DE69631566T2

DE69631566T2 - Vorrichtung und Verfahren zur Waschbehandlung

Info

Publication number: DE69631566T2
Application number: DE69631566T
Authority: DE
Inventors: Masami Minato-ku Akimoto
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1995-06-27
Filing date: 1996-06-26
Publication date: 2004-07-29
Anticipated expiration: 2016-06-27
Also published as: DE69631566D1; US5868865A; JP3250090B2; KR100309029B1; KR970003595A; TW300177B; EP0753884A2; EP0753884A3; JPH0917761A; EP0753884B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Waschen eines Substrats, sowie Halbleiterscheiben und Glas-Substrate für LCDs.
Bei Vorrichtungen zur Herstellung von Halbleitern wird eine Vorrichtung zur Waschbehandlung zum Entfernen von Partikeln, organischen Fremdstoffen, metallischen Verunreinigungen und dergleichen von der Oberfläche der Halbleiterscheiben unter Verwendung von Ammoniak, Fluorwasserstoffsäure, reinem Wasser und dergleichen verwendet. In einer Vorrichtung zur Einzelwaschbehandlung wird die Oberfläche einer Scheibe beispielsweise mit chemischen Lösungen sowie einer wässrigen Ammoniaklösung und einer wässrigen Fluorwasserstoffsäurelösung gewaschen und anschließend mit reinem Wasser gespült. In der Vorrichtung zur Einzelwaschbehandlung ist eine Scheibe horizontal in einem Spannfutter gehalten und eine wässrige Ammoniaklösung oder eine wässrige Fluorwasserstoffsäurelösung ist für eine vorab bestimmte Zeit einer Scheibe zugeführt, um diese zu bedecken. Ein relevantes Beispiel dieser Art von Vorrichtung ist in der EP-A-O 618 611 vorgesehen, welche den Oberbegriff des Anspruchs 1 offenbart.
Da jedoch im den konventionellen Vorrichtungen für eine Waschbehandlung die Temperatur der chemischen Lösung absinkt, wird ebenfalls die Reaktionsrate des chemischen Waschens (chemische Reinigung) reduziert. Als Ergebnis wird in einigen Fällen ein ausreichendes Waschergebnis nicht erreicht. Um dies zu umgehen, ist es vorstellbar, dass die Menge an zugeführter chemischer Lösung erhöht wird, um das unzureichende Waschergebnis auszugleichen. Jedoch bereitet der große Verbrauch an chemischer Lösung bei diesem Verfahren das Problem, dass die Behandlungskosten unweigerlich angehoben werden.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Waschbehandlung zur Verfügung zu stellen, welche in der Lage ist, die Menge an chemischer Lösung zum Waschen eines Substrats zu reduzieren und die Durchlaufleistung und die Ausbeute an Produkten zu verbessern.
Die Erfindung stellt daher eine Vorrichtung zur Waschbehandlung wie in Anspruch 1 beansprucht zur Verfügung. Die Erfindung stellt ebenso ein Verfahren zur Durchführung einer Waschbehandlung wie in Anspruch 14 beansprucht zur Verfügung.
Gemäß der Vorrichtung zur Waschbehandlung der vorliegenden Erfindung ist eine temperaturgeregelte Abdeckung so nahe platziert, dass sie das in dem Drehspannfutter gehaltene Substrat abdeckt. Die das Substrat bedeckende Waschlösung ist somit im Wesentlichen frei von einem Temperaturwechsel. Unter Verwendung dieser Vorrichtung kann eine gewünschte Waschbehandlung unter Verendung einer konstanten Menge an Waschlösung in einem konstanten Zeitfenster durchgeführt werden. Die Erfindung kann genauer von der folgenden detaillierten Beschreibung verstanden werden, wenn sie in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen gesehen wird, in denen:
1 eine Draufsicht darstellt, welche schematisch ein gesamtes System zur Waschbehandlung für eine Halbleiterscheibe zeigt;
2 ein zusammengesetztes Blockdiagramm, partiell abgeschnitten, darstellt, welches die Vorrichtung zur Waschbehandlung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
3 eine Draufsicht auf ein Drehspannfutter zeigt, welche eine Scheibe absorptiv hält;
4A bis 4D Querschnittsansichten darstellen, welche eine Drehspannfutteranordnung, eine Abdeckungsanordnung, einen Stützarm und dergleichen zur Erläuterung des Verfahren zur Waschbehandlung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
5 eine Querschnittsansicht darstellt, welche schematisch einen Eintrage- und Austrage-Bereich und einen Scheiben-Transfer-Bereich zeigt;
6 eine Perspektivansicht darstellt, welche einen mit einem Abstützarm versehenen Scheiben-Transfer-Bereich zeigt;
7 eine Draufsicht darstellt, welche schematisch einen Abstützarm zur Verwendung beim Transfer der Scheibe zeigt;
8 eine vergrößerte Querschnittsansicht des Abstützarms ist;
9A und 9B Draufsichten sind, welche schematisch die Operation des Abstützarms beim Erhalten bzw. Übergeben des Substrats zeigt;
10 ein Blockdiagramm ist, welches eine Abdeckungsanordnung gemäß einer anderen Ausführungsform zeigt;
11 ein Blockdiagramm darstellt, welches eine Drehspannfutteranordnung gemäß einer anderen Ausführungsform darstellt;
12 eine Perspektivansicht darstellt, welche einen Drehspannfutter-/Abdeckungs-Anordnung einer anderen Ausführungsform zeigt; und
13 eine Perspektivansicht darstellt, welche eine Drehspannfutter-/Abdeckungs-Anordnung einer noch anderen Ausführungsform zeigt.
Im Folgenden werden die bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Wir werden zuerst den Fall beschreiben, in dem die vorliegende Erfindung an einem System zur Waschbehandlung für Halbleiterscheiben angepasst ist.
Wie in 1 gezeigt, umfasst das System zur Waschbehandlung einen Eintrage- und Austragebereich 1, einen Prozessbereich 2, einen Scheiben-Transferbereich 3 und eine Waschlösungs-Zufuhrbox 4. Auf der Stufe des Eintrage- und Austragebereichs 1 sind eine Vielzahl von Kassetten C befestigt. In einer Kassette C sind 25 Blätter unbehandelter Halbleiterscheiben W eingehaust. Der Prozessbereich 2 hat eine Vielzahl von Prozesseinheiten 24, 25, 26 und 27 zur Verwendung beim Waschen von Scheiben W sowie einen Hauptarm 20, der zu einem zentralen Pfad 22 beweglich vorgesehen ist.
Der Scheiben-Transferbereich 3 ist zwischen dem Eintrage- und Austragebereich 1 und dem Prozessbereich 2 angeordnet. An dem Bereich 3 ist des weiteren ein Abstützarm 30 vorgesehen. Der Abstützarm 30 hat einen entlang der Achsen X, Y und Z (nicht gezeigt) beweglichen Bewegemechanismus und einen θ-Rotationsmechanismus (nicht gezeigt) und spielt beim Herausnehmen einer Scheibe W aus der Kassette C und deren Transferieren zu dem Hauptarm 20 eine Rolle. Der Hauptarm 20 hat einen entlang der Achsen X, Y und Z beweglichen Bewegemechanismus 23 und einen θ-Rotationsmechanismus 21 und spielt bei dem Übernehmen der Scheibe W von dem Abstützarm 30 und bei dem Herein- und Heraus-Übertragen von jeder der Prozesseinheiten 24 bis 27 eine Rolle.
Die Waschlösungs-Zufuhrbox 4 umfasst Tanks für chemische Lösungen und eine Spüllösung, welche in den individuellen Prozesseinheiten 24 bis 27 verwendet werden. Die Tanks 102 für die chemischen Lösungen beinhalten je eine wässrige Lösung eines Ammoniak-Wasserstoffperoxyds, eine verdünnte wässrige Lösung von Fluorwasserstoffsäure und eine verdünnte wässrige Lösung von Salzsäure und dergleichen. In dem Tank 104 für die Spüllösung ist reines Wasser enthalten.
Auf einer Seite des zentralen Pfads 22 stehen sich eine Wascheinheit 24 für die rückseitige Oberfläche und zwei Waschbehandlungseinheiten 25 (im Folgenden bezeichnet als "erster Waschbehandlungsbereich") gegenüber. Die Wascheinheit 24 für die rückwärtige Oberfläche wird verwendet, um die rückwärtige Oberfläche der Scheibe W zu waschen. In dem ersten Waschbehandlungsbereich 25 wird die Oberfläche der Scheibe W mit einem alkalischen Waschlösung gewaschen. Auf der anderen Seite des zentralen Pfads 22 sind zwei Waschbehandlungseinheiten 26 (im Folgenden als "zweiter Waschbehandlungsbereich") und der Wasch/ Trockenbehandlungsbereich 27 nebeneinander angeordnet. Der zweite Waschbehandlungsbereich 26 wird zum Waschen der Oberfläche der Scheibe W mit einer sauren Waschlösung verwendet. Der Wasch/Trockenbehandlungsbereich 27 wird für ein abschließendes Waschen und nachfolgendes Trocknen der Scheibe W verwendet.
Der erste Waschbehandlungsbereich 25 und der zweite Waschbehandlungsbereich 26 haben im Wesentlichen denselben Aufbau. Daher werden wir im Folgenden den ersten Waschbehandlungsbereich 25 alleine beschreiben.
Wie in 2 gezeigt, weist der erste Waschbehandlungsbereich 25 ein Drehspannfutter 50, einen Außenring 60, eine Waschlösungs-Zufuhrdüse (erste Waschlösungs-Zufuhrmittel) 70 sowie eine temperatur-geregelte Abdeckung 71 auf. Zwischen einem Hauptspannfutterkörper 52 des Drehspannfutters 50 und der Riemenscheibe eines Motors 96 ist ein Zahnriemen 52 zum Rotieren des Hauptspannfutterkörpers 52 gespannt. An der unteren Seite der Halteoberfläche des Hauptspannfutterkörpers 52 ist eine Passage 57 eingeformt. Die Scheibe W und die Waschlösung können durch Zirkulieren eines Wärmetauschmediums durch die Passage 57 auf einer vorab bestimmten Temperatur gehalten werden.
Der erste Waschbehandlungsbereich 25 ist in einem Behälter 90 vorgesehen. Gereinigte Luft ist in dem Behälter 90 durch einen Filter 91, welcher in dem Dachbereich des Behälters 90 angeordnet ist, zugeführt und wird am Boden des Behälters wieder abgeführt.
Wie in 3 gezeigt, ist eine Vielzahl von Scheibenhaltezähnen 51 an der oberen Oberfläche des Hauptspannfutterkörpers 52 vorgesehen, um die Scheibe W derart zu halten, dass sie ihre Position nicht verändert. In einem hohlen Bereich 53 des Hauptspannfutterkörpers 52 ist ein Nocken 55 eingefügt. Der Nocken 55, welcher mit einer Stange eines Zylinders 56 verbunden ist, wird verwendet, um die Scheibe W von der Oberfläche des Hauptspannfutterkörpers 52 anzuheben. Zwischen den Nocken 55 und dem Hauptspannfutterkörper 52 ist ein Siegel-Auflager 54 vorgesehen.
Der Außenring 60 ist derart vorgesehen, dass er den unteren Anteil und den Seitenanteil des Drehspannfutters 50 so umgibt, dass er gebrauchte Waschlösung aufnehmen kann. Der Außenring 60 umfasst einen unteren Anteil 61, welcher unterhalb des Drehspannfutters positioniert ist, und einen inneren Außenring 63 sowie einen äußeren Außenring 64. Die Wand des inneren Außenrings 63 ist vertikal vom Boden 61 aus erstreckt, um die Nachbarschaft der unteren Seite der haltenden Oberfläche auf dem Drehspannfutter 50 abzuschließen. Der äußere Außenring 64 ist außerhalb des inneren Außenrings 63 in der Form eines Rings ausgeformt und sein oberes Ende erstreckt sich so, dass es die Nachbarschaft der oberen Halteoberfläche des Drehspannfutters 50 abschließt. Im Inneren des inneren Außenrings 63 ist eine ringförmige Abscheidewand 65 angeordnet, welche sich von dem Boden 61 aus erstreckt. Am Boden 61 der äußeren Umfangsseite des inneren Außenrings 63 ist eine Drainage 66 vorgesehen. An dem Boden 64a des äußeren Außenrings 64 ist eine Drainage 67 vorgesehen. Über den Weg der Drainage 66 wird die verwendete Waschlösung von dem inneren Außenring 63 zu einer Regenerationsvorrichtung (nicht gezeigt) abgezogen. Die wiederaufgefangene Waschlösung wird in eine wiederverwendbare Lösung umgewandelt, nachdem Verunreinigung in der Wiederaufbereitungs-Vorrichtung entfernt wurden. Die verwendete Spüllösung ist derart gestaltet, dass sie von dem äußeren Außenring 64 über die Drainage 67 weg befördert werden kann.
Die Waschlösungs-Düse 70 ist an dem unteren Zentrum der temperatur-geregelten Abdeckung 71 vorgesehen. Die Düse 70 steht durch eine Leitung 73 mit der Waschlösungs-Zufuhrquelle 102 in Verbindung. Die Waschlösungs-Zufuhrquelle 102 ist in der Waschlösungs-Zufuhrbox 4 vorgesehen und steht mit der oben beschriebenen Wiederaufbereitungsvorrichtung in Verbindung.
Die temperatur-geregelte Abdeckung 71 ist durch einen Hebemechanismus 75 vertikal beweglich abgestützt. Der Hebemechanismus 75 umfasst eine mittels eines Auslegers 78 mit der temperatur-geregelten Abdeckung 71 verbundene Spindelmutter 77, eine Kugelrollspindel 76, mit der die Mutter 77 im Eingriff steht, und einen Motor 98 zum Rotieren der Schraube 76. Im Übrigen kann anstelle des Hebemechanismus 75 ein reziprok beweglicher Mechanismus mit einem Zylinder verwendet werden.
In der temperatur-geregelten Abdeckung 71 ist eine Wärmeaustausch-Passage 74 eingeformt. Die Wärmeaustausch-Passage 74 steht mit einer temperatur-geregelten Wasserzirkulationsvorrichtung 106 in Verbindung, und somit wird Wasser, welches auf eine vorab bestimmte Temperatur eingestellt ist, durch die Passage 74 zirkuliert. Die Energie des Erhitzers für die temperatur-geregelte Wasserzirkulationsvorrichtung 106 ist mit einer Steuerung 100 verbunden, und somit wird geregelt, dass das temperaturgeregelte Wasser durch die temperatur-geregelte Wasserzirkulationsvorrichtung 106 auf eine Temperatur im Bereich von 60 bis 90°C eingestellt wird. Anstelle der Wärmeaustausch-Passage 74 und der temperatur-geregelten Wasserzirkulationsvorrichtung 106 kann ein eingebauter Erhitzer verwendet werden, um die Abdeckung 71 aufzuheizen. Ein unterer Umfangsanteil 72a der temperatur-geregelten Abdeckung 71 steht nach unten bis zu einer Position, welche niedriger ist als ein zentraler Anteil 72b, hervor. Wenn die temperatur-geregelte Abdeckung 71 nach unten bewegt wird, um sich der Scheibe W anzunähern, wird ein vorab bestimmter Zwischenraum ausgeformt, um zwischen der Abdeckung und der Scheibe die Temperatur zu regeln.
An dem rechts oberhalb des Drehspannfutters 50 entfernten Teils ist eine Spüldüse 80 vorgesehen. Die Spüldüse 80 steht mit einer Reinwasser-Zufuhrquelle 104 in Verbindung, wodurch reines Wasser auf die an dem Drehspannfutter 50 gehaltene Scheibe W geführt wird. Die Spüldüse 80 ist derart vorgesehen, dass sie zwischen einer Warteposition und einer Sprühposition bewegt wird. Die gebrachte Spüllösung wird über die Drainage 67 des Außenrings 60 nach unten abgeführt.
In der Zwischenzeit kann der untere umfängliche Anteil 72a der temperatur-geregelten Abdeckung 71 mit dem Drehspannfutter 50, wie in 12 gezeigt, durch Zwischensetzen eines Siegellagers 340 zwischen das Drehspannfutter 50 und die temperatur-geregelte Abdeckung 71 in Kontakt gebracht werden.
Im Folgenden werden wir den Fall, indem die Scheibe W in dem ersten Waschbehandlungsbereich 25 gewaschen wird, mit Bezug auf die 4A bis 4D beschreiben.
Wie in 4A gezeigt, wird der Heber 55, während die temperatur-geregelte Abdeckung 71 in einem Standby-Status wie bei dem Heber 55 gehalten wird, so nach oben geführt, dass die obere Oberfläche des Hebers 55 höher als die Oberfläche des Drehspannfutters 50 positioniert ist. Dann wird die Scheibe W von dem Hauptarm 20 zu dem Heber 55 transferiert. Anschließend wird der Heber 55 nach unten bewegt, um die Scheibe W sicher auf der oberen Oberfläche des Drehspannfutters 50 zu platzieren.
Die temperatur-geregelte Abdeckung 71 wird dann nach unten bewegt, um, wie in 4B gezeigt, einen Raum zwischen der temperatur-geregelten Abdeckung 71 und dem Drehspannfutter 50 zur Regelung der Temperatur auszuformen. Während dieser Zustand beibehalten wird, wird eine wässrige Ammoniak-Lösung von der Waschlösungs-Zufuhrdüse 70 auf die Scheibe W zugeführt. An diesem Punkt wird dem Drehspannfutter 50 ermöglicht, stillzustehen oder in einer solchen Weise zu rotieren, dass die wässrige Ammoniaklösung die Oberfläche der Scheibe bedeckt. Die Temperatur der wässrigen Ammoniak-Lösung ist in einem Bereich zwischen 60 und 90°C geregelt. Die Scheibe wird, während sie in diesem Zustand für eine vorab bestimmte Zeit gehalten wird, chemisch mit der wässrigen Ammoniak-Lösung gewaschen. Des Weiteren kann die Temperatur der Waschlösung durch Vorsehen eines Temperatur-Regelmechanismus 57 an dem Drehspannfutter 50 stabilisiert werden.
Nach dem Waschen wird die temperatur-geregelte Abdeckung 71 nach oben bewegt und dann wird reines Wasser von der Spüldüse 80, wie in 4C gezeigt, auf die Scheibe W zugeführt, und das Drehspannfutter 50 wird gleichzeitig bei hoher Geschwindigkeit rotiert. Auf diese Weise wird die wässrige Ammoniak-Lösung zentrifugal von der Scheibe W entfernt. Nachdem die Scheibe W durch Zuführen reinen Wassers für eine vorab bestimmte Zeit gewaschen wurde, wird die Zufuhr von reinem Wasser beendet, jedoch wird die Rotation des Drehspannfutters 50 fortgesetzt, wodurch die Scheibe W getrocknet wird. Anschließend wird die Rotation des Drehspannfutters 50 beendet und der Heber 55 wird, wie in 4 gezeigt, nach oben bewegt, und dann wird die Scheibe W zu dem Hauptarm 20 überführt und dem nächsten Arbeitsschritt zugeführt.
In dem zweiten Waschbehandlungsbereich 26 wird eine wässrige Fluorwasserstoffsäure-Lösung anstatt der wässrigen Ammoniak-Lösung verwendet. Der zweite Waschbehandlungsbereich 26 hat im Wesentlichen den gleichen Aufbau wie der erste Waschbehandlungsbereich 25.
Zwischen dem ersten Bereich 25 und dem zweiten Bereich 26 ist ein Pfad 22 vorgesehen. Da der erste Bereich 25 mit einer alkalischen Atmosphäre von dem zweiten Bereich mit einer sauren Atmosphäre getrennt angeordnet ist, ist es möglich, die alkalische Atmosphäre davon abzuhalten, wenn die Säurewaschung durchgeführt wird, in den zweiten Bereich 26 einzudringen.
Im Folgenden wird mit Bezug auf 5 der Arbeitsgang des Eintrage-/Austragebereichs 1 und des Scheiben-Transferbereichs 3 erklärt.
In dem Eintrage-/Austragebereich 1 ist ein Behälter 10 zur Verwendung beim Eintragen und Austragen der Kassette C vorgesehen. Der Behälter 10 ist rechts oberhalb einer luftdichten Kammer 11 positioniert. In der luftdichten Kammer 11 ist ein Hebemechanismus 18 zum Transferieren der Kassette C vorgesehen. Im oberen Teil des Mechanismus 18 ist die Stufe 18b vorgesehen, an der die Kassette C befestigt ist. Die luftdichte Kammer 11 steht mit dem Scheibentransferbereich 3 über einen Absperrschieber 31 in Verbindung.
Der Behälter-Hauptkörper 10a mit einer unteren Öffnung 10b ist eineBox, welche aus Hartplastik oder einem Metall sowie Edelstahl oder Aluminium gefertigt ist. An der unteren Öffnung 10b ist eine öffenbare Abdeckung 13 vorgesehen. In dem Behälter 10 ist eine Kassette C an der Abdeckung 13 befestigt. Die Kassette C kann durch Verschließen der Abdeckung 13 des Behälters 10 in einem luftdichten Zustand gelagert werden. Der Behälter 10 weist eine innere Atmosphäre, beispielsweise ein N2-Gas auf. Das Innere ist bei normalem Druck gehalten oder unter Druckbedingungen, welche leicht höher sind als der Normaldruck, z. B. 0,05 Torr (1 Torr = 133 Pa) oder mehr. Im Übrigen wird die Kassette C unbeweglich gehalten durch Druck auf den Behälter 10, welche über ein luftdicht gesiegeltes Halteelement (nicht gezeigt) mit einem Arbeitsnoppen aufgebracht wird. Die unbewegliche Kassette C wird durch Ablassen des Drucks auf das Halteelement freigesetzt.
Außen an dem unteren Teil des Hauptkörpers 10a des Behälters ist ein Flansch 10c vorgesehen. An der unteren Oberfläche des Flansches 10c ist eine Nut 10d eingeformt. Innerhalb der Nut 10d ist ein O-Ring 15 vorgesehen. Die Abdeckung 13 ist luftdicht über einen Verriegelungsmechanismus, einen Einrastmechanismus oder dergleichen (nicht gezeigt) an dem Flansch 10c fixiert, Auf diese Weise kann das Innere des Behälters 10 luftdicht gehalten werden.
Wenn der Behälter 10 an dem oberen Bereich der luftdichten Kammer 11 durch die Transfermittel (nicht gezeigt) angeordnet wird, wird der Flansch 10c in der Oberseite der luftdichten Kammer 11 über eine Klemme 16 verbunden. In diesem Mechanismus ist das Siegelelement 15 dicht an dem Behälter 10 und der luftdichten Kammer 11 befestigt, wodurch der Behälter 10 und die Kammer 11 luftdicht miteinander verbunden werden. In der Zwischenzeit kann anstelle der Klemme 16 der Behälter 10 auch durch Druck oben auf der luftdichten Kammer 11 über ein Drücken des Elements 17, wie durch die strichpunktierte Linie in 5 gezeigt, aufgebracht werden.
Oben auf der luftdichten Kammer 11 ist ein offenes Fenster 11a eingeformt. Das offene Fenster 11a ist durch eine Klappe 14 öffen- und schließbar. An der oberen Seitenwand der luftdichten Kammer 11 ist ein Gaszufuhranschluss 11b vorgesehen. Mit dem Gaszufuhranschluss 11b steht über ein Ventil V1 eine N₂-Gaszufuhrquelle 11d in Verbindung. Darüber hinaus ist an dem unteren Teil der luftdichten Kammer 11 ein Auslassventil 11c geöffnet. Mit dem Auslassventil 11c steht eine Vakuumpumpe 11e über ein Ventil V2 in Verbindung. Die luftdichte Kammer 11 wird mit dem von der N₂-Gaszufuhrquelle 11d zugeführten N₂-Gas gereinigt. Die Atmosphäre der Kammer 11 wird unter Normaldruck gehalten oder einem Druck, welcher leicht höher ist als der normale Druck, zum Beispiel etwa 0,05 Torr, welches derselbe Druck ist wie der des Behälters 10. Alternativ hierzu wird die Atmosphäre unter Verwendung einer Vakuumpumpe 11e auf ein vorbestimmtes Vakuum, beispielsweise 1 × 10^–1 bis 10^–8 Torr, eingestellt. Im Übrigen wird der innere Druck der luftdichten Kammer 11 über einen Druckdetektor 11f gemessen. Auf Basis dieser Messergebnisse wird der innere Druck der luftdichten Kammer 11 manuell oder automatisch eingestellt.
In der luftdichten Kammer 11 ist ein Hebemechanismus 18 vorgesehen. Der Hebemechanismus 18 hat einen Motor M3 und eine Hebestange 18a. An dem oberen Teil der Hebestange 18a ist eine vertikal bewegliche Stufe vorgesehen. Auf der anderen Seite ist von der Stufe 18b bis zur Bodenwand der Kammer 11 ein Balgen aufgefahren vorgesehen. Der innere Raum der luftdichten Kammer 11 wird von dem Hebemechanismus 18 über die Balgen 18c luftdicht abgeschlossen, so dass Partikel davon abgehalten werden, von dem Hebemechanismus 18 aus in die luftdichte Kammer 11 einzudringen.
Im Folgenden werden wir mit Bezug auf die 6 bis 8, 9A und 9B die Weise des Transfers der Scheibe W durch den Abstützarm 30 des Scheibentransferbereichs 3 beschreiben.
Der Abstützarm 30 des Scheibentransferbereichs 3 ist an der luftdichten Kammer 32 vorgesehen. Die Kammer 32 steht über eine öffenbare Klappe 31a mit dem Prozessbereich 2 in Verbindung. Der Abstützarm 30 hat zwei Abstützflächen 30a und 30b zum Halten der Scheibe W. Es wird angemerkt, dass der Abstützarm 30 aus einem hitzebeständigen und korrosionsbeständigen Material, beispielsweise einem Harz auf Fluorbasis oder Polyether-Ketonen (PEEK) gefertigt ist.
Wie in den 6, 7, 9A und 9B gezeigt, wird der Abstützarm 30 durch einen Schaltmechanismus 33 in Richtung der Y-Achse bewegt, so dass die Abstützflächen 30a und 30b jeweils zur jeweiligen Position zum Halten der Scheibe W bewegt werden, in anderen Worten, so dass die Scheibe W durch Umschalten von einer Stützfläche 30a (30b) zu der Stützfläche 30b (30a) abgestützt wird.
Der Abstützarm 30 hat einen vertikal beweglichen Mechanismus 34, welcher in der Lage ist, den Abstützarm 30 vertikal in Richtung der Z-Achse zu bewegen. Zusätzlich hat der Abstützarm 30 einen Rotationsmechanismus (nicht gezeigt), welcher den Abstützarm 30 um einen Winkel θ um die Z-Achse bewegt. Der Abstützarm 30 hat des Weiteren einen X-Achsen-Bewegungsmechanismus 35, welcher den Abstützarm 30 in Richtung der X-Achse bewegt. Nach wie vor hat der Abstützarm einen Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 36, welcher den Abstützarm in Richtung der Y-Achse bewegt. Der Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 36 umfasst eine Führungsschiene 36a und ein Lager 36b zur geradlinigen Bewegung.
Wie in 7 gezeigt, umfasst der Abstützarm 30 einen nahezu rechtwinkligen Bereich 30c, einen abgeschrägten Bereich 30d und einen distalen Endbereich 30e. Die Breite des oberen Endbereichs 30e ist enger als die des nahen Endbereichs 30c. Die Abstützflächen 30a und 30b sind mit Bezug auf die Mittellinie 0 des Abstützarms 30 symmetrisch ausgeformt.
Wie in 8 gezeigt, umfasst der Abstützarm 30 bogenförmige Stufenabschnitte 30i an den Seiten des nahen Endbereichs 30c und des distalen Endbereichs 30e zum Begrenzen der jeweiligen Endoberfläche der Scheibe W. Wenn die Scheibe W durch eine der Abstützoberflächen, 30b, abgestützt wird, ist die andere Oberfläche 30a nicht in Kontakt mit der Scheibe W.
Jede der Abstützflächen 30a und 30b ist vorzugsweise von der Mittellinie 0 um 5 mm oder weniger, und vorzugsweise um 3 mm oder weniger, von der Mittellinie 0 verschwenkt. Wenn ein neuer Typ von Scheibe W mit einer Positionierungskerbe verwendet wird, können die Breiten und Längen der Abstützflächen 30a und 30b reduziert werden. Wenn jedoch eine konventionelle Scheibe W eine Orientierungsebene Wa aufweist, müssen die Abstützflächen 30a und 30b derart ausgebildet sein, dass sie ausreichende Weiten und Längen aufweisen, um auch die Orientierungsebene Wa abzustützen. Es wird angemerkt, dass die laterale Weite des distalen Endbereichs 30e die gleiche sein kann wie die des nahen Endbereichs 30c.
Wie in 6 gezeigt, umfasst der Bewegungs-/ Umschaltmechanismus 33 einen Schrittmotor M₄, der in der Lage ist, die Rotationsbewegung in beiden Richtungen umzuschalten. An der Antriebsachse des Schrittmotors M₄ ist eine Riemenscheibe 30f vorgesehen. Des Weiteren ist ein Zahnriemen 30h zwischen der Riemenscheibe 30f und einer Nachfolge-Riemenscheibe 30g gespannt. An dem Zahnriemen 30a ist der nahe Endbereich 30c des Abstützarms 30 angeschlossen. Der Abstützarm 30 ist derart ausgebildet, dass er in Verbindung mit der Bewegung des Zahnriemens 30h horizontal bewegt werden kann. Wenn der Abstützarm 30 horizontal zu einem Scheibentransferbereich bewegt wird, an dem die Abstützfläche der Scheibe W von einer Abstützfläche 30a (30b) zu einer anderen Abstützfläche 30b (30a) gewechselt wird. Im Übrigen kann anstelle des Zahnriemen-Antriebsystems in dem Umschaltmechanismus 33 ein Kugelrollspindelmechanismus eingesetzt werden.
Im Folgenden wird der Fall, in dem die Scheibe W durch den Abstützarm 30 aus der Kassette genommen und dann transferiert wird, beschrieben.
Wie in 7 gezeigt, wird die Mitte des Abstützarms 30 zuerst zu der Mitte der Kassette C geführt. Als zweites wird der Abstützarm 30 durch den Bewegungs-/Umschaltmechanismus 33 in Richtung der Y-Achse bewegt und derart positioniert, dass die Mitte des Abstützarms 30a auf der gleichen Linie wie die Mitte der Kassette C liegt, wie dies in 9A gezeigt ist. Als drittes wird der Abstützarm 30 in Richtung der X-Achse nach vorne bewegt und genau unter der Scheibe W in der Kassette C positioniert. Nachfolgend wird der Abstützarm 30 nach oben bewegt, um die Scheibe W an der Abstützfläche 30a anzuordnen. Anschließend wird der Abstützarm 30 nach hinten in Richtung der X-Achse bewegt. Auf diese Weise wird die Scheibe W aus der Kassette C herausgenommen. Der Abstützarm 30 wird um einen Winkel θ rotiert, um die Scheibe W von dem Abstützarm 30 zu dem Hauptarm 20 zu transferieren.
Auf der anderen Seite wird, wie in 9B gezeigt, der Abstützarm 30 in Richtung der Y-Achse durch den Bewegungs-/ Umschaltmechanismus 33 bewegt und derart positioniert, dass das Zentrum der Stützoberfläche 30b auf der gleichen Linie liegt wie das der Kassette C. An der Stützfläche 30b ist eine Scheibe W nach erfolgtem Waschen gehalten. Der Abstützarm 30 wird dann nach vorne in Richtung der X-Achse bewegt, um in der Kassette C eine Stütznut einzufügen. Anschließend wird der Abstützarm 30 nach unten bewegt, um die Scheibe W in der Kassette C einzuhausen. Der Abstützarm 30 wird rückwärts in Richtung der X-Achse bewegt, um den Abstützarm 30 aus der Kassette C herauszubewegen.
Wie oben bereits beschrieben, wird eine unbehandelte Scheibe W vor der Waschbehandlung durch eine der Abstützflächen, 30a, gehalten und auf der anderen Seite wird eine Scheibe W nach erfolgter Behandlung durch die andere Stützfläche 30b gehalten. Bei Verwendung dieses Mechanismus werden keine dem Abstützarm zuzuschreibenden Fremdkörper auf der hinteren Oberfläche der Scheibe W angebracht. Als Folge dessen wird die Kontaminierung der Scheibe W verhindert.
Im Folgenden wird der Arbeitsgang der Waschbehandlungsvorrichtung mit Bezug auf die 2 und 10 bis 13 beschrieben.
Der Abstützarm 30 erhält (zum Beispiel durch die Abstützfläche 30a) eine vorab bestimmte Scheibe W von der Kassette C, in der unbehandelte Scheiben W eingehaust sind, welche vorab in dem Eintrage-/Austragebereich 1 unter Verwendung eines Trageroboters (nicht gezeigt) getragen wurden. Dann wird die Scheibe W zu dem Scheiben-Transferbereich 3 transferiert. Die in dem Scheiben-Transferbereich 3 vorliegende Scheibe W wird durch einen ersten Arm des in dem Prozessbereich 2 angeordneten Hauptarms 20 durch eine Klappe 31a aufgenommen und in den Waschbereich für die rückwärtige Oberfläche 24 in dem Prozessbereich 2 getragen. Die Scheibe W wird in dem Waschbereich 24 für die rückwärtige Oberfläche durch ein Drehspannfutter gehalten. Die rückwärtige Oberfläche der Scheibe W wird durch eine Waschbürste und unter Drehung der Scheibe W, während eine Waschlösung aufgebracht wird, angerissen. Nach Abschluss des Waschens wird die Scheibe W aus dem Waschbereich 24 für die rückwärtige Oberfläche herausgenommen und in den ersten Waschbehandlungsbereich 25 eingetragen.
Wie in 2 gezeigt, wird die Scheibe W auf dem Drehspannfutter 50 platziert und gehalten. Danach wird die temperatur-geregelte Abdeckung 21 nach unten bewegt, um in enger Nähe zu der auf dem Drehspannfutter 50 gehaltenen Scheibe W zu stehen. Während die Abdeckung 71 in der Nähe der Scheibe W gehalten wird, wird die Scheibe W bei niedriger Geschwindigkeit rotiert und gleichzeitig wird aus einer Düse 70 eine wässrige Ammoniak-Lösung auf die Scheibe W aufgebracht. Die zugeführt wässrige Ammoniak-Lösung ist bei einer Temperatur von etwa 80°C gehalten. Auf diese Weise wird die wässrige Ammoniak-Lösung, die zum Waschen verwendet wird, derart platziert, dass sie die Oberfläche der Scheibe W bedeckt. Die von der Oberfläche der Scheibe W abtropfende Waschlösung wird von dem inneren Außenring 63 aufgenommen und über die Drainage 66 abgeführt.
Nachdem die Scheibe W von der Waschlösung bedeckt ist, wird die Rotation des Drehspannfutters begrenzt, um zu ermöglichen, dass die Oberfläche der Scheibe W für eine vorab bestimmte Zeit chemisch gewaschen wird. Da die Temperaturen sowohl der Waschlösung als auch der Scheibe W geregelt sind, können die gewünschten chemischen Wascherzeugnisse erzielt werden.
Nach dem Waschen wird die temperatur-geregelte Abdeckung 71 nach oben weg bewegt und die Spüldüse 80 wird nach oben rechts von der Scheibe W aus gesehen positioniert. In diesem Zustand wird die Scheibe rotiert, während reines Wasser auf sie geführt wird. Das verwendete reine Wasser wird durch den äußeren Außenring 64 aufgenommen und über die Drainage 67 nach außen abgeführt. Nachdem die Scheibe W für eine vorbestimmte Zeit gespült wurde, wird die Zufuhr von Reinwasser begrenzt. Die Scheibe W wird dann getrocknet, während die Scheibe W kontinuierlich bei hoher Geschwindigkeit rotiert wird.
Die somit gewaschene Scheibe wird dann aus dem ersten Waschbehandlungsbereich 25 durch einen zweiten Arm des Hauptarms 20 herausgenommen und anschließend zu dem zweiten Waschbehandlungsbereich 26 transferiert. Danach wird die Scheibe W von dem Hauptarm 20 zu einem Heber 255 transferiert und dann wird der Heber 255 nach unten bewegt, um die Scheibe W auf dem Drehspannfutter 250 zu platzieren.
Hiernach wird die temperatur-geregelte Abdeckung 271 nach unten zu einer Position nahe bei der auf dem Drehspannfutter 250 gehaltenen Scheibe W bewegt. Wie in 10 gezeigt, werden, da die Abdeckung 271 unabhängig von der Düseneinheit 280 ist, deren Temperaturen individuell geregelt.
Insbesondere steht die innere Passage 272 der temperatur-geregelten Abdeckung 271 mit einer ersten temperatur-geregelten Wasserzirkulationsvorrichtung 106a in Verbindung. Auf der anderen Seite steht die innere Passage 282 der Düsenanordnung 280 in Verbindung mit einer zweiten temperatur-geregelten Wasserzirkulationsvorrichtung 106b. Die Passage einer Düse 281 steht mit einem Tank, welcher eine verdünnte wässrige Lösung einer Fluorwasserstoffsäure (nicht gezeigt) beinhaltet, in Verbindung. Die von der Düse 281 zugeführte wässrige Fluorwasserstoffsäure-Lösung wird durch eine zweite temperatur-geregelte Wasserzirkulationsvorrichtung 106b auf eine Temperatur von etwa 70°C eingestellt.
Wie in 11 gezeigt, werden die Temperaturen des Drehspannfutters 250 und des Hebers 255 in dem zweiten Waschbehandlungsbereich 26 individuell geregelt. Insbesondere steht die innere Passage 257 des Hebers 255 in Verbindung mit einer dritten temperatur-geregelten Wasserzirkulationsvorrichtung 106c. Auf der anderen Seite steht die innere Passage 252 des Drehspannfutters 250 in Verbindung mit einer vierten temperatur-geregelten Wasserzirkulationsvorrichtung 106d. Die Temperatur der Scheibe W, welche auf dem Drehspannfutter 250 gehalten wird, wird durch die dritte und vierte temperatur-geregelte Wasserzirkulationsvorrichtung 106c und 106d auf eine Temperatur von etwa 70°C eingestellt.
Die temperatur-geregelte Abdeckung 271 wird nahe bei der Scheibe W auf dem Drehspannfutter 250 positioniert. Dann wird, während die Scheibe W bei niedriger Geschwindigkeit rotiert wird, eine verdünnte wässrige Lösung einer Fluorwasserstoffsäure zum Waschen derart auf die Scheibe W aufgebracht, dass sie die Scheibe W bedeckt. Danach wird die Rotation der Scheibe W begrenzt, um der Waschlösung zu erlauben, mit der Oberfläche der Scheibe W für eine vorab bestimmte Zeit in Kontakt zu stehen. Auf diese Weise wird die Oberfläche der Scheibe W mit der verdünnten wässrigen Fluorwasserstoffsäure-Lösung chemisch gewaschen (geätzt). Nach Beendigung des chemischen Waschens wird die Scheibe W zu einer Wasch-/Trockenbehandlungseinheit 27 transferiert, in welcher die Scheibe gespült und durch Rotieren bei hoher Geschwindigkeit getrocknet wird.
Die vollständig gewaschene Scheibe W wird wiederum durch den zweiten Arm des Hauptarms 20 aus der Wasch-/ Trockenbehandlungseinheit 27 herausgenommen und über die Klappe 31a von dem Abstützarm 30 des Scheibentransferbereichs 3 aufgenommen. An diesem Punkt sind, da die Scheibe W nach erfolgter Waschung von der Abstützfläche 30b, aber nicht von der Abstützfläche 30a, welche vor dem Waschen unbehandelte Scheiben W abstützt, angenommen werden, die Scheiben vollständig frei von Partikel-Anhaftung. Somit wird die Scheibe W nach erfolgter Waschung ohne Kontamination in der Kassette in der luftdichten Kammer 11 eingehaust.
Wenn die Scheibe W durch die oben beschriebenen Arbeitsschritte gewaschen wird, können Verunreinigungen, wie Partikel, organische Materialien und Metallverschmutzungen, vollständig entfernt werden und, zur gleichen Zeit, die Scheibe W nach erfolgter Waschung in einem sauberen Zustand gehalten werden.
Wie in 12 gezeigt, kann zwischen der temperaturgeregelten Abdeckung 371 und dem Drehspannfutter der Scheibe W ein Lager 340 vorgesehen sein. Wenn dies vorgesehen ist, kann die temperatur-geregelte Abdeckung 370 in enge Nachbarschaft zu der Scheibe W gebracht werden, wodurch der Effekt, der durch die Regelung der Temperaturen der von einer Düse 370 zugeführten Waschlösung und der Scheibe W bereitgestellt wird, erhöht werden.
Wie in 13 gezeigt, können die temperatur-geregelte Abdeckung 471 und die Düseneinheit 480 separat vorgesehen sein und die temperatur-geregelte Abdeckung 471 kann mittels eines Zahnriemen-Antriebsmechanismus 490, 491 und 492 rotiert werden. In diesem Fall wird die Abdeckung 471 wünschenswerterweise synchron mit dem Drehspannfutter 450 in im Wesentlichen der gleichen Richtung bei im Wesentlichen gleicher Geschwindigkeit rotiert.
Gemäß der oben beschriebenen Vorrichtung wird ein ansteigender Fluss von Spiralluft in dem Bereich direkt oberhalb der Scheibe W kaum erzeugt, so dass keine Partikel in die Düse 481 eingezogen werden. Als Ergebnis hiervon kann ein sauberes Waschergebnis erzielt werden. Die Vorrichtung dieser Ausführungsform ist effektiv beim Waschen großflächiger Substrate, so wie beispielsweise Glassubstrate für LCDs.
Gemäß der Vorrichtung zur Waschbehandlung der vorliegenden Erfindung kann ein Substrat mit einer Waschlösung, welche bei einer vorab bestimmten Temperatur gehalten wird, gewaschen werden. Zusätzlich kann die Waschlösung in einer konstanten Menge zugeführt werden und das Waschen kann in einer konstanten Zeit ausgeführt werden. Als Ergebnis hiervon kann der Durchsatz und erhöht und Kosten gespart werden.

Claims

Vorrichtung zur Waschbehandlung, umfassend: eine Zufuhrquelle (102) für eine Waschlösung, welche mit einer zum chemischen Waschen eines Substrats benötigten Waschlösung befüllt ist; ein Drehspannfutter (50, 250, 350, 450) zum rotierenden Halten eines zu behandelnden Substrats; eine mit der besagten Zufuhrquelle für eine Waschlösung in Verbindung stehende Düse (70, 281, 370, 481) zum Zuführen der besagten Waschlösung von der Zufuhrquelle für eine Waschlösung auf das in dem besagten Drehspannfutter gehaltene Substrat; Temperaturregelelemente (100, 106, 106b) zum Regeln der Temperatur der von der Düse zu einem Substrat zuzuführenden Waschlösung; wobei die Vorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass sie des weiteren eine temperatur-geregelte Abdeckung (71, 271, 371, 471), welche derart nahe bei dem Drehspannfutter vorgesehen ist, dass sie ein in den Drehspannfutter gehaltenes Substrat abdeckt, um eine wesentliche Temperaturänderung der auf dem Substrat vorliegenden Waschlösung zu verhindern, umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren Abdeckungs-Umsetzelemente (75) zur Bewegung der besagten temperatur-geregelten Abdeckung (71, 271, 371, 471) auf das in dem besagten Drehspannfutter (50, 250, 350, 450) gehaltene Substrat hin und von diesem weg umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren zweite Temperaturregelelemente (100, 106a) zur Regelung der Temperatur der besagten temperatur-geregelten Abdeckung (71, 271, 371) umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren zweite Temperaturregelelemente (57, 100, 106c, 106d) zur Regelung der Temperatur des besagten Drehspannfutters (50, 250, 350, 450) umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren zweite Temperaturregelelemente (100, 106b) zur Regelung der Temperatur der besagten Düse (70, 281, 370, 481) umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren Spülelemente (80, 104) zum Zuführen einer Spüllösung zu einem in dem besagten Drehspannfutter gehaltenen Substrat umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Zufuhrquelle für eine Waschlösung (102) eine alkalische Waschlösung und eine saure Waschlösung enthält.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren ein Lagerelement (340) zum in Kontakt bringen der besagten temperatur-geregelten Abdeckung (371) mit dem besagten Drehspannfutter (350) umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren Mittel (490, 491, 492) zum synchronen Rotieren der besagten temperatur-geregelten Abdeckung (471) mit dem besagten Drehspannfutter (450) umfasst.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten temperatur-geregelte Abdeckung (71, 371) fest an der besagten Düse (70, 370) eingebaut vorgesehen ist.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagten temperatur-geregelte Abdeckung (71, 471) getrennt von der besagten Düse (281, 481) vorgesehen ist.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des weiteren umfasst: Umsetzelemente (20) zum Umsetzen eines Substrats; und Hebeelemente (55, 56, 255, 355, 455) zum Anheben eines Substrats von dem besagten Drehspannfutter (50, 250, 350, 450), um das besagte Substrat zwischen den besagten Umsetzelementen und den besagten Hebeelementen umzusetzen.
Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein unterer Umfangsanteil (72a) der besagten temperatur-geregelten Abdeckung (71, 271, 371, 471) nach unten zu einer Position, welche niedriger ist als ein unterer zentraler Anteil der Abdeckung, hin herausragt.
Verfahren zur Waschbehandlung, umfassend: (a) rotierendes Halten eines Substrats auf einem Drehspannfutter; (b) Platzieren einer temperatur-geregelten Abdeckung nahe bei dem Substrat, so dass das auf dem Drehspannfutter gehaltene Substrat abgedeckt ist; (c) Zuführen einer Waschlösung, welche im wesentlichen die gleiche geregelte Temperatur besitzt wie die temperatur-geregelte Abdeckung, zu dem auf dem Drehspannfutter gehaltenen Substrat, wodurch das Substrat mit der Waschlösung gewaschen wird; wobei die temperatur-geregelte Waschlösung, während die besagte temperatur-geregelte Abdeckung nahe bei dem Substrat positioniert wird, dem besagten temperatur-geregelten Substrat zu geführt wird; und (d) Trennen des auf dem Drehspannfutter gehaltenen Substrats von der temperatur-geregelten Abdeckung.
Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass in dem besagten Schritt (a) ein auf dem besagten Drehspannfutter befindliches Substrat aufgeheizt und bei einer Temperatur im Bereich von 60–90°C gehalten wird; dass in dem besagten Schritt (b) die besagte temperatur-geregelte Abdeckung aufgeheizt und bei einer Temperatur im Bereich von 60–90°C gehalten wird; dass in dem besagten Schritt (c) die besagte Waschlösung aufgeheizt und bei einer Temperatur im Bereich von 60– 90°C gehalten wird.
Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Waschlösung dem besagten Substrat zugeführt wird, während das Substrat bei einer ersten Rotationsgeschwindigkeit gedreht wird, und dass dann die Rotation des Substrats beendet wird, wobei das Substrat in einem Zustand verbleibt, in dem es für eine Weile von der Waschlösung bedeckt ist, und dass des weiteren das Substrat bei einer zweiten Rotationsgeschwindigkeit, welche schneller ist als die erste Rotationsgeschwindigkeit gedreht wird, um die Waschlösung von dem Substrat zu trennen.
Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass es des weiteren das Spülen des Substrats mit einer Spüllösung umfasst, während das Substrat zusammen mit dem Drehspannfutter rotiert wird.
Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte temperatur-geregelte Abdeckung (471) synchron mit dem Drehspannfutter (450) rotiert wird.