JPS6019484B2 - 複写用レンズ - Google Patents
複写用レンズInfo
- Publication number
- JPS6019484B2 JPS6019484B2 JP50133676A JP13367675A JPS6019484B2 JP S6019484 B2 JPS6019484 B2 JP S6019484B2 JP 50133676 A JP50133676 A JP 50133676A JP 13367675 A JP13367675 A JP 13367675A JP S6019484 B2 JPS6019484 B2 JP S6019484B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- image
- meniscus lens
- surface facing
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/008—Systems specially adapted to form image relays or chained systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/08—Catadioptric systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
本発明は等倍付近の複写に使用するに通したレンズであ
り、特にミラー型レンズに関する。 レンズ系の後部に鏡面を配したミラー型レンズで、像が
レンズの前方に形成される形式のものは複写用のレンズ
として従来から多用されている。そしてこの種のレンズ
としては英国特許９８３３４２号に示されている様な簡
単な構成のものもあるが、複写機等で使用されることの
多いＦナンバー４．５半画角２４０程度の仕様を満たす
広角ミラー型レンズでは第３図に描く様に平面鏡の前に
３群４枚程度のレンズを持つのが普通である。一方、ド
イツ公告特許第１７９７１７４号には正しンズの後方に
マンギン鏡を配設し、この凹面鏡で物体光東に、球面収
差からはフリーな状態で収秋性を与えることが提案され
ている。本発明はしンズ枚数の少ない広角レンズの提供
を目的としており、そのため物体およびその像に対向し
て正しンズ、負しンズそして凹面鏡を順に配置し、広角
型では特に問題となる像面わん曲と非点隔差を良好に補
正するに通した構成を提供するものである。 尚、本発明では、レンズは凹面鏡を含むミラー型レンズ
である為に、物体および像は、レンズに対して同一の側
に存在するものである。 そして像面わん曲および非点隅差の良好な広角型とした
ことで、悪化しやすい高次の球面収差を補正するために
負レンズの素材に、普通の光学ガラスのうちでも屈折率
の高い値のものを使用する。 更に負レンズの屈折率を高くしたことで、ベツツバール
和の悪化を招くから、反射鏡の鏡面を凹面とすることで
べツッバール和を良好にしている。以上の如く、負レン
ズの物体及び像側の面を凸面とし、反射鏡の面を物体及
び像に対して凹面とすることにより、像面持性すなわち
像面わん曲と非点隔差、および球面収差を良好に補正し
たもので、更に正しンズの物体及び像側の面を凸面とし
、かつメニスカス形状として全体の収差補正を良好なも
のとした。 第１図に描いた本発明の一実施例に従って詳説すると、
レンズ系に対して同一の側に存する物体および像に対し
て凸面を向けた正〆ニスカスレンズ、同じく物体および
像に対して凸面を向けた負〆ニスカスレンズ、そして物
体及び像に対して凹面を向けた球面鏡と光軸を一致させ
て順に配設し、全系の合成焦点距離をＦ、前記負〆ニス
カスレンズの第１面の曲率半径をｙ３、前記正〆ニスカ
スレンズのｄ線の屈折率をＮ，また分散をＶ，、前記負
〆ニスカスレンズのｄ線の屈折率をＮ２また分散をＶ２
としたとき、以下の諸式を満足する。 ０．２０斑＜ｙ３＜０．２３班
り、特にミラー型レンズに関する。 レンズ系の後部に鏡面を配したミラー型レンズで、像が
レンズの前方に形成される形式のものは複写用のレンズ
として従来から多用されている。そしてこの種のレンズ
としては英国特許９８３３４２号に示されている様な簡
単な構成のものもあるが、複写機等で使用されることの
多いＦナンバー４．５半画角２４０程度の仕様を満たす
広角ミラー型レンズでは第３図に描く様に平面鏡の前に
３群４枚程度のレンズを持つのが普通である。一方、ド
イツ公告特許第１７９７１７４号には正しンズの後方に
マンギン鏡を配設し、この凹面鏡で物体光東に、球面収
差からはフリーな状態で収秋性を与えることが提案され
ている。本発明はしンズ枚数の少ない広角レンズの提供
を目的としており、そのため物体およびその像に対向し
て正しンズ、負しンズそして凹面鏡を順に配置し、広角
型では特に問題となる像面わん曲と非点隔差を良好に補
正するに通した構成を提供するものである。 尚、本発明では、レンズは凹面鏡を含むミラー型レンズ
である為に、物体および像は、レンズに対して同一の側
に存在するものである。 そして像面わん曲および非点隅差の良好な広角型とした
ことで、悪化しやすい高次の球面収差を補正するために
負レンズの素材に、普通の光学ガラスのうちでも屈折率
の高い値のものを使用する。 更に負レンズの屈折率を高くしたことで、ベツツバール
和の悪化を招くから、反射鏡の鏡面を凹面とすることで
べツッバール和を良好にしている。以上の如く、負レン
ズの物体及び像側の面を凸面とし、反射鏡の面を物体及
び像に対して凹面とすることにより、像面持性すなわち
像面わん曲と非点隔差、および球面収差を良好に補正し
たもので、更に正しンズの物体及び像側の面を凸面とし
、かつメニスカス形状として全体の収差補正を良好なも
のとした。 第１図に描いた本発明の一実施例に従って詳説すると、
レンズ系に対して同一の側に存する物体および像に対し
て凸面を向けた正〆ニスカスレンズ、同じく物体および
像に対して凸面を向けた負〆ニスカスレンズ、そして物
体及び像に対して凹面を向けた球面鏡と光軸を一致させ
て順に配設し、全系の合成焦点距離をＦ、前記負〆ニス
カスレンズの第１面の曲率半径をｙ３、前記正〆ニスカ
スレンズのｄ線の屈折率をＮ，また分散をＶ，、前記負
〆ニスカスレンズのｄ線の屈折率をＮ２また分散をＶ２
としたとき、以下の諸式を満足する。 ０．２０斑＜ｙ３＜０．２３班
【１
｝１．５６＜Ｎ，＜１．６４
‘２｝５５．０＜Ｖ．＜６３．５‘３’１．７５＜
Ｎ２＜１．８５ ■２３．０
＜Ｖ２＜２８．０ 風各条件
について説明すると、条件【１｝は像面わん曲を良好に
保っための条件で、上限を越えると像面のわん曲が大き
くなり、かつまた高次の球面収差が補正困難となる。 一方、下限値を越えた場合に像面持性の点では良いが、
輪帯球面収差が大きくなって補正困難となり、大口径と
することが難しい。条件■および｛４）の上限値は高次
の球面収差に、特にメリジオナルの球面収差を良好にす
る条件から定めたものであり、一方下限値を満たさない
とメリジオナルの象面わん曲が悪化する。 そして条件（３｝および（５｝‘ま色収差を良好に補正
する条件である。 なお、後述する数値例によれば負レンズには重フリント
（ＳＦ）ガラスを使用し、正しンズには重クラウン（Ｓ
Ｋ）ガラスと酸重クラウン（ＰＳＫ）ガラスを使用して
いる。 次に上記条件〔１｝〜｛５〕を満足する実施例として、
ｙｌ〜ｙ５：レンズの曲率半径ｄ，〜Ｌ：レンズ厚およ
びレンズ面間隔 Ｎ，、Ｎ２：レンズのｄ線の屈折率 Ｖ】、Ｖ２：レンズの分散 ただし、Ｆ＝１５４側、Ｆナンバー：４．５、半画角；
２４０とする。 実施例 １ ｙ，＝４０．８５７ｄ，＝１０．３４ ＮＩ＝１．６０
３１１ ＶＩ＝６０．７ｙ２ ＝９２．２７６ら＝２．
５１ ｙ３ ＝３４．９６８も＝５．３１ＮＯ＝１．８０５１
８ＶＤ＝２５．４ｙ４ ＝２５．７７２４＝１５．３３ ｙ５ ＝−４４５３．８ 実施例 ２ ｙ，＝４３．２７６ｄ，＝１０．７８ ＮＩ＝１．６３
８５４ＶＩ＝５５．４ｙ２ ＝９８．１６３も＝２．８
４ ｙ３ ＝３６．７８６ｄ３＝５．３３ Ｎロ＝１．８４
６６６ ＶＯ＝２３．９ｙ４ ＝２７．１１４４＝１５
．１２ ｙ５ ＝−４６６４．６ 実施例 ３ ｙ，＝４０．５８６ｄ，＝１２．４９ ＮＩ＝１．６２
２８ ＶＩ＝５７．０ｙ２ ＝７３．５１８も＝３．０
３ ｙ３ ＝３１．７６８ｄ３＝２．７９ ＮＯ＝１．８４
６６６ ＶＯ＝２３．９ｙ４Ｄ＝２５．６７４４＝１６
．９６ ｙ５ ＝−１９２２．７ 実施例 ４ ｙ，＝４０．０８４ｄ，＝１０．６４ ＮＩ：１．５６
８７３ ＶＩ＝６３．１ｙ２ ＝８９．１０８も＝１．
３４ ｙ３ ＝３４．７９５ｄ３＝５．１６ ＮＤ＝１．７６
１８２ Ｖロ＝２６．６ｙ４ ＝２５．８７５ｑ＝１６
．０５ ｙ５ ＝−２８２２．９ 以上、本発明によれば広角のミラー型レンズに於いて、
画像性能を十分満足しつつレンズの枚数を減少させるこ
とが可能で、且つレンズを複写機中に組込んだ際の取付
け誤差が画像の悪化につながり難い構成である。
｝１．５６＜Ｎ，＜１．６４
‘２｝５５．０＜Ｖ．＜６３．５‘３’１．７５＜
Ｎ２＜１．８５ ■２３．０
＜Ｖ２＜２８．０ 風各条件
について説明すると、条件【１｝は像面わん曲を良好に
保っための条件で、上限を越えると像面のわん曲が大き
くなり、かつまた高次の球面収差が補正困難となる。 一方、下限値を越えた場合に像面持性の点では良いが、
輪帯球面収差が大きくなって補正困難となり、大口径と
することが難しい。条件■および｛４）の上限値は高次
の球面収差に、特にメリジオナルの球面収差を良好にす
る条件から定めたものであり、一方下限値を満たさない
とメリジオナルの象面わん曲が悪化する。 そして条件（３｝および（５｝‘ま色収差を良好に補正
する条件である。 なお、後述する数値例によれば負レンズには重フリント
（ＳＦ）ガラスを使用し、正しンズには重クラウン（Ｓ
Ｋ）ガラスと酸重クラウン（ＰＳＫ）ガラスを使用して
いる。 次に上記条件〔１｝〜｛５〕を満足する実施例として、
ｙｌ〜ｙ５：レンズの曲率半径ｄ，〜Ｌ：レンズ厚およ
びレンズ面間隔 Ｎ，、Ｎ２：レンズのｄ線の屈折率 Ｖ】、Ｖ２：レンズの分散 ただし、Ｆ＝１５４側、Ｆナンバー：４．５、半画角；
２４０とする。 実施例 １ ｙ，＝４０．８５７ｄ，＝１０．３４ ＮＩ＝１．６０
３１１ ＶＩ＝６０．７ｙ２ ＝９２．２７６ら＝２．
５１ ｙ３ ＝３４．９６８も＝５．３１ＮＯ＝１．８０５１
８ＶＤ＝２５．４ｙ４ ＝２５．７７２４＝１５．３３ ｙ５ ＝−４４５３．８ 実施例 ２ ｙ，＝４３．２７６ｄ，＝１０．７８ ＮＩ＝１．６３
８５４ＶＩ＝５５．４ｙ２ ＝９８．１６３も＝２．８
４ ｙ３ ＝３６．７８６ｄ３＝５．３３ Ｎロ＝１．８４
６６６ ＶＯ＝２３．９ｙ４ ＝２７．１１４４＝１５
．１２ ｙ５ ＝−４６６４．６ 実施例 ３ ｙ，＝４０．５８６ｄ，＝１２．４９ ＮＩ＝１．６２
２８ ＶＩ＝５７．０ｙ２ ＝７３．５１８も＝３．０
３ ｙ３ ＝３１．７６８ｄ３＝２．７９ ＮＯ＝１．８４
６６６ ＶＯ＝２３．９ｙ４Ｄ＝２５．６７４４＝１６
．９６ ｙ５ ＝−１９２２．７ 実施例 ４ ｙ，＝４０．０８４ｄ，＝１０．６４ ＮＩ：１．５６
８７３ ＶＩ＝６３．１ｙ２ ＝８９．１０８も＝１．
３４ ｙ３ ＝３４．７９５ｄ３＝５．１６ ＮＤ＝１．７６
１８２ Ｖロ＝２６．６ｙ４ ＝２５．８７５ｑ＝１６
．０５ ｙ５ ＝−２８２２．９ 以上、本発明によれば広角のミラー型レンズに於いて、
画像性能を十分満足しつつレンズの枚数を減少させるこ
とが可能で、且つレンズを複写機中に組込んだ際の取付
け誤差が画像の悪化につながり難い構成である。
第１図は本発明実施例のレンズ断面図。
第２図は実施例１の諸収差（球面収差、像面わん曲）図
。第３図は従来のミラー型レンズの例を示す断面図。図
中で、１は正しンズ、０‘ま負レンズ、ｙ５は鏡面、ｙ
，〜ｙ４ はしンズ面、ｄ，〜ｄ，はしンズ厚もし〈は
しンズ面間隔である。 努！図 努２図 孫ａ図
。第３図は従来のミラー型レンズの例を示す断面図。図
中で、１は正しンズ、０‘ま負レンズ、ｙ５は鏡面、ｙ
，〜ｙ４ はしンズ面、ｄ，〜ｄ，はしンズ厚もし〈は
しンズ面間隔である。 努！図 努２図 孫ａ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 物体及び像がレンズに関して同一の側に存するミラ
ー型レンズであり、物体及び像側から順に、物体及び像
に対して凸面を向けた正メニスカスレンズと、物体及び
像に対して凸面を向けた負メニスカスレンズと、そして
物体及び像に対して凹面を向けた球面鏡とを光軸を一致
させて順に配設し、全系の合成焦点距離をＦ、前記負メ
ニスカスレンズの第１面の曲率半径をγ＿３、前記正メ
ニスカスレンズのｄ線の屈折率をＮ＿１また分散をＶ＿
１、前記負メニスカスレンズのｄ線の屈折率をＮ＿２ま
た分散をＶ＿２とすると、０．２０６Ｆ＜γ＿３＜０．
２３９Ｆ １．５６＜Ｎ＿１＜１．６４ ５５．０＜Ｖ＿１＜６３．５ １．７５＜Ｎ＿２＜１．８５ ２３．０＜Ｖ＿２＜２８．０ を満足することを特徴とする複写用レンズ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50133676A JPS6019484B2 (ja) | 1975-11-07 | 1975-11-07 | 複写用レンズ |
| US05/739,041 US4103990A (en) | 1975-11-07 | 1976-11-05 | Catadioptric wide-angle lens system for reproduction |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50133676A JPS6019484B2 (ja) | 1975-11-07 | 1975-11-07 | 複写用レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5257824A JPS5257824A (en) | 1977-05-12 |
| JPS6019484B2 true JPS6019484B2 (ja) | 1985-05-16 |
Family
ID=15110277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50133676A Expired JPS6019484B2 (ja) | 1975-11-07 | 1975-11-07 | 複写用レンズ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4103990A (ja) |
| JP (1) | JPS6019484B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192081U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-12 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4171871A (en) * | 1977-06-30 | 1979-10-23 | International Business Machines Corporation | Achromatic unit magnification optical system |
| US5072104A (en) * | 1990-06-04 | 1991-12-10 | Litton Systems, Inc. | Achromatic null lens |
| US6157497A (en) * | 1993-06-30 | 2000-12-05 | Nikon Corporation | Exposure apparatus |
| US6459451B2 (en) * | 1996-06-24 | 2002-10-01 | Be Here Corporation | Method and apparatus for a panoramic camera to capture a 360 degree image |
| TW538256B (en) * | 2000-01-14 | 2003-06-21 | Zeiss Stiftung | Microlithographic reduction projection catadioptric objective |
| US20030002043A1 (en) | 2001-04-10 | 2003-01-02 | Kla-Tencor Corporation | Periodic patterns and technique to control misalignment |
| US8208198B2 (en) | 2004-01-14 | 2012-06-26 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Catadioptric projection objective |
| US7466489B2 (en) * | 2003-12-15 | 2008-12-16 | Susanne Beder | Projection objective having a high aperture and a planar end surface |
| JP5102492B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2012-12-19 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 結晶素子を有するマイクロリソグラフィー投影用対物レンズ |
| US7463422B2 (en) * | 2004-01-14 | 2008-12-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Projection exposure apparatus |
| US20080151364A1 (en) * | 2004-01-14 | 2008-06-26 | Carl Zeiss Smt Ag | Catadioptric projection objective |
| CN102207609B (zh) | 2004-01-14 | 2013-03-20 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 反射折射投影物镜 |
| WO2005098504A1 (en) | 2004-04-08 | 2005-10-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Imaging system with mirror group |
| US8107162B2 (en) | 2004-05-17 | 2012-01-31 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Catadioptric projection objective with intermediate images |
| US20080112927A1 (en) * | 2006-10-23 | 2008-05-15 | Genegrafts Ltd. | Cells and methods utilizing same for modifying the electrophysiological function of excitable tissues |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2949820A (en) * | 1956-01-06 | 1960-08-23 | Optische Ind De Oude Delft Nv | Optical systems |
| US3119892A (en) * | 1960-07-01 | 1964-01-28 | Farrand Optical Co Inc | Catadioptric system |
| GB1443271A (en) * | 1974-01-02 | 1976-07-21 | Rank Organisation Ltd | Reflex lens systems |
-
1975
- 1975-11-07 JP JP50133676A patent/JPS6019484B2/ja not_active Expired
-
1976
- 1976-11-05 US US05/739,041 patent/US4103990A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63192081U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4103990A (en) | 1978-08-01 |
| JPS5257824A (en) | 1977-05-12 |
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