트롤러와 상기 기판의 직접 접근 핀을 선택적으로 상기 메모리에 접속시키는 경로 설정부를 포함하는 반도체 장치.
  5. ◈청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제 4 항에 있어서,
    상기 접근 모드는, 상기 메모리를 상기 직접 접근 핀에 연결하여 상기 메모리를 직접 테스트 하는 직접 접근 모드; 및
    상기 메모리를 상기 컨트롤러와 연결하여 구동시키는 일반 접근 모드를 포함하는 반도체 장치.
  6. 접근 모드에 따라서 컨트롤러와 직접 접근 핀 중 하나를 메모리에 접속시키는 경로 설정부를 포함하고,
    상기 경로 설정부는 상기 메모리의 공유 범프와 연결되며,
    상기 접근 모드는, 상기 메모리를 상기 직접 접근 핀에 연결하여 상기 메모리를 테스트하는 직접 접근 모드; 및
    상기 메모리를 상기 컨트롤러와 연결하여 구동시키는 일반 접근 모드를 포함하는 반도체 장치.
  7. ◈청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제 6 항에 있어서,
    상기 메모리는 적층된 복수 개의 집적회로 칩을 포함하는 반도체 장치.
  8. ◈청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제 6 항에 있어서,
    상기 메모리는 상기 직접 접근 모드에서 상기 경로 설정부로부터 전송된 신호를 수신하여 테스트 동작을 수행하는 직접 접근 블록; 및
    상기 일반 접근 모드에서 상기 경로 설정부로부터 전송된 신호를 수신하여 노멀 동작을 수행하는 일반 접근 블록을 포함하는 반도체 장치.
  9. ◈청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.◈
    제 6 항에 있어서,
    상기 일반 접근 모드에서 상기 컨트롤러는 외부 컨트롤러와 통신하는 반도체 장치.
KR1020120001992A 2012-01-06 2012-01-06 반도체 장치 KR101903520B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120001992A KR101903520B1 (ko) 2012-01-06 2012-01-06 반도체 장치
US13/601,552 US8873267B2 (en) 2012-01-06 2012-08-31 Semiconductor apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120001992A KR101903520B1 (ko) 2012-01-06 2012-01-06 반도체 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130081039A KR20130081039A (ko) 2013-07-16
KR101903520B1 true KR101903520B1 (ko) 2018-10-04

Family

ID=48743814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120001992A KR101903520B1 (ko) 2012-01-06 2012-01-06 반도체 장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8873267B2 (ko)
KR (1) KR101903520B1 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102032887B1 (ko) * 2012-12-10 2019-10-16 삼성전자 주식회사 반도체 패키지 및 반도체 패키지의 라우팅 방법
KR102146470B1 (ko) 2014-01-17 2020-08-21 에스케이하이닉스 주식회사 실리콘 관통 비아를 갖는 반도체 장치
KR20180006229A (ko) 2016-07-08 2018-01-17 삼성전자주식회사 스택 구조의 반도체 메모리 패키지, 메모리 장치 및 반도체 메모리 시스템
KR102543177B1 (ko) * 2018-03-12 2023-06-14 삼성전자주식회사 고 대역폭 메모리 장치 및 이 장치를 포함하는 시스템 장치
JP7226055B2 (ja) * 2019-04-17 2023-02-21 富士通株式会社 半導体装置およびシステム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005209239A (ja) * 2004-01-20 2005-08-04 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置
JP2010102801A (ja) * 2008-10-27 2010-05-06 Nec Electronics Corp 半導体記憶装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6337894A (ja) * 1986-07-30 1988-02-18 Mitsubishi Electric Corp ランダムアクセスメモリ
JPH02177100A (ja) * 1988-12-27 1990-07-10 Nec Corp 半導体記憶装置のテスト回路
US5442642A (en) * 1992-12-11 1995-08-15 Micron Semiconductor, Inc. Test signal generator on substrate to test
JP3753190B2 (ja) * 1995-04-26 2006-03-08 三菱電機株式会社 半導体装置
JP4141520B2 (ja) * 1997-11-14 2008-08-27 株式会社ルネサステクノロジ 同期型半導体記憶装置
KR100269322B1 (ko) * 1998-01-16 2000-10-16 윤종용 스트레스용전압을이용하여메모리를테스팅하는기능을갖는집적회로및그의메모리테스트방법
JP3871853B2 (ja) * 2000-05-26 2007-01-24 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置及びその動作方法
JP2003023138A (ja) * 2001-07-10 2003-01-24 Toshiba Corp メモリチップ及びこれを用いたcocデバイス、並びに、これらの製造方法
US6961881B2 (en) * 2001-09-14 2005-11-01 Fujitsu Limited Semiconductor device
US6754094B2 (en) * 2002-01-31 2004-06-22 Stmicroelectronics, Inc. Circuit and method for testing a ferroelectric memory device
JP4673652B2 (ja) * 2005-03-29 2011-04-20 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置の試験方法及び半導体装置
JP5165404B2 (ja) * 2007-06-06 2013-03-21 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置と半導体装置の製造方法及びテスト方法
JP5554476B2 (ja) * 2008-06-23 2014-07-23 ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル 半導体記憶装置および半導体記憶装置の試験方法
KR20100024588A (ko) * 2008-08-26 2010-03-08 삼성전자주식회사 돈 캐어 기능을 갖는 테스트 수행회로를 가지는 반도체 메모리 장치
JP2010182359A (ja) * 2009-02-04 2010-08-19 Elpida Memory Inc 半導体記憶装置及びそのテスト方法
US9035443B2 (en) * 2009-05-06 2015-05-19 Majid Bemanian Massively parallel interconnect fabric for complex semiconductor devices
KR20100125099A (ko) * 2009-05-20 2010-11-30 삼성전자주식회사 반도체 장치
KR101752154B1 (ko) * 2010-11-02 2017-06-30 삼성전자주식회사 로우 어드레스 제어 회로, 이를 포함하는 반도체 메모리 장치 및 로우 어드레스 제어 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005209239A (ja) * 2004-01-20 2005-08-04 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置
JP2010102801A (ja) * 2008-10-27 2010-05-06 Nec Electronics Corp 半導体記憶装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130081039A (ko) 2013-07-16
US20130176764A1 (en) 2013-07-11
US8873267B2 (en) 2014-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105679748B (zh) 用于在多芯片封装体中测试辅助部件的方法和装置
KR101109562B1 (ko) 초고대역폭 메모리 다이 스택
US9164147B2 (en) Method and apparatus for 3D IC test
KR102143490B1 (ko) 패드 및 범프를 포함하는 반도체 장치
US9423454B2 (en) Test circuit and semiconductor apparatus including the same
KR101903520B1 (ko) 반도체 장치
US9153508B2 (en) Multi-chip package and interposer with signal line compression
US9934179B2 (en) Wafer-level package with at least one input/output port connected to at least one management bus
US9324380B2 (en) Stacked semiconductor apparatus and semiconductor system capable of inputting signals through various paths
US8618541B2 (en) Semiconductor apparatus
US20150235715A1 (en) Stacked semiconductor memory apparatus and test circuit therefor
US9502384B2 (en) Semiconductor devices and semiconductor systems including the same
US9530756B2 (en) Semiconductor apparatus having electrical connections with through-via and a metal layer and stacking method thereof
US10283214B2 (en) Semiconductor device and semiconductor integrated system
US9343438B1 (en) Semiconductor apparatus having multiple channels
US9466555B2 (en) Semiconductor chip and stack type semiconductor apparatus using the same
US9600424B2 (en) Semiconductor chips, semiconductor chip packages including the same, and semiconductor systems including the same
US10311923B2 (en) Input circuit of three-dimensional semiconductor apparatus capable of enabling testing and direct access
KR102295895B1 (ko) 반도체 장치 및 시스템
KR20110012645A (ko) 쓰루 실리콘 비아 방식의 반도체 집적회로
KR20210009126A (ko) 메모리 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant