KR100452921B1 - 약액 공급 장치 - Google Patents

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배정용
안두근
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서 희석, 혼합하여 생성한 약액을 그 약액을 사용하는 처리 장치에 지속적으로 공급하는 약액 공급 장치에 관한 것으로, 본 발명의 약액 공급 장치는 둘 이상의 약액이 각각의 공급조로부터 공급되어 혼합이 이루어지는 제1탱크; 상기 제1탱크의 약액을 균일하게 혼합하기 위해 상기 제1탱크의 약액을 순환시키기 위한 순환수단; 상기 제1탱크로부터 상기 혼합액을 공급받아 저장하는 제2탱크; 상기 제2탱크로부터 각각의 처리 장치로 혼합액을 공급할 수 있도록 상기 혼합액을 분배하기 위한 분배기 및; 상기 제2탱크로부터 상기 분배기로 혼합액을 공급하기 위한 공급 라인상에 설치되는 그리고 상기 혼합액을 가열시키기 위한 가열부를 포함한다.

Description

약액 공급 장치{CHEMICAL SUPPLY APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서 희석, 혼합하여 생성한 약액을 그 약액을 사용하는 처리 장치에 지속적으로 공급하는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
근래, 반도체 장치의 제조 공정에 있어서, 다양한 약액 공급 장치가 이용되고 있다. 약액 공급 장치는 원액을 순수로 희석하여 생성한 약액, 복수의 원액을 혼합하여 작성한 약액을 그 약액을 사용하여 반도체 웨이퍼를 처리하는 처리 장치에 공급한다.
약액 공급 장치는 약액을 공급하는 과정에서 약액의 조성 변화 또는 온도 변화 등으로 불안정해지면, 그 약액을 사용하는 처리 장치에서 처리되는 반도체 웨이퍼의 불량으로 이어지게 된다. 따라서, 반도체 제조 공정에서는 안정된 약액을 공급하는 약액 공급 장치가 요구되고 있다.
도 1은 일반적으로 매엽식 세정 및 에칭 장치에서 세정 및 식각액을 공급하기 위한 약액 공급 장치(10)를 개략적으로 보여주는 구성도이다.
도 1을 참고하면, 약액들은 유량계(12)를 통해서 계량된 비율만큼 혼합 탱크(14)로 유입된다. 히터(16)는 상기 혼합 탱크(14)로 유입된 약액을 가열시킨다. 순환 펌프(18)는 혼합 탱크(14)의 약액 혼합 및 온도 분포가 균일해지도록 혼합 탱크(14)의 약액을 순환시킨다. 상기 약액의 온도 및 농도가 설정치 이내로 들어오면, 상기 약액은 노즐( 또는 공정조)에 공급된다. 예컨대, 45L 용량의 약액 탱크는 챔버별 약액 사용량이 300mm 웨이퍼의 경우 0.5L-1L/min 이므로, 손실량까지 감안하면 40-80매의 웨이퍼를 처리할 수 있는 용량이다.
한편, 상기 혼합 탱크(14)의 약액 수위가 위험 수준 이하로 떨어지면, 약액 공급을 중단하고, 상기 혼합 탱크(14)에 약액을 재충전한다. 약액 재충전은 약액을 혼합 탱크(14)에 공급하는 단계, 공정에 필요한 약액 온도 및 약액 농도가 되도록 약액을 가열 및 혼합하는 단계를 거치게 되며, 대략 30-60분의 시간이 소요된다. 이처럼, 기존의 약액 공급 장치(10)는 약액 재충전(교환)에 소요되는 시간동안 약액을 처리장치로 공급하지 못한다는 단점을 갖고 있다. 또한 기존 약액 공급 장치는 1개의 시스템으로 소수개의 노즐만을 공급가능하며, 다수 챔버에 공급하기 위해서는 챔버 수 만큼의 공급 장치가 필요로 했다. 또한, 기존의 약액 공급 장치에서는 처리 장치에서 사용되고 난 약액을 회수하여 재사용하지 못한다는 단점이 있다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 약액을 재충전 시간 없이 약액을 연속적으로 처리 장치에 공급할 수 있는 새로운 형태의 약액 공급 장치를 제공하는데 있다. 또 다른 목적은 처리 장치에서 사용되고 난 약액을 재사용할 수 있는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다. 또 다른 목적은 약액을 신속하게 그리고 정확하게 가열시킬 수 있는 그리고 약액이 과열되더라도 손쉽게 온도를 떨어뜨릴 수 있는 새로운 형태의 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 일반적인 약액 공급 장치의 개략적인 구성도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 구성도;
도 3은 도 2에 도시된 혼합기를 설명하기 위한 개략적인 구성도;
도 4는 도 2에 도시된 가열부를 설명하기 위한 개략적인 구성도;
도 5는 압력유지 장치의 개략적인 구성도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
110 : 혼합 탱크
120 : 저장 탱크
130 : 가열부
140 : 약액 재사용 수단
상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명의 약액 공급 장치는 둘 이상의 약액이 각각의 공급조로부터 공급되어 혼합이 이루어지는 제1탱크; 상기 제1탱크의 약액을 균일하게 혼합하기 위해 상기 제1탱크의 약액을 순환시키기 위한 순환수단; 상기 제1탱크로부터 상기 혼합액을 공급받아 저장하는 제2탱크; 상기제2탱크로부터 각각의 처리 장치로 혼합액을 공급할 수 있도록 상기 혼합액을 분배하기 위한 분배기 및; 상기 제2탱크로부터 상기 분배기로 혼합액을 공급하기 위한 공급 라인상에 설치되는 그리고 상기 혼합액을 가열시키기 위한 가열부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 순환 수단은 순환라인과, 상기 순환 라인에 설치되는 제1펌프를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 약액 공급 장치는 상기 제1탱크의 약액 농도를 실시간으로 측정하는 농도계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 약액 공급 장치는 상기 약액들이 혼합된 상태로 상기 제1탱크로 공급될 수 있도록 상기 약액들을 혼합시켜주는 혼합기를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 혼합기는 측면에 적어도 하나 이상의 약액 유입구를 갖는 외통과; 상기 외통의 내부에 설치되는 그리고 상기 약액 유입구로부터 유입되는 약액들과 혼합되도록 상기 외통의 중앙으로 약액을 주입하는 약액 주입통을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 약액 공급 장치는 상기 분배기를 통해 상기 처리 장치로 공급되는 혼합액의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제2탱크와 상기 분배기 사이에 설치되는 압력유지장치를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 상기 약액 공급 장치는 상기 처리 장치에서 사용되어진 약액을 회수하여 상기 제1탱크로 공급하기 위하여, 상기 처리 장치에서 사용되어진 약액을 회수하여 저장하는 제3탱크와; 상기 제3탱크로부터 상기 제1탱크로 상기 회수된 약액을 공급하기 위한 제2펌프가 설치된 회수액 공급라인을 구비할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가열부는 상기 공급라인과 연결되는 유입구 및 유출구를 갖는 그리고 갈지자형(zigzag)으로 구불구불하게 형성된 열교환라인과; 상기 열교환라인을 따라 흘러가는 상기 혼합액을 가열시키기 위한 히터와; 상기 열교환라인의 여러 지점에 설치되어 상기 혼합액의 온도를 측정하는 온도센서들과; 상기 혼합액이 설정 온도이상으로 과열된 경우, 상기 혼합액의 온도를 낮추기 위한 수단을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 온도를 낮추기 위한 수단은 상기 공급라인으로부터 분기되고, 상기 열교환라인의 여러 지점으로 가열되지 않은 혼합액을 선택적으로 공급하기 위한 다수의 분기라인들을 포함한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 약액 공급 장치를 설명하기 위한 도면으로, 본 실시예에 따르면, 약액 공급 장치(100)는 혼합 탱크(110), 순환 수단, 저장 탱크(120), 분배기(170), 가열부(130), 약액 재사용 수단(140)을 갖는다.
상기 혼합 탱크(110)는 제1,2,3 약액 공급조(202,204,206)와 연결된 공급라인들(202a,204a,206a)로부터 약액들을 공급받는다. 상기 혼합 탱크(110)에 채워진 약액들은 순환라인(114)을 통해 순환되면서 혼합된다. 상기 순환 라인(114)에는 상기 약액의 강제 순환을 위한 순환 펌프(116)가 설치됨은 물론이다. 상기 혼합 탱크(110)에는 상기 약액들이 보다 효율적으로 혼합시키기 위한 혼합기(150)가 설치된다. 이 혼합기(150)는 측면에 공급라인들(202a,204a)과 연결되어 상기 제1약액 및 제2약액이 유입되는 약액 유입구(152a,152b)를 갖는 외통(152)과 이 외통(152)의 내부에 설치되는 약액 주입통(154)으로 이루어진다. 상기 약액 주입통(154)에는 상기 제3약액 공급조(206)와 연결된 공급라인(206a)이 연결된다. 상기 약액 주입통에는 상기 약액 유입구(152a,152b)로부터 유입되는 제1,2약액들과 혼합하기 위한 제3약액이 공급된다. 이처럼, 본 발명에서는 약액들을 상기 혼합기(150)를 통해 상기 혼합 탱크(110)에 공급함으로써, 보다 신속하게 약액들을 혼합시킬 수 있는 각별한 효과가 있다. 도3에는 도시하지 않았지만, 상기 혼합기(150)에는 회수액 공급라인(144)이 연결될 수 있음은 물론이다.
본 발명에서 상기 혼합 탱크(110)는 신규 약액뿐만 아니라, 처리장치에서 사용되어진 약액(회수 약액)들도 공급받는다. 상기 처리 장치(300)에서 사용되어진 약액(회수 약액이라 함)은 상기 약액 재사용 수단의 회수 탱크(142)에 저장되고, 회수 탱크(142)에 저장되어 있는 회수 약액은 회수액 공급라인(144)을 통해 상기 혼합 탱크(110)로 제공된다. 한편, 본 발명에서는 농도가 일정치 않은 회수 약액을 혼합 탱크(110)에 공급하여 혼합하기 때문에, 실시간으로 농도를 계측하는 농도계(160)를 설치하였다.
상기 혼합 탱크(110)에서 혼합되어진 혼합액은 처리 장치로 공급되지 않고 상기 저장 탱크(120)에 저장된다. 상기 저장 탱크(120)는 처리 장치로 공급하기 전에 혼합액을 일시적으로 저장하는 버퍼 공간이다. 상기 저장 탱크(120)에 저장되어 있는 혼합액은 분배기(170)를 통해 필요한 처리 장치로 제공된다. 이처럼, 본 발명의 약액 공급 장치(100)는 약액 재충전 시간에도 상관 없이 연속적으로 약액을 처리장치들로 공급할 수 있는 것이다.
여기서, 상기 혼합액은 상기 저장 탱크(120)에서 가열되어진 후 상기 분배기(170)로 공급되는 것이 아니라, 상기 저장 탱크(120)에서 상기 분배기(170)로 이동하는 과정에서 상기 가열부(130)에 의해 가열되는 것이다.
상기 가열부(130)는 상기 저장 탱크(120)와 분배기(170)를 연결하는 공급 라인(122)에 설치된다. 상기 가열부(130)는 열교환라인(132), 히터(134), 온도센서(136)들 그리고 온도 낮춤 수단으로 이루어진다.
상기 열교환라인(132)은 상기 공급 라인(122)과 연결되는 유입구(132a) 및 유출구(132b)를 갖는다. 상기 열교환라인(132)은 다수의 선회(turning)부(132c)를 갖는 다수의 갈지자형의 구불구불한 구조로 이루어진다. 상기 열교환라인(132)은 상기 히터(134)에 의해 둘러싸여져 있다. 여기서, 상기 히터(134)는 순간적으로 5-15L/min의 약액을 가열시킬 수 있는 용량(20-30KW)을 갖는 것이 바람직하다. 상기 혼합액은 상기 열교환라인(132)을 통과하면서 상기 히터(134)에 의해 가열된다. 상기 온도 센서(136)들은 상기 열교환라인(132)의 각 구간별로 온도를 체크하기 위하여 상기 열교환라인의 선회부(132c)들에 설치된다.
한편, 상기 온도 낮춤 수단은 상기 열교환라인(132)에서 설정 온도 이상으로 과열된 혼합액의 온도를 낮추기 위한 것으로, 상기 온도 낮춤 수단은 밸브가 설치된 분기라인(138)들을 구비한다. 상기 분기라인(138)들은 가열되지 않은 혼합액이 흐르는 상기 공급 라인(122)으로부터 분기되어 상기 열교환라인(132)의 선회부(132c)에 연결된다. 이처럼 상기 온도 낮춤 수단은 상기 분기 라인(138)을 통해 가열되지 않은 혼합액을 상기 열교환라인(132)의 과열 구간에 공급함으로써 과열된 혼합액의 온도를 낮출 수 있다. 상기 가열부(130)를 통과하는 혼합액은 분배기(170)로 이동하여 각각의 처리 장치들로 공급되며, 일부는 압력유지장치(180)를 통해 상기 저장 탱크(120)로 다시 되돌아간다.
상기 분배기(170)는 다수개의 처리 장치(노즐,조)에 약액을 공급할 수 있도록 구성되어 있으며, 각 처리 장치로 공급되는 압력이 항상 설정치를 유지하도록 조절된다. 이를 위해 상기 저장 탱크(120)와 상기 분배기(170) 사이에는 압력유지 장치(180)가 설치된다. 이 압력유지 장치는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 분배기(170)와 상기 저장탱크(120)을 연결하는 회수라인(181)과, 상기 분배기의 압력이 설정치로 유지되도록 상기 회수라인(181)에 설치되는 압력유지탱크(182)와, 다수개의 밸브 또는 압력 스위치 등이 설치된 압력 조절 라인(184)들로 구성되어 상기 분배기의 압력을 유지시킨다. 상기 압력조절라인(184)들의 일단은 상기 압력유지탱크(182)에 연결되고 타단은 압력유지탱크와 상기 저장탱크(120) 사이에 연결된다.
상기 혼합 탱크, 상기 저장 탱크 그리고 회수 탱크에는 레벨을 체크하기 위한 레벨 센서가 설치된다. 예컨대, 본 발명에서 각각의 밸브, 레벨 센서, 펌프 그리고 히터는 도면에 도시되지는 않았지만, 약액 제어기에 연결되어서 제어됨은 물론이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 6에 도시된 본 발명의 약액공급장치(100a)는 제1, 2혼합탱크(110a,110b), 순환라인(114)과 순환펌프(116)으로 구성된 순환수단, 분배기(170), 압력유지장치(180) 등을 갖는다. 상기 순환수단들과, 분배기 그리고 압력유지장치들에 대한 설명은 제1실시예에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다. 본 실시예에서는 약액을 번갈아서 사용할 수 있도록 상기 제1 및 제2혼합탱크(110a,110b)가 상기 분배기에 병렬로 연결된 구조적인 특징을 갖는다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 7a 및 7b에 도시된 본 발명의 약액공급장치(100b)는 도 1에 도시된 첫 번째 실시예와 동일한 구성과 기능을 갖는 혼합 탱크(110), 순환 수단, 저장 탱크(120), 분배기(170), 가열부(130), 약액 재사용 수단(140)을 갖으며, 이들에 대한 설명은 첫 번째 실시예에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다. 다만, 본 실시예에서는 히터(130)와 버퍼기능의 제2탱크(120)를 일체형으로 구성한 구조적인 특징을 갖는다. 이렇게 히터(130)와 버퍼기능의 제2탱크(120)를 일체형으로 구성함으로써, 점유공간을 줄일 수 있으며, 제1실시예에서 히터(130)와 제2탱크(120) 사이에 설치되었던 펌프를 생략할 수 있다. 본 실시예에서는, 혼합액을 제2탱크(120)에서 분배기(170)로 이동시키기 위하여, N2가압방식이 사용된다. 도면에서 도시된 바와 같이, N2가압방식을 위해, 상기 제2탱크(120)에는 N2가압라인(192)이 연결되고, 압력유지 장치(180)에는 N2배출라인(194)이 연결된다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 8에 도시된 본 발명의 약액공급장치는 도 1에 도시된 첫 번째 실시예와 동일한 구성과 기능을 갖는 혼합 탱크(110), 순환 수단, 저장 탱크(120), 분배기(170), 가열부(130), 약액 재사용 수단(140)을 갖으며, 이들에 대한 설명은 첫 번째 실시예에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다. 다만, 본 실시예에서는 분배기(170)로부터 각각의 처리장치(노즐 또는 bath)들로 혼합액을 공급하는 라인(196)상에 튜브 히터(198)가 설치된 구조적인 특징을 갖는다. 이러한 특징에 의하면, 분배기(170)에서 처리장치까지 도달하는 동안 혼합액의 온도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 약액 공급 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 약액을 재충전하는 시간과는 상관 없이 약액을 연속적으로 처리 장치에 공급할 수 있는 효과가 있다. 또한, 처리 장치에서 사용되고 난 약액을 재사용할 수 있다. 그리고 약액을 신속하게 그리고 정확하게 가열시킬 수 있다.

Claims (20)

  1. 약액을 사용하여 반도체 웨이퍼를 처리하는 처리 장치에 약액을 공급하기 위한 장치에 있어서:
    둘 이상의 약액이 각각의 공급조로부터 공급되어 혼합이 이루어지는 제1탱크;
    상기 제1탱크의 약액을 균일하게 혼합하기 위해 상기 제1탱크의 약액을 순환시키는 순환수단과;
    상기 제1탱크로부터 상기 혼합액을 공급받아 저장하는 제2탱크; 및
    상기 제2탱크로부터 각각의 처리 장치로 혼합액을 공급할 수 있도록 상기 혼합액을 분배하는 분배기를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 약액들이 혼합된 상태로 상기 제1탱크로 공급될 수 있도록 상기 약액들을 혼합시켜주는 혼합기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 혼합기는
    측면에 적어도 하나 이상의 약액 유입구를 갖는 외통과;
    상기 외통의 내부에 설치되는 그리고 상기 약액 유입구로부터 유입되는 약액들과 혼합되도록 상기 외통의 중앙으로 약액을 주입하는 약액 주입통을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  4. 제 1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 분배기를 통해 상기 처리 장치로 공급되는 혼합액의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제2탱크와 상기 분배기 사이에 설치되는 압력유지장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 압력유지장치는
    상기 분배기로부터 상기 제2탱크로 혼합액이 흐르는 회수라인;
    상기 회수라인상에 설치되는 압력유지탱크; 및
    일단은 상기 압력유지탱크에 연결되고, 타단은 상기 압력유지탱크와 상기 제2탱크 사이를 연결하는 상기 회수라인에 연결되는 그리고 밸브 또는 압력스위치가 설치된 복수의 압력조절라인을 포함하는 약액 공급 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 처리 장치에서 사용되어진 약액을 회수하여 저장하는 제3탱크와; 상기 제3탱크로부터 상기 제1탱크로 상기 회수된 약액을 공급하는 제2펌프가 설치된 회수액 공급라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2탱크로부터 상기 분배기로 혼합액을 공급하기 위한 공급 라인상에 설치되는 그리고 상기 혼합액을 가열시키는 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2탱크와 일체형으로 형성되고, 상기 제2탱크에 저장되어 있는 상기 혼합액을 가열하는 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 분배기로부터 각각의 처리장치로 혼합액을 공급하는 공급라인상에 설치되는 그리고 상기 혼합액을 가열하는 가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  10. 제 7 항 또는 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가열부는
    상기 공급라인과 연결되는 유입구 및 유출구를 갖는 그리고 갈지자형(zigzag)으로 구불구불하게 형성된 열교환라인과;
    상기 열교환라인을 따라 흘러가는 상기 혼합액을 가열시키는 히터와;
    상기 열교환라인의 여러 지점에 설치되어 상기 혼합액의 온도를 측정하는 온도센서들과;
    상기 혼합액이 설정 온도이상으로 과열된 경우, 상기 혼합액의 온도를 낮추는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 온도를 낮추는 수단은
    상기 공급라인으로부터 분기되고, 상기 열교환라인의 여러 지점으로 가열되지 않은 혼합액을 선택적으로 공급하는 다수의 분기라인들을 포함하여,
    상기 혼합액이 과열되면, 상기 분기라인을 통해 열교환라인으로 가열되지 않은 혼합액을 공급하여, 과열된 상기 혼합액의 온도를 낮추는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  12. 제 2 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 제1탱크의 약액 농도를 측정하는 농도계; 및
    상기 제 1 탱크와 상기 제 2 탱크에 설치되는 그리고 탱크 내의 약액 레벨을 검출하기 위한 액면 검출 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  13. 약액을 사용하여 반도체 웨이퍼를 처리하는 처리 장치에 약액을 공급하기 위한 장치에 있어서:
    둘 이상의 약액이 각각의 공급조로부터 공급되어 혼합이 이루어지는 제1혼합탱크;
    상기 제1혼합탱크의 약액을 균일하게 혼합하기 위해 상기 제1혼합탱크의 약액을 순환시키는 제1순환수단과;
    둘 이상의 약액이 각각의 공급조로부터 공급되어 혼합이 이루어지는 제2혼합탱크;
    상기 제2혼합탱크의 약액을 균일하게 혼합하기 위해 상기 제2혼합탱크의 약액을 순환시키는 제2순환수단과; 및
    상기 제1 및 제2혼합탱크 중 적어도 하나의 혼합탱크로부터 혼합액을 제공받아 각각의 처리 장치로 혼합액을 공급하기 위하여 상기 혼합액을 분배하는 분배기를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 분배기를 통해 상기 처리 장치들로 공급되는 혼합액의 압력이 일정하게 유지되도록 상기 제1혼합탱크와 상기 분배기 사이에 그리고 상기 제2혼합탱크과 상기 분배기 사이에 설치되는 제1 및 제2 압력유지장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 제1 및 제2혼합탱크 각각에는 상기 혼합액을 가열시키는 가열부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 제1 및 제2혼합탱크 각각에 설치되는 그리고 상기 약액들이 혼합된 상태로 상기 제1 및 제2 혼합탱크로 공급될 수 있도록 상기 약액들을 혼합시켜주는 혼합기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 혼합기는
    측면에 적어도 하나 이상의 약액 유입구를 갖는 외통과;
    상기 외통의 내부에 설치되는 그리고 상기 약액 유입구로부터 유입되는 약액들과 혼합되도록 상기 외통의 중앙으로 약액을 주입하는 약액 주입통을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 제2탱크에 저장된 상기 혼합액이 N2가압에 의해 상기 분배기로 이동되도록, 상기 제2탱크에는 N2가압라인이 연결되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
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