TWI376524B - Catadioptric projection objective - Google Patents

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TWI376524B
TWI376524B TW094101175A TW94101175A TWI376524B TW I376524 B TWI376524 B TW I376524B TW 094101175 A TW094101175 A TW 094101175A TW 94101175 A TW94101175 A TW 94101175A TW I376524 B TWI376524 B TW I376524B
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David Shafer
Wilhelm Ulrich
Aurelian Dodoc
Buenau Rudolf Von
Hans-Juergen Mann
Alexander Epple
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Zeiss Carl Smt Gmbh
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Description

1376524 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】
本發明有關一種將配置在物體平面中的圖案成像至影像 平面的折反射投射物鏡。 【先前技術】 該類型的投射物鏡係用在投射曝光系統（尤其是製造半 導體裝置及其他類型微裝置所用的晶圓掃描器或晶圓步進 器）上，並可用來將光遮罩或光罩（以下通稱為”遮罩"或"光 罩"）上的圖案以縮減的比例投射至具有超高解析度之光敏 塗層的物體上》 為了建立更精細的結構’吾人已研究可增加有關之投射 物鏡的影像端數值孔徑（NA)及採用較短波長，較佳為波長 ’小於約260 nm的紫外光》 然而’可用的材料卻非常少’尤其是在可用於製造所需 光學元件之波長範圍中有足夠透明度的合成石英玻璃及結 晶氟化物。由於這些可用材料的阿貝數（Abb0 number)彼此 相近’因此报難提供色彩校正夠優良（色像差校正）之完全折 射的系統。 有鑑於上述問題，配置上述類型的高解析度投射物鏡時， 主要採用結合折射及反射元件（即，尤其是透鏡及鏡面）的折 反射系統。 有關材料的高價位及尺寸大到足以製造大型透鏡之結晶 氟化鈣的有限可用性更是一大問題，尤其對於如na=〇 8〇 及更大之極大數值孔徑（να)之15 7 nm的微影蝕刻領域更是 98927.doc 1376524
如此。因此需要允許縮減所用透鏡數目及尺寸且同時有助 於維持或甚至改良成像保真度的測量。 吾人為提供具有良好色彩校正與適度透鏡質量需求的系 統’已提出具有至少兩個凹面鏡的折反射投射物鏡。美國 專利6,600,608 B1揭露一種折反射投射物鏡，其具有：第一 完全折射物鏡部分，用於將配置在投射物鏡之物體平面中 的圖案成像為第一中間影像；第二物鏡部分，用於將第一 中間影像成像為第二中間影像；及第三物鏡部分，用於將 第二中間影像直接成像（沒有其他中間影像）至影像平面上。 第二物鏡部分係為折反射物鏡部分，其具有含中心孔的第 一凹面鏡及含中心孔的第二凹面鏡，該等凹面鏡具有面對 面及定義其間鏡面間空間或折反射腔的鏡面。第一中間影 像係形成於物體平面旁邊之凹面鏡的中心孔内，第二中間 影像形成於物體平面旁邊之凹面鏡的中心孔内。物鏡具有 軸對稱並可提供軸向上及橫向上良好的色彩校正。然而， 由於凹面鏡的反射表面在中心孔受到中斷，因此系統的光 瞳會模糊。
專利EP 1 069 448 B1揭露另一種具有兩個面對面之凹面 鏡的折反射投射物鏡。該等凹面鏡為第一折反射物鎖^部分 的部分，可將物體成像為位置鄰接凹面鏡的中間影像。這 只是中間影像，其係由第二完全折射物鏡部分成像至影像 平面中。該物體以及折反射成像系統的影像位在由面對面 之鏡面定義的鏡面間空間之外。具有兩個凹面鏡、共同平 直光轴及一甴折反射成像系統所形成及位在凹面鏡之—旁 98927.doc 1376524 其中結凹面鏡及凸面鏡合一起使用。 φ、 本申請人於2003年1〇月17日申請的美國臨時申請案序號 60/511，673揭露的折反射投射物鏡具有很高且適於 ΝΑ> 1的浸沒微影蝕刻》在較佳具體實施例中，會確切建立 三個中間影像。-項交又參照形成的具體實施例具有：第 一折射物鏡部分，用於從物體建立第一中間影像；第二折 反射物鏡部分，用於從第一物體建立第二中間影像；第三
折反射物鏡部分，用於從第二中間影像建立第三中間影像； 及第四折射物鏡部分’用於將第三中間影像成像至影像平 面上。折反射物鏡部分各具有一凹面鏡，及其間有關連的 平面摺疊鏡。凹面鏡係以凹面鏡面面對面。摺疊鏡係配置 在中間或由凹面鏡定義的鏡面間空間。凹面鏡可以為同轴， 及折反射部分的光軸可和相對於折射成像系統中定義的光 軸垂直或成一個角度。 上述文件的完整揭露内容在此以提及的方式併入本申請 案中。
D. DeJager 在中 SPIE.第 237 卷（1980 年）第 292-298 頁的 ^Camera view finder using tilted concave mirror erecting elements(使用傾斜凹面鏡直立元件的相機尋視器）"論文， ..聲
« 揭露相機尋視器包含作為i : 1望遠鏡直立中繼系統的元件 的兩個凹面鏡。該系統的設計可將無限遠的物體成像為實 像，該實像為直立且能透過接目鏡觀看。反射中繼系統之 折射系統部分上游及下游的分開光軸為彼此平行偏移。為 了製造具有面對面之凹面鏡的系統，鏡面必須為傾斜。本 98927.doc 案作者斷定此類型系統實際施行時具有很差的影像品質。 國際專利申請案W0 92/05462及W0 94/06047和OSA/ SPIE 會議記錄（1994年）第 389ff頁中「Innovative Wide-Field Binoculai* Design(創新寬視場雙筒設計广一文揭露雙筒及 其他設計為同軸系統之檢視儀器專用的折反射光學系統具 有單一未摺疊的光轴。部分具體實施例具有：第一凹面鏡， 其具有配置在光軸之一側上的物體側鏡面；及第二凹面鏡， 其具有面對第一鏡及配置在光軸之相對側上的鏡面，致使 凹面鏡的表面曲率可定義鏡面間空間。前方折射組在接近 第一鏡處形成第一中間影像，及第二中間影像係形成於由 兩個面對的鏡面所形成的空間之外。在水平方向中比在垂 直方向中大的窄視場係配置和光轴偏移β物體側折射組具 有準直的輸入及影像側折射組具有準直的輸出且會形成遠 離遠心的入射及出射光瞳。光瞳形狀為半圓形，不像微影 钱刻投射透鏡中必須是圓形且以光軸為中心的光瞳表面。 PCT申請案wo 01/04682 Α1揭露用於晶圓檢驗的折反射 UV成像系統具有一設計為曼京（Mangin)鏡的凹面鏡。 【發明内容】 本發明之一目的在於提供一種適合在真空紫外光（νυν) 範圍中使用的折反射投射物鏡，其具有用於極高影像側數 值孔徑（可擴大至允許數值孔徑ΝΑ>1之浸沒微影蝕刻的值） 的潛力。本發明之另一目的在於提供可以相對較少量之光 學材料製造的折反射投射物鏡。 作為本發明之這些及其他目的解決之道，根據一個構 98927.doc -10- 1376524 想’可提供一種將投射物鏡之物體平面中提供的圖案成像 至投射物鏡之影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案成 像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第二 中間影像； 一第三物鏡部分’用於將該第二中間影像成像至該影像 平面； 其中具有一第一連續鏡面的第一凹面鏡及至少具有一第 一連續鏡面的第二凹面鏡係配置在第二中間影像的上游； 光瞳表面係形成於：物體平面及第一中間影像之間、第一 及第二中間影像之間、及第二中間影像及影像平面之間； 及所有凹面鏡的配置在光學上遠離一光瞳表面。 在本發明此方面的設計中’可在中心的光學系統中提供 以光轴為中心的圓形光曈。在系統部分_，會提供有助於 形成第一中間影像的兩個或多個凹面鏡，其中凹面鏡的使 用區域和軸對稱照明差異甚大。在較佳具體實施例中，會 確切提供兩個凹面鏡，及其足以獲得優異的成像品質及極 尚的數值孔徑。可提供具有一共同未摺疊（平直）光軸的系 統’以有助於微影蝕刻曝光系統的製造、調整及整合。其 中不需要任何平面摺疊鏡。然而，可利用一或多個平面摺 疊鏡以獲得更小型的設計。 所有凹面鏡的配置均"在光學上遠離"光瞳表面，意思是 其係配置在光瞳表面的光學近處之外。這些凹面鏡的配置 98927.doc 11 1376524
在光學上和視場表面的距離比和光瞳表面的近。在光學上 遠離光曈表面的較佳位置(即，在光曈表面的光學附近之外) 二寺徵為可表不為射線高比H=hc/hM>卜其中hc是主射線的 同度’ ^是成像程序之邊緣射線的高度。邊緣射線高度hM 是從内：視場點(最接近光軸)延伸至孔徑光闌之邊緣的邊 緣射線同纟i射線高度&是從和光軸平行或相對於光轴 之J角度的最遠視場點（離光轴最遠）延伸及考口光轴相交於 孔徑光闌所位在的光瞳表面位置的主射線高度。換言之， 所有凹面鏡均在主射線高度超過邊緣射線高度的位置中。 ”在光學上遠離"光瞳表面的位置是其中光束的截面形狀 矛光瞳表面或緊接在其附近中所見的圓形形狀相差甚遠的 4置此處所用用s吾’光束”描寫所有從物體平面延伸至影 2平面的射線束。可將在光學上遠離光瞳表面的鏡面位置 定義為位置如下：其中光束在和光束傳播方向正交之互相 垂直方向中的光束直徑彼此相差超過5〇%或1〇〇%。換言 之，凹面鏡上的照明區域可具有形狀如下：具有和圓形相 差甚遠及類似對應於晶圓掃描器之微影蝕刻投射物鏡中較 佳視場形狀之高縱橫比矩形的形式。因此，可以使用在一 方向中具有明顯小於另一方向之小型矩形或接近矩形形狀 的凹面鏡。因此可將高孔徑光束導引通過系統而不會在鏡 緣變成漸暈。 本說明書使用用語”上游”或，，下游"時，係指沿著光束從投 射物鏡之物體平面延伸至影像平面之光學路徑的相對位 置。因此’第二中間影像上游的位置係為光學上在物體平 98927.doc 12 1376524 面及第二中間影像之間的位置。 本發明的另一方面提供一種將投射物鏡之物鏡平面中提 供的圖案成像至投射物鏡之影像平面上的折反射投射物 鏡，其包含： 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案成 像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第二 中間影像；
一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影像 平面； 其中第二物鏡部分包括具有一第一連續鏡面的第一凹面 鏡及具有一第二連續鏡面的第二凹面鏡，該等凹面鏡的凹 面鏡面係面對面及可定義鏡面間空間；其中至少第一中門 影像在幾何上係位在第一凹面鏡及第二凹面鏡間之鏡面間 空間内。
»口 Τ ΓΘ] 奴你指由完美光學系 在此說明書中 統形成及位在光學上和物體平面結合之平面中的"近軸’中 間影像"。因此，在提及中間影像的地點或位置時係指此 平面中在光學上和物體平面結合的軸向位置。 參考以下-般考量即可清楚明白本發明的上述方面。 正如Jan H〇〇gland已在部分公開案中所點出的，對於 光學設計所能要求之最關㈣求是其具有平坦的影像: 尤其在其為全折射設計時更是如此。要提供平坦 要相對的透鏡能力，因而導致更巨大的透鏡、更長的系： 98927.doc -13. 1376524 長度更大的系統玻璃質量、及因更強烈的透鏡彎曲所造 成之更大的較高階像差。 和此相反’允許系統具有彎曲影像將自動造成低透鏡能 力、較弱彎曲、更小型之玻璃質量更小的設計、及更小的 較高階像差。
Shafer已也實具有僅使用正透鏡（且無任何非球面）之彎 曲影像及具有極佳效能的透鏡設計。4或5片的弱正透鏡組 排在前方可校正球面像差及彗形像差（c〇ma)，及厚的正浸 λ透鏡可提供像散校正。其影像相當彎曲。 然而’ν平坦的影像卻為微影蝕刻所必。因此，問題即 在如何在最不干擾良好特性的情況（常發生於允許彎曲影 像時）下提供平坦的影像。 部分傳統的透鏡類型，像庫克三片組透鏡（c〇〇keTriplet) 及雙尚斯（Double-Gauss)設計，可藉由在設計中置入強大的 負能力而獲得平坦的影像。但這卻會完全毀壞方才提及具 有彎曲影像的所有好處，及透鏡能力必須很強大且彎曲將 導致不良的較高階像差。 傳統的視場平坦化珀兹伐透鏡設計可提供較佳的解決辦 法，其中將巨大的負透鏡放在影像王前方，放得越近越好。 此設計的最大目的是，負透鏡可提供此設計的所有影像平 坦化構件，其餘設計則具有弱彎曲、低透鏡能力、小玻璃 直專。此外，像差校正效能極高。此即為何此設計形式在 I960年代用於極高解析度航空勘察透鏡。 然而，此偉大設計卻無法用在微影蝕刻中，因為將極大 98927.doc 14 1376524 的負透鏡放在影像正前方將導致非常遠離遠心的出射光瞳 位置。且在微影姓刻中將永遠需要使用遠心出射光瞳。 Λ 也許可以提供視場平坦化始兹伐透鏡遠心出射光瞳的唯 ^ —方式是將孔徑光闌移出遠離設計前方，遠離想要獲得較 高階像差校正的地方。相反地，一些其他設計類型，像雙 高斯，可經修改而具有遠心出射光睹，和其較佳位置相比二 在孔徑光闌位置上的變化不會很多。因此，由於微影㈣ 冑此遠心出射光瞳的需求’吾人勢必放棄最佳設計形式， 攀轉向比較次之的設計形式。 本發明考慮到這些方面以提供良好的折衷解決辦法。 #果可以㈣一些平坦化影像 '具有考心出射光瞳片 能維持孔徑光闌接近最想要獲得良好俸差校正之處的方 式，吾人即可保留彎曲影像設計的所有許多好處。 如果可提供正能力透鏡實際具有的相對珀茲伐曲率，將 會多麼完美。這種”神奇透鏡"，如果無法存在，則可放在 _ 冑曲影像設計& _曲影像附近。然後即可平坦化影像，甚 至可協助提供遠心出射光瞳，同時在孔徑光閣理想所在留 下設計的孔徑光闌。 凹面鏡對此問題十分理想。凹面鏡具有正能力，和正透 鏡一樣，但和珀茲伐曲率的正負號相反。因此，放在影像 正前方的凹面鏡能夠平坦化彎曲影像透鏡設計的影像，具 • 有協助提供遠心光瞳的正能力，而且沒有任何色彩問題。 不幸的是，這也會讓所產生的影像完全無法進入，因這 4 會將光線傳送回到其來自的方向後方。一個解決辦法是使 98927.doc •15· 用遠遠離軸的透鏡系統， 個反射，且能讓最终影爲 線之外β但即使稍微研究
方有可能在影像附近具有一或兩 "偏離"鏡面而清楚位在進入的射 '下即可證明這在高ΝΑ端的設計 = ’可將光線維持在相同的方向中且影像可進 入。最佳效能結果發生於使用最少量的離軸使用主透鏡系 統時。但讓射線通過一 f十凹面鏡而不t變成漸晕則藉由使 用遠遠離軸的主透鏡系統來協助。這些便是矛盾的目標。 為了減少變成漸暈的問題及使其對系統整體數值孔徑不 會造成影響’冑好在兩個射線束在反射前後位在幾何上分 開但彼此相鄰的所有位置附近具有低1<[人的中間影像。此空 隙則主要由視場尺寸加以決定，及僅按數值孔徑進行極差 的縮放。這對於達到真實高να折反射設計很重要β 最佳解決辦法是不要讓兩個鏡面在主透鏡系統及其低 ΝΑ物體端之間。如此即可避免主透鏡大量使用離軸，以讓 鏡面處不會變成漸暈。鏡面實體上（不一定在光學上）應在低 ΝΑ物體的任一側。然後主透鏡系統的使用即可比較接近光 軸。較次之的較佳解決辦法是讓兩個鏡面位在主系統及其 低ΝΑ端物體之外。在最後所提兩個的任一情況中，必須重 新成像低ΝΑ物體’因其不再是完整系統的末端。 9S927.doc -16- 1376524 在將物體重新成像為第一中間實像時，可將此第一中繼 系統的系統倍率設計致使該系統成為放大系統。這可減少 在中間影像越來越多的NA，因此解決變成漸暈的問題。變 成漸暈對於系統NA的相依性越來越少。 在較佳的設計t，在主透鏡系統之低NA物體平面任一側 上（同樣是在實體上’而非在光學上）有兩個凹面鏡，及系統 的使用可儘量接近光軸而沒有鏡面漸暈。接著，另一個折 射系統或折反射系統’以如約IX或1 5χ放大運作，可用來 中繼此埋入物體至另一個實像位置。 另一個解決辦法，其中兩個鏡面實體上及光學上在低να 物體之外’可讓這兩個相同鏡面進行重新成像。但其需要 相當大的工作距離及很厚的鏡面基底，使其不可能沒有漸 暈問《I ’結果需要使用遠遠離轴的主系統。所以此另一解 決辦法也可以從使用分開的丨又或1 5Χ放大折射或折反射中 繼系統而獲得好處。 在所有以上情況中，可以使用一對凹面鏡平坦化一或兩 個折射系統的影像。並不用任何凸面鏡。此折射系統即可 具有所述為彎曲影像設計的好處。 本發明只有兩個反射表面之較佳具體實施例的設計和先 前技術相比，具有若干優點。 和中央光曈昏暗的先前技術系統相對照，本發明部分具 體實施例的設計具有小鏡面尺寸，沒有任何昏暗，沒有雙 重或二重通過透鏡，且因強大的鏡面能力而能對系統進行 非常有效的視場平坦化。在其他具體實施例中，可存在雙 98927.doc 17 1376524 重或三重通過透鏡。 本發明較佳具有兩個折射中繼組的具體實施例在晶圓附 近的折射組（即第三物鏡部分）可具有約3χ或4χ縮小倍率， (所以只在一端上有高να)，及另一折射組（第一物鏡部分） 則在兩端上為低να。因此需要的透鏡能力較少，需要取得 所需像差校正的元件相對較少β 已知一些先前技術的系統為有限的ΝΑ系統。相反地，本 發明的較佳設計就沒有此種困難並能處理浸沒系統極高的 ΝΑ值，接近ΝΑ= 1或以上《較佳，這兩個中間影像都有低 ΝΑ值’便不會有鏡面在其邊緣處干擾彼此空間的問題。 請注意本發明的部分實用設計很難校正光軸色彩。然 而’在較佳具體實施例中的透鏡夠小，及其能力夠弱，因 此新設計的光轴色彩係在可接受的值。 其他先前技術用於微影蝕刻的高ΝΑ折反射系統或是在 設計t需要使用至少一凸面鏡，或是具有多個鏡面，且傾 向於呈現極長的軌跡長度設計。折反射設計的基礎是結合 凹面鏡及一些透鏡一起使用凸面鏡，因而可以具有不會模 糊的設計，因此使用時不必遠遠離軸以免變成漸暈。這是 一些先前專利設計的特性，這些設計是不含平坦摺疊鏡的 同轴系統。折反射部分係在系統的光罩端。此種設計至少 有兩個問題。一個是光罩後的第一中間影像必須沒有凹面 鏡’及離開凸面鏡的光線傾向於相對於光轴具有相對較陡 的角度，以清除凹面鏡的邊緣而不會變成漸暈《然後需要 使用一些視場透鏡或視場鏡以捕捉這些射線並將其折彎回 98927.doc • 18 · 1376524 到光轴及主聚焦透鏡組。這些視場透鏡或視場鏡必須相當 大及能力強大，才能捕捉射線及將光瞳重新成像至主聚焦 透鏡組。如果是視場透鏡，則其直徑很大，具有強大的正 能力，結果在設計中造成玻璃量過多。此外，這些透鏡還 有許多正能力，進一步使校正系統的珀茲伐曲率發生困 難。如果使用視場鏡，則其直徑必須相當大，結果很難對 其進行配置以免射線變成漸暈。然而，這些視場鏡卻有助 於珀茲伐校正，因其具有和視場透鏡相反的正負號。此種 系統的第二個問題是系統的凸面鏡具有錯誤的珀茲伐曲率 正負號來協助影像平坦化。這又傾向於使4或6個鏡面系統 為了替若干鏡面尋找出路而從大多數凹面鏡提供具有夠佳 之珀茲伐校正的系統，致使此負擔並不全在主聚焦透鏡組 上。 相反地，本發明的較佳具體實施例並沒有任何凸面鏡且 具有一些允許運作相當接近光軸而沒有昏暗或漸暈的特 性。這表示t間影像尺寸不會那麼大，及設計中的視場透 ’、、太大由於其中沒有凸面鏡，只有兩個凹面鏡，此 全新設計和先前技術的多重鏡面系統相比相當簡單。其兩 個凹面鏡恰好可提供系統中透鏡適當的王白茲伐校正量，即 卩為正且所形成的设計具有相對較短的軌跡長 度：相對較小的尺寸元件、相對較少的玻璃量、極佳的像 差校正、及以極高浸沒NA值運作的能力。 本發明的新設計還有特^之尤其有用的特色。隨著設計 的NA值增加，對鏡面尺寸或該設計運作和光轴多接近卻幾 98927.doc -19- 1376524 乎'又有任何差異。先前技術的所有其他同軸設計隨著να增 加必須維持運作越來越遠遠離轴，以免變成漸暈及昏暗。 這造成折反射部分中高階像差變糟、效能降低、及元件尺 寸變大。新設計因沒有此問題而相當獨特。 八有’、同平直光抽之具體實施例可由具有至少一平坦 摺疊鏡的折反射設計來替代。然後在光軸的如9〇度摺疊光 學路徑的部分，然、後打開再重新摺疊回去，使光罩與晶圓 平打。在部分具體實施例中，輸入及輸出軸（即，光軸的物 體及影像側部分）可為同軸，或在部分其他具體實施例中， 具有橫向偏移* 此種設計可在系統中只具有一個賦有能力的鏡面，即凹 面鏡，及兩個平坦摺疊鏡。一些設計，像本申請人申請於 2003年1〇月π日、序號6〇/511，673之美國臨時申請案中揭露 的設計具有兩個凹面鏡及兩個平坦摺疊鏡。這些摺疊設計 具有許多此處所述之本發明新設計的良好特性。然而，這 些摺疊鏡會發生偏光問題，這使得沒有任何摺疊鏡的較佳 具體實施例非常引人注目。 在部分具體實施例中，至少有一透鏡具有配置在鏡面間 空間之内的自由入射表面及自由出射表面，其中透鏡在中 間影像及凹面鏡之間（反之亦然）的光學路徑中轉變至少兩 •人。此種鏡面相關的透鏡可具有負折射能力，及可設計為 具有和和其被指派之凹面鏡相似之曲率度的彎月形透鏡。 色彩校正絕對可因此方式而受到影響。透鏡可設計為專門 配置在關連之凹面鏡所在之光軸側上的截形透鏡。如果鏡 98927.doc -20- 面相關的透鏡係延伸橫跨光軸上，則透鏡會因輻射而轉變 一人因而増加光學效應且不會大幅增加透鏡質量。一或 兩個凹面鏡可具有鏡面相關的透鏡。 在。卩分具體實施例中，第一凹面鏡及第二凹面鏡的設計 /、有實質上相同或確切相同的曲率。這允許同時以相同 的毛坯材料製造凹面鏡，致使先製造第一及第二凹面鏡的 鏡面毛坯，之後將鏡面毛坯分開成兩個用作第一及第二凹 面鏡的截形鏡面。依此方式有助於製造且更加符合成本效 益。同樣地’可以一個透鏡毛坯製造兩個相似截形鏡面相 關的透鏡所用的透鏡材料，其可先成形然後再分開成兩個 截形透鏡》依此方式可以合理的製造成本提供具有以下折 反射子群的系統：其設計相同或幾乎相同及其配置互相對 稱。 在部分具體實施例中’凹面鏡的至少一鏡面為非球面。 在部分具體實施例中，兩個凹面鏡的凹面為非球面。非球 面凹面鏡有助於光學校正及允許減少透鏡質量。 在部分具體實施例中，已發現有用的是具有至少一配置 在中間影像及關連之凹面鏡之間的透鏡，其中透鏡的至少 一表面為非球面。非球面可以是面對中間影像的表面。依 此方式可以有效校正視場像差》 在部分具體實施例中’兩個凹面鏡都具有球面鏡面，因 此有助於製造及改善光學效能。已發現滿足以下條件時很 有用：1<D/(|Ci|+|c2|).1〇-4<6。此處，D為第三物鏡部分之透 鏡元件的最大直徑，單位[mm] ’及〜與^為凹面鏡的曲率， 98927.doc -21 - 1376524 單位[mm·1卜如果滿足此條件，則在第三成像系統的正能 力及因投射物鏡中的凹面鏡所造成的珀茲伐校正之間會有 最佳平衡。此條件均適用於球面與非球面凹面鏡。 作為基本形狀且如果適用，凹面鏡的非球面特性可強烈 影響光學效能，所需的凹面鏡製造方式是能夠製造具有已 疋義光學特性的鬲品質鏡面。已發現，相對較"平坦"凹面 鏡，即，在凹面側上具有相對較淺深度的凹面鏡在關係 Pmax<〇,22R成立於Pmax = R_(R2-D2/4)0,5時可以特別高的高光 學品質進行製造。在此關係中，尺是非球面鏡面的曲率半 徑，D是非球面鏡面的直徑。較佳，滿足條件D<1，3R，或 更佳，滿足條件D5_l，2R。參數p代表光學表面上一點的”弓 形尚”或”上升高度"。此參數在文字上有時亦可表示為 SAG(代表弓形高）。弓形高p是高度h的函數即個別點離 光軸的半徑距離。 一般從製造的觀點看來，較佳使凹面鏡鏡面頂點的曲率 (頂點曲率）儘可能相同。如果將第一及第二鏡的頂點曲率半 徑表示為R1為R2,較佳以下條件可成立：〇,8<1R1/R2|<1，2。 部分具體實施例的設計致使第一中間影像在幾何上位在 鏡面間空間内，第二中間影像則配置在鏡面空間之外。然 後第一及第二物鏡部分可以是折反射物鏡部分，其中第一 凹面鏡疋建立第一中間影像之第一物鏡部分的部分，第二 凹面鏡有助於利用第二物鏡部分從第一中間影像形成第二 中間影像。 由第一及第二面對面的凹面鏡定義的鏡面組可具有鏡面 98927.doc •22- 1376524 、’且入射及鏡面，.且出射，各位在接近面向光轴之凹面鏡之邊 緣的最近凹面鏡旁邊。投射物鏡的光瞳表面可配置在鏡面 組入射及鏡面組出射附近，致使鏡面組可執行鏡面組入射 及鏡面組出射之間的光曈成像。然後可將第—及第二凹面 鏡配置在光軸@冑上。在視場表面在鏡面組人射及鏡面 組出射附近的其他具體實施例中，第一及第二凹面鏡可位 在光轴的相對側。
本發明的另一方面提供的投射物鏡具有一第一及至少一 第二凹面鏡，其中該第一凹面鏡具有第一非球面鏡面及該 第二凹面鏡具有第二非球面鏡面，及其中該第一及第二鏡 面具有實質上相同的非球面形狀。非球面形狀可以完全相 同，即，可以藉由相同的非球面常數及基本球面半徑來說 月本發明之此方面可用於其中所有凹面鏡均配置在光學 上遠離光瞳表面的具體實施例，尤其是其中使用辞切兩個 凹面鏡的具體實施例。然而，這些優點亦可用在其中一或 多個凹面鏡位在光瞳表面+或在料上接近光瞳^面的投 射物鏡。如果第一及第二鏡面具有實質上相同或完全相同 的非球面形狀’則製造可以簡化，因為非球面形狀可以使 ^貫質上相同之移除球面基本形狀之材料的研磨及抛光步 或其他步驟來製造。此外，可將製造非球面令所用的測 ^程序組織得符合成本效益，因為可以使用具有非球面形 狀之特徵的相同測試裝置測試多於一個凹面鏡面。按吗此 :’應明白用語，，實質上相同的非球面形狀"涵蓋非球面形 ’均可利用相同的光學測試裝置進行測試。如果適用， 98927.doc •23· 1376524 同理，相同的表面形狀也可以使用相同光學測試裝置，但 工作距離不同。 在-項具體實施例中’第二物鏡部分具有兩個凹面鏡，
”有#球面’其中第一及第二鏡面具有實質上相同的 非球面形狀。在—項具體實施例中，此類型的第二物鏡部 分係為反射物鏡部分十僅包含兩個具有非球面鏡面的 凹面鏡，該等非球面鏡面具有實質上相同的非球面形狀。 此類型的第二折反射物鏡部分亦是可行。 根據另-方面，本發明提供一種具有至少—凹面鏡的折 反射投射物鏡，其中該凹面鏡的鏡面具有—抛物線形狀。 在-項具體實施例中，提供兩個凹面鏡，纟中該等凹面鏡 中至少-個具有一拋物線形狀。利用拋物線鏡面(即，其中 鏡面子+線為拋物線的凹面鏡）已證#對測試鏡面的非球 面形狀尤其有利。拋物線鏡面可將平行入射光集合成一單 一焦距，藉此將衝射在拋物線鏡面上的平行光線集人在一
焦點中而沒有球面像差。此類型的拋物線鏡面使用:較簡 單之設計可建立具有平面波前之測試束的光學測試裝置: 即可在光學上輕易進行測試。可以使用具有簡單構造的光 學測試裝置，藉此使非球面鏡面的測試符合成本效尹 光學特性為獲得投射物鏡所需功能所必須 ^ 具他有關製 造光學系統所涉及的成本因素及/或影響光學系統之整體 尺寸及形狀的因素也很重要。還有，也要考慮透鏡設置及 併入透鏡控制器等方面。某類之具體實施例就此點尤其有 利於提供具有少數透鏡元件的投射物鏡，尤其有利於第一 98927.doc -24- 1376524 物鏡部分。在-項具體實施例中，第—物鏡部分。且有正 透鏡。此處所用用語”透鏡3指代表具有大量折射能力的 光學元件。就該點而言，具有實質上平行薄片表㈣“ 並非透鏡，因此，除了正透鏡之外，還可插入薄片_使 用正透鏡可提供轴向上小型之具有相對較小最以鏡直# 的第-物鏡部分。在一項具體實施例中，第一物鏡部分只 ^有六個具有大量折射能力的透鏡。在第—物鏡部分中; 提供-或多個非球面^使用非球面透鏡表面之合適的非球 面形狀，即可獲得小型的設計。由於趨勢，第一物鏡部分 的設計更小型’即可使用更非球面的表面。在較佳具體實 施例中，透鏡元件數及非球面數之間的比率小於以。在一 項具體實_中，緊接在物體平面後之第—物鏡部分的第 一透鏡70件具有面對物體平面的非球面，其中非球面為實 質上具有曲率之局部半徑R的平坦部分，其中非球面各點上
的R>300 nun。依此方式即可獲得物體側遠心及如扭曲之視 場像差的有效校正。 如果所有的負透鏡（即，具有大量負折射能力的透鏡）均 配置在光學上遠離光曈平面’亦有助於折射系統的小型形 狀。換言之，如果要針對小型形狀最佳化設計，則應避免 在光學上接近光瞳平面的負透鏡。 可以利用在光學元件上提供的非球面，如透鏡、鏡面及/ 或實質上薄片的平面、棱鏡或其類似物改良光學系統的校 狀•、及整體尺寸與材料消耗。經由理論考量及/或數字計 算即可導出非球面的最佳表面形狀。然而，能夠製造光學 98927.doc •25- 1376524 系統與否除了其他因素之外，還取決於是否可按具有必要 光學品質之所需形狀實際製造非球面的問題。本發明人等 十於可行ft的研究已證實一些必要的規則掌控著光學系統 ‘ 中（尤其在適於微影蝕刻的高解析度投射物鏡中）非球面的 使用。 根據一項具體實施例，投射物鏡具有至少一具有非球面 的光干元件，且其表面形狀在非球面之光學使用區域中沒 有任何反曲點。在旋轉對稱的非球面中，"反曲點"的特徵 為沿著正負號改變發生於非球面之局部曲率之 的點。換言之，可在幾何上在非球面之局部凸面區及局部 ϋ面區之間找到反肖，點。在提供複數個具有至少一非球面 ㈣學元件時’所㈣球面較佳具有沒有反曲點的表面形 狀。為了求得折衷，實用的設計是使系統之非球面的至少 50%、6G%、7G%、娜或9()%沒有反曲點。和包括反曲點 的非球面相比時，在非球面上避免反曲點已證實可改良所 • %成之非球面的光學品質。吾人已考慮在避免反曲點時’ 可將移除表面準備工具之效應的材料製造得更均勻。另一 方面，如果要在包括反曲點的表面區域上使用抛光工具， 則工具在反曲點各側上的材料移除作用會顯著不同，因而 導致已完成表面之光學品質的不規則性。 根據本發明的另一方面，投射物鏡包括複數個具有至少 ·-非球面的光學元件，其中所有非球面具有的表面形狀沒 有在光軸之外的極值點，其中極值點可以下列等式定義次 98927.doc -26- 1376524
在此等式中’參數”P”代表表面頂點（位在光軸上）之高度h 之一點的距離，其測量和光學元件的光軸平行，如參考說 明以上給定非球面之數學描述之等式所說明的。參數〆W 亦可表示為光學表面上一點的"弓形高"或"上升高度”。基於 這二考里，極值點"分別是函數p(h)的極大值或極小值。本 發明人#的研究顯示，光轴外的極值點（其th=0)在非球面 的製造中至關重要，因為在極值點的區域中，用於最後修 整之工具的材料移除作用和對圍繞極值點區域上所進行的 作用有極大的不同，因而可能會造成不均勻的光學表面品 質〇 。在包括為光學使用區域（由光學所用半徑h州定幻但在該 品域之外達最大π度hmax>h”t的區域中應遵守此條件，其中 hm^hopt碰及其中⑽是鄰接光學使用區域之"溢出區域" 的半徑寬度，纟巾旋紅諸在拋光光學使職域的周圍 時和光學表面接觸。溢出區域的典型寬度取決於工具尺寸 及為5 mm至15 mm的等級。 、 就製造的觀點而言’非球面上的極值點至關重要，就光 點而言’也很需要極值點以在半徑（子午線）方向中提 =球面之折射能力的所需變更。為了求得折衷，已發現 t利的是^至少—極值點的非球面在橫越整個可用^ 應為實貝上平坦。換言之，具有至少一極值 的基本形狀應是平面或和平面應只有很小的偏.差：面 而言，投射物鏡較佳具有至少_且 。就该點 面，其中對這些非球面的以下條點的非球 98927.doc -27· IP(h)|<pmax 其中 pmax=〇,5。較佳為 Pmax=〇 25e 以上給定之非球面的較佳條件係由在本發明特定具體實 施例上執行的可行性研究所導出。然而，其他類型之具有 非球面光學元件的光學系統也可以利用這些條件。因此， 在本發明較佳具體實施例之其他特色之外，本發明的這些 方面也很有用。 根據本發明之另一方面，第一物鏡部分包括一凹面鏡及 至〉'一具有彎曲鏡面的附加鏡面，其中該凹面鏡的彎曲鏡 面及該附加鏡面係為面對面，在此具體實施例中，兩個具 有彎曲鏡面的鏡面有助於形成第一中間影像。較佳，此類 型的第一物鏡部分為折反射，即，除了該凹面鏡及該附加 鏡面之外，提供至少一透鏡，該凹面鏡及該附加鏡面較佳 用和該第一及第三物鏡部分之光軸重疊的共同平直光 軸，致使所有物鏡部分共用一共同平直光軸。較佳將此類 型的第一物鏡部分設計為放大成像系統。在部分具體實施 例中，該附加鏡面為一具有一補償至少部分該物鏡部分之 凹面鏡效應之凸面鏡面的凸面鏡。較佳將此類型的第一物 鏡部分和包括第一及第二凹面鏡的第二物鏡部分相結合， 其凹面鏡面係為面對面及可定義一鏡面間空間。在這些具 體實施例中’通常第一中間影像可位在該鏡面間空間之 外’第二中間影像可位在該鏡面間空間之内。具有分布在 兩個物鏡部分（第一物鏡部分及第二物鏡部分）中之至少三 個凹面鏡（為確切三個凹面鏡較佳）的具體實施例，其設計可 98927.doc • 28- 使所有凹面鏡均配置在光學上遠離一光瞳表面。然而，可 視需要至^ —凹面鏡’尤其位在第-物鏡部分中的凹面 鏡’其位置也可以在光學上接近一光瞳表面。 、在此類型的具體實施例中，有利於將由凹面鏡所提供的 ，正能力分布在為中間影像所分開的兩個物鏡部分之間， 藉此獲得校正作用之間的良好平衡與補償。也可以設計第 -及第二物鏡部分致使為凹面鏡戶斤支援的特定校正效應可 在光學路財出現兩次。“，此校正構件可配置在其中 其具有不同光學效應的光學位置中，因為主要射線（主射線） 及邊緣射線的高度對於不同物鏡部分中的不同凹面鏡有所 不同。由光學元件（一共同平直光軸）之同軸配置提供的所有 優點因而可加以保留。 上述及其他特性不只可在申請專利範圍中見到，也可以 在說明及圖式中見到中個別特性可單獨使用或作為本 發明一項具體實施例及其他範圍中的附屬組合，且可個別 代表有利及可申請專利的具體實施例。 【實施方式】 在以下本發明較佳具體實施例的說明中，用語"光軸"係 指通過有關光學元件之曲率中央的直線或或連續直缘段。 藉由摺疊鏡面（偏轉鏡）或其他反射表面即可摺疊光軸。在此 處所示範例的情況中，有關物體是載負積體電路之圖案或 一些其他圖案（如格狀圖案）的遮罩（光罩）。在此處所示的範 例中，將物體的影像投射在當作塗有一層光阻之基板的晶 圓上，不過也可以使用其他類型的基板，如液晶顯示器的 98927.doc -29· 1376524 組件或用於光栅的基板。 在提供用於揭露圖中所示設計之規格的表格中，各表格 將標示個別圖示的相同號碼β 圖1顯示設計用於約193 nm UV工作波長之本發明之折反 射投射透鏡100的第一具體實施例。其設計可按縮減的比 例，如，4: 1，將配置在物體平面1〇1中光罩上之圖案的影 像投射至影像平面102，同時建立確切兩個中間實像1〇3、 。第一折射物鏡部分11〇的設計可按放大的比例將物體 平面中的圖案成像為第一中間影像1〇3,第二折反射物鏡部 /刀I20可按接近1 : 1的倍率將第一中間影像103成像為第二 中間影像H)4，及第三折射物鏡部分m可按極大的縮小比 率將第一中間影像1()4成像至影像平面如上。第二物鏡部 分120包含：第-凹面鏡121，其具有面對物體側的凹面鏡 面；及第二凹面鏡122，其具有面對影像側的凹面鏡面。這 兩個鏡面均為連續或不間斷’即，其沒有孔洞或中心孔。 面對面的鏡面可定義亦可矣 兀了表不為鏡面間空間125的折反射 腔125’其為凹面鏡定義的彎 我刃Ϋ曲表面所包圍。中間影像1〇3、 104均位在折反射腔125内部， '至；近軸中間影像幾乎在其 中間並和鏡面分開。 凹面鏡的各鏡面可定義"曲逛 羊表面或"曲率的表面"，其為 延伸實體鏡面邊緣外且含有镑 '、 3有鏡面的數學表面。第一及第二 凹面鏡為具有轉動對稱之此 稱之共冋軸之旋轉對稱曲率表面的部 分。 為了改良通過㈣歲心彳㈣輸，圖2及3顯 98927.doc 1376524 點。圖式中清楚可見中間影像幾乎在凹面鏡間中間的情 況。在圖2中，所示鏡面間相交光束之相交的位置接近近軸 中間影像的位置。相反地，在圖3中，所示鏡面間相交光束 之相交的位置或區域和近軸中間影像的位置更加偏移。
系統100為旋轉對稱且具有所有折射及反射光學組件共 同的平直光轴⑼。其中沒有任何摺疊鏡。凹面鏡具有允許 使其接近-起且相當接近位在㈣之巾間影像的小直徑。 凹面鏡的建構及照明均可作為轴對稱表面的離轴截面。光 束通過面對光軸之凹面鏡的邊緣而沒有任何漸暈(比較圖4 或圖7-9)。
示兩個源自離軸物體場之有所丙2,丨μ , + 令所&別的光束。圖2的光束源自 於最接近光軸的物點，圖3的弁去、土 J尤束/原自於最遠離光軸的物 凹面鏡的最大光束高度和第三物鏡部分内的最大光束高 度幾乎相同。較佳，凹面鏡的最大光束高度小於第三物鏡 部分内最大光束高度的1>5倍或小2倍。這允許以下建 構.其中投射物鏡内所有光束均位在定義為圍繞該第三物 鏡部分之光軸之柱狀物的空間内，該柱狀物從物體平面延 伸至影像平面及具有該第三物鏡部分内最大光束高度之 1.5倍（較佳1.2倍）的最大半徑。 此系統具有良好的橫向色彩校正，但光軸色彩卻未完全 校正。在此具體實施财，兩個凹面鏡均設計為曼京鏡。 各曼京鏡包含具有鏡面凸面的負彎月形透鏡。鏡面之校正 不足的球面像差可由負透鏡之過度校正的球面像差抵消。 兩個凹面鏡具有極少的折射能力。凹面鏡亦可設計為簡單 98927.doc •31- 1376524 的鏡面（比較圖4)。如果凹面鏡是簡早的鏡面（沒有彎月形透 鏡），則透明光學材料的質量較少但足以切割鏡面。 投射物鏡的設計為浸沒透鏡。校正狀態在26.5.0瓜瓜之視 場上約1·1 NA的9毫波（milliwave)。視場半徑為65 mm。不 需要任何具有大於1.0 mm之脫離最適合球形（變形）的非球 面。最大元件之220 mm的最大直徑顯示低透鏡質量消耗的 可能性。此設計具有1160 mm軌跡長度（在物體平面及影像 平面之間的軸距）及小的玻璃質量。影像平面旁邊之最後透 鏡係由氟化鈣製成，以用於浸沒。 此全新設計具有很好的橫向色彩校正，但光軸色彩卻沒 有色彩校正。但小的透鏡尺寸使其比相同NA的全折射設計 有更少的光軸色彩。光瞳像差可經確實校正及主射線在兩 端幾乎為確切遠心。 只有兩個反射及小玻璃量的設計沒有昏暗的問題，因此 鏡面可以是良好的尺寸，不會那麼大，及其強大的能力可 k供系統幾乎所有的珀茲伐校正。在此具體實施例中，兩 個中間影像幾乎確切在折反射腔的中間。 此處未顯示的一個修改具有第一折射物鏡部分及第三折 射物鏡部分，和本申請人於2〇〇3年1〇月17日申請之序號 60/5 11，673的美國臨時中請案中揭露的相當類似。對應的說 明書在此以提及的方式併入本文中。 此基本設計可以甚至更少量的光學材料量來實現，尤其 如果曼京鏡能去除玻璃的話。（比較圖4)。 在圖4中，顯示第二具體實施例。和圖丨結構及/或功能相 98927.doc -32- 1376524 同或相似的特色或特色組將以增加1〇〇的相同號碼表示。 技射物鏡200的設計為λ=193 nm的浸沒透鏡，及在結合物 鏡之出射面及影像平面之間的高指數浸液（如純水）使用 時，具有影像側數值孔徑NA=1，2〇 ^視場尺寸為％ 5 〇 mm2。此設計的規格總結如表4。最左邊的直行列出折射、 反射或另外指定表面的號碼，第二行列出該表面的半徑 r[mm] ’第二行列出該表面及下一個表面之間的距離 d[mm]，其參數稱為光學元件的，，厚度"，第四行列出製造該 光學元件所採用的材料，及第五行列出其製造所用材料的 折射率。第六行列出光學組件在光學上可用之清楚的半徑 [mm]。表中半徑r=〇代表平面表面（具有無限半徑卜 在此特定具體實施例的情況中，表4中12個表面，即表面 2、3' 8、12、15、16、17、19、22、30、33 及 35為非球面。 表4A列出這些非球面的關連資料，從這些資料，採用以下 等式即可计算其為高度h函數之表面數字的弓形高或上升 高度p(h): P(h)=[((l/r)h2)/(l+SQRT(l-(l+K)(l/r)2h2))]+Cl.h4+C2.h6+....， 其中半徑的倒數值（l/r)是所論表面於表面頂點的曲率，h 疋其上的點和光軸的距離。弓形高或上升高度p(h)因而可代 表和所論表面頂點的距離，其係沿著z方向測量，即，沿著 光軸測量。常數K、C 1、C2等列於表4A中。 由於物鏡有17個透鏡，超過50%或超過60%的透鏡為非球 面透鏡。 如同圖1的具體實施例’其中沒有任何的摺疊鏡，留下所 98927.doc •33· 1376524 有光學組件制的平直、未摺疊絲^和第—具體實施例 相對照，兩個面對面的凹面鏡221、222為取代曼京鏡的簡 單鏡面，以減少系統的整體質量。為了證明轉變反射（完全 反射）組220的光路徑，圖5及6顯示凹面鏡上光束的"覆蓋區 "。在圖5中，顯示在第一凹面鏡221之位置的覆蓋區。下方 橢圓線群代表在第-凹面鏡221反射的光束，上方擴圓線群 代表來自第二凹面鏡222朝向.第二折射部分23〇的光束。在 圖6中，顯示第二凹面鏡222之位置的覆蓋區。下方部分代 表從第一折射部分210延伸至第一凹面鏡221的光束，上方 橢圓線代表在第二凹面鏡222反射及延伸至影像平面的光 束。從圖中可見，鏡面上使用區域具有簡單的連續形狀， 致使可製造没置容易的鏡面，如，矩形鏡面。 特別特色是凹面鏡的整體橫截面光束形狀和光瞳位置所 見的圓形形狀差異極大。在此具體實施例中，互相垂直方 向中的光束直徑具有約1: 3的比率，其中掃描方向y中的直 徑小於交又掃描方向x中的直徑5〇%或3〇% β光束形狀類似 矩形視場形狀代表凹面鏡和視場表面比和光瞳表面接近， 即，凹面鏡的位置在光學上遠離光瞳表面。既小又窄的鏡 面因此可用作凹面鏡。這在即使數值孔徑很高時仍有助於 導引光通量通過凹面鏡一側而不會變成漸暈。 一般而言，在本發明的具體實施例令，不會直接結合凹 面鏡的尺寸和數值孔徑，因而可獲得極高的νΑ值，如 ΝΑ>1_3或ΝΑ>1.4，且不會過度增加鏡面尺寸。 在圖7至9中’顯示第二具體實施例一些有利的變化。和 98927.doc • 34 - 1376524 圖4結構及/或功能相同或相似的特色或特色組將以相同的 號碼表示。所有變化的設計為λ=193 nm的浸沒透鏡，及結 合在物鏡之出射面及影像平面之間的高指數浸液（如純水） 使用時，具有影像側數值孔徑NAy。視場尺寸為26 mm · 5,0 nun。圖7規格列於表7及7A中，及圖8及圖9的列於表8及8八 中》圖8及9的設計相同，不同之處在於孔徑光闌a位置。 圖7(NA-1，1)的變化特徵為事實如下：凹面鏡上的使用區 域小於在圖4之具體實施例中的。結果，可進一步減少矩形 形狀之凹面鏡的尺寸。 圖8(NA = 1’15)的變化特徵為事實如下：孔徑光闌a係位在 最大光束直徑之區域中的第二完全折射部分23〇。相反地， 在圖9密切相關的變化中（NA=1，15)，孔徑光闌A係位在第一 折射物鏡部分210中。這證明此設計允許放置孔徑光闌的彈 性。 上述具體實施例的特徵為所有光學元件之平直、未摺疊 的光軸。此種设汁的潛在問題是提供用於凹面鏡的底座將 導致很長的轨跡長度或可能干擾光束路徑。在以下包含至 少一平面摺疊鏡的具體實施例將顯示為得到小型設計的設 計替代方案。 在圖10中，顯示第三具體實施例。和圖i結構及/或功能 相同或相似的特色或特色組將以增加2 0 0的相同號碼表 不。圖11顯示基於圖10所繪之具體實施例設計的縱向截面 圖。 圖10中折反射投射物鏡300的具體實施例和上述具體實 98927.doc •35- 1376524 施例部分相似處在於其包含：第一折射物鏡部分31()，用於 建立第一中間影像303;第二反射物鏡部分320，用於從第 一中間影像建立第二中間影像304 ;及第三折射物鏡部分 330 ’用於將第二中間影像重新成像至影像平面3〇2上。第 一物鏡部分可包括至少一透鏡，使其可變為折反射物鏡部 分。 和上述具體實施例相對照，第二物鏡部分320包括四個反 射表面’即’兩個平面摺疊鏡3〇6、3〇7和兩個面對面的凹 面鏡321、322。這些鏡面的凹面鏡面可定義反射腔325,其 内部為摺疊鏡及中間影像所在。 位置緊接第一中間影像3〇3的第一摺疊鏡3〇6係配置用於 將來自物體平面的輻射反射至可直接反射（即，沒有中間影 像）光線至第二凹面鏡322的第一凹面鏡321上。自第二凹面 鏡反射的光線會照在將光線反射至物體平面的第二摺疊鏡 307上，藉此建立緊鄰第二摺疊鏡的第二中間影像。在此建 構中，凹面鏡及這些鏡面的底座係位在延伸於物體平面及 影像平面之間的中央主要部分之外。凹面鏡具有和光軸之 物體側部分305"及影像侧部分3〇5"，（在此具體實施例中為 橫向偏移）確切或幾乎垂直的共同光軸3〇5,。摺疊鏡相對於 光轴的斜角可以是45。或和光軸差異極大，如多達5或1〇 度。因此’ 70。及11〇。之間的斜角可發生在凹面鏡之共同光 軸及光軸之物體與影像側部分之間。 雖然中間影像在幾何上係位在凹面鏡之間，但請注意， 光學上沒有任何中間影像在凹面鏡之間。此配置允許凹面 98927.doc • 36 - 1376524 鏡上有小的光點直徑，這有利於縮減幾何光線導引值(展 度）。光瞳平面309落在和兩個凹面鏡相距-段距離處，在 此位置上，絲線和凹面鏡所定義之光㈣5，相交。孔 徑光闌可位於此處。如果凹面鏡中至少一個具有非球面反 射表面，且其表©具有彳f向上從絲向鏡面之邊緣遞減的 曲率，則會很有利。 可將離軸物體場變換為第一中間影像之完全折射的第一 物鏡部分310具有附有正能力的第一透鏡組1〇11及附有正 能力的第二透鏡組LG12 ^可將孔徑光闌提供於這些透鏡組 之間，其中主射線308與光軸相交。反射物鏡部分32〇可將 第一中間影像成像至第二中間影像且具有在凹面鏡之間的 光瞳平面。完全折射的第三物鏡部分33〇具有附有正能力的 '第一透鏡組L G 3 1及附有正能力的第二透鏡組l G 3 2。孔徑光 闌A的位置落在LG31及LG32之間。 圖12顯示另一具有兩個凹面鏡421與422及兩個中間影像 403、404之投射物鏡400的示意圖，和圖1〇結構及/或功能 相同或相似的特色或特色組將以增加1〇〇的相同號碼表 示。圖13顯示基於圖12所繪之具體實施例設計的縱向截面 圖。 和圖10、11所示的具體實施例相對照，凹面鏡421、422 並不共用共同平直光軸。反而是，凹面鏡421的光軸對應於 在物體平面及影像平面之間的光軸4〇5。凹面鏡422的光軸 和光軸405幾乎垂直。鏡面底座的建構空間落在連接物體及 影像平面的光軸之外，而這會很有利。請注意，光軸的物 98927.doc • 37- 1376524 體側及影像側戴面係為同軸。由於凹面鏡均落在光軸405 之一側上’因此可將第一及第二摺疊鏡設計為具有面對凹 面鏡之鏡面及在光線通過時被使用兩次的一個單一平面鏡 406。還有’可結合兩個分開的凹面鏡42ι ' 422以形成一個 可以使用兩次的單一凹面鏡β 圖14顯示第三具體實施例之反射物鏡部分的透視圖，以 證明鏡面幾何學。從圖中可見，摺疊鏡及凹面鏡可因照明 區域屬於簡單形式且連續而具有幾何上簡單的形狀。在此 具體實施例尹，凹面鏡及摺疊鏡具有有助於設置的矩形形 狀。 圖15顯示投射物鏡500之另一項具體實施例的示意圖，該 投射物鏡具有改善光學效能的特色及有助於製造的特色。 圖16顯示根據圖15所示原理設計之投射物鏡的透鏡截面。 此具體實施例的規格如表16及16 Α所示。和圖1結構及/或功 能相同或相似的特色或特色組將以增加400的相同號碼表 示。 可用來將第一中間影像503成像至第二中間影像504的第 二物鏡部分520包括第一凹面鏡521及光學上在第一凹面鏡 521之下游的第二凹面鏡522。第一及第二凹面鏡的曲率表 面具有和投射物鏡所有光學元件共用之光轴轉動對稱同轴 的共同軸》在第一及第二凹面鏡上使用的不間斷鏡面係在 光軸505的相對側上。第一鏡相關透鏡55 1光學上係配置在 緊鄰第一凹面鏡前方的第一中間影像503及第一凹面鏡521 之間’致使其可在第一中間影像及第一凹面鏡之間的光學 98927.doc -38- 1376524 路徑中和在第-凹面鏡及第二凹面鍊之間的光學路徑中轉 變兩次。為了避免影響在第二凹面鏡及影像平面之間的光 學路徑，可將第一鏡相關透鏡551設計為配置在光軸之外的 截形透鏡。第二鏡相關透鏡552係配置緊鄰第二凹面鏡“之 的前方，致使其可在第一及第二凹面鏡之間的光學路徑中 和在第二凹面鏡及影像平面502之間的光學路徑中使用兩 次。透鏡552為截形，致使其不會延伸進入在物體平面5〇ι 及第一凹面鏡521之間的光學路徑。第一及第二鏡面相關透 鏡55卜552為具有自由入射及出射表面的獨立透鏡。尤其， 面對個別凹面鏡的透鏡表面具有和凹面鏡之曲率不同的曲 率，因而和具有曼京鏡的具體實施例（比較圖丨）相比時，可 允許額外的自由度。兩個鏡面相關的透鏡551、552可設計 為具有和關連之凹面鏡曲率相似之曲率度的負弯月形透 鏡’即，具有面對關連之凹面鏡之凹面鏡面的凸面。配置 緊鄰凹面鏡前方的負折射能力可用來改善色長度像差 (CHL)的校正。第二物鏡部分所有光學上作用的表面均為球 面’以顯著有助於製造及改善光學效能β尤其，和具有非 球面（尤其是非球面鏡面）的具體實施例相比時，可減少漫射 光。 具有咼縱橫比矩形（在交叉掃描方向（X方向）上具有寬度a 及在掃描方向（y方向）上具有較小的寬度b)之形狀及配置在 離光轴距離c上離轴的視場如圖15a所示。浸沒物鏡在纟士入 作為193 nm之浸沒媒介的純水使用時’具有影像側數值孔 徑NA=1，2。此系統在物體及影像側上為遠心且實質上沒有 98927.doc -39- 1376524 視場區域像差》 在圖17中，顯示根據結合圖15所述原理之系統變化的透 鏡截面。具有ΝΑ=1，2之193 nm浸沒透鏡的規格列於表口及 17A。和圖1結構及/或功能相同或相似的特色或特色組將以 增加500的相同號碼表示。第二物鏡部分620具有緊鄰球面 凹面鏡62 1、622前方及在往返個別凹面鏡之光線路徑中使 用兩次的非球面負彎月形透鏡651、652。為了簡單明瞭， 包含凹面鏡621、622及緊接在個別凹面鏡之前之關連的透 鏡65 1、652的各組光學元件將表示為"折反射子群、在圖 17的具體實施例中，折反射子群62 i、651及折反射子群 622、652的設計相同且配置互相對稱。尤其，光學表面的 半徑、光學表面的軸距或厚度、及對稱相關透鏡和對稱相 關凹面鏡之光學表面的直徑相同。這使得透鏡651、652及 鏡面621 ' 622分別可以利用相同的毛域材料同時進行製 造。因此，圖17中舉例所示類型的配置得以大幅縮減第二 折反射物鏡部分中所用光學元件的材料及製造成本。 在製造用於投射透鏡（具有設計為截形鏡面的第一凹面 鏡及第一凹面鏡）之折反射或反射物鏡部分之光學元件的 對應方法中，第一及第二鏡的製造致使先製造第一及第二 凹面鏡的鏡面毛坯，以獲得鏡面所需的凹面形狀，第二再 將成形的鏡面毛坯分開成兩個用作第一及第二凹面鏡的截 形鏡面。鏡面毛坯可以是表面準備後切割成兩片的單—片 斷。也可以在使鏡面成形之前，將兩個分開的毛坯部分結 合一起，如藉由緊貼或膠結。這使得在表面準備後比較容 98927.doc -40· 1376524 易分開。可在分開鏡面基底部分前後執行鏡面基底的塗 布。鏡面相關透鏡可以對應的方式製造。 和圖16所示具體實施例進一步的不同之處在於以下事 實：接近個別凹面鏡之透鏡651、652的表面中至少一個具 有非球面形狀。在此具體實施例中，透鏡651、652的各: 面透鏡表面為㈣面。配置接近個別中間影像的非球面（為 此系統視場表面）經設計可使視場相依像差上的強大影
響，如物體成像上的扭曲或光瞳成像的球面像差受到影 響。-般而言’在中間影像及光學上接近中間影像:關^ 的凹面鏡之間（中間影像的上游或下游）配置至少一透鏡會 很有用，其中配置在中間影像及凹面鏡間之透鏡中至少一 表面為非球面》尤其，面對中間影像的透鏡表面可為非球 面。
在一項替代的具體實施例中，可將在圖16及17之具體實 施例中為截形透鏡的鏡面相關透鏡設計為延伸橫跨光轴之 完全彎月形形狀的負透鏡’使其可轉變三次。明確地說， 透鏡652(和第二凹面鏡622關連）可延伸橫跨光軸6〇5上，致 使來自物體平面的光線在形成第一中間影像6〇3前轉變此 透鏡’然後’延伸在光轴的另一側，在第一及第二凹面鏡 和第二凹面鏡及影像平面之間的光學路徑中β同樣地，和 第一凹面鏡621關連的透鏡651可延伸橫跨光軸上，致使在 往返第一凹面鏡的光學路徑中使用透鏡兩次，及在第二中 間影像604及影像平面之間的光學路徑中使用第三次。在此 具體實施例_，提供兩個在中間影像的上游及下游轉變三 98927.doc •41 · 1376524 次的非球面，以有助於光學校正。此外，和截形透鏡的設 置相比時，可改良透鏡的設置（比較圖18及19)。 在圖18中’顯示具有兩個使用三次之透鏡之投射物鏡7〇〇 的示意圖。圖19顯示此類型的具體實施例，其規格列於表 19及19Α中《和結合圖15至17詳細說明的特色相似或相同的 特色將分別以相同的參考號碼增加100或200來表示β 第二折反射物鏡部分720可將第一中間影像7〇3成像為第 二中間影像704。第一鏡相關透鏡75 1係在光學上配置在中 間影像703及第一凹面鏡72 1之間，而在光軸7〇5的相對側 上’第一鏡相關透鏡752係在光學上配置在第二凹面鏡722 及第二中間影像704之間。兩個鏡面相關透鏡75 1、752延伸 橫跨通過個別凹面鏡721、722之光線之光束通道的光軸 上。尤其，第二鏡相關透鏡752延伸至在物體平面751及第 一凹面鏡721之間的光束通道，而第一鏡相關透鏡751延伸 至進入第二凹面鏡752及影像平面的光束路徑。因此，各鏡 面相關透鏡751、752在光學上使用三次，藉此發揮透鏡最 大的光學效應，同時減少光學材料的消耗。此外，和截形 透鏡的設置相比時，有助於透鏡751、752的設置。 通過二次的透鏡751、752的較佳設計為多級透鏡，其具 有：和光軸之一側關連及在往返關連之凹面鏡的光學路徑 中轉變兩次的第-透鏡區域，及和光轴之相對側關連及轉 交··人的第二區域，其中第一透鏡區域及第二透鏡區域在 透鏡中至少一側上具有不同的透鏡表面曲率，致使多級透 鏡可形成—對在共同位置上作用之互_立作用的透鏡。 98927.doc -42· 1376524 在光轴相對側上提供不同光學能力的整體多級透鏡可以單 :透鏡毛柱進行製造且可以習用的方式使用圓形底座加以 - 置絲各側上的透鏡區域可具有不㈣非球面形狀， • 其中非球面較佳係基於相同的球面基礎形狀以有助於梦 造。請注意，透鏡752最接近第一中間影像的部分及透鏡m 最接近第二中間影像的部分均位置接近視場表面，致使透 鏡表面可有效用於校正視場像差，尤其在其製造成非球面 時。 籲 在圖19所示的具體實施财，可將兩個具有三重使用的 透鏡751、752設計為具有和相關凹面鏡相同之曲率度及具 • 2弱負折射能力的Η月料鏡。在其他具體實施例中:、 這些透鏡也可以幾手沒有任何光學能力。在這兩種情況 中’至少-透鏡表面可以是非球面以支援光學校正。 在所有具體實施例中，第一折射物鏡部分可用來從平坦 的物體場形成第-中間影像。第一中間影像的尺寸及光轴 • ⑯置以及和第一中間影像關連的像差均由第-物鏡部分的 光學特性決定。如上述的具體實施例，可將第一物鏡部分 再細分成具有正折射能力的第一透鏡組LGu及且有正折射 能力的第二透鏡組LG12,其中系、统的光瞳表面川係配置在 光軸位置中的透鏡組之間，其中成像的主射線7〇8與光轴相 交。可在此光瞳表面的附近提供決定成像程序所用數值孔 ’徑的孔徑光闌。然而，在圖！8及19所示的具體實施例中， ， 會在光學上和第三折射物鏡部分中之此光瞳表面共概之光 • 瞳表面的附近提供孔徑㈣A。在光瞳表面711及第一中間 98927.doc -43- 1376524 影像之間的第二透鏡組LG12包括緊鄰第一中間影像上游 的負彎月形透鏡752。 在圖19的具體實施例中，第一透鏡組LG11包含：具有影 像側凹面及弱光學能力的正彎月形透鏡78卜具有影像側凹 面及弱負能力的負彎月形透鏡782、具有物體側凹面的正彎 月形透鏡783、雙凸面正透鏡784、具有影像側凹面的正彎 月形透鏡785、及具有緊接在光瞳表面711之前之影像側凹 面的正彎月形透鏡786。第二透鏡組LG12包括：具有面對 物體之強烈彎曲凹面之彎月形形狀的透鏡787、具有物體側 凹面的正彎月形透鏡788、緊接在後的雙凸面正透鏡789、 及鏡面相關第二透鏡之整體部分的負彎月形透鏡752。緊接 在後光瞳表面及具有面對光瞳與物體平面之凹面的彎月形 透鏡787對於校正第一物鏡部分申的球面像差、像散及影像 曲率尤其有用。光學校正也絕對可以受到由配置在第一透 鏡組LG11之發散光束截面中的負彎月形透鏡7 82及正彎月 形透鏡783所形成之正負對的影響。具有光學上接近物體平 面之凹面出射表面的負彎月形透鏡係配置在主射線高度大 於邊緣射線向度的區域中，藉此有效校正視場像差，如扭 曲。 可將圖20所不之具有規格列於表20及20A之投射物鏡800 的具體實施例說明作為圖19所示之具體實施例的變化。和 s亥具體實施例相似，負彎月形透鏡85丨係配置緊接在第一凹 面鏡821之前，其中透鏡851為光束通過三次。和圖19的具 體實施例相對照，透鏡85丨是唯一為光束通過三次的透鏡。 98927.doc • 44 - 1376524 緊鄰第二凹面鏡822前方並沒有任何負折射能力或正折射 能力。@此ϋ射物鏡部分所需之透明光學材料的質量 小於圖19所示的具體實施例。第一物鏡部分具有倍率。 Ιβι|«1.9. 在圖21中，顯示一般根據結合圖15詳細解說之原理所設 計之投射物鏡900的另一項具體實施例，其規格列於表门 及21Α中。參考號碼相似，只是增加4〇〇。尤其，將緊鄰光 學上在個別凹面鏡及凹面鏡上游或下游之中間影像之間之 凹面鏡前方的負彎月形透鏡95卜952指派給各凹面鏡921、 922。各負變月形透鏡951、952可設計為只配置在關連之凹 面鏡所在之光軸側的截形透鏡。因此，鏡面相關的透鏡可 為光線通過兩次。第一物鏡部分91〇可再細分成兩個透鏡 組’透鏡組LG 11係配置在物體平面及光瞳平面9〖丨之間，透 鏡組LG12則配置在光瞳平面及第一中間影像9〇3之間。如 同圖19所示的具體實施例，第一透鏡組LC}11包括正負對 982、983，負彎月形982係配置接近物體平面及具有面對影 像平面的凹面出射側。跟隨此負透鏡的正折射能力分成兩 個正f月形透鏡，各具有面對物體的凹面側。具有面對物 體之強烈彎曲凹面入射側的彎月形透鏡987係配置緊接光 目里平面911的下游。在光學上’此透鏡可用於校正第一物鏡 部分中的球面像差、像散、及影像曲率。 第三物鏡部分930包含：在第二中間影像904及孔徑光闌A 之間的第一透鏡組LG3 1，及在孔徑光闌A及影像平面之間 的第二透鏡組LG32。孔徑光闌係配置在第三物鏡部分之最 98927.doc -45- 1376524 大光束直徑區及影像平面之間。緊接在孔徑光闌八後的雙凸 面正透鏡996係為具有均為非球面之入射側及出射側的雙 • 非球面透鏡°彼此密切鄰近及配置在緊鄰影像平面上游之 • 光束路徑中的非球面對像差校正具有強烈的影響。尤 其，較南階的球面像差及彗形像差絕對會受到影響。在第 二物鏡部分t只配置一個負透鏡991。雙凸面負透鏡991可 疋義第—物鏡邛勿之光束路徑中的淺光束腰。在負透鏡外工 .下游的所有透鏡均為正透鏡。在第三物鏡部分之漸增及大 光束直徑的區域中避免負透鏡得以維持小的光束直徑，因 此可減少第二物鏡部分之透鏡所需的光學材料。 在部分具體實施例中，兩個凹面鏡92 1、922都具有球面 鏡面，因此有助於製造及改善光學效能。如果D是第三物鏡 部分之透鏡it件的最大直徑[_]，及⑽以凹面鏡921、 922的曲率[mm·]，則圖21的具體實施例可滿足以下條件： 1<D/(|Ci| + |C2|) . 1〇-4<6。曲率c是頂點之曲率半徑的倒數。 φ 如滿足此條件，則在第三物鏡部分的珀茲伐校正及正能力 之間可獲得良好平衡。 圖22顯示具有和圖4所示具體實施例相似之一般建構之 投射物鏡1〇〇〇的變化，即，具有包含兩個凹面鏡ι〇2ι、ι〇22 且沒有任何折射光學元件的第二物鏡部分1〇2〇。相似特色/ 特色群的參考號碼相似’但增加8〇〇。其規格列於表22及ΜΑ 中。建立第一中間影像1003的第一折射物鏡部分l〇i〇可再 細分為在物體平面及光曈平面1011之間的第一透鏡組 • 和在光瞳平面及第—中間影像之間的第二透鏡組LG12。第 98927.doc -46· 1376524 一透鏡組LG11開頭是雙凸面正透鏡1081，其後是具有影像 側凹面的負彎月形透鏡1082及雙凸面正透鏡1〇83。'尤=高 •入射角發生於負彎月形透鏡1082的凹面出射側，該透鏡係 ，配置在光束稍微發散的區域中。高入射角具有強烈的校正 . 影響。已發現透鏡1〇81、1082、1〇83提供的順序正負正很 有用。因此，建立第一中間影像的第一物鏡部分包括至少 一面對影像的凹面時較佳，其較佳含在正_負_正透鏡的順序 中〇 •圖23顯示一般設計根據結合圖4所述原理之投射物鏡 11〇〇的另一項具體實施例。其規格列於表23及23八中。第二 物鏡部分1120為完全反射，因此不需要任何透明光學材 #。現在將結合此具體實施例及圖24解說—些有關有助於 製造之特色的方面。然而，這些方面也可以在其他具體實 施例中實施。兩個凹面鏡1121、1122均具有相似表面以 有助於製造及改善光學效能。一般而言，凹面鏡的形狀對 φ 於特定像差具有強烈的影響。尤其，鏡面的頂點曲率可影 響影像曲率（珀茲伐曲率）。如果使用非球面鏡面，非球面的 基本資料可定義特定視場相依像差，尤其是光瞳的球面像 差，其和y4成正比，其中y是凹面鏡的光束高度。兩個影響 鏡面形狀之因素的深層根基在於光學設計且其彼此相依。 尤其’第一因素（基本曲率）強烈影響有關非球面類型的第二 因素，因為，例如，凹面鏡的強大曲率將引起強烈的視場 _ 相依像差。 已經找到影響凹面鏡之製造能力及光學效能間折衷的特 98927.doc •47- 1376524 定重要因素。一個因製造凹面鏡所造成的因素是深度，因 為工具必須根據深度才能突進鏡面基底的材料以建立凹面 鏡面。參考圖24,突進深度表示為〜以。鏡面邊緣處的最大 > 弓形高或上升高度可定義為和光軸垂直之平面的轴間隔及 使凹面鏡的邊緣觸及和其平行的平面然後觸及凹面鏡的頂 點。如圖24所示，Pmax和非球面鏡面的曲率半徑尺及非球面 鏡面的直徑D相依。在第一近似值（對於非球面形式）令，可 將Pmax表示為：pmax = R-(R2-D2/4)0’5。由於無法改變鏡面的 •基本形狀而不會強烈影響光學效應，因此只能使用鏡面的 直徑當作影響製造能力的自由參數。在考慮製造時，尤其 • 要在拋光前解決定義鏡面基底基本形狀所需之鏡面基底的 研磨。已發現，如果滿足條件D<1，3R將會較佳，如果滿足 條件D<1，2R致使也滿足條件：Pmax<〇,22R更佳。如果兩個 鏡面之彎曲鏡面頂點的曲率半徑能夠儘可能相同，則亦有 助於製造。如果R1是第一鏡之曲率的頂點半徑及尺2是第二 φ 鏡面之曲率的頂點半徑，則較佳能滿足以下條件： 0,8<|R1/R2|<1，2。在圖23所示的具體實施例中，可滿足此 條件及以下兩個條件：Pmax<0,22R&D<1，3R。除了有關曲 率半徑之關係的條件外，如果滿足後者條件之一，即已足 夠。 在圖23所示的具體實施例中，鏡面1121、1122的曲率幾 乎相同（曲率半徑相差在小於1%内）及非球面形狀幾乎相 ' 同。鏡面1121、1122是第二物鏡部分的唯一光學元件，因 此使得這部分成為反射部分。第二物鏡部分丨12〇之光學元 98927.doc -48- 件的最大直徑小於或幾乎等於第三物鏡部分中透鏡的最大 直經°這有助於軸對稱投射物鏡成為晶圓步進器或晶圓掃 描器的實施》雖然孔徑光闌A係提供於第三物鏡部分中，但 也可以將其提供於其光瞳表面1111附近的第一物鏡部分。 在圖25中，顯示投射物鏡1200的另一項具體實施例。圖 26顯示物體平面1201及第二中間影像i2〇4(為完全折射物 兄0P刀12 3 0之物體以按約1 · 4的縮減比例將第二中間影像 成像至影像平面1290上）間之截面的細部圖。 整個设計可按縮減的比例將配置在物體平面1 20 1中的物 體成像至影像平面1202上的投射物鏡1200包含三個物鏡部 分1210、1220、1230，各設計可將物鏡部分上游的視場平 面成像至物鏡部分下游的視場平面。第一物鏡部分121〇包 含四個連續透鏡1211、1212、1213、及12 Μ，其後是緊鄰 第一中間影像12〇3上游的第一凹面鏡122 1。因此，第一物 鏡部分為折反射。第二物鏡部分1220也是折反射，其包括： 緊接第一中間影像1203下游的第二凹面鏡1222及正透鏡 1226、1227、1228、1229，全部均有效於將第一中間影像 1203重新聚焦為第二中間影像1204。第三物鏡部分1230為 完全折射且包括此系統之可自由進入的孔徑光闌A。 和上述具體實施例相對照’只有第一中間影像1203係位 在凹面鏡1221、1222定義的鏡面間空間中’而第二中間影 像12 0 4則洛在此鏡面間空間之外。由面對面之兩個凹面鏡 1221、1222定義的鏡面組具有鏡面組入射及鏡面組出射。 在位在幾何上在面對光轴1205之第二鏡1222邊緣旁邊的鏡 98927.doc -49- 1376524 面組入射處，來自物體側之輻射可進入鏡面間空間，及在 位在幾何上在面對光軸之第一鏡1221邊緣旁邊的鏡面組出 射處’輻射會在凹面鏡的反射後離開鏡面間空間。此具體 實她例的特徵特色為投射物鏡的第一光瞳表面psi落在鏡 面組入射附近及第二光瞳表面PS2落在鏡面組出射附近。相 反地，在大多數的具體實施例中，如1至4、7至14圖所示， 鏡面組的入射及鏡面組的出射係在光學上接近為投射透鏡 之視場表面的中間影像。還有，在上述具體實施例中，自 第一凹面鏡反射的輻射會在衝射在第二凹面鏡上之前與光 軸相交，以在光軸相對側之凹面鏡的反射表面上，有效留 下輻射的覆蓋區。相反地，在圖25及26所示的具體實施例 中，第一及第二凹面鏡1221、1222係配置在光軸的相同側。 由於此差異’在上述的具體實施例中，相對於配置在凹面 鏡頂點間中間的對稱點，在凹面鏡所定義之空間内的光學 路徑幾乎具有點對稱；而在圖25、26的具體實施例中’相 對於和光轴垂直及配置在凹面鏡頂點間中間的鏡面平面， 光學路徑幾乎為鏡面對稱。 在光學上’如果想要藉由接近視場平面之透鏡的作用影 響視場像差，設計實質上根據圖25、26所示之具體實施例 的具體實施例會报有利’因為在物體平面12〇1及影像平面 1202之間的視場平面之一，即第二中間影像1204的視場表 面係配置在凹面鏡1221、1222定義之鏡面間空間之外的距 離可自由進入。如圖25所示，兩個視場透鏡1229、1235係 配置接近緊鄰此中間影像上游（1229)及緊接下游⑴叫的 98927.doc • 50· 第二中間影像1204，因此可形成像差校正的視場透鏡組。 第一及第二物鏡部分1210、1220可在和由幾何上在此鏡 面組之後的凹面鏡1221 ' 1222所定義之鏡面組的距離處有 效形成中間影像1204»由於光瞳表面pS2係配置在鏡面組的 出射附近’結合作用為傅立葉變換透鏡組之透鏡組1226至 1228可用來定位及定義中間影像12〇4的特性然後再由第 二物鏡部分1230將其重新成像在影像平面12〇2。這些特性 使第一及第二物鏡部分121〇、122〇形成的子系統可用作將 中繼系統之前及下游之光學系統之光線路徑連結一起的中 繼系統。由於鏡面組之凹面鏡1221、1222的作用，此中繼 系統可設計成對影像曲率具有強烈的影響，以補償至少部 分鏡面組上游及下游之正透鏡的相對影響。 圖27顯示具有和圖4所示具體實施例相似之一般建構之 投射物鏡1300的變化，即，具有包含兩個凹面鏡1321、1322 且沒有任何折射光學元件的第二反射物鏡部分132〇。相似 特色/特色組的參考號碼和圖4相似，只是增加丨丨〇〇。其規 格列於表27、27A。 建立第一中間影像1303的第一折射物鏡部分1310具有緊 接在物體表面13 01後的第一透鏡元件1312，其中此第一透 鏡元件的人射表面對物體表面為非球面及凸面，及孔徑光 $系提供於各具有正折射能力之透鏡組間的第一物鏡部 刀第一反射物鏡部分1320的凹面鏡1321、1322各具有非 球面鏡面。此設計的特徵特色在於鏡面HU、的非球 面鏡面具有相同的非球面形狀。這允許在製程中使用確切 98927.doc 1376524 相同的光學測試裝置來測量兩個凹面鏡的非球面形狀。如 表27、27A可見，凹面鏡的半徑（描述鏡面的基本形狀）及非 球面常數（描述表面25、26之基本形狀的非球面差異）係為相 同。在其他具體實施例中’兩個凹面鏡間的基本形狀及非 球面常數可能稍微有所變化。即使如此，如果鏡面形狀相 似致使測試兩個鏡面時可以使用相同的測量光學，仍可大 幅改善製程成本。 投射物鏡1400,圖28所示的透鏡截面，具有和圖4所示具 體實施例相似的一般建構。因此，相似特色/特色組的參考 號碼相似，只是增加12〇〇。其規格列於表28及28八中。 包括孔徑光闌A的第一折射物鏡部分1410可設計用於建 立第一中間影像1403。第二反射（完全反射）物鏡部分142〇 包含第一凹面鏡1421及第二凹面鏡丨422，其結合可從第一 中間影像1403建立第二中間影像14〇4。第三折射物鏡部分 1430的設計可將第二中間影像14〇4成像至影像平面μ⑽
上，藉此在操作中，藉由輻射轉變浸液1(水）的薄層。在最 佳化設計時，在鏡面製造中要特別注意有助於非球面鏡面 的光學測試。為此目的，第一凹面鏡1421的鏡面具有拋物 線形狀（比較表28A，表面23)。 、以下考篁有助於瞭解鏡面的拋物線形狀為何有助於測 '•式在㈣情 >兄巾，非球面鏡面的光學測試需要使用特 別經過調節的光學測試线，其設計可建立具有扭曲波前 的測试輻射’其可調適為所需的鏡面非球面形狀，致使非 球面上之賴波的人射角在非球面的各位置44 98927.doc •52· 1376524 常為此目的會採用使料光程光學系統、補償线（κ·系統） 或電腦產生之全息圖像（CGH)或其組合以形成扭曲波前的 光學測試裝置。由於用於各非球面形狀之特別設計之測試 光學的建構十分昂貴，因此需要替代的方法。 相反地，具有拋物線形狀的非球面鏡面可以簡單的測試 設備進行測試4 了進-步解說，將考慮完全圓錐形的旋 轉對稱表面形狀，其可藉由以下等式描述： 此處，P是表面點的軸座標，k是圓錐形常數，頂點處 (光軸與鏡面相交之處）表面的曲率（即，半徑r的倒數（1/r))， 及h是高度（測量和光軸垂直）。使用此等式，即可根據圓錐 形常數k的值產生不同的圓錐形、旋轉對稱表面形狀。例 如，球面形狀對應於k=〇’數值k=“可描述拋物線數值 可描述雙曲線，及數值-l<k<0可描述橢圓形形狀。所有這 些形狀具有共同點：在成像配置在特定位置中的物點（根據 表面的形狀而定）時沒有任何像差（無像散成像）。因此在本 發明的-項具體實施例或其他具有凹面鏡的投射物鏡中可 使用至少一非球面圓錐鏡。在考慮鏡面測試的需求時，拋 物線形狀（k=-l)尤其有用，因為成像將無球面像差的物點係 位在無限遠處。換言之，可將拋物線表面上衝射和光軸平 行之測試束或平行光線的光線以拋物線鏡面聚焦在—個及 唯一的焦點甲。這之所以有利是因為不用對發散或會聚測 98927.doc -53- 1376524 試波的光束進行配置。測試波具有平面波前。 可能的測s式配置如圖2 9所示。此處，和該鏡面定義的光 軸0A—起顯示拋物線鏡面1421。測試設備包括設計可建立 和光軸0A平行之平行測試光束及在拋物線鏡面上為入射 的測試光學系統1460。此測試配置進一步包括已成形及配 置相對於拋物線鏡面1421之所需形狀的球面鏡丨47〇 ,致使 球面鏡1470之曲率1490的中央和拋物線鏡面的焦點重疊。 在此配置中，具有光學1460提供之平面波前及在拋物線鏡 面1421上為入射的測試波1495在衝射在球面鏡147〇上之 刖’先由拋物線鏡面會聚至拋物線鏡面的焦點1 49〇中。球 面鏡1470可沿著至測試光學1460的相同路徑將測試波反射 回去。在平面參考波及從拋物線鏡面反射回來的波間之路 !長度的差異可以用來描繪拋物線鏡面之拋物線形狀的特 徵。 投射物鏡1400在物體侧及影像侧上為遠心。一個有助於 物體側上遠心的特色是緊接在物體平面後之第一透鏡元件 (正彎月形14 12)之入射側的特定凸面形狀。在物體側上，頭 兩個透鏡上的非球面有助於遠心。遠心光束在物體及影像 側上實質上沒有視場區域錯誤，即，橫跨物體或像場上， 實際沒有遠心的差別。 在圖30至32中，顯示三個具有和圖4(具有第二反射物鏡 部分）所示相似之一般建構之投射物鏡15〇〇、16〇〇、及17〇〇 的進一步具體實施例。相似特色/特色群的參考號碼相似， 只是分別增加13〇〇、1400、1500 »其規格列於表3〇、30A、 98927.doc •54- 1376524 31、31A及32、32A。在設計這些具體實施例時，要特別強 調材料消耗及當作將物體場成像為第一中間影像之中繼系 統之第一折射物鏡部分1510、161〇、171〇所需之安裝空間 的最佳化。 圖30、31及32之所有具體實施例的共同特色是，第一物 鏡部分只有六個透鏡元件，即，具有大量折射能力的透明 光學元件。僅使用正透鏡，藉此在具有相對較小最大直徑 的軸向短物鏡部分中建立具有強大會聚能力的第一物鏡部 分。在所有的具體實施例中，平面平行薄片1519、“Μ、 1 7 19係位在緊接在投射物鏡之個別第一光瞳平面15 U、 1611、1711之後。放置至少一實質上平面平行薄片接近光 瞳表面的一個好處是，可將此種薄片變成非球面，以校正 因製ia或其他效應（校正非球面）所引起的像差。此種薄片可 以交換使用。 在圖30的具體實施例中，在緊接在平行薄片1519之前的 光曈位置處，在第一物鏡部分151〇之内提供孔徑光闌A。在 圖31及32的具體實施例中，分別在第三光曈表面163丨、ΐ73ι 之最大光束直徑的區域中，將孔徑光闌配置在第三物鏡部 分内《此處所述的所有具體實施例在影像側光瞳平面及影 像平面之間只彳正透鏡，纟巾圖3〇的具體實施例有五個此 種正透鏡，及另一個具體實施例（圖31、32)在影像側光曈表 面及景> 像平面之間只有四個正透鏡。 圖30和32之具體實施例之第一物鏡部分的比較圖顯示在 非球面的使用&緊接在物鏡平面後之第一透豸元件之入射 98927.doc -55- 1376524 表面的曲率之間的特定關係。在圖30的具體實施例中第 一透鏡元件1512為具有面對物體平面之非球面入射表面的 雙凸面正透鏡，其中此入射表面只是稱微彎曲，其曲率半 徑超過300 其中使用六個非球面（以虛線表示從和 第一中間影像1503之區域相交的射線清楚可見，彗形像差 是第一中間影像1503中一個主要的成像錯誤。此錯誤可由 第一中間影像下游之光學表面的設計加以補償。相日反地， 在圖31所示的具體實施例中，第—透鏡元件的非球面入射 表面（正彎月形1612)具有相對較強之具有3〇〇爪瓜以下之曲 率半徑的凸面曲率（此例中，Rwl54 mm)e在第—物鏡部分 1610中只採用四個非球面。非球面可對彎曲入射表面的光 學效應加以調適，致使第一中間影像16〇3實質上沒有彗形 像差。這代表以下趨勢：入射側的強烈凸面曲率可用來獲 付良好品質之具有少量非球面的第一中間影像。在圖32所 不之具體實施例的第一物鏡部分171〇中，使用十等數量的 五個非球面並結合具有適度曲率（曲率半徑>3〇〇 mm)之第 元件（雙凸面透鏡1712)的入射表面。提供沒有曲率（平面 表面）或弱曲率（曲率半徑值>500 nm或更多）之投射物鏡的 入射表面使得物鏡對於周圍壓力的壓力變動相對较不敏 感。在所有三個具體實施例的第一物鏡部分中，由於非球 面數等於或小於正透鏡數，因此可見在只使用正透鏡元件 時及如果具有折射能力的透鏡數及非球面數之間的比率小 於1.6，可獲得小型設計。 圖30至32的具體實施例顯示，在具有所有物鏡部分之共 98927.doc -56- 1376524 同平直光軸及第二反射物鏡部分之較佳設計的架構中，可 以在具有轴長度明顯小於第三物鏡部分之軸長度之物鏡 (第一物鏡部分）的入射側上設計令繼系統。軸長度（測量於 物體表面及第一中間影像之間）可以小於90%或小於8〇%之 第三物鏡部分的軸長度（測量於第二中間影像及影像平面 之間）。這表示此S又计可配合在折射物鏡部分之間之第二（反 射或折反射）物鏡部分的各種不同位置一起使用。 在圖30至32的具體實施例中，最接近影像平面的平面凸 面透鏡，即，物鏡的最後透鏡，係以氟化鈣製成。由於此 材料對於輻射引起的密度變化較不敏感（尤其是小型的），和 具有以熔化矽砂製成之最後透鏡的物鏡相比時’可以增加 物鏡的使用壽命時間。然而，在設計和基於水的浸沒液體 一起操作的浸沒物鏡中，氟化鈣的最後透鏡元件因氟化鈣 溶於水而很有問題。因此，系統的壽命時間將會減少。因 此，保護最後透鏡元件免於因侵略性浸沒液而溶蝕的保護 層會很有用。合適的保護層係說明於本申請人2〇〇3年12月 19曰申請之美國臨時申請案6〇/530,623，其揭露内容在此以 提及的方式併入本文中。在圖3〇至32的具體實施例中，藉 由緊貼將具有厚度0.3 mm之熔化矽砂的薄平面平行薄片附 者在平面_凸面氟化鈣透鏡的平面出射表面上。可視需要交 換提供扠射物鏡之出射表面的平面平行石英玻璃薄片。如 果熔化矽砂材料因高輻射負載及/或如果發生污染及/或熔 切砂S護薄片上㈣痕而受損’則可能需要交換。 ：用圖3 2的具體實施例作為範例，以解說本發明之投 98927.doc •57- 1376524 射物鏡的進一步特性特色。為此目的，自實質上和光軸平 行之最遠視場點（離光軸AX最遠）延伸及在三個連續光瞳表 面位置？1、？2、？3(各在成像物鏡部分171〇、172〇、173〇 之一内）和光軸相交的主射線CR以粗線晝出，以有助於瞭 解。在沿著主射線的各位置處，在光軸Αχ及主射線CR之間 產生的角度在下文中表示為”主射線角”。主射線CR在第一 中間影像1703的位置處為發散（在光線傳播方向中增加的
主射線高度）。在第一中間影像後之增加的主射線高度對應 於第一中間影像1703下游之第一物鏡部分171〇的負主射線 相父長度。此處，"主射線相交長度"的定義為在中間影像 位置及中間影像處主射線CR之切線交點之間的軸長度。交
點係位在第一物鏡部分1710内第一中間影像的物體側。相 對於第一中間影像的負主射線相交長度對應於第一物鏡部 分的負（虛擬）出射光瞳。相反地，會聚主射線存在於第二中 間影像1704,對應於第二中間影像下游的正主射線相交長 度，其又對應於在第二中間影像下游的真實出射光瞳。相 對於第二中間影像丨7 〇 4之第二物鏡部分丨7 2 〇的真實出射光 瞳因此位在影像平面外的第三物鏡部分173〇(真實出射光 瞳）之外。第一物鏡部分1710的虛擬出射光瞳和第二物鏡部 分1720的真實入射光瞳重疊。在這些條件之下，可提供具 有至少兩個中間影像的投射物鏡，其中一個成像物鏡部： (此處為西己置在第一折射物鏡部分及第三折射物鏡部分之 間的第二折反射或反射物鏡部分）可在第一及第二中間影 像之間形成實像，其中，除此之外，還可將真實入射光曈 98927.doc -58 - 1376524 成像至真實出射光瞳。由於在第一折射物鏡部分之内有可 進入的光瞳表面P1及在第三物鏡部分之内有另一個可進入 的光瞳表面P3，此類型的投射物鏡具有兩個玫置孔徑光闌 以有效定義成像程序中所用數值孔徑的潛在位置。此處， 用語"可進入"係指為延伸通過投射物鏡之光線僅通過一次 之物鏡部分的截面中可能的孔徑光闌位置。 此外，此處所述較佳具體實施例的投射物鏡具有三個在 物體平面及影像平面之間的真實光瞳表面ρι、p2、，其 中在這些光曈表面之一中的最大主射線角小於物體側數值 孔徑及其中，除此之外，還要滿足以下條件中至少一項： (1)二個光瞳表面之兩個中的最大邊緣射線高度為第三光曈 表面（此處為第三光瞳表面P3)中最大邊緣射線高度的最多 50% ; (2)光瞳表面之兩個中的最大主射線角為第三光瞳表 面中最大主射線角的至少兩倍大；（3)光瞳表面之兩個中的 最大主射線角為物體側數值孔徑的至少兩倍大。 下文中將顯示一些相對於製造及測試其中所用非球面之 方面進行最佳化的具體實施例。為了證明在準備透鏡上非 球面中所產生的問題之一，圖33(a)&33(b)各顯示通過具有 薄正透鏡L(具有非球面入射表面AS)之習用物鏡之子午線 透鏡截面的局部放大圖。在圖33(幻中，顯示沿著傳輸光束 周圍延伸的獨特射線R1及延伸接近光學系統之光軸的獨特 光束R2，以證明非球面透鏡L的光學作用。在習用的系統 CONV中，非球面AS的設計可當作通過接近光軸之射線的 正透鏡及當作接近光束周圍之射線（射線Rl)的負透鏡。為 98927.doc -59- 了在子午線方向中獲得折射能力的此變化，此非球面在光 軸周圍的區域中具有正曲率（c>0)及在射線^通過的周圍 區域中具有負曲率（c<0)。特徵為局部曲率c=0的反曲點1? 係位在凸面截面（光軸周圍）及凹面截面（在周圍）之間。雖 然，就光學的觀點而言，可能需要依此方式所得曲率度的 局部變更’但在考慮表面最後修整時反曲點很重要，因為 具有有效表面拋光之合理直徑的最後修整工具（圖33(b)中 顯不為工具T)在反曲點周圍的區域中具有實質上不一致的 效應。因此，具有反曲點的非球面很難獲得足夠的光學品 質。 如果非球面沒有反曲點，則可避免這些問題。圖34所示 的投射物鏡1 800(規格列於表34及34A)的設計可使非球面 沒有任何反曲點。 本發明人等就製造的觀點所發現之非球面至關重要的另 一個特色將參考圖35進行解說。本發明人等發現，如果能 夠避免光軸外之非球面之表面形狀上的極值點（極小值或 極大值)’或如果這不可能，如果只在具有實質上平坦基本 形狀的非球面上使用極值點，則可獲得非球面的高光學品 質在圖35令，就函數p(h)顯示兩個非球面AS1及AS2的表 面心狀’其中15的測量和光軸（Z-方向）平行及h是表面點的高 度’其中高度對應於表面點及光軸間的半徑距離。此處所 用參數二代表和光轴垂直之平面及和其平面平行之相關表 面相交且觸及光軸上光學元件之頂點V的軸間隔。 就該點而言’非球面上的極值點的特徵為以下事實：第 98927.doc 1376524 一導數（具有表面斜率的特徵）可表示為 〇 及第二導數
(此處，第一導數描述表面曲率）。因此，圖35的第一非 球面AS1具有第一極值點Εχι1及第二極值點£乂12具有第二 導數的相反正負號，第二非球面AS2只有一個極值點 EX21。在此處所用的定義中，將不考慮光學表面的頂點 V(其令h-Ο)，因為該頂點永遠是此處考慮之旋轉對稱非球 面的極值點。
在圖35中’將表面形狀顯示於光軸（h=0)及表面區域的外 圍之間’該形狀已利用如拋光的工具加以修整完成。此最 後修整區域的特徵為最大高度hmax〇操作中在光學上使用的 最大區域一般比較小，致使在光學所利用之半徑的特徵為 極大值hcptChmax。在光學上在該區域邊緣及光學組件邊緣之 間的使用區域外的區域將表示為溢出區〇R。此區域一般用 來設置光學元件》然而’在製造中，在考慮有關最佳表面 形狀時也必須考慮溢出區》 下文將會解說如果想要最佳表面品質，為何非球面上的 極值點至關重要的原因。為此目的，會在第一極值點Εχι丄 的區域中操作具有合理尺寸直徑的旋轉拋光工具T。根據在 極值點ΕΧ11周圍的”凹谷”及工具Τ之間的相對尺寸而定，凹 面谷底部的區域的抛光可能不足’因為工具多半會"橫越" 98927.doc -61 · 1376524 重要的底部區域。因此’極值點區中的表面品質和遠離重 要極值點之區域的表面品質可能不同。另一方面，如果極 值點對應於非球面上的凸面"凸頂"，則此區域的拋光會比 周圍區域還強烈，而這也會導致極值點區中表面品質的不 規則性。如果非球面沒有任何極值點（除了頂點必要的極值 點之外）’即可避免這些問題。由於在處理光學使用區域之 周圍區域時，工具τ一般延伸在最大光學使用區域（在h〇pt) 之外’因此在邊緣區OR中也要避免極值點。 另一方面’將需要具有極值點的非球面以在子午線方向 中獲得非球面之折射能力的特定變化。本發明人等已發 現’就製造的觀點而言’如果在具有實質上平坦基本形狀 之光學表面上存在極值點，則可接受極值點。例如，非球 面型可在平面凸面或平面凹面透鏡的平坦側或平面平行薄 片的表面上形成。較佳’具有極值點之此種表面之最大z變 化（Pmax)的絕對值應不超過〇,5 mm，小於〇,25 mm更佳。因 此可獲得非球面上極值點的光學優點且光學表面品質沒有 明顯的不規則性。 在圖36中，顯示投射物鏡1900的具體實施例，其中所有 非球面在光軸之外沒有極值點。其規格列於表36及36A中。 如果想要具有極值點的非球面，則應在具有實質上平坦基 本形狀（通常具有丨r|>2〇〇〇 mm的長半徑）的光學表面上形成 此非球面》 圖3 7及3 8顯示設計根據圖4所示之—般建構之投射物鏡 2000、2100的具體實施例，即分別具有第二反射（完全反射） 98927.doc -62- 1376524 物鏡部分2G2G、212G。相似特色/特色群的參考號碼相似， 但分別增加1800、J900。其規格列於表37、37八及38、38八。 在設計這些具體實施例時，要特別強調只具有幾個校正構 件（如非球面及適度數量的透鏡元件）的平衡設計。此外，在 投射物鏡的不同部分中折射能力的平衡分布將有助於整個 光學系統的諧波光束偏向。此諧波的一般建構能使設計比 較不會受到單一透鏡元件或透鏡組之不良調整的影響並有 助於併入控制器以動態影響光學系統的效能，如藉由在和 光軸垂直的轴向中移動及/或傾斜單一透鏡或透鏡組。 在圖37的具體實施例中，只使用十個非球面，這根據上 述考量，可以相對較符合成本效益的方式進行製造及測 試。最後光學元件（緊接在影像平面2〇〇2之前的平面凸面透 鏡2050)係以熔化矽砂製成，在光學使用區域邊緣具有厚度 約23 mm。整體波前錯誤可減為丨6 。所有透鏡均以熔化 矽砂製成，製造所有透鏡需要約6〇 kg熔化矽砂的毛坯材 料。相反地，形成圖38之具體實施例之最後元件的平面-晶 面透鏡2 1 5 0係以氟化鈣製成，該材料比較不容受到密度變 化（小型化及薄型化）所引起之輻射的影響。使用可以適度力 量製造的12個非球面，即可獲得特徵為波前錯誤2ι爪入的 效此。此具體貫施例使用約63 kg'熔化石夕砂的整體毛柱質量 及1.5 kg氟化鈣。 在圖39及40中，顯示兩個具體實施例，其中，除了其他 特色’其特徵為以下事實：將物體場成像為第一中間影像 的第一物鏡部分係為折反射物鏡部分，其包括一凹面鏡及 98927.doc -63- 1376524 一具有彎曲鏡面的附加鏡面’其中凹面鏡及附加鏡面的彎 曲鏡面為面對面，致使第一物鏡部分可當作具有所有物鏡 部分之一平直共同光軸之較佳具體實施例之投射物鏡的中 繼系統。 圖39所示之投射物鏡2200的規格列於表39及39A(非球面 常數）。此系統係設計用於使用水（n= 1,436677)作為浸液的 193 nm。除了最後影像側光學元件（以氟化鈣製成的平面_ 凸面透鏡2260)的所有透鏡均以熔化矽砂製成。在21，8 mm 配置於光軸外的像場尺寸26 mm.5,5 mm處可獲得影像側數 值孔徑NA=1，2。軌跡長度（物體影像距離）為1125 mm。 第一折反射物鏡部分22 1 0的設計可建立第一中間影像 2203。設計可從第一中間影像建立第二中間影像22〇4的第 一折反射物鏡部分2220包括：具有面對面之凹面鏡面及定 義鏡面間空間的第一凹面鏡2221及第二凹面鏡2222，及具 有緊接第一中間影像下游之非球面、凹面入射表面的正彎 月形透鏡2229。第三折射物鏡部分2230的設計可將第二中 間影像成像至影像平面2202，藉此利用輻射轉變水（浸液 的薄層。孔徑光闌Α係位在第三物鏡部分中。 第一物鏡部分2210按物體場的光學順序包括：具有強烈 非球面入射表面及非球面出射表面的雙凸面正透鏡2211， 具有非球面凹面入射表面及球面出射表面的正蠻月形透鏡 2212，及具有物體側凹面鏡面及其配置和光軸不同圓心但 矛光軸2205相交的凹面鏡2213。和在物體場及凹面鏡22 13 之間通過的輕射相比，從凹面鏡反射回來的輕射可在相反 98927.doc • 64 - 1376524 方向中’大部分在光軸的相對側上，轉變正脊月形m2。 在凸面透鏡221丨之影像側表面的離轴鏡塗層上，可提供具 有凸面鏡面的附加鏡面2214。 之前會通過正彎月形2212第三 偏移透鏡區上被使用三次。 轄射在第一中間影像的形成 次。因此，透鏡2212在橫向
凹面鏡2213的位置在光學上接近光瞳表面，凸面鏡22U 係配置在光學上接近中間影像湖。因此，根據凹面鏡及 凸面鏡2213、2214的形狀加以選擇’即可分開校正視場像 差及光曈像差》這允許調整第__中間影像簡的校正狀 態，致使兩個在包括第二折反射物鏡部分222 〇之第一中間 影像下游後的物鏡部分可補償殘餘的成像錯誤。
第一物鏡部分可設計為具有重要倍率丨My的放大系 統。第一中間影像2203的位置在幾何上接近在第二物鏡部 分之凹面鏡2221及2222之間定義之鏡面間空間外之凹面鏡 22 13的最近邊緣，藉此在第一中間影像及第一凹面鏡2221 之間的光學距離變為相當大’而在第二凹面鏡2222及第二 中間影像2204之間的光學距離變得相當小。因此，第二物 鏡部分之凹面鏡的尺寸差異極大，第一凹面鏡的光學使用 區域約為第二凹面鏡上對應區域的兩倍大。兩個凹面鏡 2221及2222的位置在光軸之外，致使光軸不會和光學所用 鏡面相交。由於凹面鏡係位在有關主要射線之射線高度及 邊緣射線間之比率的不同位置，不同成像錯誤之凹面鏡的 校正效應可分布在兩個折反射物鏡部分2210及2220之間。 圖40所示的投射物鏡2300係設計為具有等級為系統之設 98927.doc -65- 1376524 計波長λ( 193 nm)或其一小部分（如λ/2或λ/4以下）之有限影 像側工作距離的"固態浸沒鏡、從最後透鏡之出射表面出 射的漸逝場可用來成像。此系統可調適用於光學近場微影 蝕刻。其參考為本申請人申請於2003年7月9曰的德國專利 申請案DE 1G332112.8，其中明確說明光學近場微影钱刻的 較佳條件。在要獲得影像側數值孔徑ΝΑ> 1的此例中，並不 需要液體浸液。在此具體實施例中，像場尺寸22 mm.4,5 的ΝΑ=1，〇5 ’其中像場係配置39 mm離軸。整體縮小比率為 1 : 4，軌跡長度為1294,4 mm。在此設計中，包括最後影像 侧平面-凸面透鏡2360的所有透鏡係以熔化矽砂製成。其規 格列於表40及40A(非球面常數）。 a又汁可按放大的比例從物體場建立第一中間影像2 3 〇 3的 第一折反射物鏡部分2310按沿著光學路徑的順序包括：具 有非球面入射表面及球面出射表面的雙凸面正透鏡2311， 具有物體側鏡面的凹面鏡2312、具有面對凹面鏡之稍微彎 曲凸面鏡面及由透鏡23 11之影像側透鏡表面之上升截面上 的鏡面塗層所形成的凸面鏡2313，具有凹面入射側的雙球 面正彎月形透鏡23 14，及具有位在第一中間影像2303之鄰 近之強烈非球面出射表面的雙凸面正透鏡2315。 第二折反射物鏡部分2320可取得第一中間影像2303及形 成幾何上位在由第二物鏡部分之第一凹面鏡2321及第二凹 面鏡2322定義之鏡面間空間内的第二中間影像2304。第二 物鏡部分進一步包括負彎月形透鏡2325、2326，各分別位 在緊接在關連之凹面鏡2321及2322的鏡面之前。依此方式 98927.doc • 66 · 1376524 即可獲得縱向色像差（CHL)的強烈校正效應。具有物體側非 球面及影像側球面表面的雙凸面正透鏡2328延伸橫跨在第 一及第二凹面鏡2321、2322之間之投射物鏡的整個直徑上 且輻射會通過其中三次’一次在第一中間影像及第一凹面 鏡之間’第二次在第一及第二凹面鏡2321、2322之間，及 第二次在第二凹面鏡2322及第二中間影像2304之間。 在此具體實施例中，所有三個凹面鏡23 12、2321、2322 的位置均在光學上遠離投射物鏡的光瞳表面。還有，幾乎 平坦的凸面鏡2313則完全位在第一光瞳表面pi之外。此設 計允許折反射物鏡部分的校正效應分布在第一及第二物鏡 部分之間。 本發明允許製造的折反射投射物鏡在投射曝光裝置許多 的實際實施方面具有和習用折射投射物鏡的相似特性，藉 此極有助於折射系統及折反射系統之間的變更。第一，本 發明允許建造具有一平直（未摺疊）光軸的折反射投射物 鏡。再者，可將配置在光軸之一側上的物體場成像至配置 在光軸之相對側上的像場，即，此成像係以"負倍率"執行。 第一可將物鏡5又计為具有各向同性放大。此處，用語"各 向同性放大"係指影像形成不會"影像顛倒"，即不會咚變在 物體場及像場之間的對掌性。換言之，按右手座標系統中 說明之光罩的特色可按影像之相似右手座標系統來說明。 負的各向同性放大係出現在和光軸垂直的乂及y方向中。這 允許使用亦用於以折射投射物鏡成像的相同類型光罩。這 些特色有助於以習用設計用於折射投射物鏡的曝光裝置實 98927.doc -67· 1376524 細•本發明的折反射投射物鏡，因為在如光罩及晶圓階段不 需要大事重新建構。還有，設計和折射投射物鏡一起使用 的光罩原則上亦可和本發明的折反射投射物鏡一起使用。 依此方式可節省使用者的大量成本。 如上·述’本發明允許以高數值孔徑建造折反射投射物 鏡’尤其允許可以相對較少量光學材料建造數值孔徑NA>1 的浸沒微影姓刻。以下說明製造特別小型投射物鏡之事實 的考慮參數可證明材料消耗小的可能性。 一般而s ’投射物鏡尺寸傾向於隨著影像側數值孔徑NA 的增加而大幅增加。就經驗而言，已發現，最大透鏡直徑 向於增加得比Dmax〜NAkiNA的線性增加還多，其中 k>l。數值k=2為用於本申請案之用途的近似值。此外，已 發現’最大透鏡直徑Dmax的增加和像場尺寸（以像場高度γ， 表示）成正比。本申請案之用途假設有線性相依性。基於這 些考量’可將第一小型化參數C0MP1定義為： COMPl=Dmax/(Y'-NA2) 明顯可見’對於像場高度及數值孔徑的給定值’如果想 要小型設計，則第一小型化參數C〇MP 1應越小越好。 考慮提供投射物鏡所需的整體材料消耗，透鏡無名值 也相關。通常，具有少量透鏡的系統優於具有大量透鏡的 系統。因此’第一小型化參數C0MP2可定義如下： C0MP2 = C0MP1-Nl 同樣地，C0MP2的小數值可以代表小型光學系統。 此外’本發明的投射物鏡具有至少三個將入射側視場平 98927.doc -68- 1376524 面成像至光學上共軛的出射側視場平面的物鏡部分，其中 將成像物鏡部分串連在中間影像處。通常，光學系統之成 . 像物鏡部分的N0P越高，建造投射物鏡所需的透鏡及整體材 . 料數量也會增加。每個物鏡部分最好儘可能維持小平均數 NL/N0P的透鏡。因此，第三小型化參數C0MP3可定義如下： COMP3 = COMP1Nl/N〇p 同樣地，具有低光學材料消耗的投射物鏡的特徵為小數 值的C0MP3。 • 表4 1以規格表總結對於計算各所示系統之小型化參數 COMP、C0MP2、C0MP3所需的數值及這些參數的個別數 值（表格號碼（對應於圖式的相同號碼）列於表41的第1行）。 因此，為了得到具有至少一凹面鏡及至少三個成像物鏡部 分（即，至少兩個中間影像）的小型折反射投射物鏡，應觀察 以下條件中至少一項·· C0MPK11 應觀察：較佳COMP1<10,8，更佳COMP1<10,4，尤佳 ® COMP1<10。 COMP2<300 應觀察：較佳COMP2<280，更佳COMP2<250，尤佳 COMP2<230。 COMP3<100 應觀察：較佳COMP3<90，更佳COMP3<80，尤佳 COMP3<75。 表4 1顯示本發明的較佳具體實施例一般觀察這些表示根 98927.doc •69· 據此說明書中所述設計規職得適度材料消耗的小型設計 之條件申至少一項。 可視需要，可以使用不同類型的填充氣體填充在投射物 鏡之光學元件間之空的空間。例如，可以根據具體實施例 的所需特性而；t，使用空氣'氮氣或氦氣作為填充氣體。 有利的具體實施例的特徵為一或多個以下條件。較佳將 第—物鏡部分設計為放大系統，較佳具有倍率1介於 1<心1<2.5。這可確保第-中間影像處的低Na及協助避免漸 暈問題。Ιβ丨丨可以是i或稍微比較小，如〇·8<|βι|<ι。較佳 將第二物鏡部分設計為具有接近等大（unh magnificati〇n) ^系統，#，幾乎沒有放大或縮小。尤其，可將第二物鏡 部分設計為具有倍率P2介於〇·4,2丨<1.5的系統，較佳介於 0,8<旧2丨<1.25或介於〇.9〈丨βγυ。第三物鏡部分較佳具有縮 減倍率整個投射物鏡具有倍率!3，其中β=βι.ρ2.β3。 第二中間影像可具有大於影像尺寸的尺寸。 較佳，第一中間影像及第二中間影像的位置在幾何上均 在第一凹面鏡及第二凹面鏡之間的鏡面間空間内。其位置 在幾何上可以在第一凹面鏡及第二凹面鏡間之鏡面間空間 内之兩個凹面鏡間之中點為中心的中間區域，其中，十間 區域在具有軸延伸s9〇。/。之第一及第二凹面鏡之曲率表面 頂點間之軸距的空間中延伸。 如果d是兩個凹面鏡間之光軸上的距離，dl是第一中間影 像及第一凹面鏡間之光軸上的距離’及们是第二凹面鏡及 第二中間影像間之光軸上的距離，則較佳可以滿足關係： 98927.doc -70- 1376524 0.5 d/2<dl<1.5 d/2及0.5 d/2<d2<1.5 d/2。上述距離係沿著 可摺疊的光軸進行測量。較佳，在第一中間影像的位置附 近中’離軸最遠之視場點的主射線能與兩個凹面鏡間之d/4 及3d/4間之相同的所述區域的光軸相交。光瞳位置則遠離 鏡面。 已發現有用的是設計光學系統致使至少一中間影像（較 佳所有中間影像）的位置，致使在中間影像及下一個光學表 面（在大多數的具體實施例中為鏡面）之間存在有限最小距 離。如果維持有限的最小距離，則可避免將光學表面之上 或之中的污染物或錯誤清楚成像至影像平面中，致使干擾 圖案的所要成像。較佳，根據中間影像之輻射的數值孔徑 選擇有限距離，致使中間影像旁邊之光學表面之輻射的次 孔徑（特定視場點的覆蓋區）具有至少3 mm或至少5爪爪或至 少10 mm或至少15 mm之最小直徑。從圖式及表格中清楚可 見’有關鏡面間空間内中間影像及配置在光學上最接近中 間影像的鏡面之間的距離，大部分或全部具體實施例均輕 易即可符合這些條件。具有配置在凹面鏡間之中間區域中 之中間影像的具體實施例就此方面而言更是自然天成。 上述具體實施例的所有透明光學組件，除了可能以氟化 約製成的最後影像側透鏡之外，均以相同的材料，即溶化 矽砂（Si〇2)製造。然而，也可以使用其他材料，尤其在工作 波長處為透明的結晶鹼土金屬氟化物材料。至少也可以採 用第二材料’以視需要協助校正色像差。當然，也可以在 用於其他波長（如248 nm或157 nm)的系統中利用本發明的 98927.doc 71 1376524 優點。 上述具體實施例部分或全部均符合部分或全部條件β 應明白，所有上述系統可以是從真實物體形成實像（如在 晶圓上）的完整系統。然而，也可以使用此系統作為較大系 統的部分系、统。例如，上述系統的"物體"可以是由物體平 面上游之成像系統（中繼系統）所形成的影像。同樣地，由上 述系統形成的影像可以用作影像平面下游之系中 統）的物體》 ’、
已舉q說月u上較佳具體實施例的說明。從提供的揭 ==本技術者不僅明白本發明及其隨附優點， 也月b發現所揭露之結摄菸士、+仏办 此，本發明旨在涵蓋所有變更二種明顯變更及修改。因 圍及其同等物所定義之本^ ，改均在隨时請專利範 所有申的精神及範嘴之内。 部分。 _的内容均以提及的方式成為此說明的
98927.doc •72- 1376524
表4 J20S
表面· 半徑 厚度 材料 半徑 1 151.647118 39.665046 SI02 86.120 2 -1368.552447 69.197177 85.246 3 158.992783 15.145647 SI02 75.907 4 206.923841 38.570349 73.675 5 97.678872 40.014335 SI02 69.070 6 -5437.460665 6.811056 64.924 7 138.801509 16.000000 SI02 53.028 8 573.226631 49.296968 47.448 9 •57.862177 14.263643 SI02 47.630 10 -84.936107 112.509668 57.274 11 -413.250477 39.459821 SI02 106.087 12 -160.648303 5.882304 109.942 13 797.277933 34.177152 SI02 115.560 14 -430.752073 244.699332 115.661 15 -199.609067 -204.699112 REFL 134.925 16 157.344690 246.319295 REFL 109.289 17 862.084499 22.994398 SI02 70.571 18 -419.719089 18.726730 69.767 19 -150.816336 15.000000 SI02 67.991 20 131.971848 26.143914 70.182 21 -1567.196375 19.813697 SI02 72.656 22 -217.593380 44.615314 76.740 23 -2829.863046 39.782748 SI02 103.845 24 -203.824432 1,000000 107.411 25 524.684787 25.000000 S102 114.960 26 902.564365 1.000000 115.451 27 530.781146 38.825378 S102 116.178 28 -473.210631 1.000000 116.066 29 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 113.556 30 322.948582 29.038119 SI02 113.791 31 -2580.799702 1.000000 113.022 32 512.569763 30.174661 SI02 110.876 33 -677.235877 1.000000 109.014 34 106.347684 68.066974 SI02 90.295 35 -1474.944139 0.999719 77.627 36 54.296611 42.467148 CAF2 45.513 37 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20 20.998 98927.doc -73 - 1376524
表4A 非球面常數
SRF 2 3 8 12 15 K 0 0 0 0 0 C1 3.477033e-08 -6.813990e-09 3.966411e-07 4.439638e-09 1.447452e-08 C2 -4.731536Θ-13 -8.621629e-12 -4.007014e-12 1.686758e-13 2.261476e-13 C3 2.796504e-17 -2.762099e-16 7.436146e-15 8.011815e-19 2.580774e-18 C4 -6.649516e-22 •9.615951e-21 1.520683e-18 9.201114e-22 1.377485e-22 C5 -2.829603e-25 -5_726076e-24 -9.949722e-22 -4.382820e-26 -3.426657e-27 C6 1.815473e-29 3.251913e-28 7.293926e-25 1.782591e-30 1.279942e-31 SRF 16 17 19 22 30 K 0 0 0 0 0 C1 4.549402e-08 1.523352e-07 1.162948e-07 -1.982157e-08 1.201912e-08 C2 -5.067161e-12 -5.763168e-12 -6.089203e-13 ·5.382822β·13 -1.705175e-13 C3 2.777252e-16 7.475933e-17 -1.025185e-16 1.200748e-17 -8.926277e-17 C4 -3.138154e-20 6.617515e-20 2.192456e-20 -2.867314e-21 4_435922e-21 C5 2.350745e-24 -2.264827e-24 -5.792211e-25 1.105789e-25 8.175482e-25 C6 -7.599030e-29 -1.064596e-28 5.642674e-28 -3.023003e-31 -2.371799e-29 SRF 33 35 K 0 0 C1 1.147736e-08 9.136462e-08 C2 4.202468e-13 -5.545932e-13 C3 -1.260714e-17 1.560631e-16 C4 -2.591704e-21 -3.601282e-20 C5 4.6061 OOe-26 8.986671e-25 C6 9.707119e-30 3.847941e-29 74- 98927.doc 1376524 表7 J206
表面 半徑 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 76.473 2 196.748623 27.263207 SI02 81.548 3 1380.478547 27.173549 81.569 4 148.118896 29.558580 SI02 83.220 5 985.952509 45.383760 81.731 6 587.017766 26.742601 SI02 74.752 7 -268.687626 5.952675 73.075 8 121.069967 20.000000 SI02 59.416 9 338.972294 15.471207 55.151 10 123.398576 16.000000 SI02 42.222 11 493.239196 38.514952 36.268 12 -56.743953 79.995013 SI02 40.070 13 -98.465204 60.825433 74.618 14 3097.977653 27.304241 SI02 102.327 15 -295.526762 3.782338 104.658 16 271.693311 37.763865 SI02 112.015 17 -3936.289483 25.000000 112.208 18 162.629416 202.628857 112.852 19 -195.636303 •202.628857 REFL 119.680 20 162.629416 202.628857 REFL 104.093 21 -195.636303 44.391294 76.907 22 -1229.055417 33.250147 SI02 83.109 23 -160.024467 37.552215 84.448 24 -246.047659 15.000000 SI02 74.951 25 134.897718 28.252914 72.042 26 -768.808515 15.000000 SI02 73.163 27 -355.461110 71.356200 76.177 28 -3425.435334 32.788842 SI02 102.647 29 -255.172254 10.903212 105.332 30 695.872359 30.470261 SI02 110.205 31 -625.346253 9.352817 110.381 32 〇.〇〇〇〇〇〇 -8.352817 108.884 33 329.990101 40.669818 SI02 110.434 34 -427.546014 1.000000 110.052 35 158.678466 45.978153 SI02 102.564 36 378.976619 1.000000 95.391 37 108.606008 71.612816 SI02 81.775 38 526.305326 1.000000 54.478 39 52.236898 36.413852 CAF2 39.598 40 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20 19.842 98927.doc 75- 1376524
表7A 非球面常數
SRF 4 11 15 18 19 K 0 0 0 0 0 C1 -6.330577e-08 3.463909e-07 1.324809e-08 -7.037790e-09 2.310646e-08 C2 -3.872322e-12 -2.533709e-11 2.103578e-13 -2.219032e-13 3.623856e-13 C3 1.663761e-17 3.527218e-14 3.059213e-18 -7.410203e-18 5.711204e-18 C4 -2.340311e-20 -2.199769e-17 -5.028780e-23 -1.155705e-22 8.453421 e-23 C5 1.375334e-24 -1.507925e-21 1.624941 e-26 -8.984707e-27 1.508061e-27 C6 -1.682943e-29 5.496658e-24 -6.281302e-31 -1.590542e-31 1.239941 e-31 SRF 22 24 27 34 36 K 0 0 0 0 0 C1 6.335247e-08 3.536885e-08 8,583557e-08 2.169817e-08 -1.524001e-08 C2 -1.090600e-11 9.732363e-12 3.629209e-12 -5.404878e-13 1.625696e-12 C3 2.432505e-16 -1.879646e-16 -8.012301e-17 5.551093e-17 -3.076521e-16 C4 -1.490760e-21 1.841476e-20 5.223547e-20 -2.305595e-21 8.708326e-21 C5 1.908731 e-24 -2.885890e-24 -9.160836e-24 4.260803e-26 4.665020e-25 C6 -1.282225e-28 2.916860e-28 1.028273e-27 -9.442220e-32 -2.136828e-29 SRF 38 K 0 C1 1.877887e-07 C2 1.445239e-11 C3 1.060456e-16 C4 3.470869e-19 C5 -6.424228e-23 C6 1.397331e-26 76· 98927.doc 1376524 表8
J201 表面 半徑 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 77.084 2 144.715774 34.413396 SI02 85.539 3 1168.820838 42.714222 84.636 4 137.626538 26.913912 SI02 78.160 5 231.768696 25.969904 74.133 6 -256.723584 9.491982 SI02 73.679 7 -300.099619 24.637606 73.830 8 95.378233 35.795212 SI02 66.319 9 2978.156744 6.137057 62.554 10 113.175934 18.340535 SI02 50.838 11 791.566883 42.223464 45.085 12 -57.334745 47.676082 SI02 42.772 13 -104.057645 85.668623 64.264 14 •747.828120 23.558823 SI02 98.262 15 -237.780029 11.502675 100.729 16 466.711415 38.824036 SI02 109.480 17 -377.473708 39.986102 109.791 18 160.832778 201.116223 111.102 19 -190.162844 -201.116223 REFL 125.335 20 160.832778 201.116223 REFL 106.939 21 -190.162844 40.087040 74.503 22 -429.676099 17.543012 SI02 77.631 23 -222.069915 45.151970 78.588 24 -438.919401 16.685064 SI02 75.545 25 125.893773 22.634903 73.362 26 706.231560 15.535140 SI02 74.562 27 -483.323705 69.793709 76.473 28 -1219.864506 31.389217 SI02 101.495 29 -226.588128 6.763552 104.174 30 443.080071 40.992305 SI02 110.047 31 -556.882957 4.990520 109.849 32 〇.〇〇〇〇〇〇 -3.144971 107.701 33 274.803577 29.023782 SI02 108.934 34 -6968.358008 0.969032 108.499 35 213.748670 46.817088 SI02 106.084 36 -8609.746220 0.945349 101.542 37 114.821261 64.641285 SI02 84.961 38 -4598.248046 0.926317 66.788 39 53.647792 40.301900 CAF2 42.988 40 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20 20.327 98927.doc 77* 1376524
表8A 非球面常數
SRF 4 11 15 18 19 K 0 0 0 0 0 C1 -5.141395e-08 4.483031e-07 1.313620e-08 -7.985633e-09 2.017668e-08 C2 -5.556822e-12 -9.959839e-12 3.644835e-13 -2.642498e-13 3.361249e-13 C3 -2.754499e-16 5.082134e-15 5.949608e-18 -6.856089e-18 4.310554e-18 C4 -1.253113e-20 2.578467e-18 5.732895e-22 -5.142965e-22 1.686493e-22 C5 -4.228497e-24 -3.461879e-21 -2.284813e-26 1.912150e-26 -3.551936e-27 C6 2.490029e-28 1.628794e-24 8.340263e-31 -1.470786e-30 2.057764e-31 SRF 22 24 27 33 36 K 0 0 0 0 0 C1 4.549402e-08 1.523352e-07 1.162948e-07 -1.982157e-08 1.201912e-08 C2 -5.067161e-12 -5.763168e-12 -6.089203e-13 -5.382822e-13 -1.705175e-13 C3 2.777252e-16 7.475933e-17 -1.025185e-16 1.200748e-17 -8.926277e-17 C4 -3.138154e-20 6.617515e-20 2.192456e-20 -2.867314e-21 -4.435922e-21 C5 2.350745e-24 -2.264827e-24 -5.792211e-25 1.105789e-25 8.176482e-25 C6 -7.599030e-29 -1.064596e-28 5.642674e-28 -3.023003e-31 -2.371799e-29 SRF 38 K 0 C1 1.148008e-07 C2 -5.056506e-13 C3 1.189381e-16 C4 -1.274117e-20 C5 -3.981271e-24 C6 3.798968e-28 78- 98927.doc 1376524 表16 ΝΑ = 1.2, β = 0.25 a b c 26 5 4.75 WL 193.3 nm SILUV 1.56049116 CAFUV 1.50110592 H20V 1.4368
表面 半徑 .厚度-- 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.999475127 AIR 65.000 1 133.894287787 14.995217082 SILUV 84.778 2 127.681095498 25.597460396 AIR 82.945 3 402.041163143 34.247197246 SILUV 84.808 4 -292.795248488 0.996612226 AIR 85.527 5 -865.792789804 19.686989978 SILUV 84.845 6 -194.300017249 0·的7731584 AIR 84.746 7 166.499926718 34.205033740 SILUV 81.167 6 -3411.356708300 0.997606594 AIR 78.713 9 108.526463069 16.234112594 SILUV 67.657 10 101.654206518 13.668730583 AIR 60.671 11 161.992336120 14.的7158671 SILUV 58.598 12 2789.766305580 83.396846659 AIR 54.555 13 -51.475183292 14.997760255 SILUV 49.489 14 -64.480378016 0.998543606 AIR 60.882 15 -523.449669764 57.729408261 SILUV 91.022 16 •124.018124564 0.995673329 AIR 97.756 17 213.269322132 24.422343766 SILUV 111.322 18 368.130596294 326.268973067 AIR 110.123 19 -161.615015336 14.998434538 SILUV 131.765 20 -312.345980956 31.430358591 AIR 153.714 21 •214.602996812 -31.430358591 AIR 155.986 REFL 22 •312.345980956 -14.998434538 SILUV 149.921 23 -161.615015336 -238.077915164 AIR 116.301 24 149.287132498 -14.998202246 SILUV 103.169 25 317.538289321 -33.202694396 AIR 133.495 26 186.422421298 33.202694396 AIR 137.843 REFL 27 317.538289321 14.998202246 SILUV 136.305 28 149.287132498 324.504871734 AIR 116.434 29 304.025895186 51.634530337 SILUV 102.695 30 -321.237280055 36.471806645 AIR 101.284 31 -141.718556476 14.999755253 SILUV 84.799 32 104.217593104 30.610688625 AIR 74.074 33 581.141203674 15.015591714 SILUV 75.850 34 -637.266899243 22.019923725 AIR 78.058 35 -222.755672262 20.582750922 SILUV 80.475 36 -149.492790226 0.999906680 AIR 84.782 37 260.619344057 25.604090348 SILUV 101752 38 1033.029187190 30.684011762 AIR 102.212 39 181.295872049 62.489568781 SILUV 109.856 40 -319.175759184 1.032697080 AIR 108.616 41 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 24.649355928 AIR 99.183 42 241.322246262 26.360109939 SILUV 88.680 43 •555.614152728 2.010445644 AIR 85.697 44 77.526002487 41.372376482 SILUV 67.268 45 494.197664171 0.978420324 AIR 60.833 46 46.187199269 35.625423750 CAFUV 39.405 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 2.999559725 H20V 20.942 48 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.250 98927.doc 79-
表16A 非球面常數 表面 K C1 C2 C3 3 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+OOO -8.36067621e-008 2.127987956-011 -1.45207564e-015 6 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000 7.698355876-008 2.07985891e-012 1.16482389e-016 7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 1.36850714e-007 -9.44752603e-012 -1.50977238e-016 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 7.53715484β·007 -6.61209701e-011 4.22074183e-015 16 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -5.85261742e-008 7.70941737e-013 -1.40836094e-016 29 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 9.56507182e-008 -2.16638529e-012 -1.23753850e-017 31 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 1.85417093e-007 -2.24667567e-012 6.93769095e-017 34 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 1.66095759e-007 2.43350203e-012 8.88822140e-017 39 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -3.25790615e-009 -2.00206347Θ-012 4.31870304e-017 42 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000 -5.33787584e-008 2.40117270e-012 3.20136118e-016 43 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+(K)0 1.13532739e-007 -5.93286761e-012 1.32296454e-015 45 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 8.97031378e-008 2.47066509e-011 -2.77876411e^)16 表面 C4 C5 C6 3 7.63154357e-020 2.95348560e-024 -3.46561258e-028 6 -4.80737790e-021 5.59439946e-024 -1.29197249e-028 7 -5.84681939&Ό20 7.86623559e-024 -7.24516725e-028 12 -8.02992365e-019 -7.38686026e-022 1.22771230e-025 16 6.45911985e-021 -3.82872278e-025 4.17640461e-031 29 2.58232933e-022 -6.80943505e-025 3.02935682e-029 31 6.79498891 e-020 -6.82812342e-024 2.20970580e-028 34 2.60945386e-020 -3.60666201e-024 5.36227764e-028 39 -2.48544823e-021 5.50166118e-026 -3.31463292e-031 42 9.55299044e-021 -9.27935397e-024 8.13460411e-028 43 -1.88960302e-019 1.04299856e-023 1.69382125e-028 45 -7.08589002e-019 1.20774587e-022 -7.67132589e-027 •80· 98927.doc 1376524 表17 ΝΑ = 1.2, β = 0.25 視場 a b c 26 5 4.75 WL 193.3 nm SILUV 1.56049116 CAFUV 1.50110592 H20V 1.4368
表面 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.997721704 AIR 65.000 1 579.464506139 20.317824521 SILUV 74.592 2 -577.479988552 0.999475036 AIR 75.821 3 2572.370914820 28.040565960 SILUV 76.612 4 243.390586919 11.985977074 AIR 79.119 5 500.676303821 43.989139515 SILUV 80.893 6 -155.064044118 21.184157632 AIR 82.707 7 1381.321630200 18.191562266 SILUV 75.159 8 -393.944847792 0.998449340 AIR 74.340 9 87.946501567 40.892320851 SILUV 65.550 10 99.239178252 25.553101192 AIR 52.382 11 209.13S140913 15.063951314 SILUV 45.950 12 -601.200979555 66.005892131 AIR 42.845 13 -55.332841330 14.999477956 SILUV 50.547 14 •72.577526567 1.163693447 AIR 62.349 15 -346.87349β438 34.446292165 SILUV 80.990 16 -150.420697383 2.645359711 AIR 66.680 17 611.326207207 44.474569849 SILUV 99.391 18 -228.818841769 265.128541011 AIR 100.925 19 -190.727371287 15.000448317 SILUV 108.586 20 -237.320724749 14.700965847 AIR 118.645 21 -194.872786703 -14.700965847 AIR 120.611 REFL 22 -237.320724749 -15.000448317 SILUV 116.199 23 -190.727371287 -195.428248584 AIR 100.830 24 190.727371287 -15.000448317 SILUV 104.448 25 237.320724749 -14.700965847 AIR 120.847 26 194.872786703 14.700965847 AIR 124.569 REFL 27 237.320724749 15.000448317 SILUV 122.685 28 190.727371287 266.167203345 AIR 111.392 29 315.808627637 45.375871773 SILUV 95.944 30 •367.849317765 64.350407265 AIR 94.229 31 -123.002265506 14.998717744 SILUV 70.954 32 113.714722161 32.318363032 AIR 68.389 33 -990.749351417 21.237444356 SILUV 71.838 34 -292.571717802 35.154029607 AIR 78.053 35 -18220.224013700 40.604404749 SILUV 103.420 36 -201.028020704 1.097799815 AIR 107.104 37 366.725287540 37.745092677 SILUV 119.548 38 -961.362776974 0.999856805 AIR 119.749 39 338.337923773 38.019811036 SILUV 118.590 40 -1026.771599840 -1.410077329 AIR 117.118 41 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 12.743520660 AIR 115.541 42 280.022380007 19.482737236 SILUV 110.210 43 1517.149279230 1.197846646 AIR 108.733 44 719.327066326 32.079810786 SILUV 107.695 45 -474.571764529 2.724748590 AIR 105.913 46 89.479992014 48.063302904 SILUV 75.467 47 364.001398221 2.359587817 AIR 64.121 48 52.126874613 39.040570663 CAFUV 42.333 49 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 2.999136615 H20V 20.183 50 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.250 98927.doc -81 · 1376524 表17A 非球面常數
表面 K C1 C2 C3 6 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇»^000 -1.1503530β©-009 6.18896916Θ-013 -4.26285081Θ-016 7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO -1.72652480Θ-008 -3.70258486e-014 -1.25882856e-015 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 3.77928406e^)07 1.46912216e-011 2.33469503e-015 16 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO -6.96β57458β-008 .2.84037647Θ-012 2.05085140e-017 19 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 ·2.08753341»·008 -3.76211193e-013 -1.183β4407β-017 23 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO -2.08753341 e-008 ^.76211193e-013 -1.18364407e-017 24 〇.〇〇〇〇〇〇OOe^OOO 2.08753341e^)08 3.76211193e-013 1.18384407e-017 28 〇.〇〇〇〇〇〇00e>000 2.08753341 e^)〇e 3.76211193e-013 1.18384407e-017 29 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO 7.78624253eO08 -S.29798090e-013 3.91516327e-018 31 〇.〇〇〇〇〇〇〇Qe^OOO 4.28231334e^)08 1.84160203Θ-011 2.69407820e-017 34 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO 1.06085944e>007 5.278511256-012 1.44463148e-016 42 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇eH)00 -4.37269250Θ-008 -1.57509731e-012 8.65198568e-019 45 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -9.15770551e-009 *5.993583066-014 -2.27293408e-016 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe^OOO 6.18769306e-00d 2.40430885e-011 -5.44722370e-015 表面 C4 C5 C6 6 4.86391 β80β^)21 3.14518856e-024 -2.05304958e-028 7 1.13451047e-019 -1.35997S79e-023 1.27061565e^)27 12 -6.54678342e^)18 3.46ββ114θ©-021 -5.35065168e-025 16 -1.26467485e-020 4.46161412e-025 -4.65676248e-029 19 -1.889&0591e-021 1.06203954e-025 -5.85068978e-030 23 -1.86960591 e^)21 1.06203954e-025 -5.85068978Θ-030 24 1.88960591e^)21 -1.06203954e-025 5.650689786-030 26 1.8S960591e-021 -1.06203954e-025 5.650669788-030 29 -1.04724068e-020 6.70919693e-025 -2.3951986ββ-029 31 9.378137136-020 -2.33189316e-023 9.94586095e^)28 34 1.26175655e-020 -1.49657669e-024 2.33032636e-026 42 -3.26636505e-021 2.73829199e-025 2.06β05365&Ό30 45 2.70272716e-020 -1.30446β54β-024 3.13007511e-029 47 7.58602437e-019 -6.94042849e-023 2.940β9737β-027 82- 98927.doc 1376524 表19ΝΑ = 1.2, β = 0.25 視場 a b c 26 4.5 4.75 WL 193.3 nm SILUV 1.56049116 CAFUV 1.50110592 H20V 1.4368
表面 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.999270282 AIR 65.000 1 161.244041962 14.998636035 SILUV 82.320 2 200.129661131 4.944776020 AIR 81.953 3 138.221863276 14.998396795 SILUV 85.474 4 156.496992798 50.903040817 AIR 83.945 5 -173.315527687 16.279875172 SILUV 64.436 6 -142.013268785 1.0006347Θ8 AIR 87.160 7 15501.649257700 32.544206280 SILUV 87.713 8 -158.845141838 0.999631849 AIR 89.436 9 91.597097363 67.410407247 SILUV 79.148 10 107.035143103 13.851994874 AIR 57.324 11 213.854334447 15.987143481 SILUV 54.995 12 -484.417010515 72.563101783 AIR 51.059 13 -54.334592127 14.997747797 SILUV 49,752 14 -68.072352503 0.998695446 AIR 60.236 15 -601.365655277 24.817582741 SILUV 80.082 16 -242.182339653 0.995504271 AIR 83.903 17 920.810751329 35,748197919 SILUV 91.860 18 -213.159366146 55.021374074 AIR 93.260 19 246.612722217 14.997702082 SILUV 89.716 20 222.836314969 195.136099792 AIR 86.935 21 -235.528675750 14.998801176 SILUV 123.772 22 -252.575360887 16.051090308 AIR 131.942 23 •208.057958857 -16.051090308 AIR 133.654 REFL 24 -252.575360887 -14.998801176 SILUV 128.866 25 -235.528678750 -195.136099792 AIR 114.227 26 222.836314969 -14.997702082 SILUV 106.191 27 246.612722217 -15.024807366 AIR 119.874 28 190.206428127 15.024807366 AIR 122.140 REFL 29 246.612722217 14.997702082 SILUV 120.950 30 222.636314969 195.136099792 AIR 111.677 31 •235.528678750 14.998801176 SILUV 83.094 32 •252.575360887 56.045936568 AIR Θ6.4β4 33 370.979663784 47.033021034 SILUV 99.224 34 -371.323272898 62.417517206 AIR 97.788 35 -121.118365852 14.999357361 SILUV 74.709 36 120.855315866 33.365620253 AIR 72.995 37 20779.359547400 24.110061836 SILUV 77.786 38 -269.244136428 16.073764059 AIR 83.845 39 -236*043531861 28.909364173 SILUV 86.677 40 -161.907128190 8.186854525 AIR 94.856 41 842.230350676 46.587674654 SILUV 117.052 42 •262.240874081 3.490322496 AIR 119.226 43 374,311200849 50.091253523 SILUV 123.021 44 -396.081152439 -β.144186891 AIR 122.235 45 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 9.143428258 AIR 118.495 46 290.815269675 69.706490303 SILUV 113.550 47 -465.439617778 0.998821533 AIR 106.611 46 84.362795313 48.231691787 SILUV 73.577 49 220.065022009 0.997153094 AIR 60.069 50 51.630320906 38.562324381 CAFUV 42.677 51 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 2.998760762 H20V 20.925 52 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.250 98927.doc 83- 1376524
表19A 非球面常數
表面 K C1 C2 C3 6 〇·〇〇〇〇〇〇〇〇€+〇〇〇 5.22123357e-008 8.58887551e-013 -4.54164064e-016 7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -5.20183796e-008 -4.57191269e-012 -4.91479340e-016 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO 3.52517346e-007 2.85321977e-011 9.33189845^017 16 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -1.19054499e-007 -6.17053971e-013 8.29918331e-017 20 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 2.35880706β·008 1.10625664e-014 1.52718231e-017 21 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -1.93271271e-008 -1.21191457e-014 -9.08764375e-018 25 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -1.93271271e-008 ·1.21191457βΌ14 -9.08764375e-018 26 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 2.35880706e-008 1.10625664e-0H 1.52718231e-017 30 〇.〇〇〇〇〇〇006.000 2.35880706e-008 1.10625664e-014 1.52718231e-017 31 〇.〇〇〇〇〇〇006+000 ·1·93271271β"008 -1.21191457e-014 -9.08764375e-018 33 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 1·34282593β·007 -1.85430392e-012 4.26524890&Ό17 35 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 -2.95757718e-009 1.59584067e-011 -3.65004253e-016 38 aooooooooe十000 1,44418264e-007 4.50598204e-012 -8.46201050e-019 46 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -1O3608598e-008 -1.39868032e-012 -2.06257372e-017 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -2.35449031e-008 6.28466297e-017 5.46615500e-020 49 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 1.18378675e-007 2.25652288e-011 -6.89451988e-015 表面 C4 C5 C6 6 1.80084384e-021 -1.27939182e-025 9.21858288e-029 7 3.70354199e-020 -2.59625588e-024 -9.35416883e-031 12 1.46216022e-018 1.35490801 e-022 -4.07118530e-026 16 •1.92366012e020 1.44946211e-024 -4.85055808e-029 20 4.13946988e-022 -1.55058201 e-026 1.20806176e-030 21 -5.34976868e-023 -1.13872365e-027 -9.05434146e-032 25 -5.34976Β68Θ-023 -1.13872365e-027 -9.05434146Θ-032 26 4.13946988e-022 -1.55058201e-026 1.20806176e-030 30 4.13946988e-022 -1.55058201 e-026 1.20806176e-030 31 -5.34976868e-023 -1.13872365e-027 -9.05434146e-032 33 2.28325758e-022 -3.90557972e-026 -2.65242779e-030 35 2.40761278e-019 -3.76176852e-023 1.70246167e-027 38 •5.19608735e021 -2.54791026e-025 1.06081720e-028 46 -1.69652628Θ-021 1.44074754e-025 2.91395857e-030 47 5.71824030e-021 -4.38179150e-025 1.61431061e-029 49 1.27155044e-018 -1.75366514e-022 1.10664062e-026 84- 98927.doc 1376524 表20 ΝΑ = 1.2, β = 0.25 視場 a b c 26 4.5 4.75 WL 193.3 nm SILUV 1.56049116 CAFUV 1.50110592 H20V 1.4366
表面 半徑 厚度 材料 半徑 迦 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 44.536474494 AIR 64.000 1 -145.614238159 20.028968251 SILUV 71.569 2 -106.712344272 3.165042254 AIR 75.720 3 -126.799930892 14.997327707 SILUV 77.371 4 -400.529009983 24.938975486 AIR 89.386 5 -153.978050679 32.035367034 SILUV 91.679 6 -113.485754514 3.962209737 AIR 96.767 7 481.661051100 51.626847869 SILUV 109.810 8 -218.069217303 0.986417498 AIR 110.501 9 95.461306806 78.518887093 SILUV 88.224 10 197.024903934 20.433893299 AIR 65.510 11 245.480984290 15.389927680 SILUV 50.234 12 208.931069399 52.005350380 AIR 39.571 13 •51.537539329 25.208829578 SILUV 43.896 14 -67.256773583 31.133045864 AIR 59.014 15 -353.059395237 33.742142302 SILUV 97.721 16 -152.100516860 1.776048462 AIR 102.828 17 -246.044785191 45.384512544 SILUV 109.125 18 -136.487212093 39.988466465 AIR 113.661 19 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 201.398483236 AIR 114.931 20 -233.811577421 14.982820253 SILUV 137.713 21 -370.567496646 37.810813405 AIR 153.233 22 -216.552824900 -37.810813405 AIR 155.425 REFL 23 -370.567496646 -14.982820253 SILUV 147.967 24 -233.811577421 -201.398483236 AIR 120.238 25 168.695670563 201.398483236 AIR 106.748 REFL 26 •233.811577421 14.982820253 SILUV 76.924 27 -370.567496646 37.810813405 AIR 81.451 28 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 40.022296005 AIR 92.209 29 241.209000864 59.448832101 SILUV 108.950 30 -367.385238353 16.411120649 AIR 106.057 31 357.895873274 15.315252659 SILUV 93.192 32 94.401040596 38.563342544 AIR 77.588 33 442.579628511 14.989394891 SILUV 78.610 34 12021.837327700 28.864129981 AIR 79.433 35 -191.074651244 21.063184315 SILUV 81.221 36 -155.506376055 9.229041305 AIR 86.157 37 185.464309512 44.606063412 SILUV 101.263 38 -1150.340708410 31.620758000 AIR 100.270 39 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 -0.000000330 AIR 92.899 40 134.597113443 29.097516432 SILUV 92.514 41 296.937234549 3.458534424 AIR 90.494 42 150.878027709 36.379168022 SILUV 87.171 43 -494.554249982 0.979230496 AIR 84.334 44 65.631220570 30.011852752 SILUV 57.267 45 126.706468270 0.934188028 AIR 49.586 46 43.426322889 31.956384174 CAFUV 36.843 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 2.999915964 H20V 20.807 48 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.001 98927.doc 85- 1376524 表20A 非球面常數
.表面 K Cl C2 C3 1 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -1.87990337e^)08 -7.06178066Θ-012 -1.25139326e-015 6 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe+OOO 2.08430698e-009 3.657278336-013 1.43149385e-018 7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO 1.33126997^008 -2.47997131e-012 3.62223701e-017 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe^OOO 6.925592468-007 1.01811160e-010 4.16533262e-015 16 〇.〇〇〇〇〇〇OOe^-OOO 1.26266812e*008 -7.604970436-013 5.26322462e^)17 20 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe^OOO -2.84981575e-008 5.16388350e-013 -2.39579817e-017 24 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇6+000 *2.84981575e^008 5.16388350e>013 •2.39579817^017 26 〇.〇〇〇〇〇〇OOe+OOO •2.84981575&Ό08 5.16388350e-013 -2.39579817e-017 29 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 1.10496506e-007 -6.42644915e-012 2.43910073e-016 31 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -8.94334736e*008 5.51621746e-012 2.64317734e*016 34 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe^OOO 7.27650226^008 5.05452869e-012 2.12206759e*016 42 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000 -S.69019750e*008 -3.78079018e-012 *3.585364296-016 43 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 3.85631053e-008 -1.9603268$e<012 -4.18174469e-016 45 O.OOOOOOOOe+OOO 1.32980535e-007 6.98357216e-011 -9.96688046e-015 表面 C4 C5 C6 1 1.04002349e*019 1.61613724e-024 -2.08243603e-028 6 3.84125705Θ-021 -4.35918853e-025 5.89812982^029 7 -3.52780013e-022 1.86263171e-025 -7.15398794e-030 12 2.76714831e-017 -1.56122873e-020 5.24368076e-024 16 1.50861183e-021 2.14471673e-025 2.66224210e-030 20 3.35275866e-022 -8.50016423e-028 -1.97442790e-031 24 3.35275866e-022 -8.50016423e-028 -1.97442790e-031 26 3.35275866e-022 -8.50016423e-028 -1.97442790e-031 29 -1.98759724e-020 8.00452148e-025 -9.31628471e-030 31 3.20019743e-020 -4.26422117e^)24 1.50940276e-028 34 5.08829476e-020 -5.03622460e-024 7.39342220e-028 42 -4.25536201e-020 2.42006208e-024 1.84293028e-028 43 9.23637376Θ-020 -8.60875665e^)24 4.05098414e028 45 -3.10084571e-019 1.88265675e-022 -4.40640742e^026 86- 98927.doc 1376524 表21ΝΑ = 1.2, β = 0.25 視場 a b c 26 4.5 4.75 WL 193.3 nm SILUV 1.56049116 CAFUV 1.50110592 H20V 1.4368
表面 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.999392757 AIR 64.675 1 149.202932404 20.120662646 SILUV 82.837 2 233.357095260 1.010428853 AIR 82.195 3 172.529012606 14.999455624 SILUV 83.021 4 153.116811658 37.462782355 AIR 80.924 5 -385.292133909 24.003915576 SILUV 81.802 6 -189.041850576 1.014246919 AIR 84.223 7 -1521.447544300 27.529894754 SILUV 83.808 8 -150.691487200 0.999361796 AIR 85.384 9 89.238407847 56.953687562 SILUV 75.993 10 101.329520927 13.713067990 AIR 58.085 11 176.794820361 18.039991299 SILUV 55.978 12 -447.950790449 73.129977874 AIR 52.127 13 •57.595257960 16.299538518 SILUV 50.436 14 -83.036630542 0.999811850 AIR 64.360 15 -2287.430407510 44.210083628 SILUV 86.772 16 -147.632600397 0.998596167 AIR 92.132 17 -352.966686998 32.886671205 SILUV 97.464 18 •153.824954969 271.807415024 AIR 100.038 19 -238.525982305 14.998824247 SILUV 122.669 20 -315.714610405 19.998064817 AIR 131.8 的 21 202.650261219 -19.998064817 AIR 131.917 REFL 22 •315.714610405 -14.998824247 SILUV 131.852 23 -238.525982305 -196.811186275 AIR 112.411 24 207.441141965 -14.998504935 SILUV 107.771 25 268.178120713 -19.998469851 AIR 124.363 26 193.196124575 19.998469851 AIR 127.679 REFL 27 268.178120713 14.998504935 SILUV 125.948 28 207.441141965 271.807924190 AIR 114.576 29 325.701461380 38.709870586 SILUV 92.964 30 -885.381927410 59.476563453 AIR 90.975 31 -123.867242183 18.110373017 SILUV 74.226 32 126.359054159 30.087671186 AIR 73.733 33 -16392.865249200 31.626040348 SILUV 77.090 34 -2 的.592698534 15.292623049 AIR 86.158 35 -296.842399050 24.895495087 SILUV 89.777 36 -163.748333285 8.131594074 AIR 94.529 37 675.259743609 47.908987883 SILUV 116.712 38 •263.915255162 1.054743285 AIR 118.641 39 356.010681144 47.536295502 SILUV 120.712 40 -435.299476405 3.543672029 AIR 119.727 41 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 10.346485925 AIR 112.597 42 256.262375445 67.382487780 SILUV 107.047 43 -454.037284452 0.998990981 AIR 99.451 44 84.434680547 36.424585989 SILUV 70.101 45 207.490725651 0.997139930 AIR 62.005 46 50.112836179 41.301883710 CAFUV 43.313 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 2.999011124 H20V 20.878 48 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.169 98927.doc 87 · 1376524 表21A 非球面常數
表面 K C1 C2 C3 6 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe+OOO 5.473573380^)08 1.50925239e-012 -1.14128005e-015 7 〇.〇〇〇〇〇〇OOe+OOO •5·邸236098e~008 -4.45251739e-012 -1.12368170e-015 12 〇.〇〇〇〇〇〇OOe-KXX) 3.75669258e-007 2.00493160e-011 -1.57617930e-015 16 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 -2.97247128e-008 -1.16246607e-013 1.91525676e-016 19 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -1.79930163e*008 -1.8l456294e-014 -6.42956161e-018 23 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 ·1·79930163β·008 -1.81456294e-014 -6.42956161e-018 24 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 1.41712563e-008 1.42766536e-013 5.35849443e-018 28 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe+OOO 1.41712563e-008 1.42766536e-013 5.35849443e-018 29 〇.〇〇〇〇〇〇OOe^OOO 1.42833387e-007 3.55808937e-014 -1.23227147+017 31 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe^KXM) -1.51349602eO08 1.62092054e-011 4.43234287e~016 34 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e*K300 1.39181850e-007 3.36145772e-012 «4.99179521+017 42 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -4.24593271e-009 -1.84016360e-012 -2.09008867e-017 43 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe+OOO -1.75350671e^)08 1.70435017e-014 1.85876255e-020 45 〇.〇〇〇〇〇〇OOe+OOO 4.03560215e-008 2.57831806e-011 -6.32742355e-015 表面 e C4 C5 C6 6 2.03745939e-022 -1.46491288e-024 3.18476009e*028 7 7.05334891 e-020 -6.42608755e-024 4.64154513e-029 12 2.00775938e-018 -1.81218495e-022 1.59512857e-028 16 -5.42330199e-021 4.84113906e-025 -1.50564943e-030 19 -1.72138657e-022 4.34933124e-027 -2.46030547e-031 23 -1.72138657e-022 4.34933124e-027 -2.46030547e-031 24 5.30493751 e-022 -2.04437497e-026 1.092979966-030 28 5.30493751 e-022 -2.04437497e-026 1.09297996e-030 29 1.26320560e-021 1.99476309e-025 -1.46884711e-029 31 2.01248512e-019 -3.73070267e-023 1.98749982e-027 34 -8.18195448e-021 4.05698527e-025 4.11589492e-029 42 -2.89704097e-021 1.96863338e-025 6.53807102e-030 43 6.37197338e-021 -5.19573140e-025 2.34597624e-029 45 9.55984243e-019 -1.13622236e-022 6.56644929e-027 88- 98927.doc 1376524
表22 表面 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.993696817 AIR 65.000 1 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 -0.006216437 AIR 75.178 2 173.245898492 28.849219645 SILUV 80.701 3 -1901.645842520 1.159056366 AIR 81.186 4 139.958280577 17.383993593 SILUV 82.800 5 114.690720801 65.798932682 AIR 78.012 6 177.803002075 54.744184912 SILUV 88.979 7 -204.801382425 0.997356478 AIR 88.078 8 89.450127459 21.884550473 SILUV 62.734 9 143.066432170 15.678153833 AIR 57,180 10 -13433.891703300 15.000276693 SILUV 54.058 11 -8853.549440170 13.872934681 AIR 46.493 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 37.955 13 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 61.755398574 AIR 38.009 14 -66.760883146 14.994014816 SILUV 54.182 15 -72.012316741 23.617101147 AIR 60.909 16 63.807677134 21.572901785 SILUV 62.830 17 -76.257505928 1.720678480 AIR 75.095 18 1299.192911670 55.482510512 SILUV 104.240 19 -148.321651349 39.989348698 AIR 106.312 20 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 232.380264110 AIR 95.929 21 -201.575622280 -232.380264110 AIR 121.585 REFL 22 199.702239038 232.380264110 AIR 118.875 REFL 23 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 39.986853275 AIR 91.439 24 162.499205332 44.748459237 SILUV 93.810 25 •2036.857320830 1.012661476 AIR 91.212 26 141.444403824 15.471017813 SILUV 77.784 27 167.499214725 41.441314042 AIR 72.833 28 -106.505215697 14.992253348 SILUV 70.530 29 98.946616742 44.625025386 AIR 64.458 30 -139.301063148 14.998444853 SILUV 66.132 31 -339.669887909 0.997145626 AIR 79.298 32 1356.020956420 23.905236106 SILUV 86.623 33 -340.109054698 5.477848077 AIR 90.957 34 472.296115575 52.138063579 SILUV 108.763 35 -222.876812950 8.808100307 AIR 112.258 36 2053.528638090 24.342755161 SILUV 119.824 37 -621.581254067 1.014456714 AIR 120.910 38 210.455448779 43.312493694 SILUV 124.650 39 -1489.901649750 5.393215295 AIR 124.077 40 210.646045010 47.972124824 SILUV 119.142 41 -627.180734089 0.998977914 AIR 117.607 42 97.515291800 53.409662718 SILUV 82.565 43 469.577208920 0.998603706 AIR 69.163 44 58.393704585 42.102914517 CAFUV 46.689 45 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 3.001333990 H20V 20.956 98927.doc 89- 1376524 表22A 非球面常數 表面2 表面5 表面6
K 0.0000 C1 -4.85507054e-008 C2 8.30450606e-013 C3 -6.55835562e-016 C4 6.07754089e-020 C5 -4.30736726e-024 C6 9.97068342e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 O.OOOOOOOOe+OOO K 0.0000 C1 4.63982284e-008 C2 -4.36308368e-016 C3 -4.56700150e-016 C4 1.41944231e-020 C5 -2.58792066e-024 C6 2.91613493e-032 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 7.93368538e-008 C2 -3.49340213e-012 C3 •3.72450023e-016 C4 -1.50853577e-020 C5 4.35840155e-024 C6 -1.74914218e-028 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000
表面11 表面19 表面21 K 0.0000 C1 3.21277393e-007 C2 2.34047891e-012 C3 1.4 的15392e*014 C4 -1.12960188e-017 C5 3.70333100e-021 C6 -4.63366043e-025 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000 K 0.0000 Cl 1.27016347e-008 C2 4.09192710e-013 C3 2.48214285e-017 C4 9.66053244e-022 C5 1.60329104e-027 C6 2.07652380e-030 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 Cl 1.00526801e-008 C2 1.78849410e-013 C3 2.48862104e-018 C4 9.77481750e-023 C5 -3.23740664e-028 C6 6.28188299e-032 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 表面22 表面24 表面28 K 0.0000 C1 -8.36189868e-009 C2 -1.86708153e-013 C3 -3.35782535e-018 C4 -6.14811355e-023 C5 -6.72093224e-028 C6 -5.98449275e-032 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 3.26436925e-008 C2 9.95492740e-013 C3 3.47886760e-017 C4 6.60667009e-021 C5 -3.90366799e-025 C6 4.03156525e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 1.73452145e-007 C2 9.62198511e-012 C3 8.33010916e-016 C4 -4.89738667e-020 C5 -2.08149618e-023 C6 2.57941116e-027 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇-〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 表面31 表面34 表面38 K 0.0000 C1 1.28849399e-007 C2 4.99181087e-012 C3 5.65181638e-017 C4 2.64289484e*020 C5 -3.15869403e-024 C6 -3.04781776e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 -2.57944586e-008 C2 7.33527637e-013 C3 -5.33079171e-018 C4 -8.21688122e-022 C5 -2.94478649e-026 C6 2.23217522e-030 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 -1,91471943e-008 C2 -1.34589512e-012 C3 3.11852582e-017 C4 -2.35897615e-021 C5 6.73415544e-026 C6 1.62707757e-030 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 98927.doc •90- 1376524 表面40 表面41 表面43 K 0.0000 C1 •6.30346424e-008 C2 -4.64729134e-013 C3 3.22359222e-017 C4 2.89305419e-023 C5 -2.15332629e-026 C6 8.39177392e-031 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 -2.41682461e-008 C2 1.18102559e-013 C3 -1.34037856e-016 C4 1.79602212e-020 C5 -8.86179442e-025 C6 1.89592509e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇OOe->-〇00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇OOe+000 K 0.0000 C1 1.25460964e-007 C2 7:10922055e-012 C3 -1.61078694e-015 C4 1.49634597e-019 C5 -1.71885653e-023 C6 1.04621563e-027 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000
98927.doc -91 - 1376524
表23
Ymax = 64.675 mm; ΝΑ = 1.2 表面 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 32.343320391 AIR 64.675 1 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 0.319194773 AIR 74.840 2 165.502154849 22.393605178 SILUV 81.725 3 427.564472229 78.042155049 AIR 81.442 4 362.770694637 28.092832019 SILUV 88.424 5 -418.998032701 0.953143564 AIR 88.789 6 108.458706796 42.211528711 SILUV 85.410 7 309.813567338 43.976162585 AIR 80.542 8 440.563406352 17.425727560 SILUV 60.495 9 -278.343745406 54.725816031 AIR 56.963 10 -65.973394609 15.012675322 SILUV 50.057 11 -89.483928231 44.616098218 AIR 59.618 12 -164.547135387 29.271100213 SILUV 82.247 13 -110.100956635 0.995307980 AIR 86.942 14 -467.051029385 33.374516855 SILUV 94.291 15 -156.421752282 39.987151223 AIR 96.378 16 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 229.883694545 AIR 89.855 17 -196.922423263 -229.883694545 AIR 115.021 REFL 18 196.894790764 229.883694545 AIR 115.024 REFL 19 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 40.005209742 AIR 89.120 20 158.312187294 42.217660752 SILUV 95.332 21 2467.131056460 70.144222480 AIR 92.913 22 -160.335654972 14.992560808 SILUV 73.410 23 116.412074936 38.531709122 AIR 69.984 24 -250.712291671 18.369318291 SILUV 71.881 25 •300.079780156 31.051013458 AIR 80.817 26 5705.510103480 24.334610155 SILUV 107.710 27 -458.981124329 14.563800138 AIR 111.524 28 946.448274166 62.249192106 SILUV 126.621 29 -192.486608755 1.015402218 AIR 129.650 30 ^079.043797180 15.732935333 SILUV 130.993 31 -1100.089935780 14.595769901 AIR 131,283 32 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 130.790 33 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 -13.603116119 AIR 131.340 34 220.445900864 51.281950308 SILUV 133.878 35 -1597.683074300 5.271684397 AIR 133.124 36 215.527385603 15.522171709 SILUV 124.678 37 314.221642044 4.657196014 AIR 121.589 38 305.812344416 42.963421749 SILUV 120.269 39 -771.778612980 0.996840378 AIR 117.157 40 109.741348234 43.192990855 SILUV 84.698 41 708.633799886 6.161060319 AIR 76.900 42 66.404779509 39.130193750 CAFUV 46.929 43 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 2.999814914 H20V 20.723 44 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.171 WL 193.3 nm 193.4 nm 193,2 nm SILUV 1.560491 1.560332 1.560650 CAFUV 1.501106 1.501010 1.501202 H20V 1.436800 1.436800 1.436800 -92- 98927.doc 1376524 表23A 非球面常數 表面3 表面4 表面9 K 0.0000 C1 5.16435696e-008 C2 -3.34181067e-012 C3 3.14093710e-017 C4 -3.87421162e«022 C5 -8.61200118e-027 C6 -1.47089082e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 9.50247881 e-010 C2 -3.73319015e-012 C3 -6.51837734e-017 C4 -7.93160821e-021 C5 9.00091591 e-025 C6 -1.92340271 e-028 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 1.24922845e-007 C2 1.54187542e-011 C3 -3.69685941 e-016 C4 1.37785719e-018 C5 -3.60351270e-022 C6 2.85480659e-026 C7 〇.〇〇〇〇〇〇OOe-i-OOO C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000
表面13 表面17 表面18 K 0.0000 C1 1.45134700e-009 C2 1.24926632e-014 C3 8.37553299e-018 C4 2.49716672e-021 C5 -2.66380030e-025 C6 2.61815898e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 9.25585261e-009 C2 1.67052938e-013 C3 2.68611580e-018 C4 1.04166910e-022 C5 -1.70724722e-027 C6 1.10260829e-031 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 -8.29620456e<009 C2 -1.78159419e-013 C3 -3.07128696e-018 C4 -8.08505340e-O23 C5 2.33488811 e-028 ce -8.31087015e-032 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 表面20 表面22 表面25
K 0.0000 C1 1.71573479e-008 C2 5.87191967e-013 C3 3.53602344e-017 C4 3.89188764e-021 C5 -2.56256746e-025 C6 2.81528130e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 -9.04880266e-009 C2 3.31829223e-012 C3 -7.82564703e-017 C4 7.87650776e-020 C5 -7.94502597e-024 C6 2.40943558e-027 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 1.11732794e-007 C2 5.01044308e-012 C3 1.82247821 e-016 C4 2.99282347e-021 C5 -2.06723334e-024 C6 2.32093750e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 表面28 表面34 表面36 K 0.0000 C1 -2.42933057e-008 C2 3.07041360e-014 C3 7.41003764e-018 C4 -5.26534391e-022 C5 1.17630052e-026 C6 -1.17982545e-031 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 -8.91439687e-009 C2 -7.33160527e-013 C3 -4.83885006e-018 C4 -2.37515306e-022 C5 2.33792040e-026 C6 -2.27854885e-032 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 K 0.0000 C1 •5.63334250e-008 C2 -3.26907281e-013 C3 9.72642980e-017 C4 4.30118073e-021 C5 -5.03894259e-025 C6 1.42974281 e-029 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 98927.doc -93 - 1376524 表面39 表面41 K 0.0000 C1 4.06678857e-008 C2 3.94505025e-012 C3 -2.03790398e-016 C4 2.07246865e-020 C5 -3.19577553e-024 C6 2.12601962e-028 C7 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000
K 0.0000 C1 -1.21454753e-008 C2 1.19750305e-012 C3 *6.39990660e-017 C4 4.10753453e-021 C5 -1.17680773e-025 C6 4.05203512e-030 C7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 C8 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 "C9 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -94- 98927.doc 1376524 表 27
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 -0.028411 LUFTV193 76.078 2 148.374584 AS 30.141343 SI02V 82.524 3 2980.684122 2.731918 N2VP950 82.907 4 177.363525 46.196958 SI02V 84.542 5 765.980001 AS 27.096346 N2VP950 80.837 6 2666.335118 22.841301 SI02V 73.658 7 -291.755432 AS 0.990907 N2VP950 70.887 8 230.707988 26.508915 SI02V 65.013 9 -298.406132 21.906961 N2VP950 61.389 10 -112.314548 10.039397 SI02V 45.510 11 -118.846218 2.540087 N2VP950 43.187 12 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 N2VP950 35.411 13 〇.〇〇〇〇〇〇 18.000000 N2VP950 35.411 14 〇.〇〇〇〇〇〇 10.013160 SI02V 46.508 15 〇.〇〇〇〇〇〇 0.991399 N2VP950 50.085 16 237.566392 20.385633 SI02V 54.619 17 -476.646043 28.746587 N2VP950 57.184 18 -81.332740 10.129443 SI02V 59.250 19 -86.414601 0.995700 N2VP950 63.535 20 -2069.485733 AS 30.115541 SI02V 71.732 21 -141.210644 0.983397 N2VP950 74.255 22 962.252932 AS 9.980083 SI02V 74.793 23 819.084531 36.977869 N2VP950 75.040 24 〇.〇〇〇〇〇〇 198.944441 N2VP950 77.850 25 -167.595461 AS -198.944441 REFL 139.680 26 167.595461 AS 198.944441 REFL 111:811 27 〇.〇〇〇〇〇〇 36.992449 N2VP950 110.123 28 268.305681 49.624605 SI02V 123.343 29 -828.322347 AS 47.027120 N2VP950 122.544 30 327.800199 39.684648 SI02V 108.912 31 -1269.440044 AS 0.995014 N2VP950 106.029 32 331.950903 9.989996 SI02V 93.089 33 95.290319 49.810064 N2VP950 76.973 34 -442.703787 9.991655 SI02V 76.737 35 143.501616 20.229593 N2VP950 77.748 36 483.451705 9.993273 SI02V 79.933 37 241.810075 15.546146 N2VP950 84.505 38 928.401379 29.795388 SI02V 88.441 39 -298.259102 AS 8.829909 N2VP950 94.008 40 -1812.559641 AS 29.628322 SI02V 101.744 41 -270.502936 7.417032 N2VP950 107,779 42 -7682.999744 AS 45.892645 SI02V 118.999 43 -231.286706 27.404554 N2VP950 122.729 44 449.487156 46.556603 SI02V 134.549 45 -668.069375 1.250913 N2VP950 134.857 46 886.959900 AS 43.269922 SI02V 133.822 47 -295.612418 0.987420 N2VP950 133.749 48 230.112826 44.287713 SI02V 112.987 49 -2356.132765 AS 0.978312 N2VP950 108.183 50 92.104165 41.465221 SI02V 76.439 51 253.332614 1.131452 N2VP950 67.260 52 84.180015 39.033045 CAF2V193 50.611 98927.doc -95- 1376524
53 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20V193 21.082 54 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 16.500 表27A 非球面常數 表面:: 2 5 7 20 22 K 0 0 0 0 0 C1 -7.058653e-08 -1.1147286-07 1.398385e-07 -1.149358e-08 -5.629065e-08 C2 >2.984480e<12 4.526601e-12 -6.219606e-12 -6.065516e-12 1.905377e-12 C3 -1.303901e-16 1.421882e-16 3.410808e-16 6.763250e-16 -2.554l60e-16 C4 -5.960748e-21 -1.164537e-19 3.575265e-20 -7.651964e-20 6.886775e-21 C5 -6.187687e-25 1.628794e-23 -2.900443e-23 5.6895636-24 -6.938594e-25 C6 8.668981 e-29 -6.255900e-28 2.343745e-27 -2.312648e-28 -2.420574e-29 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 0.000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e-^00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 表面 25 26 29 31 39 K •2.31378 -2.31378 0 0 0 C1 -4.828221 e-08 4.828221Θ-08 1.342570e-08 •9.018801 e-08 3.278431 e-08 C2 7.051572e-13 -7.051572e-13 -3.644532e-13 6.045342e-12 1.370822e-17 C3 -2.377185e-17 2.377185e-17 •2.375681e-18 -1.273791e-16 1.643036e-16 C4 6.284480e-22 -6.284480e-22 -3.970849e-22 -2.702171e-21 -2.021350e-20 C5 -1.385194e-26 1.385194e-26 -4.372813e-27 3.262226e-25 2.670722e-24 C6 1.514567e-31 -1.514567e-31 6.283103e-31 -6.948598e-30 -1.187217e-28 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 0.000000e+00 0.000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e^OO 〇.〇〇〇〇〇〇e+oo 表面 40 42 46 49 K 0 0 0 0 C1 -5.316551 e-08 -1.954895e-09 -4.282391e-08 -3.095959e-08 C2 -7.707570e-14 5.606761 β-14 -1.948121e-13 3.451241e-12 C3 2.146900e<16 -6.199304e-17 7.664802e-17 -1.219768e-16 C4 -2.184878e-20 3.478339e-21 -2.354982e-21 4.060098e-21 C5 2.255720e-24 -1.558932e-25 1.361973e-26 -9.053687e-26 C6 -9.545251e-29 4.899450e-30 2.019923e-31 1.610152e-30 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e^00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e-i-00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 98927.doc 96- 1376524
表 28 (EM25) ΝΑ 1.2; Fmin = 18.63 mm; Fmax s 66 mm 表面.· 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.974939715 AIR 66.000 1 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 -0.024765663 AIR 76.143 2 148.940822391 31.463360093 SI02V 83.171 3 6331.489300420 40.453855135 AIR 83.210 4 928.302406310 14.994423747 SI02V 83.796 5 251.967918823 13.753137508 AIR 83.372 6 172.912005335 50.243372901 SI02V 87.569 7 -197.856766081 1.000964332 AIR 86.631 8 81.522536296 17.681593406 SI02V 65.574 9 88.327907526 30.256558951 AIR 60.047 10 117.551427452 18.843304175 SI02V 50.042 11 855.507852453 8.921765220 AIR 45.493 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 37.552 13 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 49.799403498 AIR 37.641 14 -56.887108985 19.216557050 SI02V 46.868 15 •153.952881762 0.978745522 AIR 66.363 16 -10783.364868000 53.980836551 SI02V 79,120 17 -370.423261824 5.444267505 AIR 97.662 18 -1928.185768980 46.883883025 SI02V 104.839 19 -156.534475362 0.983619441 AIR 108.499 20 -2025.935551520 37.434974978 SI02V 114.116 21 -206.572644709 34.979106092 AIR 115.758 22 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 220.766423587 AIR 108.107 23 -187.624624543 -220.766423587 AIR 140.612 REFL 24 185.347836932 220.766423587 AIR 130.980 REFL 25 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 38.094302401 AIR 87.940 26 572.857393641 19.003060435 SI02V 84.526 27 -2621.148115610 0.995124659 AIR 83.267 28 286.158521436 14.994640836 SI02V 80.188 29 106.165691183 42.739053946 AIR 72.275 30 -269.972769063 14.994253287 SI02V 72.751 31 217.103611286 19.468009312 AIR 79.551 32 49574.268497900 15.072135262 SI02V 82.355 33 -1724.117745890 7.993795407 AIR 87.009 34 -681.152171807 39.742301517 SI02V 89.501 35 -135.848489522 0.995182990 AIR 93.025 36 729.076676327 18.240313704 SI02V 99.335 37 -1221.183105010 8.112527507 AIR 100.052 38 470.281491581 33.610782817 SI02V 101.641 39 -393.774605114 34.640728842 AIR 101.306 40 -135.515968276 14.997016204 SI02V 100.625 41 •242.973369762 0.998166637 AIR 109.176 42 629.218885691 33.238719341 SI02V 114.327 43 -476.667589984 1.000069241 AIR 114.673 44 609.210504505 31.634185939 SI02V 112.966 45 -463.558570174 0.991784251 AIR 112.249 WL 193.368 nm 193.468 nm 193.268 nm SI02V 1.5607857 1.56062813 1.56094365 CAF2V193， 1.50175423 1.50185255 1.50195109 H20V193· 1.4364632 1.43667693 1.43689123 •97- 98927.doc 1376524
46 181.331821629 26.489265851 SI02V 99.538 47 478.467068575 0.985154964 AIR 96.400 48 166.964883598 32.619952496 SI02V 90.254 49 34746.976265700 0.961982243 AIR 86.267 50 65.547601143 30.975153472 SI02V 58.849 51 118.066733717 1.052010322 AIR 51.946 52 68.706870791 32.347686260 CAF2V193 43.646 53 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 3.000000148 H20V193 21.134 54 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.501 表28A 非球面常數 mw K C1 C2 C3 C4 2 〇.〇〇〇〇〇〇ooe+ooo -5.25595953e^}〇8 •5.05125695e^)14 -3.39834764e<016 1.43455947e-022 4 〇.〇〇〇〇〇〇OOeHXM) -9.82547285e-009 -3.46617126e^)12 4.26906111e^)16 6.300465810^)21 7 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇eH)00 4.35702944e-008 3.07328355e-012 -6.64471080e-016 8.46058187e-020 11 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^ooo 1.78059855e^)08 -4.499160016-011 -1.45873634e-015 -5.938689266-020 15 〇.〇〇〇〇〇〇00e>000 9.71039823eO09 -5.80809116e-012 1.66373755e-015 -6.79295769e4)20 18 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇eH)00 *9.90188358e-009 -3.63667799e-012 4.39791888e-016 -4.05829074e-020 20 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇61Ό00 -3.56668353e-008 1.04282861e-012 -3.791462566-017 1.77203987e-021 23 -1.00000000e+000 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 〇.〇〇〇〇〇〇〇0e+000 O.OOOOOOOOe+OOO 〇.〇〇〇〇〇〇00e+000 24 〇.〇〇〇〇〇〇〇0eH)00 -4.128θ9632β-0()9 -9.85960529e414 -2.94691200e^)18 -3.56770055e^)25 26 〇.〇〇〇〇〇〇00e>000 2.84735678e-008 8.22076690e^)13 8.98622393e-019 1.63369077^020 36 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO -3.45458233e-008 7.01690612^013 2.53558597e^)17 -2.32833922^023 42 〇.〇〇〇〇〇〇006+000 6.60041144e*009 *3.73953529e^14 -4.59353922e^)17 3.53253945e^)21 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 3.44340794e-008 8.40449554e-013 -3.72972761e-016 3^2089615e-020 49 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 1.97298275e-008 2.76921584e-012 1.03703892e-016 -5.16050166e-020 表囱 C5 C6 C7 C8 2 5.23175535e^)24 -1.25244222e-027 1.21805557e-031 -4.43910196e-036 4 -4.64399579e^)24 1.19810111e-027 -1.78448775e-031 9.48653785e^)36 7 -6.78485826e-024 2.18615691e-02e 1.27733528e-032 -7.77343429e^)37 11 2.10051516e-021 -2.66208035e-027 -1.14692199e-028 -9.07436019eO33 15 4.67315167e-024 1.33956477e-027 -1.66319592e-031 1.80116188eO36 18 3.14215669e-024 -1.78747424e-028 6.25454799e-033 -9.94933562e-038 20 -1.02830257e-025 1.63016234e-03Q 9.47579264e-035 -3.37443982e^)39 23 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 〇.〇〇〇〇〇〇OOe^-OOO 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇et〇〇〇 24 -4.97425291e-027 1.63379520e-032 3.42393048e-036 -1,99876678e-040 26 -M1352194e-024 7.18534327e-028 -1.59298542e-032 -4.89537949e-037 36 2.600445306-026 *1.74079904e-030 -4.857637068-034 2.78340967e^)38 42 -9.742259736-026 9.00308701e-031 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 47 -2.63108130e-024 2.07908763e-028 -7.577421520^)33 9.89130621 e^03d 49 8.50503256e-024 •9.50392825e-028 5.47302796e^)32 -1.31141198e-036 98927.doc 98- 1376524
表 3〇 (EM29> 表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 -0.000674 LV193975 75.450 2 501.388885 AS 15.700263 SI02V 76.793 3 -2140.989756 1.030768 HEV19397 78.495 4 142.094518 41.139801 SI02V 86.380 5 4509.859821 AS 48.031590 HEV19397 84.694 6 294.047825 42.018849 SI02V 75.299 7 -284.632088 AS 0.899132 HEV19397 70.073 8 196.950986 32.325473 SI02V 62.732 9 -427.997978 AS 24.031073 HEV19397 55.024 10 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 HEV19397 35.604 11 〇.〇〇〇〇〇〇 17.973629 HEV19397 35.604 12 〇.〇〇〇〇〇〇 9.999076 SI02V 45.185 13 〇.〇〇〇〇〇〇 34.757744 HEV19397 48.346 14 997.955935 AS 34.646365 SI02V 67.618 15 •300.927832 15.875609 HEV19397 75.070 16 -346.766852 AS 31.454835 SI02V 80.051 17 •123.279874 36.439684 HEV19397 83.364 18 〇.〇〇〇〇〇〇 205.977742 HEV19397 86.638 19 •174.397052 AS -205.977742 REFL 131.209 20 170.274411 AS 205.977742 REFL 116.516 21 〇.〇〇〇〇〇〇 37.095745 HEV19397 97.388 22 437.401009 36.383480 SI02V 104.301 23 -468.489757 45.906894 HEV19397 104.284 4 -1223.579996 21.742866 SI02V 97.101 5 -511.114441 AS 8.072398 HEV19397 96.542 26 432.469418 10.004999 SI02V 85.308 27 102.889104 42.520104 HEV19397 75.234 28 •594.379481 9.996510 SI02V 75.720 29 174.356867 19.418323 HEV19397 79.411 30 715.897359 10.937733 SI02V 82.556 31 324.211087 13.818484 HEV19397 88.129 32 1110.064311 30.443596 SI02V 93.022 33 -264.206409 AS 7.862028 HEV19397 97.550 34 -1190.503106 AS 29.935994 SI02V 104.823 35 •237.772522 11.246604 HEV19397 110.038 36 10331.864054 AS 39.860150 SI02V 122.900 37 -277.281811 10.852741 HEV19397 125.931 38 214450.764260 31.052526 SI02V 131.630 9 -428.573007 13.316274 HEV19397 132.643 40 751.599719 33.094141 S102V 133.007 41 -805.999226 1.057548 HEV19397 132.758 42 914.688148 AS 40.568688 SI02V 130.742 43 -348.277386 0.878766 HEV19397 129.732 44 219.106958 38.836424 SI02V 108.095 45 2357.913334 AS 1.971079 HEV19397 102.766 46 85.554437 39.388562 SI02V 72.129 47 193.092045 0.892017 HEV19397 62.113 48 83.536468 37.250760 CAF2V193 49.390 49 〇.〇〇〇〇〇〇 0.300000 SI02V 21.410 50 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 SI02V 21.050 51 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20V193B 21.050 52 〇.〇〇〇〇〇〇 0,000000 AIR 16.500 98927.doc ·99· 1376524 表30A 非球面常數 表面 2 5 7 9 14 K 0 0 0 1.84398 0 C1 -4.426813e-08 -2.958289e-08 1.574555e-07 1.174665e-07 •3.306265e-08 C2 -6.238723e-13 5.914537e-12 -1.371133e-11 S.249946e-12 -1.008549e-12 C3 5.373027e-21 -2.636410e-17 7.979944e-16 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 -2.352647e-16 C4 5.520432e-21 -2.348783e-20 -1.733518e-21 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 2.617179e-25 C5 -4.165047e-25 1.589258e-24 -1.045941 e-23 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 -1.275061 e-24 C6 -2.539882e-29 -3.710160e-29 1.048551 e-27 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 7.076571 e-29 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 6.000000e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 O.OOOOOOe-i-OO 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e-t-oo 〇.〇〇〇〇〇〇e+00
表面 16 19 20 25 33 K 0 -2.01302 -2.06565 0 0 C1 -4.975918e-08 -3.276866e-08 4.322230e-08 -1.196195e-07 2.211028e-08 C2 1.193440e-12 3.671721e-13 -3.203678e-13 6.474093e-12 7.931065e-13 C3 -3.326252e-18 -8.127219e-18 1.331133e-17 -2.172807e-16 2.746964e -17 C4 5.194442e-21 1.823894e-22 -2.254203e-22 5.562468e-21 -3.773718e-21 C5 7.844572e-25 -2.990635e-27 4.731338e-27 4.566785e-26 8.556577e-25 C6 -3.910445e-29 4.402752e-32 -3.185999e-32 -6.729599e-30 -5.193468e-29 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 表面 34 36 42 45 K 0 0 0 0 C1 -6.109386e-08 -2.940384e-09 -3.072861e-08 -4.317432e-08 C2 1.186926e-12 -1.302883e-13 1.225198e-13 5.093533e-12 C3 9.338913e-17 -7.457684e-17 6.438064e-17 -2.542515e-16 C4 -8.049754e-21 4.922730e-21 -2.717739e-21 1.185033e-20 C5 7.964565e-25 -1.822077e-25 3.936453e-26 -3.870604e-25 C6 -3.877045e-29 3.491116e-30 -1.518766e-31 7.346646e-30 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 98927.doc 100· 1376524 表 31 (EM29>
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 -0.012399 LV193975 75.472 2 154.966472 AS 24.304901 SI02V 82.008 3 529.820026 2.090993 HEV19397 82.074 4 150.769271 40.595812 SI02V 84.201 5 5646.002857 29.581615 HEV19397 81.519 6 -1210.857565 22.741810 SI02V 74.381 7 -182.994045 AS 34.025994 HEV19397 72.364 8 173.187773 25.484337 SI02V 52.132 9 -296.185557 22.382287 HEV19397 47.253 10 〇.〇〇〇〇〇〇 10.110510 SI02V 44.035 11 〇.〇〇〇〇〇〇 17.152556 HEV19397 46.863 12 51884.400557 AS 16.631540 SI02V 54.537 13 -361.923018 63.995754 HEV19397 58.291 14 -878.387785 AS 34.625490 SI02V 82.453 15 •136.078636 36.436642 HEV19397 85.494 16 〇.〇〇〇〇〇〇 196.253966 HEV19397 89.191 17 -182.153238 AS -196.253966 REFL 149.252 18 150.956725 AS 196.253966 REFL 101.676 19 〇.〇〇〇〇〇〇 36.446112 HEV19397 104.396 20 333.439228 55.820683 SI02V 116.602 21 -309.405465 37.869545 HEV19397 116.527 22 -424.165104 20.518575 SI02V 104.186 23 •285.104268 AS 0.896321 HEV19397 103.405 24 635.351851 9.997637 SI02V 92.108 25 107.969149 40.308038 HEV19397 80.454 26 389.814743 9.996225 SI02V 82.006 27 152.951561 26.349381 HEV19397 81.938 28 1310.914891 9.999638 SI02V 84.278 29 275.521100 17.511021 HEV19397 89.677 30 1763.795762 26.773314 SI02V 93.617 31 •289.165601 AS 9.639413 HEV19397 97.853 32 -1578.752955 AS 27.680692 SI02V 106.237 33 •272.338400 9.732573 HEV19397 110.951 34 -3842.769867 AS 35.516033 SI02V 122.549 35 -314.937511 28.595034 HEV19397 125.359 36 889.868029 47.614171 SI02V 135.827 37 -355.067891 -12.204373 HEV19397 136.279 38 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 HEV19397 133.729 39 〇.〇〇〇〇〇〇 28.717983 HEV19397 133.729 40 574.174423 AS 45.539693 SI02V 132.500 41 -344.516223 0.852315 HEV19397 132.025 42 204.978326 45.863613 SI02V 111.958 43 -6283.361425 AS 0.828469 HEV19397 106.831 44 87.555579 40.313564 SI02V 74.022 45 201.419511 0.722913 HEV19397 64.044 46 86.647656 38.420734 CAF2V193 50.908 47 〇.〇〇〇〇〇〇 0.300000 SI02V 21.485 48 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 SI02V 21.121 49 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20V193B 21.121 50 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 16.500 98927.doc 101 · 1376524 表31A 非球面常數 表面 2 7 12 14 17 K 0 0 0 0 -205.145 C1 -5.06E-02 1.55E-01 -6.58E-02 -3.99E-02 -3.00E-02 C2 -1.36E-06 -4.50E-06 6.94E-07 7.46E-07 3.06E-07 C3 -1.39E-10 2.86E-10 -8.42E-10 -4.18E-11 -7.06E-12 C4 2.02E-14 3.18E-14 3.01 E-14 -4.94E-18 1.35E-16 C5 -1.21E-18 -4.70E-18 9.27E-20 2.51 E-19 -2.46E-21 C6 7.59E-23 2.24E-22 .5.52E-22 •2.26E-23 2.42E-26 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 0_000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 0.000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 0.000000e+00
表面 18 23 31 32 34 K •19.986 0 0 0 0 C1 5.81 E-02 -5.44E-02 2.45E-02 -6.17E-02 2,25E-02 C2 -5.04E-07 5.13E-06 5.17E-07 1.84E-06 •1.23E-06 C3 2.61 E-11 -2.58E-10 4.76E-11 9.77E-11 -5.97E-11 C4 •5.07E-16 1.19E-14 -1.55E-15 -8.36E-15 6.09E-15 C5 1.40E-20 -3.68E-19 8.15E-19 8.28E-19 -2.59E-19 C6 -4.71 E-26 5.92E-24 -4.46E-23 -3.91 E-23 5.18E-24 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e^OO 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 表面 40 43 K 0 0 C1 -3.76E-02 •2.60E*02 C2 7.18E-08 3.27E-06 C3 5.92E-11 •1.25E-10 C4 -1.80E-15 4.09E-15 cs 7.98E-21 -8.18E-20 C6 1.92E-25 8.62E-25 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 b.000000e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 98927.doc 102- 1376524 表 32 (EM29)
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 -0.011620 LV193975 75.462 2 585.070331 AS 17.118596 SI02V 76.447 3 -766.901651 0.890161 HEV19397 78.252 4 145.560665 45.675278 SI02V 85.645 5 2818.5437的 AS 40.269525 HEV19397 83.237 6 469.396236 29.972759 SI02V 75.894 7 -193.297708 AS 21.997025 HEV19397 73.717 8 222.509238 27.666963 SI02V 57.818 9 -274.231957 31.483375 HEV19397 52.595 10 〇.〇〇〇〇〇〇 10.117766 SI02V 44.115 11 〇.〇〇〇〇〇〇 15.361487 HEV19397 47.050 12 26971.109897 AS 14.803554 SI02V 54.127 13 -562.070426 45.416373 HEV19397 58.058 14 -510.104298 AS 35.926312 SI02V 76.585 15 *118.683707 36.432152 HEV19397 80.636 16 〇.〇〇〇〇〇〇 199.241665 HEV19397 86.561 17 -181.080772 AS -199.241665 REFL 147.684 18 153.434246 AS 199.241665 REFL 102.596 19 〇.〇〇〇〇〇〇 36.432584 HEV19397 105.850 20 408.244008 54.279598 SI02V 118.053 21 -296.362521 34.669451 HEV19397 118.398 22 -1378.452784 22.782283 SI02V 106.566 23 -533.252331 AS 0.892985 HEV19397 105.292 24 247.380841 9.992727 SI02V 92.481 25 103.088603 45.957039 HEV19397 80.536 26 -1832.351074 9.992069 SI02V 80.563 27 151.452362 28.883857 HEV19397 81.238 28 693.739003 11.559320 SI02V 86.714 29 303.301679 15.104783 HEV19397 91.779 30 1016.426625 30.905849 SI02V 95.900 31 -258.080954 AS 10.647394 HEV19397 99.790 32 -1386.614747 AS 24.903261 SI02V 108.140 33 -305.810572 14.249112 HEV19397 112.465 34 -11755.656826 AS 32.472684 SI02V 124.075 35 •359.229865 16.650084 HEV19397 126.831 36 1581.896158 51.095339 SI02V 135.151 37 -290.829022 -5.686977 HEV19397 136.116 38 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 HEV19397 131.224 39 〇.〇〇〇〇〇〇 28.354383 HEV19397 131.224 40 524.037274 AS 45.835992 SI02V 130.144 41 -348.286331 0.878010 HEV19397 129.553 42 184.730622 45.614622 SI02V 108.838 43 2501.302312 AS 0.854125 HEV19397 103.388 44 89.832394 38.416586 SI02V 73.676 45 209.429378 0.697559 HEV19397 63.921 46 83.525032 37.916651 CAF2V193 50.040 47 〇.〇〇〇〇〇〇 0.300000 SI02V 21.480 48 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 SI02V 21.116 49 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20V193B 21.116 50 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 16.500 98927.doc 103 - 1376524
表32A 非球面常數 表面 2 5 7 12 14 K 0 0 0 0 0 C1 -5.72E-02 -4.71 E-02 1.75E-01 -8.29E-02 -4.35E-02 C2 -2.97E-07 7.04E-06 -1.17E-05 -1.87E-07 1.59E-06 C3 1.03E-12 1.09E-10 1.34E-09 -7.04E-10 -6.81 E-11 C4 2.76E-14 -2.90E-14 -5.44E-14 6.65E-14 5.03E-15 C5 •1.51E-18 •1.55E-21 -1.82E-18 -1.33E-17 -1.68E-23 C6 -1.04E-24 5.61 E-23 2.56E-22 2.46E-21 -2.36E-23 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+OO 〇.〇〇〇〇〇〇e^OO 0.000000e+00 0‘000000e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e-K)0 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 O.OOOOOOe+OO 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00
表面 17 18 23 31 32 K -197.849 -204.054 0 0 0 C1 -2.94E-02 5.77E-02 -7.06E-02 3.41 E-02 *4.85E>02 C2 2.63E-07 -5.00E-07 4.11E-06 4.07E-08 9.88E-07 C3 -6.11E-12 2.67E-11 •1.18E-10 8.10E-11 7.37E-11 C4 1.11E-16 •5.69E-16 2.92E-15 -4.34E-15 -6.56E-15 C5 -2.01 E-21 1.89E-20 •3.23E-20 7.59E-19 6.53E-19 C6 2.08E-26 -1.49E-25 2.18E-25 -3.41 E-23 -2.88E-23 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e-t-00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 表面 34 40 43 K 0 0 0 C1 1.59E-02 -4.10E-02 -3.89E-02 C2 -1.51E-06 3.04E-07 476E-06 C3 6.62E-13 5.71 E-11 -2.23E-10 C4 1.72E-15 -1.72E-15 8.89E-15 C5 -9.36E-20 -9.60E-22 -2.41 E-19 C6 2.36E-24 3.81 E-25 3.43E-24 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+OO 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 98927.doc 104· 1376524
表34 (挪26> ΝΑ 1.2; Fmin = 18.63 mm; Fmax = 66 mm 表面 半徑 厚度 材料 半徑 類型 0 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 31.982585487 AIR 66.000 1 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 -0.017071913 AIR 76.172 2 147.976296433 25.157601132 SI02V 83.329 3 483.267348199 66.318217434 AIR 83.329 4 6843.187124890 14.990603080 SI02V 89.462 5 -10922.857227200 0.990910304 AIR 89.696 6 185.444884732 43.423576628 SI02V 90.336 7 -291.453552095 0.988388071 AIR 88.691 8 75.552245567 18.214694705 SI02V 66.883 9 76.794787833 36.638500036 AIR 60.819 10 119.890093734 18.824651829 SI02V 50.527 11 1688.559592410 8.584817314 AIR 45.933 12 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 38.451 13 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 52.042672045 AIR 38.545 14 •59.826650342 14,981853380 SI02V 48.449 15 •143.442731652 0.981820223 AIR 65.183 16 -809.267677971 22.623991877 SI02V 74.792 17 •189.427877067 23.734179117 AIR 79.164 18 -404.048228936 40.321323389 SI02V 94.462 19 -133.255827443 0.996126038 AIR 98.239 20 •532.626067795 25.229572964 SI02V 102.508 21 -218.631437997 34.992902498 AIR 104.152 22 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 232.569743258 AIR 102.146 23 •203.850853866 -232.569743258 AIR 154.862 REFL 24 180.897913619 232.569743258 AIR 125.795 REFL 25 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 35.093353727 AIR 89.945 26 -2097.871590640 18.902530877 SI02V 88.318 27 -311.592066935 1.000926290 AIR 88.349 28 197.040247642 14.994864591 SI02V 82.980 29 123.794489384 39.397144698 AIR 76.695 30 •351.625590566 14.996140251 SI02V 76.667 31 194.519969585 25.840876165 AIR 79.734 32 -783.090311926 14.999335864 SI02V 81.725 33 602.209892650 15.636785753 AIR 89.884 34 -860.877333066 40.308090334 SI02V 92,572 35 •144.751331394 0.995503627 AIR 96.367 36 489.496864563 22.261422540 SI02V 107.265 37 -1492.086252490 0.998123009 AIR 108.225 38 542.517785037 42.667711177 SI02V 110.092 39 •278.956019182 30.784648856 AIR 110.074 40 -143.206504187 16.457194925 S102V 109.358 41 •245.275186574 0.991006459 AIR 118.513 42 450.076146500 56.637715430 SI02V 124.493 43 -281.238265383 0.994417156 AIR 124.569 44 173.286659802 30.025805518 SI02V 105.228 WL 193.368 nm 193.468 nm 193.268 nm SI02V 1.5607857 1.56062813 1.56094365 CAF2V193· 1.50175423 1.50185255 1.50195109 H20V193· 1.4364632 1.43667693 1.43689123 -105- 98927.doc 1376524
45 405.488019133 4.969943131 A1R 101.974 46 170.349078374 38.966672867 SI02V 93.740 47 78634.784391100 0.980473718 AIR 86.875 48 65.899645851 30.022369482 SI02V 58.766 49 115.328388498 0.871701885 AIR 51.820 50 70.957276330 32.640666401 CAF2V193 44.305 51 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 3.000000148 H20V193 21.157 52 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇〇 AIR 16.500 表34A 非球面常數 .表面 Κ Cl C2 C3 C4 2 〇.〇〇〇〇〇〇OOe^OOO -4.78882631e-008 -1.07874702e-012 -3.02679637e4)16 1.88733824e-020 4 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO 6.93936013e^K)9 4.14547565e-012 -2.44188432e^)16 3.37511708^020 7 〇.〇〇〇〇〇〇OOe^OOO 2.35987002e-008 8.31924580e-012 -7.77774842e-016 6.503Q3307e>021 11 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^OOO 1.26922184e-007 -4.36848744e-011 4.57206313e4)15 1.74083492e4)18 15 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇eHK)0 7.93042774e-008 -2.07633723e-013 3.76353009e-016 7.36365299e-020 1θ 〇.〇〇〇〇〇〇00e>000 -1.97913247e-009 -8.669598770^)13 6.04641277e-017 -4.73473989e-021 20 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 -5.08811298e-009 -3.02758381e^)13 -6.93452917e-018 3.42662757e-022 23 〇.〇〇〇〇〇〇OOe+OOO 9.00942854e-009 1.77368463e-013 2.86086903e-018 5.71387977e-023 24 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^000 <6_79667230e~009 -1.66279666e-013 -3.172266076^)18 -2.1491^08e-022 26 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e^000 -5.370538d6e-00B 1.67618239^012 4.07995560^016 •3.53050500e4)20 36 〇.〇〇〇〇〇〇〇Oe+OOO -3.31965207e-008 6.14833787e-013 2.40373774e^)17 I18984531e^)22 41 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇etooo -1.38336514e-008 8.93474375e-013 -2.71551009e-017 1.74375713e4)21 45 〇.〇〇〇〇〇〇OOe-tOOO 1.44983141e-008 -1.95881989e-014 -1.05859436e-016 5.32744894e-021 47 〇.〇〇〇〇〇〇〇〇e+000 3.11232761e-008 2.84716248e-012 •1.11706969e4)16 -2.66038924e^)21 _表面. C5 ce C7 C8 2 -4.39149695e-025 -1.09132516e-028 •1.04998811e-035 7.96669244e-037 4 -5.06638092e-024 5.32303197e-028 •2.65457308e-032 3.58175757e-038 7 3.23059366e-O24 -1.ie477659e-030 -4.43574135e-032 2.44981381e-036 11 -1.38306535e-022 2.43454067e-025 -6.52163913e-029 1.77790237e-034 15 -4.66407947e-024 8.91865260e-029 8.87815151e-032 -8.32251546e-036 18 1.77442213e-025 4.52110292e^)31 -2.53815340e^)35 4.30166930e<039 20 -9.21678831eO28 -3.68127185e-033 1.89749139e-038 -4.16625182e-039 23 ^.46902171©-026 1.13482418e-031 -3.69411163e-036 7.97497644e-041 24 1-19742697 卜026 -1.09727605e-030 4.00797914e<035 *7.95846450e-040 26 9.00535444e-025 -3.46673523e-029 -6.86798043e-033 5_92310794e037 36 -9.53667910^026 4.93885674e-030 -2.90808572e-034 1.22196β32β-039 41 -1.26665751e-025 5.84505761 e-030 -2.30469572e-034 6.06339556e^)39 45 -5.94726685e-026 2.48643254e-029 -1.88792088e-033 5.60469477e-038 47 2.43106684e-025 •3.95551肋 16*029 -7^β2457β3β-037 4.70291791e-038 98927.doc 106· 1376524
表 36 (EM27> ΝΑ 1.2; Fmin = 18.63 mm; Fmax = 66 mm 表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 1 〇.〇〇〇〇〇〇 •0.004216 LUF7V193 75.440 2 341.127979 AS 22.791928 S102V 77.399 3 •547.910038 0.998331 N2VP950 79.138 4 127.727169 41.232021 SI02V 85.886 5 423.981317 AS 37.538965 N2VP950 83.125 6 1837.865411 20.893107 SI02V 73.497 7 -224.309944 AS 1.002068 N2VP950 71.189 8 162.793881 28.373758 SI02V 63.095 9 -357.404285 20.328095 N2VP950 58,827 10 -130.668159 9.997405 SI02V 40*623 11 -153.854050 6.572008 N2VP950 37.125 12 〇.〇〇〇〇〇〇 9.999712 SI02V 37.199 13 〇.〇〇〇〇〇〇 1.062092 N2VP950 40.839 14 743.447647 18.547401 SI02V 42.269 15 -194.707721 22.944701 N2VP950 46.232 16 •91.226681 9.997232 SI02V 51.224 17 -149.640287 18.143695 N2VP950 58.055 18 •523.085587 AS 23.764093 SI02V 70.561 19 -159.366370 0.999029 N2VP950 75.025 20 -418.047917 AS 30.390060 SI02V 78.905 21 -139.497541 36.995337 N2VP950 82.309 22 〇.〇〇〇〇〇〇 202.057337 N2VP950 86.976 23 -179.767561 AS -202.057337 REFL 144.017 24 157.031815 AS 202.057337 REFL 107.178 25 〇.〇〇〇〇〇〇 36.997499 N2VP950 101.742 26 440.441126 47.272805 SI02V 111.232 27 -305.204169 41.252868 N2VP950 111.473 28 -462.717592 18.096500 SI02V 101.263 29 -434.773502 AS 1.272365 N2VP950 100.762 30 323.034266 9.997203 SI02V 90.351 31 107.871517 41.101537 N2VP950 80.055 32 -2104.261715 9.996146 SI02V 80.354 33 162.693545 24.114798 N2VP950 82.448 34 461.867528 11.590831 SI02V 88.405 35 292.431899 14.861810 N2VP950 92.936 36 1076.736610 38.645047 SI02V 96.114 37 -233.326361 AS 4.528881 N2VP950 101.701 38 -818.919435 AS 26.752850 SI02V 107.052 39 •301.917563 18.307802 N2VP950 113.375 40 -2069.863617 AS 54.519854 SI02V 125.923 41 -240.586609 40.043329 N2VP950 131.701 42 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 N2VP950 138.484 43 〇.〇〇〇〇〇〇 •20.273619 N2VP950 138.484 44 442.810512 63.820483 SI02V 138.949 45 -533.873885 2.798052 N2VP950 139.304 WL 193.368 nm 193.468 nm 193.268 nm S\02V 1.5607857 1.56062813 1.56094365 CAF2V193' 1.50175423 1.50185255 1.50195109 H20V1931 1.4364632 1.43667693 1.43689123 107- 98927.doc 1376524
46 662.397337 AS 40.282382 SI02V 135.640 47 -428.200815 0.994361 N2VP950 134.489 48 213.024607 43.377768 SI02V 113.450 49 3009.037627 AS 0.987971 N2VP950 107.741 50 95.712001 40.028327 SI02V 77.581 51 241.528599 2.069796 N2VP950 67.915 52 85.826880 38.946996 CAF2V193 50.851 53 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20V193 21.090 54 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 AIR 16.500 表36A 非球面常數 表面 2 5 7 18 20 κ 0 0 0 0 0 C1 -6.825898e-08 -1.139291e-07 1.715001 e-07 -5.525454e-08 -1.928670e-08 C2 -5.820149e-13 6.229489e-12 -3.362340e-12 -1.835201 e-13 1.369964e-12 C3 -1.764721e-16 2.070760e-16 2.245144e-16 1.097082e-16 -1.178098e-16 C4 1.898479e-20 -3.072912e-20 6.731621e-20 2.983525e-22 -5.533661e-22 C5 -2.878598e-26 5.780651e-25 •1.102455e-23 -7.073376e-25 4.333159e-25 C6 -4.377548e-29 7.588531e-29 1.662149e-28 2.028418e-28 -5.5767428-29 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e-t-00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 表面 23 24 29 37 38 K -1.94543 -2.30892 0 0 0 C1 •2.949816e-08 6.225716e-08 -9.081623e-08 1.700564e-08 -5.539058e-08 C2 2.672的 8e*13 -8.664624e-13 4.328932e-12 7.578402e-13 7.069194e-13 C3 -5.319153e-18 3.983466e-17 -9.663515Θ-17 6.487979Θ-17 7.954509e-17 C4 1.038342e-22 -1.106567e-21 1.861873Θ-21 -4.481439e-21 -5.116182e-21 C5 -1.448694e-27 3.014885e-26 -2.365064e-26 9.785695e-25 7.622924e-25 C6 1.457411e-32 -3.386885e*31 4.413420e-31 -4.763684e-29 -3.862189e-29 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇-〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 .表面 40 46 49 K 0 0 0 C1 -6.320049e-10 -2.772679e-08 -2.949915e-08 C2 -1.306440e-13 •1.390524e-13 3.478719e-12 C3 -3.923481e-17 4.871921e-17 -1.481636e-16 C4 2.072577e-21 -1.427007e-21 6.052349e-21 C5 -6.511387e-26 7.907911e-27 -1.731162e-25 C6 1.538497e-30 1.183697e-31 2.820274e-30 C7 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C8 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 C9 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 〇.〇〇〇〇〇〇e+00 98927.doc 108- 1376524 表 37 (j342p)
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 0 〇.〇〇〇〇〇〇 32.000671 66.0 1 153.319623 25.301467 SILUV 83.9 2 362.312706 1.846656 83.3 3 249.932462 10.039369 SILUV 83.5 4 296.617151 16.156206 82.9 5 129.380687 32.591808 SILUV 85.8 6 353.939024 25.413158 83.3 7 441.659706 33.067185 SILUV 77.6 8 -249.821483 0.999731 73.0 9 242.432431 23.800036 SILUV 66.0 10 418.172385 - 16.233683 62.2 11 -135.497448 9.999688 SILUV 53.8 12 -172.144731 14.407576 51.0 13 〇.〇〇〇〇〇〇 14.446986 37.2 14 403.537798 17.810754 SILUV 47.2 15 -250.734154 43.083755 50.0 16 -86.913472 14.999924 SILUV 58.5 17 -119.371112 3.501271 67.2 18 -227.124051 29.708033 SILUV 72.5 19 -115.706665 0.999372 77.3 20 -6458.564488 21.246094 SILUV 81.9 21 -316.595524 244.245108 83.5 22 -175.503346 -209.246168 REFL 137.3 23 172.837073 259.698197 REFL 116.6 24 286.122846 54.616082 SILUV 114.1 25 •319.487475 0.999912 113.6 26 966.963595 26.197513 SILUV 104.1 27 •1040.269926 1.072535 101.1 28 1363.207517 10.039037 SILUV 93.7 29 99.625589 52.260353 77.5 30 4756.567563 10.000836 SILUV 78.0 31 153.387698 31.977828 78.4 32 -621.996267 10.519453 SILUV 80.7 33 337.392641 11.072501 89.8 34 737.023107 38.757083 SILUV 94.6 35 -226.600466 0.999349 98.8 36 2080.296355 23.152743 SILUV 107.0 37 -464.590999 1.039809 110.3 38 1055.490633 38.268883 SILUV 115.5 39 -319,028277 39.203877 117.8 40 653.756661 35.609928 SILUV 125.1 41 -584.439739 12.416338 125.1 42 531.560104 43.648724 SILUV 121.9 43 -344.752529 0.999813 121.1 44 216.368978 41.075323 SILUV 104.1 45 -1287.916059 1.004925 99.2 46 80.185742 39.619634 SILUV 69.4 47 176.364295 1.538101 59.8 48 85.292538 38.558988 SILUV 48.9 49 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20 21.1 50 〇.〇〇〇〇〇〇 16.5 98927.doc •109- 1376524
表37A 非球面常數
表面 3 8 20 22 23 K 0 0 0 -2.68078 -2.40925 C1 -3.607637E-08 1.865463E-07 -2.924038E-08 -4.659443E-08 5.109968E-08 C2 -2.229774E-12 -7.002614E-12 -1.606274E-13 1.037806E-12 -5.972057E-13 C3 -9.424200E-17 6.321555E-16 -3.464603E-17 -3.569130E-17 2.704163E-17 C4 2.475481 E-20 2.270568E-20 •8.460050E-22 1.252351 E-21 -7.866414E-22 C5 •2.200899E-24 -7.376870E-24 -3.093437E-26 -4.105857E-26 3.951644E-26 C6 2.031865E-28 4.292117E-28 1.330447E-29 1.072302E-30 -1.866653E-30 C7 -1.376196E-32 -4.030529E-32 -2.982210E-33 -1.880272E-35 6.750678E-35 C8 1.838592E-38 6.145449E-36 1.368410E-37 1.598017E-40 -1.047201E-39 表面 27 36 38 42 45 K 0 0 0 0 0 C1 -7.658966E-08 -5.016408E-08 -9.533350E-10 -3.314101 E-08 -6.295604E-09 C2 5.681524E-12 6.321012E-13 -5.085963E-13 3.915833E-13 2.792116E-12 C3 -2.238871 E-16 1.067455E-16 -9.972640E-17 5.982003E-17 -1.225842E-16 C4 5.298747E-21 -7.397651 E-21 6.787141 E-21 -1.575240E-21 1.102964E-20 CS 6.569464E-25 1.926832E-25 -1.791598E-25 •3.559970E-26 -1.065854E-24 C6 -9.223653E-29 6.753657E-30 •3.368098E-30 1.054274E-30 8.785997E-29 C7 5.022050E-33 -9.556799E-34 3.525219E-34 1.406168E-35 -4.393692E-33 C8 •1105440E-37 1.329917E-38 -3.436374E-39 -3.845075E-40 1.041770E-37 110- 98927.doc 1376524 表 38 (j344p>
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 0 〇.〇〇〇〇〇〇 35.248514 66.0 1 143.248122 28.781110 SILUV 86.3 2 358.453084 2.742037 853 3 249.892226 15.480033 SILUV 85.2 4 590.981355 14.283399 84.5 5 117.666799 24.212151 SILUV 83.0 6 167.854363 18.418499 79.6 7 383.299246 37.170753 SILUV 78.0 8 -249.806207 1.005138 72.8 9 176.708488 25.812894 SILUV 64.2 10 -489.209320 17.845992 60.0 11 -138.689463 10.119648 SILUV 47.3 12 -180.883089 11.123457 43.8 13 1814.626805 14.880881 SILUV 38.4 14 -249.444318 45.270915 42.1 15 -80.916188 15.005805 SILUV 54.4 16 -125.947065 2.167332 65.0 17 -470.801754 30.186754 SILUV 72.8 18 -134.611795 2.050714 78.1 19 -522.384219 31.415391 SILUV 84.0 20 -154.268791 249.623006 87.1 21 -181.420630 -209.608609 REFL 140.1 22 169.119629 250.842406 REFL 114.7 23 291.616363 51.793776 SILUV 110.3 24 -309.683041 17.091881 109.8 25 -940.483291 12.127436 SILUV 99.3 26 -42805.292832 1.002005 97.3 27 220.631691 10.003981 SILUV 88.3 28 99.320400 49.161757 77.3 29 -561.336190 9.999954 SILUV 77.2 30 154.957512 24.909934 79.0 31 1924.820454 13.223705 SILUV 81.7 32 303,786903 14.995612 89.2 33 1300.890310 31.155401 SILUV 93.9 34 -258.803624 9.929012 98.4 35 -3575.038127 30.701987 SILUV 109.0 36 •265.328196 2.056209 113.6 37 2294.378555 44.440918 SILUV 123.1 38 -267.747777 29.673499 125.9 39 557.248167 36.861702 SILUV 131.7 40 •783.213643 -0.938224 131.3 41 -14802.205529 16.206383 129.7 42 828.039709 43.221788 SILUV 129.1 43 -324.649154 0.998849 128.8 44 206.870457 45.792196 SILUV 109.6 45 -1913.727624 0.997376 104.5 46 81.421622 39.892459 SILUV 70.6 47 171.051496 1.070665 60.3 48 81.435251 36.484505 CAFUV 48.6 49 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20 21.1 50 〇.〇〇〇〇〇〇 16.5 98927.doc -Ill - 1376524
表38A 非球面常數
表面 3 8 17 19 21 K 0 0 0 0 -2.35919 C1 -4.239547E-08 1.776408E-07 -3.517097E-08 -2.260275E-08 -3.531314E-08 C2 •3.439882E-12 -7.365374E-12 -1.680998E-12 1.477964E-12 5.754980E-13 C3 2.585420E-17 6.010661E-16 1.988836E-16 -5.557313E-17 -1.422154E-17 C4 -7.398192E-21 3.465765E-20 -8.317822E-21 -1.521633E-21 3.469778E-22 C5 2.490541 E-24 -1.352374E-23 1.490936E-25 2.529206E-25 -6.366916E-27 C6 -1.543807E-28 7.789367E-28 9.086464E-29 -2.473128E-29 6.303151E-32 表面 22 26 34 35 37 K -2.55041 0 0 0 0 C1 5.763867E-08 -9.608615E-08 1.305280E-08 -5.677213E-08 3.512847E-09 C2 -8.648037E-13 4.888828E-12 5.858393E-13 1.460926E-12 -4.457077E-13 C3 3.811912E-17 -1.061062E-16 -2.240057E-17 7.309271 E-17 -9.211061E-17 C4 -1.031346E-21 2.226871 E-21 1.299691E-21 -7.691388E-21 7.360949E-21 C5 2.586799E-26 6.374143E-26 1.071950E-25 4.906816E-25 •3.041901E-25 C6 -2.333304E-31 -5.123581E-30 -1.228055E-29 -1.882267E-29 6.008115E-30 表面 42 45 K 0 0 C1 -2.753413E-08 -2.014104E-08 C2 -1.731330E-13 3.259304E-12 C3 6.979195E-17 -1.414937E-16 C4 -2.163794E-21 5.867152E-21 CS 9.215216E-27 -1.748151E-25 C6 2.896055E-31 3.188929E-30 112- 98927.doc 1376524 表 39 (dave 04042”
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 0 〇.〇〇〇〇〇〇 40.000000 68.0 1 146.623761 AS 35.648639 SI02V 84.3 2 -262.402199 AS 11.489893 86.4 3 -1418.271111 AS 55.535686 SI02V 89,1 4 -149.803131 80.058956 92.8 5 -316.127680 -80.058956 REFL 66.8 6 -149.803131 -55.535686 SI02V 77.9 7 -1418.271111 -11.489893 77.7 8 -262.402199 11.489893 REFL 78.4 9 -1418.271111 55.535686 SI02V 88.5 10 -149.803131 90.058608 97.6 11 -318.170858 AS 42.027645 SI02V 125.7 12 -174.217513 221.335808 130.9 13 -245.648700 AS -201.335981 REFL 202.8 14 114.970031 AS 241.335931 REFL 93.2 15 372.783567 AS 46.864614 SI02V 124.6 16 -819.903755 1.038628 123.6 17 177.861341 41.772805 SI02V 112.5 18 341.365208 37.021407 104.9 19 -466.562113 12.000000 SI02V 100.5 20 162.712763 42.079202 91.1 21 -370.098539 12.000000 SI02V 91*3 22 462.418362 26.721285 96.0 23 -356.944827 27.234109 SI02V 97.2 24 -176.415718 1.000000 100.3 25 250.680892 AS 35.225819 SI02V 109.0 26 -1151.380195 1.000000 108.8 27 400.524336 38.251924 SI02V 107.1 28 -405.535651 31.160614 105.6 29 -149.637246 50.218339 SI02V 104.4 30 -384.493074 AS 30.129631 114.6 31 〇.〇〇〇〇〇〇 -29.129631 116.2 32 266.421209 50.004341 SI02V 116.1 33 -466.737916 1.000000 115.2 34 142.958212 42.562558 SI02V 102.2 35 432.609562 AS 0.098646 97.2 36 114.421108 32.582267 SI02V 82.2 37 573.116962 AS 1.000000 76.7 38 60*777409 26.925305 SI02V 52.9 39 76.682879 1.000000 41.9 40 70.399871 26.141931 CAF2V193 40.0 41 〇.〇〇〇〇〇〇 3.000000 H20V193 21.6 42 0 0 17.0 98927.doc 113 - 1376524 表 39A(dave 040421) 非球面常數 表面 1 2 3 11 13 K 0 0 0 0 0 C1 -3.341087E-07 8.388602E-08 3.429680E-08 3.116059E-09 3.046218E-09 C2 -2.505072E-12 -1.111052E-11 -9.182012E-12 4.201540E-13 4.170047E-14 C3 2.943082E-15 1.569768E-15 8.908974E-16 -8.967249E-17 3.681161E-19 C4 -4.955011E-19 •1.841754E-19 -1.039175E-19 4.467021E-21 2.802579E-23 C5 4.666851 E-23 1.342877E-23 7.467060E-24 -1.240183E-25 -1.004802E-27 C6 •1.905456E-27 -4.061739E-28 -2.463306E-28 •3.737311E-31 3.611732E-32 C7 •6.507196E-37 C8 6.094959E-42
表面 14 15 25 30 35 K 0 0 0 0 0 C1 -1.471452E-07 1.493626E-09 -2.761928E-08 3.891658E-09 8.202081 E-10 C2 3.389142E-12 7.786239E-13 1.065077E-13 •2.344148E-13 -6.269685E-13 C3 •1.091618E-15 3.130190E-17 8.399310E-18 1.511118E-17 -2.459088E-16 C4 1.594470E-19 2.199868E-22 -2.005406E-21 -1.816247E-21 5.806198E-20 C5 -2.248477E-23 -1.132529E-25 1.619754E-25 3.834331 E-26 -3.997034E-24 C6 1.655691 E-27 2.738900E-30 -8.094709E-30 5.510731E-31 1.041043E-28 C7 -5.527960E-32 C8 -3.066052E-37 表面 37 K 0 C1 1.252989E-07 C2 2.533320E-12 C3 1.123761E-16 C4 -1.266332E-19 C5 1.618688E-23 C6 -8.614797E-28 C7 C8 98927.doc 114· 1376524 表 40 (d125i9>
表面 半徑 非球面 厚度 材料 半徑 0 〇.〇〇〇〇〇〇 31.999820 72.0 1 1121.871530 AS 22.353990 SI02V 81.6 2 -593.507575 151.330057 83.2 3 -276.701090 •150.330068 REFL 99.4 4 -1841.732700 158.991136 REFL 58.1 5 -1993.161426 66.359854 SI02V 129.7 6 -226.138813 0.999989 137.1 7 320.967306 58.008492 SI02V 147.2 8 •521.971452 AS 138.103093 146.7 9 1018.489753 AS 33.863171 SI02V 132.4 10 -836.147368 169.056435 131.1 11 •150.333251 22.332601 SI02V 98.2 12 -264.622066 19.637756 104.6 13 -642.439229 -19.637756 REFL 105.6 14 -264.622066 -22.332601 SI02V 96.6 15 •150.333251 -169.056435 86.0 16 -836.147368 -33.863171 SI02V 72.6 17 1018.489753 AS -94.088120 78.6 18 196.895316 -14.999941 SI02V 99.4 19 1436.276484 -28.015060 114.2 20 263.470635 28.015060 REFL 117.3 21 1436.276484 14.999941 SI02V 115.4 22 196.895316 94.088120 104.5 23 1018.489753 AS 33.863171 SI02V 98.4 24 -836.147368 232.111001 96.3 25 -203.114130 AS 20.739811 SI02V 89.7 26 •179.567740 1.000292 94.4 27 214.374385 45.853859 SI02V 107.3 28 -685.859253 AS 14.406908 106.3 29 155.448944 34.186529 SI02V 99.0 30 402.440360 26.948978 95.4 31 1784.180000 14.999955 SI02V 87.8 32 215.162499 22.977434 79.8 33 •1182.190098 22.085678 SI02V 78.7 34 -212.011934 1.511427 77.6 35 -2234.326431 AS 16.015583 SI02V 73.6 36 102.656630 55.587588 68.2 37 227.255721 75.569686 SI02V 88.7 38 -317.233998 1.001303 92.3 39 1810.772356 AS 34.492120 SI02V 91.9 40 -251.541624 3.237774 94.2 41 〇.〇〇〇〇〇〇 -2.238080 92.7 42 312.037351 16.355638 SI02V 94.5 43 1101.731550 AS 0.999509 94.2 44 373.203773 35.331514 SI02V 95.0 45 -352.262575 0.999305 95.0 46 800.952563 34.674551 SI02V 91.8 47 -210.477645 AS 0.999728 90.3 48 72.234210 29.521553 SI02V 58.5 49 126.294484 7.096090 50.0 50 89.472175 36.272448 SI02V 41.5 51 〇.〇〇〇〇〇〇 〇.〇〇〇〇〇〇 18.0 98927.doc • 115· 1376524 表 40A (d125i9) 非球面常數
表面 1 8 9 17 23 K 0 0 0 0 0 C1 •6.489547E-09 1.779063E-08 -2.537260E-09 -2.537260E-09 -2.537260E-09 C2 2.573979E-12 -1.318309E-13 8.794118E-14 8.794118E-14 8.794118E-14 C3 -6.945437E-18 1.871976E-18 1.370489E-18 1.370489E-18 1.370489E-18 C4 -9.856064E-22 -2.538137E-23 2.480376E-23 2.480376E-23 2.480376E-23 C5 -5.398838E-26 5.262554E-28 3.221917E-28 3.221917E-28 3.221917E-28 C6 3.582736E-29 -4.568847E-33 -1.526882E-32 -1.526882E-32 -1.526882E-32 表面 25 28 35 39 43 K 0 0 0 0 0 C1 3.488627E-08 5.518741E-08 -1.889508E-07 -1.194060E-07 2.132675E-08 C2 -5.495753E-13 -1.879963E-12 -7.683963E-12 -3.708989E-13 3.335407E-12 C3 -6.723461 E-17 -1.208371E-18 9.545139E-17 4.020986E-17 8.797815E-17 C4 2.810907E-21 8.370662E-22 1.920197E-20 -1.082725E-20 -6.582985E-21 C5 -1.827899E-25 -3.751988E-26 1.709381E-24 3.369011E-26 -4.306562E-26 C6 4.402454E-30 1.768617E-30 -4.887431 E-30 1.763283E-29 1.609953E-29 表面 47 K 0 C1 1.327564E-08 C2 8.696711E-13 C3 -1.462960E-16 C4 1.072413E-20 C5 -5.792663E-25 C6 7.946613E-30 116- 98927.doc 1376524 表41 圖示 NA Y1 Nl N〇p Dmu COMP1 COMP2 COMP3 4 1.10 16.25 17 3 201.5 10.25 174.21 58.07 7 1.10 16.25 17 3 220.9 11.23 190.99 63.66 8 1.15 16.25 17 3 220.1 10.24 174.11 58.04 16 1.20 16.25 20 3 219.7 9.39 187.78 62.59 17 1.20 16.25 21 3 235.5 10.06 211.35 70.45 19 1.20 16.25 20 3 263.9 11.28 225.56 75.19 20 1.20 16.00 19 3 306.5 13.30 252.76 84.25 21 1.20 16.17 20 3 240.6 10.33 206.66 68.89 22 1.20 16.25 19 3 249.3 10.65 202.42 67.47 23 1.20 16.17 18 3 264.2 11.35 204.24 68.08 27 1.20 16.50 23 3 269.9 11.36 261.27 87.09 28 1.20 16.50 23 3 229.4 9.65 222.06 74,02 30 1.20 16.50 21 3 266.1 11.20 235.19 78.40 31 1.20 16.50 20 3 272.6 11.47 229.46 76.49 32 1.20 16.50 20 3 272.3 11.46 229.21 76.40 34 1.20 16.50 22 3 241.0 10.14 223.15 74.38 36 1.20 16.50 23 3 278.6 11.73 269.69 89.90 37 1.20 16.50 23 3 250.2 10.53 242.20 80.73 38 1.20 16,50 23 3 263.4 11.09 254.97 84.99 39 1.20 17.00 16 3 260.0 10.62 169.93 56.64 40 1.05 18.00 19 3 294.0 14.81 281.48 93.83
【圖式簡單說明】 圖1為本發明之投射物鏡之第一具體實施例的縱向截面 圖； 圖2為通過圖1之系統之内部離軸光束的圖式； 圖3為通過圖1之系統之外部離軸光束的圖式； 圖4為本發明之投射物鏡之第二具體實施例的縱向.截面 圖； 圖5、6為顯示圖4所示具體實施例之凹面鏡上光束之覆蓋 區的不意圖， 圖7、8及9顯示圖4之具有不同NA值及不同孔徑光闌位置 之具體實施例的變化； • 117- 98927.doc 圖10、11分别顯示本發明之投射物鏡之第三具體實施例 的示意圖及透鏡戴面； 圖12、13分別顯示本發明之投射物鏡之第四具體實施例 的示意圖及透鏡截面； 圖14顯不第三具體實施例之折反射物鏡部分的透視圖， 以證明鏡面幾何學； 圖15顯示在凹面鏡及傾斜視場（圖15a)之間有通過兩次之 透鏡之另一具體實施例的示意圖； 圖16透過依圓15所建構之具體實施例顯示透鏡截面； 圖17顯示依圖15所示原理所建構之另一具體實施例的透 鏡截面； 圖18顯示在凹面鏡之間具有通過三次之透鏡之具體實施 例的示意圖； 圖19顯示依圖18所示原理所建構之具體實施例的透鏡截 面； 圖20透過具有一接近凹面鏡之一之鏡面相關的透鏡之具 體實施例顯示透鏡截面； 圖2 1透過本發明之投射物鏡之另一具體實施例顯示透鏡 截面； 圖2 2顯示具有相同淺凹面鏡之本發明之投射物鏡之另一 具體實施例的透鏡截面； 圖23顯示具有相同淺凹面鏡之本發明之投射物鏡之另一 具體實施例的透鏡截面； 圖24顯示定義凹面鏡之突進深度的圖式； 98927.doc •118- 1376524 圖25顯示本發明在接近鏡面組之入射及出射的鏡面間空 間及光瞳平面中只具有一個中間影像之投射物鏡之另一具 體實施例的透鏡截面； 圖26顯示圖25所示具體實施例在物體平面及第一中間影 像間之截面的放大圖； 圖27顯示本發明之具體實施例的透鏡戴面，其中第二反 射物鏡部分具有兩個具有確切相同非球面形狀的凹面鏡； 圖28顯示具有第二反射物鏡部分之具體實施例的透鏡截 面’其中第一凹面鏡的設計為拋物線鏡面； 圖29為顯示用於光學上測試拋物線鏡面之測試裝置的示 意圖； 圖3〇-32顯示具有只具有正透鏡及不同非球面數之小型 第一物鏡部分之投射物鏡的具體實施例； 圖33顯示習用具有反曲點之非球面的示意圖； 圖3 4顯示其中所有非球面沒有反曲點之具體實施例的透 鏡截面； 圖3S為顯示具有極值點之非球面的示意圖； 圖36顯示其中避免因極值點存在所致問題之投射物鏡之 具體實施例的透鏡戴面； 圖37顯示具有非球面數很少之另一具體實施例的透鏡截 面； 圖38顯不具有非球面數很少之另一具體實施例的透鏡截 面； 圖39顯示具有包括兩個彎曲鏡面之第一折反射物鏡部分 98927.doc -119- 1376524 及具有兩個凹面鏡之第二折反射物鏡部分之具體實施例的 透鏡截面；及 圖40顯示具有含兩個彎曲鏡面之第一物鏡部分及具有兩 個凹面鏡之第二折反射物鏡部分之另一具體實施例的透鏡 截面。 【主要元件符號說明】 100 101 、 501 、 1201
折反射投射透鏡 物體平面 影像平面 102 、 302 、 502 、 1202 、 1402 、 2002 、 2202 103 、 104 105 110 、 310 、 1010 、 1310 、 1410 、 中間實像 平直光軸 第一折射物鏡部分 1510 、 1610 、 1710 120 ' 720 、 2220 ' 2320 第二折反射物鏡部分
第一凹面鏡 第二凹面鏡 折反射腔 第三折射物鏡部分 投射物鏡 121 、 521 、 721 、 821 、 1221 、 1421 、 2221 ' 2321 122 、 522 、 722 、 822 、 1222 、 1422 、 2222 、 2322 125 130 、 2230 200 、 400 、 500 、 700 、 800 、 900 、 1000、1100、1200、1300、1400、 1500、1600、1700、1900、2000、 98927.doc -120- 1376524
2100 、 2200 210 220 221 ' 222 ' 321 ' 322 ' 421 ' 422、 921、922、1121、1122、1321、 1322 、 2213 、 2312 230 300 303 、 503 、 603 、 703 、 903 、 1003 、 1203 ' 1303 ' 1403 、 1503 、 1603 、 1703 、 2203 、 2303 304 ' 504 、 604 、 704 、 904 、 1204 、 1404 、 1704 、 2204 ' 2304 320、1320、1420、2020、2120 330 、 1430 305' 305" 305"' 306 、 307 308 、 708 309 、 151卜 1611 、 1711 325 930 > 1230 第一折射部分 反射（完全反射）組 凹面鏡 第二折射部分 折反射投射物鏡 第一中間影像 第二中間影像 第二反射物鏡部分 第三折射物鏡部分 共同光轴 物體側部分 影像側部分 平面摺疊鏡 主射線 光瞳平面 反射腔 第三物鏡部分 98927.doc • 121 - 1376524 403、404、1203 405 ' 505、605、705、2205 405 ' 406 520 ' 620、1020、1120、1220 551 、 751 552 、 752 651 ' 652 621、622、2325、2326
711 、 911 、 1011 、 1111 、 1631 、 1731 781 、 783 、 785 、 788 、 983 、 2229 、 2212 782、85卜 951 ' 952 ' 982、1082 784、789、996、1081、1083、2211、 2311 、 2315 、 2328 787 、 987 787 、 987 、 1210
991 991 1226 、 1227 、 1228 、 1229 1230 1235 1301 1312 、 1512 中間影像 光軸 平面鏡 第二物鏡部分 第一鏡相關透鏡 第二鏡相關透鏡. 非球面負彎月形透鏡 球面凹面鏡 光瞳表面 正彎月形透鏡 負彎月形透鏡 雙凸面正透鏡 彎月形透鏡 第一物鏡部分 負透鏡 連續透鏡 正透鏡 完全折射物鏡部分 視場透鏡 物體表面 第一透鏡元件 拋物線鏡面 98927.doc -122- 1421 1376524
1460 測試光學系統 1470 球面鏡 1519 、 1619 、 1719 平面平行薄片 1710 、 1720 、 1730 成像物鏡部分 2050 平面凸面透鏡 2150 、 2360 平面-凸面透鏡 2210 > 2310 第一折反射物鏡部分 2214 附加鏡面 2313 凸面鏡 2314 雙球面正彎月形透鏡 LG11、LG31 第一透鏡組 LG22、LG32 第二透鏡組 PI 、 P2 、 P3 真實光瞳表面 98927.doc 123·

Claims (1)

1376524 十、申請專利範圍： _ 1. 一種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 \ 該投射物鏡之一影像平面的折反射物鏡，其包含： • 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 • 像平面； 其中具有第一連續鏡面的第一凹面鏡及至少一具 有一第二連續鏡面的第二凹面鏡係配置在該第二中間影 像的上游； 光曈表面係形成於：該物體平面及該第一中間影像之 間、該第一及該第二中間影像之間、及該第二中間影像 及該影像平面之間；及 所有凹面鏡在光學上係配置遠離一光瞳表面。 籲2.如請求項！之投射物鏡，其中所有凹面鏡係在一主射線高 度超過該成像程序之_邊緣射線高度的—位置處配置在 光學上遠離一光曈表面。 3.如响求項1之技射物鏡’其中有確切兩個凹面鏡及確切兩 • 個中間影像。 ， 4 _如請求項1之投射物炉 对物鏡，其中該第一物鏡部分為一折射成 ， 像系統， 5亥第·一物鏡部分自 1刀包括該第一及該第二凹面鏡，該等凹 98927.doc 1376524 面鏡之凹面鏡面係面對面及可定義—鏡面間空間； 其中至少該第-中間影像在幾何上係位在該第一凹面 鏡及該第二凹面鏡間之鏡面間空間内。 5. 如請求項4之投射物鏡，其中該第一中間影像及該第二中 間影像的位置在幾何上均在該第一凹面鏡及第二凹面鏡 之間的鏡面間空間内。 6. 如請求们之投射物鏡，其中該第一物鏡部分、該第二物 鏡部分及該第三物鏡部分共用一共同平直光軸。 7. 如請求項1之投射物鏡，其中該第一凹面鏡及該第二凹面 鏡的曲率表面具有一定義該光軸之—折反射或反射部分 .之轉動對稱共同軸，其在對該光軸之一物體側部分及一 影像側部分的一角度處傾斜。 8. 如請求項1之投射物鏡，其中一凹面鏡的至少一鏡面為非 球面。 9. 如請求項1之投射物鏡，其中該第一物鏡部分為一包括— 單一第一凹面鏡的折反射物鏡部分，及該第二物鏡部分 ，為一包括一單一第二凹面鏡的折反射物鏡部分。 10. 如請求項1之投射物鏡’其中一由該第一及該第二面對面 的凹面鏡定義的鏡面組具有一鏡面組入射及一鏡面組出 射，該鏡面組入射的位置在幾何上在面對該光軸之該第 二凹面鏡之一邊緣旁邊，及該鏡面組出射的位置在幾何 上在面對該光軸之該第一凹面鏡之一邊緣旁邊，及其中 該投射物鏡的光瞳表面係配置在該鏡面組入射附近及該 鏡面組出射附近。 98927.doc 1376524 11. 如請求項1之投射物鏡，設扎敎使自該第一凹面 鏡反射的輻射在衝射於該第二凹面鏡上之前與該光抽相 交。 12. 如請求項1之投射物鏡，其中該第一物鏡部分為完全折 射，該第二物鏡部分為反射或折反射，及該第三物鏡部 分為完全折射。 13. 如請求項1之投射物鏡’其中該投射物鏡沒有任何凸面 鏡。 14. 一種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含. 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； V 其中該第二物鏡部分包括一具有一第一鏡面的第—凹 面鏡及一具有一第二鏡面的第二凹面鏡，該凹面鏡的凹 面鏡面係面對面及可定義一鏡面間空間； 其中至少該第一中間影像在幾何上係位在該第一凹面 鏡及該第二凹面鏡間之鏡面間空間内。 15. 如請求項14之投射物鏡，其中有確切兩個凹面鏡及確切 兩個中間影像。 16. 如請求項14之投射物鏡，其中該第一及第二鏡面為不間 98927.doc l3Te52~4 斷且沒有任何孔洞。 % ' 17·如請求項14之投射物鏡，其中該投射物鏡為一沒有任何 * 光瞳昏暗之非模糊的系統。 嬸 18. 如請求項14之投射物鏡，其中該第一中間影像及該第二 中間影像的位置在幾何上均在該第一凹面鏡及第二凹面 鏡之間的鏡面間空間内。 19. 如請求項μ之投射物鏡，其中該第—中間影像及該第二 _ 中間影像的位置在幾何上在以該第一凹面鏡及該第二凹 面鏡間之鏡面間空間内兩個凹面鏡間之一中點為中心的 一中間區域’其中該中間區域在該第一及第二凹面鏡之 曲率頂點間之一軸距中具有一軸延伸<9〇〇/0的一空間中延 伸。 20. 如請求項14之投射物鏡，其中d為在該等兩個凹面鏡間之 光軸上的一距離，dl為在該第一中間影像及該第一凹面 鏡間之光軸上的一距離，及d2為在該第二凹面鏡及該第 # 一中間影像間之光軸上的一距離，及滿足關係：0.5 d/2<dl<1.5 d/2及 0.5 d/2<d2<1.5 d/2。 21. 如請求項丨4之投射物鏡，其中該最離軸之視場點的一主 射線在该第-中間影像之位置的幾何附近處與該等兩個 • ^凹面鏡間之光學路徑中的光軸相交。 22·如請求们之投射物鏡，其中該第—物鏡部分經設計為一 放大成像系統。 • 23.如請求項!之投射物鏡’其中該第一物鏡部分經設計為— 具有—'倍㈣介於1，< 2·5的放大成像系統。 98927.doc ⑸6524 二物鏡部分經設計為接 系统。 24·如s青求項1之投射物鏡’其中該第 近專大（unit magnification)的光學 二·物鏡部分經設計為 系統。 二物鏡部分經設計為 系統。 25. 如請求項24之投射物鏡，其中該第 一具有一倍率β2介於〇.4<丨02丨<1.5的 26. 如請求項24之投射物鏡，其中該第 一具有一倍率β2介於〇·9<|β2|<1·ι的 27.如請求項1之投射物鏡，其中該第= . 矛—物鏡部分具有一縮減
倍率β3，其中|β3|<ι。 · 28.如請求項!之投射物鏡’其中該第二中間影像具有一大於 該影像尺寸的尺寸。 >9.如請求項14之投射物鏡，其中該第一物鏡部分該第二 物鏡部分及該第三物鏡部分共用一共同平直光轴。 3\〇·如請求項14之投射物鏡，其中該第一凹面鏡及該第二凹 乂 面鏡的曲率表面具有一轉動對稱的共同軸。 3\1、·如請求項14之投射物鏡，其中由該第一凹面鏡及該第二 凹面鏡定義之該光軸的一折反射或反射部分在對該光軸 之一物體側部分及一影像側部分的一角度處傾斜。 32.如請求項1之投射物鏡，其中該第一凹面鏡及該第二凹面 鏡中至少一個經設計為一曼京（Mangin)鏡。 33. 如請求項1之投射物鏡，其中該第一凹面鏡及該第二凹面 鏡中至少一個經設計為一正面鏡。 34. 如請求項1之投射物鏡，其中該等凹面鏡中至少一個具有 一反射具有曲率之絕對值之表面的非球面，該曲率在 徑向上從該光軸向該鏡面的邊緣縮減。 98927.doc 1376524 35. 如請求項14之投射物鏡，其中該投射物鏡沒有任何凸面 鏡。 36. 如請求項1之投射物鏡，其中該投射物鏡沒有任何平面指 疊鏡》 37. 如請求項1之投射物鏡，其中該等凹面鏡的一最大光束高 度小於該第三物鏡部分内該最大光束高度的1.5倍。 38. 如請求項1之投射物鏡’其中該等凹面鏡的直徑小於該第 一及該第二中間影像之尺寸的150% » 39. 如請求項1之投射物鏡’其中該投射物鏡的所有光束係位 在一定義為一圍繞該第三物鏡部分之光軸之柱狀物的空 間内，及從該物體平面埤伸至該影像平面及具有該第三 物鏡部分内一最大光束高度之1.5倍的一最大半徑。 40·如請求項1之投射物鏡，其中一最大自由直徑為該第三物 鏡部分内之一最大光束高度的2.4倍。 41. 如請求項1之投射物鏡，其中在該第一凹面鏡之半徑^及 該第二凹面鏡之半徑R2之間滿足以下關係：〇.7<|R1/R2|< 1.3。 42. 如請求項1之投射物鏡’其中在该第一凹面鏡之半徑ri及 該第二凹面鏡之半位R2之間及在該等兩個凹面鏡間之該 光軸上之該距離d滿足關係：0.7<(|Rl| + |R2|)/2/d<1,3。 43. 如請求項1之投射物鏡’其中至少一具有一自由入射表面 及一自由出射表面的透鏡係配置在定義於該第一及第二 凹面鏡之間的一鏡面間空間内。 44. 如請求項43之投射物鏡，其中該透鏡係一配置致使其可 98927.doc 1376524 由通過往返該凹面鏡之輻射轉變 45 ^ ^ -ts Λ Λ J. _人的鏡面相關透鏡。 45·如凊未項44之投射物 鏡。 該鏡面相關透鏡為一負透 面相關透鏡為一具有 面鏡之曲率度相似之 46.如請求項44之投射物鏡，其中該鏡 負折射能力及一和其被指派之該凹 曲率度的彎月形透鏡。
47·如請求項44之投射物鏡 一多半配置在該光軸之 鏡。 其中該鏡面相關透鏡經設計為 關連凹面鏡所在之侧的截形透 48.如請求…之投射物鏡，其中有至少—配置在一定義於該 第一及第二凹面鏡間之鏡面間空間内的透鏡，其中該透 鏡可由一在該物體平面及該影像平面之間的光束轉變= 次。 49. 如請求項1之投射物鏡’其中該第一凹面鏡及該第二凹面 鏡經設計可具有該等實質上相同或確切相同的曲率表 面。 50. 如請求項1之投射物鏡’其中該第一凹面鏡及該第二凹面 鏡經製造致使先製造一用於該第一及第二凹面鏡的鏡面 毛坯以得到一鏡面之一所需凹面形狀’及之後將該鏡面 毛坯分成兩個用作該第一及第二凹面鏡的截形鏡面。 51. 如請求項1之投射物鏡，其中該第二物鏡部分包括：_包 含該第一凹面鏡及一第一鏡相關透鏡的第一折反射子 群，及一包含該第二*凹面鏡及一第二鏡相關透鏡的第二 折反射羊群，其中該折反射子群經設計實質上相同。 98927.doc 52_如請求項14之投射物鏡，其中一凹面鏡的至少一鏡面為 非球面》 53·如請求項1之投射物鏡，其中一第一及第二凹面鏡的凹面 為非球面。 54. 知請求項1之投射物鏡，其中在一中間影像及一光學上接 近該中間影像之關連凹面鏡之間有至少一配置在一定義 於該第一及第二凹面鏡間之鏡面間空間内的透鏡，其t 該透鏡的至少一表面為非球面。 55. 如請求項54之投射物鏡，其中該透鏡之非球面為面對該 t間影像的表面。 56. 如請求項1之投射物鏡，其中該第一凹面鏡具有一曲率 cl(單位[mm·1])及該第二凹面鏡具有一曲率C2(單位 [mm·1])，及D(單位[mm])為該第三物鏡部分之一透鏡元件 的一最大直徑，及其中滿足以下條件： 1<D/(|c,| + |c2|)-1〇-4<6 57. 如請求項52之投射物鏡’其中至少一凹面鏡滿足以下條 件：p>0,22R，其中p=R-(R2-D2/4)〇’5，其中R是曲率半徑 及D是該非球面鏡面的直徑。 5 8.如請求項57之投射物鏡，其中滿足條件D>i.3R。 59. 如請求項1之投射物鏡，其中該投射物鏡經設計致使該第 一中間影像的位置在幾何上在一定義於該第一及第二凹 面鏡之間的鏡面間空間内，及該第二中間影像係配置在 該鏡面間空間之外。 60. 如請求項14之投射物鏡，其中該第一物鏡部分為一包括 98927.doc 1376524 61.
62. 63. 64.
65. 66. 該第一凹面鏡的折反射物鏡部分，及該第二物鏡部分為 一包括該第二凹面鏡的折反射物鏡部分。 如請求項14之投射物鏡，其中一由該第一及該第二面對 面的凹面鏡定義的鏡面組具有一鏡面組入射及一鏡面組 出射，該鏡面組入射的位置在幾何上在面對該光軸之該 第二凹面鏡之一邊緣旁邊’及該鏡面組出射的位置在幾 何上在面對該光軸之該第一凹面鏡之一邊緣旁邊，及其 中該投射物鏡的光瞳表面係配置在該鏡面組入射附近及 該鏡面組出射附近。 如請求項14之投射物鏡，其中其係設計致使自該第一凹 面鏡反射的輻射在衝射於該第二凹面鏡上之前與該光抽 相交。 如請求項1之投射物鏡，其中該第一及該第二凹面鏡係配 置在該光轴的相同側。 如請求項1之投射物鏡，其中該第一凹面鏡及該第二凹面 鏡係位在該光軸的相對侧。 如請求項1之投射物鏡，其中至少一透鏡係配置在一定義 於由該第-及第二凹面鏡及該第二中間影像定義之—鏡 面組間之該第-及第二凹面鏡之間的鏡面間空間之外。 如請求項1之投射物鏡，其中該投射物鏡包括至少一具有 -非球面入射表面及一非球面出射表面的雙非球面透 鏡。 如請求項66之投射物鏡，其中該 瞳表面及其中該雙非球面透鏡係 第三物鏡部分具有一光 配置在該光曈表面及該 98927.doc • 67. 1376524 影像平面之間。 68.如請求項1之投射物鏡，其中該第 发弟物鏡部分包括至少— 具有一面對該影像平面之凹面的透鏡。 69，如請求項68之投射物鏡，其中1右 ，、Τ具有一面對該影像平面之 凹面的該透鏡為一配置在該第一物锫却八 乐物鏡部分之該物體平面 及一光曈表面之間的彎月形透鏡。
70.如請求項丨之投射物鏡，其中該第一物鏡部分包括一光瞳 表面及一配置在該物體平面及該光瞳表面之間的第一= 鏡組，其中該第一透鏡組按以下順序包括：一正透鏡、 一負透鏡及一正透鏡，其中該負透鏡具有一面對該影像 的凹面。 71.如請求項1之投射物鏡，其中該第二物鏡部分之光學元件 的一最大直径小於或4於該第二物鏡部分之透鏡的—最 大直徑。 72.如請求項1之投射物鏡’其中該第三物鏡部分包括一光時 表面及配置在該第二中間影像及該光瞳表面之間的負折 射能力，致使一淺光束腰係定義於該光束路控中，其中 在該光束腰及該影像平面之間未配置任何負透鏡。 73·如請求項1之投射物鏡，其中該第三物鏡部分包括不多於 兩個負透鏡》 7 4.如請求項1之投射物鏡’其中其具有一影像側數值孔握 ΝΑ>0,9。 75 _如請求項1之投射物鏡’其中該投射物鏡經設計為一參考 像差進行調適的浸沒物鏡，致使一在一最後光學元件及 98927.doc •10- 1376524 該影像平面之間的影像側工作距離可填以一折射率實質 上大於1的一浸沒媒介》 76. 如請求項1之投射物鏡，其中其在結合一浸沒媒介使用時 具有一影像側數值孔徑N A> 1，1。 77. 如請求項1之投射物鏡，資在其物體端及影像端上均為遠 心 〇 78. 如請求項1之投射物鏡’其具有一實質上同心的入射光 瞳0 79. 如請求項1之投射物鏡’其中一孔徑光闌係提供於該第一 物鏡部分中。 80. 如請求項1之投射物鏡，其中一孔徑光闌係提供於該第二 物鏡部分中。 81·如請求項1之投射物鏡，其中一孔徑光闌係提供於該第三 物鏡部分中。 82·如請求項1之投射物鏡，其係配置用於波長範圍介於約 120 nm至約260 nm的紫外光。 83. —種用於微影蝕刻的投射曝光系統，其具有一照明系统 及一折反射投射物鏡，其中該投射物鏡之配置如請求項 1 ° 84. —種用於製造半導體裝置或其他類型之微裝置的方法， 其包含： 提供一具有一預定圖案的遮罩； 以具有一預定波長的紫外光照明該遮罩；及 使用如請求項1之折反射投射物鏡將該圖案的一影像 98927.doc • 11 · 1376524 杈射至一配置在一投射物鏡之該影像平面附近的感光基 板。 85.種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之-影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一折射物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該 圖案成像為一第一中間影像； 第一折反射或反射物鏡部分，用於將該第一中間影 像成像為一第二中間影像； -第二折射物鏡部分’用於將該第二中間影像直接成 像至該影像平面； 其t該第二物鏡部分包括確切一具有一第一連續鏡面 的第一凹面鏡及確切-具有-第二連續鏡面的第二凹面 鏡，該凹面鏡的凹面鏡面係面對面及可定義一鏡面間空 間； 其中該第-及該第二中間影像在幾何上係位在該第一 凹面鏡及該第
〇 Μ面鏡間之鏡面間空間内 86.種將-投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 以又射物鏡之-影像平面的折反射投射物鏡，其包含： $物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 第-物鏡部分’用於將該第一中間成像成像為一第 二中間影像； -第三物鏡部分’用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； 98927.doc -12- 1376524 其中該第二物鏡部分包括一具有一第一鏡面的第一凹 面鏡及一具有一第二鏡面的第二凹面鏡，該凹面鏡的凹 面鏡面係面對面及可定義一鏡面間空間； . 其中該第一物鏡部分經設計為一放大成像系統。 87. 知請求項86之投射物鏡，其中該第一物鏡部分為折射， 該第二物鏡部分為折反射或反射’及該第三物鏡部分為 折射。 88. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 ® 該投射物鏡之一影像的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 -成‘像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分’用於將該第二中間影像成像至該影 像平面；其中 該第一物鏡部分為一全折射部分； ® 該第二物鏡部分包括一具有一第一連續鏡面的第一凹 面鏡及一具有一第二連續鏡面的第二凹面鏡，該凹面鏡的 凹面側係面對面及可定義一未摺疊或摺疊鏡面間空間； 其中在該等兩個凹面鏡間之一光學路徑中，沒有任何 * 中間影像係由該等凹面鏡形成；及 •其中該第三物鏡部分為一全折射部分。 -^炙一種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像的折反射投射物鏡，其包含： 98927.doc -13· 1376524 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分’用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； 其中該第二物鏡部分按以下順序包括： 一第一平面摺疊鏡、一第一凹面鏡、一第二凹面鏡、 一第二平面摺疊鏡， 其中該等凹面鏡之一共同轴為傾斜但和該物體及影像 平面幾乎平行或平行。 90. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： —第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； 其中該第二物鏡部分為一折反射或反射物鏡部分及按 以下順序包括： 一第一凹面鏡'一第一平面摺疊鏡'一第二凹面鏡、 第一平面摺疊鏡’其中該專兩個平面鏡面係配置為一 單一使用兩次的平面鏡面。 98927.doc • 14 · 1376524 91. 種’技射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像的折反射投射物鏡，其包含： -第-物鏡部分’用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； -第二物鏡部分，用於將將第—中間影像成像為一第 二中間影像； -第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； 其中具有一第一連續鏡面的一第一凹面鏡及具有一第 二連續鏡面的一第二凹面鏡係配置在該第二中間影像的 上游； 其中該第一凹面鏡及該第二凹面鏡的曲率表面定義一 轉動對稱的共同軸； 其中該轉動對稱的共同軸對由該第一物鏡部分定義之 該光軸之一物體側部分及由該第三物鏡部分定義之該光 軸之一影像側部分係傾斜於7〇。及11〇。之間的一斜角；及 其中至少一凹面鏡在一主射線高度超過一邊緣射線高 度的一位置係配置在光學上遠離一光瞳表面。 92. 如請求項91之投射物鏡，其中所有凹面鏡係配置光學遠 離一光瞳表面。 93. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： —第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 9S927.doc -15· 1376524 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； 其中該第一物鏡部分為完全折射； 其中該第二物鏡部分為一具有一第一凹面鏡及至少一 第二凹面鏡及沒有透鏡的反射物鏡部分；及 其中該第三物鏡部分為一折射物鏡部分。 94. 如請求項93之投射物鏡’其中該第一及第二凹面鏡的凹 面鏡面面對面及定義具有一轉動對稱之共同轴的曲率表 面。 95. 如請求項93之投射物鏡’其中該第一物鏡部分、該第二 物鏡部分及該第三物鏡部分共用一共同光軸。 96. 如請求項93之投射物鏡’其中提供至少一相對於—光轴 之一物體側部分傾斜的平面摺疊鏡，及其中該等凹面鏡 之一轉動對稱的共同軸係傾斜相對於該光軸的物體側部 分。 97. 如請求項93之投射物鏡，其中該第二反射物鏡部分具有 確切兩個凹面鏡。 98. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 98927.doc -16 · 1376524 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面， 其中該第一物鏡部分為一包括一單一第一凹面鏡的折 反射或反射物鏡部分，及一第二物鏡部分為一包括一單 一第二凹面鏡的折反射或反射物鏡部分。 99. 如請求項98之投射物鏡，其中該第三物鏡部分為完全折 射。 100. 如請求項1之投射物鏡，其中該第—凹面鏡具有一第一非 球面鏡面及該第二凹面鏡具有—第二非球面鏡面，及其 中該第-及第二鏡面具有實質上相同或完全相同的非球 面形狀。 派如請求項i之投射物鏡，其中該第二物鏡部分具有兩個凹 面鏡，各凹面鏡具有一非球面鏡面，其中該第一及第二 鏡面具有實質上相同或完全相同的非球面形狀。 敝如請求項i之投射物鏡，其中該第二物鏡部分為一只包含 兩個具有非球面鏡面的凹面鏡的反射物鏡部分，該等非 球面鏡面具有實質上相同或完全相同的非球面形狀。 103·如f求項1之投射物鏡，其中該第—及第二凹面鏡中至少 個具有一具有一拋物線形狀的鏡面。 跳如請求項i之投射物鏡，其中 及只具有正透鏡。 物鏡^為完全折射 求項刚之投射物鏡1中在該第—物鏡部分中 該正透鏡之外，還提供-具有實質上平行薄片表面的 98927.doc -17· 1376524 薄片》 106.如請求項1之投射物 初親兵中該第一物鏡部分為完全折射 及只具有六個透鏡。 1〇7.如請求項1之投射物鏡，其中該第-物鏡部分為完全折射 及包括透鏡it件及非球面，其中在―透鏡元件數及_非 球面數之間的一比率小於丨，6。 跳如請求項i之投射物鏡，其中緊接在該物體平面後之該第 物鏡部分的-第-透鏡元件具有一面對該物體平面的 非球面，其中該非球面為實f上平坦且在該非球面的各 點具有一局部半徑R>3 00 mm。 109·如》月求項1之投射物鏡’其中所有負透鏡係配置在光學上 遠離一光曈表面》， 110. 如請求項丨之投射物鏡，其中該投射物鏡具有至少一具有 一非球面的光學元件’其中一表面形狀在該非球面的一 光學使用區域中沒有反曲點β 111. 如請求項1之投射物鏡，其中提供複數個具有至少一非球 面的光學元件，及其中該非球面至少5〇%沒有反曲點。 112·如請求項1之投射物鏡，其中提供複數個具有至少一非球 面的光學元件，及其中所有非球面具有沒有反曲點的表 面形狀。 113.如凊求項丨之投射物鏡，其中該投射物鏡具有至少一具有 —非球面的光學元件，其中一表面形狀在該光軸外之該 非球面的一光學使用區域中沒有極值點，其中一極值點 可定義為： 98927.doc -18- 1376524 其中參數P代表離該表面之頂點之高度h之一點的一距離 ，其測量和一光學元件之該光軸平行。 114.如請求項1之投射物鏡，其中該投射物鏡包括複數個具有 至少一非球面的光學元件，其中該非球面至少5〇%具有一 沒有極值點的表面形狀。 115. 如請求項1之投射物鏡’其中提供複數個具有至少一非球 面的光學元件，及其中所有非球面具有在該光軸外沒有 極值點的表面形狀。 116. 如請求項in之投射物鏡，其中該非球面在一包括由該光 予使用半從hopt疋義之光學利用區域的區域中沒有極值 點，及延伸於該區域外達到一最大高度hmax>h〇y，其中 hmax=hopt+〇R及其中〇R為至少5 mm 〇 117. 如請求項丨之投射物鏡，其中具有至少一極值點的非球面 在橫跨整個光學利用區域上為實質上平坦。 118. 如請求項丨之投射物鏡，其具有至少一具有至少一極值點 的非球面，其中該非球面在橫跨該光學元件的整個光學 利用區域上為實質上平坦，致使用於該非球面的以下條 件成立： |p(h)|<Pmax 其中 Pmax—〇,5 mrn。 1Γ9,一種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像的投射物鏡，其包含： 一第一及至少一第二凹面鏡， 98927.doc •19· 其中該第一凹面鏡具有第一非球面鏡面及該第二凹面 鏡具有第二非球面鏡面，及其中該第一及第二鏡面具有 實質上相同的非球面形狀。 120.如請求項丨19之投射物鏡，其中該第一及該第二凹面鏡之 該非球面鏡面的該非球面形狀係為相同。 121·如請求項119之投射物鏡，其中該投射物鏡為一除了該等 凹面鏡還具有至少一透鏡的折反射投射物鏡。 122· —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像的投射物鏡，其包含： 至少一凹面鏡， 其中該凹面鏡的一鏡面具有一拋物線形狀。 123·如請求項122之投射物鏡，其中該投射物鏡為一除了該凹 面鏡還具有至少一透鏡的折反射投射物鏡。 124: —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像的投射物鏡，其包含： 至少一具有一非球面的光學元件，其表面形狀在該非 球面的一光學使用區域中沒有反曲點。 125.如請求項124之投射物鏡’其中提供複數個具有至少一非 球面的光學元件，及其中該非球面至少5〇%沒有反曲點。 126·如請求項124之投射物鏡’其中提供複數個具有至少一非 球面的光學元件，及其中所有非球面具有沒有反曲點的 表面形狀。 127. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的投射物鏡，其包含· 98927.doc -20- 1376524 至少一具有—非球面的光學元件，其表面形狀在該光 轴外之該非球面的—光學使用區域中沒有極值點，其中 極值點可定義為： —=0及#尹0 dh ^ d hz 其中參數P代表離該表面之頂點之高度點的一距離 ’其測量和一光學元件之該光軸平行。 128.如請求項127之投射物鏡，其具有至少一具有至少一極值
點的非球面，其中該非球面在橫跨該光學元件的整個光 學利用區域上為實質上平坦，致使用於該非球面的以下 條件成立： |p(h)|<p max , 其中 Pmax=〇.5。 129‘如請求項1之投射物鏡，其中該第一物鏡部分包括一凹面 鏡及至少一具有一彎曲鏡面的附加鏡面，其中該凹面鏡 的彎曲鏡面及該附加鏡面係為面對面。 φ 130.如請求項129之投射物鏡’其中該附加鏡面具有一凸面鏡 面。 131. 如請求項129之投射物鏡’其中該附加鏡面的位置在光學 上接近一光瞳表面。 132. 如請求項129之投射物鏡，其中該第一物鏡部分為折反射 及除了該凹面鏡及該附加鏡面還包括至少一透鏡 133. 如請求項129之投射物鏡’其中該第二物鏡部分包括一具 有一第一鏡面的第一凹面鏡及一具有一第二鏡面的第二 98927.doc -21· 1376524 凹面鏡，該凹面鏡的凹面鏡面係面對面及可定義一鏡面 間空間。 134·如請求項129之投射物鏡，其中該投射物鏡具有確切三個 凹面鏡。 135•如請求項129之投射物鏡，其中該投射物鏡的所有凹面鏡 係配置在光學上遠離一光瞳表面。 136. 如請求項129之投射物鏡，其中該第一物鏡部分、該第二 物鏡部分及該第三物鏡部分共用一共同平直光軸。 137. 如請求項129之投射物鏡’其中該第一物鏡部分經設計為 一放大成像系統。 138. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將將第一中間影像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面； 其中該第一物鏡部分包括一凹面鏡及至少一具有一彎 曲鏡面的附加鏡面，其中該凹面鏡的彎曲鏡面及該附加 鏡面係為面對面； 其中該第二物鏡部分包括：具有一第一連續鏡面的一 第一 C3面鏡及至少一具有一第二連續鏡面的第二凹面鏡 ，該等凹面鏡係配置在該第二中間影像的上游； •22- 98927.doc 1376524 光瞳表面係形成於：該物體平面及該第一中間影像之 間、該第一及該第二中間影像之間、及該第二中間影像 及該影像平面之間；及 該等凹面鏡中至少二個係配置在光學上遠離一光曈表 面。 139.如请求項138之投射物鏡’其中所有凹面鏡係配置在光學 上遠離一光瞳表面。 140•如請求項138之投射物鏡，其中該附加鏡面為一凸面鏡。 141. 一種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一折射物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該 圖案成像為一第一中間影像； 一第二折反射或反射物鏡部分包括至少一凹面鏡，以 將該第一 f間影像成像為一第二中間影像； 一第二折射物鏡部分，用於將該第二中間影像直接成 像至該影像平面；其中 該投射物鏡具有一最大透鏡直徑Dmax、一最大像場高度 γι、一影像側數值孔徑NA、一透鏡數叱及一 _連於中間 影像的成像物鏡部分數Ν0Ρ ;其中 COMPl=Dmax/(Y'-NA2) COMP2=Dmax-NL/(Y'-NA2) COMP3=Dmax，NL/(NOP.Y、NA2); 及其中滿足以下條件中至少一項 (l)COMPKn 98927.doc •23· 1376524 (2) COMP2<300 (3) COMP3<100。 142. 如請求項141之投射物鏡，其中C0MP1<11及COMP2<300。 143. 如請求項141之投射物鏡，其中C0MP1<11及COMP2<300 及 COMP3<100。 144. 如請求項141之投射物鏡，其中該投射物鏡經設計為一具 有一影像側數值孔徑NA>1的浸沒物鏡。 145. 如請求項141之投射物鏡，其中具有一第一連續鏡面的一 第一凹面鏡及具有一第二連續鏡面的至少一第二凹面鏡 係配置在該第二物鏡部分中； 光瞳表面係形成於：該物體平面及該第一中間影像之 間、該第一及該第二中間影像之間、及該第二中間影像 及該影像平面之間；及 所有凹面鏡在光學上係配置遠離一光瞳表面。 146. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一折射物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該 圖案成像為一第一中間影像； 一第二折反射或反射物鏡部分包括至少一凹面鏡，以 將該第一中間影像成像為一第二中間影像； 一第三折射物鏡部分，用於將該第二中間影像直接成 像至該影像平面； 其中一最接近該…影像平面的最後透鏡為一以氟化鈣製 成的平面-凸面透，及其t熔化矽砂的一薄平面平行薄 98927.doc • 24 · 片係附著於該平面-凸面氟化鈣透鏡的一平面出射表面β 147. 如請求項146之投射物鏡，其中該薄片具有小於〇 5爪爪的 一厚度。 148. 如請求項146之投射物鏡’其中該投射物鏡經設計為_具 有一影像側數值孔徑NA> 1的浸沒物鏡。 149. 如請求項146之投射物鏡，其中具有一第一連續鏡面的一 第一凹面鏡及具有一第二連續鏡面的至少—第二凹面鏡 係配置在該第二物鏡部分中； 光瞳表面係形成於：該物體平面及該第一中間影像之 間、该第一及該第·一中間影像之間、及該第二中間影像 及該影像平面之間；及 所有凹面鏡在光學上係配置遠離一光瞳表面。 150. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的—圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分’用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將該第一中間成像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間成像成像至該影 像平面； 其中三個真實光曈表面係提供於物體平面及影像平面 之間’其中該等光瞳表面之一中的一最大主射線角小於 一物體側數值孔徑及其中，除此之外’還要滿足以下條 件中至少一項： 98927.doc -25- 1376524 (1) 該等二個光瞳表面之兩個中的一最大邊緣射線高度 為該第三光瞳表面中最大邊緣射線高度的最多50% ; (2) 該等光瞳表面之兩個中的一最大主射線角為該第三 光瞳表面中一最大主射線角的至少兩倍大； (3) 光瞳表面之兩個中的最大主射線角為物體側數值孔 徑的至少兩倍大。 151·如明求項150之投射物鏡，其中該第一物鏡部分為一折射 物鏡α卩刀，該第二物鏡部分為一包括至少一凹面鏡的反 射或折反射物鏡部分，及該第三物鏡部分為—折射物鏡 部分。 152. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該圖案 成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將該第一中間成像成像為—第 二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間成像成像至該~ 像平面； 其中該第一物鏡部分在該第一中間影像下游具有—負 虛擬）出射光曈，及其中該第二物鏡部分在該第二中門今 像下游具有一真實出射光瞳。 ” 153.如請求項152之投射物鏡，其中該第一物 |刀馮一折射 物鏡部分，該第二物鏡部分為一包括至少一 四面鏡的反 射或折反射物鏡部分，及該第三物鏡部分 — 5 —折射物鏡 98927.doc -26- 1376524 • 部分8 -公 一種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一第一物鏡部分’用於將該物體平面中提供的該圖案 .成像為一第一中間影像； 一第二物鏡部分，用於將該第一中間成像成像為一第 二中間影像； 一第三物鏡部分’用於將該第二中間成像成像至該影 # 像平面； 其中該第二物鏡部分在該第一中間影像及該第二中間 景夕像之間铁行一實像形成，及其中，除此之外’將—真 實入射光瞳成像至一真實出射光瞳。 155: —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 一光轴； ^ 複數個透鏡及至少一具有一連續鏡面的凹面鏡； 其中該投射物鏡為一沒有光瞳昏暗之非模糊的系統；及 其中該投射物鏡具有負各向同性放大，致使將一配置 在該光軸之一侧上的物體場成像至一配置在該光軸之相 對側上的像場而沒有影像顛倒，藉此在該物體場及該像 場之間不會發生對掌性的變更。 156.如請求項155之投射物鏡，其中所有透鏡及該至少一凹面 鏡共用一共同平直光軸β 157·如明求項15 5之投射物鏡，包含： 98927.doc -27· 一第一折射物鏡部分，用於將該物體平面中提供的該 圖案成像為一第一中間影像； 一第二反射或折反射物鏡部分，用於將該第一中間影 像成像為一第二中間影像； 一第三物鏡部分，用於將該第二中間影像成像至該影 像平面。 158. 如請求項157之投射物鏡， 其中一具有一第一連續鏡面的第一凹面鏡及至少一具 有一第二連續鏡面的第二凹面鏡係配置在該第二中間影 像的上游； 光瞳表面係形成於：該物體平面及該第一中間影像之 間、該第一及該第二中間影像之間、及該第二中間影像 及該影像平面之間；及 所有凹面鏡在光學上係配置遠離一光瞳表面。 159. 如請求項1之投射物鏡，其中使用至少一填充氣體填充該 投射物鏡之光學元件間之空的空間，其中該填充氣體為 空氣、氣氣及氦氣之一。 160·如請求項1之投射物鏡，其具有至少一非球面圓錐鏡。 161. 如請求項1之投射物鏡，其具有複數個透鏡，其中該透鏡 超過50%為非球面透鏡。 162. —種將一投射物鏡之一物體平面中提供的一圖案成像至 該投射物鏡之一影像平面的折反射投射物鏡，其包含： 複數個透鏡及至少一具有一沿著一所有透鏡及該至少 一凹面鏡的共同平τ直光軸配置之連續鏡面的凹面鏡； 98927.doc •28· 1376524
其中該投射物鏡為一沒有光曈昏暗之非模糊的系統；及 其中提供兩個可能位置以放置一孔徑光闌，以有效定 義該投射物鏡的一影像側數值孔徑。 29- 98927.doc
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