JPWO2007108216A1 - 水系洗浄液を用いる洗浄装置 - Google Patents

水系洗浄液を用いる洗浄装置 Download PDF

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Abstract

水系洗浄液を用いる洗浄装置(1)において、高温にした水系洗浄液により、装置(1)内に水蒸気が充満する。従来、この水蒸気が漏れ出すことで、洗浄液の加熱や乾燥の際に多くの熱エネルギー損失があった。そこで、洗浄装置(1)の排気室(10)と外気圧の差圧を測定する差圧測定手段(11)を設置し、差圧が所定の最適な値になるように排気室(10)からの排気量を制御して、過剰な水蒸気の漏れ出しを防ぎ、常に最適な排気風量で運転する。また、排気の熱を洗浄装置(1)内の洗浄液に回収するヒートポンプ機構を備え付けて、排気とともに散逸していたエネルギーを再利用する。

Description

本発明は水系洗浄液を用いる洗浄装置、特に、洗浄装置の省エネルギー化技術に関する。
従来、機械部品等の洗浄については、有機溶剤を用いる洗浄装置が多く使用されていたが、環境規制等により水系洗浄装置への転換が積極的に行われている。
水系洗浄装置は、高温にした水系の洗浄液を被洗浄物に噴射するか、或いは被洗浄物を高温の水系洗浄液に浸漬して、被洗浄物に付着した油や異物等を除去する。
このような洗浄装置では、洗浄中は洗浄装置内部に水蒸気が充満する。この水蒸気は、洗浄装置の被洗浄物投入口や取出口から漏れ出して作業環境を悪化させ、また、水切り工程や乾燥工程における乾燥性能を低下させる原因となる。このため、水系洗浄装置には、通常、内部の水蒸気を排気するための排気装置が設けられている(特許文献1)。
特開平07-290007号公報([0031]、図1)
このような水系洗浄装置の第1の問題は、洗浄液の加熱や乾燥に多くの熱エネルギーを必要とすることである。この熱エネルギーはほとんど回収されることがなく失われ、中でも、洗浄装置の排気から排出される水蒸気が持つ蒸発熱はその大きな部分を占める。
特に、洗浄装置からの水蒸気の漏れ出し量を低減するため、或いは洗浄装置内部の湿度を低減させることを目的として、排気風量を多くすると、逃げ出す熱エネルギーが多くなるばかりでなく、外部の空気が洗浄装置内部へ大量に流入することとなり、水系洗浄液を冷却させてしまい、熱エネルギーの損失が更に増大する。
更に、洗浄装置の排気装置に接続される排気ダクトはその直径、長さ、曲がりの数等によって通風抵抗が変化するため、排気装置の排気風量をあらかじめ最適な値に定めておくことは困難である。また、排気ダクトに設けたダンパー等で排気風量を調節することも行われているが、稼動現場において排気風量の最適値を求めることは容易ではないため、通常は、排気量が最適値よりも多めとなるようにダンパーの開度が設定されていることが多い。
水系洗浄装置の第2の問題は、仮に排気風量が適正量に調整できたとしても、この排気による熱エネルギーの散逸を防止することはできないということである。
前記第1の問題を解決するために成された本発明に係る第1の洗浄装置は、水系洗浄液を用いる洗浄装置において、
a) 被洗浄物を搬送する搬送手段と、
b) 被洗浄物に加温した水系洗浄液を噴射して洗浄するスプレーノズルと、
c) 洗浄装置内部の空気を吸気し、被洗浄物に付着した水を吹き飛ばすエアブローノズルと、
d) 洗浄装置の被洗浄物投入部に設けた排気室から洗浄装置内部の水蒸気を含んだ空気を排気する排気手段と、
e) 外気大気圧と排気室の気圧の差圧を測定する差圧測定手段と、
f) 差圧測定手段によって測定された差圧データに基づいて排気手段の排気風量を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする。
ここで、前記排気手段は、水蒸気を含んだ空気を、被洗浄物投入部に設けた排気室から排気することが望ましい。
搬送手段としては、ネットによるコンベヤ式とすることが望ましい。こうすることにより、スプレーノズル及びエアブローノズルをコンベヤの上下に設け、被洗浄物の上下から洗浄液を噴射し、エアーを吹き付けることができるようになる。
スプレーノズルを備えた洗浄室及びエアブローノズルを備えた水切り室は、それぞれ複数設けることが望ましい。これにより、より確実な洗浄及び水切りを行うことができるようになる。
排気手段による排気風量の制御は、排気ファンの回転数を調節することにより行うこともできるし、排気通路に設けたダンパの開度を調節することにより行うこともできる。
そして、制御手段は、排気室の気圧を外気大気圧よりも0.1Paから5Pa低くなるように制御することが望ましい。更には、その差圧を0.2Paから2Paとすることが望ましい。
本発明に係る洗浄装置は、上記のネットコンベヤ式の搬送手段の代わりに被洗浄物を上下及び前後に搬送する搬送手段を備え、被洗浄物をヒータ及び超音波発生器を備えた洗浄タンクに浸漬することにより洗浄する方式を採用するものであってもよい。
この場合、排気手段が洗浄装置内の空気を排気する箇所は、上記の被洗浄物投入部に設けた排気室の代わりに、或いはそれに加えて、被洗浄物取出部に設けた排気部であってもよい。
上記第2の問題を解決するために成された本発明は、上記洗浄装置において、排気の熱を洗浄液に回収するヒートポンプ機構を備えることを特徴とする。
このヒートポンプ機構は、
a) 排気手段中に設けた、排気中の熱を熱媒体に与える蒸発器と、
b) 気化した熱媒体を圧縮して液化する圧縮手段と、
c) 液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段と、
d) 熱媒体を気化する膨張弁またはキャピラリチューブと
を備えるものとすることができる。
更に、この洗浄装置において、前記凝縮手段と、膨張弁またはキャピラリチューブの間に、
a) 排気熱交換器と、
b) 排気熱交換器を冷却する排気熱交換器冷却手段と、
c) 凝縮手段を流れる洗浄液の温度を測定する温度測定手段と、
d) 測定された洗浄液温度に応じて圧縮手段および排気熱交換器冷却手段を制御するヒートポンプ制御手段と
を設けることが望ましい。
更に、前記ヒートポンプ制御手段に、
a) 次の設定温度T1〜T4を記憶する温度記憶手段と、
・圧縮手段運転開始温度 T1
・排気熱交換器冷却手段間欠運転停止温度 T2
・排気熱交換器冷却手段間欠運転開始温度 T3
・排気熱交換器冷却手段連続運転開始温度 T4
b) 温度測定手段で測定した洗浄液の温度Tとこれらの設定温度T1〜T4を比較して、
・T<T1のときに圧縮手段を停止し、
・T1≦Tのときに圧縮手段を運転し、
・T3≦T<T4のときに排気熱交換器冷却手段を間欠運転し、
・T4≦Tのときに排気熱交換器冷却手段を連続運転し、
・排気熱交換器冷却手段が運転を開始した後にT<T2となったときに排気熱交換器冷却手段を停止する
運動制御手段と
を設けることが望ましい。
前記温度記憶手段に記憶しておく設定温度T1〜T4は、洗浄装置における水系洗浄液の好ましい使用温度(基準使用温度)をTW℃としたとき、
・(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
とすることが望ましい。
或いは、
・(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
としてもよい。
前記排気熱交換器冷却手段の間欠運転に際しては、前記運転制御手段は、排気熱交換器冷却手段の運転比率を
{(T−T3)/(T4−T3)}×100%
とすることが望ましい。
また、前記排気熱交換器冷却手段をファンとしたときには、前記運転制御手段はそのファンの回転数Rを、
T<T3のとき、R=0
T3≦T<T4のとき、R=(T−T3)/(T4−T3)×A×R0
T4≦Tのとき、R=A×R0
(ただし、Aはファンの冷却能力に応じて定める係数で、0.1〜1.0の値。R0はファンの定格回転数。)と制御することが望ましい。
また、気化した熱媒体を圧縮して液化する前記圧縮手段がモータを用いたものであるときには、前記運転制御手段は、そのモータの回転数を連続的又は段階的な制御するようにしてもよい。モータは、インバータ制御等により、その回転数を連続的又は段階的に変化させることが可能である。そこで、洗浄液の温度が目標温度に近づけばモータを減速し、目標温度に到達すれば停止するようにしてもよい。
なお、基準使用温度は一般的には50〜60℃とするが、油の付着状態がひどく、洗浄対象物が高温に耐えうる場合には70〜80℃とする場合があり、逆に、洗浄対象物が高温で変色したり酸化する恐れがある等の場合は40℃程度とする場合もある。
エアブローを外気導入で行うと、洗浄装置内に送り込まれたエアブロー用の空気以上に排気を行わないと洗浄室内部の水蒸気を含む空気が洗浄装置外に漏れだしてしまう。本発明に係る第1の洗浄装置では、エアブローの吸気を洗浄装置内部から行うため、水蒸気の漏れ出しを防止できると共に、外気によって洗浄装置内部が冷却されることがなくなる。加えて、外気大気圧と排気室の気圧の差圧を測定することによって排気風量を調節するので、運転条件や排気ダクトの形状が異なっても排気装置を常に最適な排気風量で運転することができる。
特に、洗浄装置の排気室の気圧を外気大気圧よりも0.1Paから5Pa(望ましくは、0.2Pa〜2Pa)低くなるように排気装置の排気風量を調節することで、乾燥性や水蒸気の漏れ出し防止効果を損なわず、最適な排気風量とすることができる。
本発明に係る第2の洗浄装置では、排気と共に散逸する熱エネルギーを蒸発器で回収し、回収した熱エネルギーによって凝縮手段において水系洗浄液の加熱を行うことで熱エネルギーの散逸を大幅に低減し、熱エネルギーの再利用を行う。
更に、ヒートポンプ制御手段に温度記憶手段及び運転制御手段を設け、温度測定手段で測定した洗浄液の温度Tに応じて圧縮手段及び排気熱交換機冷却手段の運転を上記のように制御することにより、排気から回収する熱量が多い場合に過剰な熱エネルギーを排気熱交換器冷却手段によって冷却することができ、洗浄液の温度調節が容易になり、洗浄液の温度変動も低減することができる。
上記の設定温度T1〜T4は次のように定めることができる。洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、
・(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
又は、洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、
・(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
と設定してもよい。
本発明の実施例における洗浄装置の概略構成図である。 本発明の実施例における洗浄装置の洗浄室および水切り室の拡大図である。 本発明の実施例における排気手段の排気風量を制御する別の方法を示す概略構成図である。 本発明の実施例における別の洗浄装置の概略構成図である。 本発明の実施例における排気手段の排気風量を制御する別の方法を示す概略構成図である。 本発明の実施例におけるヒートポンプを組み合わせた洗浄装置の概略構成図である。 本発明の実施例におけるヒートポンプを組み合わせた洗浄装置の概略構成図である。 本発明の実施例におけるヒートポンプを組み合わせた洗浄装置の概略構成図である。 本発明の実施例における別のヒートポンプの概略構成図である。
符号の説明
1 洗浄装置
2 投入口
3 取出口
4 洗浄装置
5 被洗浄物
10 排気室
11 差圧計
12 排気室
13 差圧計
20 制御手段
21 演算装置
22 インバーター
23 サーボコントロールユニット
24 サーボモーター
25 風量調整ダンパー
26 ダンパー
50 排気ダクト
51 排気ファン
70 搬送ネット
71 前後搬送機構
72 上下搬送機構
100 第1洗浄室
101 洗浄液タンク
102 ヒーター
103 ポンプ
104 スプレーノズル
105 超音波発生器
106 熱交換器
108 中間洗浄液タンク
109 最終洗浄液タンク
110 第1水切り室
111 送風機
112 エアブロー吸気ダクト
113 エアブローノズル
200 第2洗浄室
201 洗浄液タンク
205 超音波発生器
210 第2水切り室
220 最終洗浄室
231 サーボコントロールユニット
232 サーボコントロールユニット
241 サーボモーター
242 サーボモーター
251 風量調整ダンパー
252 風量調整ダンパー
261 ダンパー
262 ダンパー
300 乾燥室
301 吸気口
302 熱風ファン
303 熱風ヒーター
304 吹き出し口
501 排気ダクト
502 排気ダクト
600 ヒートポンプ機構
601 圧縮手段(コンプレッサー)
602 凝縮手段(凝縮器)
603 膨張弁 または キャピラリチューブ
604 蒸発器
605 循環ポンプ
606 排気熱交換器
607 冷却ファン
608 給水温度測定手段(温度センサー)(T)
609 ヒートポンプ制御装置
以下、図面に基づき本発明の実施例を説明する。
図1は本発明の第1の実施例である洗浄装置の概略構成図、図2はその洗浄室および水切り室の詳細図である。
実施例1の洗浄装置1はネットコンベア搬送式であり、搬送ネット70によって被洗浄物5を移動しながら洗浄、水切り、乾燥の各工程を行うものである。被洗浄物5の搬送順に投入口2から取出口3の間に排気室10、第1洗浄室100、第1水切り室110、第2洗浄室200、第2水切り室210、乾燥室300の順に配置されて構成されている。なお、この構成は一例であり、洗浄室、水切り室、乾燥室の数や順序が異なっても構わない。
排気室10には差圧計11が設けられ、外気大気圧と排気室内の気圧差を測定する。測定データは制御装置20に伝送され、その中に含まれる演算装置21にて最適な排気風量が計算される。算出された最適排気風量のデータは制御装置20内のインバーター22に送られ、インバーター22はそのデータに基づき、排気手段である排気ファン51の回転数を制御する。排気ファン51は、排気室10と洗浄装置の外部の間に設けられた排気ダクト50の途上に設けられ、排気室10内の空気を外部に排出するように回転する。これにより、排気室内の空気は最適流量で洗浄装置外に排気される。
第1洗浄室100の下部には洗浄液タンク101が配置され、洗浄液タンク101の内部には洗浄液を加熱するためのヒーター102が設置されている。洗浄液タンク101の下方からは第1洗浄液配管が上方に延び、第1洗浄液配管は第1洗浄室100内の搬送ネット70の上下から搬送ネット70に向けて噴出するように配置されたスプレーノズル104に接続されている。第1洗浄液配管の途上にはポンプ103が設けられている。これにより、ヒーター102によって加熱された洗浄液タンク101内の水系洗浄液はポンプ103で送水され、搬送ネット70の上下に配置されたスプレーノズル104から搬送ネット70上の被洗浄物5に噴射され、集水ダクトにより洗浄液タンク101に戻る。
第1水切り室110の搬送ネット70の上下にはエアブローノズル113が配置されている。上下のエアブローノズル113は送風手段である送風機111に接続され、送風機の吸気側は吸気ダクト112により第1水切り室110内に開口している。これにより、第1水切り室110内の空気がエアブローノズル113により上下から被洗浄物に吹き付けられ、第1洗浄室100で被洗浄物に付着した洗浄液の水滴を除去する。
第1洗浄室100及び第1水切り室110を通過した搬送ネット70上の被洗浄物5は第2洗浄室200及び第2水切り室210を通過するが、これら第2洗浄室200及び第2水切り室210の構造及び動作は第1洗浄室100及び第1水切り室110と同様である。
第1洗浄室100、第1水切り室110、第2洗浄室200及び第2水切り室210を通過した搬送ネット70上の被洗浄物は、最後に乾燥室300に入る。乾燥室300内には、上下から搬送ネット70に対して噴出する吹き出し口304が設けられ、そこには、吸気口301が乾燥室300内部に開口する配管が接続されている。この配管には熱風ファン302及び熱風ヒーター303が配設されており、乾燥室300内で吸引された空気が熱風ヒーター303により加熱され、上下の吹き出し口304より搬送ネット70上の被洗浄物に吹き付けられる。
こうして洗浄及び乾燥された被洗浄物は、洗浄装置の取出口3から搬出される。
上記構成を有する本実施例の洗浄装置において、排気室10内の空気を外部に排気する排気ファン51の風量は、排気室10内の気圧が外気大気圧よりも0.1Paから5Pa低くなるように制御することが重要である。差圧が0.1Pa未満であると、洗浄室100、200内に充満している水蒸気が排気室10を通過し、投入口2から漏れる可能性がある。また、第2洗浄室200の水蒸気が第2水切り室210や乾燥室300に流入し、乾燥性が低下する原因ともなる。一方、差圧が5Paを超えると、排気室10から排出される風量が増大し、排気と共に大量の熱エネルギーが外部に散逸することとなる。また、投入口2から流入する外気も増大し、流入する空気の風速が大きくなるため、外気の一部が排気室10を通過して第1洗浄室100に流入する。これにより、スプレーノズル104から噴射されている洗浄液が冷却されることとなり、ヒーター102の稼働率が高くなって消費エネルギーが増大する。なお、その差圧の更に望ましい範囲は0.2〜2Paである。
従って、制御装置20は、外気大気圧と排気室10の差圧を測定し、差圧が0.1Pa未満(又は0.2Pa未満)となったときには排気ファン51の回転数を増加させるようにインバーター22の周波数を増加させ、差圧が5Pa(又は2Pa)を超えるときには排気ファン51の回転数を減少させるようにインバーター22の周波数を減少させるように制御する。こうして、外気大気圧と排気室10の差圧が常に0.1Paから5Paの範囲(又は0.2Paから2Pa)となるように制御することにより、洗浄装置で消費するエネルギーを最も低くすることができる。
また、上記で説明した通り、第1水切り室110及び第2水切り室210におけるエアブローは洗浄装置内部の空気を吸気し、その空気でエアブローを行うことが望ましい。外気を導入してエアブローを行うと、洗浄装置内に流入した空気以上の量の排気を行う必要があり、排気風量が増加し、排気に伴って散逸する熱エネルギーも増大する。それに対して、上記実施例のように洗浄装置内部の空気を吸気し、この空気でエアブローを行えば、排気を増加させる必要が無く、排気による熱エネルギー散逸の増加を防止できる。
図3は本発明の第2の実施例である、排気手段の排気風量を制御する別の方法を示す概略構成図である。
差圧計11により測定された差圧データが制御装置20の演算装置21で処理されるのは実施例1と同じである。本実施例では、排気風量を制御するために、排気手段である排気ファン51の吹出側に風量調整ダンパー機構25を設ける。風量調整ダンパー機構25内部のダンパー26の開き角度は、角度調節機能を持つサーボモーター24で調節される。サーボモーター24の動き、すなわちダンパー26の開き角度は、演算装置21の指令に基づき、サーボコントロールユニット23により制御される。ダンパー26の開き角度を調節することによって、外気大気圧と排気室10の差圧が常に0.1Paから5Paの範囲内(又は0.2Paから2Pa)となるように制御するのは、実施例1と同じである。
図4は本発明の第3実施例である別の洗浄装置の概略構成図である。
実施例3の洗浄装置4は浸漬超音波式のものであり、前後搬送機構71と上下搬送機構72によって被洗浄物5を搬送し、洗浄、水切りの各工程を行うものである。被洗浄物の投入口2と取出口3の間に、第1洗浄室100、第2洗浄室200及び水切室110がこの順に配置されて構成されている。第1洗浄室100及び第2洗浄室200の水系洗浄液タンク101、201には、ヒーター102、202及び超音波発生器105、205が設けられている。被洗浄物5は、まず第1洗浄室100において上下搬送機構72により洗浄液タンク101内に浸漬され、ヒーター102で50〜60℃に加熱された洗浄液内で超音波洗浄される。そこにおける洗浄が終了したら、上下搬送機構72で引き上げられ、前後搬送機構71により第2洗浄室200に送られて、同様に洗浄液タンク201内に浸漬されて超音波洗浄される。そこでの洗浄が終了すると、被洗浄物は引き上げられ、前後搬送機構71により水切り室110に搬送される。ここでは、上下に設けられたエアブローノズル113より被洗浄物にエアーが吹き付けられ、洗浄液が除去される。このエアブローノズル113の空気も、洗浄装置内に設けられた吸気ダクト112から吸引される。なお、この構成は一例であり、洗浄室、水切り室の数や順序が異なっていても構わない。
洗浄装置の投入口2及び取出口3にはそれぞれ排気室10、排気室12が設けられ、これら排気室10、12からは洗浄装置4の外部に排気するための排気ダクト501、502が接続されている。これら両排気ダクト501、502の途上には、それぞれ風量調整ダンパー機構251、252が配設されている。各風量調整ダンパー機構251、252の内部にはダンパー261、262が設けられている。両排気ダクト501、502は途中で合流して1本となり本洗浄装置4の外部に開口しているが、その途上に排気手段である排気ファン51が設けられている。
図5は、第3実施例の洗浄装置における、排気手段の排気風量を制御する方法を示す概略構成図である。
投入口2側の排気室10と取出口3側の排気室12にはそれぞれ差圧計11、13が設けられ、外気大気圧と排気室10、12内の気圧差を測定する。差圧計11、13により測定されたデータは制御装置20に伝送され、その中にある演算装置21において最適な風量が計算される。算出された最適風量のデータはインバーター22に送られ、インバーター22はそのデータに基づき排気ファン51の回転数を制御する。また、最適風量のデータは制御装置20内のサーボコントロールユニット231、232にも送られ、両サーボコントロールユニット231、232は、サーボモーター241、242を動作させることにより排気ダクト501、502上のダンパー261、262の開度を調節して吸気風量を調節する。このとき、投入口2側の排気室10及び取出口3側の排気室12の内部の気圧が外気大気圧よりも0.1Paから5Pa(又は0.2Paから2Pa)低くなるように制御する。
図6(a)は本発明の第4の実施例である、ヒートポンプを組み合わせた洗浄装置の概略構成図である。本実施例の洗浄装置のヒートポンプ機構600は、気化した熱媒体を圧縮する圧縮手段であるコンプレッサー601と、液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段である凝縮器602と、熱媒体を気化する膨張弁603と、排気中の熱を熱媒体に与える蒸発器604がこの順に接続して構成されている。
コンプレッサー601で圧縮された熱媒体は凝縮器602に圧送される。洗浄液タンク101の洗浄液は循環ポンプ605によって凝縮器602に送水され、熱媒体の凝縮熱によって加熱されて洗浄液タンク101に戻る。凝縮器602を経由した熱媒体は膨張弁603を通過して気化した後、蒸発器604に至り、排気から熱を吸収して再びコンプレッサー601で圧縮される。排気ファン51から蒸発器604に送風された排気は、この蒸発器604において熱媒体に熱を与え、洗浄装置外に排出される。
本実施例の洗浄装置では、これまで排気と共に装置外に散逸していた熱エネルギー(主に洗浄液の蒸発熱)がヒートポンプ機構600の蒸発器604によって回収され、洗浄液の加熱に再利用することができる。洗浄液の蒸発が多くなるほど排気から回収される熱エネルギーも増大するため、熱効率の良いシステムを構成することが可能である。従って、これまで洗浄液の加熱に使用していたヒーター102の稼働率を低減することが可能となり、洗浄装置全体として省エネルギーを達成することができる。
なお、図6(b)に示すように、凝縮器602からの洗浄液は、複数の洗浄液槽101、109に回して使用することも可能である。これにより、回収された熱をより効率よく使用することができるようになる。
さらに、図6(c)に示すように、洗浄液タンクが直列に3槽以上設けられている場合は以下のような経路で洗浄液を熱交換の媒体として利用するように、各洗浄液タンク間を循環させてもよい。例えば、まず、投入口2側に配置した洗浄液タンク101から前記ヒートポンプ機構600に洗浄液を送液する。これにより洗浄液は、ヒートポンプ機構600にて熱交換により加熱される。こうして加熱された洗浄液を、取出口3側に配置した最終洗浄液タンク109に設けた熱交換器106に送り、その熱により最終洗浄液タンク109に蓄えた洗浄液を加熱する。熱媒体となった洗浄液はその後、投入口2側の洗浄タンク101と取出口3側の最終洗浄液タンク109の間に挟まれた中間洗浄液タンク108を経由せずに、元の洗浄液タンク101に戻す。このようにして両端の洗浄液タンク101と最終洗浄液タンク109の洗浄液のみを加熱することにより、その間に挟まれている中間洗浄液タンク108の洗浄液も冷めにくくなる。その結果、全ての洗浄液タンクの温度を一定に保ちやすくなり、回収された熱をより効率よく使用することができるようになる。なおこの構成は一例であり、取出口3側の最終洗浄液タンク109から前記ヒートポンプ600に洗浄液を送水して投入口2側の洗浄液タンク101に設けた熱交換器106を経由させ、元の最終洗浄液タンク109に戻しても構わず、洗浄室、熱交換器、水切り室の数や順序が異なっていても構わない。またここで洗浄液タンクが直列に3槽以上設けられている場合というのは、単に洗浄液タンクの配置が直列という意味である。
また、本実施例は前記実施例1から実施例3の構成と組み合わせることが可能である。前記実施例では排気風量を最適化することにより洗浄機から熱エネルギーの散逸を低減する効果を得たが、必要な量の排気は行うため、これに伴う熱の散逸は免れ得ない。そこで、本実施例を組み合わせることによって、排気から熱を回収することが可能となり、更なる省エネルギーを行うことができる。
なお、ヒートポンプ機構600を構成する膨張弁603はキャピラリチューブで代用することも可能である。特に、小型のヒートポンプであれば、キャピラリチューブを用いることによってヒートポンプ制御を簡略化することが可能となり、コストも低減できる。
一方、膨張弁603を用いた場合は、熱負荷状況に追随した制御が可能であり、比較的大型のシステムに適する。
図7は本発明の第5の実施例である別のヒートポンプの概略構成図である。
本実施例のヒートポンプ機構600は、気化した熱媒体を圧縮する圧縮手段であるコンプレッサー601と、液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段である凝縮器602と、排気熱交換器606と、熱媒体を気化する膨張弁603と、排気の熱を熱媒体に与える蒸発器604がこの順に接続して構成されている。排気熱交換器606には、それに隣接して排気熱交換器冷却手段としての冷却ファン607が設置され、排気熱交換器606を空冷する。更に、凝縮器602に供給される洗浄液の給水温度測定手段としての温度センサー(T)608が設けられている。なお、膨張弁603はキャピラリチューブで代用することも可能である。
コンプレッサー601と冷却ファン607は温度センサー(T)608の測定データに基づき、ヒートポンプ制御装置609によって制御される。ヒートポンプ制御装置609にはコンプレッサー601と冷却ファン607の運転制御条件として、次の4個の制御温度設定値が記憶されている。
・圧縮手段運転開始温度 T1
・排気熱交換器冷却手段間欠運転停止温度 T2
・排気熱交換器冷却手段間欠運転開始温度 T3
・排気熱交換器冷却手段連続運転開始温度 T4
これらT1〜T4と凝縮器に供給される洗浄液の温度Tとを比較し、次の条件でコンプレッサー601と冷却ファン607の運転制御を行う。
・T<T1のときにコンプレッサー(圧縮手段)を停止する。
・T1≦Tのときにコンプレッサー(圧縮手段)を運転する。
・T3≦T<T4のときに冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)を間欠運転する。
・T4≦Tのときに冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)を連続運転する。
・冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)が運転を開始した後にT<T2となったときに冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)を停止する。
本実施例では洗浄液の凝縮器への給水温度Tに基づいてコンプレッサーと冷却ファンを制御することとなる。
給水温度TがT1よりも低い温度でコンプレッサーを停止するのは、熱媒体温度が下がり過ぎて配管が凍結する等の支障がないようにするためである。そして、TがT1以上となったときにコンプレッサーの運転を開始して排気からの熱回収を行う。その後、TがT3以上T4未満の温度範囲に達した場合、排気の熱量が多く洗浄液の温度を加熱しすぎることが予測されるため、冷却ファンを間欠運転し、排気熱交換器によって熱媒体の温度を下げる。ここで間欠運転とは、1秒運転・1秒停止の交互運転等である。また、間欠運転ではなく、インバーターを用いて低速で運転することで制御することも可能である。
更に、給水温度TがT4以上になったときには、冷却ファンを連続運転または高速運転することで、熱媒体の温度上昇を防止する。TがT3またはT4以上になったときに冷却ファンを運転しなければ、熱媒体の温度が上昇し、洗浄液温度が好ましい温度範囲を超えることとなってしまう。この様な制御を行うことで、ヒートポンプによる洗浄液の加熱を安定的に行うことができる。
この冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)の間欠運転に際しては、ファンの運転比率を
{(T−T3)/(T4−T3)}×100%
とすることが望ましい。
例えば、T=53℃、T3=52℃、T4=55℃とした場合、ファンの運転比率は
(53−52)/(55−52)×100%=33%
すなわち、0.67秒運転、1.33秒停止とすることが望ましい。
或いは、間欠運転するのではなく、そのファンの回転数Rを、
T<T3のとき、R=0
T3≦T<T4のとき、R=(T−T3)/(T4−T3)×A×R0
T4≦Tのとき、R=A×R0
(ただし、Aはファンの冷却能力に応じて定める係数で、0.1〜1.0の値。R0はファンの定格回転数。)と連続的に制御するようにしてもよい。この方がシステムとして安定し、ファンやモータの寿命延長、及び運転時の騒音低減の効果がある。
上記設定温度T1〜T4は、洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、
(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
0℃<T1<T2<T3<T4
となるように設定すると、洗浄装置を安定的に制御することができる。
さらに好ましくは、T1について、
(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
と設定する。
例えば、洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度TWを55℃とした場合、
10℃≦T1≦50℃
45℃≦T2≦55℃
50℃≦T3≦60℃
55℃≦T4≦65℃
さらに好ましくは
35℃≦T1≦50℃
45℃≦T2≦55℃
50℃≦T3≦60℃
55℃≦T4≦65℃
と設定する。

Claims (27)

  1. a) 被洗浄物を搬送する搬送手段と、
    b) 被洗浄物に加温した水系洗浄液を噴射して洗浄するスプレーノズルと、
    c) 洗浄装置内部の空気を吸気し、被洗浄物に付着した水を吹き飛ばすエアブローノズルと、
    d) 洗浄装置内部の水蒸気を含んだ空気を排気する排気手段と、
    e) 外気大気圧と排気室の気圧の差圧を測定する差圧測定手段と、
    f) 差圧測定手段によって測定された差圧データに基づいて排気手段の排気風量を制御する制御手段と
    を備えることを特徴とする、水系洗浄液を用いた洗浄装置。
  2. 前記排気手段が、洗浄装置の被洗浄物投入部に設けた排気室から排気することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
  3. 前記搬送手段がネット状コンベヤとなっており、スプレーノズル及びエアブローノズルが該ネット状コンベヤの上下に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の洗浄装置。
  4. スプレーノズルが設けられた洗浄室、及びエアブローノズルが設けられた水切り室がそれぞれ複数設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の洗浄装置。
  5. 排気風量の調節を、排気ファンの回転数により行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の洗浄装置。
  6. 排気風量の調節を、排気通路に設けたダンパの開度により行うことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の洗浄装置。
  7. 前記制御手段が、排気室の気圧が外気大気圧よりも0.1〜5Pa低くなるように排気手段の排気風量を制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の洗浄装置。
  8. 前記制御手段が、排気室の気圧が外気大気圧よりも0.2〜2Pa低くなるように排気手段の排気風量を制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の洗浄装置。
  9. a) 被洗浄物を上下及び前後に搬送する搬送手段と、
    b) 水系洗浄液を保持する、ヒーター及び超音波発生器を備えた洗浄液タンクと、
    c) 洗浄装置内部の空気を吸気し、被洗浄物に付着した水を吹き飛ばすエアブローノズルと、
    d) 洗浄装置内部の水蒸気を含んだ空気を排気する排気手段と、
    e) 外気大気圧と排気室の気圧の差圧を測定する差圧測定手段と、
    f) 差圧測定手段によって測定された差圧データに基づいて排気手段の排気風量を制御する制御手段と
    を備えることを特徴とする、水系洗浄液を用いた洗浄装置。
  10. 前記排気手段が、洗浄装置の被洗浄物投入部に設けた排気室から排気することを特徴とする請求項9に記載の洗浄装置。
  11. 前記排気手段が、洗浄装置の被洗浄物取出部に設けた排気室から排気することを特徴とする請求項9又は10に記載の洗浄装置。
  12. 排気風量の調節を、排気ファンの回転数により行うことを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載の洗浄装置。
  13. 排気風量の調節を、排気通路に設けたダンパの開度により行うことを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載の洗浄装置。
  14. 前記制御手段が、排気室の気圧が外気大気圧よりも0.1〜5Pa低くなるように排気手段の排気風量を制御することを特徴とする請求項9〜13のいずれかに記載の洗浄装置。
  15. 前記制御手段が、排気室の気圧が外気大気圧よりも0.2〜2Pa低くなるように排気手段の排気風量を制御することを特徴とする請求項9〜13のいずれかに記載の洗浄装置。
  16. 排気手段が、排気の熱を洗浄液に回収するヒートポンプ機構を備えることを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の洗浄装置。
  17. a) 被洗浄物を搬送する搬送手段と、
    b) 水系洗浄液を保持する洗浄液タンクと、
    c) 加温した水系洗浄液で被洗浄物を洗浄する洗浄手段と、
    d) 洗浄装置内部の水蒸気を含んだ空気を排気する排気手段と、
    e) 排気の熱を洗浄液に回収するヒートポンプ機構と
    を備えることを特徴とする、水系洗浄液を用いた洗浄装置。
  18. 前記ヒートポンプ機構が、
    a) 排気手段中に設けた、排気中の熱を熱媒体に与える蒸発器と、
    b) 気化した熱媒体を圧縮して液化する圧縮手段と、
    c) 液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段と、
    d) 熱媒体を気化する膨張弁またはキャピラリチューブと
    を備えることを特徴とする請求項16又は17に記載の洗浄装置。
  19. a) 洗浄液を保持するタンクが2槽以上設けられており、
    b) うち少なくとも1槽の洗浄液タンクに熱交換器が設けられる一方、他の洗浄液タンクには熱交換器が設けられておらず、熱交換器が設けられていない洗浄液タンクから洗浄液を前記ヒートポンプ機構に送液し、前記ヒートポンプ機構にて加熱された洗浄液を熱交換器が設けられた洗浄液タンクの熱交換器を経由して元の洗浄液タンクに戻す洗浄液循環機構を設けた
    ことを特徴とする請求項18に記載の洗浄装置。
  20. a) 洗浄液タンクが直列に3槽以上設けられており、
    b) それらの洗浄液タンクのうち一方の端に配置した洗浄液タンクに熱交換器が設けられる一方、他方の端に配置した洗浄液タンクには熱交換器が設けられておらず、他方の端に配置した洗浄液タンクから洗浄液を前記ヒートポンプ機構に送液し、前記ヒートポンプ機構にて加熱された洗浄液を熱交換器が設けられた洗浄液タンクの熱交換器を経由して元の洗浄液タンクに戻す洗浄液循環機構を設けた
    ことを特徴とする請求項19に記載の洗浄装置。
  21. 前記凝縮手段と膨張弁またはキャピラリチューブの間に、
    a) 排気熱交換器と、
    b) 排気熱交換器を冷却する排気熱交換器冷却手段と、
    c) 凝縮手段を流れる洗浄液の温度を測定する温度測定手段と、
    d) 測定された洗浄液温度に応じて圧縮手段および排気熱交換器冷却手段を制御するヒートポンプ制御手段と
    を備えることを特徴とする請求項18〜20のいずれかに記載の洗浄装置。
  22. 前記ヒートポンプ制御手段が、
    a) 次の設定温度T1〜T4を記憶する温度記憶手段と、
    ・圧縮手段運転開始温度 T1
    ・排気熱交換器冷却手段間欠運転停止温度 T2
    ・排気熱交換器冷却手段間欠運転開始温度 T3
    ・排気熱交換器冷却手段連続運転開始温度 T4
    b) 温度測定手段で測定した洗浄液の温度Tとこれら設定温度T1〜T4を比較して、
    ・T<T1のときに圧縮手段を停止し、
    ・T1≦Tのときに圧縮手段を運転し、
    ・T3≦T<T4のときに排気熱交換器冷却手段を間欠運転し、
    ・T4≦Tのときに排気熱交換器冷却手段を連続運転し、
    ・排気熱交換器冷却手段が運転を開始した後にT<T2となったときに排気熱交換器冷却手段を停止する
    運転制御手段と
    を備えることを特徴とする請求項21に記載の洗浄装置。
  23. 洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、前記温度記憶手段に記憶されている設定温度T1〜T4が、
    ・(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
    ・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
    ・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
    ・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
    ・0℃<T1<T2<T3<T4
    であることを特徴とする請求項22に記載の洗浄装置。
  24. 洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、前記温度記憶手段に記憶されている設定温度T1〜T4が、
    ・(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
    ・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
    ・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
    ・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
    ・0℃<T1<T2<T3<T4
    であることを特徴とする請求項22に記載の洗浄装置。
  25. 前記運転制御手段が、前記排気熱交換器冷却手段の間欠運転に際して排気熱交換器冷却手段の運転比率を
    {(T−T3)/(T4−T3)}×100%
    とすることを特徴とする請求項22〜24のいずれかに記載の洗浄装置。
  26. 前記排気熱交換器冷却手段がファンであり、前記運転制御手段がそのファンの回転数Rを、
    T<T3のとき、R=0
    T3≦T<T4のとき、R=(T−T3)/(T4−T3)×A×R0
    T4≦Tのとき、R=A×R0
    (ただし、Aはファンの冷却能力に応じて定める係数で、0.1〜1.0の値。R0はファンの定格回転数。)と制御することを特徴とする請求項22〜25のいずれかに記載の洗浄装置。
  27. 前記圧縮手段がモータを用いており、前記運転制御手段は該モータの回転数を連続的又は段階的に制御すること特徴とする請求項22〜26のいずれかに記載の洗浄装置。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008018105B4 (de) * 2008-04-09 2010-05-20 Khs Ag Reinigungsmaschine zum Reinigen von Flaschen oder dergleichen Behältern
JP4860670B2 (ja) * 2008-07-18 2012-01-25 株式会社前川製作所 洗びん方法及び洗びん機
JP5848866B2 (ja) * 2010-02-24 2016-01-27 ゼネラルヒートポンプ工業株式会社 洗浄液加熱装置
FR2958558B1 (fr) * 2010-04-09 2014-05-23 Durr Ecoclean Installation avec jet de traitement pour le nettoyage et/ou le degraissage de pieces manufacturees
JP2012086160A (ja) * 2010-10-20 2012-05-10 Kisamitsu Giken:Kk 洗浄機
JP2013141613A (ja) * 2012-01-06 2013-07-22 Toshiba Carrier Corp 産業用加熱装置
JP6170316B2 (ja) * 2013-03-26 2017-07-26 パナソニック株式会社 洗浄装置
CN108202036B (zh) * 2016-12-19 2023-10-03 本钢板材股份有限公司 一种清洗液加热方法
CN110091012A (zh) * 2019-06-06 2019-08-06 海盐县海塘标准件厂 一种用于螺母攻丝机的上下料装置
CN110921038B (zh) * 2019-12-17 2021-06-11 宁波市鄞州新茂粮油有限公司 一种具有除尘功能的贴标签装置及其使用方法
JP2022178121A (ja) * 2021-05-19 2022-12-02 株式会社Screenホールディングス 基板処理システム
CN114289374A (zh) * 2021-12-01 2022-04-08 深圳市富诺依科技有限公司 零废水环保型钢网清洗工艺

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50161419A (ja) * 1974-06-21 1975-12-27
JPS5828353B2 (ja) * 1981-02-16 1983-06-15 株式会社神戸製鋼所 金属帯の洗浄処理方法及びその装置
JPS62247091A (ja) * 1986-04-17 1987-10-28 Kemikooto:Kk 金属表面処理装置および処理方法
JPH03101877A (ja) * 1989-09-13 1991-04-26 Oogawara Kakoki Kk 物品の洗浄乾燥方法および装置
JPH0655114A (ja) * 1992-06-09 1994-03-01 Kanken Techno Kk 洗浄装置および洗浄方法
JP3171965B2 (ja) * 1992-10-19 2001-06-04 島田理化工業株式会社 スピン洗浄乾燥装置
JP2653970B2 (ja) * 1993-12-08 1997-09-17 日本化工機工業株式会社 長材高速洗浄乾燥法およびライン装置
JP3381366B2 (ja) * 1994-03-17 2003-02-24 松下電器産業株式会社 ブラシホルダ装置
JPH07275814A (ja) * 1994-04-05 1995-10-24 Hitachi Home Tec Ltd 洗浄装置
JP3335006B2 (ja) * 1994-08-09 2002-10-15 株式会社トクヤマ 金属帯材の洗浄方法
JP3337565B2 (ja) * 1994-09-21 2002-10-21 株式会社トクヤマ 金属帯洗浄装置
JP3081485B2 (ja) * 1995-02-01 2000-08-28 株式会社日立製作所 洗浄装置
JPH08316614A (ja) * 1995-05-24 1996-11-29 Hitachi Ltd 洗浄装置
JPH0957001A (ja) * 1995-08-29 1997-03-04 Konica Corp ヒートポンプ方式蒸発濃縮装置
JPH09262401A (ja) * 1996-03-27 1997-10-07 Konica Corp ヒートポンプ方式蒸発濃縮装置
JP3081963B1 (ja) * 1999-10-18 2000-08-28 株式会社麻美亜 食器類洗浄装置
JP2002043272A (ja) * 2000-07-28 2002-02-08 Ebara Corp 基板洗浄装置及び基板処理装置
JP2002210422A (ja) * 2001-01-16 2002-07-30 Sony Corp 被処理基板の洗浄処理装置と洗浄方法
JP2002219429A (ja) * 2001-01-23 2002-08-06 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 基板処理装置及び処理方法
JP3998426B2 (ja) * 2001-03-14 2007-10-24 株式会社荏原製作所 基板処理方法
JP4056858B2 (ja) * 2001-11-12 2008-03-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP2003233204A (ja) * 2002-02-07 2003-08-22 Sharp Corp 電子写真感光体の製造方法およびそれを用いた電子写真感光体
JP3970731B2 (ja) * 2002-09-25 2007-09-05 松下冷機株式会社 乾燥システム
JP4225813B2 (ja) * 2003-03-26 2009-02-18 島田理化工業株式会社 ガラス基板表面乾燥装置
JP4310577B2 (ja) * 2003-10-08 2009-08-12 財団法人阪大微生物病研究会 洗浄装置

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