JP6149421B2 - 溶液の供給方法及び供給装置 - Google Patents
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Description
特に枚葉式洗浄では、用いる洗浄機毎に設定されている洗浄プログラムに従って、基板に噴き付ける洗浄水量を変化させたり、噴き付けを断続的に行ったりすることで洗浄効果を上げており、洗浄機での洗浄水使用量は秒単位で変化する。
例えば、前述した従来の洗浄水の供給方法において、純水又は超純水の給水量を洗浄水の使用量に応じて変化させ、一方で、給水配管に設けられた流量計に連動する洗浄剤成分の注入量制御手段により、給水配管を経て供給される純水又は超純水の流量変動に応じて洗浄剤成分の注入量を制御し、常に一定濃度の洗浄水を調製してユースポイントに供給することが考えられる。
しかしながら、流量変動のある給水に対して、上述のような流量計に連動する洗浄剤成分の注入量制御のみで対応することは困難であり、給水流量変動に応じて、調製される洗浄水の洗浄剤成分濃度が不安定となることは避けられない。特に、洗浄水が洗浄剤成分を極低濃度で含む希薄溶液である場合には、この濃度管理が極めて困難となる。
[3] [1]又は[2]において、前記滞留部は、上流側の供給配管のフランジと、下流側の供給配管のフランジとの間に介在させたフランジ付きの太径配管であることを特徴とする溶液の供給方法。
[7] [5]又は[6]において、前記滞留部は、上流側の供給配管のフランジと、下流側の供給配管のフランジとの間に介在させたフランジ付きの太径配管であることを特徴とする溶液の供給装置。
なお、以下については、本発明の溶液の供給方法及び供給装置を、溶液として、半導体製造プロセス等における電子部品の洗浄水を供給する場合を例示して説明するが、本発明において供給する溶液は、何らこの洗浄水に限定されるものではなく、例えば、医薬、食品等の分野において、製造のために必要な希薄溶液を安定供給するためにも適用することができる。
また、図1では、薬液を給水に注入して洗浄水を調製しているが、洗浄水としては、給水にガスを注入して調製されるガス溶解水であってもよい。
また、薬液注入量の制御方法は、給水の水量変化に応じた制御や濃度モニターを一定に保つように制御する方法などが挙げられるが、いずれの方法を採用するかは、目的とする所望の濃度や精度によって選択され、特に制限はない。
また、図2(a)、(b)に示す滞留部31,32は、螺旋軸の方向が図2において左右方向となるものであってもよい。図2(c)に示す滞留部33についても、図2(c)に示すように水平方向につづら折り状となっているものの他、上下方向につづら折り状となっているものであってもよい。
従って、滞留部の容積は、ユースポイントにおける洗浄水の最大使用水量時において、概ね0.1〜5分程度、特に0.3〜3分、とりわけ0.5〜3分程度の滞留時間を確保することができるように適宜決定されることが好ましい。
酸の場合:0.01〜1000mg/L
アルカリの場合:0.01〜1000mg/L
図1に示す洗浄水の供給装置で、以下の条件でユースポイントに洗浄水を供給した。
給水 :超純水
給水量 :1〜30L/min
薬剤 :アンモニア
薬液貯槽内の薬液の薬剤濃度 :1000mg/L
注入濃度(洗浄水の薬剤濃度):10mg/L
薬液注入ポンプ :(株)イワキ社製「EHN−B11」
滞留部 :図2(d)に示す太径配管
フィルター :日本ポール社製「ウルチプリーツSPDR」
(孔径30nm)
滞留部1は、その太径配管の大きさを、直径10〜40cm、長さ30〜150cmの範囲で表1に示す通り種々変更し、給水量30L/minの場合における滞留時間が表1に示す時間となるようにした。
滞留部1での滞留時間に対して、給水量が1〜30L/minの間で変動したときの、ユースポイント4に供給される洗浄水のアンモニア濃度の変動幅を調べ、結果を表1に示した。
実施例1において、滞留部の代りに循環タンクを設け、調製された洗浄水を循環タンクの液位が一定となるように供給したこと以外は同様にして、洗浄水の供給を行った。
本比較例では、ユースポイントへの供給水量は一定とし、ユースポイントで未使用の余剰の洗浄水は循環タンクに循環し、循環タンクへは、その液位を一定に保つために、ユースポイントでの洗浄水使用量分を補給した。
本比較例において、洗浄水のアンモニア濃度の変動幅は8〜20mg/Lで、実施例1における滞留時間1分の滞留部を設けた場合と同等であるが、洗浄水の循環のために、以下の循環タンクとそのための付帯設備が必要となり、実施例1の滞留部の2倍の専有スペースを要し、5倍の設備コストがかかった。
・ 30容循環タンク
・ 循環タンク内の液位計
・ 循環タンクへの不活性ガス供給手段(不活性ガス供給ポンプ、供給配管、ガスシール手段(栗田工業(株)製「シールポット」))
・ 循環タンクの水温調節(冷却)手段(潤公社「フロロエックスFXR/M/F−185」)
・ 循環ポンプ((株)イワキ製「MDM−25」)
・ 循環配管(ユースポイントから循環タンクまでの戻り配管)
2 薬液注入制御機構
3 薬液貯槽
4 ユースポイント
31,32,33,34 滞留部
40 太径配管
Claims (8)
- 溶質を所定濃度で含む溶液を、該溶液の調製部から供給配管を通液させてユースポイントに供給する方法において、
該供給配管の途中部分に、気液界面が存在しない該溶液の滞留部を設けた溶液の供給方法であって、
前記滞留部は、前記供給配管の拡径部であることを特徴とする溶液の供給方法。 - 請求項1において、前記滞留部の容積が、前記ユースポイントにおける前記溶液の最大使用時において、該滞留部での該溶液の滞留時間が0.1〜5分となる容積であることを特徴とする溶液の供給方法。
- 請求項1又は2において、前記滞留部は、上流側の供給配管のフランジと、下流側の供給配管のフランジとの間に介在させたフランジ付きの太径配管であることを特徴とする溶液の供給方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記溶液が、電子部品の洗浄、表面改質又は表面保護プロセスで使用される洗浄水であることを特徴とする溶液の供給方法。
- 所定濃度の溶質を含む溶液を調製する溶液調製手段と、該溶液調製手段で調製された溶液をユースポイントに供給するための供給配管とを有する溶液の供給装置において、
該供給配管の途中部分に、気液界面が存在しない該溶液の滞留部が設けられている溶液の供給装置であって、
前記滞留部は、前記供給配管の拡径部であることを特徴とする溶液の供給装置。 - 請求項5において、前記滞留部の容積が、前記ユースポイントにおける前記溶液の最大使用時において、該滞留部での該溶液の滞留時間が0.1〜5分となる容積であることを特徴とする溶液の供給装置。
- 請求項5又は6において、前記滞留部は、上流側の供給配管のフランジと、下流側の供給配管のフランジとの間に介在させたフランジ付きの太径配管であることを特徴とする溶液の供給装置。
- 請求項5ないし7のいずれか1項において、前記溶液が、電子部品の洗浄、表面改質又は表面保護プロセスで使用される洗浄水であることを特徴とする溶液の供給装置。
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