DE1144418B - Verfahren zur Herstellung einer Kontaktschicht auf einem silizium-haltigen Werkstoff - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Kontaktschicht auf einem silizium-haltigen Werkstoff

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DE1144418B DES74922A DES0074922A DE1144418B DE 1144418 B DE1144418 B DE 1144418B DE S74922 A DES74922 A DE S74922A DE S0074922 A DES0074922 A DE S0074922A DE 1144418 B DE1144418 B DE 1144418B
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Description

  • Verfahren zur Herstellung einer Kontaktschicht auf einem siliziumhaltigen Werkstoff Zur Erzeugung sehr hoher Temperaturen bedient man sich siliziumhaltiger Werkstoffe, insbesondere finden solche Heizelemente Anwendung, die aus Siliziumkarbid oder aus Molybdänsilizid oder Titansilizid oder einem anderen hochschmelzenden Silizid der übergangsmetalle (IV. bis Vl. Nebengruppe) des Periodischen Systems bestehen. Es bietet immer noch Sohwierigkeiten, an einem solchen Heizelementkörper (fe erforderliche Kontaktschicht zum Anschluß des Kabels oder der sonstigen Stromzuleitungen anzubringen.
  • Es ist bekannt, auf den Heizelementkörper nach dem Metallspritzverfahren eine Aluminiumkontaktschicht aufzubringen. Es besteht jedoch die Gefahr, daß eine derart aufgespritzte, Aluminiumschicht, sobald ihre Dicke 1 mm übersteigt, zum Abblättern neigt oder daß sie im ganzen nicht gut haftet und sich in Gestalt einer mehT oder weniger geschlossenen Hülse abziehen läßt. Eine mechanische Verankerung du,rch Kerben, ringförmige Verfahxen u. dgl. im Heizelementkörper kann wohl mechanisch das Abziehen verhindern. Es ist damit aber noch nicht ein festes flächiges Anhaften, wie es für einen guten Stromübergang erforderlich ist, gesichert. Auch ist ein Verfahren vorgeschlagen worden, aufgespritzte Aluminiumschichten mechanisch zu verformen, um ein besseres flächiges Aufliegen zu erreichen.
  • Schädlich und allen mechanischen Hilfsmitteln entgegen wirkt hier eine zweite Erscheinung, daß nämlich Molybdänsilizid und ebenso auch andere Silizide bei Temperaturen, die wesentlich niedriger sind als die des Glühteiles, vielmehr nur einige 100' C betragen, zur Ausbildung umfangreicher SiO.-haltiger Oxydierungsprodukte neigen. Diese Oxydationsprodukte enthalten bei MoS4 z. B. neben Kieselsäure auch Molybdänsäure. Letztere ist bekannt durch ihren sehr starkenAufwachsorganismus. Sitzt dieAluminiumkontaktschicht nicht fest und flächig auf dem silmdhaltigen Heizelementkörper auf, so kommt es infolge der Ausbildung der Oxydationsprodukte zu einer immer stärker werdenden Trennung und Lockerung der Aluminiumschicht vom silizidhaltigen Heizelementkörper und schließlich zur Unterbrechung des elektrischen Stroraüberganges.
  • Das Verfahren nach der Erfindung beseitigt diese Schwierigkeiten. Es stimmt mit dem obenerwähnten bekannten Verfahren darin überein, daß es ebenfalls zur Herstellung einer Kontaktschicht aus Aluminium oder einem sonstigen Kontaktstoff ähnlich liegenden Schmelzpunktes auf einem siliziumhaltigen Werkstoff dient, der insbesondere aus Silizidkarbid oder aus einem hochschrnelzenden Silizid, vor allem aus Molybdänsilizid oder Titansilizid, begeht. Die e;rwahnten Schwiengkeiten aber werden dadurch be- seitigt, daß erfindungsgemäß die Kontaktschicht in zwei Schichten aufgebracht ist, indem a) die Kontaktstelle in kaltem Zustand zunächst in dünner Schicht (mit einer Dicke von etwa 0,1 bis 0,5 mm) metallisiert wird und b) hierauf eine zweite stärkere Schicht eines Kontaktstoffes von gleichem oder höherem Schmelzpunkt wie dem des Kontaktstoffes der Metallisierungsschicht in geschmolzenem Zustand aufgebracht wird.
  • Bei der bevorzugten Ausführung des Verfahrens wird die Unterschicht aufgespritzt und die sie umhüllende Deckschicht auf dem Wege des Umgießens aufgebracht. Es kann die erste Metallisierung der Kontaktstelle aber auch dadurch erfolgen, daß das Küntaktmaterial auf elektrolytischem Wege durch Aufdampfen, therrnische Zersetzung oder Kathodenzerstäubung aufgebracht wird. Allen genannten Verfahien gemeinsam ist die Tatsache, daß dabei die Kontaktstelle in kaltem Zustand bleibt, die Ausbildung einer Oxydschicht auf der Oberfläche des siliziumhaltigen Werkstoffes also unterbleibt. Dies ist für die Wirkung des erfindungsgemäßen Verfahrens von von allergrößter Bedeutung.
  • Das neue Verfahren, so einfach es ist, beseitigt zuverlässig die obenerwähnten Schwierigkeiten. Wird zur Herstellung der Unterschicht das Metallspritzverfahren angewendet, so geschieht dies in der Weise, daß auf den kalten blankgeschliffenen siliziumhaltigen Heizelenientkörper an der Kontaktstelle eine dünne Aluminiumschicht aufgespritzt wird. Beim Aufspritzen erstarrt das aufzuspritzende Metall bereits wähernd des FluM, es erfäint durch die kinetische Energie des Auf#roles"i2ne plastische Deformation und, dadurch ein festes A'npressen an den Heizelementkörper. Ist. die, aufgespritzte Schicht dünn, so ergibt sie emien s--fir#'guten elektrischen Kontakt. Wahrend sie aber in der dünnen Ausbildung zwar zur Erzielung eine:s guten elektrischen Kontaktes genügt, ist sie zum sicheren Anschluß des Stromleiters nicht ausreichend. Diese Schwierigkeit wird dadurch beseitig daß gemäß dem Verfahren nach der Erfindung eine zweite starkere Schicht, und zwar in einem schmelzflüssigen Zustand des Kontaktstoffes aufgebracht wird. Vorzugsweise wird die aufgespritzte Schicht mit einer sie umhüllenden Deckschicht umgossen. Wird hierzu zuvor die Kontaktstelle des silizidhaltigen He=Iemfntkorpe-rs aufgeheizt, so bildet sich naturgemäß eine Oxydschicht, jetzt aber nicht an der silizidhaltigon Oberfläche des Heizelementkörpers, sondem an der Oberfläche der aufgespritzten Aluminiunischicht. Die hier gebildete Oxydschicht ist aber unschädlich. Bei ihrer Berührung mit dem schmelzenden Aluminium löst sich die darunterliegende aufgespritzte Ahimmlunischicht, wird flüssig und verbindet sich mit der herumgegossenen Aluminiumschmelze untier Ablösung bzw. Aufschlänimung der zunächst auf der Spritzahiminiunischicht gebildeten Oxydhäute.
  • Das gleiche Ergebnis läßt sich auch erreichen, wenn man an StdIe dies Umgießens des mit ehier dünnen Kontaktschicht versehenen Heizkörpers diesen nach Aufbringen der ersten Kontaktschicht in geschmolzenes Aluminium eintaucht oder in zerkleinertes Aluminium, wie Spane, Körner oder Schrott, einbettet und dann bis zum Schmelzen dieser Aluminiumpackmasse erhitzt.
  • Die erfindunsg--mäß hergestellte Metallhülle erfährt Mm Abkublen eine stärkere Kontraktion als das Material des Heizleiters. Es tritt daher eine elastische Verformung die.-er Metallhülle ein, clie einen so guten mechanischen Kontakt mit dem Heizkörper sicherte daß der auch bei wiederholter geringerer Erwärmung dieses Kontaktes boim Aufheizen des Heizkörpers erhalten bleibt.
  • Zur weiteren ET1auterung sei auf die Zeichnungen Bezug genommen. Es zeigt Fig. 1 ein Heizelement der hier in Betracht kommenden Art, Fig. 2, 3 und 4, jeweils in einem Teilschnitt, das Kontaktende eines Heizelementkörpers in drei verschiedenen Ausführungen und Fig. 5 das, Kontakende eines Heizeleinentkörpers mit angeschlossenem Kabel.
  • Bei dem Heizelement nach Fig. 1 besteht der Hauptteil aus dem silizidhaffigen, insbesondere aus Molybdänsilizid oder Titansilizid bestehenden Heizelementkörper. Der Teil 1 ist der Glühteit der Teil 2 ist der aus dem gleichen Stoff bestehende, aber betriebsmäßig auf tieferen Temperaturen befindlich-, sogenannte Tieftemperaturteil, der Teil 3 ist der Kontaktteil, bei dem auf die Enden, die den Tieftemperaturteil fortsetzen und -aus dem gleichen Stoff wie der Glühteil 1, nämlich aus Molybeänsihhd bestehen, eine, Kontaktschicht:'. aufgebracht ist, und der Tei14 ist eine Verbindun&.an der das aus Ahiiiiiiiiiimlitze bestehende Kabel qder ein sonstiger >Stromleiter 5 aneschlossen ist.. Durch die Verbindung 4, dw an sich eine Schraubverbindung sein kann, ist das Kabel 5 mit dem Teil 3 verbunden. Das freie Ende des Kabels 5 ist von einem Kabelschuh 6 umfaßt, der seinerseits eine Druckschraube od. dgl. haben kann, zum Anschließen an die Stromleiter.
  • Der Glühteil 1 hat einen kleineren Querschnitt als der sogenannte Tieftemperaturteil 2 und die daran anschließenden Kontaktteile 3 und 4, die Temp--raturen des Glühteiles 1 hegen um etwa 1700' C, während der Tieftemperaturteil nur Temperaturen zwischen 300 und 700' C besitzt, naturgemäß mit einem allmählichen übergang von den vorhererwähnten hohen Temperaturen. Der Kontaktteil 3, der aus dem Ofen, in den die Heizeleinente der vorliegenden Art eingesetzt werden, hinausragt, hat naturgemäß noch niedrigere Betriebstemperaturen als der Tieftemperaturta 2.
  • In den Fig. 2 bis 4 ist jeweils - in größerem Maßstab - nur das eine Ende des Heizelementkörpers dargestellt. Es ist gezeigt, in welcher Weise - der Gestalt nach - die Kontaktschicht an den Heizelementkörper angesetzt ist.
  • In Fig. 2 ist das hier mit 10 bezeichnete Heizeleinentende als symmetrisch angenommen. Auf dieses symmetrische Ende ist zunächst die mit 11 bezeichnete dünne Aluminiumschicht etwa von 0,1 bis 0,5 mm aufgespritzt. Auf diese ist die zweite Schicht, hier mit 12 bezeichnet aufgebracht. Der deutlicheren Darstellung halber und zur besseren Erläuterung des Verfahrens sind die beiden Schichten, die, Spritzschicht 11 und die stärkere zweite Schicht (etwa 2 mm dick), als getrennte Schichten dargestellt. In Wirklichkeit aber wird die ursprüngliche Spritzschicht 11 - wie das oben dargestellt ist - bei dem Umgießen der Schicht 12 zum Schmelzen gebracht so daß sich die beiden Schichten 11 und 12 mehr oder wenIM zu einer einheitlichen Schicht zusammenschließen. Es ergibt sich aber der Vorteil, daß nach Fertigstellung der Kontaktschicht zwischen dieser und dem Ende 10 des Heizelementkontaktes keine Oxydschicht befmde# da beim Aufspritzen der Schicht 11 auf das kalte Heizeleinent sich noch keine Oxydschicht bildet, während die Oxydschicht, die beim Erwärmen des mit der Spritzschicht 11 versehenen Endes 10 des Heizelementkörpers entsteht, beim Umgießen der Schicht 12 gelöst und aufgeschlämmt wird. Infolgedessen wird durch das neue Verfahren eine hinreichend starke und elektrisch auf das beste mit dem Teil 10 verbundene Kontaktschicht gebildet.
  • Bei der Ausführung nach Fig. 3 ist das mit der Kontaktschicht zu verschende Ende des silizidhaltigen Heizelementkörpers zwar überall von kreisförmigeni Querschnitt, aber von einer Gestalt, die sich zunächst verjüng aber dann wieder stärker wird. Auf diesen, hier der besseren Unterscheidung halber mit 20 bezeichneten Teil ist zunächst eine dünne Aluminiumschicht 21 von im wesentlichen gleicher Stärke aufgespritzt und gemäß dem neuen Verf ahren der Teil 20 mit der darauf befindlichen Spritzschicht 21 mit einer Aluminiumhülle 22 unigossen worden, die, in ihrer Oberfläche von zylindrischer Gestalt ist. Hinsichtlich des Zusammenfließens der Schichten 21 und 22 gilt das oben Gesagte. In der Zeichnung sind die heiden Schichten ebenfalls als getrennte Schichten - des besseren Verständnisses halber - dargestellt. Hinsichtlich des elektrischen Stroniüberganges gilt das gleiche wie, für die Ausfühlung nach Fig. 2. Demgegenüber hat aber cie Ausführung nach Fig. 3 den Vorteil, daß sie einem mechanischen Zug in Richtung der Längsachse des Teiles 20 und der Schicht 21 und 22 besser widersteht. Es kann also die Hülle 22 von dem Teil 20 schon aus mechanischen Gründen nicht abgestreift, werden.
  • Die Ausführung nach Fig. 4 entspricht in der allgemeinen Ausführung und in der Gestalt im wesentlichen der Fig. 2. Das freie, Ende des Heizelernentkörpers ist hier - wieder der besseren Unterscheidung halber - mit 30 bezeichnet, die aufgespritzte Schicht mit 31 und die uragossene dickere Kontaktschicht mit 32 bezeichnet. Der Teil 30 ist - regelmäßig oder unregelmäßig - mit Vertiefungen 30a nach Art von Halbkugeln versehen. Auf die- genannte Oberfläche des Teiles 30 wird die Schicht 31, überall in gleicher Dicke, aufgespritzt. Um diese wird die Kontaktschicht 32 herumgegossen, in der Oberfläche zylindrisch, so daß sich die aus Fig. 4 ersiehtliche Gestalt des Kontaktendes ergibt. Bei dieser Ausführung sorgen die halbkugelförmigen Vertiefungen dafür, daß die- Kontakthülle 32 auch bei stärkerem Zug nicht von dem Heizelernentkörper bzw. dem Teil 30 abgestreift werden kann.
  • Wie aus der Beschreibung hervorgeht, eignet sich für die Spritzschicht und die darauffolgende Gießschicht insbesondere Aluminium oder eine Aluminiumlegierung. Es können aber auch sonstige Kontaktstoffe verwendet werden, die einen ähnlich liegenden Schmelzpunkt wie Aluminium oder Aluminiypjjggier=g aufweist. Die erste Schicht und die zweite Schicht - bei den beverzugten Ausführungsbeispielen die aufgespritzte Schicht und die darauffolgende Gießschicht - können aus verschiedenen Kontaktinaterialien bestehen, vorausgesetzt, daß die aufgebrachte Schicht, die also zur Metallisierung des Kontaktendes des Heizelementkörpers dient, beim Umgießen der zweiten Schicht zum Schmelzen kommt und sich dementsprechend die Oxydschicht, die sich beim Erwärmen des Kontaktendes auf der ersten Schicht gebildet hat, hochgeschlämmt wird.
  • Der siliziurnh-altige Heizelementkörper ist sehr spröde. Will man ein-en zuverlässigen Strornübergang schaffen, so ist zusätzlich zur zuverlässigen Kontaktierung des Kontaktendes des Heizelementkörpers durch eine Kontaktschicht auch notwendig, für einen guten Anschluß des Stromleiters an das Kontaktende zu sorgen. Es hat sich gezeigt, daß ein Anklemmen des Stromleiters an das Kontaktende leicht zu Brüchen des spröden Heizelementkörpers führen kann. Außerdem ist bei diesen Elementen mit niedrigem Widerstand bei den verhältnismäßig hohen Strömen immer die Gefahr einer Erwärmung der Stromzuführungen gegeben, also ist ein gleichbleibender fester Kontakt wesentlich. Fig. 5 zeigt eine Ausfährung, die eine erfindungsgemäße Ergänzung der nach der Erfindung gebildeten Kontaktoberfläche darstellt. Bei dieser Ausführung wird das im übrigen ähnlich gestaltete Kontaktende des Heizelementkörpers abgeflacht, wie das durch die Trennlinie 40 der Fig. 5 veranschaulicht ist. Diese Linien kann man sich als zwei Ebenen in Draufsicht vorstellen, die senkrecht zur Zeichenebene stehen und nach denen das Kontaktr-nde des Heizelementkörpers des hier mit 41 bezeichneten Heizelernentkörpers abgeflacht ist.
  • Auf das Kontaktende 41 des Heizelementkörpers, der durch die Linien 40 in der angegebenen Weise abgeflacht ist, sind die beiden Schichten 42 und 43 aufgebracht. Das aus Aluminiumlitze bestehende Kabel 44 besitzt einen Kabelschuh 45, der vorzugsweise ebenfalls aus Aluminium besteht und mit dem freigelegten Ende der Litzen des Kabels 44 gut kontaktiert ist. Dieser KabeIschuh 45 hat die aus Fig. 5 zu entnehmende Gestalt. Er ergänzt also, in der richtigen Lage angesetzt, das abgeffachte Ende des Kontaktteiles des Heizelementkontaktes zu einem vollen Zylinder. So angesetzt, wird der Kabelschuh 45 durch einen Aluminiumniet 46 mit dem Kontaktende des HeizeIementkörpers verbunden. Man könnte den Kabelschuh auch durch Kaltverschweißen oder Preßstauchen mit dem Kontakten& des Heizelementkörpers verbinden. Beide Fälle und ähnliche feste Verbindungsarten seien als permanente Verbindung bezeichnet.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Verfahren zur Herstellung einer Kontaktschich#t aus Aluminium oder einem Kontaktstoff ähnlich liegenden Schmelzpunktes auf einem siliziumhaltigen Werkstoff, vorzugsweise für Heizleiter, der insbesondere aus einem Silizid (vor allem MolybdänsiEzid oder Titansilizid) oder Siliziumkarbid besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktschicht in zwei Schichten aufgebracht wird, indem a) die Kontaktstelle, in kaltem Zustand zunächst in dünner Schicht (mit eineT Dicke von etwa 0,1 bis 0,5 mm) metallisiert wird und b) hierauf eine zweite stärkere Schicht eines Kontaktstoffes von gleichem oder höherem Schmelzpunkt wie dem des Kontaktstoffes der Metallisierungsschicht in geschmolzenem Zustande aufgebracht wixd.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schicht aufgespritzt und die zweite Schicht im Wege des Umgießens aufgebracht wird. 3. Heizleiter, hergestellt nach dem Verfahren gemäß Ansprach 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuführung zu der Kontaktschicht aus einem oder mehreren flexiblen Aluminiumdrähten besteht, die mit dem Kontaktmaterial des Heizleiters permanent, z. B. durch Kaltverschweißen oder Vernieten verbunden sind. 4. Heizleiter nach Ansprach 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußkabel mit einem metallischen Schuh versehen und über diesen an dem Kontakt des Heizelemerrtkörpers angem, etet ist.
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