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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Technisches
Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Substratbearbeitungsgerät zur Bearbeitung
von Substraten, beispielsweise von Halbleiterwafern, LCD-Glassubstraten,
usw., sowie ein dazugehöriges
Verfahren.
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Beschreibung des Stands
der Technik
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Üblicherweise
wird beim Herstellungsverfahren für Halbleitergeräte ein Reinigungsgerät dazu verwendet,
Verunreinigungen, beispielsweise Teilchen, organische Verunreinigungen,
metallische Unreinheiten, usw. zu entfernen, die an der vorderen und
hinteren Oberfläche
beispielsweise eines Halbleiterwafers anhaften (die nachstehend
als "Wafer usw." bezeichnet werden).
Als ein Reinigungsgerät zum
Reinigen von Wafern ist beispielsweise ein Waferreinigungsgerät des "Schleudertyps" bekannt.
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10 zeigt
schematisch ein herkömmliches
Waferreinigungsgerät 200.
Wie dies in 10 dargestellt ist, wurden bei
dem herkömmlichen
Waferreinigungsgerät 200 eine
chemische Reinigung (chemische Bearbeitung) und die nachfolgende
Spülung
(Spülbearbeitung)
durchgeführt,
um hintereinander Chemikalienflüssigkeiten
und reines Wasser einem Wafer W zuzuführen, der in einer Bearbeitungskammer 202 eines
Behälters 201 aufgenommen
ist, und zwar durch eine Zufuhrdüse 203.
Es wird darauf hingewiesen, daß die
Chemikalienflüssigkeit
ihr höheres
Reinigungsvermögen
vollständig
ausnutzen kann, wenn sie auf eine festgelegte Temperatur eingestellt
wird, die höher
als Normaltemperatur ist. Es ist beispielsweise eine Chemikalienflüssigkeit
unter der Bezeichnung "APM" bekannt, die Ammoniak
als Hauptbestandteil aufweist, und deren Temperatur in der Größenordnung
von 40 bis 90 °C
eingestellt wird; eine Chemikalienflüssigkeit unter der Bezeichnung "HPM", die Salzsäure als
Hauptbestandteil aufweist, und deren Temperatur in der Größenordnung
von 50 bis 90 °C
gesteuert wird; eine Chemikalienflüssigkeit unter der Bezeichnung "SPM", die Schwefelsäure als Hauptbestandteil
aufweist, und deren Temperatur in der Größenordnung von 100 bis 150 °C gesteuert wird,
und andere.
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Hierbei
ist das Waferreinigungsgerät 200 so aufgebaut,
daß die
Chemikalienflüssigkeit,
die von der Bearbeitungskammer 202 abgezogen wird, wiederverwendet
wird, um den Verbrauch der Chemikalienflüssigkeit einzuschränken. Daher
ist eine Recyclingleitung 204 an den Boden der Bearbeitungskammer 202 angeschlossen,
und wird die Chemikalienflüssigkeit
in die Recyclingleitung 204 ausgestoßen. Zusätzlich werden das reine Wasser
und die Innenatmosphäre
in der Bearbeitungskammer 202 jeweils in die Recyclingleitung 204 ausgestoßen. Darüber hinaus
ist die Recyclingleitung 204 mit einem Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 205 versehen.
Der Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 205 ist
an ein Absauggebläse 206 angeschlossen.
Die Reinigungsflüssigkeit
fließt
in die Recyclingleitung 204 über den Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 205,
während die
Innenatmosphäre
der Bearbeitungskammer 202 zum Absauggebläse 206 fließt. Ein
Dreiwegeventil 207 ist in der Recyclingleitung 204 angeordnet,
und ebenfalls an eine Ablaßleitung 208 für reines
Wasser angeschlossen. Durch den Schaltvorgang des Dreiwegeventils 207 fließt die Chemikalienflüssigkeit
in die Recyclingleitung 204 während des Chemikalienreinigungsvorgangs.
Dagegen fließt
während
des Spülvorgangs
das reine Wasser in die Ablaßleitung 208 für reines
Wasser, um das Wasser abzulassen.
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In
der Recyclingleitung 204 sind darüber hinaus in Reihe eine Pumpe 209,
eine Heizvorrichtung 210 und ein Filter 211 vorgesehen.
Ein Ausgang der Recyclingleitung 204 ist an die Zufuhrdüse 203 angeschlossen.
Auf diese Weise wird durch den Betrieb der Pumpe 209 die
Chemikalienflüssigkeit,
die durch den Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 205 sowie durch
das Dreiwegeventil 107 fließt, daraufhin der Heizvorrichtung 120 zugeführt, um
die Temperatur der Chemikalienflüssigkeit
einzustellen, und dem nachfolgenden Filter 211 zum Reinigen
der Chemikalienflüssigkeit.
Danach wird die Chemikalienflüssigkeit
zur Zufuhrdüse 203 zurückgeschickt,
damit die Flüssigkeit
für die
Chemikalienreinigung wiederverwendet werden kann. Das Gerät 200 weist
weiterhin eine Reinwasserzufuhrleitung (nicht gezeigt) auf, die an
die Zufuhrdüse 203 angeschlossen
ist, um das reine Wasser zu liefern. Nach Beendigung der Chemikalienreinigung
wird das reine Wasser aus der Zufuhrdüse 203 in dem Spülvorgang
ausgespritzt.
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Bei
dem herkömmlichen
Waferreinigungsgerät 200 ist
allerdings das Problem vorhanden, daß Tropfen aus reinem Wasser,
das bei dem Spülvorgang
verwendet wird, in der Recyclingleitung 204 übrigbleiben
können,
da der Ablaß der
Chemikalienflüssigkeit
und des reinen Wassers über
die Recyclingleitung 204 durchgeführt wird. Im Falle der Durchführung des
Chemikalienreinigungsvorgangs und des Spülvorgangs bei mehreren Wafern
W in der Bearbeitungskammer 202 im kontinuierlichen Betrieb
mischen sich die Tropfen aus reinem Wasser, die in der Recyclingleitung 204 bei
dem vorherigen Spülvorgang übriggeblieben
sind, mit der Chemikalienflüssigkeit
in dem darauffolgenden Chemikalienreinigungsvorgang. Da die Chemikalienflüssigkeit
immer wiederverwendet wird, wird sie bei jeder Wiederverwendung
mit dem reinen Wasser gemischt, so daß die Konzentration abnimmt.
Die Chemikalienflüssigkeit,
die durch das Wasser verdünnt
wird, weist schlechtere Reinigungseigenschaften auf, was zu einem
unzureichenden Reinigungseffekt führen kann.
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Da
das reine Wasser, das bei dem Spülvorgang
eingesetzt wird, normalerweise eine normale Temperatur aufweist,
wird darüber
hinaus die Recyclingleitung 204 gekühlt, wenn das reine Wasser
abgelassen wird. Da die Chemikalienflüssigkeit in die Recyclingleitung 204 abgezogen
wird, die bei dem vorherigen Spülvorgang
abgekühlt
wurde, wird daher die Temperatur der Chemikalienflüssigkeit
wesentlich abgesenkt. Selbst wenn es erforderlich ist, die Temperatur
der auf diese Weise abgekühlten
Chemikalienflüssigkeit
zu regeln, kann dies nicht durch die Eigenschaften der Heizvorrichtung 210 überwunden werden,
so daß eine
chemische Flüssigkeit,
die nicht die festgelegte Temperatur erreicht hat, in dem Chemikalienreinigungsvorgang
wiederverwendet wird. Die Chemikalienflüssigkeit mit verringerter Temperatur
kann ebenfalls dazu führen,
daß ein
unzureichender Reinigungseffekt erreicht wird, infolge ihrer beeinträchtigten
Reinigungseigenschaften.
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Alternativ
wurde bei dem herkömmlichen Waferreinigungsgerät 200 die
Innenatmosphäre
mit starker Verdrängung
ausgestoßen.
Daher wurde das Absauggebläse 206 übermäßig belastet,
was zu einem steilen Anstieg der Betriebskosten führte.
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In
US 5,871,584 wird eine Entwicklungsbearbeitungsvorrichtung
zum Bearbeiten eines Gegenstandes mit einer Entwicklungslösung beschrieben. Die
Vorrichtung weist einen Halter zum Tragen des Substrats auf, eine
Düse zum
Zuführen
mehrerer Arten von Bearbeitungsflüssigkeiten zu einer Oberfläche des
Substrats, einen Behälter,
der um den Halter herum angeordnet ist, wobei der Behälter zwei
Kammern zum Auffangen von Flüssigkeiten
aufweist. Die zwei Kammern werden durch eine senkrechte Wand voneinander
abgetrennt. Ein Boden jeder Bearbeitungskammer ist mit einer Leitung
zum Ausstoßen von
Bearbeitungsflüssigkeit
aus der Bearbeitungskammer verbunden. Eine der Leitungen ist an
eine Düse
angeschlossen, so dass die ausgestoßene Bearbeitungsflüssigkeit
einer Oberfläche
des Substrats durch die Leitung erneut zum Recycling der Flüssigkeit
zugeführt
werden kann.
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US 6,247,479 B1 beschreibt
eine Wasch-/Trocknungsbearbeitungsvorrichtung. Ein Substrat wird
durch eine Düse
mit einer Flüssigkeit benetzt.
Die Flüssigkeit
wird in einem Behälter
mit einer Kammer aufgefangen und fließt durch einen Abfluss zu einer
Abflusseinheit ab.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Daher
besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung
eines Substratbearbeitungsgerätes,
welches in vorteilhafter Weise die Wiederverwendung der Bearbeitungsflüssigkeit
gestattet, und welches eine Auslaßverdrängung des Gerätes verringern
kann.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird durch ein Substratbearbeitungsgerät und -verfahren mit
den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und der Patentansprüche 17 bis
19 gelöst.
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Das
erste Merkmal eines Beispiels betrifft ein Substratbearbeitungsgerät zur Bearbeitung
eines Substrats, wobei vorgesehen sind: ein Halter zum Tragen des
Substrats; eine Düse
zum Liefern mehrerer Arten von Bearbeitungsflüssigkeiten an eine Oberfläche des
Substrats; ein Behälter,
der um den Halter herum angeordnet ist, wobei der Behälter mehrere
Bearbeitungskammern aufweist, und die mehreren Bearbeitungskammern
mehrere Öffnungen
aufweisen, die jeweils hintereinander angeordnet sind, wobei der
Behälter
in Bezug auf den Halter so bewegt werden kann, daß jede Öffnung der
Bearbeitungskammer bewegt und um den Umfang des Substrats herum
angeordnet werden kann, das von dem Halter gehaltert wird, ein Boden
jeder Bearbeitungskammer mit einer Leitung zum Ausstoßen von Bearbeitungsflüssigkeit
aus der Bearbeitungskammer verbunden ist, und zumindest eine der Leitungen mit
der Düse
verbunden ist, so daß die
ausgestoßene Bearbeitungsflüssigkeit
einer Oberfläche
des Substrats über
die Leitung als Recyclingschaltung zugeführt wird.
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Wenn
beispielsweise die mehreren Bearbeitungsflüssigkeiten verwendet werden,
wird so vorgegangen, daß die Öffnungen
der unterschiedlichen Behälter
zum Umfang des Substrats bewegt werden, das von der Haltevorrichtung
getragen wird, entsprechend den Arten der Bearbeitungsflüssigkeiten,
die verwendet werden. Nach Bearbeitung des Substrats werden die
Bearbeitungsflüssigkeiten
jeweils durch die Ablaßleitungen
abgezogen. Zumindest eine Bearbeitungsflüssigkeit unter den so abgezogenen Flüssigkeiten
wird erneut der Oberfläche
des Substrats über
die Recyclingleitung zugeführt.
Gemäß eines
Beispiels werden, selbst wenn die jeweiligen Bearbeitungsflüssigkeiten
in den jeweiligen Ablaßleitungen
bleiben, die Behälter
entsprechend den Arten der Bearbeitungsflüssigkeiten geändert, und
besteht keine Möglichkeit
dafür,
daß Bearbeitungsflüssigkeiten unterschiedlicher
Arten in derselben Leitung vorhanden sind. Insbesondere für die Bearbeitungsflüssigkeit,
die wiederverwendet werden soll, besteht keine Möglichkeit einer Verdünnung, also
daß die
wiederverwendete Bearbeitungsflüssigkeit
mit einer unterschiedlichen Bearbeitungsflüssigkeit gemischt wird. Daher
kann die Bearbeitungsflüssigkeit
mit ihrer hohen Bearbeitungsfähigkeit
wiederverwendet werden.
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Da
die Ablaßleitungen
darüber
hinaus entsprechend den Bearbeitungsflüssigkeiten festgelegt sind,
ist es trotz der Tatsache, daß die
unterschiedlichen Bearbeitungsflüssigkeiten
unterschiedliche optimale Temperaturen zur Erhöhung der Bearbeitungsfähigkeit
aufweisen, möglich,
zu verhindern, daß eine
Ablaßleitung
durch den Abzug der unterschiedlichen Bearbeitungsflüssigkeit
gekühlt
wird. Insbesondere tritt für
die Bearbeitungsflüssigkeit,
die wiederverwendet werden soll, keine Temperaturänderung
auf, beispielsweise ein Absinken der Temperatur infolge der Abkühlung der
Ablaßleitung,
wodurch die Bearbeitungsflüssigkeit
kontinuierlich mit ihrer hohen Bearbeitungsfähigkeit wiederverwendet werden
kann.
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Weiterhin
werden die Behälter
in Bezug aufeinander entsprechend den Arten der Bearbeitungsflüssigkeiten
bewegt, und werden die Innenatmosphären der Behälter jeweils abgelassen. Daher
ist es möglich,
die Auslaßverdrängung des
Gerätes
so zu ändern,
daß sie
den jeweiligen Vorgängen
entspricht.
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Das
zweite Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß die Öffnung der Bearbeitungskammer
zu einer Position um den Umfang des Substrats herum bewegt wird,
das durch den Halter gehaltert wird, so daß die Bearbeitungskammer entsprechend
der Bearbeitungsflüssigkeit,
die dem Substrat zugeführt wird,
an einem Ort um das Substrat herum angeordnet ist.
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Das
dritte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß die mehreren Bearbeitungskammern
zumindest eine erste Bearbeitungskammer und eine zweite Bearbeitungskammer
umfassen, der Behälter ein
erstes Teil aufweist, welches die erste Bearbeitungskammer ausbildet,
sowie einen Teil der zweiten Bearbeitungskammer, und ein zweites
Teil aufweist, das zusammenwirkend mit dem ersten Teil die zweite Bearbeitungskammer
ausbildet, wobei die erste Bearbeitungskammer mit einer ersten Öffnung versehen
ist, die zweite Bearbeitungskammer mit einer zweiten Öffnung versehen
ist, und der Behälter
in Bezug auf den Halter bewegbar ist, so daß die erste Öffnung und
die zweite Öffnung
zu dem Substrat bewegt werden können,
das durch den Halter gehaltert wird.
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Das
vierte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß der Halter drehbar ist, während das
Substrat darauf angebracht ist.
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Das
fünfte
Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß das Substrat horizontal auf
dem Halter angebracht ist und sich um eine vertikale Achse drehen kann;
daß das
erste Teil unter dem zweiten Teil angeordnet ist; und daß die erste Öffnung unter
der zweiten Öffnung
angeordnet ist.
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Das
sechste Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin
ein Hauptspeichertank vorgesehen ist, der in der Recyclingleitung
angeordnet ist, um die Bearbeitungsflüssigkeit zu speichern. Das siebte
Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin eine Umwälzleitung
zum Umwälzen
der Bearbeitungsflüssigkeit
in dem Hauptspeichertank vorgesehen ist, wobei die Umwälzleitung
mit einer Temperatursteuerung versehen ist, welche die Temperatur
der Bearbeitungsflüssigkeit
einstellt.
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Bei
der voranstehend geschilderten Anordnung ist der Hauptspeichertank
an zumindest eine Leitung unter den jeweiligen Leitungen angeschlossen,
um zumindest eine Bearbeitungsflüssigkeit
unter den abgezogenen Bearbeitungsflüssigkeiten in dem Hauptspeichertank
aufzubewahren. Die Bearbeitungsflüssigkeit, die in dem Hauptspeichertank aufbewahrt
wird, wird der Zufuhrvorrichtung über die Zufuhrleitung zugeführt, womit
das Recyceln der Bearbeitungsflüssigkeit
beendet ist. Weiterhin wird, während die
Flüssigkeit
in dem Hauptspeichertank aufbewahrt wird, die Flüssigkeit durch die Umwälzleitung
umgewälzt.
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Das
achte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß die Recyclingleitung mit
einer Temperatursteuerung versehen ist, welche die Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit
einstellt. Das neunte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin
ein Unterspeichertank vorgesehen ist, der auf einer stromaufwärtigen Seite
der Recyclingleitung angeordnet ist, wobei die Temperatursteuerung
in einer Verbindungsleitung angeordnet ist, welche den Unterspeichertank
mit dem Hauptspeichertank verbindet.
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Bei
der voranstehend geschilderten Anordnung wird die Bearbeitungsflüssigkeit
für das
Recyceln zeitweilig in dem Unterspeichertank aufbewahrt, und wird
danach die Flüssigkeit
dem Hauptspeichertank über
die Verbindungsleitung zugeführt.
Vor und nach dem Beliefern der Bearbeitungsflüssigkeit an den Hauptspeichertank
wird die Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit zweimal eingestellt,
nämlich durch
die Verbindungsleitungen und die Umwälzleitung. Infolge der Bereitstellung
von zwei Gelegenheiten zum Steuern der Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit
kann diese daher stabil und sicher auf die festgelegte Temperatur
eingestellt werden.
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Das
zehnte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin ein Unterspeichertank
vorgesehen ist, der auf einer stromaufwärtigen Seite der Recyclingleitung
angeordnet ist, wobei die Temperatursteuerung in dem Unterspeichertank
vorgesehen ist. Da die Temperatursteuerung die Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit
steuert, während
diese in dem Unterspeichertank aufbewahrt wird, kann die Bearbeitungsflüssigkeit
innerhalb eines Bereiches auf die Temperatur eingestellt werden.
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Das
elfte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin ein Dreiwegeventil
vorgesehen ist, das zwischen dem Hauptspeichertank und der Düse und einer
Rückführleitung
zum Zurückführen der
Bearbeitungsflüssigkeit
von dem Dreiwegeventil zu dem Hauptspeichertank vorgesehen ist.
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Das
zwölfte
Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß der Hauptspeichertank an
einen Hilfstank zum Zuführen
der Bearbeitungsflüssigkeit
in den Haupttank angeschlossen ist.
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Das
dreizehnte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß das erste
Teil und das zweite Teil in Bezug aufeinander nach oben und unten
bewegt werden können.
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Das
vierzehnten Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß das erste
Teil und das zweite Teil heruntergehen, die erste Öffnung geschlossen
wird, die zweite Öffnung
unter dem Niveau des Halters angeordnet wird, und dann das Substrat
zum Halter hin und von diesem weg transportiert wird.
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Das
fünfzehnte
Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß die jeweilige Atmosphäre in dem
ersten und zweiten Behälter
ebenfalls durch die Ablaßleitungen
ausgestoßen
wird, die an die Bodenoberflächen
des ersten und zweiten Behälters
angeschlossen sind.
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Das
sechzehnte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin
in den Ablaßleitungen
jeweils eine Gas-Flüssigkeits-Trenneinheit
vorgesehen ist.
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Das
siebzehnte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß das erste
Teil und das zweite Teil heruntergehen, die zweite Öffnung neben
dem Substrat angeordnet wird, das durch den Halter gehaltert wird, während die
erste Öffnung
geschlossen wird, und die Atmosphäre in der zweiten Bearbeitungskammer über die
Leitung ausgestoßen
wird, die an die Bodenoberfläche
der zweiten Bearbeitungskammer angeschlossen ist.
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Das
achtzehnte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß dann,
wenn eine Chemikalienflüssigkeit
unter mehreren Flüssigkeiten
für die
Bearbeitung ausgewählt
wird, die erste Öffnung
neben dem durch den Halter gehalterten Substrat angeordnet wird,
die zweite Öffnung
oberhalb der ersten Öffnung
angeordnet wird, und die Atmosphäre
der Chemikalienflüssigkeit
durch die erste und zweite Bearbeitungskammer und über die
beiden Leitungen ausgestoßen wird,
die an die Oberfläche
der ersten bzw. zweiten Bearbeitungskammer angeschlossen sind.
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Das
neunzehnte Merkmal eines Beispiels besteht darin, daß weiterhin
Auslaßleitungen
vorgesehen sind, die jeweils an die Bodenoberflächen der ersten Bearbeitungskammer
bzw. der zweiten Bearbeitungskammer angeschlossen sind, um die jeweilige
Atmosphäre
in der ersten bzw. zweiten Bearbeitungskammer auszustoßen. Bei
der voranstehend geschilderten Anordnung wird der Ausstoß der Bearbeitungsflüssigkeit
und das Ablassen der Innenatmosphäre in unterschiedlichen Leitungen
durchgeführt. Insbesondere
bei der Bearbeitungsflüssigkeit
für das Recyceln
wird die Bearbeitungsflüssigkeit
nicht durch Abgas beeinflußt,
da die Bearbeitungsflüssigkeit
und die Innenatmosphäre
nicht in derselben Leitung vorhanden sind.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Perspektivansicht einer Reinigungseinrichtung, die mit einem
Waferreinigungsgerät
gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung versehen ist;
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2 ist
eine Schnittansicht des Waferreinigungsgeräts gemäß der ersten Ausführungsform;
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3 ist
eine Schnittansicht des Waferreinigungsgeräts gemäß der ersten Ausführungsform, wobei
dessen Waferlade- oder Entladezustand gezeigt ist;
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4 ist
eine Schnittansicht des Waferreinigungsgeräts gemäß der ersten Ausführungsform, wobei
dessen Spül-
und Schleudertrocknungszustand gezeigt ist;
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5 ist
eine schematische Darstellung des Waferreinigungsgeräts gemäß der ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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6 ist
eine schematische Darstellung des Waferreinigungsgeräts gemäß der zweiten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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7 ist
eine schematische Darstellung des Waferreinigungsgeräts gemäß der dritten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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8 ist
eine schematische Darstellung des Waferreinigungsgeräts gemäß der vierten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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9 ist
eine erläuternde
Darstellung eines vereinigten Tanks, bei welchem ein Hauptspeichertank
und ein Unterspeichertank vereinigt sind; und
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10 ist
eine schematische Darstellung eines Waferreinigungsgeräts im allgemeinen.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORM
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Bevorzugte
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden unter Bezugnahme auf die 1 bis 9 beschrieben.
Hierbei werden die Ausführungsformen
anhand einer Reinigungseinrichtung erläutert, in welche Wafer in Form
von Trägern eingeladen
werden, um die Wafer zu waschen und zu trocknen, und aus welcher
die so gereinigten Wafer in Form von Trägern entladen werden.
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1 ist
eine Perspektivansicht einer Reinigungseinrichtung 1 zur
Erläuterung
der Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung. Diese Reinigungseinrichtung 1 weist
einen Montageabschnitt 2 auf, der dazu dient, dort Träger C anzubringen,
in denen Wafer W aufgenommen sind, einen Reinigungsabschnitt 3 zur
Durchführung
eines festgelegten Reinigungsvorgangs für die Wafer W, und einen Transportarm 4 zum
Liefern der Wafer W zwischen dem Montageabschnitt 2 und
dem Reinigungsabschnitt 3.
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Der
Montageabschnitt 2 ist mit einer Anordnung versehen, bei
welcher mehrere Träger
angebracht werden können,
beispielsweise zwei Träger
C, die jeweils fünfundzwanzig
Platten von Wafern W aufnehmen. In dem Reinigungsabschnitt neben
dem Montageabschnitt 2 sind eine Waferreinigungsgerätegruppe 7,
bei welcher zwei Waferreinigungsgeräte 5, 6 aufeinandergestapelt
angeordnet sind, eine Waferreinigungsgerätegruppe 10, bei welcher
zwei Waferreinigungsgeräte 8, 9 übereinandergestapelt
vorgesehen sind, und eine Waferreinigungsgerätegruppe 13 vorgesehen,
bei welcher zwei Waferreinigungsgeräte 11, 12 aufeinandergestapelt
angeordnet sind.
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In
den Waferreinigungsgeräten 5 und 6 wird eine
SC1-Reinigung (Ammoniakbearbeitung), die eine Chemikalienflüssigkeit
verwendet, die als APM bezeichnet wird (eine Mischung aus NH4OH/H2O2/H2O), deren Hauptbestandteil Ammoniak ist,
zum Entfernen von Verunreinigungen eingesetzt, beispielsweise organischer
Verunreinigungen und Teilchen, die an den Waferoberflächen anhaften. Weiterhin
sind die Waferreinigungsgeräte 5, 6 so ausgebildet,
daß sie
eine Spülung
(Spülbearbeitung) durchführen, unter
Verwendung einer Bearbeitungsflüssigkeit,
beispielsweise reinen Wassers (DIW), und auch die nachfolgende Trocknung.
In den Waferreinigungsgeräten 8 und 9 wird
zum Entfernen von Metallionen eine SC2-Reinigung (Salzsäurebearbeitung)
durchgeführt,
die eine Reinigungsflüssigkeit verwendet,
die als HPM bezeichnet wird (eine Mischung aus HCl/H2O2/H2O), deren Hauptbestandteil Salzsäure ist.
Weiterhin sind die Waferreinigungsgeräte 8, 9 so
ausgebildet, daß sie
das Spülen
(die Spülbearbeitung)
unter Verwendung des reinen Wassers durchführen, und auch die nachfolgende
Trocknung. In den Waferreinigungsgeräten 11 und 12 wird eine
HF-Reinigung (Flußsäurereinigung)
durchgeführt,
die eine Reinigungsflüssigkeit
verwendet, die als DHF bezeichnet wird (eine Mischung aus HF/H2O), deren Hauptbestandteil Flußsäure ist,
um Oxidfilme und dergleichen zu entfernen, die sich auf den Waferoberflächen gebildet
haben. Weiterhin sind die Waferreinigungsgeräte 11, 12 so
ausgebildet, daß sie
das Spülen
(die Spülbearbeitung)
unter Verwendung des reinen Wassers durchführen, und auch die nachfolgende
Trocknung. In dem Reinigungsabschnitt 3 wird der angegebene
Reinigungsvorgang so durchgeführt,
daß die
Wafer W nacheinander in die Waferreinigungsgerätegruppen 7, 10 und 13 eingeladen
werden. Wenn beispielsweise bei den Wafern W die SC1-Reinigung durchgeführt wird,
erfolgt das Spülen
und das Trocknen durch das Waferreinigungsgerät 5 auf der oberen
Stufe, und dann werden diese Wafer W hintereinander in die Waferreinigungsgeräte 8, 9 auf
derselben Stufe transportiert. Daher ist der Reinigungsabschnitt 3 so
ausgebildet, daß er
den angegebenen Reinigungsvorgang gleichzeitig mit den Waferreinigungsgeräten 5, 8, 11 in
der oberen Stufe und den Waferreinigungsgeräten 6, 9, 12 in
der unteren Stufe durchführt.
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Es
wird darauf hingewiesen, daß je
nach Wahl die voranstehend geschilderte Anordnung und Kombination
der Waferreinigungsgerätegruppen
und der Waferreinigungsgeräte
entsprechend der Art der Reinigung abgeändert werden kann, die für die Wafer W
erforderlich ist. Beispielsweise kann eine bestimmte Waferreinigungsgerätegruppe
weggelassen werden. Alternativ kann im Gegensatz hierzu eine zusätzliche
Waferreinigungsgerätegruppe
in den Abschnitt eingebaut werden. Darüber hinaus ist es ebenfalls
möglich,
die Anzahl an Waferreinigungsgeräten
in der Waferreinigungsgerätegruppe
zu erhöhen
oder zu verringern.
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Der
Transportarm 4 ist mit einer Basis 20 versehen,
der auf einem Fließband 21 bewegt
werden kann, das entlang der Linie des Montageabschnitts 2 und
des Reinigungsabschnitts 3 vorgesehen ist, in einer Richtung
(X), die parallel zur Richtung der Linie der Waferreinigungsgerätegruppen 7, 10, 13 verläuft. Eine
Armeinheit 22 ist an der Basis 20 angebracht. Diese
Armeinheit 22 kann sich in einer Richtung (Y) senkrecht
zur X-Richtung in der Horizontalebene bewegen, und sich in Richtung
(Z) vertikal zur X-Richtung bewegen. Darüber hinaus kann sich die Armeinheit 22 in
Umfangsrichtung (θ)
um die Z-Richtung als Drehzentrum drehen. In dem Transportarm 4 werden die
Wafer W vor dem angegebenen Reinigungsvorgang einzeln von dem Träger C abgenommen,
der auf dem Montageabschnitt 2 angebracht ist, durch einen
Zwischenarm 23b und einen unteren Arm 23c. Weiterhin
werden durch einen oberen Arm 23a die Wafer W nach dem
angegebenen Reinigungsvorgang in dem Reinigungsabschnitt 3 einzeln
in den Träger
C eingesetzt. Auf diese Weise ist die Reinigungseinrichtung 1 so
ausgebildet, daß sie
die Wafer W mit Hilfe des gemeinsamen Transportarms 4 in
die jeweiligen Waferreinigungsgeräte 5, 6, 8, 9, 11, 12 einsetzt
bzw. hieraus herausnimmt.
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Da
die Waferreinigungsgeräte 5, 6, 8, 9, 11, 12 den
gleichen Aufbau aufweisen, beschreiben wir nunmehr als Beispiel
das Waferreinigungsgerät 5. Wie
in 2 gezeigt ist, sind in einem Gehäuse 5a des
Waferreinigungsgerätes 5 ein
kreisringförmiger Behälter 30 im
Zentrum des Gehäuses 5a vorgesehen,
eine Trägervorrichtung,
anders ausgedrückt
ein Halter, beispielsweise eine Schleuderspannvorrichtung 31,
die in dem Behälter 30 aufgenommen
ist, um den Wafer W in Drehung zu haltern, ein Podest 33, welches
einen Motor 32 zum Drehen der Schleuderspannvorrichtung 31 gegen
die Innenatmosphäre des
Behälters 30 schützt, und
auch in den Behälter 30 durch
eine Öffnung
(nicht dargestellt) vorspringt, die in einer Bodenoberfläche 30a des
Behälters 30 angeordnet
ist, und eine Zufuhrdüse 34 zum
Zuführen
von APM und reinem Wasser zur Oberfläche des Wafers W, der durch
die Schleuderspannvorrichtung 31 gehaltert wird. Es wird
darauf hingewiesen, daß der
Motor 32 eine Drehwelle 35 aufweist, die mit der unteren
Oberfläche
der Schleuderspannvorrichtung 31 verbunden ist. Diese Drehwelle 33 geht
durch die obere Oberfläche
des Podestes 33 hindurch. Auf der Wand des Gehäuses ist
eine Schließtür (nicht
gezeigt) vorgesehen, die sich nach oben und unten bewegt, so daß sie sich öffnet bzw.
schließt,
wenn die Wafer W in das Waferreinigungsgerät 5 eingebracht bzw.
aus diesem entnommen werden. Es wird darauf hingewiesen, daß die Schleuderspannvorrichtung 31 so
ausgebildet ist, daß sie
die Wafer W in ihrer horizontalen Ausrichtung über ein Halteteil 31a befördern kann,
das aus einer Zentrifugenspannvorrichtung oder dergleichen besteht.
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Der
Behälter 30 umgibt
den Umfang der Wafer W und verhindert darüber hinaus, daß APM, reines
Wasser, usw., die der Oberfläche
des Wafers W zugeführt
werden, zum Umfang des Wafers W hin verteilt werden. Der Behälter 30 weist
beispielsweise einen oberen Becher 36 (obere Platte) als
ein erstes Teil und einen unteren Becher 37 (Behälterkörper) als ein
zweites Teil auf. Der untere Becher 37 weist eine kreisringförmige Wand 40 auf,
die auf der Bodenoberfläche 30a aufsteht,
sowie eine Rektifizierwand 41, die an der Oberseite der
kreisringförmigen
Wand 40 angebracht ist. Die Rektifizierwand 41 neigt
sich allmählich
im Verlauf nach oben, und ist mit einem horizontalen, oberen Ende 41a versehen.
Infolge der Bereitstellung der kreisringförmigen Wand 40 und
der Rektifizierwand 41 ist das Innere des Behälters 30 in mehrere
(zwei) Kammern unterteilt, nämlich
eine innere Bearbeitungskammer 42 und eine äußere Bearbeitungskammer 43.
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Auf
diese Weise werden in mehreren Stufen eine Öffnung 44 der inneren
Bearbeitungskammer 42, die sich in der Nähe des Wafers
W bewegt, und eine Öffnung 45 der äußeren Bearbeitungskammer 43 ausgebildet,
die sich in der Nähe
des Wafers W bewegt. Der obere Becher 36 dient auch als
obere Platte, welche einen oberen Rand der obersten Öffnung 45 bildet.
Der obere Becher 36 ist auf seiner Außenoberfläche mit einer Stütze 151 versehen,
mit welcher eine Kolbenstange 155 eines Zylinders 153 verbunden
ist. Durch die Betätigung
des Zylinders 153 ist es daher möglich, den oberen Becher 36 nach oben
und unten zu bewegen. Andererseits ist eine andere Stütze 46 an
einer Außenumfangsoberfläche 37a des
unteren Bechers 37 angebracht, und auch mit einer Kolbenstange 48 eines
Zylinders 47 verbunden. Auf diese Weise kann der untere
Becher 37 infolge des Betriebs des Zylinders 47 nach
oben und unten bewegt werden. Bewegt sich der untere Becher 37 nach
oben und unten, so gleitet eine Innenumfangsoberfläche 37b des
unteren Bechers 37 auf der Außenumfangsoberfläche 33a des
Podestes 33.
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Das
Waferreinigungsgerät 5 ist
so ausgebildet, daß es
die SC1-Reinigung in der inneren Bearbeitungskammer 42 durchführt, und
das Spülen
in der äußeren Bearbeitungskammer 43.
In beiden Fällen,
also bei der SC1-Reinigung und dem Spülen, wird normalerweise ein
Drehreinigungsverfahren eingesetzt, bei welchem die Schleuderspannvorrichtung 31 gedreht
wird, um infolge der Zentrifugalkraft die Reinigungsflüssigkeit
auf der gesamten Oberfläche des
Wafers W zu verteilen, so daß eine
gleichmäßige Reinigung
erzielt wird. Eine erste Ablaßleitung 50 ist mit
der Bodenoberfläche 30a der
inneren Bearbeitungskammer 42 verbunden, um sowohl das
Ablassen von APM als auch das Ausstoßen der Innenatmosphäre durchzuführen. Entsprechend
ist eine zweite Ablaßleitung 51 mit
der Bodenoberfläche 30a verbunden,
welche die äußere Bearbeitungskammer 43 bildet,
um sowohl das Ablassen des reinen Wassers als auch das Ausstoßen der
Innenatmosphäre durchzuführen.
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Im
Falle des Ladens/Entladens des Wafers W in Bezug auf den Behälter 30 wird,
wie in 3 gezeigt ist, der Zylinder 153 betätigt, um
den oberen Becher 36 abzusenken, und wird auch der Zylinder 47 betätigt, um
den unteren Becher 37 zu betätigen, so daß ein "Bereitschafts"-Zustand erreicht
wird, in welchem sowohl der obere als auch der untere Becher 36 bzw. 37 unterhalb
der Schleuderspannvorrichtung 31 wartet. Dann nähert sich
der obere Becher 36 an die Rektifizierplatte 41 an,
so daß die
Breite der Öffnung 45 verringert
wird, oder diese geschlossen wird. Weiterhin wird das obere Ende 41 der
Rektifizierplatte 41 in engen Kontakt mit dem Sockel 33 gebracht, so
daß die Öffnung 44 verschlossen
wird, um die Innenatmosphäre
der inneren Bearbeitungskammer 42 abzudichten. Daher wird
die Schleuderspannvorrichtung 31 außen freigelegt, damit die Arme 23b, 23c des
Transportarms 4, die in das Gerät durch die Schließtür eingedrungen
sind, den Wafer W vor dem Reinigen an die Schleuderspannvorrichtung 31 liefern
können,
und damit der Arm 23a des Transportarms 4 den
gereinigten Wafer W von der Schleuderspannvorrichtung 31 empfangen
kann.
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Wenn
nur der obere Becher 36 aus dem in 3 gezeigten
Zustand ansteigt, vergrößert sich die
Breite der Öffnung 45 bis
zu deren geöffnetem Zustand,
wie dies in 4 gezeigt ist. Dann wird der Umfang
des Wafers W von der Öffnung 45 der äußeren Bearbeitungskammer 43 umgeben.
Wenn das Spülen
in einem derartigen Zustand durchgeführt wird, dann gelangt das
von dem Wafer W verteilte, reine Wasser in die äußere Bearbeitungskammer 43 durch
die Öffnung 45,
und fließt
dann in die zweite Ablaßleitung 51.
Von dem in 4 gezeigten Zustand aus wird,
wenn die Betätigung
des Zylinders 47 den unteren Becher 37 zum Ansteigen
veranlaßt,
und weiterhin der obere Becher 36 parallel zum unteren Becher 37 angehoben
wird, der Umfang des Wafers W von der Öffnung 44 der inneren
Bearbeitungskammer 42 umgeben, wie dies in 2 gezeigt
ist Wenn die SC1-Reinigung unter derartigen Bedingungen durchgeführt wird,
dann tritt APM, das von dem Wafer W verteilt wird, in die innere
Bearbeitungskammer 42 durch die Öffnung 44 ein, und
fließt
dann in die erste Ablaßleitung 50.
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Wie
in 5 gezeigt ist, ist die erste Ablaßleitung 50 an
einen ersten Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 52 angeschlossen.
Eine Sammelleitung 53 und eine erste Auslaßleitung 54 sind
vorgesehen, die von dem Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 52 ausgehen.
Die Sammelleitung 53 ist mit einem Unterspeichertank 55 verbunden,
während
die erste Auslaßleitung 54 mit
einem Auslaßgebläse 56 verbunden
ist. Das auf diese Weise abgelassene APM fließt daher in die Sammelleitung 53 und
den Unterspeichertank 55 über den Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 52,
wogegen die wie geschildert ausgestoßene Innenatmosphäre der inneren
Bearbeitungskammer 42 in die erste Auslaßleitung 54 über den
Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 52 fließt, und
schließlich
die Atmosphäre
nach außen
ausgestoßen
wird.
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Der
Unterspeichertank 55 ist mit einem Hauptspeichertank 57 über eine
Verbindungsleitung 58 verbunden. Die Verbindungsleitung 58 ist
mit einer Pumpe 59 und einer Heizvorrichtung 60 als
Temperatursteuermechanismus versehen. Der Betrieb der Pumpe 59 erlaubt
es, daß APM
von der Unterseite des Unterspeichertanks 55 in die Verbindungsleitung 58 eintritt.
Die Temperatur des APM wird auf eine vorbestimmte Temperatur, beispielsweise
85 °C, durch die
Heizvorrichtung 60 eingestellt, und danach wird APM in
den Hauptspeichertank 57 geliefert.
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In
diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, daß dann, wenn die Flußrate des
APM in die Heizvorrichtung 60 gesteuert wird, der Unterspeichertank
die Aufgabe hat, die Temperatur des in den Hauptspeichertank 57 gelieferten
APM konstant zu halten. Wäre
nämlich
kein Unterspeichertank 55 vorhanden, und würde sich
der Ausstoß des
APM ändern,
das durch die Sammelleitung 53 ausgestoßen werden soll, so wäre es unmöglich, diese Änderung abzufangen.
Da die Heizvorrichtung 60, die eine begrenzte Kapazität hat, nicht
die Änderung
abfangen kann, würde
dann, wenn die Flußrate
des APM erheblich zunimmt, die Temperatur der Flüssigkeit absinken. Um ein Absenken
der Temperatur der Flüssigkeit
zu verhindern ist es erforderlich, eine Heizvorrichtung 60 mit
großen
Abmessungen vorzusehen. Allerdings würde dies zu einer Erhöhung der
Herstellungskosten führen.
Da im Gegensatz hierzu bei der vorliegenden Ausführungsform der Unterspeichertank 57 auf
der stromaufwärtigen
Seite der Heizvorrichtung 60 vorgesehen ist, ist es möglich, die
Flußrate
des APM zu steuern, und kann daher selbst die Heizvorrichtung mit
begrenzter Kapazität
die Temperatur des APM ausreichend einstellen.
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Vorzugsweise
weist der Hauptspeichertank 57 eine derartige Kapazität auf, daß er zum
Beispiel APM in einer Menge von 30 bis 40 Litern speichert. Zusätzlich ist
der Hauptspeichertank 57 mit einer Umwälzleitung 61 zum Umwälzen von
APM versehen. Bei der Umwälzleitung 61 ist
ihr Einlaß mit
der Bodenoberfläche
des Hauptspeichertanks 58 verbunden, und ihr Auslaß mit der
oberen Oberfläche des
Hauptspeichertanks 57. Eine Pumpe 62, eine Heizvorrichtung 63 und
ein Filter 64 sind in der Umwälzleitung 61 angeordnet.
In diesem Fall ist es vorzuziehen, daß die Pumpe 62 eine
Ausstoßmenge von
beispielsweise 20 Liter pro Minute aufweist. Der Betrieb der Pumpe 62 gestattet
es, daß APM
in der Umwälzleitung 61 durch
die Unterseite des Hauptspeichertanks 57 fließt. In der
Leitung 61 arbeitet die Heizvorrichtung 63 so,
daß APM
mit 85 °C
erzielt wird, und wird, nach Reinigung durch das Filter 64, APM
zum Hauptspeichertank 57 zurückbefördert.
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Weiterhin
ist an den Hauptspeichertank 57 eine APM-Zufuhrleitung 70 (als
Zufuhrvorrichtung) angeschlossen, welche die Zufuhrdüse 34 mit
APM versorgt. Diese APM-Zufuhrleitung 70 ist mit einer Pumpe 71 und
einem Dreiwegeventil 72 ausgerüstet. An das Dreiwegeventil 72 ist
eine Rückführleitung 74 angeschlossen,
um APM in der APM-Zufuhrleitung 70 zum Hauptspeichertank 57 zurückzuschicken. Durch
Betätigung
des Dreiwegeventils 72 ist es möglich, die Zufuhr von APM zur
Zufuhrdüse 34 und
das Zurückbringen
von APM zum Hauptspeichertank 57 je nach Wahl und auf die
geeignete Art und Weise durchzuführen.
Auf diese Weise kann durch Betätigung
des Dreiwegeventils 72 und den Betrieb der Pumpe 71 APM
in dem Hauptspeichertank 57 der Zufuhrdüse 34 zugeführt werden,
wodurch das Recycling von APM erzielt wird.
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Bei
dem Drehreinigungsverfahren sinkt die Temperatur von APM innerhalb
eines Zeitraums von der Zufuhr von APM zum Wafer W bis zur Ausbreitung
in der inneren Bearbeitungskammer 42 infolge der Zentrifugalkraft
ab. Bei Recyclen von APM ist es erforderlich, eine geeignete Temperatursteuerung von
APM durchzuführen,
so daß die
Temperatur von APM bei dessen Zufuhr auf eine festgelegte Temperatur
eingestellt wird. Wenn die Flüssigkeit
in dem Hauptspeichertank 57 auf einer vorbestimmten Temperatur
gehalten wird, durch Betrieb der Heizvorrichtung 63 in
der Umwälzleitung 61,
so kann die dem Wafer W zugeführte
Flüssigkeit
auf der voranstehend angegebenen, festgelegten Temperatur gehalten werden.
Weiterhin ist es durch Betrieb der Heizvorrichtung 60 in
der Verbindungsleitung 58, um so die Temperatur von APM,
das in den Hauptspeichertank 57 fließt, auf einer vorbestimmten
Temperatur zu halten, möglich,
zu verhindern, daß die
Flüssigkeitstemperatur
in dem Hauptspeichertank 57 absinkt. Daher ist es möglich, noch
sicherer den Wafer W mit APM zu versorgen, das auf die festgelegte
Temperatur eingestellt ist.
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Während des
Betriebs des Gerätes
sind die Pumpen 62, 71 ständig in Betrieb. Zum Beispiel
führt der
Betrieb der Pumpe 62 dazu, daß APM durch die Wärmeleitung 61 umgewälzt wird,
so daß der
Hauptspeichertank 57 immer mit APM temperaturgesteuert gefüllt werden
kann. Weiterhin führt
der Betrieb der Pumpe 71 dazu, daß APM in dem Hauptspeichertank 57 durch
die APM-Zufuhrleitung 70 (Teil) zwischen dem Tank 57 und
dem Dreiwegeventil 72 sowie der Rückführleitung 77 umgewälzt wird.
Ein derartiger Betrieb der Pumpe 71 ist in dem "Bereitschafts"-Zeitraum wirksam,
von dem Entnehmen des ersten Wafers W aus dem Behälter 30 bis
zum Laden des zweiten Wafers W. Infolge des Umlaufs von APM unter Temperatursteuerung
in diesem Bereitschaftszeitraum ist keine Möglichkeit dafür vorhanden,
daß die APM-Zufuhrleitung 70 (Teil)
zwischen dem Tank 57 und dem Dreiwegeventil 72 und
auch der Rückführleitung 74 abgekühlt wird.
Weiterhin wird in dem Bereitschaftszeitraum die Rückführleitung 74 mit
APM versorgt, das in der APM-Zufuhrleitung 70 (Teil) zwischen
dem Dreiwegeventil 72 und der Zufuhrdüse 74 zurückgeblieben
ist, wodurch diese APM-Zufuhrleitung 70 geleert wird. Wird
sie nicht geleert, dann wird das restliche APM infolge der Wärmeabstrahlung usw.
abgekühlt.
Wäre dies
der Fall, so würden
sich bei Bearbeitung des zweiten Wafers W das zurückgebliebene
und abgekühlte
APM sowie das APM auf der festgelegten Temperatur miteinander in
der APM-Zufuhrleitung 70 (Teil) zwischen dem Dreiwegeventil 72 und
der Zufuhrdüse 34 mischen,
so daß APM
mit verringerter Temperatur dem Wafer W zugeführt wird. Bei der Ausführungsform
ist es infolge der Tatsache, daß APM
in der APM-Zufuhrleitung 70 (Teil) zwischen dem Dreiwegeventil 72 und
der Zufuhrdüse 34 umgewälzt wird
während
des Bereitschaftszeitraums, um diese APM-Zufuhrleitung 70 (Teil)
zu leeren, möglich,
den Wafer W mit APM nach der Einstellung der festgelegten Temperatur
zu versorgen. Wenn das Rohr zwischen dem Dreiwegeventil 72 und
der Zufuhrdüse 34 eine
geringere Länge aufweist,
so ist dies vorzuziehen, um einen Einfluß durch das so abgekühlte Rohr
auf APM so weit wie möglich
zu verringern.
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Weiterhin
ist an die Zufuhrdüse 34 eine
Reinwasserzufuhrleitung 76 angeschlossen, die das reine Wasser
von einer Reinwasserquelle 75 an den Wafer liefert. Die
Reinwasserzufuhrleitung 76 ist mit einem Ventil 77 versehen.
Es wird darauf hingewiesen, daß bei
Durchführung
des Spülvorgangs
es wünschenswert
ist, den Wafer mit reinem Wasser von normaler Temperatur zu versorgen.
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Der
Hauptspeichertank 57 ist mit einem Nachfüllmechanismus 80 versehen,
der Ammoniaklösung
(NH4OH), Wasserstoffperoxid und reines Wasser
je nach Erfordernis geeignet nachfüllt. Der Nachfüllmechanismus 80 weist
ein Ammoniaknachfüllsystem 83 auf,
das beispielsweise mit einem Tank 81 zum Aufbewahren der
Ammoniaklösung
als Nachfülltank
zum Nachfüllen
des Hauptspeichertanks mit Bearbeitungsflüssigkeit versehen ist, die
so eingestellt ist, daß sie
eine festgelegte Dichte aufweist, sowie mit einer Pumpe 82;
ein Wasserstoffperoxid-Wasser-Nachfüllsystem 86, das mit
einem Tank 84 zum Speichern des Wasserstoffperoxidwassers versehen
ist, das auf eine festgelegte Dichte eingestellt ist, sowie mit
einer Pumpe 85; ein Reinwasserzufuhrsystem 89,
das mit einem Tank 87 zum Aufbewahren des reinen Wassers
versehen ist, und mit einem Ventil 88; und eine Steuerung 90 zum
Steuern der Arbeitsverfügbarkeit
der Pumpen 82, 85 des Öffnungsgrades des Ventils 88.
Auf diese Weise ist es, da die Steuerung 90 die jeweilige
Arbeitsverfügbarkeit
der Pumpen 82, 85 und den Öffnungsgrad des Ventils 88 auf
geeignete Weise steuert, möglich,
den Hauptspeichertank 57 mit Ammoniaklösung (NH4OH),
Wasserstoffperoxidwasser und reinem Wasser in festgelegten Mengen
nachzufüllen,
um hierdurch APM mit einem festgelegten Verhältnis der Bestandteile zu erzeugen.
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Andererseits
ist die zweite Ablaßleitung 51 an
einen zweiten Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 90 angeschlossen.
Eine Ablaßleitung 91 und eine
zweite Auslaßleitung 92 sind
so vorgesehen, daß sie
von dem zweiten Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 90 abzweigen.
Daher fließt
das so abgelassene, reine Wasser in die Ablaßleitung 91 über den
zweiten Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 90,
und wird nach außen
ausgestoßen,
während
die wie geschildert ausgestoßene
Innenatmosphäre
der äußeren Bearbeitungskammer 43 in
die zweite Auslaßleitung 92 über den
zweiten Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 90 fließt, und
schließlich die
Atmosphäre
nach außen
ausgestoßen
wird.
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Das
Auslaßgebläse 56 kann
den Auslaßvorgang
in beiden Fällen
durchführen,
nämlich
bei der inneren Bearbeitungskammer 42 und der äußeren Bearbeitungskammer 43.
Wiederum weist das Auslaßgebläse 56 im
Betrieb eine feste Ausgangsleistung auf. Da die Öffnung 44 in dem SC1-Reinigungszustand
von 2 geöffnet
ist, dient das Auslaßgebläse 56 dazu,
hauptsächlich
die Chemikalienatmosphäre
(APM) der SC1-Reinigung durch die innere Bearbeitungskammer 42 auszulassen,
ohne diese Atmosphäre
nach außen
abzugeben. Weiterhin kann, wenn die Öffnung 45 ebenfalls
geöffnet
wird, die Chemikalienatmosphäre
durch die äußere Bearbeitungskammer 43 ausgelassen
werden. Da die Auslaßzone durch
den Einsatz der inneren Bearbeitungskammer 42 und der äußeren Bearbeitungskammer 43 maximiert
wird, kann daher die Verdrängung
des Behälters 30 erhöht werden.
Andererseits wird in dem Spül-
und Schleudertrocknungszustand von 4 so vorgegangen,
daß die
Innenatmosphäre
der inneren Bearbeitungskammer 42 abgedichtet wird, so
daß die
Innenatmosphäre
durch die äußere Bearbeitungskammer 43 als
die Auslaßzone
ausgelassen wird. Selbst wenn das Schließen der inneren Bearbeitungskammer
dazu führt,
daß die
Chemikalienatmosphäre
in der inneren Bearbeitungskammer 42 verbleibt, ist das
Gerät so
ausgebildet, daß es
eine Verteilung der Chemikalienatmosphäre verhindern kann, wenn der
Wafer gespült
und eingeladen/ausgeladen wird. Darüber hinaus ist in dem Waferlade/Entladezustand
von 3 die Auslaßzone
minimiert oder im wesentlichen nicht vorhanden. Auf diese Weise
kann die Auslaßzone
des Auslaßgebläses 56 frei
zwischen der inneren Bearbeitungskammer 42 und der äußeren Bearbeitungskammer 43 eingerichtet
werden.
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Weiterhin
werden auf diese Weise die SC1-Reinigung und das Spülen in unterschiedlichen Kammern
durchgeführt,
und sind einzeln die erste Ablaßleitung 50 zum
Ablassen von APM und eine zweite Ablaßleitung 51 zum Ablassen
des reinen Wassers vorhanden, das in dem Spülvorgang verwendet wird. Daher
ist das Gerät
so ausgebildet, daß das
in dem Spülvorgang
verwendete reine Wasser nicht in die APM-Leitung hineingelangt.
Daher ist keine Möglichkeit
dafür vorhanden,
daß sich
APM und das reine Wasser mischen, und ebenfalls keine Möglichkeit,
daß das
Leitungssystem für
APM durch das reine Wasser abgekühlt
wird, das in dem Spülvorgang
verwendet wird.
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Im übrigen sind
die Waferreinigungsgeräte 6, 8, 9, 11, 12 entsprechend
aufgebaut, und wird daher auf ihre Beschreibung im einzelnen verzichtet:
Es wird darauf hingewiesen, daß infolge
der Verwendung derselben Chemikalienflüssigkeit (APM) die Waferreinigungsgeräte 5, 6 zum
Teil ein gemeinsames Leitungssystem für dieselbe Chemikalienflüssigkeit
aufweisen können
(beispielsweise den Hauptspeichertank 57, den unterschiedlich 55,
die Verbindungsleitung 58, die Umwälzleitung 61, usw.),
um Raum zu sparen. Entsprechend können die Waferreinigungsgeräte 8, 9 und
die Waferreinigungsgeräte 11, 12 ein
gemeinsames Leitungssystem für
die jeweiligen Chemikalienflüssigkeiten
(HPM, DHF) aufweisen, jedenfalls teilweise.
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Nunmehr
erläutern
wir den Betrieb und die Auswirkungen der wie geschilderte aufgebauten
Waferreinigungsgeräte 5, 6, 8, 9, 11 und 12 auf
der Grundlage des Reinigungsvorgangs des Wafers W in der Reinigungseinrichtung
von 1. Zuerst bringt ein nicht gezeigter Transportroboter
den Träger
C, in welchem beispielsweise fünfundzwanzig
Platten aus Wafern W aufgenommen sind, auf dem Montageabschnitt 2 an.
Dann werden die Wafer W einzeln aus dem Träger C entnommen, der auf dem
Montageabschnitt 2 angebracht ist, durch den Transportarm 4. Der
Transportarm 4 transportiert die Wafer W nacheinander zu
den Waferreinigungsgeräten 5, 8, 11 und den
Waferreinigungsgeräten 6, 9, 12.
Auf diese Weise wird der festgelegte Reinigungsvorgang durchgeführt, um
Verunreinigungen, beispielsweise organische Verunreinigungen und
Teilchen zu entfernen, die an den Oberflächen der Wafer W anhaften.
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Nunmehr
beschreiben wir beispielhaft den Vorgang, der von dem Waferreinigungsgerät 5 durchgeführt wird.
Zuerst werden Ammoniaklösung (NH4OH), Wasserstoffperoxidflüssigkeit
(H2O2), und das
reine Wasser (DIW) in festgelegten Mengen vorher von dem Nachfüllmechanismus 80 in
den Hauptspeichertank 57 nachgefüllt, um hierdurch APM herzustellen.
Während
des Bereitschaftszeitraums arbeitet die Pumpe 62 so, daß APM in
dem Hauptspeichertank 57 in der Umwälzleitung 61 umgewälzt werden
kann, und die Temperatur des APM durch die Heizvorrichtung 63 geregelt
wird, und APM durch das Filter 64 gereinigt wird. Weiterhin
wälzt die
Pumpe 71 APM durch die APM-Zufuhrleitung 70 (Teil)
zwischen dem Hauptspeichertank 57 und dem Dreiwegeventil 72 und
der Rückführleitung 74 um.
Es wird darauf hingewiesen, daß APM
auf eine festgelegte Temperatur eingestellt wird, beispielsweise
85 °C, damit
es ein hohes Reinigungsvermögen
aufweist. Andererseits werden, wie in 3 gezeigt
ist, der obere Becher 36 und der untere Becher 37 in
die Bereitschaftsposition durch die Schleuderspannvorrichtung 31 abgesenkt,
so daß die
Schleuderspannvorrichtung 31 freigelegt wird, um den Wafer
W zu tragen.
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Wie
in 2 gezeigt ist, werden, nachdem sich die Zufuhrdüse 34 zur
Oberseite des Wafers W bewegt hat, der obere Becher 36 und
der untere Becher 37 angehoben, um die Öffnung 44 der inneren Bearbeitungskammer 42 zum
Umfang des Wafers W zu bewegen. Der Motor 32 arbeitet so,
daß er
die Schleuderspannvorrichtung 31 dreht, während die Zufuhrdüse 34 APM
ausstößt, das
von dem Hauptspeichertank 57 geliefert wird, und zwar einige
Sekunden (beispielsweise 90 Sekunden lang) bis zu einigen Minuten.
Beispielsweise bewegt sich bei der SC1-Reinigung die Zufuhrdüse 34 oberhalb
des Wafers von dessen Zentrum zum Umfang hin und her, während sie
APM ausspritzt, um so die Oberfläche des
Wafers W gleichmäßig zu reinigen.
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Die
Innenatmosphäre
der inneren Bearbeitungskammer 42 wird zur Außenseite
durch die erste Auslaßleitung 50 ausgestoßen. Dann
kann, da die Öffnungen 44, 45 geöffnet sind,
um die Öffnungsfläche des
Bechers für
den Auslaßvorgang
durch die innere und äußere Bearbeitungskammer 44, 45 zu
vergrößern, die
Auslaßverdrängung erhöht werden,
um zu verhindern, daß die
Chemikalienatmosphäre (APM)
nach außen
hin verteilt wird. Weiterhin wird APM, das in die innere Bearbeitungskammer 42 gespritzt
ist, durch die erste Ablaßleitung 50 abgelassen.
Nach Durchgang durch den ersten Gas-Flüssigkeits-Trennmechanismus 52, die Sammelleitung 53, den
Unterspeichertank 55 und die Verbindungsleitung 58 in
dieser Reihenfolge wird APM schließlich in dem Hauptspeichertank 57 gesammelt.
Im Verlauf dieses Sammelvorgangs durch die Verbindungsleitung 58 wird
zuerst die Temperatursteuerung und die Reinigung durchgeführt. Daraufhin
wird APM in dem Hauptspeichertank 57 in der Umwälzleitung 61 umgewälzt, um
die zweite Temperatursteuerung und Reinigung durchzuführen, um
APM auf eine Temperatur von 85 °C
einzustellen und zu reinigen. Das so gesteuerte und gereinigte APM
wird erneut der Zufuhrdüse 34 über die
APM-Zufuhrleitung 70 zugeführt. Auf diese Weise wird APM
in dem Hauptspeichertank 57 mehrfach eingesetzt, um den
Verbrauch von APM zu verringern.
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Dann
werden der obere Becher 36 und der untere Becher 37 abgesenkt,
damit sich die Öffnung 45 der äußeren Bearbeitungskammer 43 zum
Umfang des Wafers W bewegen kann, der durch die Schleuderspannvorrichtung 31 gehaltert
wird, wie dies in 4 gezeigt ist. Während der
Wafer W gedreht wird, wird reines Wasser mit normaler Temperatur
dem Wafer W über
die Zufuhrdüse 34 zugeführt, wodurch
die Spülung
durchgeführt
wird, um APM von dem Wafer W abzuwaschen. Die Innenatmosphäre der äußeren Bearbeitungskammer 43 wird
nach außen
durch die zweite Auslaßleitung 51 ausgelassen. Weiterhin
wird nach Ablassen des reinen Wassers, das sich in der äußeren Bearbeitungskammer 43 verteilt
hat, durch die zweite Auslaßleitung 51,
die Betriebsleistung des Motors 32 erhöht, damit sich die Schleuderspannvorrichtung 31 mit
höherer
Geschwindigkeit dreht als bei der SC1-Reinigung und beim Spülen, wodurch
die Schleudertrocknung durchgeführt
wird, um Wassertropfen von dem Wafer W zu entfernen. Bei dem Spülen und
dem Schleudertrocknen ist, da die innere Bearbeitungskammer 42 abgedichtet
ist, wie dies in 4 gezeigt ist, nur eine geringe
Möglichkeit
dafür vorhanden,
daß die
Chemikalienatmosphäre
(APM) nach außen
abgegeben wird. Infolge des Einsatzes nur der äußeren Bearbeitungskammer 43 als
Auslaßzone
ist es möglich,
die Auslaßverdrängung in
dem Behälter 30 zu
verringern, im Vergleich zur SC1-Reinigung.
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Danach
senkt sich der obere Becher 36 ab, um die Schleuderspannvorrichtung 31 und
den Wafer W freizulegen, damit der Wafer W nach der Reinigung entladen
werden kann, wie dies in 3 gezeigt ist. Zu diesem Zeitpunkt
ist es möglich,
da die innere Bearbeitungskammer 42 geschlossen ist, und die Öffnung 45 verkleinert
oder ausgeschaltet ist, um die Auslaßzone zu minimieren oder entfallen
zu lassen, die Auslaßverdrängung in
dem Behälter 30 zu verringern.
Da der obere Becher 36 abgesenkt wird, um hierdurch die
Höhe des
Behälters 30 sowohl
beim Laden als auch Entladen des Wafers zu verringern, ist es darüber hinaus
möglich,
Raum einzusparen, der dazu dient, daß der Behälter 30 unterhalb
der Schleuderspannvorrichtung 30 warten kann. Daher ist
es möglich,
das Laden und Entladen des Wafers auf geeignete Weise durchzuführen.
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Im
Falle der Verwendung von APM als Reinigungsflüssigkeit in dem Waferreinigungsgerät 5 wird SC1
mit APM durchgeführt,
nachdem die Öffnung 44 der
inneren Bearbeitungskammer 42 zum Umfang des Wafers W bewegt
wurde, der von der Schleuderspannvorrichtung 31 gehaltert
wird, und wird danach der Ablaß von
APM durch die erste Ablaßleitung 50 durchgeführt. Im
Falle der Verwendung von reinem Wasser als Reinigungsflüssigkeit
in dem Waferreinigungsgerät 5 wird
das Spülen
durchgeführt,
nachdem die Öffnung 45 der äußeren Bearbeitungskammer 43 zum
Umfang des Wafers W bewegt wurde, der durch die Schleuderspannvorrichtung 31 gehaltert
wird, und wird danach das Ablassen des reinen Wassers durch die
zweite Ablaßleitung 51 durchgeführt. Beim
Ablassen von APM und reinem Wasser wird insbesondere APM erneut
von der Zufuhrdüse 34 dem
Wafer W beim Recyceln von APM zugeführt. Es wird darauf hingewiesen,
daß selbst
dann, wenn APM in der ersten Ablaßleitung 50 übrigbleibt,
und reines Wasser in der zweiten Ablaßleitung 51, keine Möglichkeit
dafür vorhanden
ist, daß Reinigungsflüssigkeiten
unterschiedlicher Arten in derselben Leitung vorhanden sind, durch Ändern der
Bearbeitungskammer entsprechend der jeweils benutzten Reinigungsflüssigkeit.
Insbesondere kann, da das APM zum Recyceln nicht durch das reine
Wasser verdünnt
wird, ein hohes Reinigungsvermögen
von APM nachfolgend aufrechterhalten werden, so daß es erneut
bei der SC1-Reinigung verwendet werden kann. Durch geeignete Einstellung
der Steuerung 90 in dem Nachfüllmechanismus 80 ist
es ebenfalls möglich,
Schwierigkeiten in Bezug auf das Nachfüllen von Ammoniaklösung und
Wasserstoffperoxidflüssigkeit
beim APM zu vermeiden, als eine Gegenmaßnahme für verdünntes APM.
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APM
und reines Wasser weisen unterschiedliche optimale Temperaturen
zur Erhöhung
des Reinigungsvermögens
auf. Da die Ablaßleitungen
für die jeweiligen
Reinigungsflüssigkeiten
festgelegt sind, ist es dennoch möglich, zu verhindern, daß die erste
Ablaßleitung 50 durch
das reine Wasser in dem Spülvorgang
abgekühlt
wird. Daher tritt bei APM keine Temperaturänderung auf, wodurch beispielsweise
seine Temperatur durch die wie voranstehend geschildert abgekühlte, erste
Ablaßleitung 50 absinken
würde. Selbst
wenn APM, das bei der SC1-Reinigung eingesetzt wurde, in der inneren
Bearbeitungskammer 42 auf eine Temperatur abgekühlt wird,
die niedriger als die festgelegte Temperatur ist, wird die Temperatur des
APM in der Verbindungsleitung 56 vor dem Hauptspeichertank 56 gesteuert,
und danach erneut in der Umwälzleitung 60 gesteuert.
Auf diese Weise ist es möglich,
infolge der Bereitstellung von zwei Möglichkeiten zum Steuern der
Temperatur von APM, nämlich
durch die Verbindungsleitung 58 und die Umwälzleitung 61,
APM auf die festgelegte Temperatur stabil und sicher einzustellen.
Ohne Temperaturänderung
ist es daher möglich,
die Oberfläche des
Wafers mit APM zu versorgen, das ständig auf der festgelegten Temperatur
gehalten wird, so daß die
geeignete SC1-Reinigung durchgeführt
werden kann.
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Weiterhin
kann entsprechend den Arten der Reinigungsflüssigkeiten die Bearbeitungskammer, die
den Umfang des Wafers W umgibt, zwischen der inneren Bearbeitungskammer 42 und
der äußeren Bearbeitungskammer 43 umgeschaltet
werden, und kann auch die Auslaßzone
zwischen diesen Kammern 42, 43 frei eingerichtet
werden. Daher kann die Auslaßverdrängung in
dem Behälter 30 zu
den Zeiten der SC1-Reinigung, des Spülens, und des Ladens und Entladens
der Wafer W geändert
werden. Daher ist es nicht erforderlich, bei dem Behälter eine
große Auslaßverdrängung zur
Verfügung
zu stellen, wird das Auslaßgebläse 56 nicht übermäßig belastet,
und ist es darüber
hinaus möglich,
die Gesamtverdrängung
des Behälters 30 im
Vergleich zu jener des herkömmlichen
Behälters
zu verringern.
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Auf
diese Weise kann bei dem Waferreinigungsgerät 5 gemäß der ersten
Ausführungsform
die erneute Verwendung von APM in vorteilhafter Weise durchgeführt werden,
und kann die Auslaßverdrängung verringert
werden. Während
der APM-Verbrauch eingeschränkt
wird, ist es daher möglich,
Bearbeitungsfehler und Unregelmäßigkeiten
der Bearbeitung auszuschalten, die sich bei einer Verdünnung der
Bearbeitungsflüssigkeit
und einer Änderung der
Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit
ergeben, so daß die
geeignete SC1-Reinigung fertiggestellt werden kann. Darüber hinaus
weist das Substratbearbeitungsgerät gemäß der vorliegenden Erfindung bessere
Eigenschaften in Bezug auf die laufenden Betriebskosten auf.
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Es
wird darauf hingewiesen, daß die
Ausgangsleistung des Auslaßgebläses 56 in
geeigneter Weise geändert
werden kann, in Reaktion auf den jeweiligen Zustand der Bearbeitung,
obwohl bei den voranstehenden Ausführungsformen die Ausgangsleistung
während
der Bearbeitung konstant gehalten wurde. Beispielsweise wird bei
der SC1-Reinigung von 1 die Ausgangsleistung des Auslaßgebläses 56 erhöht, so daß die Chemikalienatmosphäre bei der
SC1-Reinigung sich nicht nach außen ausbreitet. Andererseits
wird, wie dies voranstehend geschildert wurde, die Innenatmosphäre der inneren
Bearbeitungskammer 42 eng geschlossen, sowohl beim Spülen als
auch beim Schleudertrocknen von 4. Da keine
Möglichkeit
dafür besteht,
daß sich
die Chemikalienatmosphäre
nach außen
hin ausbreitet, ist es nicht erforderlich, ein übermäßiges Ablassen der inneren
Bearbeitungskammer 42 sicherzustellen, verglichen mit dem
Ablassen bei der SC1-Reinigung. Daher muß das Auslaßgebläse 56 nur eine minimale Ausgangsleistung
aufweisen, so daß sich
die Innenatmosphäre
nicht verteilt, entsprechend dem vorhandenen Zustand der äußeren Bearbeitungskammer 43 und
der inneren Bearbeitungskammer 42. Weiterhin kann in dem
Zustand des Ladens/Entladens eines Wafers gemäß 3 die Ausgangsleistung
des Auslaßgebläses 56 noch
weiter minimiert werden.
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Auf
diese Weise ist es möglich,
durch Änderung
der Ausgangsleistung des Auslaßgebläses 56 bei
der SC1-Reinigung, dem Spülen,
und dem Laden/Entladen der Wafer, die Belastung des Auslaßgebläses 56 und
die Gesamtverdrängung
des Behälters 30 zu
verringern.
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Als
nächstes
wird unter Bezugnahme auf 6 ein Waferreinigungsgerät 100 gemäß der zweiten
Ausführungsform
der Erfindung beschrieben. Dieses Waferreinigungsgerät 100 ist
mit einer Leitung zum Ablassen der Reinigungsflüssigkeit und einer anderen
Leitung zum Auslassen der Innenatmosphäre versehen, anstelle des ersten
und zweiten Gas-Flüssigkeits-Mechanismus 52, 90.
Der Aufbau des Waferreinigungsgerätes 100 gleicht jenem
des vorher geschilderten Waferreinigungsgerätes 5, mit Ausnahme
der einzelnen Bereitstellung der Leitung zum Ablassen der Reinigungsflüssigkeit
und der Leitung zum Auslassen der Innenatmosphäre. Elemente, die in Bezug
auf ihre Arbeitsweise und ihren Aufbau gleich jenen des Waferreinigungsgerätes 5 sind, werden
daher jeweils mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und auf
ihre überlappende
Beschreibung wird bei der nachfolgenden Beschreibung verzichtet.
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Im
einzelnen sind eine erste Ablaßleitung 101 zum
Ablassen von APM und eine erste Auslaßleitung 102 zum Auslassen
der Innenatmosphäre
zusammen an die Bodenoberfläche
der inneren Bearbeitungskammer 42 angeschlossen. Die erste
Ablaßleitung 101 ist
direkt mit dem Unterspeichertank 55 verbunden, während die
erste Auslaßleitung 102 mit dem
Auslaßgebläse 56 verbunden
ist. Entsprechend sind eine zweite Ablaßleitung 103 zum Ablassen
des reinen Wassers und eine zweite Auslaßleitung 104 zum Auslassen
der Innenatmosphäre
zusammen an die Bodenoberfläche
der äußeren Bearbeitungskammer 43 angeschlossen.
Die zweite Auslaßleitung 104 vereinigt
sich mit der ersten Auslaßleitung 103.
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Bei
dem Waferreinigungsgerät 100 kann
das Ablassen von APM und das Auslassen der Innenatmosphäre in der
inneren Bearbeitungskammer 42 durch unterschiedliche Leitungen
durchgeführt
werden, und entsprechend kann das Ablassen des reinen Wassers und
das Auslassen der Innenatmosphäre
in der äußeren Bearbeitungskammer 43 durch unterschiedliche Leitungen
durchgeführt
werden. Insbesondere bei APM, da dieses nicht zusammen mit der Innenatmosphäre der inneren
Bearbeitungskammer 42 in derselben Leitung vorhanden ist,
haben verschiedene Einflüsse
infolge des Auslaßgases keinen
Einfluß auf
APM. Es ist beispielsweise möglich
zu verhindern, daß APM
durch einen Luftstrom abgekühlt
wird, der beim Auslassen hervorgerufen wird, so daß APM stabil
und sicher auf eine festgelegte Temperatur eingestellt werden kann,
im Vergleich mit dem Fall des Waferreinigungsgerätes 5.
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Als
nächstes
wird unter Bezugnahme auf 7 ein Waferreinigungsgerät 110 gemäß der dritten
Ausführungsform
beschrieben. Dieses Waferreinigungsgerät 110 ist mit einer
Leitung zum Ablassen der Reinigungsflüssigkeit und einer unabhängigen Leitung
zum Auslassen der Innenatmosphäre
versehen. Darüber
hinaus ist der voranstehend geschilderte Unterspeichertank 55 weggelassen.
Im einzelnen ist, wie in 7 gezeigt ist, der Hauptspeichertank 57 direkt
an die erste Ablaßleitung 101 angeschlossen. Die
erste Ablaßleitung 101 ist
mit der Pumpe 59 und der Heizvorrichtung versehen. Bei
dem voranstehend geschilderten Aufbau ist es möglich, das Gerät zu verkleinern,
da der Unterspeichertank 55 weggelassen ist.
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Nunmehr
wird unter Bezugnahme auf 8 ein Waferreinigungsgerät 120 gemäß der vierten Ausführungsform
beschrieben. Dieses Waferreinigungsgerät 120 ist mit einer
Leitung zum Ablassen der Reinigungsflüssigkeit und einer unabhängigen Leitung
zum Auslassen der Innenatmosphäre
versehen. Weiterhin ist eine Kartuschenheizvorrichtung 121 an
dem Unterspeichertank 55 angebracht.
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Die
erste Ablaßleitung 101 ist
mit dem Unterspeichertank 55 verbunden, und mit der Pumpe 59 ausgerüstet. Der
Unterspeichertank 55 ist oberhalb des Hauptspeichertanks 57 angeordnet.
Der Hauptspeichertank 57 steht mit dem Unterspeichertank 55 über eine Überlaufleitung 122 in
Verbindung. Hierbei wird der Niveauunterschied zwischen dem Hauptspeichertank 57 und
dem Unterspeichertank 55 ausgenutzt, und das natürliche Gefälle, und
daher ist das Waferreinigungsgerät 120 so
ausgebildet, daß das APM,
das aus dem Unterspeichertank 55 überläuft, in den Hauptspeichertank 57 durch
die Überlaufleitung 122 befördert wird.
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Bei
dem Waferreinigungsgerät 120 führt die Erwärmung durch
die Kartuschenheizvorrichtung 121 dazu, daß APM in
dem Unterspeichertank 55 bezüglich der Temperatur gesteuert
wird. Da die Temperatur des APM eingestellt wird, während es
in dem unterschiedlich 55 aufbewahrt wird, ist es möglich, die
Temperatursteuerung von APM über
einen Bereich zu bewirken, im Vergleich zu jenem Fall, bei welchem
die Temperatursteuerung von APM dadurch erfolgt, daß es durch
die Heizvorrichtung geleitet wird. Da APM in fester Menge, bei welchem
in gewissem Ausmaß eine
Temperatursteuerung durchgeführt
wird, in den Hauptspeichertank 57 über die Überlaufleitung 122 fließt, ist
es darüber
hinaus möglich,
APM stabiler und sicherer auf eine festgelegte Temperatur einzustellen.
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Es
wird darauf hingewiesen, daß wie
in 9 gezeigt ein vereinigter Tank 130 vorgesehen werden
kann, der eine Kombination des Unterspeichertanks 55 mit
dem Hauptspeichertank 57 darstellt. Bei dem vereinigten
Tank 130 ist der Unterspeichertank 55 neben dem
Hauptspeichertank 57 angeordnet und von diesem durch eine
Wand 131 getrennt, und läßt ein Überlaufrohr 132 APM
in dem Unterspeichertank 55 in den Hauptspeichertank 57 fließen. Bei diesem
Aufbau kann die Verkleinerung des Gerätes noch weiter vorgetrieben
werden.
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Zwar
wurde die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf das Waferreinigungsgerät zum einzelnen
Reinigen der Wafer beschrieben, also ein Waferreinigungsgerät für ein Stück, jedoch
ist die vorliegende Erfindung auch bei einem sogenannten Waferreinigungsgerät des "Postentyps" einsetzbar, welches
mehrere Wafer dadurch reinigt, daß sie in ein Reinigungsbad
eingetaucht werden, das mit der Reinigungsflüssigkeit gefüllt ist.
Darüber
hinaus ist die vorliegende Erfindung auch bei einem Gerät zur Durchführung anderer
Prozesse einsetzbar, über
den Reinigungsprozeß hinaus,
beispielsweise bei einem Gerät
zum Aufbringen einer vorbestimmten Bearbeitungsflüssigkeit
auf den Wafer. Zwar wurde die vorliegende Erfindung anhand von Beispielen
beschrieben, bei denen die Wafer W als die Substrate verwendet werden,
jedoch ist die Erfindung nicht nur auf derartige Beispiele beschränkt, und
beispielsweise dazu einsetzbar, etwa LCD-Substrate zu bearbeiten, Glassubstrate,
CD-Substrate, Photomasken, bedruckte Substrate, Keramiksubstrate,
usw.
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Zwar
wird die Bearbeitungsflüssigkeit
bei den voranstehend geschilderten Ausführungsformen durch die Heizvorrichtung
auf eine hohe Temperatur eingestellt, jedoch ist die vorliegende
Erfindung auch in einem Fall einsetzbar, in welchem die Bearbeitungsflüssigkeit
durch eine Kühleinheit
auf eine niedrige Temperatur oder dergleichen eingestellt wird.
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Wie
voranstehend geschildert ist es gemäß der Erfindung möglich, zu
erreichen, daß in
geeigneter Weise die Bearbeitungsflüssigkeit wiederverwendet wird,
wodurch die Auslaßverdrängung verringert werden
kann. Während
der Verbrauch an Bearbeitungsflüssigkeit
eingeschränkt
wird, ist es daher möglich,
Bearbeitungsfehler und Unregelmäßigkeiten
der Bearbeitung auszuschalten, die sich bei einer Verdünnung der
Bearbeitungsflüssigkeit
und einer Temperaturänderung
der Bearbeitungsflüssigkeit
ergeben, so daß eine
geeignete Bearbeitung durchgeführt
werden kann. Darüber
hinaus ist das Substratbearbeitungsgerät gemäß der vorliegenden Erfindung
in Bezug auf die laufenden Betriebskosten besser.
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Gemäß der Erfindung
ist es möglich,
zweimal eine Gelegenheit zum Steuern der Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit
zur Verfügung
zu stellen, wodurch die Bearbeitungsflüssigkeit stabil und sicher auf
eine gewünschte
Temperatur eingestellt werden kann. Insbesondere ist es möglich, die
Temperatur der Bearbeitungsflüssigkeit
in einem Bereich zu steuern. Weiterhin kann das Laden und Entladen
des Substrats in vorteilhafter Weise durchgeführt werden. Weiterhin ist es
möglich,
die Innenatmosphäre
auszulassen, und ebenfalls möglich,
verschiedene Einflüsse,
die beim Auslassen der Innenatmosphäre auftreten, auf die abgelassene
Bearbeitungsflüssigkeit auszuschalten.