1295269 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關在TFT(薄膜電晶體）、LCD(液晶顯示 器）、PDP(電漿顯示板）、el(電致發光）元件等之製程中， 基板的貯存部（例如自動倉庫）與生產線之間的玻璃基板等 之搬送系統。 【先前技術】 習知’在LCD的生產線例如名虫刻、光阻等之生產線中， 籲所謂逐片式的搬送系統，係將各種搬送系統設置於自動倉 庫與生產線側之間，俾將玻璃基板從以多層狀收容玻璃基 板的匣之貯存部（自動倉庫，堆高式起重機）搬送到生產線 側，另外，將在生產線處理結束的玻璃基板搬送到該自動 倉庫側。 /就該搬送系統而言，例如提案有專利文獻1所示之搬 送系統。該搬送系統，配置二台從以多層狀收容玻璃基板 的E以逐片送出基板的基板逐片送出裝置，並配置運行式 基板輸送機，該運行式基板輸送機接受從各送出裝置送出 的基板，並使基板滑動到處理裝置的中心。另外具備具 升降功能升降式基板輸送機，用以從 ^ .具 / 延仃式基板輸送機接 受基板，並將搬送高度切換爲上下_ Γ 一 ^地進行搬送；及二 層構造且具升降功能的二層升降式基 丨牛八丞板輸送機，用以從 升降式基板輸送機接受基板，並將美纟 卫肘基板供給到處理裝置。 構成該搬送系統的基板逐片送出 衣直具有：匣升卩备嬸 構，用來將使供集中玻璃基板並暫 才肘存的匣（設有以既 1295269 定間隔將玻璃基板水平多層狀支撐的橫條）上下升降；及 基板送出輸送機，對匣進行玻璃基板之裝載/卸載。’ 又，藉由該搬送系統’將匡内的玻璃基板搬送供认到 處理裝置側、及從處理裝置侧將處理完成的破璃基板搬送 收谷到E側的動作，係將升降式基板輸送機與二層升降式 基板輸送機上下切換地進行搬送。 述構成，能以獨立的速度科進行升降式基㈣ 运機與二層料式基板輸送機之間的基板移載、及二層今 降式基板輸送機與處理裝置之間的基板移载，以高戶 的相同位置同時進行對處理裝置的基板供給與後：：板: 接受。 另外’可藉由二層升降式基板輪送機的上下層切換來 縮短從先行基板的供給結束起至後續基板的供給開始為止 的時間。因此’可滿^處理裝置的搬送條件與線的生産能 (專利文獻υ日本特開2004-284772號公報 【發明内容】 然而’在上述搬送系統中，複數台的基板逐片送出 置與升降式基板輸送機之間的基板搬送，僅係—個搬送, 徑’因此’基板逐片送出裝置侧與處理裝置側之間的基 的交出，係基板的供給與基板的时兩者的任—方，或 替地進行絲的供給與时，至少無法同時進行基板的: 給與回收。即’當從基板逐片送出裝置，透過升降式基; 輸达機與二層升降式基板輸送機朝處理裝置側搬送玻璃 1295269 板打，無法將在處理裝置側處理完成的玻璃基板搬送到基 板逐片送出裝置側。 因此，在該專利文獻1記載的搬送系統中，會損失生 產節拍時間，不得不使供給與回收兩者任一方的基板待 機’而無法提高生産效率。 另外，由於該搬送系統係單向搬送，故搬送路徑内的 基板收容密度低。 >本發明有鑒於上述問題，其目的在於提供一搬送系統， 在乂換機與生產線之㈣逐#搬送巾可同時進行玻璃基板 的交出（供給）與接受（回收），藉此，不會損失生產節拍時 間而能進行高效率搬送，並具有可按照生產線㈣期時間 來设定搬送形態的自由度。 另外，本發明的另一目的在於提供一可提高擴送路徑 内的玻瑜基板收容密度的搬送系統。 爲工實現該目的’本發明的玻璃基板等之搬送系統， 係在收谷有多層玻璃基板等工 ^ ^ τ存部、與並排設 籲置之讀。交換機之間，藉由搬送機構以ε單位搬送工 件.，在交換機與生產線之間將該工件逐片搬送，其特徵在 於· 在该交換機内配置輸送 %調疋微你對在該交換機 下升降龍進行工件的裝載或卸載，在該交換機 的：：裝載/卸載側，將交出專用輸送機(用來將工件交: 到生產線側）與接受專用輸送 .v 、俄C用來接受從生產線側排出 的工件）劃分成上下二段，而且 ^ 忒父換機的並排設置方 1295269 向以可依序進行工件交出的方式並排配置複數台，另外， 配置於該交換機内的輸送機，可對應該交出專用輸送機與 接受專用輸送機的高度而上下升降自如（請求項 對該交換機進行供給/取出之E，由於係以水平多層狀 收容玻璃基板等平板狀的工件，因此，該£例如可為：曰以 水平支撑工件之金屬線朝水平方向隔著既定間隔、平行且 朝上下方向隔著既定間隔架設之張線n;或是以底板、頂 板及柱來構成箱形，且於各柱朝箱内呈水平之橫㈣以既 定間距朝垂直方向設置之匠。又，在該匡底面形成可喪入 供裝載/卸載工件的輥式輸送機之開口。 在該交換機進行玻璃基板裝載/卸載側，係指*對交換 機插脫E側相對向冑，即與㈣搬送機構（例如堆起 重機）相反側。、 在交換機進行E交出的搬送機構，可舉例如匿層疊用 的自動倉庫之堆高式起重機、或無人台車二 送機等。 寻用叛 沿該交換機的並排設置方向以可依序進行工件交出的 方式並排配置複數台上下二段的接受專用輸送機與交出專 用輸达機係指，交換機内的輸送機與接受專用輸送機或交 出專用輸送機之間的工件交出’及並排設置複數台 用輸送機彼此間的工件交出、交出專用輸送機彼此間的工 件交出。 另外，二段式輸送機，由於如上述般可朝正交的二 向切換搬送方向’因此’以交又輥式輸送機來構成時效果 1295269 極佳。輥式輸送機的驅動方式，可係利用磁力的非接觸式 驅動方式或現在一般的接觸式輸送帶方式等。 依上述構成，藉由收容於交換機的匣上下升降、配置 於該交換機的輸送機的上下調整、及沿該交換機並排配置 的複數台上下二段式的輸送機，各交換機對基板的供給與 回收作業皆可應對。即，當完成基板的供給而使匡變空時， 則切換爲回收用的匣，交換機内的輸送機位置也可上下切 ^換，以回收收容基板。 丨該接受專用輸送機與交出專用輸送機係利用磁力的非 接觸型報式輸送機（請求項2)。 依上述構成，由於上下二段式的接受專用/交出專用輸 送機係利用磁力的非接觸型輥式輸送機，因此，可減小上 下二段的輸送機的間距（小型化），而且，非接觸式的動力 傳送不會産生灰塵，，可進行提高潔淨度的搬送，在TFT(薄 膜電晶體）、LCD(液晶顧示器）、PDP(電漿顯示板）、EL(電 致發光）7L件等之製造，對玻璃基板的搬送特別有效。而 |且，可使上下二段的輸送機高度變小，藉此，可使與此相 關的父換機的高度降低，結果，可使建築物内交換機上面 與建梁物天花板之間的匣收容空間（堆料場）擴大。 另外，忒上下二段的接受專用輸送機與交出專用輸送 機也可設置成，以框體密閉該輸送機整體，並且支撐旋轉 部的軸承部分以密封構件包覆，且在該框體内配設從該框 體的一方朝另一方使潔淨空氣流通的空氣路徑（請求項 1295269 (FF) 就心/尹空乳的供給源而言，較佳係風扇過濾單元 依上述構成，由於利用磁力的非接觸型親 以框體密閉，而且，立矜 』、機係 、 支撐該h式輸运機的旋轉部的 以樹脂成形品之资封滋彼—费 系 滑脂等之灰塵不合户 的潤 厘不曰机出到外部。又，藉由使潔 框體内從一方朝另一方冷、畜 工風在该 ^ 方/瓜通，故可實現極高水準的潔、; (潔淨級10以下）。 系讀 另外，忒上下二段的接受專用 撫外罢菇叙人 辱用輪送 ^ 口，但與該交換機對應配置相同數 (請求項4)。 了私有效 出袁用、於述構成’猎由將上下二段的接受專用輸送機與交 輸运機（交又輕式輸送機）對應於交換機設 文置（例如3:3、4:4等），故可按照交換機的狀況^ 契對應㈣受專用輸送機或^專請送機之間直接進行 工件的交出，或緩由gp署& ^μ., 由配置成—直線狀鄰接的接受專用輸逆 機或交出專用輸送機進行工件的交出等，可廣泛地對庫。、 本發明的玻璃基板等之搬送系統，依請求項】的構成， 複數台的各交換機對於工件的供給與回收皆可應對，可節 省空間地進行連續之工件的供給與回收。即，當將匿内的 工件供給到生產線側而g内變空時，則可切換爲回收用的 E，交換機内的輸送機位置也可上下切換而將工件從生產 線側回收收容龍。另外，可同時進行工件的供給、與處 理完成的工件之回收收容。 10 1295269 另卜依明求項2的構成，可減小上下二段的輸送機 的間距（小型化），而且，非接觸的動力傳送不會産生灰塵， 町進订提咼潔淨度的搬送，在TFT(薄膜電晶體）、（液 晶顯不器）、PDP(電漿顯示板）、EL(電致發光）元件等之製 造，對玻璃基板的搬送特別有效。而且，可使上下二段的 輸迗機的局度變小，故可使與此相關的交換機高度也變 低，結果，可使建築物内交換機上面與建築物天花板之間 匣收容空間（堆料場）較寬，可提高工件的收容密度（ϋ的 • 層積數）。 另外，按照第3項發明的構成，可實現極高水準的潔 淨度（潔淨級1 〇以下）。 另外，依請求項4項的構成，可按照交換機的狀況， 在與對應之接受專用輸送機或交出專用輸送機之間直接進 仃工件交出’或經由配置成一直線狀鄰接的接受專用輸送 城或父出專用輪送機進行工件的交出等，可廣泛地對應。 口此’可提供一搬送系統，可消除生産節拍時間的損失， 鲁提同生産效率，具有與生產線側的系統對應的自由度。 【實施方式】 以下’將本發明的搬送系統之實施形態之一例，根據 圖式說明昆的搬送機構爲自動倉庫（堆高式起重機）的情 形。 圖1與圖2係表示設置於潔淨室内的搬送系統之概略 圖’沿自動倉庫Α的堆高式起重機Α'以一直線狀並排配置 複數σ (圖中爲3台）交換機Bl、B2、B3，與該交換機對應 1295269 且在該交換機B1〜B3裝載處理完成的工件W，或卸载工件w 側（與堆高式起重機側相反側）並排配置二段式輸送機C1、 C2、C3，該二段式輸送機C1、C2、C3係將交出專用輸送 機與接受專用輸送機分成上下二段配置，該交出專用輸送 機將工件交出到生產線（EQ)側，該接受專用輸送機接受從 生產線側排出的處理完成的工件。在圖示的系統中，表示 直接進行一段式輸送機C1〜C3與生產線側（EQ)之間的工 件交出的狀態，但也可依生產線側的關係在該生產線側與 _二段式輸送機之間適當配置輸送機。 如圖3所示般，交換機B1〜B3從堆高式起重機A，接 受以多層狀收容玻璃基板等平板狀的工件f的張線匣F， 可將收容於該張線匣F的工件W卸載到二段式輸送機C1〜 • C3的交出專用輸送機（下層）IN1〜IN3，將處理完成的工件 W’從二段式輸送機C1〜C3的接受專甩輸送機（上層）〇υτι〜 〇UT3裝載到空的張線匣F内。 以下，根據圖式說明交換機B1〜B3,如圖3所示般， 在杧體1内收谷配置：用於承載張線匣F且上下升降的升 降早凡2、與搬送未處理的工件W或處理完成的工件Γ的 輥式輸送機3,藉由升降單元2與輕式輸送機3的動作， 可對張線S F裝載處理完成的工件w，或卸載未處理的工件 又，該輥式輸送機3，在框M】的高度方向大致中間 二置對應方、配置在後述的二段式輸送貞U〜^上層之接 文專用輸送機0UT1〜圓與配置於下層之交出專用輸送 12 1295269 機IN1〜IN3，按照其目的在裝載位置與卸載位置之間上下 移動。 框體1，如圖3所示般，具有：俯視呈大致矩形狀的 底框la、與跨設於該底框la的相對向二邊且直立固定之 門形支柱框lb，在底框la以可上下自由調整的方式安裝 腳座4,藉此，可與設置地面的傾斜與凹凸無關地水平設 置框體1。張線E F可從門形支柱框lb間的側方屆由堆高 式起重機Af的叉件供給或取出。 用以使張線匣F上下升降的升降單元2如圖3所示般， 具有：支㈣5’供承載支#張線£ F的底部；及升降駆 動部6 ’沿該門形支柱框lb的左右支柱，使該支摟框$左 右同步地上下移動。 支撐框5使用金屬製方管等形成爲俯視呈矩形，在該 支撑框5的上面固定有用以將張線g F的底部四角部固定 支撐的匣支撐部。藉此，祺綠庙p^ 張線厘F被疋位到支撐框5而稃 定地受到載置支撐。 心 #肖以使該支擇框5上下移動的升降驅動部6,如圖3 所不般，具有：安裝於該支標框5左右側邊中央上面之支 撐構件7、用以使該支擔爐 8 ^ 牛7上下升降的滾珠螺桿機構 8及朝垂直方向導引的道a v引構件（圖示省略）' 以及用來驅 動左右的滾珠螺桿機構8且作爲動力源的馬達9等。 左右的滾珠螺桿機構8盥道 所示般，垂直配置於門形^^導引構件（圖示省略）如圖3 螺合於滾珠螺桿機構8二主匡1b的左右支柱内側’在 4構8的螺桿的螺帽構件固定該支禮構件 13 1295269 的垂直邊部， 利用螺桿的旋輳，連結於導引構件的滑件。蘇 卞日]万疋轉，固定彡 /月仵。错此， 件的導引作用而朝上下7的螺帽構件藉由導_ Μ導件。 移動。作爲導弓丨構件，較佳： 另外，藉由升降驅動 降的範圍，係在對承載㈠支^作用而使支律框5上下升 行卸载的開始位置切框的張線E F的工件W進 ’且、上限位置）盥 ^
的開始位置（下限位置）之間。”、 衣载到張線匣F 對藉由該升降單元？ 工…輥式輸送機3，如圖 =Γ内的張線…不接觸的方式嵌二= 齒狀的輸送機框1〇、安# 7戚4梳 送輥η、以… 梳齒般的各直立框上部的搬 以及用來驅動旋轉各直立框的搬送輥】"走韓的 驅動源（圖示省略）。 、柷η凝轉的 字輸ϋ社框1 G構成爲梳齒狀的理由在於，對於以水 多層狀收容支樓工件W的匿的形態，當抑載張線E F内收 •容爲多層狀的工件W時與將處理完成的工# w,以多層狀裝 載到空的張線E F時，雖然張線g F藉由該升降單元上下 升降，但可不妨礙其上下升降而對工件化進行裝載/卸載。 即，使張線匣F之並排設置的金屬線f，不接觸地嵌入通過 輸送機框1 0的直立框彼此的間隙。 用來驅動旋轉配置於輸送機框1 〇上部的各搬送親1 1 旋轉的驅動部（省略圖示），係將馬達與該馬達的旋轉以利 用磁鐵的吸引/排斥的非接觸動力傳送方式傳送到各搬送 14 1295269 毹11的軸。藉此，基本上不會産生灰塵，可在潔淨的環 境下進行工件w的搬送。 又’如上述般構成的輥式輸送機3，係與配置於二段 式輸迗機C1〜C3上層的接受專用輸送機〇UT1〜〇UT3、與 配置於下層的交出專用輸送機IN1〜ΙΝ3的高度對應，並 藉由輸送機升降單元12上下移動。 輸运機升降單元12如圖3所示般，係由支撐輸送機框 ίο的底部四部位的曲臂12a、與使該四部位的曲臂i2a旋 轉且具齒輪箱的升降用馬達12b、及朝垂直方向導引輸送 機框10的導件（省略圖示）所構成；升降用馬達⑽的旋 :專係透過齒輪箱與連結軸傳送到該曲f 12a，四部位的曲 1 12a同步動作，以使㈣輸送機3上下移動。親式輸送 機3上下移動的距離，係與後述的二段式輸送機Q〜^ 的接受專用輸送機〇UT1〜謝3與交出專用輸送機m〜· 的間隔相同，且根據該間隔來決定。 二段式輸送機C1〜C3’係將由可朝直角交又的二方向 搬送的交叉輥式輸送機17構成的接受專用輸送機嶋〜 ’3配置在上層’而將交出專用輸送機INI〜IN3配置在 下層，並且將供收容該輸送機的框體13載置於架座η上。 該框體13構成爲’俯視呈矩形的平形箱狀，在其高度 方向大致中央部水平地安裝分隔15，俾將内部上下區 分，在分隔板1 5上相的跄空；它& ^ , 上側的收今至與下側的收容室兩者收容 配置交叉輥式輸送機1 7，另夕卜，f 4上 戍w另外在該框體13的周壁對應 於該輸送機的搬送方向關今胡σ ] β 向開6又開口 16，該開口 16係用於使 15 1295269 猎由框體13内上下配置的交叉輥式輸送機17搬送的工件 W(或工件W，）通過。該分隔板15使其外周緣與框體内面離 開，確保可在分隔板15的周圍上下流通的通路32。該通 路32係作爲後述的潔淨空氣的流通路徑。 架座14在腳部具有上下（高度）調整機構，藉由該調整 J按照相關的交換機B1〜B3或生產線側的裝置高度進行 又輮式輸送機17(構成該接受專用輸送機〇UTl〜 yUT3與交出專用輪送機m〜ΙΝ3)如圖4與圖5所示般， 分μ並排Α置的父換機Β1〜Β3在二段式輸送機C1〜C3 111進行工# w的交出的輥式輸送機i7a、與在與該交 :、B3之間裝載/卸載工件？的輥式輸送機m所構 :二，該輥式輸送機17a固定在既定位置，另一方的較 式幸別送機1 7b相對該輕A於译，7 輥式輸送栈17a的搬送面可朝上下方 作時=^即，輕式輸送機17b，在輥式輸送機…動 換機B二广式輸送機178的搬送面更下側，在與交 、 之間裝載/卸載工件W時，突出到較|θ 1 ^、.， 她的搬送面更上方，來搬送…。— nb _、、, 又輥讀送機17的輥式輸送機17a、 ==:旋:方式，係藉由利用磁鐵的吸引/排斥的 的各輥轴使其旋轉將馬達的旋轉傳送到安裝有搬送輥 圖5的動力傳贫她 動磁請固定於在輕式輸送機17a’將磁環(從 无疋間隔安裝有搬送輥18的輥軸19 16 1295269 的軸鈿與该磁環（從動磁輪）2 交配置安裝有％ 、〜且在非接觸狀態下正 衣百磁％ (驅動磁輪）2ι 使驅動軸22旋缠的驅動軸22,藉由馬達 輪似的作用使各旋轉。_與域環（從動磁 沿該殼體的長'邊輪::以係在扁平長形的殼體23内， (從動磁輪)25的搬：：的方式軸支撐安裝有磁環 下方，對庳於^在該磁環（從動磁輪您的正 ,μ於该磁環（從動磁輪）25 地正交配署忠# 士 仕非接觸狀恶下可旋轉 又配置女裝有磁環（驅動磁輪） 在該驅動軸27的既定邱布田〜 ’動釉27’並且， /古以〜 定磁環（傳送用磁輪加。又， 在支撐條（圖示省略）上隔著 17a的輥軸彼此間進出 ：m可從该輥式輸送機 ]進出的間隔）並排設置固定如上述般且有 搬送輥24的殼體23，在各 坂/、有 23的磁裱（傳送甩磁輪）28 對應於該磁環(傳送用磁輪)28正交配置安裝有 磁％(傳讀磁輪）3G的動力傳料29，㈣力傳送軸29 透過齒輪列來傳送馬達31的旋轉。藉此，當動力傳送軸⑼ 旋轉時’藉由安裝於該動力傳送_ 29的磁環（傳送用磁 輪）30與各殼體23的磁環（傳送用磁輪）28的作用而使内 設於各殼體23的驅動軸27旋轉，並藉由安裝於該驅動軸 27的磁環（驅動磁輪）26與磁環（從動磁輪）25的作用而使 搬送輥24旋轉。 又，該輥式輸送機17b，藉由上下升降裝置例如氣缸34 與連桿機構的組合，可對輥式輸送機17a上下進出自如。 另外，在構成該二段式輸送機C1〜C3的框體13的上 17 1295269 面外側設置風扇過濾單元（FF)33，從該風扇過濾單元 (FF)33流入的潔淨室内的室内空氣係流入到該框體13上 側的收谷至，5亥流入的空氣通過分隔板1 5周圍的通路3 2 流到下側的收容室及並排設置的交換機B1〜B3，並從框體 13的下側流出到框體外，藉此確保二段式輸送機n〜c3 内的潔淨度。 從風扇過濾單元（FF)33流入到框體13的空氣的流動 如圖6 (a )、（ b )所示。 另外，交又輥式輸送機17(構成該二段式輸送機n〜C3 的接受專用輸送機OUT1〜〇UT3與交出專用輸送機IM〜 IN3)，除了利用磁力的非接觸型驅動方式外，安裝有搬送 輛的軸或安裝有動力傳送的磁環的軸等旋轉部爲了獲得圓 /月、阻力小的旋轉而以軸承支撐，可用以樹脂成形品構成 的益封構件包覆（形成迷宮構造）該軸承，以防止塗布於該 軸承部分的潤滑油流出到外部。依此構成，可實現潔淨級 10 以下（0.3/0。 以下’根據圖7說明圖1與圖2所示搬送系統的搬送 動作基本方式。收容於圖1與圖2的交換機B1〜B3的張 =匣F係表示收容匣，[χ]匣與[γ]匣表示收容有工件^的 仏、、°匣，[ζ ]匣表示未收容工件w的空匣[ζ ]。
1彳心自動倉庫Α藉由堆高式起重機Α，將收容有工件W 勺么、、σ厘[X]、[γ]供給到交換機β1、B2，將空匣[z]供給 配置於交換機B3 〇 2 ·父換機B1，將内設的上下升降自如的輥式輸送機3 18 1295269 設置於下層位置，藉由升降單元 容於該昆最下層的工件⑧在移載到^供給匠[X]下降’收 停止下降n Μ 4 亥幸昆式輸送機3的位置 卜降。然後，使輥式輸送機3 罝 配置於前方的二段式輸送機C1下：將…裝载到 ⑻。此時，交出專用輸送们N1爲；：父出專用輸送機 受工件W，使交叉輥式輸送機;^親式輸送機3接 進行接受，在工件…移載到機⑽出而 日丰點蚀4 h 又秦b式輸送機1 7上的 日U使^式輸送機17b的動作停止 另-方的輕式輪送請的搬送 下降而位於 na支擇工件We ,然後，使與二 二並以輥式輪送機 置的其他二段式輸送機C2、C3的各交出直田广並排配 TMO , ^ 、 乂出專用輸送機IN2、 IN3的輪式輸送機17a動作， ,的順序搬送工件w。二段计專;^機IN1， 奴式輸迗機C3的交出真用於 送機，在輕式輸送機17a ^出專用輸 兮i日, 凡王接文了工件W的時點停止 该輥式輸送機l7a的動作，使 使另方的親式輪送機17b上 升而支揮工件W，並使該輪送機17b動作而將工件w排出 〖到生產線（EQ)側。對收容於該供 動作而將工…續地二生=…進行該 7(a)) 〇 …產線⑽側（參照圖 3.通過生產線⑽）側施以既定處理的工件卜斧由 搬送機構（圖示省略）排出到配置於二段式輸送機^層 的接受專用輸送機隱。此時，接受專用輸送機剛， 爲了從搬送機構（圖示省略）接受工件w，，使交又親式輸送 機Π的輥式輸送機17b突出而進行接受，在工件界,完全 19 1295269 私载到父又輕式輸送機！ 7上的時點，停止輥式輸送機1^ 的動作，並且使其下降而處於較另一方的輥式輸送機 的搬运面更下方，接著以輥式輸送機1 7a支撐工件W'。然 後i使與二段式輸送機π連續並排配置的其他二段式輸 =機C2、C3的各接受專用輸送機〇ϋΤ2、〇ϋΤ3的輥式輸送 機17a動作，依接受專用輸送機〇ϋτι—〇ϋτ2—卯d的順 序搬送工件W，。二段式輸送機C3的接受專用輸送機〇UT3 在^式輸送機17a完全接受了工件r的時點停止該報式輸 _运機17a的動作，並使另—方的報式輸送機m上升而支 撐工件w，，並使該輸送機17b動作而將工件w，收容到交換 機B3的空匣[z]。 、 工件『對空匡[z]的裝載（收容），藉由與該工件w的 卸载相反的動作，將安裝於交換機β3的輥式輸送機3上 升配置於上層位置（與配置於二段式輸送機C3上層的接受 專用輸送機0UT3的搬送面相同高度的位置），而且，使空 匣[z]在最上層的金屬線位置與該輥式輸送機3的位置一 籲致的高度位置停止。然後，使減輸送機3動作，從二段 式輸送機C3的接受專用輸送機〇UT3的輥式輪送機i7b將 工件t裝載（收容）到空匣[z]。藉由升降單元2使空匣[z] 以既定間距間隔上升，俾連續將工件w，收容於該空匣[Z] 的各層（參照圖7(b))。 4 ·當將收容於交換機B1的供給匣[χ]的工件w全部供 給完成時，位於下層位置的輥式輸送機3移動到上層位置， 切換成空匣[Z ]。 1295269 ^ •然後，交換機B1的供給匣[χ;|切換成空匣[z]後， =容於交換機B2的供給S[Y]的工件W藉由與該2•同樣的 ^卸載到二段式輸送機C2的交出專用輸送機IN2，進 而鉍由二段式輸送機C3的接受專用輸送機IN3，朝生產 (印）側連續進行供給。 、、 壯另—方面，當該3·的工件W，對交換機B3的空厘[z]的 =載（收容）變滿時，該£藉由堆高式起重機A,從交換機们
將其替代，收容了工件w的供給匣[Y ]藉由堆高式 重機A’配置於交換機B3(參照圖7(C))。 通過生產線（EQ)側 _ 叫·M既疋處理的丄旰r，在 二父換機B3的空匣[Z]的收容變滿後，從交換機bi的供 i = 結束供給工件w並切換爲空匣[z]的匣，藉由二段 :則达機ci的接受專用輸送機瞻、&交換機μ的親^ 機3與空_]的上升動作進行裝載（收容〉（參照圖 〇 當在生產線（EQ)側發生故障而産生不良品時， :在完成交換機β1的供給心]或交換機B2的供 =二的供給而變空的E，藉由與該3.同樣的動作—[次] 機cr:的工件『’或將處於供給停止的二段式輪送 C2、C3上的工件w移載到空匣。 上述搬送方式爲了容易理解動作對各步驟獨 由於二段式輸送機的U專用輸送機與接受專用二 I糸上下獨立地配置，因此，可同時進行ϋ 7(a)所矛工 、、'口 一回（b)所示處理完成的工件W'的回收收容。 21 1295269 另外’圖7所示搬送方式爲一例，可按照生產線（EQ)側的 構成等改變本搬送系統的構成，而且可任意改變搬送方 式。 以下，根據圖8簡單說明另一實施例。 圖8(a)所示之搬送系統，係將二段式輸送機C1〜C4 以 &列排列设置，父換機B1〜B 3係在交換機B 2與B 3 之間（與一段式輸送機C3對應的部位）空出設置，將該交 換機B2與B3之間作爲匣放置場所（自動倉庫的一部分）之 _用，與圖8(a)箭頭或該實施例的方式同樣地進行工件w的 卸载與處理完成的工件W，的裝載。 也分別設置4台交 另外，圖8(b)所示之搬送系 換,B1〜B4與二段式輸送機C1〜C4，工件w的供給與處 理完成的工件的回收收容分別各分成二台進行搬送。 ^在上述實施形態中，二段式輸送機C1〜C3將下層作爲 父出專用輸送機，將上層作爲接受專用輸送機，但也可形 成爲相反的形態。在形成爲相反的形態的情形，當然需要 使交換機的輥式輸送機的裝載/卸載的位田…、而 工卜相反。 另外，構成二段式輸送機的交出專用給 田认 用翰适機與接受專 用^达機的交又輥式輸送機的驅動方式， 个丨艮於矛丨j用石兹六 的非接觸型方式，也可爲現在一般採用的驅動方式。曰θ 該情形爲了維持潔淨度，需要設置其他機器。工一疋， 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之搬送系統的概略布局图 圖2係該搬送系統的之側視圖。 22 1295269 圖3係表示交換機與二段式輸送機的概略截面圖。 ® 4係、表示構成二段式輸送機的交叉輥式輸送機的概 略俯視圖。 圖5爲圖4之（5)-(5)線的放大截面圖。 圖6表不從二段式輸送機的風扇過遽單元（FF)流入到 框體内的空氣流動，（a)爲側視圖，⑻爲前視圖。 圖7a)〜（d)係表示動作的基本方式的說明圖。 圖8(a)—、（b)係表示搬送系統的另一實施例的布局圖。 【主要元件符號說明】 A 自動倉庫 A 堆南式起重機 B1〜B3交換機
Π〜C3二段式輸送機 IN1〜IN3交出專用輸送機 OUn〜0UT3接受專用輸送機 F 張線H W 工件（玻璃基板等） 3 軺i式輸送機 17 交叉輥式輸送機 33 風扇過濾單元 23