TW200808632A - Direction change device - Google Patents

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200808632 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種變向裝置，該裝置改變一物件的運 送方向。 【先前技術】 ^作為被使用在半導體製造、液晶製造、工廠自動化（fa) 等中的變向機構’以揭示於曰本專利待審公開案 JP-T-2003-506289中的輸送系統為範例。在揭示於 JPH003-506289的輸送系統中，旋轉輪被設置成為自 一對執道之上部表面突出，且藉由輪子之旋轉，被放在輪 子上的物件沿該軌道而被輸送。此外，在 \P-T-2003-506289中，於被設置成為互相垂直之執道中， 提ί、改父物件方向之導向驅動軌。此導向驅動執係被設置 成為旋轉在二互相垂直裝設的執道之間，且可藉由旋轉被 放在該輪子上之物件而改變該物件的方向。 但，依據JP-T-2003-506289,當物件的方向被改變時， 一旦變向作業終止，來自輸送軌的新進物件便無法改變盆 方向，直到導向驅動執旋轉且回至初始定位為止。其結 ，，因為該導向驅動執需要在每次方向改變後回復至初始 疋位’該物件在等待時間時便無法被輸送。 【發明内容】 本發明的一觀點之優點係其提供—種可縮短改 的變向裝置。 间 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96_05/96K)5453 200808632 $達成前述優點，依據本發明的_觀點，提供一 Ξι r 括變向裝置改變自—輸送軌所運出的工件之輪送 料與第二輸送料，其具有直㈣狀，且被 =成為可以-直角互相交又，且其中點係位在相同直立 輸送2早位，繞者該中點而旋轉該第—輪送通路與第二 輪送在直立方向上昇降該第—輸送通路與第二 一控制單位， ΐ:、’/第—輸送通路與第二輸送通路其中之—的直立位 二幹Ί計成相同於該輸送m第—輸送通路與第 的ί:另一者係被設計成低於該第-輸送通 吩/、弟一輸达通路該其中之一，以及 该控制單位控制使得： 自該輸送執運入該工株 直立位晋牛至直立位置相同於該輸送軌之 Α置的5亥弟一輸送通路與第二輸送通路其中之一， 旋轉=第一輸送通路與第二輸送通路大約9、〇度； 件自=一輸送通路與第二輸送通路其中之:運出工 = 一輸送通路與第二輸送通路的直立位置。 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96舊96105453 下一工件可：’士在工件之方向被改變以運出工件之後， 下件了在短時間内準備好其變向。精確言之，藉由等 200808632 化弟-輸送通路與輸送執的直立位置、 第二輸送通料設成低於第-輸送通路，2位置上將 件便可被運出至第一於 在輸运執上的工 路。此外’當工件自該輸送執被運出至第—二:徐二通 藉由以大約㈣产旌鐘楚一认、… 弟輪廷通路時， 工件的輸送方向便可被…路與第二輪送通路，該 個別直立位置，路與第二輸送通路之 路。 f輪达執上的工件便可被運出至第二輸送通 即為，當僅有—輸送通路被提供在旋轉單位 件自輸送通路被移出之後，其、在工 可接收來自於、其^ , 场動輸迗通路回復至其 換二輸送通路的個別直立位置，可縮短閒置時間。由乂 此外，依據本發明之第二觀點，如本發明的第 述，，輸送執及第一輸送通路與第::二= 複數個沿著其兩侧而設置的滾輪，以及 /、 送被放置在該等滾輪上的工件係藉由滾輪之旋轉而被輸 因而’被放置在該滾輪上的工件可藉由該滾 被輸送。 知而 在此-組態中，因為工件係藉由輸送執及沿著輸送通路 兩側而設置的滾輪之旋轉而被輸送，所以，工件可於 送，而不會中斷該工件的輸送方向。 雨 【實施方式】 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 200808632 於後，將參考圖式描述適合於本發明之且麟 例之變向裝置可適合地被應用於一輸送系統：系：：： ^一最終產品的步驟之間或其—步驟中可沿輪送軌^ -物件，同時’由例如製造半導體產品之設備加工：： 件。於下將說明輸送諸如半導體基板、供液晶顯示哭用X =反、供光掩模用之玻璃基板、供製造一物二 用之基板、及半導體的物件之輸送系統。但， 寒 不限於該等物件，而可被應用於所有型式之輸送電=士 = 零件：機械零件、化學產品、食品、紙類等的 ：。 半導體係指涉被保存在例如示於圖5之被稱曰、_ :的卡E中之複數個半導體晶圓（未‘圖貝，。 庸係具有二個修整部份的大約為立方體之形狀 體在卡E單位中被輸送，且在於下說明之每一 置 1 5中執行預定的加工程序。 如=於圖4,此輸送系統具有複數個加卫裝置15、輸送 0UP 5至每一加工裝置15的輸送執1〇、一變向裝置^、 及-控制整體輸送系統的控制裝置（未示於圖）。此輸送 ⑽具有包含複數個加工裝置15的複數個機架，且，當 一機架中的加工終止時，F0UP 5便被輸送至下一機架。田 衣置15包含一個用以在一晶圓上形成薄膜的裝 置、-個用以清潔、調整、及測量晶圓的裝置、及一個用 以儲存晶圓的裝置（所謂的「立倉」（stocker))等。每 一加工裝置15在人卩與出π處具有運送D 15a。被輸送 在輸送執10上的F0UP5係藉由運送口❿而被嵌入，以 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 9 200808632 將所接收的半導㈣人加卫裝置内，<，—加工半導 儲存在F0UP 5中，而將被或可被運出至輸送執1〇。 輸送執10係一條將F〇up 5自加工裝置15輸送至另一 加工I置15或下一機架的執道。例如示於圖5，輸送執 1〇具有藉由一寬度所分開以便支承該F〇up 5的下 之一對執11與12、及自執11盥Pm— 、 汉目趴丄丄興12的每一上部表面突出 的複數個滾輪13。滾輪13係以近乎相等的間距沿著軌“ 與12的長度方向被裝設，並以規則方向旋轉。被置於 輪13上之聊5係藉由該等滾輪13的旋轉，而移動在又 該滾輪13之旋轉方向上。 此外，用以驅動滾輪13的驅動馬達在每一機架十獨立 地操作。在此-組態中’由於滾輪13的旋轉速率在每— 機架中被改變，故可改變輸送F〇up 5的輸送速率。即為， 根據在每一加工步驟中的機架之加工時間變化，可改變 卿P 5的輸送速率。3，當許多刚P5被輸送在下 木中哙，藉由降低滾輪13的旋轉速率，亦可降低仰$ 的輸送速率’在下—機架巾可降低刚p 5的輸送數目， 因而，預防過多之F0UP 5被置於該機架中。 =送執10(未示於圖）之軌n與12 f要沿著輸送執 的邊緣向前地突出。該等突出部份係作用為—輸送導 件，且，此一輸送導件可預防被輸送的FOUP 5於水平太 向中被分開。 、 變向裝置1係一個用以改變騰5之輸送方向的裝 置。如示於圖4，變向裝置！被設置在一交又部位中，‘ 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 ι〇 200808632 中有二或更多條輸送執10交叉於該部位，以改變F〇up 5 的輸送方向。此交又部位可以是一個具有四方向的十字部 位、具有三方向之「T-型」交叉、直立交叉部位、或輪^ 軌或更多輸送方向係互相垂直地形成的交叉部位。如示於 圖1，被裝設在三方向「τ-型」交又上之變向裝置1，其 具有將於後說明的第一輸送軌16、第二輸送軌17、及第 三輸送轨18。精確言之，構成該三方向「τ—型」交又之 第一輸送執16及第二輸送執17被裝設在一直線上，第三 輸送軌18被裝設成垂直於第一輸送執16及第：輸^ 17，且，變向裝置丨被裝設在此三條輸送執16、17及18 的^部份上。輸送軌16與17在圖式的向上方向上輸送 —，且，輸达軌18在圖式的向左方向上輸送F〇up 5。 斤如示於圖卜變向裝置！具有一轉盤2(旋轉單位），且， 弟一輸送通路3與第二輸送通路4被設置在轉盤2上，且 :俯視圖於十字部位中互相交叉。轉盤2具有大約為圓筒 且其中絲線係作用為—旋轉軸線，以便在規 仏0(圖式中之前碩方向）中以90度間距旋轉。第一 2通路3在直線上具有複數個成對之滾輪％，㈣等 =係以相等於被設置在輸送執1()之軌n與Μ上的滾 ”度之寬度被分開。放置在滾輪3a上的_p 旋轉而被輸送。此外，類似於第一輸 Π3’第二輸送通路4在直線上具有複數個丄： 輪第-輸送通路3 =對之滾 中赫屐敗 、 ”弟一輸达通路4可在直立方向 且，滾輪3a與4a被設置成為在被昇降時不會 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 200808632 互相接觸。 在十字部位交又之第一仏、、，1 ^ 萝执弟輪迗通路3與第二輸送通路4被 衣5又成使其父又點與轉盤2 ^ 之，第-輸送通路3盘第，、、,=、泉壬一致。更精確§ ^ …弟一輪迗通路4具有相同長度，且 第一輸送通路3 M 絲線相—致。即為， 另，被設置在轉般2上·; 其中央點上旋轉。 t ^ . 的弟一輸迗通路3係被裝設成使得 通路3與第—輸送執16及第二輸送執1?位在相 二吉ί/且弟二輸送通路4係與第三輸送執18位在相 σ、水上。依此，當轉盤2旋轉大約9 通路3便位在盥第二輪详鲇1β 4 η 又才弟釉达 、、，、 、弟一輸达執18相同的直線上，而第二輸 送通路4則位在血第一給译鉍】 # .. ，、弟輸达執16及弟二輸送執17相同的 直=上。重覆地，當轉盤2旋轉9G度時，第—輸送 1再二人而ΐ與第—輸送執16及第二輸送軌π在相同的直線 ’而弟-輸达通路4則與第三輸送執18位在 線上。 且 滚輪3a與4a可前向或逆向地旋轉。依此，即使卷 ，送料3與第二輸送通路4旋轉且因而其方向成:逆向 k，猎由滚輪3a及4a在逆向方向令旋轉，_ρ 被輸送在規則方向中。 此外，滾輪3a與4a具有用以在其中保持F〇up 5 ( 示於圖^的圓筒形保持單位、及直徑大於保持單位的圓^ 形邊緣單位。#刚p 5被放置於將被輸送的—移動單: 上時，直徑大於保持單位的圓筒形邊緣單位作用曾 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 12 200808632 件’因而’該導件可預防F_ 5被分開。 藤^於^外側供應電力至—被安裝在變向裝置中且可被 之予於弋扞从 連及負貝驅動弟一與弟二輸送通路 滚輪或㈣—昇降單位的電 非接觸動力谁於t 1 j使用老如 # * m ^ /绢裱方法等已知的方法，如果需 要，可使用應用電池的方法。 衣而 通：1=明在可旋轉與移動的變向裝置1之第-輪送 ^ ，、弟一輸迗通路4之間的位置關係。 當一輸送“開料時，在示 16與第二輪送執]7形士成 口 at之弟輸达執 路3的 /成為一直線的位置中，第一輸送通 與17的^相同於示於圖3A與3B中之輸送執16 輸送、兩路Υ13的南度。第二輸送通路4係被裝設在第一 :。、二古：方，:吏得諸滾輪4a可自第一輸送通路3突 "’由第一輸送執16所輪送的F0UP 5可經由 二一輸运通路3被輸送至第二輸送執17 輸送通路4中斷。 个㈢板弟一 二:當：―輸送執16上的F〇up5被輸送至輸送方 =νΐ送軌16之輸送方向的第三輸送軌18時， =^圖1Β所示而旋轉。順序地，轉盤2以大約90度 2二二後，如示於圖2“戈3C，其上被放置有_ρ5 的弟-輸达通路3係與第三輸送軌1δ位在一直線中。以 ΓΑ式，第—輸送通路3上的侧Ρ 5可進人第三輸送軌 18内。 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96-〇5/96ΐ〇5453 13 200808632 送通路3與第三輪送執18位在一直線中時， 直於第一輸送通路3的第二輸送通路4係與第 一 及第二輸送轨17位在一直線中。依此，在第 第-輪送通路3下降而第二^ #轨18内，然後， &的高度相同於滾輪13為：：:=3直到諸滾輪 彳山# 參亏圖2B與3D。以此方

i通二可被運出至第二輸 所述。 、 夂σ衣置1之組態係相同於圖1A 二說明控制變向裝置1的控制裝置2。。圖6 係L向裝置1的控制裝置20之方塊圖。 控制裝置20包含：一個且右 讀記憶體⑽)、及隨機二:=(cpu)、唯 個用以旋轉該轉盤2的旋f;:R ).的控制單位 降第-輸送通路3與第二輸 22，-個用以昇 個用以旋轉第一輸送通路二的：降單緣-與4a的滾輪驅動部位24 ;及路4之滾輪3a 否被放置在轉盤2上的感測器25。肖以偵測賺5是 控制單位21的CPU執行示於圖？ 在_中的程式，以執行示於圖8 貝4表或一儲存 控制旋轉單位22、昇降單位23 鉍口工排程’然後， 示於圖7中之資料表係在當_ρ5γ,動單位. 運出至第三輸送執18時所使用，且自弟—輸送執16被 一模式行、- _Ρ行、袞於 ^有—旋轉角度行、 312ΧΡ/發明說明書(補件)/96_〇5/961〇5453 滚輪之疑轉方向行、及一上部 200808632 與下部位置行。在旋轉角度行中 度，即〇度、90度、盤2之旋轉角 根據如示於圖U之第一輸送 通路3 …第二輸送執η位在—直V上: 旋轉角度係為〇度。 在此具脰例中的 在模式行中，表示出運出模式及 當F0UP 5自轉盤2被輸送至第二幹 、^ 出模式係 〜土乐一翰达軌18暗的描4 運入模式則係當F0UP 5自第—冑 '式，而 時之模式。 翰运執16被輸送至轉盤2 在F0UP行中’表示出「不存在」及 「 係表示F0UP 5未被放置於轉般2 %「/。不存在」 Τ被放置於轉盤2上。二確言 輸送至在本具體例中之轉 = 不存在」被改變為「存在」。此外，卷 /心自 被輸送至第三輸送執18時，刚P5的：能UP「5自轉盤2 改變為「不存在」。 心自存在」被 滾輪之旋轉方向行被分隔為 送通路行，且m η 輪运通路行與第二輸 ^# _ ι a或4a的旋轉方向係對應於轉般2 而表不。當旋轉角度為「0度」時 、轉现2 自第一鈐择紅^ β认 傲万疋轉成使得F0UP 5 輸k執16輸送至第二輸送執 滾輪知的「前向」方向。即為，當旋轉的角方:’破:作為 時’滾輪3a的旋轉方向被稱作為「逆向」。依者〇度」 角度係「。度」時，_5以相同於滚輪在、向：：： 312XP/發明說明書(補件)/96_〇5/961〇5453 15 200808632 被旋轉成:。此外’當旋轉角度係「90产日士 皮#成使得_ρ5自第一輸送執上 度」—， #的方向’被稱作為滾輪4&的「前向、弟-輪送軌 付旒「~」代表滾輪不旋_。如 °」向。在表中的 轉之時’滾輪3a“不；轉。之况明中’在轉盤2旋 上部與下部位置行被分 =路行，且，在㈣與第二輸 3a與4a的高度係相 不上。卩」代表滾輪 13的位置，而「下邱輪达通路16、17、及Μ之滾輪 上的滾輪如或袞輪知與“未自「上部」 度」且_係在「不:：V?’當旋轉角度為「〇 二輸送通路4之間的位置關」係：，在第：輸：通路3與第 在「上部」位置，而第二輸送通路兄:則弟-^ (控制裝置的作業） 則在下°卩」位置。 ^送^^將況明虽在第—輪送軌^上的剛以進入第 一輸运軌18内時，變向褒置！的作業。 弟 - ί::; 方向改變的處理程序中，首先，根據第 取的旋#*自痄又取轉盤2的旋轉角度（S1)。根據所獲 取的％轉角度及圖7之眘 ^ ⑶）。精確t之，^，—輸送料之滾輪被驅動 出模戈日士 田疋轉角度為「0度」且模式係「運 通路3之滾輪3a前向地旋轉。於 此I兄’弟二輸送通路4之滾輪4a不旋轉。 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 接下來，判定F0UP5是否被放置在轉盤2上（S3)。精 16 200808632 =’判定_Ρ5是否自第一輸送軌i6進入第一輸送 ^ 之中心。當F0UP 5未被放在轉盤上時（S3:否）， 的趙U當_5被放在轉盤上時（S3:是），滾輪3a 止（S4〕’且轉盤2旋轉大約9〇度（S5 ；)。於 !、ΐί、、,虽轉盤旋轉之同時，F〇UP5可在第-輸送通路3 上被輸送。 ，序=’藉由以9〇度旋轉轉盤2，在滾輪3&再次旋轉 ，别’弟-輪送通路3係與第三輸送轨18位在—直線上 p A )。連績地，判定瓣5是否放在轉盤2上（S7)。 P為於判定在第—輸送通路3上的刚p 5是否被輸送至 弟二輸达執18。當F0UP 5被放在轉盤2上時（s7 ， S7被重覆。當贿5未放在轉盤2上時⑶:是 的=則停止（S8)，且，第一輸送通路3下降而第二輸 以互相交換第一輸送通路3與第二輸送通 、同又位置（S9)。而後，前述作業自S1被重覆。 (本具體例之概論） 如前所述’變向裝置1改變自用以輸送F_ 5的第一 輸送執16所運出的肅5之輸送方向，此變向裝置包 含：具有直線形及相同長度的第一輸送通路3與第二輸送 通路4,其中，該輸送通路其令之―被農設在相同於第一 輸送執16的直立位置處’而另一輸送通路則被褒設在低 於該輸达通路之位置處，並以直角互相交又，使得其 點位在㈣的直立線上，㈣沿著輸送料讀送、腑 5, 一旋轉早位22,繞著_點而旋轉第一輸送通路3與第 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 17 200808632 —輸送通路4· e &

送通路3與第二:幵次單位23，在直立方向上昇降第-輸 5自輸送執及’—控制單位2卜當_P 位置處的輪送::衣::::同:产第：=執16之直立 與第二輸送通路4,致 =轉弟一輸送通路3 交換第-輸送通路3二=二:送通路被移出，且 於此'组態中，在;二一5 之後，下一個FOliP ς 方向被改變以移出_P 5 精確言之，，由:化/在短時間中準備好改變其方向。 高度、且在第3與第一輸送執心 裝設第二輸送通路4，第一於弟一輸送通路3而 至弟一輸送通路3，而不會㈣二 破t出 =由;Π 9〇度旋轉第一輸送通路3與第二輸送通：： ^ 〇UP 5上的方向可被改變90度。在F0UP 5 •輸送通路3被運出之後，藉由互相改變第一輪送通路= 弟一輸运通路4之直立方向的位置，第一輸送執 卯 5可被移出至第二輸送通路4。 此 即為，當僅有一條輸送通路被設置在旋轉單位中栌， F0UP 5藉由旋轉輸送通路而被移出，然後，需要將关 通路自第一輸送執16旋轉至可讓F0UP 5被運出的位 但，如前所述，藉由交換二條輸送通路的直立方向之位 置，可縮短閒置時間。 此外，本發明之第一輸送執16及第一輪送通路3與第 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 18 200808632 :二运通路4具有複數個滾輪知與 ;輸送通路的兩側而旋轉，且可藉由滾二：滾：可沿 在該滾輪上之F〇up 5。 田展輪的旋轉而輪送放 在此一組態中，由於F〇 著輸送通路的兩側而設置之评 輸送軌“及沿 F0UP 5可不中斷編 輪的疑轉而被輸送，所以， J不中断F〇UP 5方向地被輸送。 (修改具體例） 已說明本發明之前述較佳具體 述之具體例。本發明可以多種形式被所 明之要旨。另，依據具體例，本發明… ::述於所’但該作業與優點僅為範例，且本發明並= 二第依據於本具體例’當暦5被放在第-輸送通路 車* _ 5被輸达之同時’轉盤2仍可以旋 ί - η::因為_Ρ5可自第—輸送軌16被輸送至 弟二輸达軌18而無須停止第一輸送通路3上之驗5， :以：可更縮短變向所需之時間。此外，已說明之變向裝 1係被裝設在三侧「T-型」交又中，但，變向裝置1並 不限於前述之交叉，而可被設置在二或更多個輸 之位置上。 此外，在變向裝置i中，聊5係藉由滾輪3&與4a 的旋轉而被輸送，但，仍可例如由傳送帶加以輸送。另， 輸送F0UP 5的方法並不限於前述具體例。 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 19 200808632 【圖式簡單說明】 圖1A與1B為本發明具體例的變向裝置之示意俯視圖。 圖2A與2B為此具體例的變向裝置之示意俯視圖。 圖3A至3D為此具體例的變向裝置之示意侧視圖。 圖4係此具體例的輸送系統之局部示意圖。 圖5係被使用在圖4的輸送系統中之輸送執的示意圖。 圖6係此種變向裝置之方塊圖。 圖7係顯示一資料表的圖式。 圖8係顯示供變向作業用之加工排程的流程圖。 【主要元件符號說明】 1 變向裝置 2 轉盤 3 弟一輸送通路 3a 滚輪 4 第二輸送通路 4a 滾輪 5 晶圓傳送盒（F 10 輸送執 11 軌 12 執 13 滾輪 15 加工裝置 15a 運送口 16 (弟一）輸送執 312xp/發明說明書(補件)/96-05/96105453 20 200808632 17 (第二）輸送軌 18 (第三）輸送軌 20 控制裝置 21 控制單位 22 旋轉單位；旋轉部位 23 昇降單位 24 滾輪驅動單位；滾輪驅動部位 25 感測器

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Claims (1)

1. 200808632 十、申請專利範圍： 上=:=變向裝置改變自-輸送—的 料與第二料料，其具有直線 =成為可《-以互相交又，且其+點係位在相同直^ 繞著該中點而旋轉該第一輸送通路與第二 在直立方向上昇降該第一輸送通路與第二 一旋轉單位 輸送通路； 一昇降單位 輸送通路；及 一控制單位， /、中，忒第一輸送通路與第二輸送通路其中之一 :置：被設計成相同於該輸送執，且，該第一輸送通路* 弟一輸送通路的其中另-者係被設計成低於該第一輸送、 通路與第二輸送通路該其中之一，以及 輸达 該控制單位控制使得： 自該輸送軌運入該工件& 午至直立位置相同於該輪送軌之 ♦位置的該第一輸送通路與第二輪送通路其中之一； 旋轉該第—輸送通路與第二輸送通路大約90度；， 自該第一輸送通路與第二輸送通路其中之一運& 件；以及 互相交換㈣-輸送通路與第二輸送通路的直立位置。 =中請專利第丨項之變向裝置，其中，該輸送執 及该弟-輸送通路與第二輸送通路具有沿其兩侧而設置 312XP/發明說明書(補件)/96-05/96105453 22 200808632 的複數個滾輪，以及 被放置在該等滾輪上的工件係藉由該滚輪之旋轉而被 輸送。

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