KR20070082052A

KR20070082052A - 방향 전환 장치

Info

Publication number: KR20070082052A
Application number: KR1020070015483A
Authority: KR
Inventors: 센조 규토쿠; 다츠오 츠바키; 마사나오 무라타
Original assignee: 아시스트 신꼬, 인코포레이티드
Priority date: 2006-02-14
Filing date: 2007-02-14
Publication date: 2007-08-20
Also published as: CN101020537A; JP2007217078A; TW200808632A; US20070186799A1

Abstract

본 발명은 반송 시간을 단축할 수 있는 방향 전환 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

동일한 길이를 가지며, 어느 한쪽이 제1 반송 레일(16)과 동일한 높이이고, 다른 쪽이 상기 한쪽보다 아래쪽에 배치되면서, 서로 수직이며, 2개의 중점(中點)이 동일 수직선상에 위치하도록 배치되고, FOUP(5)를 반송하는 직선형의 제1 및 제2 반송로(3·4)와, 그 중점을 중심으로 제1 및 제2 반송로(3·4)를 동시에 회전시키는 턴테이블(2) 및 회전부(22)와, 제1 및 제2 반송로(3·4)를 수직 방향으로 이동시키는 승강부(23)와 제1 반송 레일(16)로부터 FOUP(5)가 제1 반송 레일(16)과 동일한 높이의 반송로에 배출되면 제1 및 제2 반송로(3·4)를 대략 90˚회전시키고, FOUP(5)를 반송로 외부로 반출한 후, 제1 및 제2 반송로(3·4)의 수직 방향의 위치를 교체하도록 제어하는 제어부(21)를 구비한다.

Description

방향 전환 장치{DIRECTION CHANGE DEVICE}

도 1은 본 실시예의 방향 전환 장치를 상면으로부터 본 개략도.

도 2는 본 실시예의 방향 전환 장치를 상면으로부터 본 개략도.

도 3은 본 실시예의 방향 전환 장치를 측면으로부터 본 개략도.

도 4는 본 실시예의 반송 시스템의 일부분의 개략도.

도 5는 도 4의 반송 시스템에 이용되는 반송 레일의 개략도.

도 6은 방향 전환 장치의 블록도.

도 7은 데이터 테이블을 도시하는 도면.

도 8은 방향 전환 처리 루틴의 흐름도를 도시하는 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 방향 전환 장치

2: 턴테이블

3: 제1 반송로

4: 제2 반송로

5: FOUP

16: 제1 반송 레일

17: 제2 반송 레일

18: 제3 반송 레일

본 발명은, 반송되는 물품의 반송 방향을 전환하는 방향 전환 장치에 관한 것이다.

반도체 제조, 액정 제조, FA(Factory Automation) 등에 있어서의 반송 수단으로서, 예컨대 특허 문헌 1에 기재한 반송 장치가 있다. 특허 문헌 1의 반송 장치는 한 쌍의 레일의 상면으로부터 돌출하도록 호일이 회전 가능하게 설치되어 있고, 호일에 적재된 물품이 그 호일의 회전에 의해 레일을 따라 이송되도록 되어 있다. 또한, 특허 문헌 1에 있어서, 직각으로 배치된 레일에는 물품의 방향을 변환하는 디렉터 구동 레일이 설치되어 있다. 디렉터 구동 레일은 직각으로 배치된 2개의 레일 사이를 선회할 수 있게 설치되어 있고, 물품을 적재한 상태에서 선회함으로써, 물품의 방향을 전환할 수 있게 되어 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공표 제2003-506289호 공보

그러나, 특허 문헌 1과 같이 물품의 방향을 전환하는 경우, 방향 전환 종료 후에 디렉터 구동 레일이 다시 선회하여, 원래의 위치에 복귀하지 않으면, 다음에 반송 레일을 이송되어 오는 물품을 방향 전환할 수 없게 되어 버린다. 이 때문에 방향 전환할 때마다, 디렉터 구동 레일을 원래의 위치에 복귀시켜야 하고, 그 동안 은 물품을 반송할 수 없기 때문에 시간의 낭비가 발생해 버리며, 반송 시간이 길어진다고 하는 문제가 발생한다.

그래서, 본 발명의 목적은 반송 시간을 단축할 수 있는 방향 전환 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 반송 레일로부터 반출된 워크의 반송 반향을 전환하는 방향 전환 장치에 있어서, 직선 형상을 갖고, 서로 수직으로 교차하도록 배치되며, 중점(中點)이 동일 수직선상에 위치하도록 배치되는 제1 및 제2 반송로와, 상기 중점을 중심으로 상기 제1 및 제2 반송로를 회전시키는 회전부와, 상기 제1 및 제2 반송로를 수직 방향으로 승강시키는 승강부와, 제어 유닛을 포함하며, 상기 제1 및 제2 반송로 중 하나의 반송로의 수직 위치는 반송 레일의 수직 위치와 동일하고, 상기 제1 및 제2 반송로 중 다른 하나는 상기 하나의 반송로의 수직 위치보다 아래에 있고,

상기 제어 유닛은, 워크를 반송 레일로부터, 제1 및 제2 반송로 중에서 반송 레일의 수직 위치와 동일한 수직 위치에 있는 하나의 반송로에 반송하고, 상기 제1 및 제2 반송로를 대략 90˚ 회전시키고, 상기 워크를 상기 제1 및 제2 반송로 중 하나로부터 반출하고, 상기 제1 및 제2 반송로의 수직 위치를 서로 교체하도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 워크를 방향 전환하여 반출한 후, 단시간에 다음 워크를 방향 전환시키는 준비를 행할 수 있다. 구체적으로는, 제1 반송로를 반송 레일의 높이와 일치시키는 동시에, 제2 반송로를 제1 반송로와 수직으로 제1 반송로보다 아래쪽에 배치함으로써, 제2 반송로가 방해가 되지 않게 반송 레일의 워크를 제1 반송로에 배출할 수 있도록 되어 있다. 그리고 반송 레일로부터 제1 반송로에 워크가 배출되면 제1 및 제2 반송로를 대략 90˚ 회전시킴으로써, 워크를 90˚ 방향 전환할 수 있다. 그리고 제1 반송로로부터 워크를 반출한 후에, 제1 및 제2 반송로의 수직 방향의 위치를 교체함으로써, 반송 레일의 워크를 제2 반송로에 배출할 수 있게 된다.

즉, 회전부에 반송로를 하나만 설치한 경우, 반송로를 회전시키고, 워크를 반출한 후에 그 반송로를 다시 반송 레일로부터 워크를 수용할 수 있는 위치까지 회전시켜야 하지만, 전술한 바와 같이 2개의 반송로의 수직 방향의 위치를 교체하도록 함으로써, 낭비되는 시간을 단축할 수 있게 된다.

또한, 본 발명의 반송 레일과, 상기 제1 및 제2 반송로는 양측을 따라 복수의 롤러를 포함하고, 상기 롤러 상에 적재된 워크를 상기 롤러의 회전에 의해 반송하는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 반송 레일 및 반송로의 양측을 따라 설치되어 있는 롤러의 회전에 의해 워크가 반송되도록 되어 있기 때문에 워크의 방향이 흐트러지지 않게 워크를 반송할 수 있다.

이하, 본 발명의 적합한 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시예에 따른 방향 전환 장치는 반도체 제품 제조 시설과 같이, 처리 대상물을 공정 내부나 공정간을 반송 레일로 반송하여 처리하면서 최종 제품으로 하는 반송 시 스템 등에 적합하게 적용된다. 또한, 이후의 설명에 있어서는, 처리 대상물을 반도체로 하고, 반도체 기판이나 액정 표시 장치용 유리 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광 디스크용 기판 등의 처리 대상물을 반송하는 반송 시스템에 대해서 설명하지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 전자 부품이나 기계 부품, 화학품, 식품, 서류 등의 짐을 반송하는 전업종의 반송 시스템에 적용할 수 있다.

또한, 반도체란, 예컨대 도 5에 도시하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)로 불리는 카세트 내에 복수 매 수납된 반도체 웨이퍼(도시 생략)이다. FOUP는 대략 입방체의 2개의 모따기된 형상을 갖고 있다. 반도체는 카세트 단위로 반송되고, 후술하는 각 처리 장치(15) 내에서 소정의 처리가 실시된다. 이하의 설명에서 반송 레일(10) 상에서 반송되는 반송물을 FOUP(5)(워크)라고 칭한다.

본 실시예의 반송 시스템은, 도 4에 도시하는 바와 같이, 복수의 처리 장치(15)와, FOUP(5)를 각 처리 장치(15)에 반송하는 반송 레일(10)과, 방향 전환 장치(1)와, 반송 시스템 전체를 제어하는 도시하지 않은 제어 장치를 구비한다. 또한, 반송 시스템은 복수의 처리 장치(15)를 포함하는 복수의 베이로 이루어져 있고, FOUP(5)는 하나의 베이 내에서 처리가 종료하면 다음 베이로 반송된다.

처리 장치(15)는, 예컨대 웨이퍼상에 박막 필름을 형성하기 위한 장치, 여러 단계로서 웨이퍼를 세정, 조정, 측정하기 위한 장치, 웨이퍼를 보관하는 장치(소위, 「스토커」) 등을 포함한다. 각 처리 장치(15)는 입출구에 로드 포트(15a)를 구비하고, 로드 포트(15a)에 의해 반송 레일(10) 상에서 반송되는 FOUP(5)를 취입하며, 수납되는 반도체를 처리 장치에 취입하거나, 처리 후의 반도체를 FOUP(5)에 수납하고, 반송 레일(10)에 배출하거나 할 수 있게 되어 있다.

반송 레일(10)은 FOUP(5)를 처리 장치(15)로부터 다른 처리 장치(15)로, 또는 다음 베이로 반송하는 레일이다. 반송 레일(10)은, 예컨대 도 5에 도시하는 바와 같이, FOUP(5)의 바닥면을 지지할 수 있는 폭으로 이격된 한 쌍의 레일(11·12)과, 각 레일(11·12)의 상면으로부터 돌출한 복수의 롤러(13)를 구비하고 있다. 롤러(13)는 레일(11·12)의 길이 방향을 따라 대략 균등한 간격으로 배치되고, 일정 방향으로 회전하도록 되어 있다. 그리고 롤러(13)에 적재된 FOUP(5)는 롤러(13)가 회전함으로써, 롤러(13)의 회전 방향으로 이동하도록 되어 있다.

또한, 롤러(13)를 구동시키는 구동 모터는, 각 베이마다 독립적으로 작동하도록 되어 있다. 이에 따라, 각 베이마다 롤러(13)의 회전 속도를 변경할 수 있기 때문에, 반송하는 FOUP(5)의 반송 속도를 변경할 수 있게 된다. 즉, 처리 공정의 처리 시간이 다른 베이마다 FOUP(5)의 반송 속도를 변경할 수 있다. 또한, 다음 베이 내의 FOUP(5) 수가 많은 경우는 롤러(13)의 회전 속도를 감속시킴으로써, FOUP(5)의 반송 속도도 감속할 수 있고, 다음 베이에 반송되는 FOUP(5)의 수를 줄일 수 있게 되어, 처리 능력 이상의 수의 FOUP(5)가 베이에 존재하는 것을 막을 수 있게 된다.

또한, 반송 레일(10)의 레일(11·12)은 도시하지 않지만, 외측의 가장자리를 따라 위쪽에 돌기한 형상으로 되는 것이 바람직하다. 이 돌기 부분을 반송 가이드로 함으로써, 반송되는 FOUP(5)가 수평 방향으로 가로로 어긋나는 것의 발생을 막을 수 있게 된다.

방향 전환 장치(1)는 FOUP(5)의 반송 방향을 전환하는 장치이다. 방향 전환 장치(1)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 2개 이상의 반송 레일(10)이 교차하는 교차부에 설치되고, FOUP(5)의 반송 방향을 전환할 수 있도록 되어 있다. 교차부는 사방 십자형 교차부이어도 좋고, 삼방「T 자형」 교차부, 수직 교차부이어도 좋으며, 2개 이상의 반송 레일의 반송 방향이 각각 수직으로 되는 교차부이면 좋다. 본 실시예에서는 도 1에 도시하는 바와 같이, 제1 반송 레일(16), 제2 반송 레일(17) 및 제3 반송 레일(18)로 이루어지는 삼방 「T 자형」 교차부에 방향 전환 장치(1)를 배치한 경우에 대해서 설명한다. 구체적으로는, 삼방 「T 자형」 교차부를 형성하는 제1 반송 레일(16) 및 제2 반송 레일(17)은 일직선상에 배치되고, 이들의 반송 레일에 수직으로 제3 반송 레일(18)이 배치되며, 방향 전환 장치(1)는 이들 3개의 반송 레일(16·17·18)의 교차 부분에 배치된다. 또한, 반송 레일(16·17)은 FOUP(5)를 도면 중 상방으로 반송하고, 반송 레일(18)은 FOUP(5)를 도면 중 좌측 방향으로 반송하도록 되어 있다.

방향 전환 장치(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 수평 방향으로 회전하는 턴테이블(2)(회전부)과, 턴테이블(2)에 설치되고 위쪽에서 보았을 때 서로 십자형으로 교차하는 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)를 구비하고 있다. 턴테이블(2)은 대략 원통 형상으로서, 그 중심축이 회전축으로 되고, 일정 방향(도면 중 화살표 방향)으로 90˚ 간격으로 회전한다. 제1 반송로(3)는 반송 레일(10)의 레일(11·12)에 설치된 롤러(13)의 폭과 동일한 폭으로 이격된 한 쌍의 롤러(3a)를 직선상에 복수 구비하고, 롤러(3a)에 적재된 FOUP(5)가 그 롤러(3a)의 회전에 의해 반송되도 록 되어 있다. 또한, 제2 반송로(4)도 제1 반송로(3)와 마찬가지로, 한 쌍의 롤러(4a)를 직선상에 복수 구비하고 있다. 또한, 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)는 수직 방향으로 승강 가능하게 되어 있고, 롤러(3a·4a)는 승강시에 서로 접촉하지 않도록 설치되어 있다.

십자형으로 교차하는 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)는, 그 교점이 턴테이블(2)의 중심축과 일치하도록 배치된다. 보다 구체적으로, 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)는 동일한 길이를 갖고, 이들의 중점이 턴테이블(2)의 중심축과 일치하도록 배치된다. 즉, 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)는, 이들의 중점을 중심으로 회전하도록 되어 있다. 또한 턴테이블(2)에 설치된 제1 반송로(3)가 제1 반송 레일(16) 및 제2 반송 레일(17)과 일직선이 되도록 배치되고, 제2 반송로(4)가 제3 반송 레일(18)과 일직선이 되도록 배치된다. 따라서 턴테이블(2)을 대략 90˚ 회전시키면, 제1 반송로(3)는 제3 반송 레일(18)과 일직선이 되고, 제2 반송로(4)는 제1 및 제2 반송 레일(16·17)과 일직선이 되며, 90˚ 더 회전시키면 제1 반송로(3)는 다시 제1 반송 레일(16) 및 제2 반송 레일(17)과 일직선이 되고, 제2 반송로(4)는 제3 반송 레일(18)과 일직선이 된다.

또한, 롤러(3a·4a)는 정·역회전 가능하게 되어 있고, 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)를 회전시켜 방향이 반대로 되어도 롤러(3a·4a)를 역방향으로 회전함으로써, FOUP(5)를 항상 일정 방향으로 반송할 수 있도록 되어 있다.

또한, 롤러(3a·4a)는 도시하지 않지만, FOUP(5)가 적재되는 원통형의 적재부와, 이 적재부보다 훨씬 큰 직경을 갖는 원통형의 가장자리부로 이루어지고, FOUP(5)는 이동부에 적재되어 반송될 때에 적재부보다 직경이 큰 가장자리부가 가이드가 역할을 담당함으로써, FOUP(5)가 가로로 어긋나는 것을 막을 수 있게 되어 있다.

또한, 회전 구동되는 방향 전환 장치에 설치되는 구동 모터로서, 제1, 2 반송로의 롤러 구동이나 승강 동작을 담당하는 전력 모터에 외부로부터 전력을 공급하는 전력 공급 수단은 비접촉 급전 방식, 슬립 링 방식 등의 관용 기술을 이용하고, 경우에 따라 배터리 탑재 등의 방법을 채용한다.

이하에서, 회전 및 승강 이동하는 방향 전환 장치(1)의 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)의 위치 관계에 대해서 설명한다.

반송 시스템의 시작 시 등에 있어서는, 도 1a에 도시하는 바와 같이, 제1 반송로(3)는 제1 반송 레일(16) 및 제2 반송 레일(17)과 일직선으로 되는 위치이고, 도 3a 및 도 3b에 도시하는 바와 같이, 롤러(3a)가 반송 레일(16·17)의 롤러(13)의 높이와 대략 동일한 위치로 되며, 제2 반송로(4)는 롤러(4a)가 제1 반송로(3)로부터 돌출하지 않도록 제1 반송로(3)의 아래쪽 위치에 배치된다. 이에 따라 제1 반송 레일(16)에서 반송되는 FOUP(5)는, 제2 반송로(4)에 방해되지 않고, 제1 반송로(3)를 통해 제2 반송 레일(17)로 반송될 수 있다.

다음에, 제1 반송 레일(16)상의 FOUP(5)를 제1 반송 레일(16)과 반송 방향이 수직인 제3 반송 레일(18)에 진입시키는 경우, FOUP(5)가 제1 반송 레일(16)로부터 제1 반송로(3)에 진입하면 도 1b에 도시하는 바와 같이, 턴테이블(2)을 회전시킨다. 그리고 턴테이블(2)을 대략 90˚ 회전시키면 도 2a나 도 3c에 도시하는 바와 같이, FOUP(5)를 적재한 제1 반송로(3)는 제3 반송 레일(18)과 일직선으로 된다. 이에 따라 제1 반송로(3) 상의 FOUP(5)는 제3 반송 레일(18)에 진입할 수 있게 된다.

제1 반송로(3)가 제3 반송 레일(18)과 일직선으로 되면, 제1 반송로(3)와 수직으로 배치된 제2 반송로(4)는 제1 반송 레일(16) 및 제2 반송 레일(17)과 일직선으로 된다. 따라서 제1 반송로(3) 상의 FOUP(5)가 제3 반송 레일(18)에 진입한 후, 도 2b나 도 3d에 도시하는 바와 같이, 제1 반송로(3)를 하강시키는 동시에, 롤러(4a)가 롤러(13)의 높이와 일치할 때까지 제2 반송로(4)를 상승시킴으로써, 제1 반송 레일(16)에서 반송되는 FOUP(5)는 제2 반송로(4)에 진입 가능하게 된다. 즉, 도 1a에서 설명한 상태와 동일하게 된다.

다음에, 방향 전환 장치(1)를 제어하는 제어 장치(20)에 대해서 설명한다. 도 6은 방향 전환 장치(1)를 제어하는 제어 장치의 블록도이다.

제어 장치(20)는, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory)을 갖는 제어부(21)와, 턴테이블(2)를 회전시키는 회전부(22)와, 제1 및 제2 반송로(3·4)를 승강시키는 승강부(23)와, 제1 및 제2 반송로(3·4)의 롤러(3a·4a)를 회전시키는 롤러 구동부(24)와, FOUP(5)가 턴테이블(2)에 적재된 것을 검지하는 센서(25)를 구비하고 있다.

제어부(21)의 CPU는 ROM 등에 저장되는 도 7에 도시하는 데이터 테이블이나 프로그램을 실행함으로써, 도 8에 도시하는 처리 루틴을 실행하여, 회전부(22)나 승강부(23), 롤러 구동부(24)를 제어하도록 되어 있다.

도 7에 도시하는 데이터 테이블은 FOUP(5)를 제1 반송 레일(16)로부터 제3 반송 레일(18)에 반송할 때에 사용되는 테이블로서, 회전 각도란과, 모드란과, FOUP란과, 롤러 회전 방향란과, 상하 위치란을 갖고 있다. 회전 각도란에는 턴테이블(2)의 회전 각도 0˚, 90˚, 180˚, 270˚가 저장되어 있다. 본 실시예에서, 회전 각도는 제1 반송로(3)의 회전을 기준으로 하고, 도 1a에서 설명한 제1 반송로(3)가 제1 반송 레일(16) 및 제2 반송 레일(17)과 일직선으로 되는 상태를 「0˚」라고 한다.

모드란에는 반출 모드와 반입 모드가 저장되어 있다. 반출 모드는 턴테이블(2)로부터 제3 반송 레일(18)에 FOUP(5)를 반출할 때의 모드이고, 반입 모드는 제1 반송 레일(16)로부터 턴테이블(2)에 FOUP(5)를 반입할 때의 모드이다.

FOUP란에는 「없음」,「있음」이 저장되어 있다. 「없음」인 경우, 턴테이블(2)상에 FOUP(5)가 적재되어 있지 않은 상태이며, 「있음」인 경우, 턴테이블(2)상에 FOUP(5)가 적재된 경우이다. 보다 구체적으로는, 본 실시예에서는 FOUP(5)가 제1 반송 레일(16)로부터 턴테이블(2)의 대략 중심까지 이동하면 센서(25)가 그것을 검지하고, FOUP(5)가 「없음」인 상태로부터 「있음」인 상태로 된다. 또한, FOUP(5)가 턴테이블(2)로부터 제3 반송 레일(18)로 반출되면, FOUP(5)가 「있음」인 상태로부터 「없음」인 상태로 된다.

롤러 회전 방향란은, 제1 반송로란 및 제2 반송로란으로 구분되고, 턴테이블(2)의 회전 각도에 대응하는 롤러(3a) 또는 롤러(4a)의 회전 방향이 저장되어 있다. 또한, 회전 각도가 「0˚」인 경우에 있어서, FOUP(5)를 제1 반송 레일(16)로 부터 제2 반송 레일(17) 방향으로 반송시키도록 회전하는 방향을 롤러(3a)의 「정」방향으로 한다. 즉, 회전 각도가 「180˚」인 경우에는, 롤러(3a)의 회전 방향을 「역」으로 함으로써, 회전 각도가 「0˚」인 경우에 롤러의 회전 방향을 「정」이라고 한 경우와 같은 방향으로 FOUP(5)를 반송할 수 있게 된다. 또한, 회전 각도가 「90˚」인 경우에 있어서, FOUP(5)를 제1 반송 레일(16)로부터 제2 반송 레일(17) 방향으로 반송시키도록 회전하는 방향을 롤러(4a)의 「정」방향으로 한다. 또한, 테이블 중의 「-」는 롤러를 회전시키지 않는 것을 의미한다. 추가로 후술하지만, 턴테이블(2)의 회전중에는 롤러(3a·4a)는 회전하지 않게 되어 있다.

상하 위치란은, 제1 반송로란 및 제2 반송로란으로 구분되고, 턴테이블(2)의 회전 각도에 있어서의 제1 반송로(3)와 제2 반송로(4)의 위치가 저장되어 있다. 여기서, 위치가 「상」이란, 롤러(3a) 또는 롤러(4a)가 반송 레일(16·17·18)의 롤러(13)의 높이와 동일한 위치로 되는 상태이며, 「하」란, 롤러(3a) 또는 롤러(4a)가 「상」에 있는 롤러(3a) 또는 롤러(4a)로부터 돌출하지 않는 위치로 되는 상태를 말한다. 예컨대 회전 각도가 「0˚」이고, FOUP가 「없음」인 상태인 경우, 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)의 위치 관계는 제1 반송로(3)가 「상」의 위치, 제2 반송로(4)가 「하」의 위치로 되는 상태가 된다.

(제어 장치의 동작)

다음에, 제1 반송 레일(16)의 FOUP(5)를 제3 반송 레일(18)에 진입시키는 경우의 방향 전환 장치(1)의 제어 장치의 동작에 대해서 설명한다.

도 8에 도시하는 방향 전환 처리 루틴에 있어서, 우선 제1 반송로(3)를 기준 으로 하고, 턴테이블(2)의 회전 각도를 취득한다(S1). 그리고 취득한 회전 각도 및 도 7의 데이터 테이블에 기초하여, 반송로의 롤러를 구동한다(S2). 구체적으로는 회전 각도가 「0˚」이고, 모드가 「반입 모드」인 경우, 제1 반송로(3)의 롤러(3a)를 정방향으로 회전시킨다. 또한, 이 때 제2 반송로(4)의 롤러(4a)는 회전하지 않는다.

다음에, 턴테이블(2)에 FOUP(5)가 적재되어 있는지의 여부를 판정한다(S3). 구체적으로는, FOUP(5)가 제1 반송 레일(16)로부터 제1 반송로(3)의 중앙까지 진입하였는지의 여부를 판정한다. FOUP(5)가 적재되어 있지 않은 경우(S3:NO), S3을 반복한다. FOUP(5)가 적재된 경우(S3:YES), 롤러(3a)의 회전을 정지하는 동시에(S4), 턴테이블(2)을 대략 90˚ 회전시킨다(S5). 또한, 이때 FOUP(5)가 제1 반송로(3)를 이동하면서 턴테이블을 회전하도록 하여도 좋다.

그리고, 턴테이블(2)이 90˚ 회전하고, 제1 반송로(3)가 제3 반송 레일(18)과 일직선이 된 후, 다시 롤러(3a)를 회전시킨다(S6). 계속해서, 턴테이블(2)에 FOUP(5)가 적재되어 있지 않은지의 여부를 판정한다(S7). 즉, 제1 반송로(3)상의 FOUP(5)가 제3 반송 레일(18)로 배출되었는지의 여부를 판정한다. FOUP(5)가 적재되어 있는 경우(S7:NO), S7을 반복한다. FOUP(5)가 적재되어 있지 않은 경우(S7:YES), 롤러(3a)의 회전을 정지하고(S8), 제1 반송로(3)를 하강시키는 동시에, 제2 반송로(4)를 상승시키며, 제1 반송로(3) 및 제2 반송로(4)의 높이의 위치를 교체한다(S9). 그 후, S1에 복귀하고, 상기 동작을 반복한다.

(본 실시예의 개요)

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 있어서, FOUP(5)를 반송하는 제1 반송 레일(16)로부터 배출된 FOUP(5)를 방향 전환하는 방향 전환 장치에 있어서, 동일한 길이를 가지며, 어느 한쪽이 제1 반송 레일(16)과 동일한 높이이고, 다른 쪽이 상기 한쪽보다 아래쪽에 배치되면서, 서로 수직이며, 2개의 중점이 동일 수직선상에 위치하도록 배치되고, FOUP(5)를 반송하는 직선형의 제1 및 제2 반송로(3·4)와, 중점을 중심으로 제1 및 제2 반송로(3·4)를 동시에 회전시키는 턴테이블(2) 및 회전부(22)와, 제1 및 제2 반송로(3·4)를 수직 방향으로 이동시키는 승강부(23)와 제1 반송 레일(16)로부터 FOUP(5)가 제1 반송 레일(16)과 동일한 높이의 반송로에 배출되면 제1 및 제2 반송로(3·4)를 대략 90˚ 회전시키고, FOUP(5)를 반송로 외에 반출한 후, 제1 및 제2 반송로(3·4)의 수직 방향의 위치를 교체하도록 제어하는 제어부(21)를 구비한 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, FOUP(5)를 방향 전환하여 반출한 후, 단시간에 다음 FOUP(5)를 방향 전환시키는 준비를 행할 수 있다. 구체적으로는, 제1 반송로(3)를 제1 반송 레일(16)의 높이와 일치시키는 동시에, 제2 반송로(4)를 제1 반송로와 수직으로 제1 반송로(3)보다 아래쪽에 배치해 둠으로써, 제2 반송로(4)가 방해되지 않고 제1 반송 레일(16)의 FOUP(5)를 제1 반송로(3)에 배출할 수 있게 되어 있다. 그리고 제1 반송 레일(16)로부터 제1 반송로(3)로 FOUP(5)가 배출되면 제1 및 제2 반송로(3·4)를 대략 90˚ 회전시킴으로써, FOUP(5)를 90˚ 방향 전환할 수 있다. 그리고 제1 반송로(3)로부터 FOUP(5)를 반출한 후에, 제1 및 제2 반송로(3·4)의 수직 방향의 위치를 교체함으로써, 제1 반송 레일(16)의 FOUP(5)를 제2 반송로(4) 에 배출할 수 있게 된다.

즉, 회전부에 반송로를 하나만 설치한 경우, 반송로를 회전시키고, FOUP(5)를 반출한 후에, 그 반송로를 다시 제1 반송 레일(16)로부터 FOUP(5)를 수용할 수 있는 위치까지 회전시켜야 하지만, 전술한 바와 같이 2개의 반송로의 수직 방향의 위치를 교체하도록 함으로써, 낭비되는 시간을 단축할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1 반송 레일(16)과, 제1 및 제2 반송로(3·4)는 양측을 따라 회전 가능한 복수의 롤러(3a·4a)를 구비하고, 롤러 상에 적재된 FOUP(5)를 롤러의 회전에 의해 반송하는 구성으로 되어 있다.

이 구성에 의하면, 제1 반송 레일(16) 및 반송로의 양측을 따라 설치되어 있는 롤러의 회전에 의해 FOUP(5)가 반송되도록 되어 있기 때문에 FOUP(5)의 방향이 흐트러지지 않게 FOUP(5)를 반송할 수 있다.

(변형예)

본 발명은 전술한 바람직한 실시예에 기재되어 있지만, 본 발명은 그러한 실시예로만 제한되어 있지 않다. 본 발명의 취지와 범위로부터 일탈하지 않는 여러 가지 실시예를 다양하게 구현할 수 있는 것으로 이해된다. 또한, 본 실시예에 있어서, 본 발명의 구성에 의한 작용 및 효과를 진술하고 있지만, 이들 작용 및 효과는 일례이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니다.

예컨대, 본 실시예에서는 FOUP(5)가 제1 반송로(3)에 적재되면 제1 반송로(3)의 롤러(3a)의 회전을 정지하고, 턴테이블(2)을 회전시키고 있지만, FOUP(5)를 반송하면서 턴테이블(2)을 회전하도록 하여도 좋다. 이 경우, 제1 반송로(3) 상 의 FOUP(5)를 정지시키지 않고, 제1 반송 레일(16)로부터 제3 반송 레일(18)에 반송할 수 있기 때문에 방향 전환에 요구되는 시간을 더욱 단축할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 방향 전환 장치(1)를 삼방 「T 자형」교차부에 배치한 경우에 대해서 설명하였지만, 전술한 바와 같이 이에 한정되지 않고 2개 이상의 반송 레일을 교차하는 위치에 설치할 수 있다.

또한, 방향 전환 장치(1) 상에 있어서, FOUP(5)를 롤러(3a·4a)의 회전에 의해 반송하도록 하고 있지만, 예컨대 벨트 컨베이어에 의해 반송하여도 좋고, 그러한 반송 방법은 전술한 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명에 따르면, 반송 시간을 단축할 수 있는 방향 전환 장치를 제공할 수 있다.

Claims

반송 레일로부터 반출된 워크의 반송 반향을 전환하는 방향 전환 장치에 있어서,

직선 형상을 갖고, 서로 수직으로 교차하도록 배치되며, 중점(中點)이 동일 수직선상에 위치하도록 배치되는 제1 및 제2 반송로와,

상기 중점을 중심으로 상기 제1 및 제2 반송로를 회전시키는 회전부와,

상기 제1 및 제2 반송로를 수직 방향으로 승강시키는 승강부와,

제어 유닛을 포함하며,

상기 제1 및 제2 반송로 중 하나의 반송로의 수직 위치는 반송 레일의 수직 위치와 동일하고, 상기 제1 및 제2 반송로 중 다른 하나는 상기 하나의 반송로의 수직 위치보다 아래에 있고,

상기 제어 유닛은,

워크를 반송 레일로부터, 제1 및 제2 반송로 중에서 반송 레일의 수직 위치와 동일한 수직 위치에 있는 하나의 반송로에 반송하고, 상기 제1 및 제2 반송로를 대략 90˚ 회전시키고, 상기 워크를 상기 제1 및 제2 반송로 중 하나로부터 반출하고, 상기 제1 및 제2 반송로의 수직 위치를 서로 교체하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 장치.
제1항에 있어서, 상기 반송 레일과, 상기 제1 및 제2 반송로는 양측을 따라 복수의 롤러를 포함하고, 상기 롤러 상에 적재된 워크를 상기 롤러의 회전에 의해 반송하는 것을 특징으로 하는 방향 전환 장치.