RU2344575C2 - Карбидокремниевые нагревательные элементы - Google Patents

Карбидокремниевые нагревательные элементы Download PDF

Info

Publication number
RU2344575C2
RU2344575C2 RU2006104702/09A RU2006104702A RU2344575C2 RU 2344575 C2 RU2344575 C2 RU 2344575C2 RU 2006104702/09 A RU2006104702/09 A RU 2006104702/09A RU 2006104702 A RU2006104702 A RU 2006104702A RU 2344575 C2 RU2344575 C2 RU 2344575C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
heating element
strip
furnace heating
element according
silicon carbide
Prior art date
Application number
RU2006104702/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006104702A (ru
Inventor
Джон Джордж БИТСАН (GB)
Джон Джордж БИТСАН
Original Assignee
Кэнтэл Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Кэнтэл Лимитед filed Critical Кэнтэл Лимитед
Publication of RU2006104702A publication Critical patent/RU2006104702A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2344575C2 publication Critical patent/RU2344575C2/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • H05B3/54Heating elements having the shape of rods or tubes flexible
    • H05B3/56Heating cables
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/10Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
    • H05B3/12Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
    • H05B3/14Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
    • H05B3/148Silicon, e.g. silicon carbide, magnesium silicide, heating transistors or diodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • H05B3/54Heating elements having the shape of rods or tubes flexible
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • H05B3/54Heating elements having the shape of rods or tubes flexible
    • H05B3/56Heating cables
    • H05B3/565Heating cables flat cables
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/40Heating elements having the shape of rods or tubes
    • H05B3/54Heating elements having the shape of rods or tubes flexible
    • H05B3/58Heating hoses; Heating collars
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62Heating elements specially adapted for furnaces
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/64Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49082Resistor making

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

Экструдированный карбидокремниевый печной нагревательный элемент в форме полосы, в котором полоса имеет отношение размеров в поперечном сечении больше, чем 3:1, т.е. имеющий более высокую площадь поверхности излучения по отношению к показателю объема, что повышает мощность нагревателя при использовании меньшей массы карбида кремния. 2 н. и 19. з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

Карбидокремниевые нагревательные элементы обычно изготавливают в виде сплошных стержней или цилиндрических трубок, обычно диаметром от 3 до 110 мм в диаметре. Также возможны другие поперечные сечения, например квадратные или прямоугольные трубки, но это не общепринято.
Элементы с трубчатым поперечным сечением являются более экономически выгодными в производстве, при этом используется меньше карбида кремния, чем для сплошных элементов, и большая часть карбидокремниевых элементов, используемых в промышленных печах, имеет трубчатую конструкцию.
Карбидокремниевые печные нагревательные элементы необходимо отличать от электрических воспламенителей, которые предназначены для производства теплоты с быстрым ее увеличением и спадом с тем, чтобы воспламенять горючий материал. Чтобы обеспечивать такое быстрое нагревание и охлаждение, воспламенители должны быть небольшими. От печных нагревательных элементов требуется, чтобы они обеспечивали электрический нагрев при повышенных температурах в течение продолжительных периодов времени (например, несколько лет при температуре). Поэтому критерии конструирования для печных нагревательных элементов и электрических воспламенителей являются совершенно различными.
Энерговооруженность любых излучающих нагревательных элементов является функцией площади поверхности излучения, и производительность любого элемента определенного типа обычно выражается в ваттах на квадратный сантиметр его поверхности излучения.
В случае трубчатых карбидокремниевых элементов только площадь наружной поверхности рассматривается как полезная поверхность излучения, поскольку нет радиационной теплопередачи от внутренних поверхностей трубки в окружающую среду.
Карбид кремния является относительно дорогим керамическим материалом, особенно таких сортов, которые используются при изготовлении высокотемпературных электрических нагревательных элементов, поэтому использование меньшего количества материала обеспечивает значительный экономический эффект.
Было установлено, что при повышении отношения полезной поверхности излучения к площади поперечного сечения нагревательных элементов дополнительная мощность может быть получена от элемента с аналогичной площадью поперечного сечения по сравнению с известным трубчатым или сплошным элементом или в качестве альтернативы такая же мощность от меньшего и более легкого элемента при использовании меньшей массы карбида кремния.
Согласно настоящему изобретению предложен карбидокремниевый печной нагревательный элемент в форме полосы.
Предпочтительно, чтобы нагревательные элементы были неполыми.
Предпочтительно, чтобы нагревательные элементы имели отношение размеров в поперечном сечении больше чем 3:1, более предпочтительно больше чем 5:1, наиболее предпочтительно больше чем 10:1.
Под отношением размеров понимается отношение ширины полосы к толщине.
Дополнительные признаки изобретения будут понятными из нижеследующего иллюстративного описания со ссылкой на чертежи, на которых:
фиг. 1 - сечение известного трубчатого нагревательного элемента;
фиг. 2 - вид трубчатого элемента, развернутого для образования элемента в форме полосы согласно настоящему изобретению;
фиг. 3 - вид U-образного состоящего из трех частей нагревательного элемента согласно настоящему изобретению;
фиг. 4 - вид U-образного состоящего из одной части нагревательного элемента согласно настоящему изобретению;
фиг. 5 - вид синусоидального нагревательного элемента согласно настоящему изобретению; и
фиг. 6 - сечение криволинейного элемента в форме полосы согласно настоящему изобретению.
На фиг. 1 известный трубчатый нагревательный элемент 1 имеет диаметр D и толщину W стенки. Площадь поверхности, которая может излучать, определяется периметром πD элемента. Площадь поперечного сечения материала трубки приближается к πDW.
На фиг. 2 трубка показана развернутой с образованием полосы 2 длиной πD и толщиной W. При этом площадь поперечного сечения материала трубки приближается к πDW, но площадь поверхности, которая может излучать, задается периметром 2π(D+W) элемента. В развернутой трубке эффективно удваивается поверхность излучения, тогда как площадь поперечного сечения материала остается неизменной.
В дополнение к этому общая площадь трубки 1 равна πD2/4, тогда как площадь полосы 2 равна πDW. Поэтому отношение площадей полосы и трубки равно 4W/D. В случае трубки диаметром 40 мм и со стенкой толщиной 5 мм это дает в результате отношение общих площадей полосы и трубки, составляющее 0,5. Благодаря уменьшению общей площади элемента можно выполнить меньшее отверстие в стенке печи.
Этот нагревательный элемент может быть плоским, но в случае многих применений нагревательный элемент может быть изогнут один или несколько раз, особенно вне плоскости полосы, для приспособления к установке в оборудование различных типов, но главным образом в электропечи сопротивления косвенного нагрева.
На фиг. 3 и 4 показана одна возможная форма (U) для нагревательного элемента. На фиг. 3 нагревательный элемент выполнен из 3-х секций и содержит простую U-образную полосу 3, обеспечивающую горячую зону высокого электрического удельного сопротивления, присоединенную к «холодным концам» 4, 5 с низким электрическим сопротивлением обычного вида, при этом электрическое удельное сопротивление холодного конца более низкое, чем электрическое удельное сопротивление нагревательной секции, и/или имеет большую площадь поперечного сечения. Выводные концы 6, 7 служат для электрического соединения с источником питания.
На фиг. 4 показан цельный нагревательный элемент, содержащий простую U-образную полосу, имеющую U-образную основную часть 8, определяющую горячую зону высокого электрического удельного сопротивления, и стержни, определяющие холодные концы 9, 10 с низким электрическим сопротивлением и выводные концы 11, 12. Модификация карбида кремния для образования таким способом областей различного электрического удельного сопротивления является известной технологией.
Возможны другие формы выполнения элемента, когда одна или несколько нагревательных секций могут быть образованы с более чем одним изогнутым участком для согласования с формой оборудования, в которую элемент (элементы) должен (должны) устанавливаться, и/или для обеспечения удобного соединения с однофазным или 3-фазным источником электропитания. Например, можно без труда изготовить W-образный элемент. В случае 3-фазного нагревательного элемента три полосы могут быть соединены для образования звезды или другой конфигурации.
На фиг. 5 в основном U-образный элемент 13 содержит прямолинейный стержень 14 и синусоидальный стержень 15, обеспечивающие большую поверхность излучения на длину элемента, чем это может быть выполнено посредством элемента с двумя прямолинейными стержнями.
На фиг. 6 полоса 16 является криволинейной на по меньшей мере части ее длины, а не плоской с тем, чтобы обеспечивать дополнительную жесткость по ее длине. В тех случаях, когда полоса изгибается для образования U-образной формы, предпочтительно, чтобы полоса не была криволинейной там, где ее изгибают, а только прямолинейной.
Карбидокремниевые элементы по существу U-образной формы являются известными и прежде их изготавливали, используя трубчатую или сплошную цилиндрическую нагревательную секцию. Изгиб мог быть образован путем литья в форме, имеющей U-образную конфигурацию, например шликерным литьем, но шликерное литье является непредпочтительным и относительно дорогим способом изготовления карбидокремниевых нагревательных элементов.
В способах литья имеется ограничение на размер частиц карбидокремниевого материала, которые могут быть выгодно использованы при изготовлении, и в тех случаях, когда необходим материал с крупными зернами, литье не рассматривается как практический способ изготовления. Кроме того, желательно изготавливать нагревательные элементы из реакционно-связанного материала высокой плотности, поэтому шликерное литье является непредпочтительным способом изготовления, поскольку литьевой материал или шликер должен включать как карбид кремния, так и углерод, которые довольно трудно отливать контролируемым или воспроизводимым способом.
В тех случаях, когда необходимо крупномасштабное производство карбидокремниевых элементов, предпочтительным является способ изготовления путем экструзии, в котором зерна карбида кремния или смесь карбида кремния и углерода перемешивают со связующими веществами и с пластификаторами, так что они могут быть выдавлены через головки или наборы головок и стержней в тех случаях, когда должны быть изготовлены полые секции. [Могут быть области применения, в которых может быть выгодна полая полоса (требуется меньше материала, легче по весу, проще осуществлять соединение в случае трех деталей, меньшая возможность теплового удара), и в настоящем изобретении предполагаются полые полосы.] Экструзия является полностью контролируемым и воспроизводимым процессом, пригодным для крупномасштабного производства высококачественных электрических нагревательных элементов из карбида кремния.
Поскольку выдавливаемый материал должен быть пластичным, чтобы осуществлять экструзию, то можно изменять его форму путем изгиба или формования после выполнения экструзии, но до сушки и обжига. Приведено соображение относительно изгиба или формования обычных стержней или труб, из которых обычно могут быть изготовлены карбидокремниевые элементы, но имеется большой недостаток, присущий этой процедуре: при изменении формы путем изгиба возрастает длина внешнего контура изгиба и уменьшается длина внутреннего контура. Поэтому материал на внешней стороне кривой растягивается с уменьшением его плотности, а материал на внутренней поверхности сжимается с возрастанием плотности или со сморщиванием материала.
В случае по существу пластинчатых нагревательных элементов толщина в поперечном сечении может быть выполнена довольно небольшой, тем самым минимизируется различие контуров по внутренней и внешней длинам кривой и тем самым минимизируются изменения плотности материала и любое искривление или разрушение экструдированного материала. С достижением преимущества при изгибе только вне плоскости полосы (а не изгибе в плоскости полосы) искривление или разрыв экструдированного материала может быть минимизирован.
С целью проверки были изготовлены путем экструзии карбидокремниевые нагревательные элементы, имеющие в поперечных сечениях толщину 5 мм и ширину 45 мм (отношение размеров 9:1) и толщину 3 мм и ширину 36 мм (отношение размеров 12:1).
После изготовления ленточные элементы могут быть подвергнуты обычным для карбидокремниевых нагревательных элементов стадиям обработки, например пропитке, глазурованию, металлизации выводов.
Согласно настоящему изобретению создан карбидокремниевый нагревательный элемент в форме полосы, имеющий более высокую площадь поверхности излучения по отношению к показателю объема, чем известный трубчатый элемент.

Claims (21)

1. Экструдированный карбидокремниевый печной нагревательный элемент в форме полосы, в котором полоса имеет отношение размеров в поперечном сечении больше чем 3:1.
2. Печной нагревательный элемент по п.1, в котором элемент является неполым.
3. Печной нагревательный элемент по п.1, в котором отношение размеров в поперечном сечении больше чем 5:1.
4. Печной нагревательный элемент по п.3, в котором отношение размеров в поперечном сечении больше чем 10:1.
5. Печной нагревательный элемент по любому из пп.1-4, в котором элемент содержит холодные концы, которые являются неполосными.
6. Печной нагревательный элемент по любому из пп.1-4, в котором участки полосы имеют пониженное электрическое удельное сопротивление и образуют холодные концы.
7. Печной нагревательный элемент по любому из пп.1-4, в котором полоса изогнута вне плоскости полосы.
8. Печной нагревательный элемент по п.7, в котором элемент в форме полосы является в основном U-образным.
9. Печной нагревательный элемент по любому из пп.1-4, в котором полоса выполнена криволинейной в поперечном сечении на по меньшей мере части ее длины.
10. Печной нагревательный элемент по любому из пп.1-4, в котором полоса выполнена криволинейной в поперечном сечении на по меньшей мере части ее длины и изогнута вне плоскости полосы.
11. Печной нагревательный элемент по любому одному из пп.1-4, который содержит рекристаллизованный самосвязанный карбидокремниевый материал.
12. Печной нагревательный элемент по п.7, который содержит рекристаллизованный самосвязанный карбидокремниевый материал.
13. Печной нагревательный элемент по п.9, который содержит рекристаллизованный самосвязанный карбидокремниевый материал.
14. Печной нагревательный элемент по любому из пп.1-4, который содержит реакционно-связанный или реакционно-спеченный карбид кремния.
15. Печной нагревательный элемент по п.7, который содержит реакционно-связанный или реакционно-спеченный карбид кремния.
16. Печной нагревательный элемент по п.9, который содержит реакционно-связанный или реакционно-спеченный карбид кремния.
17. Способ изготовления печного нагревательного элемента по любому из пп.1-16, в котором заготовку полосы изготавливают экструзией и изгибают до определенной формы после экструзии.
18. Способ по п.17, в котором холодные концы изготавливают отдельно от нагревательной секции и затем присоединяют к ней.
19. Способ по п.17, в котором холодные концы образуют за одно целое с элементом.
20. Способ по любому из пп.17-19, в котором нагревательную секцию рекристаллизируют для образования самосвязанного карбидокремниевого материала.
21. Способ по любому из пп.17-19, в котором материал экструдированной заготовки является таким, что конечный продукт будет содержать реакционно-связанный или реакционно-спеченный карбид кремния.
RU2006104702/09A 2003-07-16 2004-07-16 Карбидокремниевые нагревательные элементы RU2344575C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB0316658.4 2003-07-16
GB0316658A GB2404128B (en) 2003-07-16 2003-07-16 Silicon carbide furnace heating elements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006104702A RU2006104702A (ru) 2006-09-10
RU2344575C2 true RU2344575C2 (ru) 2009-01-20

Family

ID=27763932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006104702/09A RU2344575C2 (ru) 2003-07-16 2004-07-16 Карбидокремниевые нагревательные элементы

Country Status (11)

Country Link
US (1) US7759618B2 (ru)
EP (1) EP1645168B1 (ru)
JP (1) JP4665197B2 (ru)
KR (1) KR101105158B1 (ru)
CN (1) CN1833467B (ru)
AT (1) ATE354928T1 (ru)
DE (1) DE602004004899T2 (ru)
ES (1) ES2280979T3 (ru)
GB (1) GB2404128B (ru)
RU (1) RU2344575C2 (ru)
WO (1) WO2005009081A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2802737C1 (ru) * 2022-11-08 2023-08-31 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Источник ионов для электромагнитного масс-сепаратора изотопов трансурановых элементов

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0810406D0 (en) * 2008-06-06 2008-07-09 Kanthal Ltd Electrical resistance heating elements
US9891000B2 (en) * 2013-08-15 2018-02-13 Ipsen, Inc. Center heating element for a vacuum heat treating furnace
JP5986136B2 (ja) * 2014-04-30 2016-09-06 Jx金属株式会社 MoSi2製発熱体の製造方法
US9951952B2 (en) * 2014-10-15 2018-04-24 Specialized Component Parts Limited, Inc. Hot surface igniters and methods of making same
WO2019213561A1 (en) * 2018-05-03 2019-11-07 I Squared R Element Company, Inc. Heating element system, method for assembly and use
KR102301312B1 (ko) * 2019-11-21 2021-09-10 한국세라믹기술원 급속 발열장치

Family Cites Families (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE301457C (ru)
US650234A (en) 1899-08-07 1900-05-22 Francis A J Fitzgerald Process of making carborundum articles.
GB513728A (en) 1938-04-11 1939-10-20 Carborundum Co Improvements in or relating to articles comprising silicon carbide
US2431326A (en) 1942-10-29 1947-11-25 Carborundum Co Silicon carbide articles and method of making same
US2546142A (en) 1950-03-30 1951-03-27 Norton Co Electrical heating rod and method of making same
DE1124166B (de) * 1955-03-08 1962-02-22 Siemens Planiawerke Ag Heizelement fuer elektrische Widerstandsoefen mit einer in den zu beheizenden Ofen ragenden Gluehschleife
US3094679A (en) 1960-01-13 1963-06-18 Carborundum Co Silicon carbide resistance body and method of making the same
DE1144418B (de) 1961-07-20 1963-02-28 Siemens Planiawerke A G Fuer K Verfahren zur Herstellung einer Kontaktschicht auf einem silizium-haltigen Werkstoff
NL6703548A (ru) * 1967-03-07 1968-09-09
US3518351A (en) 1968-12-16 1970-06-30 Carborundum Co Heating element
GB1423136A (en) 1972-02-17 1976-01-28 Power Dev Ltd Heating element
DE2310148C3 (de) 1973-03-01 1980-01-10 Danfoss A/S, Nordborg (Daenemark) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstandselementes
US3859501A (en) 1973-09-17 1975-01-07 Squared R Element Company Inc Three-phase heating element
GB1497871A (en) * 1974-01-21 1978-01-12 Carborundum Co Electrical igniter elements
US3964943A (en) * 1974-02-12 1976-06-22 Danfoss A/S Method of producing electrical resistor
US3875477A (en) * 1974-04-23 1975-04-01 Norton Co Silicon carbide resistance igniter
JPS548795A (en) 1977-06-17 1979-01-23 Tax Adm Agency Recovery of alcohol from aclohol-containing wet solids, and simultanious drying of the solids
JPS5487950A (en) * 1977-12-24 1979-07-12 Tokai Konetsu Kogyo Kk Linear or banddshaped carbonized silicon heater
US4272639A (en) * 1979-08-01 1981-06-09 Btu Engineering Corporation Helically wound heater
SU1043007A1 (ru) 1981-07-27 1983-09-23 Днепропетровский Ордена Трудового Красного Знамени Металлургический Институт Устройство дл непрерывного прессовани керамических изделий
JPS58209084A (ja) 1982-05-28 1983-12-05 株式会社日立製作所 直熱形ヒ−タ材
JPH0740508B2 (ja) * 1985-11-18 1995-05-01 東芝セラミツクス株式会社 半導体熱処理炉用ヒ−タ
JPH01100888A (ja) 1987-10-13 1989-04-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd セラミックスヒータ
DD301457A7 (de) * 1988-01-11 1993-02-04 Elektrokohle Lichtenberg Ag Verfahren zur herstellung von kohlerohrwiderstandsheizern fuer den sic - reaktionssinterprozess
JPH0234562A (ja) * 1988-07-25 1990-02-05 Teijin Ltd 導電性炭化珪素シートの製造方法
JPH0481934A (ja) 1990-07-24 1992-03-16 Omron Corp 情報処理装置
JPH04230985A (ja) 1991-06-06 1992-08-19 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 炭化珪素発熱体の製造方法
JP3131914B2 (ja) 1992-05-12 2001-02-05 東海高熱工業株式会社 炭化けい素発熱体およびその製造方法
JPH0729598Y2 (ja) * 1992-11-02 1995-07-05 日本ピラー工業株式会社 セラミック板状ヒータの電極構造
US5705261A (en) 1993-10-28 1998-01-06 Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corporation Active metal metallization of mini-igniters by silk screening
JP3230793B2 (ja) * 1995-01-24 2001-11-19 富士電機株式会社 セラミックス発熱体
JP3438381B2 (ja) * 1995-02-07 2003-08-18 株式会社村田製作所 熱処理炉
CN1144787A (zh) * 1995-02-16 1997-03-12 薛天瑞 一种硅碳棒冷挤压成型带端部一次烧成的方法
JP3740544B2 (ja) * 1996-02-06 2006-02-01 東海高熱工業株式会社 炭化珪素質発熱体
JP3150606B2 (ja) 1996-03-19 2001-03-26 住友大阪セメント株式会社 炭化珪素焼結体の比抵抗制御方法
JP3834780B2 (ja) 1997-04-24 2006-10-18 東海高熱工業株式会社 炭化珪素発熱体の端子構造
US6090733A (en) 1997-08-27 2000-07-18 Bridgestone Corporation Sintered silicon carbide and method for producing the same
JP4614478B2 (ja) * 1998-02-06 2011-01-19 ソニー株式会社 単結晶育成装置
JP2000048936A (ja) 1998-07-28 2000-02-18 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 炭化けい素発熱体
JP3548451B2 (ja) 1999-02-22 2004-07-28 本田技研工業株式会社 ピストンのピン孔構造
JP2001077183A (ja) * 1999-06-09 2001-03-23 Ibiden Co Ltd 半導体製造・検査装置用セラミック基板およびその製造方法
CN1296724A (zh) 1999-06-09 2001-05-23 揖斐电株式会社 陶瓷加热器、其制造方法及用于加热体的导电膏
US6250127B1 (en) * 1999-10-11 2001-06-26 Polese Company, Inc. Heat-dissipating aluminum silicon carbide composite manufacturing method
SG126745A1 (en) * 1999-11-30 2006-11-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Infrared ray lamp, heating apparatus and method ofproducing the infrared ray lamp
JP4587135B2 (ja) * 1999-12-22 2010-11-24 東海高熱工業株式会社 炭化けい素発熱体
JP2001257056A (ja) * 2000-03-09 2001-09-21 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 三相型炭化珪素発熱体
JP2002203662A (ja) * 2000-10-31 2002-07-19 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd ヒータエレメント及び加熱装置並びに基板加熱装置
JP2002338366A (ja) 2001-05-21 2002-11-27 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 高純度炭化珪素発熱体およびその製造方法
JP4796716B2 (ja) 2001-08-30 2011-10-19 東海高熱工業株式会社 反応焼結炭化珪素発熱体の製造方法
KR100460810B1 (ko) 2002-03-05 2004-12-09 (주)위너 테크 고효율 고온용 세라믹 발열체 및 그의 제조방법
JP4056774B2 (ja) 2002-03-26 2008-03-05 住友大阪セメント株式会社 発熱体及びその製造方法
JP2003327478A (ja) 2002-05-09 2003-11-19 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 炭化珪素発熱体およびその接合方法
CN1628083A (zh) 2002-06-18 2005-06-15 摩根坩埚有限公司 在制造过程中干燥陶瓷制品
JP2005149973A (ja) 2003-11-18 2005-06-09 Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd 炭化珪素発熱体及び炭化珪素発熱体の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2802737C1 (ru) * 2022-11-08 2023-08-31 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Источник ионов для электромагнитного масс-сепаратора изотопов трансурановых элементов

Also Published As

Publication number Publication date
DE602004004899D1 (de) 2007-04-05
WO2005009081A1 (en) 2005-01-27
KR20060039905A (ko) 2006-05-09
JP2007535782A (ja) 2007-12-06
EP1645168B1 (en) 2007-02-21
DE602004004899T2 (de) 2007-12-06
GB2404128B (en) 2005-08-24
GB2404128A (en) 2005-01-19
RU2006104702A (ru) 2006-09-10
ES2280979T3 (es) 2007-09-16
GB0316658D0 (en) 2003-08-20
CN1833467B (zh) 2011-08-17
KR101105158B1 (ko) 2012-01-17
US7759618B2 (en) 2010-07-20
CN1833467A (zh) 2006-09-13
JP4665197B2 (ja) 2011-04-06
ATE354928T1 (de) 2007-03-15
US20060198420A1 (en) 2006-09-07
EP1645168A1 (en) 2006-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4640809A (en) Method for manufacturing a ceramic heater
RU2344575C2 (ru) Карбидокремниевые нагревательные элементы
WO2007130658A2 (en) Ceramic heating elements
KR0173070B1 (ko) 열전쌍 보호용 튜브 및 그 성형 방법
EP3095297B1 (en) A wire tray for a microwave oven or a cooking appliance with microwave heating function
US20080116192A1 (en) Injection molding of ceramic elements
WO2014157369A1 (ja) 金属発熱体および発熱構造体
CN2424433Y (zh) 高真空烧结炉
CN206556442U (zh) 一种加热元件由密渐疏的梯温炉
CN217849714U (zh) 一种硅棒电热元件
US20040134480A1 (en) Convective system
JPH07280207A (ja) ラジアントチューブ
JP3197073B2 (ja) 太陽熱受熱器
CN105873253A (zh) 高导热陶瓷膜加热管
JPS59167986A (ja) 管状発熱体
CN110118436A (zh) 一种热声系统用内置式加热器及含该加热器的复合加热器
CN113727475A (zh) 一种组合式高寿命加热体及其制造方法
CN103634953B (zh) 管状加热器模块
JP2011090801A (ja) MoSi2製発熱体及び同発熱体の製造方法
JP2004273383A (ja) MoSi2製帯状発熱体及び同発熱体の製造方法
Vestergaard Improved Tubing for Flat Oval Tube Condenser
JPS6327835B2 (ru)
CN201563251U (zh) 一种纺织行业使用的电阻扁带红外辐射加热器
TW200300405A (en) MoSi2 belt heating element, heating treatment furnace having the same and manufacturing method of the same
WO1998027395A1 (en) Formed tubing with longitudinally directed corrugations

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200717