WO2010013843A1 - 積層インダクタ、その製造方法、及び積層チョークコイル - Google Patents

Abstract

　良好な直流重畳特性を有するとともに温度特性のばらつきを生じることなく、且つ層間剥離の発生を抑制して、安定生産可能な積層インダクタとその製造方法、及び積層チョークコイルを提供する。電源回路のチョークコイルとして用いられる積層インダクタ（１０）であって、Ｎｉ－Ｚｎ－Ｃｕフェライトからなる複数の磁性体層（３）と、磁性体層（３）を介して積層されることによりコイルを構成する複数の導体層（２）と、複数の磁性体層（３）に接するように形成されＴｉ－Ｎｉ－Ｃｕ－Ｍｎ－Ｚｒ－Ａｇ系誘電体からなる少なくとも一つの非磁性層（４）と、を備える直方体形状の積層体チップ（１）、および積層体チップ（１）の端部に設けられコイルの端部に導電接続された少なくとも一対の外部電極（８）、を有する。

Description

ダクタ、 その製 法、 ヨ ク イ 術分野

、 積層 ダクタ 特に、 C C ン タに用 られる ワ チョ に関するものである。

C C タ た電源 途の ワ チョ にお て重要な 品特性として重畳 性がある。

ワ チョ ( チョ ) にお ては、 磁束の 中する 場所に非 を磁性 との によ て 成することによ て 和を抑 制し、 重畳 性を向上さ る 法が られて る。

このよ な手法のひ して、 特許 2には、 例え 、 構成 素が を構成する z C ラ に近 Z C ラ とするこ が記載されて る。

また、 特許 3には、 Z e O。 、 a O 、 ジ ラ 系セラ ツクス、 a S 系セラ ツクス、 Ca S セラ ッ の ずれ よりな セラ ック を として るこ が記載されて る。

し し、 特許 3には、 磁性 して Z ラ を用 るこ に ては記載がな 、 また、 してはZ e2 ラ ) が具体的に記載されて るにすぎず、 具体的に記載されて な 。

、 特許 4には、 Z O ０・ ～ w C O 5～6 O

W 2～2 O 2 ０ 5w 配合し、 その 計が ０ なるよ にした 。 が 記載され、 特許 5には、 O (・０ 5・０ W ) (０・2～ ) O０・5～ 4w ) ０・1～０ )および O らなるこ を特徴 する誘電 。 が記載されて るが、 ずれも、 ダクタ ・ ンデンサ 品の ンデンサ部の材料として るこ が示唆されて るだ けで、 積層 ンダクタの として ることは示されて な 。

し しながら、 特許 2に記載されて るよ に、 Z C フ ラ した場合には、 同時 にお て、 Z C ラ Z 分が Z C フ ラ に拡散し、 また、 Z C ラ の 分がZ C ライトに拡散して、 度が に変化する Z C ライト層を形成してしま 、 拡散 伴 キ リ 点の なる Z C ライト な ており、 温度上昇に伴 て、 度の ころ ら、 磁性体 ら 性体に変 する。 したが て、 温度に

け上の非 の みが するため、 製品の 性を悪 さ てしま 題があ た。

また、 積層チョ イ は、 イ を構成する 性体 が交互に積 層され間に非 が少な も一 入される 域 、 その 向 下にそれぞれ 置され イ の 側に形成される イ 側に形成さ れる を なぐヨ クの きをする 性体層 らなるヨ ク 域とを有する。 このため、 積層チョ イ 成の際に、 イ を構成する 域に お ては イ を構成する を構成する金属の 性体 を構成する 料の とが相互に影響しあ ながら 進行する一方、 ヨ ク 域にお て は 料を主体 する 進行し、 両者の間に潜在 力が生じやす 。 このた 、 イ を構成する 域内に配置され、 磁性体 イ との が低 分が潜在 和のはけ なり、 、 これに接 する 性体 し は イ を構成する との間に、 離が生じやす 。

Z C ライト 外の 料としてはガラス系の材料が一般的に知ら れて るが、 線膨張 数が ライト 異なるため、 同時 すると接合 面に 間 離が発生する。

また、 磁性 同時 可能な 料として を適用し たが、 相互 面の 成が 分ではな 、 での 離を生じるものがあ た 特許 97245

2 2 44 37

3 97256

4 2977632

5 8 8 8 明の 明が解決しよ とする課題

前記事情に みて創作された ので、 良好な 性を有するとと もに温度 性のばら きを生じることな 、 離の 生を抑制して、 安定 能な インダクタ その製 法、 チョ イ を提供するこ を目的 する。 題を解決するための

明にお ては、 上記の 題を解決するために、 以下の 段を採用する。 ( ) 路のチョ イ として られる インダクタであ て z ライト らなる複数の 性体 、 性体 を介して積層され るこ により イ を構成する複数の 、 前記 数の 性体 に接するよ に形成され C Z 系 体 らなる少な とも一 の 備える直方体形状の チップ、 および チップの に設けられ イ の に導電 続された少な とも一対の 部電極、 を有す る。

(2) チップは、 前記 性体 Z C ライト 前記

C 系 が相互 散して 面を 成して る前記 ( ) の インダクタ。

(3) 主成分とし、 O C O 。 Z 、 し は を含有する誘電体 らなる E ( ) 又は (2) の イ ダクタ。

(4) 算で O 2・ ０～ 5 、 C O 5～6・ 3 2～2 z O

～ ０ ０ ～ 含み、 その 計が

となるよ に構成されたものである (3) の イ ダクタ。

(5) e O 、 O z O、 C Oを含有する ライト 末の ス トを準備する工程 O を主成分 し、 O C O O z O 、 し は を含有する誘電 末の ス トを準備する工程 、 前記 ライト 末の ス トの により 成された 性体 ト上に導電 スト タ を印刷 、 これを上下に接する前記 性体 ト間 導 ス ト タ がス ホ を介して に接続され イ が 成されるよ に 末の ストの により 成される トもし は 末の ストの により 成される タ ンが間に少な とも 一 入されるよ に、 積層 着して積層 とする工程と、 この を焼 して 積層 チップを得る 有する イ ダクタの製 。

(6 e2 O z O、 C を含有する ライト 末 ス トを準備する工程 O を主成分 し、 O C O O Z O 、 し は を含有する誘電 末の ストを準備する工程 ライト 末の ストの により 成された 性体 ト上に、 ス ト タ ンの 、 磁性体 スト タ ンを得るための ライト 末の ス トの とを、 交互に、 末の ス トの により 成される タ ンが間に少な も一 入されるよ に行な て積層 する工程 、 この を焼 して積層 チップを得る工程と、 を有する イン ダクタの製 。

(7) を焼 して積層 チップを得る工程が、 前記 性体 トもし は 性体 スト タ ら 成される 性体 Z C ライト 前記 ト し は タ ン ら 成される

C Z 系 を相互 させて 面を形成さ る前記 ( 5) 又は (6) の イ ダクタ 製 。

(8) 末として、 、 O 2・ 0～ 5 、 C O 5～6 O O 2～2０ z O ０

、 ０ ０ ～ 配合し、 その 計が ０ なるよ に構成されたものを用 る前記 (5) (6) の イ ダクタの 製 。

(9) イ を構成する 性体 が交互に積層され間に非 が少な も一 入される 域 、 その 向の 下にそれぞれ 置され イ 側に形成される イ の 側に形成される とを なぐヨ ク の きをする 性体層 らなるヨ ク 域 を有する チョ イ にお て 、 前記 性体 Z ライト らなり、 前記

C Z 系 体 らなる。 明の

明によれば、 良好な 性を有する もに温度 性のばら きを生 じることな 、 離の 生を抑制して、 安定 能な イ ダクタ、 積層チョ イ を提供することができる。

明の 的 それ以外の 的 、 構成 徴 、 作用 、 以下の 明 面によ て明ら となる。

明の イ ダクタの 部構造を示す 断面図である。

2は 明の イ ダクタの チップの 部構造を示す で ある。 3は 明の インダクタ と比較 の イ ダクタにおける 性体 と非 との 面の にお て破線で囲まれる の 面を 走査 子顕微鏡 ( ) で観察した状態を示す図であり、 3 (a) は実施 の インダクタを示し、 3 (b) は比較 の イ ダクタを示す。

4は の ( dは がメタ として に分離して 出して る様子) を示す図である。

5は実施 比較 の イ ダクタにおけるイ ダクタンスの

化を示す図である。 明を実施するための 良の

明の イ ダクタの 態に て説明する。 示すよ に 、 態の イ ダクタ ０は、 直方体形状の チップ と、 積層 チップ の に設けられた 等の金 料 ら成る外部電極8 8 を備える。

2に示されるよ に、 積層 チップ は イ を構成する複数の 2 2 が 性体 3を介して積層された構造を有しており、 積層 チップ の

央に 性体 3 な も一 置換する形態で非 4が されて る 明にお て、 積層 チップ は、 z C ライト らなる複数 の 性体 3 3 C Z 系 体 らなる

4とを含む。 Z C ライト しては、 e2 OとZ OとC Oとを含有するフ ライトである。 また、 上記 C

Z A 系 体 らなる 4は、 O を主成分とし、 O、 C X、 O z O 、 O ( Oの わりにA を用 ても良 を含有する誘電 であり、 O に、 O 2・ ～ 5 、 C O ・ 5～6・ ０ 2～2０ z O ～

、 ～ 配合し、 その 計が

なるよ にしたものであるこ が好まし 。

4に してC O O を加えることにより、 成 際に、 れらが O の 部と反応してC 系の液相を生成し、 この 相生成により O が低温で 化し、 粒子の 長が急速に進行する。 方、 Z O は、 O C O O 比 て 点が高 ため、前記C

系 液相にZ が加わることにより、 相の びに粘度が高 なり、 その 果、 O 子の による 長の 度が調整され、 酸素欠陥 な O が得られる。 明にお ては、 上記のよ 、 さらに ( し は ) を添加して 4を構成するこ により、 面における材料 分 散を促進し、 面強度を改善した。 すなわち、 磁性体 3の Z C ライト 4の C Z 系 、 同時 によ 相互 散して 面を形成して る。 3に示されるよ に、 を 添加した を備えることにより 加の を備える場合よりも、 相互 促進される。 面に e 生成し、 磁気 層を形成 して る 推定される。

また、 上記のよ 、 さらに もし は ) を して 4を構成することによ 、 積層チョ イ の 程における 冷却 程で、 4に示されるよ に、 がメタ 分として 4内に 料 ら分離して 出する。 このため、 磁性体 3の ライト 4の O の間に発生する 力を緩和し、 離 生を抑制すると もに 、 イ ダクタンスの 下を抑制し、 また、 主成分とする

材の特性悪 を生じな 。

成分である 5 上が好まし 、 7 ～98 がより 好まし 。

O 有量は、 ・ より少な 、 、 イ ダクタ ス 下 制 果が充分でな 、 超えると、 効果が 和すると共に、 子同士が相互 続されたネットワ ク 造が形成されて絶縁 としての 性 が急激に低下するので、 ・ ～ 好まし 。

性体 3の それぞれには、 等の金 料 らなり イ を構成する 形 2が配されて る。 また、 磁性体 3のそれぞれには、 と下 の 2 2を磁性体 3 3をそれぞれ して 続するためのス ホ 55が イ を構成する 2 2の と重なるよ に形成されて る。 ここで のス ホ 5 5 は、 磁性体 に予 成した孔に イ を構成する と同一 料を充填したものを指す。

上部 下部の 性体 ヨ ク 7、 7であり、 イ の 側に形成さ れる イ の 側に形成される とを なぐヨ クの きをするとともに 部の ジンを確保するためのもので、 性体 には イ を構成する 層及びス ホ は形成 れて な 。

4の には、 等の金 料 らなり イ を構成する 形 2が配されて る。 また、 4には、 と下 2 2

4を介して 続するためのス ホ 5が イ を構成する 22の と重なるよ に形成されて る。 イ を構成する 2 2 はス ホ 5 5 を介 し 続されて イ を構成する。 イ を構成する最上位の 2 最 下位の 2にはそれぞれ 出し部6 6が設けられて て、 引出し部6 6の ち 外部電極8 8の 方に接続され、 引出し部6 6の ちの 電極8 8の 方に接続されて る。

次に、 明の インダクタの製 法の 態に て説明する。 まず、 積層イ ダクタの製造に際しては、 Z C ライト らなる 率の 性体 3を構成するための 性体 ト ( ライト ト) を作製 する。 体的には、 e O 、 O C O z Oを 料とする

ライト 粉末に タノ 等の溶剤とP 等の インダを添加、 混合し て ライト 末の ス トを得た後、 この ライト 末の ス トをP 等 の ィ ム上にドクタ ド の 法によ て 布して 性体 ト ( ライト ト) を得る。

また、 C 系 体 らなる (4) を 成するため ト ( ト) もし は タ を作製する 。 体的には、 主成分とし、 O C 。 Z O 、

( し は ) を含有する誘電 末に、 上記 同様に、 剤と イ ダを添加、 混合して 末の ス トを得た後、 この 末 ストを P 等の ィ ム上にドクタ ド スラリ ビ ド 法によ て 面 布して ト ( ト) を、 もし は タ 状に印刷して タ ンを得る。

そして、 磁性体 ト トにス ホ 5を形成するため 孔を金 型による ち抜きや ザ 工による の 法によ て所定配 で 成する。 そして、 ス ホ を形成するための孔を形成した後の磁性体 ト 非 ト上にスク の 法によ て、 イ を構成する 2を形成す るための ストを所定 タ で する。 ここでの ストには例え を主成分 した金属 ス トが用 られる。

次に、 スト の 性体 ト び非 トを、 上下 ト ス ト タ 2がス ホ 5を介して に接続 れ イ が 成されるよ に積層 着して積層 を得る。 ここでは 性体 ト 3

ト4を 2のよ 構造が得られる 序で積層する。

そして、 積層 を単位 法に切断してチップ状の積 を得る。 このチップ状の 。

積 を空気中にて 4 ０～5 Cで ～3 間加熱して イ ダ 分を除去 し、 インダ 去後 チップ状の積 を空気中にて85０～92 。Cで ～3 する。 部電極を形成するため、 の チップの ディッ の 法 によ て ストを塗布する。 ここでの ストには例えば を主成分 とした前記 様の ス トが用 られる。 ス ト の チップ を空気中にて 5０ ～ 。

8 CでO・ 2 2 して外部電極とする。

に、 部電極に S 等のメッキ 理を施して、 積層インダクタ ０を得る 次に、 明の インダクタの製 法の 2の 態に て説明する。 ( )

まず、 積層イ ダクタの製造に際しては、 z C ライト らなる 率の 性体 を構成するための 性体 ト ( ライト ト) を作製す る。 体的には、 e O 、 O C O z Oを 料とする

ライト 粉末に タノ 等 溶剤 PV 等の イ ダを添加、 混合して ライト 末の ストを得た後、 こ フ ライト 末の ストをP 等の ィ ム上にドクタ ド の 法によ て 布して 性体 ト ( ライト ト) を得る。

次に、 前記 性体 ト上にスク ン 法によ て、 イ

を構成するための ス トを所定 タ ンで する。 ここでの スト には例えば を主成分 した金属 ス トが用 られる。

次に Z C ライト らなる 率の 性体 を構成するため 性体 タ ン ( ライト タ ン) を作製する。 体的には、 e O 、 O C O z Oを 料 する ライト 粉末に タノ 等の溶剤 PV 等 インダを添加、 混合して 性体 ス ト ( ライト 末の スト) を得た後、 この ライト 末の ストを前記で 成された タ 上にその 端を 出するよ に印刷して 性体 タ ン ( ライト ) を得る。

同様に前記 性体 タ 上にスク ン の 法によ て、 イ を構成する を形成するための ス トを前記で 成した スト タ ンの 端に接続するよ に所定 タ ンで する。

同様に、 磁性体 タ ン ス ト タ をスク

段により交互に印刷する。

次に C Z 系 体 らなる を構成す るための タ ( タ ) を作製する。 体的には、

主成分とし、 C O Z O 、 ( し は を含有する誘電 末に、 上記 同様に、 剤と インダを添加、 混合して 末 ス トを得た後、 この 末の ス トを前記で得られた 上に タ ン状に印刷して タ ンを得る。

同様に、 磁性体 タ ン ス ト タ をスクリ の 段により交互に印刷する。

そして、 得られた を単位 法に切断してチップ状の積 を得る。 この を空気中にて 4 ～5０ Cで ～3 間加熱して イ ダ 分を除去し 、 インダ 去後のチップ状 積 を空気中にて85 ～ 2Oxで ～3 する。

部電極を形成するため、 の チップの ディッ

によ て ス トを塗布する。 ここでの ストには例え を主成分 とした前記 様の ス トが用 られる。 スト の チップ を空気中にて 5０ ～8 O。

CでO・ 2 2 して外部電極とする。 後 に、 部電極に S 等のメッキ 理を施して、 積層インダクタを得る。 また、 積層チョ イ を製造する場合には、 イ 体と z C ライト らなる 性体 とを交互に積層 間に C Z 系 体 らなる を少な とも一 入して イ を構成する 域を形成し、 その 向の 下に、 イ の 側に形成される イ の 側に形成される を なぐヨ クの きをするよ に、 磁性体層 らなるヨ ク 7 7をそれぞれ 置し、 上記 同様の 件で焼 する。

際に、 イ を構成する 域にお ては イ を構成する を構 成する金属の 性体 を構成する 料の とが相互に影響しあ なが ら 進行し ヨ ク 7 7にお ては 料を主体とする 進行す るため、 両者の間に潜在 力が生じるが、 明にお ては、 、

主成分とし、 O C O O Z O 、 A を含有する誘電 ) らなるので、 磁性体 非 との間 に発生する 力が緩和され、 離が抑制される。 下、 実施 により、 明をさらに詳細に説明する。

に示された組成の Z C ライトの 末に対して、 タノ ( ) とP A系 イ ダを添加、 混合して、 ライ 末の ス トを準備 し、 これをP フィ ム上に 布し、 磁性体 ト ( 性体 ) 3を得た。 また 、 に示されるよ に 主成分 し、 C O Z および を含有する誘電 ( ) の 末に対し て、 同様に溶剤と イ ダを添加、 混合して 末の ス トを準備し、 これ をP ィ ム上に 布し、 ト ( ) 4を得た。 ０ られた グリ トに導電 スト タ ( イ を構成する 形の ) 2を印刷、 積層して積層 を作成し 得られた を単位 法に切断し てチップ状の積 を得た。 られたチップ状の積 5 ０。

Cで 間加熱し て イ ダ 分を除去し 9０ 。

Cで した。 得られた 2に分解 で示す 造の チップ の 部電極8 8を付け S のメッキ 理を実施して実施 の インダクタ を得た。 示された組成 z C ライトの 末に対して、 タノ ( ) PV 系 イ ダを添加、 混合して、 これをP フィ ム上に 布し ０ 、 磁性体 ト ( 性体 ) を得た。 また、 に示 れるよ に 主成 分 し、 O C O およびZ O 含有する誘電 (

O ) 末に対して、 同様に溶剤と インダを添加、 混合して 末の ス トを準備し、 これをP ィ ム上に 布し、 ト ( ) を得た。

5 られた グ トに導電 スト タ ン ( イ を構成する 形の

) を印刷、 積層して積層 を作成し 得られた を単位 法に切断して チップ状の積 を得た。 られたチップ状 積 5０ 。

Cで 間加熱して インダ 分を除去し 9０ 。

Cで した。 得られた チップに 部電極を付け S メッキ 理を実施して比較 の イ ダクタ

20 を得た。

( )

得られた実施例及び の イ ダクタにおける 性体 非

25 の 面の 面を走査 子顕微鏡 ( ) で観察した状態を図3に示す。

3 (a) は実施 の インダクタ を示し z C ライト らなる 性体 3 3と を添加した 材 らなる 4と が相互 散して 面を形成して、 接合して る。 3 比較 の ダクタを示し Z C ライト らなる 性体 3 3

加の 材 らなる 4 とが相互 散して 面を形 成して、 接合して る。 3 (b) に示すよ にA 加の の イ ダ クタの 合には、 相互 散の ( ) は ・ であるの に対して、 3 (a) に示すよ に 加の の インダクタの 合には 、 相互 散の ( Cの ) は3・ 2 な ており、 O

を添加することにより、 相互 促進されるのが分 る。

( )

同様にして実施 の イ ダクタの の 織を観察した状態 ０ を図4に示す。 dで示すよ に、 がメタ として の に分 離して 出して るこ が確認 れた。 は 果を持 して 相に溶解するが冷却 階で 出するため、 材料 品性を低下すると た 悪影響がな 。

(イ ダクタ ス

5 られた イ ダクタのイ ダクタンス値を表2に示す。 2より、

O を添加した量が多 なるほど、 インダクタ ス値は大 き なるこ が分 る。

2

A \ イン ウタ ス

2

0・０ 1 3

０・ 1０5

1・ 2

・2

20 ( )

られた イ ダクタのイ ダクタンスの 化を測定した。 Z C ライトを して た インダクタの 性と合わせて 5に示す O を非 に用 た イ ダクタは、 Z C ライ トを に用 た イ ダクタ 比較すると、 温度によるイ ダクタ スの

25 、 ０分の 下とな て る。 を添加した O を 非 に用 た 明の の イ ダクタは、 さらに温度 性のばら き が小さ な て る。

( )

られた イ ダクタ ０ 個を中心部まで研磨 、 Z C ラ

30 イト O の 面をS にて観察し、 離の 無を確認、した。 のために O を に用 た イ ダクタに ても同様に 離の 無を確認、した。 その 果を表3に示す。 O を非 に用 た イ ダクタ 合、 O のみを に用 た インダクタの 合と比 較して が顕著に小さ なり、 特に、 を添加した 明 イ ンダクタは 離が認められな た。 O2

00 5 0

( 出量)

散を促進する成分を表4に示す。 4に示される成分のも を し 。

て、 上記 の 順でチップ状の積 を作製し、 9０ Cで して、 相互 の 成が同等の3 角のサンプ ( ) を得た。 こ 板を 産に 用 るメッキ液に 、 材料 分の 出量を測定した。 を添加した O

を非 に用 たサ プ の 合、 材料の 品性が低下しな ため 、 メッキ液に溶出することがな こ が確認 れた。

4

上のとおり、 明の イ ダクタは、 良好な 性を有するととも に温度 性のぼら きを生じるこ な 、 離の 生を抑制される 果が確認 れた。 号の

チップ

2 イ を構成する ( スト タ ) 3 性体 ( 性体 ト) 4 ( ト) 5 ス ホ

6 し部

7

8 部電極

イ ダクタ C

A

Claims

求の ・ 路のチョ イ として られる イ ダクタであ て

Z C ライト らなる複数の 性体 、 性体 を介して積層 れるこ により イ を構成する複数の 、 前記 数の 性体 に接す るよ に形成され C Z 系 体 らなる少な も一 の 備える直方体形状の チップ、 および チップの に設けられ イ の に導電 続された少な とも一対 の 部電極、 を有することを特徴とする イ ダクタ。

・ チップは、 前記 性体 z ライト 前記

C Z 系 が相互 散して 面 を形成して ることを特徴 する に記載の イ ダクタ。

・ 主成分とし、 O C O Z O し は を含有する誘電体 らなるこ を特徴 する 又は2に記載の インダクタ。

・ 、 酸化物 算で O 2・ ０～ 5 、 C

5 6・ 0 O ０ 2～2 z O ～ ０ ０ 含み、 その 計が 0 となるよ に構成されたものであるこ を特徴とする 3に記載 の インダクタ。

・ e O 、 O Z O、 C Oを含有する ライト 末の ス ト を準備する工程 主成分とし、 O C O O Z 、 し は を含有する誘電 末の ストを準備する 、 前記 ライト 末の ス トの により 成された 性体 ト に導電 ス ト タ ンを印刷 、 これを上下に接する前記 性体 トの スト タ がス ホ を介して に接続され イ が 成されるよ に 末の ス トの により 成される トもし は前記 末の ストの により 成される タ ンが間に少な とも 入されるよ に、 積層 着して積層 とする 、 この を焼 して積層 チップを得る 有することを特 徴とする イ ダクタの製 。

・ e O 、 O z O、 C Oを含有する ライト 末の スト を準備する工程と O 主成分とし、 O C O O Z 、 し は を含有する誘電 末の ストを準備する 、 前記 ライト 末の ス トの により 成された 性体 ト に、 ス ト タ の 、 磁性体 ス ト タ を得るための ライト 末の ス ト とを、 交互に、 末の ストの によ 成される タ が間に少な とも一 入される よ に行な て積層 する工程 、 この を焼 して積層 チップを 工程 、 を有するこ を特徴とする イ ダクタの製 。

・ を焼 して積層 チップを得る工程が、 前記 性体 トもし は 性体 ス ト タ ら 成される 性体 Z C フ ライ ト 前記 ト し は タ ン ら 成される

C z を相互 さ て 面を形成さ るものであるこ を特徴とする 5又は6に記載 インダクタの製 。

・ 末として、 酸化物 算で、 、 O 2・ ～ 5 C O 5～6・ ０ 2～2 z ・ ～ 、 ０ 含み、 その 計が となるよ に構成されたものを用 ることを特徴とする 5又は6に記載の インダクタの製 。

・ イ を構成する 性体 とが交互に積層され間に非 が少な とも一 入される イ 体形成 域 、 そ 向の 下にそれぞれ 置され イ の 側に形成される イ 側に形成される とを ヨ クの きをする 性体層 らなるヨ ク 域とを有する チョ イ にお て、 前記 性体 Z C ライト らなり、 前記

C Z 系 体 らなるこ を特徴 とする チョ イ 。