JPH11219600A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH11219600A
JPH11219600A JP10022303A JP2230398A JPH11219600A JP H11219600 A JPH11219600 A JP H11219600A JP 10022303 A JP10022303 A JP 10022303A JP 2230398 A JP2230398 A JP 2230398A JP H11219600 A JPH11219600 A JP H11219600A
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JP
Japan
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signal
clock signal
circuit
bits
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Withdrawn
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JP10022303A
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English (en)
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Masashi Matsumura
雅司 松村
Akira Yamazaki
彰 山崎
Isamu Hayashi
勇 林
Atsuo Mangyo
厚雄 萬行
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Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/46Test trigger logic
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    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/14Implementation of control logic, e.g. test mode decoders

Abstract

(57)【要約】 【課題】 信号のスキューの影響を受けることなく高速
で外部から同期型メモリへ直接アクセスして同期型メモ
リのテストを行なう。 【解決手段】 半導体集積回路装置(1)は、クロック
信号に同期して動作するSDRAMモジュール(2)
と、このSDRAMモジュールとデータの授受を行なっ
て必要な処理を行なうロジック回路(3)と、外部から
の信号をこのSDRAMモジュール(2)の動作クロッ
クに対応するクロック信号に同期して取込み転送する直
接メモリアクセス回路(4)と、テストモード指示信号
(TE)に従ってロジック回路と直接メモリアクセス回
路4の出力信号の一方を選択してSDRAMモジュール
に与えるセレクタ(5)とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、DRAM(ダイ
ナミック・ランダム・アクセス・メモリ)などの大記憶
容量メモリとプロセサなどのロジック回路とが同一半導
体基板上に集積化された半導体集積回路装置に関し、特
に、クロック信号に同期して動作する同期型メモリとロ
ジック回路とが集積化された半導体集積回路装置に関す
る。より特定的には、この同期型メモリを外部からテス
トするための構成に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、プロセサなどのロジック回路(以
下、単にロジック回路と称す)と大記憶容量のDRAM
とを同一チップ(半導体基板)上に集積化したDRAM
内蔵ロジック半導体集積回路装置が開発されている。こ
のようなDRAM内蔵ロジック半導体集積回路装置にお
いては、ロジック回路とDRAMとの間の配線を短くす
ることができ、またその配線の寄生容量および抵抗も小
さくなり、高速で信号およびデータの授受を行なうこと
ができる。また、ロジック回路とDRAMとは、内部配
線のみで相互接続されるため、ピン端子数の制限を受け
ないため、データバスの幅を広くして、転送データのビ
ット幅を大きくすることができ、高速のデータ転送を行
なうことができる。
【0003】このようなDRAM内蔵ロジック半導体集
積回路装置は、ロジック回路のみがパッドを介してピン
端子に結合される。したがって、内蔵されたDRAMの
機能をテストする場合、ロジック回路を介してテストを
行なう必要がある。しかしながら、この場合、テストを
行なうための制御をロジック回路が行なうことになり、
ロジック回路の負荷が大きくなる。また、外部からロジ
ック回路に対し、DRAMの機能テストを行なうための
命令を与えて、このロジック回路から機能テストを行な
うための制御信号をDRAMに対して与え、このテスト
結果をロジック回路を介して読出す必要がある。このた
め、DRAMの機能テストは、ロジック回路を介して実
行されることになり、DRAMの動作タイミングマージ
ンなどのテストを正確に行なうことができない。また、
プログラム容量の観点からも、ロジック回路が発生する
テストパターンの数も制限を受け、十分なテストを行な
うことができず、DRAMの信頼性を十分に把握するこ
とが困難である。そこで、外部から直接、専用の試験装
置を介してDRAMをテストする必要が生じる。
【0004】図24は、従来の、DRAM内蔵ロジック
半導体集積回路の全体の構成を概略的に示す図である。
図24において、DRAM内蔵ロジック半導体集積回路
装置(以下、単に半導体集積回路装置と称す)900
は、DRAMモジュール902と、このDRAMモジュ
ール902に対するデータアクセスを行なうとともに、
外部から与えられる命令または内蔵するプログラムに従
って所定の処理を行なうロジック回路904と、テスト
パッド907を介して与えられるテストモード指示信号
TEに従ってロジック回路904の入出力ノードとテス
ト用のパッドTPa…TPb、TPc…TPdの一方を
選択してDRAMモジュール902へ電気的に接続する
選択回路906を含む。ロジック回路904へは、パッ
ドLPa…LPb、LPc…LPd、LPe…LPfを
介して外部からのデータおよび信号が与えられる。通
常、この半導体集積回路装置900においては、チップ
周辺に沿ってパッドが配置されているが、図24におい
ては、その一部のパッドのみを示す。
【0005】選択回路906は、パッド907を介して
与えられるテストモード指示信号TEの活性化時、テス
トパッドTPa〜TPb、TPc〜TPdをDRAMモ
ジュール902に電気的に接続する。DRAMモジュー
ル902は、複数のメモリセル、およびメモリセル選択
回路、および選択回路に対する制御回路を含む。したが
って、この図24に示す構成においては、テストモード
指示信号TEを活性化することにより、DRAMモジュ
ール902に対し外部から直接アクセスすることがで
き、DRAMモジュール902に対し、従来用いられて
いるテストプログラムに従ってテストを行なうことがで
きる。
【0006】図25は、図24に示す半導体集積回路装
置のより具体的な構成を示す図である。図25におい
て、DRAMモジュール902は、256ビット幅の書
込データを受けるデータ入力ノードWDと、制御信号を
受ける制御信号入力ノードCDと、16ビット幅のアド
レス信号を受けるアドレス信号入力ノードADと、25
6ビット幅のデータを出力するデータ出力ノードRDを
含む。
【0007】テストのために、8ビット幅の書込データ
を受ける書込データ入力パッドWPD、制御信号を受け
る制御信号入力パッドCPD、16ビットのアドレス信
号を受けるアドレス入力パッドAPD、8ビット幅の読
出データを受ける読出データパッドRPD、およびDR
AMモジュール902から読出された256ビット幅の
データのうち8ビットのデータを選択するためのアドレ
ス信号を受けるデータ選択アドレス入力パッドSPDが
設けられる。書込パッドWPDに対しては、8ビットの
外部から与えられる書込データを256ビットのテスト
データに拡張する分配回路908が設けられ、読出デー
タパッドRPDに対しては、データ選択アドレスパッド
SPDから与えられたデータ選択用アドレス信号に従っ
て256ビットのデータから8ビットのデータを選択す
るための選択回路909が設けられる。
【0008】選択回路906は、ロジック回路904か
らの256ビットの書込データと分配回路908からの
256ビットの書込データの一方を選択する切換回路9
06wと、ロジック回路904からの制御信号と制御信
号入力パッドCPDから与えられる制御信号の一方を選
択する切換回路906cと、ロジック回路904からの
16ビットのアドレス信号とアドレス入力パッドAPD
からの16ビットのアドレス信号の一方を選択する切換
回路906aと、DRAMモジュール902から読出さ
れた256ビットのデータをロジック回路904および
選択回路909の一方へ伝達する切換回路906rを含
む。これらの切換回路906w、906c、906aお
よび906rの接続経路は、テストモード指示信号TE
により設定される。次に、この図25に示す半導体集積
回路装置の動作を、図26を参照して説明する。
【0009】選択回路906は、テストモード指示信号
TEの活性化により、パッドCPD、APD、RPDと
DRAMモジュール902とを接続する。データ書込時
においては、アドレス入力パッドAPDにアドレス信号
A0が与えられ、また制御信号入力パッドCDにデータ
書込を示す書込指示信号(ライト)が与えられる。ま
た、書込データ入力パッドWPDに書込データWD0が
与えられ、分配回路908により、256ビットの書込
データに拡張される。DRAMモジュール902には、
パッドからの内部配線、分配回路908および選択回路
906における遅延により、アドレス信号、制御信号お
よび書込データが遅れて到達する。したがって、このD
RAMモジュール902の入力ノードAD、CDおよび
WDにおいては、到達する信号にスキューが生じる。こ
のスキューが経過し、DRAMモジュール902の入力
ノードWD、CDおよびADの信号が確定すると、デー
タの書込がDRAMモジュール902内において行なわ
れる。
【0010】データ読出を行なう場合には、データ書込
時と同様、アドレス入力パッドAPDにアドレス信号A
1が与えられ、制御信号入力パッドCPDに、データ読
出指示信号(リード)が与えられる。DRAMモジュー
ル902の入力ノードADおよびCDには、到達したア
ドレス信号および制御信号の変化時において、変化した
信号が確定するまでに同様スキューが生じる。DRAM
モジュール902において、読出指示が与えられると、
メモリセルの選択動作が与えられたアドレス信号A1に
従って行なわれ、256ビットのデータRD1<0:2
55>が読出データ出力ノードRDに現われる。この読
出データが現われるとデータ選択アドレス入力パッドS
PDへデータ選択用のアドレスRDSA1が与えられ
る。このパッドSPDから選択回路909の間の配線遅
延により、選択回路909のノードSDに与えられるデ
ータ選択アドレスも確定するまでにスキューが生じる。
このデータ選択アドレスRDSA1が選択回路909の
ノードSDにおいて確定すると、256ビットのうちの
8ビットのデータRD1<0:7>が選択されて読出デ
ータ出力パッドRPDに与えられる。続いてデータ読出
を行なう場合においても、DRAMモジュール902か
らの読出データが変化するため、DRAMモジュール9
02の読出データ出力ノードRDにおいてスキューが生
じ、同様、読出データ出力パッドRPDにおいてもスキ
ューが生じる。
【0011】この図26においては、データ読出動作時
においても、書込データ入力パッドWPDに書込データ
WD1、WD2が与えられるように示される。これは、
書込データにおいても、DRAMモジュール902の書
込データ入力ノードWDにおいてスキューが生じること
を明確に示すためである。データ読出動作時、書込デー
タ入力パッドWPDへ、特に書込データを与える必要は
ない。与えられても、DRAMモジュール902は、デ
ータ読出時、書込データ入力ノードWDに与えられたデ
ータを無視する(書込データ入力バッファおよび書込ド
ライバを非動作状態とする)。
【0012】この図26に示すように、パッドに与えら
れた信号がDRAMモジュール902の対応のノードに
到達するまでに通過する経路の電気的特性が異なるた
め、信号が変化する場合には、配線遅延および変化ビッ
ト数などにより、確定タイミングにずれがあり、したが
って、スキューが生じる。DRAMモジュール902
は、与えられた制御信号に従ってアドレス信号を取込
み、データアクセスを行なう。このような単に制御信号
に同期してアドレス信号を取込むDRAMモジュール9
02を外部から直接アクセスしてテストする際の動作サ
イクルは、アドレス入力パッドAPDへ与えられるアド
レス信号が変化してから次に変化するまでの期間で与え
られる。DRAMモジュール902は、この動作サイク
ルよりも短い期間確定状態となるアドレス信号に従って
メモリセルの選択を行なう。この様なDRAMモジュー
ル902の動作サイクルは比較的長いため、このスキュ
ーが動作サイクル内において占める期間は小さく、この
スキューがDRAMモジュールの動作に対して及ぼす影
響はほぼ無視することができる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】最近、制御信号と異な
るクロック信号に同期してデータの入出力および外部か
らの信号を取込む同期型のメモリが用いられてきてい
る。たとえばシステムクロックであるクロック信号に同
期してデータの入出力を行なうため、データ転送速度
が、クロック信号の速度となる。また、クロック信号を
基準として、外部からの信号を取込むため、外部信号相
互間のタイミングのずれ(スキュー)を考慮する必要が
なく、内部回路の動作を早いタイミングで開始させるこ
とができ、高速アクセスが可能となる。このような同期
型メモリの1つに、同期型DRAM(SDRAM)があ
る。このSDRAMを、図24に示すDRAMモジュー
ルに代えて用いる場合、ロジック回路とメモリの間のデ
ータ転送を行なう場合、クロック信号に従ってSDRA
Mモジュールを動作させることができ、より高速動作す
るDRAM内蔵ロジック半導体集積回路装置を実現する
ことができる。このような場合、信頼性を保証するため
には、内蔵SDRAMモジュールを、外部から機能テス
トを行なう必要がある。この場合、図25に示す構成に
おいてDRAMモジュール902を、SDRAMモジュ
ールで置換えることが考えられる。
【0014】図27は、SDRAMモジュール内蔵ロジ
ック半導体集積回路装置の要部の構成を概略的に示す図
である。図27において、SDRAMモジュール910
とロジック回路912の間に、テストモード指示信号T
Eに応じて信号の経路を切換える選択回路906が設け
られる。SDRAMモジュール910は、クロック信号
に同期して動作するため、ロジック回路912からクロ
ック信号が出力され、またテスト時においては、外部か
らパッドCKPDを介してクロック信号が与えられる。
選択回路906は、このロジック回路912からのクロ
ック信号とパッドCKPDからのクロック信号の一方を
選択するための切換回路906ckを含む。他の構成
は、図25に示す構成と同じであり、対応する部分には
同一の参照符号を付す。
【0015】SDRAMモジュール910は、そのクロ
ック入力ノードCKDに与えられたクロック信号CLK
に同期して、ノードWD、CDおよびADに与えられた
信号を取込み、また読出データ出力ノードRDからクロ
ック信号に同期してデータを出力する。次に、この図2
7に示す半導体集積回路装置の動作を図28に示すタイ
ミングチャート図を参照して説明する。
【0016】テストモード動作時においては、テストモ
ード指示信号TEが活性化され、選択回路906が、S
DRAMモジュール910とロジック回路912とを切
離し、SDRAMモジュール910をパッドを介して外
部からアクセス可能な状態に設定する。クロック入力パ
ッドCKPDに与えられるクロック信号が、選択回路9
06を介してSDRAMモジュール910のクロック入
力ノードCKDへ与えられる。このパッドCKPDに与
えられるクロック信号は、遅延してSDRAMモジュー
ル910のクロック入力ノードCKDへ与えられるだけ
である。
【0017】パッドCKPDへ外部から与えられるクロ
ック信号の各クロックサイクルごとに、アドレス入力パ
ッドAPDへアドレス信号が与えられる。入力パッドA
PDへ与えられるアドレス信号は複数ビットを有してお
り、したがって、各ビットの変化タイミングが異なり、
SDRAMモジュール910のアドレス入力ノードAD
へ到達するアドレス信号には、スキューが存在する。
【0018】制御信号入力パッドCPDへ与えられる制
御信号は、SDRAMモジュール910の制御信号入力
ノードCDへ与えられるが、その信号状態の変化時にお
いて同様に、スキューが生じる(書込動作指示信号と読
出動作指示信号両者が変化するため、両者の変化タイミ
ングの最悪ケースおよび最良ケースを考慮する必要があ
る。)。同様、書込データ入力パッドWPDに与えられ
る書込データは、8ビットデータであり、分配回路90
8によりさらに256ビットに拡張されるため、選択回
路906を介してSDRAMモジュール910へ与えら
れるときスキューが生じる。アドレス信号も同様にスキ
ューが生じる。
【0019】アドレス入力パッドAPDへは、クロック
入力パッドCKPDへ与えられるクロック信号の立上が
りエッジで確定状態となるようにアドレス信号が与えら
れる。SDRAMモジュール910は、クロック入力ノ
ードCKDに与えられるクロック信号の立上がりエッジ
で、与えられた信号を取込む。したがって、クロック入
力パッドCKPDに与えられるクロック信号のサイクル
♯0において与えられたアドレス信号A1がその制御信
号入力ノードCDへ与えられたデータ読出指示信号(リ
ード)に従って取込まれ、データ読出動作が行なわれ
る。SDRAMモジュール910においては、このアド
レス信号A1に従って内部でメモリセルを選択する。S
DRAMモジュール910は、通常のSDRAMと同様
の構成を備えており、データ読出指示が与えられてか
ら、データを実際に出力するまでに、コラム・リード・
レイテンシ(CASレイテンシ)CLと呼ばれる期間が
必要である。図28においては、コラムリードレイテン
シCLが1の場合のデータ読出動作を示す。したがっ
て、このアドレス信号A1により指定されたメモリセル
のデータRD1<0:255>は、クロック入力パッド
CKPDへ与えられるクロック信号のサイクル♯1にお
いて確定状態となる。SDRAMモジュール910のデ
ータ出力ノードRDは選択回路906rを介して選択回
路909に結合され、この経路の負荷容量のため読出デ
ータにスキューが生じる。このクロック入力パッドCK
PDに与えられるクロック信号のサイクル♯1におい
て、パッドSPDに、データ選択用アドレスが印加さ
れ、選択回路909が、そのノードSDに与えられたデ
ータ選択アドレスRDSA1に従って8ビットデータR
D1<0:7>を選択して出力する。
【0020】このクロック入力パッドCKPDのクロッ
ク信号のサイクル♯1においても、再びデータ読出指示
が与えられて、そのアドレス信号A2に従って次のデー
タの読出が行なわれる。このクロック入力パッドCKP
Dに与えられるクロック信号のサイクル♯2においても
同様、アドレス信号A3に従ってデータ読出が行なわれ
る。次の読出指示に対して、データ選択アドレスRDS
A2が与えられ、次の読出データRD2<0:7>が読
出される。この場合においても、選択回路909におけ
る選択動作により、パッドRPDに与えられる読出デー
タにスキューが生じる。
【0021】ここで、図28においては、データ読出動
作時においても、書込データ入力パッドWPDに書込デ
ータWD1、WD2、WD3、およびWD4が順次印加
される状態が示される。これは、SDRAMモジュール
910に伝達される書込データが、その変化時スキュー
が生じることを明確に示すためである。データ読出時に
書込データが与えられても、SDRAMモジュール91
0は、読出指示に従ってデータ読出を行ない、データ書
込は行なわないため、何ら誤動作は生じない。これは、
データ書込時において読出データ選択のためのアドレス
RDSAが与えられている場合も同様である。
【0022】この図28に示すように、SDRAMモジ
ュール910の動作サイクルは、制御信号入力パッドC
KPDに与えられるクロック信号のサイクルにより決定
される。このクロック信号は、高速のクロック信号であ
る。したがって、スキューの時間幅が同じであってもS
DRAMモジュール910におけるスキューがクロック
サイクルにおいて占める割合が図24および25に示す
様な非同期型DRAMの場合に比べて大きくなる。SD
RAMモジュール910においては、そのクロック入力
ノードCKDに与えられるクロック信号の立上がりエッ
ジに同期して外部から与えられるデータの取込み、また
はこのクロック信号に同期してデータの出力を行なう。
したがって、スキューが大きい場合、正確な信号を取込
むことができず、正確な動作を行なうことができなくな
るという問題が生じる。スキューが大きくなった場合、
このSDRAMモジュール910の各入力ノードへ与え
られる信号が有効状態となる期間が短くなり、たとえば
動作モード指定信号の変化時において、外部の試験装置
は、このスキューを見込んで動作する必要があり、実効
的にクロックサイクルが短くなり、高速でSDRAMモ
ジュールのテストを外部から正確に行なうことができな
くなるという問題が生じる。
【0023】この図28に示すSDRAMモジュールに
おいては、バースト長(データ書込/読出指示が与えら
れたときに連続して1つのデータ入出力ノード当り書込
/読出されるデータの数)は1である。しかしながら、
バースト長が複数の場合であっても、データ読出時にお
いて図27に示す選択回路909による選択動作が行な
われており、読出データにスキューが生じ、また読出デ
ータも各バーストサイクルごとに変化するため同様スキ
ューが生じる。
【0024】また、コラム・リード・レイテンシCL
は、SDRAMモジュール910のクロックサイクルに
合せて変更可能である(データ読出しに要する時間はク
ロックサイクルに係わらず一定であるため)。
【0025】図29は、コラム・リード・レイテンシC
Lが3の場合のデータ読出動作を示す図である。このコ
ラム・リード・レイテンシCLが3の場合には、SDR
AMモジュール910において、そのクロック入力ノー
ドCLKDに与えられたクロック信号に従ってデータ読
出モード指示をアドレス信号とともに取込んだ後、3ク
ロックサイクル経過後に、アドレス指定されたメモリセ
ルのデータRD1<0:255>が確定する。したがっ
て、SDRAMモジュール910のクロック入力ノード
CKDに与えられるクロック信号のサイクル♯3におい
て、データが出力される。
【0026】したがって、このコラム・リード・レイテ
ンシCLが変化した場合、それに合せて、外部からデー
タ選択用のアドレス信号をパッドSPDへ与える必要が
あり、コラム・リード・レイテンシCLの値に応じて、
データ選択用のアドレス信号を与えるタイミングを変更
する必要があり、外部の試験装置の負荷が大きくなると
いう問題が生じる。
【0027】したがって、高速のクロック信号に同期し
て動作するSDRAMモジュールを用いる場合、単に信
号/RAS,/CASに従ってアドレス信号を取込むク
ロック非同期型DRAMモジュールを外部からテストす
る構成を利用すると、正確に高速でテストを行なうこと
ができなくなるという問題が生じる。
【0028】この発明の目的は、外部から正確かつ高速
にSDRAMモジュールなどの同期型メモリのテストを
行なうことのできる同期型メモリ内蔵ロジック半導体集
積回路装置を提供することである。
【0029】
【課題を解決するための手段】この発明は、要約すれ
ば、セレクタとパッドとの間に、クロック信号に同期し
て動作する同期型直接メモリアクセス回路を設ける。
【0030】すなわち、請求項1に係る半導体集積回路
装置は、クロック信号に同期して動作する同期型メモリ
と、この同期型メモリと同一半導体基板上に形成され、
かつ同期型メモリとデータの授受を行なうロジック回路
と、半導体基板外部から与えられるデータを含む信号を
クロック信号に対応するテストクロック信号に同期して
取込む同期型直接メモリアクセス回路と、テストモード
指示信号に応答してロジック回路および同期型直接メモ
リアクセス回路の出力信号の一方を選択して同期型メモ
リに与える選択回路を備える。
【0031】請求項2に係る半導体集積回路装置は、請
求項1の同期型直接メモリアクセス回路が、テストクロ
ック信号に同期して、外部から与えられる信号を取込む
取込タイミングと異なるタイミングで前記クロック信号
に同期して選択回路へ取込んだ信号を転送する手段を含
む。
【0032】請求項3に係る半導体集積回路装置は、請
求項1の同期型直接メモリアクセス回路が、さらに、同
期型メモリから読出された複数ビットのデータを受けか
つテストクロック信号に同期して取込むデータ取込手段
を含む。
【0033】請求項4に係る半導体集積回路装置は、請
求項3の同期型直接メモリアクセス回路が、さらに、外
部から与えられるアドレス信号をテストクロック信号に
同期して転送するアドレス転送手段と、データ取込手段
からの複数ビットのデータから所定数のビットのデータ
を該転送アドレス信号に従って選択するデータ選択手段
を含む。
【0034】請求項5に係る半導体集積回路装置は、請
求項4のアドレス転送手段が、同期型メモリがデータ読
出指示を与えられてから有効データを出力するまでに要
するクロックサイクルに対応する期間取込んだアドレス
信号をテストクロック信号に同期した転送動作により遅
延してデータ選択手段へ与えるシフト回路をさらに含
む。
【0035】請求項6の半導体集積回路装置は、請求項
1の同期型メモリが、データ読出時複数ビットのデータ
を出力する手段を含み、また同期型直接メモリアクセス
回路は、テストクロック信号に同期してこの同期型メモ
リから読出されたデータをラッチするデータラッチ手段
と、このデータラッチ手段のデータラッチと同じタイミ
ングで、与えられたアドレス信号をラッチするアドレス
ラッチと、このアドレスラッチのラッチしたアドレス信
号に従ってデータラッチ手段のラッチデータから所定数
のビットのデータを選択するデータ選択手段を含む。
【0036】請求項7に係る半導体集積回路装置は、請
求項4または6の同期型直接メモリアクセス回路が、さ
らに、テストクロック信号に同期してデータ選択手段が
選択したデータを転送して外部へ出力する出力転送手段
を備える。
【0037】請求項8に係る半導体集積回路装置は、請
求項1の同期期型直接メモリアクセス回路が、所定のパ
ッドを介して時分割多重化して与えられるアドレス信号
を受けてロウアドレス信号とコラムアドレス信号とに分
離する手段をさらに備える。同期型メモリは、選択回路
を介してこのアドレス分離手段により分離されたロウア
ドレス信号とコラムアドレス信号とをそれぞれ受ける別
々に設けられるロウアドレス入力ノードおよびコラムア
ドレス入力ノードとを有する。
【0038】請求項9に係る半導体集積回路装置は、請
求項8の装置において、ロウアドレス信号はコラムアド
レス信号よりビット数が多く、同期型メモリは複数ビッ
トのデータを出力し、所定のパッドは、コラムアドレス
信号を受ける第1のパッドと、複数ビットのデータから
所定数のビットのデータを選択するためのデータアドレ
ス信号を受ける第2のパッドとを含む。これら第1およ
び第2のパッドは並列にロウアドレス信号の異なるビッ
トを受ける。
【0039】請求項10の半導体集積回路装置は、請求
項9の同期型メモリが、複数ビットの書込データを受け
る書込入力ノードを有し、所定のパッドがさらに、デー
タ書込時書込データのビットにマスクをかけるビットを
指示するマスク指示ビットを受けるパッドをさらに含
む。同期型直接メモリアクセス回路は、所定のパッドに
与えられた信号からさらにマスク指示ビットを分離する
手段を含む。
【0040】請求項11に係る半導体集積回路装置は、
請求項1のクロック信号とテストクロック信号とが同一
周波数の信号である。
【0041】請求項12に係る半導体集積回路装置は、
請求項1のクロック信号とテストクロック信号とが別々
のパッドを介して与えられる。
【0042】請求項13に係る半導体集積回路装置は、
請求項3の同期型直接メモリアクセス回路が、データ取
込手段からの複数ビットのデータを1ビットデータに縮
退してテストクロック信号に同期して出力する手段を備
える。
【0043】請求項14に係る半導体集積回路装置は、
請求項1の同期型直接メモリアクセス回路が、外部から
与えられる複数ビットの書込データを、この複数ビット
よりも多いビットのテスト書込データを生成してテスト
クロック信号に同期して転送する手段を含み、同期型メ
モリは、テスト書込データのビットを並列に受ける書込
データ入力ノードを有する。
【0044】請求項15に係る半導体集積回路装置は、
請求項10の第2のパッドがマスク指示ビットを受け
る。
【0045】請求項16に係る半導体集積回路装置は請
求項10の同期型直接メモリアクセス回路が外部からの
制御信号に従ってマスク指示ビットにかかわらず全デー
タビットを書込許可状態に設定する手段を含む。
【0046】クロック信号に同期して外部から与えられ
る信号を取込んでいるため、この同期型直接メモリアク
セス回路の出力信号は、クロック信号に同期して確定状
態となり、同期型メモリへは、変化タイミングが同じで
あるためスキューの極めて少ない信号が伝達される。し
たがって、このクロック信号に同期して取込むことによ
り、同期型メモリへ与える信号の有効期間を十分に長く
することができ、スキューの影響を最小限にでき、応じ
て高速動作が可能となり、また正確に同期型メモリを動
作させることができる。
【0047】
【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1は、この発
明の実施の形態1に従う半導体集積回路装置の全体の構
成を概略的に示す図である。図1において、半導体集積
回路装置1は、データを記憶するダイナミック型メモリ
セルを有しかつクロック信号に同期して動作するSDR
AMモジュール2と、SDRAMモジュール2とデータ
の授受を行なうロジック回路3と、外部から与えられる
信号(データを含む)をクロック信号に同期して取込み
かつ転送する(同期型)直接メモリアクセス回路4と、
テストモード指示信号TEに従ってロジック回路3およ
び直接メモリアクセス回路4の一方の出力信号を選択し
てSDRAMモジュール2へ与えるセレクタ5と、図示
しない外部に設けられた試験装置からパッド7を介して
与えられるテストモード指示信号TEに従って特定のパ
ッド8a〜8b〜8cをロジック回路3および直接メモ
リアクセス回路4の一方に電気的に接続するパッド切換
回路6を含む。ロジック回路3は、また残りのパッド9
a,9b〜9c、9d〜9eを介して信号の入出力を行
なう。パッド切換回路6は、テストモード指示信号TE
の活性化時、パッド8a〜8b〜8cを直接メモリアク
セス回路4に電気的に接続する。テストモード指示信号
TEの非活性化時、パッド切換回路6は、これらのパッ
ド8a〜8b〜8cをロジック回路3に電気的に接続す
る。試験用のパッドを通常動作モード時において用いら
れるパッドと共用することによりパッド占有面積を低減
する。なお、図1においては、半導体集積回路装置1の
チップ四辺周辺に沿ってパッドが数多く配置されるが、
これらは、図面を簡略化するために明確には示していな
い(・で示す)。
【0048】パッド8a〜8b〜8cには、テストデー
タ、テスト動作に必要な制御信号、およびSDRAMモ
ジュール2を同期動作させるためのクロック信号が与え
られる。直接メモリアクセス回路4は、この外部から与
えられるクロック信号に同期して、パッド切換回路6を
介して与えられる信号(以下、特に断らない限りデータ
を含む)を取込みかつ転送する。
【0049】図2は、図1に示す半導体集積回路装置1
の動作を示すタイミングチャート図である。図2におい
て、外部クロック信号EXTCLKは、パッド8a〜8
cに含まれるクロック入力パッドへ与えられる外部クロ
ック信号であり、また外部信号EXTSIGは、これら
のパッド8a〜8cへ与えられるアドレス信号、デー
タ、および制御信号を代表的に示す。パッド8a〜8c
へ与えられる外部信号EXTSIGは、図示しない外部
に設けられた試験装置からクロック信号EXTCLKに
同期して与えられる。直接メモリアクセス回路4は、テ
スト動作時、パッド切換回路6を介して与えられる外部
信号EXTSIGを外部クロック信号EXTCLKに同
期して取込む。半導体集積回路装置1内部において、信
号のスキューが生じるのは、パッドからSDRAMモジ
ュールにまで到達する信号経路の配線容量の相違、配線
長の相違、配線抵抗の相違および中間の回路における信
号変化タイミングのずれなどに起因する信号伝搬遅延期
間のずれである。外部クロック信号EXTCLKに同期
して直接メモリアクセス回路4において外部信号EXT
SIGを取込むことにより、この直接メモリアクセス回
路4内部における信号は、確定状態の外部信号を取込ん
でいるため、スキューは生じないかまたは生じてもごく
わずかである(図においては試験装置からパッドへ印加
される信号のスキューはない様に示す)。
【0050】この直接メモリアクセス回路4が、また外
部クロック信号EXTCLKに同期してその内部信号を
セレクタ5を介してSDRAMモジュール2へ与える。
この場合においても、直接メモリアクセス回路4からの
信号は、クロック信号EXTCLKに同期して伝達され
ているため、その確定タイミングは、外部クロック信号
EXTCLKに関して決定されており、スキューはほと
んど生じないか、または生じてもごくわずかである。S
DRAMモジュール2へは、直接メモリアクセス回路4
およびセレクタ5を介して外部クロック信号EXTCL
Kが伝達される。したがって、このSDRAMモジュー
ル2のクロック入力ノードへ与えられる内部クロック信
号INTCLKは、単に外部クロック信号EXTCLK
に対して遅延したクロック信号である。この内部クロッ
ク信号INTCLKの立上がりに同期して、SDRAM
モジュール2が、与えられた信号を取込む。この状態に
おいて、直接メモリアクセス回路4からの信号は、クロ
ック信号に同期して出力されており、内部クロック信号
INTCLKの立上がり時においては、SDRAMモジ
ュールの入力部に伝達された信号は安定な状態となって
おり、SDRAMモジュール2は、確実に与えられた信
号を取込み内部動作を行なうことができる。
【0051】半導体集積回路装置1の内部信号を、SD
RAMモジュール2の動作クロック信号INTCLKに
対応する外部クロック信号EXTCLKに同期して取込
かつ転送することにより、内部信号の変化タイミング
は、この外部クロック信号EXTCLKの変化タイミン
グを基準として決定され、スキューをほぼ抑制した内部
信号をSDRAMモジュール2へ伝達することができ、
外部から直接SDRAMモジュール2へアクセスして高
速でスキューの影響を何ら受けることなくSDRAMモ
ジュール2を動作させることができ、高速動作環境下で
確実にSDRAMモジュール2のテストを行なうことが
できる。図3は、図1に示す半導体集積回路装置のより
具体的な構成を示す図である。図3において、SDRA
Mモジュール2は、制御信号CTL< >を受ける制御
信号入力ノード群2a、11ビットのロウアドレス信号
RA<10:0>を受けるロウアドレス信号入力ノード
群2b、6ビットのコラムアドレス信号CA<5:0>
を受けるコラムアドレス信号入力ノード群2c、書込デ
ータに対しどのビットにマスクをかけるかを示す書込デ
ータマスク信号DM<31:0>を受ける書込マスク入
力ノード群2d、256ビットの書込データWD<25
5:0>を受けるデータ入力ノード群2e、およびコラ
ム・リード・レイテンシCLを指定するレイテンシデー
タCL<1:0>を受ける入力ノード群2f、および2
56ビットの読出データを出力するデータ出力ノード群
2gを含む。このSDRAMモジュール2は、クロック
信号入力ノード2hに与えられるクロック信号CLKに
同期してデータの入出力および与えられた信号の取込を
行なう。
【0052】ロウアドレス信号入力ノード群2bおよび
コラムアドレス信号入力ノード群2cそれぞれに対し
て、与えられたアドレス信号をラッチするためのラッチ
回路が設けられる。SDRAMモジュール2は、すべて
内部配線によりその入力ノードが接続されており、ピン
数を低減する必要はない。したがって、このSDRAM
モジュール2においては、ロウアドレス信号入力ノード
群2bとコラムアドレス信号入力ノード群2cがそれぞ
れ別々に設けられる。制御信号CTL< >に含まれる
動作モード指示信号に従って、これらのロウアドレス信
号入力ノード群2bおよびコラムアドレス信号入力群2
cそれぞれに設けられたラッチ回路を動作させる。
【0053】ロジック回路3も、このSDRAMモジュ
ール2の各入力ノード群と対応して、制御信号LCTL
< >の出力ノード群3a、ロウアドレス信号LRA<
10:0>の出力ノード群3b、コラムアドレス信号L
CA<5:0>の出力ノード群3c、書込マスクデータ
LDM<31:0>の出力ノード群3d、書込データL
WD<255:0>の出力ノード群3e、クロック信号
LCLKの出力ノード3f、コラム・リード・レイテン
シデータLCL<1:0>の出力ノード群3g、および
データLRD<255:0>の入力ノード群3eを含
む。
【0054】また、図1に示すパッド8a〜8cに対応
する外部パッド群8は、制御信号ECTL< >の入力
ノード群8d、ロウアドレス信号ERA<10:0>の
入力パッド群8e、コラムアドレス信号ECA<5:0
>の入力パッド群8f、書込データマスク指示データE
DM<31:0>の入力パッド群8g、8ビットの書込
データEWD<7:0>の入力パッド群8h、SDRA
Mモジュール2から読出された256ビットの読出デー
タRD<255:0>のうち8ビットの読出データを選
択するためのアドレスを入力する出力選択アドレスEO
SEL<4:0>の入力パッド群8i、および読出デー
タERD<0:7>を出力するためのデータ出力パッド
群8jを含む。
【0055】外部パッド群8は、さらに、外部からのコ
ラム・リード・レイテンシデータECL<0:1>のパ
ッド群8k、SDRAMモジュール2へ与えられるクロ
ック信号を受ける外部クロック信号ECLKの入力パッ
ド8l、および直接メモリアクセス回路4における信号
転送動作を制御するテストクロック信号ETCLKを受
けるパッド8mを含む。クロック信号ETCLKおよび
およびECLKは、同じ周波数を有するクロック信号で
ある。2つのクロック信号ECLKおよびETCLKを
用い、テスト信号ETCLKで直接メモリアクセス回路
4の信号転送を行なうことにより、SDRAMモジュー
ル2へ与えられる信号のSDRAMモジュール2のクロ
ック入力ノードCLKに与えられるクロック信号に対す
るセットアップ時間およびホールト時間のウィンドウを
このクロック信号CLKに対して移動させることがで
き、動作マージンのテストを行なうことができる。
【0056】外部パッド群8は、図1に示すパッド8a
〜8b〜8cに対応し、直接メモリアクセス回路4と外
部パッド群8の間には、図1に示すパッド切換回路6が
配置される。しかしながら、図3においては、図面を簡
略化するために、このパッド群を選択的にロジック回路
3または直接メモリアクセス回路4へ接続するパッド切
換回路6は示していない。
【0057】直接メモリアクセス回路4は、パッド8m
を介して与えられるテストクロック信号ETCLKのた
とえば立上がりに同期して、パッド8d〜8iを介して
与えられる信号をラッチする(取込む)ラッチ回路4a
と、ラッチ回路4aにラッチされたデータのうち書込デ
ータを256ビットの書込データに拡張するとともに、
残りの信号を伝達する信号分配回路4bと、パッド8m
からのテストクロック信号ETCLKのたとえば立下が
りに同期して、信号分配回路4bの出力信号をラッチす
るラッチ回路4cと、パッド7を介して与えられるテス
トモード指示信号TEに従ってラッチ回路4cの出力信
号、パッド8lからのクロック信号ECLKおよびパッ
ド8aからのコラム・リード・レイテンシデータECL
<0:1>とロジック回路3の出力信号との一方を選択
するセレクタ5を含む。ラッチ回路4aおよび4cは、
それぞれ与えられた信号をテストクロック信号ETCL
Kの1クロックサイクル期間保持する。ラッチ回路4a
および4cは、それぞれテストクロック信号ETCLK
の異なるエッジ(一方が立上がりエッジ、他方が立下が
りエッジ)に同期して与えられた信号をラッチする。し
たがって、パッド8d〜8iに与えられた信号は、外部
クロック信号ETCLKの1クロックサイクル経過後、
セレクタ5を介してSDRAMモジュール2へ与えられ
る。
【0058】直接メモリアクセス回路4は、さらに、テ
ストクロック信号ETCLKに同期してSDRAMモジ
ュール2から読出された256ビットのデータRD<2
55:0>をラッチするラッチ回路4eと、ラッチ回路
4cから与えられるデータ選択アドレス信号OSEL<
4:0>に従ってラッチ回路4eがラッチする256ビ
ットのデータから8ビットのデータを選択する選択回路
4fと、テストクロック信号ETCLKに同期して、選
択回路4fからの読出データをラッチしてパッド群8j
へ与えるラッチ回路4gを含む。
【0059】ラッチ回路4eは、たとえばテストクロッ
ク信号ETCLKの立下がりエッジで与えられたデータ
をラッチし、ラッチ回路4gは、選択回路4fから与え
られたデータの転送クロック信号ETCLKのたとえば
立上がりエッジで出力する。このSDRAM2のデータ
出力ノード群2gは、またロジック回路3のデータ入力
ノード群3eに接続される。テスト動作時のデータ読出
時において、ロジック回路3は非動作状態であり、この
SDRAMモジュール2から、テストデータを与えても
何ら問題は生じない。セレクタ5を介することなく読出
データRD<255:0>をロジック回路3へ伝達する
ことにより、通常動作モード時において高速でSDRA
Mモジュール2からロジック回路3へスキューを生じさ
せることなく読出データを転送することができる(セレ
クタ5のゲート遅延がなくなる)。この場合において
も、SDRAMモジュール2のデータ出力ノード群2g
は、何らパッドおよび出力セレクタ5には接続されず、
内部配線のみが接続されるため、大きな寄生容量は存在
せず、小さなスキューで高速で読出データをラッチ回路
4eおよびロジック回路3へ転送することができる。次
に、この図3に示す半導体集積回路装置のテスト時の動
作について説明する。
【0060】データ書込時の動作は、図2に示すタイミ
ングチャートと同じである。内部クロック信号INTC
LKがSDRAMモジュール2のクロック入力ノード2
hに与えられ、クロック信号CLKの立上がりエッジ
で、セレクタ5を介して与えられた信号の取込が行なわ
れる。ラッチ回路4aおよび4cは、それぞれテストク
ロック信号ETCLKの立上がりエッジおよび立下がり
エッジでラッチ状態となっており、ラッチ回路4aおよ
び4cの出力ノードは、パッドから切離されており、ま
たラッチ回路4aおよび4cの出力信号の変化タイミン
グはテストクロック信号により決定されており、スキュ
ーはほとんど生じず、セレクタ5を介してSDRAMモ
ジュール2へ信号が与えられる。次に、図4を参照し
て、データ読出時の動作について説明する。
【0061】外部クロック信号ECLKのサイクル♯1
において、外部の制御信号ECTL(ECTL< >)
を、データ読出を指定する状態に設定する(リード)。
この外部制御信号ECTLが、テストクロック信号ET
CLKの立上がりに同期して、ラッチ回路4aによりラ
ッチされる。次いでこのラッチ回路4aにラッチされた
データは、信号分配回路4bおよびラッチ回路4cを介
して、伝達されて外部クロック信号ECLKのクロック
サイクル♯1の立下がりエッジに同期してセレクタ5を
介してSDRAMモジュール2へ与えられる。SDRA
Mモジュール2に対しては、また外部クロック信号EC
LKが直接メモリアクセス回路4を介して与えられる。
【0062】SDRAMモジュール2は、外部クロック
信号ECLKのクロックサイクル♯2におけるクロック
信号CLKの立上がりに同期して、制御信号入力ノード
群2aに与えられた制御信号CTL< >を取込み、内
部でデータの読出動作を開始する。コラム・リード・レ
イテンシCLが1であるため、この内部クロック信号C
LKの次の立上りエッジ(外部クロック信号ECLKの
サイクル♯3)において読出データRD<255:0>
がSDRAMモジュール2から出力される。以降、読出
指示が各クロックサイクルにおいて与えられており、S
DRAMモジュール2からデータが順次読出される。
【0063】ラッチ回路4eは、テストクロック信号E
TCLKの立下がりエッジでこのSDRAMモジュール
2から読出されたデータをラッチする。外部クロック信
号ECLKのサイクル♯3において、また外部からのデ
ータ選択用アドレスEOSEL(EOSEL<4:0
>)が与えられており、ラッチ回路4cの出力信号がこ
の外部クロック信号ECLKのクロックサイクル♯3の
立下がりに同期して変化する。したがって、ラッチ回路
4eの出力データおよびラッチ回路4cからのデータ選
択用アドレス信号が、同じタイミングで確定状態とな
り、選択回路4fが、この与えられたデータ選択用アド
レス信号OSEL<4:0>に従ってラッチ回路4eの
ラッチする256ビットの読出データRD<255:0
>から8ビットのデータを選択する。ラッチ回路4g
は、この選択回路4fの出力信号をテストクロック信号
ETCLKの立上がりエッジに同期して取込みラッチす
る。したがって、外部クロック信号ECLKのサイクル
♯4のテストクロック信号ETCLK立上がりエッジに
同期して、データ出力パッド群8jの読出データERD
<7:0>が変化する(図4の(i)の波形参照)。以
降、このテストクロック信号ETCLKの立上がりエッ
ジに同期して、データがデータ出力ノード群8jに伝達
される。
【0064】この図4(i)に示す波形においては、テ
ストクロック信号ETCLKの立上がりエッジに同期し
てラッチ回路4gが与えられたデータをラッチして出力
している。しかしながら、このラッチ回路4gは、選択
回路4fから与えられたデータをテストクロック信号E
TCLKの立上がりエッジに同期して取込み、次いでこ
のテストクロック信号ETCLKの立下がりエッジに同
期して出力するように構成されてもよい(図4(ii)参
照))。この動作は、単にラッチ回路4gにおける内部
構成を、2段のフリップフロップで構成することにより
実現される(この構成については後に説明する)。
【0065】したがって、このデータ読出時において
も、SDRAMモジュール2から読出されたデータは、
テストクロック信号ETCLKに同期してラッチされ、
次いで、このテストクロック信号ETCLKに同期して
出力されるため、確定状態となった信号を伝達している
ため、確定状態となったタイミングで信号(データ)を
ラッチしかつ転送しており、スキューのほとんど生じな
い、十分な長さの有効状態期間を有する読出データをパ
ッド群8jへ伝達することができ、高速のデータ読出
を、外部から直接SDRAMモジュール2に対してアク
セスして行なうことができる。次に、各部の構成につい
て説明する。
【0066】[2つのクロック信号の作用]図5は、テ
ストクロック信号ETCLKおよびSDRAMモジュー
ル2へ与えられるクロック信号ECLK(CLK)のタ
イミング関係を示す図である。今、図5に示すように、
外部クロック信号ECLKが、テストクロック信号ET
CLKに対し、遅延時間tdaを有している場合を考え
る。SDRAMモジュールに対しては、この外部クロッ
ク信号ECLKが遅延した信号CLKが与えられる。直
接メモリアクセス回路4からの制御信号CTL< >
は、テストクロック信号ETCLKの立下がりに同期し
て出力される。SDRAMモジュールは、クロック信号
CLKの立上がりに同期して与えられた信号を取込み、
内部動作を行なう。したがって、この場合、制御信号C
TL< >のセットアップ時間およびホールド時間は、
それぞれtsaおよびthaとなる。
【0067】外部クロック信号ECLKが、テストクロ
ック信号ETCLKに対し遅延時間tdbを有している
場合、(tdb>tda)、SDRAMモジュール2へ
は、制御信号CTL< >が、外部テストクロック信号
ETCLKの立下がりに同期して出力されるため、その
確定タイミングは、変化しない。一方、クロック信号C
LKは、外部クロック信号ECLKの遅延信号である。
したがって、この場合、クロック信号CLKの立上がり
エッジに対する制御信号CTL< >の変化時点が移動
し、セットアップ時間およびホールド時間は、それぞれ
tsbおよびthbとなる。この場合、ホールド時間t
hbがホールド時間thaよりも短くなり、一方セット
アップ時間tsbが、セットアップ時間tsaよりも長
くなる。
【0068】したがって、この外部からのクロック信号
ETCLKおよびECLKの位相を異ならせることによ
り、SDRAMモジュールのセットアップ時間およびホ
ールド時間についてのマージンをテストすることができ
る。
【0069】[ラッチ回路の構成]図6(A)は、図3
に示すラッチ回路4aの構成の一例を示す図である。図
6(A)において、ラッチ回路4aは、テストクロック
信号ETCLKがHレベルのときにオン状態となる転送
ゲート4aaと、転送ゲート4aaを介して与えられる
信号INを反転するインバータ4abと、インバータ4
abの出力信号を反転して出力信号OUTを生成するイ
ンバータ4acと、インバータ4abの出力信号をイン
バータ4abの入力部へ伝達するインバータ4adを含
む。インバータ4abおよび4adは、ラッチ回路を構
成する。次に、この図6(A)に示すラッチ回路4aの
動作を図6(B)に示す波形図を参照して説明する。
【0070】テストクロック信号ETCLKがHレベル
のとき、転送ゲート4aaがオン状態となり、入力信号
INを取込み、インバータ4abへ伝達する。転送ゲー
ト7aaを介して与えられた入力信号INは、インバー
タ4abおよび4adによりラッチされる。インバータ
4acが、このインバータ4abの出力信号を反転し
て、出力信号OUTを生成する。テストクロック信号E
TCLKがLレベルとなると、転送ゲート4aaがオフ
状態となり、このラッチ回路4aがラッチ状態となり、
出力信号OUTは、入力信号INの状態にかかわらず、
その状態は変化しない。したがって、出力信号OUT
は、テストクロック信号ETCLKの立上がりに同期し
て変化し、1クロックサイクル期間その状態を保持す
る。
【0071】図7は、図3に示すラッチ回路4cおよび
4eの構成を示す図である。図7において、ラッチ回路
4cおよび4eの各々は、テストクロック信号/ETC
LKがHレベルのときに導通する転送ゲート14aと、
転送ゲート14aを介して与えられる入力信号INを反
転するインバータ14bと、インバータ14bの出力信
号を反転して出力信号OUTを生成するインバータ14
cと、インバータ14bの出力信号を反転してインバー
タ14bの入力部へ伝達するインバータ14dを含む。
【0072】この図7に示すラッチ回路4cおよび4e
は、図6に示すラッチ回路4aと、与えられるテストク
ロック信号の位相が異なる点を除いて構成は同じであ
る。したがって、ラッチ回路4cおよび4eは、テスト
クロック信号ETCLKがLレベルのとき(補のテスト
クロック信号/ETCLKがHレベルのとき)、入力信
号INを取込み、ラッチしかつ出力し、テストクロック
信号ETCLKがLレベル(補のテストクロック信号/
ETCLKがLレベルのとき)、その出力信号OUTの
状態を保持する(ラッチする)。これにより、テストク
ロック信号ETCLKの立下がりに同期して信号を出力
するラッチ回路を得ることができる。
【0073】この図6(A)に示すラッチ回路4aと同
じ構成を、図3に示すデータ出力用のラッチ回路4aが
有していれば、図4の(i)に示す外部読出データER
D〈7:0〉のタイミングでデータを出力することがで
きる。
【0074】[データ出力用ラッチ回路4eの構成]図
8は、図3に示す読出データを出力するラッチ回路4e
の他の構成を示す図である。図8において、ラッチ回路
4gは、入力信号INを受けるインバータ4gaと、入
力信号INとテストクロック信号ETCLKを受けるN
AND回路4gbと、インバータ4gaの出力信号とテ
ストクロック信号ETCLKを受けるNAND回路4g
cと、NAND回路4gbおよび4gcの出力信号をラ
ッチするNAND回路4gdおよび4geを含む。NA
ND回路4gdは、NAND回路4gbおよび4geの
出力信号を受ける。NAND回路4geは、NAND回
路4gcおよび4gdの出力信号を受ける。
【0075】ラッチ回路4gは、さらに、補のテストク
ロック信号/ETCLKとNAND回路4gdの出力信
号を受けるNAND回路4gfと、補のテストクロック
信号/ETCLKとNAND回路4geの出力信号を受
けるNAND回路4ggと、NAND回路4gfおよび
4ggの出力信号をラッチするNAND回路4ghおよ
び4giを含む。NAND回路4ghは、NAND回路
4gfおよび4giの出力信号を受けて出力信号OUT
を出力する。NAND回路4giは、NAND回路4g
hの出力信号OUTとNAND回路4ggの出力信号と
を受ける。次に、この図8に示すラッチ回路の動作を図
9に示すタイミング図を参照して説明する。
【0076】テストクロック信号ETCLKがHレベル
のとき、補のテストクロック信号/ETCLKはLレベ
ルである。この状態においては、NAND回路4gbお
よび4gcがインバータとして動作し、入力信号INお
よびインバータ4gaの出力信号がNAND回路4gb
および4gcを介してNAND回路4gdおよび4ge
へ伝達されてラッチされる。したがって、NAND回路
4gdおよび4geの出力信号は、このテストクロック
信号ETCLKの立上がりに同期して変化する。一方、
NAND回路4gfおよび4ggの出力信号はHレベル
に固定されており、出力信号OUTの状態は変化しな
い。
【0077】テストクロック信号ETCLKがLレベル
に立下がると、NAND回路4gbおよび4gcの出力
信号がHレベルとなり、NAND回路4gdおよび4g
eの出力信号の状態は変化しない。一方、NAND回路
4gfおよび4ggがインバータとして動作し、NAN
D回路4gdおよび4geの出力信号をNAND回路4
ghおよび4giに伝達する。したがって、テストクロ
ック信号ETCLKの立下がりに同期して出力信号OU
Tの状態が変化する。以後、このテストクロック信号E
TCLKの立上がりおよび立下がりに同期して、入力信
号INの伝送が行なわれる。
【0078】したがって、この図8に示すラッチ回路を
用いれば、テストクロック信号ETCLKの立上がりに
同期して入力信号INを取込み、テストクロック信号E
TCLKの立下がりに同期して出力信号OUTを出力す
ることができる。これにより、図4の(ii)に示す読
出データERD〈7:0〉のタイミングで、選択回路か
ら与えられた読出データを出力することができる。
【0079】なお、ラッチ回路4a、4c、4eおよび
4gとしては、クロック信号のエッジに同期して与えら
れた信号を取込みかつラッチ状態となるD型フリップフ
ロップが用いられてもよい。
【0080】[メモリセルアレイ構成]図10(A)
は、SDRAMモジュール2内のメモリアレイ部の構成
を概略的に示す図である。図10(A)において、メモ
リアレイは、4つのメモリマットMAA、MAB、MA
CおよびMADを含む。メモリマットMAAおよびMA
CはバンクAを構成し、メモリマットMABおよびMA
DはバンクBを構成する。バンクの指定は、ロウおよび
コラムアドレス信号各々と同時に与えられる図示しない
バンクアドレス信号により行なわれ、バンクAおよびB
は、それぞれ互いに独立に、行選択動作を活性/非活性
化することができる。
【0081】図10(B)は、1つのメモリマットMA
の構成を概略的に示す図である。メモリマットMA(M
AA−MAD)は、上側ブロックUBおよび下側ブロッ
クLBに分割される。これらのブロックUBおよびLB
は、それぞれ、8個の行ブロックURB0〜URB7お
よびLRB0〜LRB7に分割される。メモリマットM
Aに対し、行を選択するためのロウデコーダRDおよび
列を選択するためのコラムデコーダCDが設けられる。
ロウデコーダRDは、上側ブロックUBおよび下側ブロ
ックLBそれぞれにおいて1つの行ブロック内において
ワード線を選択する。
【0082】図10(C)は、1つのメモリマットMA
の列についての構成を概略的に示す図である。メモリマ
ットMAは、16個の列ブロックCB0〜CBFに分割
される。この列ブロックCB0〜CBFは、図10
(B)に示す上側ブロックUBおよび下側ブロックLB
上にわたって延在して配置している。コラムデコーダC
Dは、列ブロックCB0〜CBFそれぞれにおいて4つ
の列を同時に選択する。上側ブロックUBにおいて4ビ
ットのメモリセルが選択され、下側ブロックLBにおい
て4ビットのメモリセルが選択される。したがって、列
ブロックCB0〜CBFそれぞれにおいて8ビットのメ
モリセルが同時に選択される。これにより、1つのメモ
リマットMAにおいては、同時に8・16=128ビッ
トのメモリセルが選択される。
【0083】図10(D)は、1つのバンクについての
列ブロックの構成を示す図である。1つのメモリマット
が16個の列ブロックCB0〜CBFに分割されるた
め、1つのバンクにおいては、メモリアレイが32個の
列ブロックB♯0〜B♯31に分割されることと等価と
なる。列ブロックB♯0〜B♯31それぞれにおいて8
ビットのメモリセルが同時に選択されるため、合計25
6ビットのメモリセルが同時に選択される。列ブロック
B♯0〜B♯31それぞれに、書込ドライブ回路が設け
られている。書込データマスク指示ビットDM〈31:
0〉により、列ブロック単位でデータ書込に対するマス
クがかけられる。
【0084】図11は、直接メモリアクセス回路に含ま
れる書込データ拡張部の構成を示す図である。図11に
おいて、書込データビットWD〈0〉〜WD〈7〉それ
ぞれに対しバッファBF0〜BF7が設けられる。バッ
ファBF0〜BF7の出力信号は、それぞれデータ転送
線DL0〜DL7上に伝達される。データ転送線DL0
は、列ブロックB♯0〜B♯31それぞれの対応するデ
ータ線に接続される。したがって、8ビットの書込デー
タWD〈0〉〜WD〈7〉が、列ブロックB♯0〜B♯
31の各グローバルIOバス線対(GIO0〜GIO
7)に対応して拡張される。これにより、各列ブロック
B♯0〜B♯31それぞれにおいて、8ビットの書込デ
ータWD〈0〉〜WD〈7〉が伝達され、合計256ビ
ットの書込データWD〈255:0〉が8ビットの書込
データWD〈0〉〜WD〈7〉から生成される。ここ
で、グローバルIOバス線対は各列ブロックにおいて列
方向に延在して設けられるデータ伝達線である。また、
列ブロックB♯0〜B♯31各々にマスク指示ビットW
D〈0〉〜WD〈7〉が対応して設けられ、書込マスク
が行なわれる。
【0085】[選択回路4fの構成]図12は、図3に
示す選択回路4fの構成を概略的に示す図である。図1
2において、選択回路4fは、ラッチ回路4cから与え
られるデータ選択アドレス信号OSEL〈4:0〉をデ
コードするデコーダ4faと、SDRAMモジュールか
らの256ビットの読出データに対し、8ビットのデー
タの組それぞれに対して設けられ、デコーダ4faの出
力する信号に従って対応の8ビットのデータを選択する
選択器4f0〜4f31を含む。図12においては、読
出データビットRD0〜RD7が列ブロックB♯0から
読出され、ビットRD248〜RD255が列ブロック
B♯31から読出された場合が一例として示される。す
なわち、選択器4f0〜4f31は、列ブロックB♯0
〜B♯31それぞれに対応して設けられる。デコーダ4
faは、5ビットのデータ選択用アドレス信号OSEL
〈4:0〉をデコードし、これらの32個のブロックB
♯0〜B♯31のうち1つのブロックを指定する信号を
出力する。選択器4f0〜4f31は、それぞれ8ビッ
トの選択回路を含み、非選択時出力ハイインピーダンス
状態とされる。選択器4f0〜4f31の出力信号が、
図3に示すラッチ回路4gへ与えられる。
【0086】選択器4f0〜4f31の各々は、8ビッ
トのトランスファゲート(トランスミッションゲート)
またはトライステートバッファで構成される。データ書
込時において、8ビットのデータが各ブロックB♯0〜
B♯31各々へ分配されている。選択回路4fにおい
て、データ選択用アドレス信号OSEL〈4:0〉に従
って1つのブロックを選択して8ビットのデータを読出
すことにより、書込データビットWD〈7:0〉と読出
データERD〈7:0〉の論理の一致/不一致を見るこ
とにより、各列ブロック単位で不良を検出することがで
きる。
【0087】なお、直接メモリアクセス回路4におい
て、残りのアドレス信号および制御信号は、単に内部で
バッファ処理されてラッチ回路間を転送されるだけであ
る。
【0088】以上のように、この発明の実施の形態1に
従えば、外部からパッドを介して与えられる信号(デー
タを含む)を、クロック信号に同期して取込み転送して
いるため、各信号が確定したタイミングで信号を転送す
ることができ、また確定期間を十分長くとることがで
き、また信号の変化開始タイミングは同じとなりスキュ
ーの影響を受けることなく高速のクロック信号に同期し
て外部から直接SDRAMモジュールへアクセスしてテ
ストを行なうことができる。
【0089】また、直接メモリアクセス回路の信号の取
込および転送タイミングを規定するテストクロック信号
とSDRAMモジュールの動作タイミングを規定するク
ロック信号とを別々の経路を介して与えられるように構
成しているため、SDRAMモジュールに対する信号の
セットアップ時間およびホールド時間を外部から変更す
ることができ、SDRAMの動作マージンのテストを行
なうことができる。
【0090】なお、これらのクロック信号ETCLKお
よびCLKとしては、同じパッドを介して与えられる信
号が用いられてもよい。
【0091】[実施の形態2]図13は、この発明の実
施の形態2に従う半導体集積回路装置の全体の構成を概
略的に示す図である。図13に示す半導体集積回路装置
においては、直接メモリアクセス回路4に対して、アド
レス信号は、パッド群8eを介して与えられる。このパ
ッド群8eには、好ましくは、外部からのロウアドレス
信号ERA〈10:0〉、コラムアドレス信号ECA
〈5:0〉、およびデータ出力用アドレス信号EOSE
L〈4:0〉が時分割多重化して与えられる。また、書
込マスクビットEDM〈31:0〉は与えられず、全ビ
ットに対し書込を確実に行なうための書込指示信号EW
ALLを受けるパッド8nが設けられる。
【0092】ロウアドレスおよびコラムアドレスおよび
データ選択用アドレス入力パッド群を共有するため、S
DRAMモジュール2の有するコラム・リード・レイテ
ンシCLの値に応じてラッチ回路4cの出力するデータ
選択用アドレス信号をシフトするシフタ4hが設けられ
る。このシフタ4hは、コラム・リード・レイテンシC
L+1クロックサイクル期間シフト動作を行なう。SD
RAMモジュール2は、行選択指示が与えられるときお
よび列選択指示が与えられるときは、別々のクロックサ
イクルである。これは、標準のSDRAMと同じであ
る。したがって、パッド群8eを、ロウおよびコラムア
ドレス信号に対し共通に用いることにより、パッド数を
低減することができ、試験装置の出力端子数を低減する
ことができる。またシフタ4hを用いることにより、デ
ータ読出指示が与えられたときにデータ選択用アドレス
信号を取込んでも、正確にコラム・リード・レイテンシ
経過後に現れるデータをラッチ回路4eでラッチした後
に選択回路4fで選択することができる。
【0093】図14は、図13に示す直接メモリアクセ
ス回路4のロウおよびコラムアドレス信号に関連する部
分の構成を示す図である。ラッチ回路4aは、外部から
与えられる11ビットのアドレス信号ERA〈10:
0〉のうち6ビットの信号ERAをテストクロック信号
ETCLKに立上がりに同期して取込むラッチ4aaを
含む。
【0094】信号分配回路4bは、このラッチ4aaか
らの6ビットのデータを並列に受けてバッファ処理する
バッファ4baおよび4bbを含む。ラッチ回路4c
は、バッファ4baの出力する6ビットの信号をテスト
クロック信号/ETCLKの立上がりに応答してラッチ
してSDRAMモジュール2の6ビットロウアドレス信
号RAとして出力するラッチ4caと、バッファ4bb
の出力する4ビット信号をテストクロック信号/ETC
LKの立上がりに応答して取込みかつラッチして6ビッ
トコラムアドレス信号CA〈5:0〉として出力するラ
ッチ4cbを含む。
【0095】したがって、信号分配回路4bは単にパッ
ド群8eに与えられるアドレス信号を、ロウアドレス信
号およびコラムアドレス信号として分離する。これによ
り、簡易な回路構成で、パッド数を低減して、ロウおよ
びコラムアドレス信号を生成することができる。
【0096】図14に示す構成において、ロウアドレス
信号ERA〈10:0〉は、11ビットの信号であり、
一方コラムアドレス信号は、6ビットの信号CA〈5:
0〉である。したがって、このアドレス信号が与えられ
るパッドは、さらに5ビット残っている。出力データ選
択用のアドレスOSELは、5ビットであり、したがっ
てアドレス入力パッドの残りのパッドを、出力データ選
択用のアドレス入力パッドとして利用することができ
る。
【0097】図15は、アドレス分配のためのさらに他
の構成を示す図である。図15に示す構成においては、
パッド群8eの残りの5ビットのパッド8ebに対し、
クロック信号ETCLKに同期して、与えられたアドレ
ス信号をラッチするラッチ4abが設けられる。パッド
群8eに含まれる6ビットのパッド8eaは、図14に
示す構成と同様、ラッチ4aaに結合される。
【0098】信号分配回路4bにおいて、このラッチ4
abに対して並列に、5ビットのバッファ4bcおよび
4bdが並列に設けられる。
【0099】ラッチ回路4cにおいては、さらに、バッ
ファ4bcおよび4bdそれぞれに対応して補のテスト
クロック信号/ETCLKの立上がりに同期して、対応
のバッファ4bcおよび4bdの出力信号をラッチする
5ビットのラッチ4ccおよび4cdが設けられる。ラ
ッチ4ccからロウアドレス信号ビットが出力され、ラ
ッチ4cdから、出力データ選択用のアドレス信号OS
EL〈4:0〉が出力される。ラッチ4caおよび4c
cの出力信号が、ロウアドレス信号RA〈10:0〉と
してセレクタを介してSDRAMモジュールへ与えられ
る。
【0100】したがって、この図15に示す構成の場
合、アドレス信号入力パッドをすべて共用することがで
き、ロウアドレス信号の各ビットの伝達経路の負荷が同
じとなり、正確なタイミングで信号の伝達を行なうこと
ができる。また、出力データ選択用のアドレス信号を入
力するために別のパッドをも設ける必要がなく、パッド
数をより低減することができる。
【0101】図16は、この発明の実施の形態2の半導
体集積回路装置のデータ読出時の動作を示すタイミング
チャート図である。図16においては、コラム・リード
・レイテンシCLが3の場合のデータ読出動作が一例と
して示される。
【0102】外部クロック信号ECLKのサイクル♯0
においてアクティブコマンドが与えられる。このとき、
外部の制御信号ECTL〈〉がアクティブコマンドを示
すアクト(ACT)の状態に設定される。このアクティ
ブコマンドが与えられると、パッドへ与えられるアドレ
ス信号ERA〈10:0〉はロウアドレス信号である。
このロウアドレス信号RAが、外部のテストクロック信
号ETCLKの立下がりに同期して直接メモリアクセス
回路4から出力されてSDRAMモジュールへ与えられ
る。
【0103】クロックサイクル♯2の外部クロック信号
ECLKの立上がりエッジでリードコマンドが与えられ
る。リードコマンドと同時に、コラムアドレス信号が与
えられる。以降クロックサイクル♯3、♯4および♯5
において、リードコマンドが繰返し与えられ、同時にコ
ラムアドレス信号C0、C1、C2およびC3が同時に
与えられる。これらのコラムアドレス信号C0〜C3と
並列に、出力データ選択用のアドレス信号EOSELが
与えられる。これらのデータ選択用アドレスEOSEL
およびコラムアドレス信号C(C0〜C3)は、それぞ
れ外部クロック信号ECLKの立下がりエッジでシフタ
4hおよびSDRAMモジュール2へ与えられる。SD
RAMモジュール2においては、クロック信号CLKの
立上がりエッジで与えられたリードコマンドおよびコラ
ムアドレス信号に従って、内部で列選択動作を行なって
データの読出を行なう。コラム・リード・レイテンシC
Lが3であるため、このSDRAMにおいて外部クロッ
ク信号ECLKのサイクル♯3においてデータ読出動作
が開始されると、3クロックサイクル経過後の外部クロ
ック信号ECLKのクロックサイクル♯6における内部
クロック信号CLKの立上がりエッジで読出データが確
定する。このSDRAMモジュールから読出されたデー
タが、ラッチ回路4eによりテストクロック信号ETC
LKの立下がりに同期して取込まれてラッチされる。
【0104】シフタ4hは、ラッチ4cdから出力され
るアドレス信号をコラム・リード・レイテンシCLより
1クロックサイクル期間長い期間シフトして、テストク
ロック信号ETCLKの立下がりに同期して出力する。
したがって、ラッチ回路4eから選択回路4fへ与えら
れるデータおよびシフタ4hから出力される選択アドレ
ス信号がともに同じタイミングで確定状態へ移行し、選
択回路4fが正確に、読出されたデータの選択を行な
う。この選択回路4fにより選択されたデータは、図1
3に示すラッチ回路4gにより、テストクロック信号E
TCLKの立下がりに同期して出力される。すなわち、
ラッチ回路4gは、外部からのテストクロック信号ET
CLKKの立上がりに同期して選択回路4fの出力デー
タを取込み、このテストクロック信号ETCLKの立下
がりに同期して、取込んだデータを出力する(図8に示
す構成を参照)。
【0105】なお、この図16に示す構成において、8
ビットの読出データRD〈7:0〉は、テストクロック
信号ETCLKの立上がりに同期して出力されるように
構成されてもよい。
【0106】したがって、このシフタ4hを用いること
により、リードコマンド印加時にコラムアドレス信号と
同時に出力データ選択用のアドレス信号を与えることが
でき、コラムアドレス信号とデータ選択用のアドレス信
号を別々の異なるタイミングで与える必要はなく、制御
が容易となる。
【0107】[シフタ4hの構成]図17は、図13に
示すシフタ4hの構成を概略的に示す図である。図17
において、シフタ4hは、テストクロック信号ETCL
Kに従って与えられた信号をシフトするシフト回路4h
a、4hb、4hc、および4hdと、外部からのコラ
ム・リード・レイテンシCLを指定するデータECL
〈1:0〉をデコードしかつそのデコード結果をラッチ
するデコードラッチ4heと、シフト回路4aa〜4h
dそれぞれの出力部に設けられ、デコードラッチ4he
からのコラム・リード・レイテンシ指示信号CL〜CL
4それぞれに応答して作動状態となるトライステートバ
ッファ4hf、4hg、4heおよび4hiを含む。こ
れらのトライステートバッファ4hf〜4hiの出力は
共通に接続されて選択回路4fに結合される。このシフ
タ4hの出力信号が、図13に示す選択回路4fへ出力
データ選択用アドレスとして与えられる。
【0108】デコードラッチ4heは、レイテンシデー
タECL〈1:0〉をデコードし、4つのレイテンシ指
示信号CL1〜CL4のうち1つを活性状態へ駆動す
る。トライステートバッファ4hf〜4hiは、対応の
レイテンシ指示信号CL1〜CL4が活性状態のときに
作動状態とされ、対応のレイテンシ指示信号が非活性状
態のときには出力ハイインピーダンス状態とされる。
【0109】シフト回路4haは、2サイクル期間テス
トクロック信号ETCLKに従って与えられたアドレス
信号OSEL(OSEL〈4:0〉)をシフトする。残
りのシフト回路4hb〜4hdはテストクロック信号E
TCLKの1クロックサイクル期間与えられた信号をシ
フトする。シフタ4hは、コラム・リード・レイテンシ
CLよりも1クロックサイクル期間長い期間シフト動作
を行なう。したがって初段のシフト回路4haのみが、
2サイクル期間与えられたアドレス信号OSELをシフ
トする。デコードラッチ4heは、レイテンシデータE
CL〈1:0〉をデコードし、指定されたレイテンシに
対応するレイテンシ指示信号CL1〜CL4のいずれか
を活性状態へ駆動する。レイテンシ指示信号CL1が活
性状態とされた場合には、シフト回路4haの出力信号
が選択されて選択回路4fへ与えられる。この場合、シ
フト回路4haは2サイクル期間シフト動作を行なって
おり、したがってレイテンシよりも1クロックサイクル
期間長い期間シフト動作をこのシフタ4hが行なう。残
りのレイテンシ2、3および4をそれぞれ示すレイテン
シ指示信号CL2〜CL4についても同じである。
【0110】シフト回路4ha〜4hdとしては、図8
に示す回路を利用することができる。図8に示すラッチ
回路は、半クロックサイクル期間、与えられた信号をシ
フトするシフト回路と等価である。したがって、この図
8に示す回路を2段設けることにより、1クロックサイ
クル期間シフト動作を行なうシフト回路を実現すること
ができる。
【0111】なお、デコードラッチ4heは、外部から
の制御信号に含まれるコラム・リード・レイテンシ設定
指示信号の活性化に応答して活性化され、コラム・レイ
テンシデータECL〈1:0〉をデコードし、そのデコ
ード結果をラッチする。
【0112】[書込データマスクビットを省略するため
の構成]図18は、直接メモリアクセス回路4のさらに
他の構成を示す図である。図18においては、アドレス
信号に関連する部分の構成のみを示す。この図18に示
す構成においては、図15に示す構成に加えて、さら
に、5ビットラッチ4beの出力信号を受けて、データ
書込時デコード動作を行なって、32ビットの書込デー
タマスクビットを生成するデコーダ4beと、このデコ
ーダ4beの出力信号を補のテストクロック信号/ET
CLKに従ってラッチするラッチ4ceと、外部からの
マスク解除指示信号EWALLをテストクロック信号E
TCLKに従ってラッチし、そのラッチした信号をデコ
ーダ4baへ与えるラッチ4heが設けられる。他の構
成は、図15に示す構成と同じであり、対応する部分に
は同一の参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
【0113】デコーダ4beは、データ書込時、5ビッ
トの信号をデコードし、32個の出力のうち1つを選択
状態へ駆動する。このとき、デコーダ4beは、ラッチ
4acからの信号EWALLが、マスク解除指示状態の
ときには、すべての信号をマスク禁止状態に設定する。
したがって、この図18に示す構成に従えば、書込デー
タに対するマスクをかけるビットEWD〈31:0〉に
対するパッドおよび初段のラッチを設ける必要はなく、
パッド数の低減(試験装置の出力端子数の低減)および
直接メモリアクセス回路の構成要素数の低減を図ること
ができる。デコーダ4beの出力信号は、32個の列ブ
ロックのうち1つのブロックを規定する。このラッチ4
acに与えられる信号EWALLにより、すべての列ブ
ロックに対するマスクを解除する。これにより、データ
書込時、パッド群8ebに与えられる信号の状態を「ド
ントケア」状態に設定して、全列ブロックへデータの書
込を行なって試験を行なうことができる。
【0114】図19は、図18に示すデコーダ4beの
1ビットの書込マスク指示データWD〈i〉に対する構
成の一例を示す図である。図19において、このデコー
ダ4beは、ラッチ4abから与えられる信号I0〜I
4と、ラッチ4acから与えられる信号EWALLとを
受けるNAND回路4beiを含む。NAND回路4b
eiから書込データマスク指示ビットWD〈i〉が出力
される。このNAND回路4beiは、信号EWALL
がLレベルのときには、書込マスク指示ビットWD
〈i〉をHレベルに設定し、対応の列ブロックB♯iに
対するデータ書込を許可する。一方、信号EWALLが
Hレベルのときには、NAND回路4beiは、与えら
れた信号I0〜I4の論理状態の組合せに従ってマスク
指示ビットWD〈i〉の論理状態を設定する。入力信号
I0〜I4がすべてHレベルのときには、書込マスク指
示ビットWD〈i〉がLレベルとなり、対応の列ブロッ
クB♯iに対するデータ書込が禁止される。ここで、入
力信号I0〜I4は、パッド群8ebからラッチ4ab
を介して与えられる信号および補の信号の所定の組合せ
である。信号EWALLがLレベルに設定されている場
合には、入力信号I0〜I4の論理状態にかかわらず、
書込マスク指示ビットWD〈i〉がHレベルとなり、対
応の列ブロックに対し、確実にデータの書込を行なうこ
とができる。
【0115】なお、この図19に示す構成において、デ
ータ書込を示す信号(ライトコマンド)が与えられたと
きに、NAND回路4beiがデコード動作を行なうよ
うに構成されてもよい。これは、たとえば、NAND回
路4beiの出力に、NAND回路4beiの出力信号
とライトコマンドを受けるAND回路を設けることによ
り実現される。
【0116】以上のように、この第3の構成に従えば、
書込にマスクをかけるパッド群と、ロウアドレス信号入
力パッド群と共有することができ、パッド数の低減、お
よび初段のラッチ回路数を低減することができる。
【0117】[変更例]図20は、この発明の実施の形
態2の直接メモリアクセス回路の変更例の構成を概略的
に示す図である。図20において、直接メモリアクセス
回路4は、パッド群8eに与えられる11ビットの信号
を図示しないテストクロック信号に同期してラッチする
ラッチ4axと、パッド8nに与えられる信号EWAL
Lをテストクロック信号に同期してラッチする1ビット
のラッチ4ayと、ラッチ4axの出力信号をバッファ
処理する11ビットのバッファ回路4bxと、ラッチ4
ayの出力信号をバッファ処理する1ビットのバッファ
回路4byと、補のテストクロック信号に同期してバッ
ファ4bxの11ビットの出力信号をラッチする1ビッ
トのラッチ4cxと、バッファ回路4byの出力信号を
補のテストクロック信号に同期してラッチする1ビット
のラッチ4cyを含む。ラッチ4axおよび4ayは、
図13に示すラッチ回路4aに含まれ、バッファ回路4
bxおよび4byは、図13に示す信号分配回路4bに
含まれ、ラッチ4cxおよび4cyは、図13に示すラ
ッチ回路4cに含まれる。
【0118】直接メモリアクセス回路4は、さらに、ラ
ッチ4cxからの11ビットの信号をバッファ処理して
ロウアドレス信号RA〈10:0〉を出力する11ビッ
トのバッファ回路4xaと、ラッチ4cxからの11ビ
ットの信号のうち所定の6ビットの信号をバッファ処理
してコラムアドレス信号CA〈5:0〉を出力するバッ
ファ回路4xbと、残りの5ビットの信号をバッファ処
理して出力データ選択用アドレスOSEL〈4:0〉を
出力する5ビットのバッファ回路4xcと、バッファ回
路4xcと同じ信号を受け、ラッチ4cyの出力信号に
従ってデコード動作を行なうとともにバッファ処理する
デコーダ/ドライバ4xdを含む。デコーダ/ドライバ
4xdから書込データマスク指示ビットWD〈31:
0〉が出力される。
【0119】この図20に示す構成においては、信号の
分配が、出力段のラッチ回路4cに含まれるラッチ4c
xの出力信号に対して行なわれる。この構成の場合、こ
の出力段のラッチ回路4cに含まれるラッチの数をパッ
ドの数と同じとすることができ、直接メモリアクセス回
路の構成要素数をより低減することができる。デコーダ
/ドライバ4xdの構成は、先の図18および図19に
示す構成と同じであり、したがって、単にこの図20に
示す構成においては、パッド群8eに与えられた分配
が、出力段のラッチ回路4cの出力に対して行なわれる
点が異なるだけであり、同じ動作が行なわれる。
【0120】なお、パッド群の共有は、各信号のビット
数および印加タイミングに応じて上述の形態から適当に
選択されればよい。
【0121】以上のように、この発明の実施の形態2に
従えば、共通のパッド群を、複数の信号に対して共通に
利用しているため、パッド数および回路構成要素数を低
減することができる。
【0122】[実施の形態3]図21は、この発明の実
施の形態3に従う半導体集積回路装置の全体の構成を概
略的に示す図である。この図21に示す半導体集積回路
装置は、図13に示す半導体集積回路装置と以下の点が
異なっている。すなわち、ラッチ回路4eから出力され
る256ビットのデータを1ビットのデータに縮退する
縮退回路4jと、縮退回路4jの出力する1ビットの信
号をテストクロック信号ETCLKに従って転送してパ
ッド8pへ与えるラッチ4kが設けられる。他の構成
は、図13に示す構成と同じであり、対する部分には同
一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
【0123】縮退回路4jを用いて256ビットのデー
タを1ビットの信号に縮退することにより、256ビッ
トのデータを選択回路4fで順次選択して8ビット単位
で出力する場合に比べて、大幅にテスト時間を短縮する
ことができる。
【0124】図22は、図21に示す縮退回路4jの構
成を概略的に示す図である。図22において、縮退回路
4jは、それぞれが32ビットのデータを受けて受けた
ビットの論理の一致/不一致を判定する32ビットEX
OR回路4j0〜4j7と、32ビットEXOR回路4
j0〜4j7の出力信号を受けて、一致/不一致指示信
号ECMPを出力するAND回路4jaを含む。32ビ
ットEXOR回路4j0は、読出データRD〈255:
0〉のうち、RD〈8i〉のビットを受ける。ここで、
iは、0〜31の整数である。したがって、32ビット
EXOR回路4jxは、ビットRD〈8i+x〉を受け
る。ここで、xは、0〜7である。この32ビットEX
OR回路4j0〜4j7それぞれが受けるデータビット
は、先に説明した32個の列ブロックB♯0〜B♯31
における同じ書込データビットに対するデータビットで
ある。この書込データと読出データとの対応関係につい
て以下に図23を参照して説明する。
【0125】図23に示すように、メモリアレイは、3
2個の列ブロックB♯0〜B♯31を含む。列ブロック
B♯0からは、読出データビットRD〈0〉−RD
〈7〉が読出され、列ブロックB♯1から、読出データ
ビットRD〈8〉−RD〈15〉が読出される。以下、
各列ブロックから8ビットのデータが読出される。列ブ
ロックB♯31から、データビットRD〈248〉−R
D〈255〉が読出される。
【0126】テスト動作時においては、外部からの8ビ
ットの書込データEWD〈0:7〉が、列ブロックB♯
0〜B♯31にそれぞれ書込まれる(図11参照)。し
たがって、テスト動作時読出データとしては、列ブロッ
クB♯0〜B♯31から、書込データEWD〈0:7〉
に対応する8ビットのデータが並列に読出される。これ
らの列ブロックB♯0〜B♯31から並列に読出された
合計256ビットのデータのうち、同じ書込データビッ
トに対応する読出データビットをグループに分割する。
したがって、読出データビットRD〈8i〉のグループ
の各ビットは、外部からの書込データビットEWD
〈0〉に対応し、読出データビットRD〈8i+1〉
は、外部からの書込データビットEWD〈1〉に対応す
る。また、読出データビットRD〈8i+7〉が、書込
データビットEWD〈7〉に対応する。この分類は、各
列ブロックにおいて設けられている8ビットのグローバ
ルデータバスのバス線GIOに応じて分類することによ
り、容易に実現される。
【0127】したがって、この書込データEWD〈0:
7〉として、さまざまなビットパターンを有する書込デ
ータを用いて試験を行ない、ビット間干渉などを試験す
る場合においても、図22に示す32ビットEXOR回
路4j0〜4j7のそれぞれは、同じ書込データに対応
するビットに対応する読出データビットを受けるため、
これらの論理の一致/不一致を判定することにより、メ
モリセルの不良を正確に検出することができる。
【0128】ここで、グローバルデータバス線GIO0
−GIO7とデータの対応関係は以下のようにすること
により、データビットのグループ化が容易に実現され
る。書込データビットEWD〈0〉〜EWD〈7〉それ
ぞれが、グローバルIOバス線GIO0〜GIO7に対
応づける。グローバルIOバス線対GIO0〜GIO7
には、またデータが読出される。このグローバルIOバ
ス線対GIO0〜GIO7を読出データビットRD〈8
i〉〜RD〈8i+7〉にそれぞれ対応づける。これに
より、列ブロックそれぞれにおいて、読出される8ビッ
トのデータを、書込データに応じて容易に分類すること
ができる。
【0129】以上のように、この発明の実施の形態3に
従えば、同時に読出される256ビットのデータを1ビ
ットデータに縮退して出力しているために、試験時間を
大幅に短縮することができる。
【0130】[その他の適用例]上述の半導体集積回路
装置は、クロック信号の立上がりエッジでデータおよび
外部信号の取込を行なう同期型メモリを内蔵している。
しかしながら、DDRSDRAMと呼ばれる、クロック
信号の立上がりエッジおよび立下がりエッジに同期して
データの入出力を行なうとともに、クロック信号の一方
のエッジで外部信号(制御信号およびアドレス信号)を
取込む構成の同期型メモリであっても、本発明は適用可
能である。書込データ転送経路および読出データ転送経
路において、2つのラッチ回路を設け、クロック信号の
立上がりおよび立下がりに同期して、この2系統のラッ
チ回路を切換えることにより、クロック信号の立上がり
および立下がりに同期して、データの転送を行なうこと
ができ、DDR(ダブル・データ・レート)でのデータ
の書込/読出を行なうことができる。制御信号およびア
ドレス信号は、クロック信号の一方のエッジで同期して
転送されるだけであり、先の実施の形態1から3と同様
の構成を用いることができる。
【0131】また、同期型メモリとして、クロック信号
に同期して動作するメモリであればよく、SSRAM
(シンクロナスSRAM)であってもよく、またフラッ
シュメモリと呼ばれる一括消去型EEPROM(電気的
に書込消去可能なリード・オンリー・メモリ)であって
もクロックに同期して外部信号の取込およびデータの出
力が行なわれる構成であれば、本発明は適用可能であ
る。
【0132】なお、ロジック回路3において、動作モー
ドを指定するコマンドをデコードし、動作モード指示信
号を発生するコマンドデコーダが設けられており、SD
RAMモジュールに対しては、その動作モード指示信号
が与えられる構成の場合、直接メモリアクセス回路4に
おいてコマンドデコーダが設けられてもよい。この場
合、外部の試験装置は、従来のSDRAMのテストプロ
グラムを用いて、制御信号発生シーケンスを変更するこ
となくSDRAMモジュールを外部から直接アクセスし
てテストすることができる。もちろん試験装置が、動作
モード指示信号を発生して直接メモリアクセス回路4へ
与える構成が用いられてもよい。
【0133】
【発明の効果】以上のように、この発明に従えば、同期
型メモリの動作クロックと対応するクロック信号に同期
して動作する直接メモリアクセス回路を、オンチップに
設け、ロジック回路と直接メモリアクセス回路の一方を
テストモード指示信号に応じてセレクタにより選択して
同期型メモリに接続するように構成しているため、信号
のスキューを抑制して、高速でかつ正確に同期型メモリ
のテストを外部から行なうことができる。
【0134】請求項1に係る発明に従えば、同期型メモ
リの動作クロック信号に対応するテストクロック信号に
同期して外部から与えられるデータを含む信号を取込む
同期型直接メモリアクセス回路をオンチップに設け、テ
ストモード指示信号に従ってロジック回路および同期型
直接メモリアクセス回路の出力信号の一方を選択して同
期型メモリへ与えるように構成しているため、クロック
信号に同期して同期型メモリへ外部から信号を与えるこ
とができ、応じてクロック信号に同期して信号の転送を
行なうことができ、信号転送時のスキューを抑制するこ
とができ、高速のクロック信号を用いて同期型メモリの
テストを外部から行なうことができる。
【0135】請求項2に係る発明に従えば、同期型直接
メモリアクセス回路が、テストクロック信号に同期して
外部からの信号を取込むタイミングと異なるタイミング
でテストクロック信号に同期して選択回路へデータ信号
を転送するように構成しているために、直接メモリアク
セス回路においてクロック信号に同期して信号を順次転
送しており、スキューの影響を抑制して、正確なタイミ
ングで、同期型メモリへ信号を転送することができ、正
確に、同期型メモリのテストを行なうことができる。
【0136】請求項3に係る発明に従えば、同期型直接
メモリアクセス回路は、さらに、同期型メモリから読出
された複数ビットのデータを受けてテストクロック信号
に同期して取込むデータ取込手段を含んでおり、読出デ
ータに対しても、スキューの影響を受けることなく正確
なタイミングで読出データの転送を行なうことができ
る。
【0137】請求項4に係る発明に従えば、直接メモリ
アクセス回路が、外部からのアドレス信号をテストクロ
ック信号に同期して転送するアドレス転送手段と、同期
型メモリから読出された複数ビットのデータから所定数
ビットのデータをこの転送されたアドレスに従って選択
する手段とを含んでいるため、クロック信号に同期して
アドレスを転送するため、正確なタイミングで読出され
たデータの選択を行なうことができる。
【0138】請求項5に係る発明に従えば、アドレス転
送手段は、データ読出指示の印加時同期型メモリからデ
ータ読出指示を与えられてから有効データが出力するま
でに要するクロックサイクルに対応する期間アドレス信
号をテストクロック信号に同期してシフトして遅延して
データ選択手段へ与えるように構成しているため、コラ
ム・リード・レイテンシを考慮して外部から新たにデー
タ選択用のアドレス信号を与える必要はなく、容易に、
正確なタイミングで読出データに対する選択を行なうこ
とができる。
【0139】請求項6に係る発明に従えば、直接メモリ
アクセス回路が、テストクロック信号に同期して同期型
メモリから読出されたデータをラッチするデータラッチ
と、このデータラッチのデータラッチタイミングと同じ
タイミングでアドレス信号をラッチするアドレスラッチ
と、このアドレスラッチのラッチしたアドレスに従って
データラッチのラッチしたデータから所定数のビットの
データを選択するデータ選択手段とを含んでいるため、
正確なタイミングで、読出された複数ビットのデータか
ら対応のデータを選択して外部へ読出すことができる。
【0140】請求項7に係る発明に従えば、データ選択
手段が選択したデータをさらにテストクロック信号に同
期して外部へ出力するように構成しているので、外部装
置に対するデータサンプリングタイミングを、容易に確
立することができ、正確なタイミングでデータの取込を
試験装置が行なって判定動作を行なうことができる。
【0141】請求項8に係る発明に従えば、所定のパッ
ドを介してアドレス信号をロウアドレス信号およびコラ
ムアドレス信号を分割的に印加して、直接メモリアクセ
ス回路内でロウアドレス信号とコラムアドレス信号とを
分離し、同期型メモリは、ロウアドレス入力ノードおよ
びコラムアドレス入力ノードに、分離されたロウアドレ
ス信号およびコラムアドレス信号を受けるため、外部か
らのアドレス信号を受けるパッド数を低減することがで
きる。め請求項9に係る発明に従えば、ロウアドレス信
号はコラムアドレス信号よりもビット数が多いため、こ
の所定のパッドにコラムアドレス信号を受けるパッドと
複数ビットから所定数のビットのデータを選択するため
のデータ選択アドレスを受ける第2のパッドとを設けて
いるために、データ選択用のアドレスを受けるためのパ
ッドを削減することができ、外部の試験装置の出力端子
数を低減することができる。
【0142】請求項10に係る発明に従えば、この所定
のパッドを、さらに、データ書込時の書込データにマス
クをかけるビットを指示するマスク指示ビットをも受け
るように構成して、直接メモリアクセス回路内でこのマ
スク指示ビットを分離するように構成していたので、書
込データマスク指示ビットを入力するためのパッドを削
減することができ、外部の試験装置のピン端子数をさら
に低減することができる。
【0143】請求項11に係る発明に従えば、クロック
信号とテストクロック信号とが同一周波数の信号であ
り、同期型メモリの動作周波数に合わせて信号の転送を
行なうことができ、正確なタイミングでデータの入出力
を同期型メモリが行なうように信号を同期型メモリへ伝
達することができる。
【0144】請求項12に係る発明に従えば、クロック
信号とテストクロック信号とを別々のパッドを介して与
えるように構成しているため、テストクロック信号と同
期型メモリのクロック信号とを位相をずらせることによ
り、同期型メモリへ与えられる信号のクロック信号に対
するセットアップ時間およびホールド時間を調整するこ
とができ、動作マージンテストを容易に行なうことがで
きる。
【0145】請求項13に係る発明に従えば、同期型メ
モリから読出される複数ビットのデータを1ビットデー
タに縮退してテストクロック信号に同期して出力する手
段をさらに設けているため、同期型メモリのテスト時間
を大幅に短縮することができる。
【0146】請求項14に係る発明に従えば、外部から
の複数ビットの書込データに従ってこの書込データより
も多いビットのテスト書込データを生成して同期型メモ
リへテストクロック信号に同期して並列に与えるように
構成しているため、書込データのスキューが低減され、
また外部の試験装置は書込データを出力するための端子
数を低減することができる。また、同期型メモリの書込
データを外部から入力するためのパッド数をも低減する
ことができる。
【0147】請求項15に係る発明に従えば、データ選
択アドレスパッドとマスク指示ビット入力パッドとを共
用しているため、パッド数が低減される。
【0148】請求項16に係る発明に従えば、外部から
の制御信号によりマスク指示ビットをすべて無効として
データ書込を全ビットに対して行なっているため、パッ
ド共用時でも正確にデータの書込を行なえる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1に従う半導体集積回
路装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図2】 図1に示す半導体集積回路装置の動作を示す
タイミングチャート図である。
【図3】 この発明の実施の形態1に従う半導体集積回
路装置の構成を具体的に示す図である。
【図4】 図3に示す半導体集積回路装置の動作を示す
タイミングチャート図である。
【図5】 テストクロック信号と同期型メモリ動作用ク
ロック信号の作用を説明するためのタイミングチャート
図である。
【図6】 (A)は、テストクロック信号に同期してラ
ッチするラッチ回路の構成を示し、(B)は、(A)に
示すラッチ回路の動作を示すタイミングチャート図であ
る。
【図7】 補のテストクロック信号に同期してラッチす
るラッチ回路の構成の一例を示す図である。
【図8】 ラッチ回路のさらに他の構成を示す図であ
る。
【図9】 図8に示すラッチ回路の動作を示すタイミン
グチャート図である。
【図10】 (A)〜(D)は、SDRAMモジュール
内のアレイ構成を概略的に示す図である。
【図11】 8ビット書込データから256ビット書込
データを生成する信号分配回路の部分の構成を概略的に
示す図である。
【図12】 図3に示す選択回路の構成を概略的に示す
図である。
【図13】 この発明の実施の形態2に従う半導体集積
回路装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図14】 図13に示す信号分配回路の構成を概略的
に示す図である。
【図15】 図13に示す信号分配回路の第2の構成を
概略的に示す図である。
【図16】 図13に示す半導体集積回路装置の動作を
示すタイミングチャート図である。
【図17】 図13に示すシフタの構成を概略的に示す
図である。
【図18】 図13に示す信号分配回路の第3の構成を
概略的に示す図である。
【図19】 図18に示すデコーダの構成を概略的に示
す図である。
【図20】 この発明の実施の形態2の変更例の構成を
概略的に示す図である。
【図21】 この発明の実施の形態3に従う半導体集積
回路装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図22】 図21に示す縮退回路の構成を概略的に示
す図である。
【図23】 テスト書込データとメモリセルへの書込デ
ータと読出データとの対応関係を概略的に示す図であ
る。
【図24】 従来の非同期型DRAM内蔵半導体集積回
路装置の構成を概略的に示す図である。
【図25】 図24に示す構成をより具体的に示す図で
ある。
【図26】 図24に示す半導体集積回路装置の動作を
示すタイミングチャート図である。
【図27】 図24に示す半導体集積回路装置を、同期
型メモリで置換えた場合の構成を概略的に示す図であ
る。
【図28】 図27に示す半導体集積回路装置の動作を
示すタイミングチャート図である。
【図29】 図27に示す半導体集積回路装置の動作を
示すタイミングチャート図である。
【符号の説明】
1 半導体集積回路装置、2 SDRAMモジュール、
3 ロジック回路、5セレクタ、4 直接メモリアクセ
ス回路、4a,4c,4e,4g ラッチ回路、4b
信号分配回路、4h シフタ、4f 選択回路、8 外
部パッド群、8d〜8n パッド群、8p パッド、4
j 縮退回路、4k ラッチ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G11C 11/407 G01R 31/28 B 11/401 G11C 11/34 362S 371A (72)発明者 林 勇 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 萬行 厚雄 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クロック信号に同期してデータの入出力
    および与えられた信号の取込を行なう同期型メモリ、 前記同期型メモリと同一半導体基板上に形成され、前記
    同期型メモリとデータの授受を行なうロジック回路、 前記半導体基板外部から与えられるデータを含む信号を
    前記クロック信号に対応するテストクロック信号に同期
    して取込む同期型直接メモリアクセス回路、およびテス
    トモード指示信号に応答して、前記ロジック回路および
    前記同期型直接メモリアクセス回路の出力信号の一方を
    選択して前記同期型メモリに与える選択回路を備える、
    半導体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 前記同期型直接メモリアクセス回路は、
    前記テストクロック信号に同期して前記外部から与えら
    れる信号を取込む取込タイミングと異なるタイミングで
    前記テストクロック信号に同期して前記選択手段へ取込
    んだ信号を転送する手段を含む、請求項1記載の半導体
    集積回路装置。
  3. 【請求項3】 前記同期型メモリは、前記クロック信号
    に同期して複数ビットのデータを出力する手段を含み、 前記同期型直接メモリアクセス回路が、さらに、前記同
    期型メモリから読出された複数ビットのデータを受けか
    つ前記テストクロック信号に同期して取込むデータ取込
    手段を含む、請求項1記載の半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 前記同期型直接メモリアクセス回路は、
    外部から与えられるアドレス信号を前記テストクロック
    信号に同期して転送するアドレス転送手段と、 前記データ取込手段からの複数ビットのデータから所定
    数のビットのデータを前記アドレス転送手段からのアド
    レスに従って選択するデータ選択手段をさらに含む、請
    求項3記載の半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 前記アドレス転送手段は、データ読出指
    示の印加時に与えられるアドレス信号を、前記同期型メ
    モリが前記データ読出指示を与えられてから有効データ
    を出力するまでに要するクロックサイクルに対応する期
    間、前記テストクロック信号に同期して転送を行なう動
    作により遅延して前記データ選択手段へ与えるシフト回
    路を含む、請求項4記載の半導体集積回路装置。
  6. 【請求項6】 前記同期型メモリは、データ読出時複数
    ビットのデータを出力する手段を含み、 前記同期型直接メモリアクセス回路は、前記テストクロ
    ック信号に同期して前記同期型メモリから読出された複
    数ビットのデータをラッチするデータラッチ手段と、 前記データラッチ手段のデータラッチと同じタイミング
    で、与えられたアドレス信号をラッチするアドレスラッ
    チと、 前記アドレスラッチのラッチしたアドレス信号に従って
    前記データラッチ手段のラッチしたデータから所定数の
    ビットのデータを選択するデータ選択手段をさらに含
    む、請求項1記載の半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 前記同期型直接メモリアクセス回路は、
    前記テストクロック信号に同期して前記データ選択手段
    が選択したデータを外部へ出力する出力転送手段をさら
    に備える、請求項4または6記載の半導体集積回路装
    置。
  8. 【請求項8】 前記同期型直接メモリアクセス回路は、
    所定のパッドを介して時分割多重化されて与えられるア
    ドレス信号をロウアドレス信号とコラムアドレス信号と
    に分離する手段をさらに備え、 前記同期型メモリは、前記選択手段を介して前記分離さ
    れたロウアドレス信号およびコラムアドレス信号をそれ
    ぞれ並列に受ける互いに別々に設けられるロウアドレス
    入力ノードおよびコラムアドレス入力を有する、請求項
    1記載の半導体集積回路装置。
  9. 【請求項9】 前記ロウアドレス信号は、前記コラムア
    ドレス信号よりビット数が多く、かつ前記同期型メモリ
    はデータ読出時複数ビットのデータを出力し、 前記所定のパッドは、前記コラムアドレス信号を受ける
    第1のパッドと、前記複数ビットのデータから所定数の
    ビットのデータを選択するためのデータアドレス信号を
    受ける第2のパッドとを含み、前記第1および第2のパ
    ッドは並列に前記ロウアドレス信号の異なるビットを受
    ける、請求項8記載の半導体集積回路装置。
  10. 【請求項10】 前記所定のパッドは、さらに、データ
    書込時書込データにマスクをかけるビットを指示するマ
    スク指示ビットを受けるパッドをさらに含み、 前記同期型直接メモリアクセス回路は、前記所定のパッ
    ドに与えられた信号から前記マスク指示ビットを分離す
    る手段をさらに含む、請求項9記載の半導体集積回路装
    置。
  11. 【請求項11】 前記クロック信号と前記テストクロッ
    ク信号とは同一周波数の信号である、請求項1記載の半
    導体集積回路装置。
  12. 【請求項12】 前記クロック信号と前記テストクロッ
    ク信号とは別々のパッドを介して前記同期型直接メモリ
    アクセス回路に与えられる、請求項1記載の半導体集積
    回路装置。
  13. 【請求項13】 前記同期型直接メモリアクセス回路
    は、さらに、前記データ取込手段からの複数ビットのデ
    ータを1ビットデータに縮退して前記テストクロック信
    号に同期して出力する手段をさらに備える、請求項3記
    載の半導体集積回路装置。
  14. 【請求項14】 前記同期型直接メモリアクセス回路
    は、外部から与えられる複数ビットの書込データを受
    け、該受けた書込データのビット数よりも多いビット数
    のテスト書込データを生成して前記テストクロック信号
    に同期して転送する手段を含み、前記同期型メモリは、
    前記テスト書込データのビットを並列に受ける書込デー
    タ入力ノードを有する、請求項1記載の半導体集積回路
    装置。
  15. 【請求項15】 前記第2のパッドは前記マスク指示ビ
    ットを受ける、請求項10記載の半導体集積回路装置。
  16. 【請求項16】 前記同期型直接メモリアクセス回路
    は、外部からの制御信号に従って前記マスク指示ビット
    にかかわらずデータビットをすべて書込許可状態に設定
    する手段をさらに含む、請求項10記載の半導体集積回
    路装置。
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