TWI307336B - Dielectric ceramic composition and electronic device - Google Patents

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TWI307336B
TWI307336B TW094128753A TW94128753A TWI307336B TW I307336 B TWI307336 B TW I307336B TW 094128753 A TW094128753 A TW 094128753A TW 94128753 A TW94128753 A TW 94128753A TW I307336 B TWI307336 B TW I307336B
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Ito Kazushige
Sato Akira
Murase Taku
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Tdk Corp
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Description

1307330 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種具有耐還隸的介電體陶竟組成 物’特別是關於一種使用彳電體陶竟組成物的積層陶竟電 容等之電子元件。 【先前技術】 作為電子元件之積層陶瓷電容除了相對誘電率高、絕 緣電阻IR的壽命長、DC偏壓特性好(相對誘電率經過時間變 化少)之外,更要求溫度特性良好。特別是根據用途在嚴格 的條件下,電容的溫度特性被要求必須平均。近年來汽 車的引擎空間内搭載的引擎電子控制單元(ECU)、曲軸角2 感測器、防鎖死煞車系統(Antilock Braking System,ABf) 模組等各種電子裝置使用積層陶瓷電容。由於此種電子裝 置係用來安定引擎控制、驅動控制以及煞車控制,因此須 要求電路的溫度安定性。 此種電子裝置所使用的環境是假設在寒冷的冬季下降 至-20 C程度以下,且引擎啟動後,夏季上升到13(rc程度 以上的溫度。最近的電子裝置與其控制對象機器傾向於削 減拴起銅線線束,而電子裝置係設置於車外,因此對於電 子裝置的環境變得更為嚴格。然而,此種電子裝置所使用 的電容在廣泛溫度範圍的溫度特性必須平坦。具體而言, 電容溫度特性不僅僅需滿足ElA規格的X7R特性(-55〜125 C、△ C/C=± 15%以内),更需滿足eia規格的X8R特性 2030-7363-PF;Chiumeow 6 130733(5 (-55〜150°C、△ C/C = ±15%以内)之介電體陶瓷組成物為必要 的。 _ 滿足X8R特性的介電體陶瓷組成物有幾個提案。 專利文獻1(特開平1 0-25157號公報)、專利文獻2(特開 平9-40465號公報)中,提出為了使BaTi〇3作為主要成分的 ' 介電體陶瓷組成物能滿足X8R特性,藉由把BaTi〇3中的“置 換為Bi、Pb等,使居禮溫度朝向高溫側偏移。再者,藉由 選擇BaTi〇3+CaZr〇3+ZnO+Nb2〇5的組成,使其能滿足x8R特性 春(專利文獻3(特開平4-295048號公報)、專利文獻4(特開平 4-292458號公報)、專利文獻5(特開平4-292459號公報)、 專利文獻6 (特開平5-1 0931 9號公報)、專利文獻7(特開平 6-243721 號公報))。 然而’此種任一組成系列中’容易蒸發飛散的pb、Bi、 Zn之使用會使空氣中等的氧化性氣壓的燒成提前。因此, 電容的内部電極無法使用較便宜的Ni等的基本金屬,而有 φ 必須使用Pd、Au、Ag等的較貴的金屬之問題。 相對於此’為了達到高相對誘電率、滿足X8R特性、在 還原性大氣中的燒成之目的,本申請人已提出了以下所揭 不的介電體陶瓷組成物(專利文獻8(特開2〇〇〇_154〇57號公 報))°如專利文獻8記載的介電體陶瓷組成物包含:以 • BaTl〇3作為主成分;從Mg〇、CaO、Ba〇、SrO與Cr2〇3所選擇 的至少一者作為第一副成分;以(Ba,Ca)xSi〇2+〆但是, x-0. 8〜1· 2)作為第二副成分;從v2〇5、肘〇〇3與仰3所選擇的 至少一者作為第三副成分;以及含有R1的氧化物(R1為從 2030-7363-PF;Chiumeow 7 1307336 暴 sc Er、Tm、Yb與Lu選擇的至少一者)作為第四副成分其 甲相對於上述主成分莫耳的各副成分的比率為:第一副 成分.0.卜3莫耳,第二副成分:2,莫耳,第三副成分: .5莫耳,第四副成分:〇5~7莫耳(第四副成分的莫 耳數為R1單獨的比率)。 再者申4人已經提出以下所揭示的介電體陶瓷組成 物(專利文獻9(特開2〇〇1-1 92264號公報))。此專利文獻9 :記載的介電體陶:光組成物至少包括:含有欽酸鎖的主成 刀’從MgO、CaO、BaO、SrO與Cr2〇3所選擇的至少一者作為 成刀,3有以氧化矽為主成分的第二副成分丨從 純、_魏所選擇的至少一者作為第三副成分;含有 R1的氧化物(R1為從Sc、Er、Tm、Yb與Lu選擇的至少一者) 的第四Μ成刀’以及含有^心⑴或^谢加2的第五副成分, ,中相對於上述主成分1〇〇莫耳的各副成分的比率為:第一 田!成刀.0.卜3莫耳’第二副成分:2]〇莫耳,第三副成分: 0.5莫耳,第四副成分:〇.5〜7莫耳(第四副成分的莫 耳數為R1單獨的比率),以及第五副成分:Q<第五副成分< 5莫耳。 在上述申請人之任一申請中,相對於主成分⑽莫耳的 Mg〇等的第一副成分的比率都是〇」莫耳以上。 再者申明人已經提出以下所揭示的介電體陶竟組成 物(專利文獻m特開2GG2_255639號公報))。此專利文獻1〇 戶^記載的介電體陶£組成物至少包括:含有鈦酸鋇的主成 分;含有AE的氧化物(AE係從Mg、Ca、以與訐所選擇的至少 2030-7363-PF;Chiumeow 8 1307330 一者)的第一副成分;以及含有R的氧化物(R為從γ、h、心 以及Er選擇的至少一者)的第二副成分;其中相對於上述主 成分100莫耳的各副成分的比率為:第一副成分:〇莫耳〈 第一副成分<0」莫耳,第二副成分:】莫耳〈第二副成分^ 莫耳。 再者,更提出一種沒有將鈦酸鋇作為主成分,而是鈦 酸鈣鋇作為主成分,相對誘電率高,滿足X8r特性,可2還 原性大氣中的燒成的介電體陶瓷組成物(專利文獻丨丨(特開 平1 1 -302072號公報)。 ’汗 因此,根據上述專利文獻8〜丨丨的任一件,可確實使介 電率增高、滿足X8R特性、且可在還原性大氣中燒成。然而”, 從室溫到高溫的IR溫度相關性變差, I 口口而έ的實際使用 變得困難。 【發明内容】 本發明之目的在於提供—種除 裡降Γ可維持相對誘電率 向、絕緣電阻壽命、使電容溫度特 。 又特丨生滿足ΕΙΑ規格的X8R特 性(-55〜15(TC,△ C/C在±15%以内)、可在 1在還原性大氣中燒 成,更可改善IR溫度相關性的# t J 冤體陶瓷組成物。再者, 本發明藉由使用此種介電體陶瓷 J旯,、且成物可實現小型化、大 容量化,特別是提供一種薄声、 電容等的電子元件。 他的對應的積層陶究 為了達成上述目的,根據本發明的第—形態,提供一 種介電體陶瓷組成物,包括: 〃 2030-7363-PF;Chiumeow 9 1307330
Me(M4Sr、Mg以及Ba的至少—者為稀土類 元素)、Τι、Mg以及Μη的各元素;且更包含: A (Α係6配位時的有敎雛早主 兩政離子+徑在〇. 065〜0· 085nm的範 園之陽離子元素群中選擇的至少—者)之元素。 根據本發明,提供-種介電體陶兗組成物,包括: 主成刀包含,具有以組成式{(Me丨-xCaOOh . (Zri_yTiy)〇2所表示,表示此組成式中的元素名的記號Me係 Sr Mg以及Ba的至少一者’表示此組成式中的組成莫耳比 gySl.OO的關係之介電體氧化物; 含有R氧化物(R為稀土類元素)的第一副成分; 含有Mg氧化物的第二副成分;以及 含有Μη氧化物的第三副成分; 相對於主成分100莫耳的各副成分比率係: 第一副成分:0.1〜6莫耳(換算成只氧化物的值); 第二副成分·· 0.卜5莫耳(換算成心氧化物的值); 第三副成分:〜2.5莫耳(換算成Μη氧化物的值),· 其_ ’更包括:Α氧化物(Α#6配位時的有效離子半徑 在〇.〇65{G85nm6M⑽之陽離子元素群令選擇的至少一 者)作為第四副成分。 較佳地,相對於主成分100莫耳的第四副成分的比率為 〇~3.5莫耳(然而,除了〇與35莫耳之外。換算成域化物的 值)。 較佳地,上述A係從仏以心士的陽離子元素群中 2030-7363-PF;chiumeow 10 1307336 選擇出至少一者。 較佳地,上述R係;^ v r , ^ 素群中選擇出至少_者。 b、Dy、H。、Er與Yb的元 較佳地’更包括¥氧化物 成分的含有量相對於… 術,上述第五副 ;成刀100莫耳為0.0卜0.1莫耳。 較佳地,更包括以s丨 第丄S|丨&八 作為主成分的燒結助劑來作為 乐八田成分,上述第丄S f ; 1n 八田丨成刀的3有量相對於主成分100 昊耳為1〜10莫耳。 構成關於本發明的介電體陶瓷組成物的介電體粒子 h氧化物)最好是控制在平均結晶粒徑Um以下。此平 =結晶粒徑可藉由例如:軟線法(⑶⑻來計算出。在控制 :電體粒子的平均結晶粒徑時,冑由控制當恨燒介電體陶 竞組成物所含有的主成分原料時所添加的副成分原料的種 類與添加量、煆燒條件’進而可達成控制平均結晶粒徑。 、關於本發明的電子元件為具有介電體層的電子元件, 並不特別限定,例如:具有介電體層與内部電極層共同交 互堆積的電容元件本體的積層陶瓷電容元件❶本發明中, 上述介電體層係構成在上述任一的介電體陶瓷組成物。内 部電極層所含有的導電材而言,並不特別限定,如:Ni或 Ni合金。 再者,本說明書所記載的離子半徑係基於 「 R.D.Shannon, Acte Crystallogr., A32, 751(1976)」 的值。 2030-7363-PF;Chiumeow 11 1307336 [發明效果] ' 纟發明之目的不會影響溫度特性(X8R特性),係關於可 ,改善1R溫度相關性的特定元素群進行研究結果,6配位時的 有效離子半經在_ β _ - 隹疋範圍之陽離子元素群為有效的,基於 此知識而完成本發明。 IR μ度相關性係絕緣電阻IR對於溫度變化等是否 變動之辨別的指標。此IR溫度相關性係可藉由計算出既定 _溫度(例如:150。〇的以相對於基準溫度(例如:室溫25。〇 的變化部分(變化率)來評估。複數溫度間的ir變化率較小 的1R溫度相關性可判斷為良好,而IR變化率越大的則可判 斷為不好。例如:靜電電容的溫度特性即使紅Eu規格的 X8R,在X8R的溫度範圍内(特別是從室溫到高溫)職溫度 相關性惡劣,使得產品的實際使用變得困難。 本發明係以室溫(25t )與高溫部(15(rc )作為複數的 /置度之例子,分別的溫度下的絕緣電阻為iRu、ι^5。,計算 • 出由以下公式(1)所代表的「IR有效位數差」的大小來評估 IR溫度相關性是好是壞。 l〇g(IRl5〇/IR25)…公式(1) 於本發明,相對於相對誘電率高、可滿足X8R特性的介 電質組成,添加特定的元素群構成的第四副成分。藉此, 本發明之介電體陶瓷組成物不僅滿足X8R特性,且從室溫 (25 C )到高溫部(i5〇°c )的IR溫度相關性小。具體而言,上 述公式(1)所表示的「IR有效位數差」可為_3. 〇〇以上(最好 是-2. 00以上)。 2030-7363-PF;Chiumeow 12 1307330 本發明之介電體陶瓷組成物為了相對誘電率高、電容 溫度特性滿足EIA規定的X8R特性,使用本發明的介電體陶 竞組成物之陶竟電容等的電子元件即使在如汽車的引擎的 高溫下曝曬的環境下亦可適當地使用。 再者,本發明之介電體陶瓷組成物由 飛散且便宜的Pb、Bi、Zn等元素,因此, 中燒結。 於沒有包含蒸發 可在還原態大氣
換言之,藉由本發明,提供一種可維持相對誘電率高 絕緣電阻壽命、使電容溫度特性滿規格的x8r特性 可在還原性大氣中燒成 陶瓷組成物。 更可改善IR溫度相關性的介電體
_ 凡 '吼w初的闹瓷電容等的電3 元件製造時,内部電極而言, 便用Nl與Νι合金等的基4 金屬,使電子元件實現低成本化。 M ^ 冉者在還原性大氣4 燒成;丨電體陶瓷組成物,所取得的 _ 士— 仔的電子疋件滿足X8R特性 直〜電壓所施加的電容引擎特性 良好(-電谷的經過時間變 化小),絕緣電阻的惡化變小,且信賴性更好。 換言之’具有本發明的 電體層之積層陶瓷電容等的 的嚴苛環境下所使用的各種 可使得適用的機器信賴性向 ^電體陶瓷組成物所構成的介 電子元件在如汽車的電子裝置 機器内可有安定的動作’因此 上提升。 藉由上述 體層的薄層化 之效果。 本發明的介電質 有抑制高溫領域 組成可期待即使隨著介電 的溫度變化率的惡化方式 2030-7363-PF;Chiumeow 1307336 士入再者,關於本發明之介電體陶瓷組成物,絕緣電阻的 2命增長,且DC偏壓特性(介電率的直流電壓施加相關性) /、TC偏壓特性(直流電壓施加時的電容溫度特性)安定。特 別是添加第四副成分可認定T C偏壓特性有顯著的提升。 A又再者,關於本發明之介電體陶瓷組成物,不含有Pb、 Βι等的有害物質,4吏用後的廢棄、處理等對於環境的不良 影響較小。 因此,使用本發明之介電體陶瓷組成物,提供優良特 積層陶瓷電容等的電子元件變得容易。再者,若使用 本發明之介電體陶瓷組成物,即使介電體層薄層化,可滿 足X8R的特性,且有防止絕緣電阻的壽命減低的效果。因 此積層陶瓷電容等的電子元件中,可實現小型且大容量 化,特別是可使其容易對應地薄層小型化。因此,高集積 電路的安裝變得更為容易。 驾知的介電體陶瓷組成物中,隨著約一層的介電體層 的薄層化,特別是高溫侧的電容溫度特性傾向於惡化。換 η之,两溫側的電容溫度變化率曲線傾向於朝向順時針方 向。相對於此’於本發明,使高溫側的電容溫度變化率曲 線可朝向逆時針方向。如果應用此現象於滿足X7r特性的電 子兀件,可實現約一層的介電體層比先前技術更薄層化。 本發明的電子元件,具體而言,可由積層陶瓷電容、 壓電裝置、晶片電感、片變阻器、晶片電熱調節器、晶 片電阻益、其他表面黏著(SMD)晶片型電子元件為 特別限定。 + 2030-7363-pF;chiumeow ι. I3〇733t6 為了讓本發明之上述和其它目的、特徵、和優點能更 明顯易懂,下文特舉—較佳實施例,並配合所附圖示,作 詳細說明如下。 【實施方式】 本發明之實施例中,電子元件係如第1圖所示的積層 陶瓷電容為例,以說明其構造及製造方法。 積層陶瓷電容 •如第1圖所示’作為關於本發明之一實施例的電子元件 的積層陶瓷電容1,包括由介電體層2與内部電極層3交互堆 積而構成的電容元件本體1〇β此電容元件本體1〇的兩端部 形成交互配置在元件本體1〇内部的内部電極層3以及個別 導通的-對外部電極4。内部電極層3之各端面係以交互露 出相對於元件本體10的二端部表面而堆積。一對的外部電 極4形成在元件本體10的二端部,且連接於交互配置的内部 鲁電極層3之露出端面,進而構成電容電路。 並沒有特別限定電容元件本體1〇的外型與尺寸,可根 據用途適當地設定。通常外型為大約長方體形狀,尺寸通 t-r^^(0.4~5.6mffl)x^(〇.2.5.〇mffl)x^(〇.2.L9ram) 〇 介電體層 介電體層2係含有本發明的介電體陶瓷組成物。 本發明之介電體陶瓷組成物包含:以及 Ba的至少-者)、Ca、R(R為稀土類元素)、Ti、Mg以及I 的各元素;且更包含:A(A係6配位時的有效離子半徑在 2030-7363-PF;Chiumeow 130733(5 〇-〇M~〇.085nm的範圍之陽離子元素群中選擇的至少一者) 、 之元素。 . 具體而言如以下所述。 • 關於本發明的-實施形態之介電體陶兗組成物,包括: 、 具有以組成式KMei-xCa〇〇K. (Zn_yTiy)〇2所表示之介 電體氧化物之主成分; 至少有: φ 含有第一副成分的R氧化物(R為稀土類元素); 含有Mg氧化物的第二副成分; 含有Μη氧化物的第三副成分;以及 含有Α的氧化物(Α係6配位時的有效離子半徑在 0.065〜U85nm的範圍之陽離子元素群中選擇 二 的第四副成分; 此時’氧氣⑻量可從上述化學計量組成偏離一些。
於上述公式中,X為〇<xg〇15, ηιη 最好疋0.02SxS φ 〇·ι〇»χ係表示記號Me(_、Sr'Mg以及Ba的至 中农好疋Ba)的原子數,x,換t之,茲 、 ,,..、13 % 由改變記號 Ca/Me 比例,可使其結晶的相轉移點任意 〜旧艰移。因此,可咅 地控制電容溫度係數以及相對誘電率。 心 於上述公式中,y為〇蕊 ^ UU,最好是^ • 0·80。y係表示記號η的原子數,然而,與Ti〇 \ 藉由置換成較難還原的訏⑴會傾向 、2目較之下, 尺嘴加耐還为& 而,於本發明,zr與Ti的比率為任音 ,、性。然 中一者。 j僅有含有其 2030-7363-PF;Chiumeow 1307336 於上述公式中,m為0. 995 S 1. 020、最好是1_ 〇〇〇 1. 006。藉由使111在〇. 995以上,對於還原大氣下的燒 成,可防止半導體化的產生。藉由使111在1.()20以下,即使 燒成溫度不高,仍可取得密緻的燒結體。 再者,上述組成式{(MeixCax)〇}m. (ZriyTiy)〇2所示的 "電體氧化物中’幾乎所有場合,Na2〇、κ2〇等的鹼性金屬 氧化物含有不純物。此種鹼性金屬氧化物的含有量確認會 大大影響介電體陶瓷組成物的電子特性。換言之,鹼性金 鲁屬氧化物在〇· 03重量%以下,最好是控制在〇. 02重量%以 下’可取得可靠性高的介電體陶瓷組成物。 第四副成分不大會影響電容溫度特性,具有改善丨尺溫 度相關性的效果。於本發明中,對於滿足X8R特性的介電體 組成,使其含有以特定的元素群所構成的第四副成分係特 徵點。 上述第四副成分的陽離子元素群可包含、 • Ge(0.067rm)、Al(〇.〇675nm)、Cu(〇 〇68nm)、Fe(〇 〇69nm) '
Ni(0. OTOnn,)^ Au(0. OTlnm) ^ As(0. 072nm) ^ Cr(0. 0755nm) ^ Ga(0. 076nm)、At(0. 076nm)、〇s(〇. 〇77nm)、Nb(〇· 〇78nm)、
Ta(0. 0 78nm)、Co (0.079 nm)、Rh(0.〇80nm)、Ir(0.082nm)、 Ru(0· 082nm)、Sn(0. 〇83nm),然而不包含 ρ(〇 〇52nm)、 • K(0. 152nm)。再者,括弧内的數字表示6配位時的有效離子 半徑,以下相同。 上述陽離子元素之中’6配位時的有效離子半徑最好是 使用0. 067-0· 076nm的範圍。最好的元素群包含j、Ge、M、 2030-7363-PF;Chiumeow 17 130733(5
Cu 、 Fe 、 Νι 、 Au 、 As 、 Cr 、 Λ r n 、At ,更好是包含A1、Cr、 a、Ge的陽離子元素群中 a 、擇出至少一者來使用,再更好 疋至/使用A1。兩種以j_从4 A , , Γ 、,”且s使用時,特別好的組合為
Al+Cr 、 Al+Ga 、 Al+Ge 。 本發明不限定第四副成分 取刀的含有置,即使含有少量, 仍有效果,然而,相對於 .^ 、述主成分100莫耳,以A氧化物 ·54耳(但疋0與3.5莫耳除外),更好是 〇 3莫耳(但是〇除外),再更杯c 更好疋0. 5〜2莫耳,特別好是1〜1. 5 冥耳。第四副成分的含有詈 虿里右太),IR溫度相關性改善效 ’得不足。另-方面,若含有量過多的話,電容溫度特 傾向於惡化。特別是當添加超過1莫耳的第四副成分,可 確認TC偏壓特性可顯著的提升。 第四副成分的上述比率不是單獨A的莫耳比例,而是A 氧化物的莫耳比例。換言之,以第四副成分而言,使用A1 :氧化物時’第四副成分的比率為1莫耳時,Ai的比率則不 疋1莫耳,而是Ah〇3的比率為丨莫耳的意思。 尸再者’第四副《分而t,當使用兩種以上的複數的元 素(氧化物)時,合計含有量相對於上述主成分100莫耳最好 係上述範圍。換言之’第四副成分中的各氧化物的構成比 率可為任意的。 相對於主成分的BaTi03之上述各副成分的比率,相對 於BaTiOdOO莫耳為:第一副成分·· 〇16莫耳(以R氧化物 來換算的值),·第二副成分:〇.卜5莫耳(以Mg氧化物來換算 的值),第三副成分·· 0.U.5莫耳(以仙氧化物來換算的 2030-7363-PF;chiumeow 18 1307336 值)。最好是,第一副成分·‘ 〇·3〜5 5 0.5-351旦,筮__r , x 弟一副成分: 莫耳帛二田,J成分:〇.3〜1.5莫耳。 再者,第一副成分的上述比率 耳tf-初 《 疋K早獨的氧化物 耳比例,而是R氧化物的莫耳比率。換 ㈣莫 、刀言,使用Yb的氧化物的場合時,第—副田 為1莫耳時,Yb的比率 田刀的比率 莫耳。 …1莫耳,而是代表Yb2〇3的比率是】 於本說明書,構成主成分與 , ± ^ J取刀的各虱化物係以化 。置、、且成來表不’然而,各氧化 ^ -4- # έθ . ,, ^ 07虱化狀態亦可從化 /、、、,成偏離。注意,各副成分的上述比率 副成分的氧化物所含有的金屬 ” 組成的氧化物而求得。屬里來換异成為上述化學計量 =其含有上述第…三副成分,可同時維持高介電 理由如以下所述。 -術的最佳含有量與 =成分⑽化物)顯示有使居禮溫度偏移 ::;電谷溫度特性平垣化之效果。若第-副成分的含有 的活,此種效果會變得不足,電容溫度特性會變差。 另-方面,若含有量過多時’燒結性會傾向於惡化。第一 t成分之中’特性改善效果較高’且便宜,因此第-副成 W斤含有的氧化物的上"最好是從Y、Gd、Tb、Dy、H〇、 ΕΓ_的元素群選擇至少—者,更好是從[Dy與Η。的元素 群選擇至少一者。 第二副成分(Mg氧化物)顯示有使電容溫度特性平坦化 2030-7363-PF;Chiumeow 19 * 130733.6 之效果。若第二副成分的含有量太少的話,電容溫度變化 率會變大。另一方面,若含有量太多,燒結性會惡化。 第三副成分(Μη氧化物)顯示有促進燒結的效果、提高 IR效果以及錢壽命向上提升的效果。若第二副成分的: 有量太少的話,此種效果無法十足地發揮。另—方面,若 含有量太多,電容溫度特性會有壞影響。 於本發明的介電體陶瓷組成物中,以第五副成分而 言,最好是含有V氧化物,其相對於主成分1〇〇莫耳為 〇· 〇卜〇· 1莫耳的範圍。此第五副成分(ν氧化物)顯示有使居 禮溫度以上的電容溫度特性平坦化以及使IR壽命向上提升 之效果。若第五副成分的含有量太少,此種效果會變得不 足。另一方面,若含有量太多,IR會明顯減低。再者,含 在第五副成分的V氧化物的一部份亦可置換為Nb、h等的五 ,兀素的氧化物以及Cr、M0、w的六族元素的氧化物。在此 场合,在第五副成分鐘的各氧化物的構《比率為任意的。 於本發明的介電體陶瓷組成物中,以第六副成分而 言,最好是含有WSl〇2為主成分的燒結助劑,其相對於主 成刀100莫耳為卜10莫耳的範圍。此第六副成分(以S他為 主成刀)主要作為燒結助劑的作用,然而,其具有改善當薄 :化時的初期絕緣電阻的不良率的效果。#第六副成分的 3有里太少,電容溫度特性會變差,再者^(絕緣電阻)會 減低另一方面,當含有量太多,…壽命會變得不足,且 會產生介電率的急速減低。 車乂佳地,第六副成分以Si〇2為主成分,包含從MO(然 2030-7363-PF;Chiume〇w 130733,6 而,Μ係從Ba、Ca、Sr與Mg所選擇的至少一者的元素)、LhO 與B2〇3選擇的至少一者。 更好是’上述第六副成分由(Ba, Ca)xsi〇2+x(然而, x = 0. 7~1_ 2)所表示。第六副成分的更好形態之複合氧化物 的[(Ba,Ca)xSi〇2 + x]由於融點低,相對於主成分,反應性 良好。第六副成分的更好形態之(Ba,Ca)zSi〇2 + z之z最好是 0. 7~1· 2,更好是0_ 8〜1. 1。若z太小,亦即以〇2太多的話, 與主成分反應,而使得介電體特性惡化。另一方面,若z 太大’融點會變南,使其燒結性惡化,因此較為不好。再 者’ Ba與Ca的比率為任意的,只要含有其中一者即可。 本發明的介電體陶瓷組成物的居禮溫度(從強介電體 到一般介電體的互相轉移溫度)可藉由選擇其組成來變 更。然而,為了滿足X8R特性,最好是i 2 〇它以上,更好是 1 2 3 C以上。再者,居禮溫度可藉由DSC (微差掃描熱量測量) 等來測量。 本發明的介電體陶瓷組成物所構成的介電體層2的厚 度而言,一層大約通常是4〇从m以下,特別是3〇# m以下。 厚度的下限通常為0.5/zm。本發明的介電體陶瓷組成物可 有效改善此種具有薄層化的介電體層2的積層陶瓷電 電容溫度特性。再者,介電體層的積層數量通常為2〜3〇〇 左右。 介電體層2係由顆粒(介電體粒子)與晶界相所構成。 於本實施形態中,介電體層2的顆粒的平均粒子徑(平 均結晶粒徑)是l//m以下,最好是〇.8#m以下,更好是 2 030 —7 363-ΡΕ\·α^:Ιι:Γηθ〇νν 21 1307336 最好是0.1//m以上’更好是〇_ 以上使 微細化。介電體層越薄日寺,電容溫度特性會 結晶粒徑越小會傾向於惡化,^,藉由使 細化’ IR壽命會變長,且直流電場下的電容 變少’由此點可看*,平均結晶粒徑最好是 〇 常係由構成介電體材料或内部電極材料的材 分別添加的材質的氧化物、以及工程中混入 的乳化物來作為成分,且通常以玻璃或玻璃 使用本發明的介電體組成物的介電體陶究組成物的積 層陶瓷電容係在80。。以上,特別是125〜15〇。。的環境下被使 用作為機器用電子Μ為適當的。接著,在此種溫度範圍, 電容的溫度特性滿足ΕΙΑ規格的R特性,更滿足X8R的特性。
〇. 7 # m以下; 平均結晶粒徑 惡化,且平均 平均粒子徑微 經過時間變化 如上述一樣小 晶界相通 質的氧化物、 不純物的材質 質所構成。 再者,可同時滿足EIAJ規格的B特性[在_25~85。〇的電容變 化率±10%以内(基準溫度2〇t )]、EIA規格的X7R特性 (-55〜+ 125°c,△ C = ±15%以内)。 並且,例如:室溫(25。〇與高溫部(150。〇的分別的溫 度下的絕緣電阻為IR25、IRl5。時,可由以下公式⑴所代表 的IR有效位數差」為-3. 00以上,最好是_2. 〇〇以上,更 好是-1.85以上。換言之,IR溫度相關性是小的。 l〇g(IRl5〇/IR25),..公式(1) 積層陶瓷電容在介電體層通常為0· 02V/ // m以上,特別 疋〇.2V//im以上’更為〇.5V//zm以上,一般為5V/"m以下 2030-7363-PF;Chiumeow 22 130733.6 的父〜電%,與此重疊,亦 苁了加上5V/#ra以下的直流電場, 即使加上此種電場,雷交 蛋谷的 >现度特性係穩定的。 内部電極體 本發明不特別限定内部電極體3含有 介電體層2的構成材料畀垃a … 成材料好是具有耐還原性且可使用比較
便宜的基礎金屬。以道带U 斗『入 導電材料而言’最好是基礎金屬的Ni 或Νι合金。以Ni合今而+ I, =’最好是由Mn、Cr、Co與A1中選 擇出的一種以上的元音盥M 、 〜、1的曰金。合金中的Ni含有量最 好是9 5 %以上。 再者⑴或心合金中,p等的各種微量成分最好包含 重量%程度以下。 曰内部電極層的厚度根據用途適#地決定即可,通常最 好是0. 5-5# m,特別是〇. 5_2_ 爪。 外部電極 本發明不特別限定含有外部電極4的導電材料,然而, 本實施形態可使用便宜的Ni、Cu與其合金。 外部電極4的厚度可根據用途等適當地決定,狹而,通 常最好是10-50#m。 ~ 積層陶瓷電容的製造方法 使用本發明的介電體陶曼組成物的積層陶究電容,與 習知的積層陶竟電容的相同’藉由使用衆料的一般印刷法 與片狀方式來製作綠晶片’在燒結之後,藉由印刷或轉寫 外部電極且燒結來製造。以下具體說明製造方法。 首先,準備含有介電體層用的«、内部f極層用的 2030-7363-PF;Chiumeow 1307336 漿料、外部電極層用的漿料分別來製造。 當製造介電體層用的漿料時,首先準備包含的介電體 陶瓷組成物原料(介電體原料)。在介電體原料中,根據上 述本發明的介電體陶竟組成物的組成,使用構成主成分的 原料與構成第一〜五副成分的原料。 構成主成分的原料而言,係可使用Sr、Ba、Mg、以、 Τι Zr的氧化物及/或藉由燒成的氧化物的化合物的單一氧 化物或複合氧化物。本實施形態中’舉例係使用如、ca、 T1的氧化物及/或藉由燒成的氧化物的化合物來作為初始 原料。 構成第-副成分的原料而言’係可使用請氧化物(狄 而,R係稀土類元素)。本實施形態中,R係從Y、Gd、Tb、 Dy、Ho、Er與Yb的元素群中選擇出至少一者為例。 構成第二副成分的原料而言,係可使用Mg氧化物及/
或藉由燒成的Mg氧化物而成為的化合物的單一氧化物或複 合氧化物。 構成第三副成分的原料而言,係可使用Μη氧化物及/ 或藉由燒成的Μη氧化物而成為的化合物的單一氧化物或複 合氧化物。 構成第四副成分的原料而言,係可使用Α的氧化物(
而’A係從6配位時的有效離子半徑在GUI⑽的範I 之1¾離子元素群中撰辉:μ 選擇的至少-者)及/或藉由燒成的A」 化物而成為的化合物的單— 7早虱化物或複合氧化物。於本ή 施形態中’可使用Α從Α1 ' 〇 r r &曰
Lr、Ga、Ge的陽離子元素群中至 2030-7363-pp;Chiumeow 24 -130733,6 " 擇出至少一者。 構成第五副成分的海姓i-i. —r >*. m . J原枓而3 ’係可使用V氧化物及/或 藉由燒成的V氧化物而成兔沾人 „„ . 取马的化合物的早一氧化物或複合 氧化物。 構成第六副成分的原料而言,其至少包含Si〇2,並且 根據必要可使用έ有M〇(然而,μ係從Ba、ca、sr與Mg所選 擇的至少—者的元素)、Li2〇與Mh選擇的至少—者的化合 物。 再者藉由燒結由氧化物而成的化合物,例如:碳酸 鹽草g夂鹽、石肖酸鹽、氯氧化物、有機金屬化合物等。當 氧化物與藉由燒結而成的化合物可合併使用。介電體 原料中的各化合物的含有量可由燒結後的上述介電體陶瓷 組成物的組成所決定。此種原料粉末通常可使用平均粒徑 為 0·05~~5//πι。 本實施形態,不特別限定介電體原料的製造方法,主 • 成分在鍛燒之前,含有各副成分的至少一者(例如:第一副 成分原料),在鍛燒之後,藉由混合剩下的副成分,而取得 電體陶瓷組成物原料(提前添加)。具體而言,例如,上 述Ba、Ca、Ti的氧化物及/或藉由燒成的氧化物的化合物來 作為初始原料與第一副成分原料(R的氧化物)混合後,鍛燒 之後,混合第二〜六副成分而取得介電體陶瓷組成物原料 (一部分提前添加)。再者,鍛燒之前,主成分中不放入副 成分’在製造主成分之後,藉由與剩餘的各副成分混合, 進而取得介電體陶瓷組成物原料(後添加)。 25 2〇30-7363-PF;Chi umeow •1307336 於本實施形態中’藉由上述—部分提前添加來製造介 電體陶瓷組成物原料的場合 , 為例。使用藉此-部分提前添 加來取得的介電體陶兗組成物原料,構成最後所得到的介 電體陶吏組成物之介電體粒子的平均結晶粒徑可微細 1 // m以下。 具體而言,首先,以一定旦 ^T.n r , 疋里伤1來混合BaCO” caC()3 ,、1 2以上’主成分原料的初始原料),藉由使 準備鍛燒前的原料。 雜後 接下來’將所準備的鍛燒前粉 几引柘體進仃鍛燒。鍛燒的條 :不特別限定,然而,最好依接下來所示的條件來執行。 升溫速度最好是50〜40(rc/小時,更好是1〇〇侧。c/ 保持溫度最好在1〇〇〇〜14〇〇。 4UUC ,皿度保持時間最好是〇.5〜6 /、寺,更好是1〜3小時。處理氣壓在 氣壓之任一都可以。 纟:孔中、氮乳中與還原 接下來,鍛燒的锻燒劑粉末藉由氧仙捲等來粗質粉 Λ 1將第二副成分(例如MgC(h)、第三副成八
MnC〇3)、第四副成分(例如 =列如 3;第五田彳成分(例如v2〇5) ……分(例如(B一)Sl〇3)以一定量份量添 J並且必要的話,添加其他副成分原料,最後組成。立 混合粉末根據必要藉由球磨等混合,藉由乾澡而取 件"電體陶瓷組成物原料(粉末)。 =料化之前的狀態’介電體陶究組成物粉末的粒徑 通吊平均粒握係0. 1〜3# m。 接下來,使介電體陶-亮組成物原料塗料化,調整介電 2030-7363-PF;Chiulne〇w 26 130,733,6 體層用衆料。介雷辦思 i體層用漿料可為介電體陶瓷組成物原料 與有機染色劑混合之有⑽的塗料,亦可為水系塗料。 有機木色劑係溶解黏結劑於有機溶劑中的物品。本發 明不特別限定用於有機染色劑的黏結劑,可由乙基纖維 素、聚乙稀縮丁齡玺& 寺的一般各種黏結劑來適當地選擇。再 者,亦不特別限定# ^ i 使用的有機溶劑,根據印刷法與片狀法 等的利用方法,可由香油腦、丁基二甘醇、丙嗣與甲苯等 的各種有機溶劑來適當地選擇。 曰以水系塗料作為介電體層用漿料的場合時,使水溶 I·生黏“]與分散劑等溶解於水中的水系染色劑最好 體原料混合。並;牲/ 电 ’ 1丨限疋用於水系染色劑的水溶性黏結 劑’可使用例如聚r、膝 味 婦知、纖維素以及水溶性丙烯酸樹脂 辱。 導電層㈣料係藉由各種介電性金屬與合金等的 =1=後上述導電材所變成的各種氧化物、有機 隻屬/昆β物、樹脂酿_ U 酸1專與上述有機染色劑混合調製而成。 外部電極用Μ 製。 7枓可由上述内部電極用漿料同樣方式調 量,==限=!_的有機染色劑的含有 溶_。侧量%即:=,黏結劑最好是卜5重量%, 有從各種分散 再者,各麵根據必要最好含 加物。物含…刮、介電體、絕緣體等所選擇的添 、.心3有置最好是10重量%以下。 使用印刷法時,將介電體層用t料以及内部電極㈣ 2〇3〇-7363-PF;chiunle〇w 27 130733.6 漿料積層印刷在PET等的基板上 基板剝離而成為綠晶片。 刀斷成一疋形狀後,從 再者,當使用片狀法時走 綠帶,在此上面印刷内”極層二電體層用漿料來形成 曰, 内#電極層用衆料後,堆積而做成綠 曰曰户i 0 在燒結之前’在綠晶片上實施取出黏結理 黏結劑處理可根據内部電極用漿料t 出 適當地決定。當使用作為導、 斗的種類來 金屬時,取…t,1與Nl合金等的基本 1〇~ 5ρ Λ劑大氣中的氧氣分壓最好是 ,, 右氧綱未達到上述範圍的話,取出黏- 劑效果會減低。又,若氣裔八 出黏、、、〇 電極層會傾向於氧化。 円# 再者除了上述以外的取出斑έ士·*· 最好…nnvw 出黏結劑的條件,升溫速度 子疋5~300 C/小時,更好是1〇〜1〇〇t/小時 好在180〜40(TC,更好是2〇〇〜35(rc。、、田^寺,瓜度取 〇.5〜24小時,更好是2〜2〇小時 ^ =持時間最好是 咖产^ 丁乃外燒結氣壓最好县a 二氧中或還原氣壓。在還原氣壓中的大氣氣體最好是= 例如加濕的N2與I的混合氣體。 疋使用 綠晶片燒結時的氣壓最好是根據内部電 導電材料的種類來適當地決定 :4中的 旧合金的基本金料,燒結氣壓中:二電材料的旧與 心❿。若氧氣錢未相m最好是 <〜上迷乾圍的話, 電極層的導電材料異常燒結,進而造成中途中斷。:p 乳氣分壓超過上述範圍的話,内部電極層會傾“氧化^ 2030-7363-PF;Chiumeow 28 * 130733.6 再者’燒結時的保持溫度最好是110()〜14Q(rc,最好是
i2〇〇〜138〇t,更好是iMkueirc。當保持溫度未滿足I 述範圍,且稠密度變得不足。若超過上述範圍,内部電極 層的導電材料異常燒結而造成中斷、内部電極層構成材料 的擴散而導致電溶溫度特性惡化’且容易產生介電體陶竟 組合物的還原。 又取野是50〜500 1: 除了此燒結條件之外 時,更好是2 0 0 ~ 3 0 0 C /小時。溫度保持時間最好是〇 5〜8 小時,更好是1〜3小時。冷卻速度最好是5〇〜5〇(Γ(:/小時, 更好是200〜30(TC/小時。另外’燒結氣壓最好是在還原氣 壓。還原氣體最好是使用加濕的^與L的混合氣體。;; 在還原氣體中燒成之後,在電容元件本體施行退火。 根據本實施例,退火之目的係再次氧化介電體層,且藉此 可顯著地增長IR壽命,提升可靠性。 曰 退火大氣中的氧氣分壓是〇. 1Pa以上,更好母 〇广職。氧氣分壓若未滿上述範圍的話,介電體層的: 乳化困難,若超過上述範圍的話,内部電極層傾向於氧化。 退火時的保持溫度(退火溫度)是11〇〇。 ° 7又丄丄υυ u以下,特別喿 子是50(TC〜llOOt。保持溫度若未滿上述 ^ 靶Ν 介電體層 的軋化變得不足,因此IR減低,而IR壽命容易變短。另— 方面,保持溫度超過上述範圍的話,内部電極 ji^t /35» 1匕而 電谷減低,内部電級層與介電體層本體產 久應,電交 ’皿又特性惡化,IR減低,進而容易造成IR壽命的減短 者,退火是僅由升溫過程以及降溫過程的構成 再 1勺。換言 2030-7363-PF;Chiumeow 29 130.733,6 之,溫度保持時間亦 温度的意思。 ‘、、、、在此場合,保持溫度為最高 上述以外的退火條件 ,、四 小時,更好是2〜1〇小時。、/,溫度保持時間最好是0〜20 更好是1〇〇〜3〇(rC/小時。冷部速度最好是50〜5〇『c/小時, 是使用例如:加濕的N2氣:者’ *火氣壓的大氣氣壓最好 上述取出黏著劑處理、燒結 濕器等來使1氣體與混合氣;;、、/夺’可使用例如潤 好是5〜75t。 人、'、在此場合,水溫最 執行。"、燒結與退火可連續執行或分別 沒有A卻睹二合時,在取出黏著劑處理之後,在 ?變氣壓,持續直到升溫至燒成時的保持溫度 1仃燒結。接下來冷卻’最好是達到退火的保持溫度時, 變更氣壓來執杆i艮+。s + 仃以火另—方面,單獨執行時,當燒成時, 直到取出黏著劑處理時的保持溫度,在&氣體或加濕的& 氣體下升溫之後’變更氣壓,且最好持續升溫。當冷卻直 1在退火時的保持溫度,最好是在N2氣體或加濕的n 2氣體下 吏更且繼續冷卻。再者,退火時,在N 2氣體氣壓下升溫直 到保持溫度之後,可改變氣壓,亦可退火的全部過程在加 濕的N2氣體氣壓下。 如上所述而取得的電容元件本體,例如:藉由滾筒磨 光、噴砂等來實施端面研磨,且印刷外部電極用漿料或轉 寫在其上燒結而形成外部電極4。外部電極用漿料的燒結條 件最好是,舉例而言,加濕的N2與Hz的混合氣體中’ 600~800 2030-7363-PF;Chiumeow 130.733,6 ^1°分鐘〜1小時内。接下來,在必要時,於外部電極4 表面上藉由電鍍等來形成覆蓋層。 藉此製造的本發明的積層陶-亮電容係藉由谭接等來組 裝於印刷基板上、可使用於各種電子機器等。 以上說明本發明之實施形態,然而,本發明並不限定 、'此種實施形態’在不脫離本發明的要旨之範圍内,可由 各種形態來實施。 舉例而§,於上述實施形態,關於 而言’以積層陶究電容為例,然而,本發明不 品為積層陶究電容,只要是具有由上述組成的介電體陶竟 組成物所構成的介電體層之任何產品即可。 實施例 接下來,提供使本發明之實施形態更具體化之實施 例,以更詳細說明本發明。然而,本發明不限定於此 施例。 實施例1 本實施例,如以下所示的順序來製作積層陶究 試樣。 各漿料的調製 首先,準備平均粒徑〇 · 1〜1 # m的用以製 、 衣k主成分原料 的初始原料(BaC〇3、CaC〇3、Ti 〇2)以及第一〜_ι_ -丨丄、 /、副成分原料。 於本實施例,MgO與MnO的原料係使用碳酸_ ( 鹰·、弟一副成分:
MgC〇3、第三副成分:MnC〇3)’其他原料係使用氧化物(第一 副成分:Y2〇3、Dy2〇3或H〇2〇3 ;第四副成分: .2〇3 ;第五副 2030-7363-PF;Chiumeow 31 1307356 成刀 乂2〇5 ’ 第六副成分.(Ba〇. eCa。. 4)Si 〇3 . 來記載))。再者,第五副成分的(BaQ.6Ca„.4)Si〇3係藉由球磨 法於16小時内濕式混合BaC〇3、CaC〇3與Si〇2,使其乾燥後, .在11 5 〇 C空氣中燒成,最後,藉由球磨法於1 〇 〇小時内濕式 粉碎來製造而成。 μ 另外,製造主成分原料用的初始原料與第一副成分原 料(Y2〇3、Dy2〇3或Η〇2〇3)燒成後的組成如表i〜3的試樣所示之 配合比例來秤量且混合,且藉由乾燥後,準備好鍛燒前的 攀 粉體。 接下來,將此鍛燒前的粉體進行鍛燒。鍛燒條件如以 下所述。升溫速度·· 20(TC/小時,保持溫度:12〇〇t,溫 度保持時間:2小時,大氣壓:空氣中。 接下來,藉由鍛燒而取得的材料以氧化鋁捲來粉碎 後,進而取得锻燒劑粉末。此锻燒劑粉末的驗性金屬氧化 物(不純物)的含有量為〇. 〇1〇重量%。 • 接下來,對於鍛燒劑粉末來添加:相對於此鍛燒劑粉 末中的主成分100莫耳、如表卜3所示的量Mg㈣第二副成 分原料)、隱(第三副成分原料)、Μ(第四副成分)、 • V2〇5(第五副成分)以及BCG(第六副成分)以一定量份量添 加藉由球磨等濕式混合! 6小時後,藉由乾燥而取得介電 •體H組成物原料(粉末,亦可稱為介電體原料)。 ,接下來,取仔之介電體陶瓷組成物原料:i 00重量部比 率、丙晞酸樹脂:4.8重量比率、醋酸乙醋:1〇〇重量比率、 礦物油( — μ1咖⑴重量比率、丙酮:4重量比率 2030-7363-PF;Chiumeow 1307336 泥漿化,進而取得介電體層用漿料。 肉來合平均粒徑〇_卜0.8# m的Ni粒子: 機染色劑(將8重量比率的乙基纖維素溶解 —乙二醇丁基謎而成的):4〇重量比率以及 .1 0重量比率’使其泥漿化’進而取得内 藉由此合平均粒徑〇. 5 // ra的Cu粒子:1 〇〇重量比率、有
機染色劑(將8重量比率的乙基纖維素樹脂溶解於92重量比 率的一乙—醇丁基鍵而成的):35重量比率以及二乙二醇丁 基醚.7重$比率,使其泥漿化,進而取得外部電極用漿 綠晶片的製造
以球磨法混合, 藉由三個衰 100重量比率、有· 於92重量比率的 一乙二醇丁基_ 部電極用漿料。 接下來,使用上述介電體層用漿料在PET薄膜上形成厚 度4. 5“的綠帶,印刷内部電極用漿料在綠帶上後,將綠 帶從PET薄膜分離。接下來,堆積此種綠帶以及保護用綠帶 (不用印刷内部電極用漿料的部分)、壓製而取得綠晶片。 具有内部電極的片狀的積層數量係4層。 接下來,切斷綠晶 理、燒結以及退火,進 片成一定大小,執行取出黏著劑處 而取得積層陶瓷燒結體。 取出黏者劑條件處理係在升溫速度:15t/小時,保 咖·度’ 2 8 0 °C ’溫度保持日洋門.8丨卩主 .’、 保持時間.8小時,以及空氣氣壓的 件下執行。 燒結係在升溫速度:2GG口小時,保持溫度:ι.ΐ32〇 持時間:2小時,冷卻速度:議。c /小時,加濕的祕 的混曰氣體(氧氣分壓:1〇-9pa)的條件下執行。 2030-7363-PF;Chiumeow ί3〇.73316 退火條件係在保持溫度·· _t,溫度保持時間:旳、 、’ ^部速度:300t /小時,以及加濕的仏氣體(氧氣分l 條件下執行。再者,燒結與退火時的㈣氣體的 濕係使用以水溫35t的潤濕器。 接下來,積層陶甍燒、结體的端面以喷砂來研磨後,將 外部電極用裝料韓驾& . ' ”、、 知面上,在加濕的Ν2+Η2的混合氣體 〜在800 C 1〇分鐘之間燒成,而形成外部電極,進而取 得如第1圖所示的積層陶瓷電容的試樣。 以此方式所取得的各電容試樣的尺寸為 ^2隨1.6瞻〇.6_,被内部電極層所挾持的介電體層的數 量為4,其厚度為3· 5"m,且内部電極層的厚度為u… 對於所取得的電容試樣來評㈣溫度相關性(有效位 數差)、電容溫度特性(TC)以及Tc偏壓。結果如表卜3所示。 IR溫度相關性係測量所取得的試樣在! 5 G的絕緣電 阻以及所取得的試樣在25t的絕緣電阻iR25,由以下公 式(1)所表示的有效位數差來計算評估。評估基準在_3 〇〇 以上為良好。 l〇g(IRi5〇/IR25)…公式(!) 再者在測量各溫度的絕緣電阻時,冑用溫度可變^ κ 測定器,以測量電壓7.0V/"m以及電壓施加時間6〇s來測
電容溫度特性(TC)對於所取得的試樣,在—55。〇〜+ 15〇 C的/皿度範圍内測量靜電電容。靜電電容的測量係使用數 位LCR計量器(YHP製4274A),在周波數““,輸入信號位準 2030_7363-PF;Chiumeow 34 130.73¾ 1 Vrms的條件下來測詈。3 接下來,在此種溫度範圍内的最差 電容溫度特性的15 n V M_ c的度環境下’計算其靜電電容的變 化率(△ C/C,單位A ^ 。 為/〇 ’調查是否滿足X8R特性(-55〜+ 150 C ’ △C/C^ilS% 以内 lojjtvy· π )右滿足的部分為◎,不滿足的部分 為X。 TC偏壓係以數位LCR計量器(YHp製“以“在“心、 1 ν r m S、7. ο ν /㈣的偏壓電壓(直流電壓)且使其從_ 5 5。〇到 鲁1 50 C 度變化來测量所取得的試樣。從肌的偏壓電壓沒 有知加中的測定值的靜電電容的變化率來計算評估。再 者’使用LCR計量器來測量靜電電容,係在周波數ikHz、輸 入信號位準IVnns的條件下來測量。評估基準係在.以上 為良好。 再者,對於所取得的電容試樣一併評估介電率(e )、 )1電損失(tan (5 )、直流電場下的JR壽命、直流絕緣破壞強 度、DC偏壓特性與構成介電體層的介電體粒子的平均結晶 粒徑。 介電率ε係對於電容試樣在基準溫度25χ:、藉由數位 LCR計量器(YHP製4274A)在周波數UHz、輸入信號位準(測 量電壓)1. OVois的條件下所測量的靜電容量來計算取得介 電率ε (無單位)。其結果係任一試樣在丨〇〇〇以上的話則是 取得良好的結果。 介電損失(tan 6)係對於電容的試樣在基準溫度25 °C、藉由數位LCR計量器(YHP製4274A)在周波數UHz、輸入 k號位準(測量電壓)〗.〇 Vrffls的條件下來測量。其結果係任 2030-7363-ρρ;chiumeow 35 130.73^6 —試樣在l〇%以下的話則是取得良好的結果。 直流電場下的IR壽命係對於電容的試樣在200 t:、 • 1 ov/ # m的電場下執行加速試驗,計算直到絕緣電阻變成 .1Μ Ω以下的時間為壽命時間。其結果係任一試樣在1 〇小時 以上的話則是取得良好的結果。 直流絕緣破壞強度係對於電容的試樣以1 0 0 V / s e c的速 度來施加直流電壓’測量當檢查有l〇〇mA的漏電流時的電壓 _ (直流破壞電壓VB、單位為V/ " m),進而計算其平均值。其 結果係任一試樣在i oov/ # m以上的話則是取得良好的結 果。 DC偏壓特性係對於電容的試樣在一定溫度(25t )測量 在各試樣上漸漸給予直流電壓時的靜電電容的變化(△ C/C),依繪製的結果,確認在任一試樣即使給予高壓電壓 仍报難減少靜電電容,且具有穩定的DC偏壓特性。 構成介電體層的介電體粒子的平均結晶粒徑係由軟線 • 法(C〇rd)所計算出。軟線法(cor'd)係對於試樣從SEM照片來 算出介電體粒子的平均結晶粒徑的方法。於本實施例,介 電體粒子的形狀係以描述性而言,由球來假設粒徑而計 算。具體而言’首先’使用顯示出介電體粒子的微細構造 之SEM照片,在此SEM照片上引出任一直線,求得與此線的 T接的介電體粒子之間存在的粒界交錯的點(交點)的數 量。其次,從求得的交點數量來計算出每單位長的粒界的 交點的數量PL。接下來,使用求得的_,來算出軟線(㈣) 長度L3。軟線(cord)長度L3係由1/pL來求得。接下來,藉 2030-7363-PF;Chiumeow 36 • I3Q7336 由取知·的L3的值乘以1 5,gpTq ] ς . 平鉍曰 · PL3xl.5,來鼻出介電體粒子的 :、’Ό曰曰粒徑。再者,使用的SEM照片的視野為23 μ m 〇 ^ m每—個1式樣約使用5〜6張照片,算ώ分別的粒徑’ 將此等的平均值作為平均結晶粒徑。其結果,# —試樣在 # m以下則疋取得良好的結果。 表1
匕率 | |tc偏壓 | — 暫赴毕_跑15。。。羊獄特性(?) IR溫度相關性 η ~^Λ_ 2 3 0.01 Χδ" ◎ ◎ -51.2 ~3.48 -49.0 4 -10. -2.99 ◎ -47.2 5 1.5 11. -12. -2. 94 ◎ ◎ -46.8 -43.6 2.5 13. ◎ -40.5 -2. 70 '^ΓδΓ 8 9** 3^5 -13· -14. -15.4 -— ^ I -16. 1 ^•的巧樣表示本發明的比較例。 」^示的試樣表示本發明的參考例 」而’主成分:(BaoCa—uMTiOs ◎ ◎ -37.7 -37.4 -35.1 -33.5 -2.41 -2.38 -2.31 -2.19 -2.15
第一副成分 第二副成分 第三副成分 弟四副成分 第五副成分 第六副成分 Y2〇3=2mol MgC〇3=l. 2mol MnC〇3=〇. 5mol AI2O3 V2〇5=0. 05mol (Ba〇.6Ca〇.4)Si〇3=3. Omol · ^Dd0.6Ld〇.4;51U3=d. (Jmol 上述添加量係相對於任何主成分1 OOmol的添加量 表2 試樣 號碼 1 1 Φ j四副成分 添加量(莫耳) 靜電電容的溫度變化率 (%)+150°C X8R特性 TC偏壓 (%) IR溫度相關性 II术 0 -10.5 ◎ -50.5 -3. 58 12 1 〇 0.01 -10.1 ◎ -47.8 -2· 99 1〇 Γ~~~ 0. 5 1 -11.5 ◎ -46.7 -2.98 14 1 -12.7 ◎ -45.2 -2.75 2030-7363-PF;Chiumeow 37 I3Q7336
20林 --- γϊ一'—-_J___~丄6. 8 「紗」才:示 J標示的試樣表示本發明的參 主成分的組成、第二、三、ί例 •V — 'ί ^ \,,卞'® 主成分的組成、第 六副成分的組成以及其添加量與表1 第一副成分:Dy2〇3=2inol 第四副成分:Al2〇3
副成分的組成以及其添加量與名 —.1 4 -Ιβ γ ρ " 1 __[ ‘ !✓·, 主成分的組成、第二 弟一副成分:H〇2〇3=2mol 第四副成分:AI2O3 」標示的試樣表示本發明的比較例。 **」標示的試樣表示本發明的參考例。 然而’主成分的組成、第二、三、五、六 相同 如表1〜3所示,藉由添加少量的第四副成分,可看見u 有效位數差改善的效果(IR有效位數差在—3. 〇〇以上)。特別 是,第四副成分的含有量相對於主成分1〇〇莫耳係〇. 5莫耳 以上,因此IR的有效位數差可在—2. 〇〇以上 藉由在3莫耳 2030-7363-PF;Chiumeow 38 以下,因此可確認可適當的滿足X8R特性β 實施例2 第四副成分原料的種類與含有量,除了使其如表4~7 變化之外,其餘與實施例1相同來製造積層陶瓷電容的試
樣,同樣給予評估。 表4 -第四副成分 靜電電容的溫度變化率 (%)+150°C X8R特性 TC偏壓 (°/〇) IR溫度相關性 添加量(莫耳) 0 - 9.1 ~ ◎ -50. 9 -3.48 0.01 ◎ -49.0 -2.99 0. 5 -9.8 ◎ -48.2 -2. 97 1 -10.4 ~ ◎ -47.1 -2.78 1. 5 -11.^7 ◎ -44.0 -2. 54 2 -12.5 ◎ -41.5 -2.45 2. 5 -13.1 ^38.1 -2. 45 —Λ—— -14.2 ◎ -37. 8 -2. 37 3. 5 ~ΖΪ5Γ2~ X -35.6 -2 27 -L 4 標示的Μ檨类f ~16. 4 Τ 太私 ΒΒ ΛΑ lL λ士 Avi X -34.1 -2.25 主成分的組成、第一〜 第四副成分:Cn〇3 五 副成分的組成以及其添加量與表J 32
U
IT ---— 37 -—. 38 然而 相同 ^5 試樣 號碼 ηΪΕ 互1ΐ 45If ~48~ [49**" 第四副成分 0 0.01 0.5 1. 2.5 3. _(%)+150〇C ~9. 5 -9.9 -10.8 3ZZ ~13. 5 3HZ ~^1579 色化率 X8R特性 TC偏壓 (%) IR溫度相關性 ◎ -50.5 -3.48 ◎ -48· 9 -2.99 ◎ -48. 1 -2. 98 ◎ -47.3 -2. 75 ◎ -44.1 -2.51 ◎ -41.8 -2.41 ◎ -38.4 -2.40 ◎ -38· 1 -2.31 X -36.4 -2.23 — 2030-7363-pF;chiume〇w 39 a^7336 _ -34.9 -2.23 ----1__-16. 9 丨料丨抻-、吼双不不赞啊的比較例。 ------ 然而,試樣表示本發明的參考例。 相同。軏的組成、第一三、五、六副成分的組成以及其添加 第四副成分:Ge2〇2 量與表1
n气示本發明的比較例 X8R特性 TC偏壓 (%) IR溫度相關性 -50. 5 ~~Γ48~~ © -49· 1 -2. 99 ◎ -47.9 -2798~ ◎ -47.1 -2. 75 —
.暴的溫度 (%)+150°C γ-~-ί___-1ί. 1 「」4示示的S式樣表示本發明的比較例。 **」標示的試樣表示本發明的來考例 =4成分的組成、第―三、五、六副成分的組成以及其添加量與幻 第四副成分:Ga2〇3
如表4〜6所不,第四副成分原料即使變化為Cr2〇3、
Ge2〇 表7 ------ 2、Ga2〇3,可 確認與實施例1的A1 As得到相同的效果。 試樣 號碼 第四副成分 靜電電容的溫度變化率 (%)+150°C ------- Al2〇3 Cn〇3 X8R特性 TC偏壓 IR溫度相關十生 添加量 ^ Λ (莫耳) ⑻ 0 0 -9.1 ◎ -50.5 -3748~ 一 62」 1 _ — 0. 25 -12.3 ◎ -46.9 -2769~~ HI 1 0· 5 Γ -12.9 ◎ -42.0 -2· 51 Γ 1 0. 75 ΙΤΪ1 ◎ -41.3 -2.32 1 1 -13.4 ◎ -40.9 ~2, 26 _-ί— 1· 5 -14.0 ◎ -38.3 -~2Λ^~ yz 1 2 ~14. 6 ◎ -37.8 -2. 09 2〇3〇- 7363_PF;Chiumeow 40 I3Q7336 68絲 69氺木 3 X -33.9 X _33, 6 -1.89 " -1.80 丁 1%, / J 口 J 平乂 1 夕lj ς ‘」標示的試樣表示本發明的參考 而,主成分的組成、第---λΧλ_Χ.-,, v ,, ,, 相同。 步—五、六副成分的組成以及其添加量與表】 第四副成分:Al2〇3+Cr2〇3 、如表7所示,即使第四副成分變成Al2〇3 + Cr2_複合型 式可確δ忍與單獨添加A (2〇3得到相同的效果。 比較例1 第四副成分原料的種類與其添加量,除了使其如表8 良化之外,其餘與實施例丨相同來製造積層陶瓷電容的試 樣,同樣給予評估。 表8 _第四副成分 試樣 號碼 71氺 72* 73* 丨K2〇 承加量(莫耳) 0.5 1.5
(%)+150°C ~13, ~14. 6 -17.9 -13.8φίΞΙΓΙΠ Ιΐ5^~ 」標示的試樣表示本發明的比較例 鍊而,士 〇·、八,丄^ X8R特性 TC偏壓 (%) ◎ _52.1 ◎ -55. 5 X -57.2 ◎ -53. 3 X -56.1 IR溫度相關性 =。’主成分的組成、第—〜三、五、六副成分的組成以及其添加量與表^ 第四副成分:朽〇5或](2〇 如表8表示,6配位時的有效離子半徑在適合範圍以外 的陽離子元素變為p(〇〇52nm)、K(〇l52⑽)的場合時,即 使含有量在適當範圍内,可確認無法取得第四副成分添加 的效果。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 2〇30-7363-PF;Chiumeow 41 l3〇7336 限疋本發明,任何孰習此馆姑葙^ J热s此項技藝者,在不脫離本發 珅和範圍内’仍可作些發月之精 增pq上^ 尺動與濶飾’因此本發明夕乂 屢耗圍當視後附之申請專 贫月之保 ㈣所界定者為準。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明沾 面圖。 、1施例的積層陶瓷電容之截 【主要元件符號說明】 2〜介電體層; 4〜外部電極; 1〜積層陶瓷電容; 3〜内部電極層; 10〜電容元件本體。 2030-7363-PF;Chiumeow 42

Claims (1)

13〇7碰: 28753號申請專利範圍修正本 13〇7碰: 28753號申請專利範圍修正本
十、申請專利範圍: 1. 一種介電體陶瓷組成物,包括:
例的記號ID、X與y分別為〇. 995 “各丨.〇2〇、 0<xS 0. 15、 S y S 1 · 0 0的關係之介電體氧化物; 含有R氧化物(R為稀土類元素)的第一副成分,· 含有Mg氧化物的第二副成分;以及 含有Μη氧化物的第三副成分; 相對於主成分1 〇〇莫耳的各副成分比率係: 第一副成分:0.1〜6莫耳(換算成1?氧化物的值); 第二副成分:0. 1〜5莫耳(換算成Mg氧化物的值); 第三副成分:0.1〜2.5莫耳(換算成Μη氧化物的值); 其中,更包括:Α氧化物(Α係6配位時的有效離子半徑 在0.065〜0.08 5nm的範圍之陽離子元素群中選擇的至少— 者)作為第四副成分。 2.如申請專利範圍第〗項所述之介電體陶瓷組成物,其 中’相對於主成分1〇〇莫耳的第四副成分的比率為〇〜3 &莫 耳(然而’除了 0與3. 5莫耳之外,換算成A氧化物的值)。 3 ·如申請專利範圍第1或2項所述之介電體陶兗組成 物,其中,上述A係從Al、Cr、Ga、Ge的陽離子元素群中選 擇出至少一者。 ' 4.如申請專利範圍第1或2項所述之介電體陶究 '纟且成 2 030-73 63-PFl;Chiutne〇w 43 1307336 八中,上述R係從Υ、Gd、Tb、Dy、Ho、Er與Yb的元素 群中選擇出至少—者。 5. 如申請專利範圍第1或2項所述之介電體陶瓷組成 .物更包括V氧化物作為第五副成分,上述第五副成分的含 .有量相對於主成分1〇〇莫耳為〇.〇ι~〇.ι莫耳。 6. 如申請專利範圍第丨或2項所述之介電體陶瓷組成 更^括以Si〇2作為主成分的燒結助劑來作為第六副成 ►分,上述第六副成分的含有量相對於主成分100莫耳為卜10 莫耳。 7·如申請專利範圍第U 2項所述之介電體陶竟组成 物,更包括具有_以下的平均結晶粒徑之介電體粒子。 8_ 一種積層陶竟電容,其係具有由介電體陶究組成物 所構成的介電體層與内部電極層交互積層的電容元件本體 的積層陶瓷電容,其特徵在於上述介 Λ ^ ^ 1電體陶瓷組成物係如 申請專利範圍第1或2項所述之介電體喻戈λ L
屯瑕陶瓷組成物所構成。 9.如申請專利範圍第8項所述之籍 <積層陶瓷電容,豆中, 上述内部電極層係由Ni或Ni合金作為 ’王·成分。 2030-7363-PF1;Chiumeow 44
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