JP5223091B2 - 水系洗浄液を用いる洗浄装置 - Google Patents
水系洗浄液を用いる洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5223091B2 JP5223091B2 JP2008506178A JP2008506178A JP5223091B2 JP 5223091 B2 JP5223091 B2 JP 5223091B2 JP 2008506178 A JP2008506178 A JP 2008506178A JP 2008506178 A JP2008506178 A JP 2008506178A JP 5223091 B2 JP5223091 B2 JP 5223091B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning liquid
- cleaning
- heat exchanger
- exhaust
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28G—CLEANING OF INTERNAL OR EXTERNAL SURFACES OF HEAT-EXCHANGE OR HEAT-TRANSFER CONDUITS, e.g. WATER TUBES OR BOILERS
- F28G15/00—Details
- F28G15/003—Control arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2230/00—Other cleaning aspects applicable to all B08B range
- B08B2230/01—Cleaning with steam
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
a) 被洗浄物を搬送する搬送手段と、
b) 水系洗浄液を保持する2槽以上の洗浄液タンクと、
c) 加温した水系洗浄液で被洗浄物を洗浄する洗浄手段と、
d) 洗浄装置内部の水蒸気を含んだ空気を排気する排気手段と、
e) 前記排気手段中に設けた、排気中の熱を熱媒体に与える蒸発器と、気化した熱媒体を圧縮して液化する圧縮手段と、液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段と、熱媒体を気化する膨張弁またはキャピラリチューブとを備える、排気の熱を洗浄液に回収するヒートポンプ機構と、
前記2槽以上の洗浄液タンクのうち少なくとも1槽の洗浄液タンクに熱交換器が設けられる一方、他の洗浄液タンクには熱交換器が設けられておらず、熱交換器が設けられていない洗浄液タンクから洗浄液を前記ヒートポンプ機構に送液し、前記ヒートポンプ機構にて加熱された洗浄液を熱交換器が設けられた洗浄液タンクの熱交換器を経由して元の洗浄液タンクに戻す洗浄液循環機構と
を備えることを特徴とする。
a) 排気熱交換器と、
b) 排気熱交換器を冷却する排気熱交換器冷却手段と、
c) 凝縮手段を流れる洗浄液の温度を測定する温度測定手段と、
d) 測定された洗浄液温度に応じて圧縮手段および排気熱交換器冷却手段を制御するヒートポンプ制御手段と
を設けることが望ましい。
a) 次の設定温度T1〜T4を記憶する温度記憶手段と、
・圧縮手段運転開始温度 T1
・排気熱交換器冷却手段間欠運転停止温度 T2
・排気熱交換器冷却手段間欠運転開始温度 T3
・排気熱交換器冷却手段連続運転開始温度 T4
b) 温度測定手段で測定した洗浄液の温度Tとこれらの設定温度T1〜T4を比較して、
・T<T1のときに圧縮手段を停止し、
・T1≦Tのときに圧縮手段を運転し、
・T3≦T<T4のときに排気熱交換器冷却手段を間欠運転し、
・T4≦Tのときに排気熱交換器冷却手段を連続運転し、
・排気熱交換器冷却手段が運転を開始した後にT<T2となったときに排気熱交換器冷却手段を停止する
運動制御手段と
を設けることが望ましい。
・(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
とすることが望ましい。
・(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
としてもよい。
{(T−T3)/(T4−T3)}×100%
とすることが望ましい。
T<T3のとき、R=0
T3≦T<T4のとき、R=(T−T3)/(T4−T3)×A×R0
T4≦Tのとき、R=A×R0
(ただし、Aはファンの冷却能力に応じて定める係数で、0.1〜1.0の値。R0はファンの定格回転数。)と制御することが望ましい。
・(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
・(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
と設定してもよい。
2 投入口
3 取出口
4 洗浄装置
5 被洗浄物
10 排気室
11 差圧計
12 排気室
13 差圧計
20 制御手段
21 演算装置
22 インバーター
23 サーボコントロールユニット
24 サーボモーター
25 風量調整ダンパー
26 ダンパー
50 排気ダクト
51 排気ファン
70 搬送ネット
71 前後搬送機構
72 上下搬送機構
100 第1洗浄室
101 洗浄液タンク
102 ヒーター
103 ポンプ
104 スプレーノズル
105 超音波発生器
106 熱交換器
108 中間洗浄液タンク
109 最終洗浄液タンク
110 第1水切り室
111 送風機
112 エアブロー吸気ダクト
113 エアブローノズル
200 第2洗浄室
201 洗浄液タンク
205 超音波発生器
210 第2水切り室
220 最終洗浄室
231 サーボコントロールユニット
232 サーボコントロールユニット
241 サーボモーター
242 サーボモーター
251 風量調整ダンパー
252 風量調整ダンパー
261 ダンパー
262 ダンパー
300 乾燥室
301 吸気口
302 熱風ファン
303 熱風ヒーター
304 吹き出し口
501 排気ダクト
502 排気ダクト
600 ヒートポンプ機構
601 圧縮手段(コンプレッサー)
602 凝縮手段(凝縮器)
603 膨張弁 または キャピラリチューブ
604 蒸発器
605 循環ポンプ
606 排気熱交換器
607 冷却ファン
608 給水温度測定手段(温度センサー)(T)
609 ヒートポンプ制御装置
実施例1の洗浄装置1はネットコンベア搬送式であり、搬送ネット70によって被洗浄物5を移動しながら洗浄、水切り、乾燥の各工程を行うものである。被洗浄物5の搬送順に投入口2から取出口3の間に排気室10、第1洗浄室100、第1水切り室110、第2洗浄室200、第2水切り室210、乾燥室300の順に配置されて構成されている。なお、この構成は一例であり、洗浄室、水切り室、乾燥室の数や順序が異なっても構わない。
実施例3の洗浄装置4は浸漬超音波式のものであり、前後搬送機構71と上下搬送機構72によって被洗浄物5を搬送し、洗浄、水切りの各工程を行うものである。被洗浄物の投入口2と取出口3の間に、第1洗浄室100、第2洗浄室200及び水切室110がこの順に配置されて構成されている。第1洗浄室100及び第2洗浄室200の水系洗浄液タンク101、201には、ヒーター102、202及び超音波発生器105、205が設けられている。被洗浄物5は、まず第1洗浄室100において上下搬送機構72により洗浄液タンク101内に浸漬され、ヒーター102で50〜60℃に加熱された洗浄液内で超音波洗浄される。そこにおける洗浄が終了したら、上下搬送機構72で引き上げられ、前後搬送機構71により第2洗浄室200に送られて、同様に洗浄液タンク201内に浸漬されて超音波洗浄される。そこでの洗浄が終了すると、被洗浄物は引き上げられ、前後搬送機構71により水切り室110に搬送される。ここでは、上下に設けられたエアブローノズル113より被洗浄物にエアーが吹き付けられ、洗浄液が除去される。このエアブローノズル113の空気も、洗浄装置内に設けられた吸気ダクト112から吸引される。なお、この構成は一例であり、洗浄室、水切り室の数や順序が異なっていても構わない。
投入口2側の排気室10と取出口3側の排気室12にはそれぞれ差圧計11、13が設けられ、外気大気圧と排気室10、12内の気圧差を測定する。差圧計11、13により測定されたデータは制御装置20に伝送され、その中にある演算装置21において最適な風量が計算される。算出された最適風量のデータはインバーター22に送られ、インバーター22はそのデータに基づき排気ファン51の回転数を制御する。また、最適風量のデータは制御装置20内のサーボコントロールユニット231、232にも送られ、両サーボコントロールユニット231、232は、サーボモーター241、242を動作させることにより排気ダクト501、502上のダンパー261、262の開度を調節して吸気風量を調節する。このとき、投入口2側の排気室10及び取出口3側の排気室12の内部の気圧が外気大気圧よりも0.1Paから5Pa(又は0.2Paから2Pa)低くなるように制御する。
なお、図6(b)に示すように、凝縮器602からの洗浄液は、複数の洗浄液槽101、109に回して使用することも可能である。これにより、回収された熱をより効率よく使用することができるようになる。
本実施例のヒートポンプ機構600は、気化した熱媒体を圧縮する圧縮手段であるコンプレッサー601と、液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段である凝縮器602と、排気熱交換器606と、熱媒体を気化する膨張弁603と、排気の熱を熱媒体に与える蒸発器604がこの順に接続して構成されている。排気熱交換器606には、それに隣接して排気熱交換器冷却手段としての冷却ファン607が設置され、排気熱交換器606を空冷する。更に、凝縮器602に供給される洗浄液の給水温度測定手段としての温度センサー(T)608が設けられている。なお、膨張弁603はキャピラリチューブで代用することも可能である。
・圧縮手段運転開始温度 T1
・排気熱交換器冷却手段間欠運転停止温度 T2
・排気熱交換器冷却手段間欠運転開始温度 T3
・排気熱交換器冷却手段連続運転開始温度 T4
これらT1〜T4と凝縮器に供給される洗浄液の温度Tとを比較し、次の条件でコンプレッサー601と冷却ファン607の運転制御を行う。
・T<T1のときにコンプレッサー(圧縮手段)を停止する。
・T1≦Tのときにコンプレッサー(圧縮手段)を運転する。
・T3≦T<T4のときに冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)を間欠運転する。
・T4≦Tのときに冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)を連続運転する。
・冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)が運転を開始した後にT<T2となったときに冷却ファン(排気熱交換器冷却手段)を停止する。
{(T−T3)/(T4−T3)}×100%
とすることが望ましい。
例えば、T=53℃、T3=52℃、T4=55℃とした場合、ファンの運転比率は
(53−52)/(55−52)×100%=33%
すなわち、0.67秒運転、1.33秒停止とすることが望ましい。
T<T3のとき、R=0
T3≦T<T4のとき、R=(T−T3)/(T4−T3)×A×R0
T4≦Tのとき、R=A×R0
(ただし、Aはファンの冷却能力に応じて定める係数で、0.1〜1.0の値。R0はファンの定格回転数。)と連続的に制御するようにしてもよい。この方がシステムとして安定し、ファンやモータの寿命延長、及び運転時の騒音低減の効果がある。
(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
0℃<T1<T2<T3<T4
となるように設定すると、洗浄装置を安定的に制御することができる。
(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
と設定する。
10℃≦T1≦50℃
45℃≦T2≦55℃
50℃≦T3≦60℃
55℃≦T4≦65℃
35℃≦T1≦50℃
45℃≦T2≦55℃
50℃≦T3≦60℃
55℃≦T4≦65℃
と設定する。
Claims (9)
- a) 被洗浄物を搬送する搬送手段と、
b) 水系洗浄液を保持する2槽以上の洗浄液タンクと、
c) 加温した水系洗浄液で被洗浄物を洗浄する洗浄手段と、
d) 洗浄装置内部の水蒸気を含んだ空気を排気する排気手段と、
e) 前記排気手段中に設けた、排気中の熱を熱媒体に与える蒸発器と、気化した熱媒体を圧縮して液化する圧縮手段と、液化した熱媒体の凝縮熱を洗浄液に与える凝縮手段と、熱媒体を気化する膨張弁またはキャピラリチューブとを備える、排気の熱を洗浄液に回収するヒートポンプ機構と、
f) 前記2槽以上の洗浄液タンクのうち少なくとも1槽の洗浄液タンクに熱交換器が設けられる一方、他の洗浄液タンクには熱交換器が設けられておらず、熱交換器が設けられていない洗浄液タンクから洗浄液を前記ヒートポンプ機構に送液し、前記ヒートポンプ機構にて加熱された洗浄液を熱交換器が設けられた洗浄液タンクの熱交換器を経由して元の洗浄液タンクに戻す洗浄液循環機構と
を備えることを特徴とする、水系洗浄液を用いた洗浄装置。 - a) 洗浄液タンクが直列に3槽以上設けられており、
b) それらの洗浄液タンクのうち一方の端に配置した洗浄液タンクに熱交換器が設けられる一方、他方の端に配置した洗浄液タンクには熱交換器が設けられておらず、他方の端に配置した洗浄液タンクから洗浄液を前記ヒートポンプ機構に送液し、前記ヒートポンプ機構にて加熱された洗浄液を熱交換器が設けられた洗浄液タンクの熱交換器を経由して元の洗浄液タンクに戻す洗浄液循環機構を設けた
ことを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記凝縮手段と膨張弁またはキャピラリチューブの間に、
a) 排気熱交換器と、
b) 排気熱交換器を冷却する排気熱交換器冷却手段と、
c) 凝縮手段を流れる洗浄液の温度を測定する温度測定手段と、
d) 測定された洗浄液温度に応じて圧縮手段および排気熱交換器冷却手段を制御するヒートポンプ制御手段と
を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の洗浄装置。 - 前記ヒートポンプ制御手段が、
a) 次の設定温度T1〜T4を記憶する温度記憶手段と、
・圧縮手段運転開始温度 T1
・排気熱交換器冷却手段間欠運転停止温度 T2
・排気熱交換器冷却手段間欠運転開始温度 T3
・排気熱交換器冷却手段連続運転開始温度 T4
b) 温度測定手段で測定した洗浄液の温度Tとこれら設定温度T1〜T4を比較して、
・T<T1のときに圧縮手段を停止し、
・T1≦Tのときに圧縮手段を運転し、
・T3≦T<T4のときに排気熱交換器冷却手段を間欠運転し、
・T4≦Tのときに排気熱交換器冷却手段を連続運転し、
・排気熱交換器冷却手段が運転を開始した後にT<T2となったときに排気熱交換器冷却手段を停止する
運転制御手段と
を備えることを特徴とする請求項3に記載の洗浄装置。 - 洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、前記温度記憶手段に記憶されている設定温度T1〜T4が、
・(TW−45)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
であることを特徴とする請求項4に記載の洗浄装置。 - 洗浄装置の水系洗浄液の基準使用温度をTW℃としたとき、前記温度記憶手段に記憶されている設定温度T1〜T4が、
・(TW−20)℃≦T1≦(TW− 5)℃
・(TW−10)℃≦T2≦ TW ℃
・(TW− 5)℃≦T3≦(TW+ 5)℃
・ TW ℃≦T4≦(TW+10)℃
・0℃<T1<T2<T3<T4
であることを特徴とする請求項4に記載の洗浄装置。 - 前記運転制御手段が、前記排気熱交換器冷却手段の間欠運転に際して排気熱交換器冷却手段の運転比率を
{(T−T3)/(T4−T3)}×100%
とすることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の洗浄装置。 - 前記排気熱交換器冷却手段がファンであり、前記運転制御手段がそのファンの回転数Rを、
T<T3のとき、R=0
T3≦T<T4のとき、R=(T−T3)/(T4−T3)×A×R0
T4≦Tのとき、R=A×R0
(ただし、Aはファンの冷却能力に応じて定める係数で、0.1〜1.0の値。R0はファンの定格回転数。)と制御することを特徴とする請求項4〜7のいずれかに記載の洗浄装置。 - 前記圧縮手段がモータを用いており、前記運転制御手段は該モータの回転数を連続的又は段階的に制御すること特徴とする請求項4〜8のいずれかに記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008506178A JP5223091B2 (ja) | 2006-03-20 | 2007-03-19 | 水系洗浄液を用いる洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006076225 | 2006-03-20 | ||
JP2006076225 | 2006-03-20 | ||
JP2008506178A JP5223091B2 (ja) | 2006-03-20 | 2007-03-19 | 水系洗浄液を用いる洗浄装置 |
PCT/JP2007/000250 WO2007108216A1 (ja) | 2006-03-20 | 2007-03-19 | 水系洗浄液を用いる洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007108216A1 JPWO2007108216A1 (ja) | 2009-08-06 |
JP5223091B2 true JP5223091B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=38522252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008506178A Expired - Fee Related JP5223091B2 (ja) | 2006-03-20 | 2007-03-19 | 水系洗浄液を用いる洗浄装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5223091B2 (ja) |
KR (1) | KR20080023681A (ja) |
CN (1) | CN101374609A (ja) |
WO (1) | WO2007108216A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008018105B4 (de) * | 2008-04-09 | 2010-05-20 | Khs Ag | Reinigungsmaschine zum Reinigen von Flaschen oder dergleichen Behältern |
JP4860670B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2012-01-25 | 株式会社前川製作所 | 洗びん方法及び洗びん機 |
JP5848866B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2016-01-27 | ゼネラルヒートポンプ工業株式会社 | 洗浄液加熱装置 |
FR2958558B1 (fr) * | 2010-04-09 | 2014-05-23 | Durr Ecoclean | Installation avec jet de traitement pour le nettoyage et/ou le degraissage de pieces manufacturees |
JP2012086160A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Kisamitsu Giken:Kk | 洗浄機 |
JP2013141613A (ja) * | 2012-01-06 | 2013-07-22 | Toshiba Carrier Corp | 産業用加熱装置 |
JP6170316B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2017-07-26 | パナソニック株式会社 | 洗浄装置 |
CN108202036B (zh) * | 2016-12-19 | 2023-10-03 | 本钢板材股份有限公司 | 一种清洗液加热方法 |
CN110091012A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-08-06 | 海盐县海塘标准件厂 | 一种用于螺母攻丝机的上下料装置 |
CN110921038B (zh) * | 2019-12-17 | 2021-06-11 | 宁波市鄞州新茂粮油有限公司 | 一种具有除尘功能的贴标签装置及其使用方法 |
JP2022178121A (ja) * | 2021-05-19 | 2022-12-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理システム |
CN114289374A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-04-08 | 深圳市富诺依科技有限公司 | 零废水环保型钢网清洗工艺 |
Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50161419A (ja) * | 1974-06-21 | 1975-12-27 | ||
JPS57134578A (en) * | 1981-02-16 | 1982-08-19 | Kobe Steel Ltd | Method and device for washing mettalic strip |
JPS62247091A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-28 | Kemikooto:Kk | 金属表面処理装置および処理方法 |
JPH03101877A (ja) * | 1989-09-13 | 1991-04-26 | Oogawara Kakoki Kk | 物品の洗浄乾燥方法および装置 |
JPH0655114A (ja) * | 1992-06-09 | 1994-03-01 | Kanken Techno Kk | 洗浄装置および洗浄方法 |
JPH06126264A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | スピン洗浄乾燥装置 |
JPH07155706A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-20 | Nippon Kakoki Kogyo Kk | 長材高速洗浄乾燥法およびライン装置 |
JPH07275814A (ja) * | 1994-04-05 | 1995-10-24 | Hitachi Home Tec Ltd | 洗浄装置 |
JPH0853787A (ja) * | 1994-08-09 | 1996-02-27 | Tokuyama Corp | 金属帯材の洗浄方法 |
JPH0892777A (ja) * | 1994-09-21 | 1996-04-09 | Tokuyama Corp | 金属帯洗浄装置 |
JPH08209371A (ja) * | 1995-02-01 | 1996-08-13 | Hitachi Ltd | 洗浄装置 |
JPH08316614A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 洗浄装置 |
JPH0957001A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-04 | Konica Corp | ヒートポンプ方式蒸発濃縮装置 |
JPH09262401A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Konica Corp | ヒートポンプ方式蒸発濃縮装置 |
JP2002043272A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-08 | Ebara Corp | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
JP2002219429A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-06 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板処理装置及び処理方法 |
JP2002270561A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Ebara Corp | 基板処理方法及びその装置 |
JP2003233204A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Sharp Corp | 電子写真感光体の製造方法およびそれを用いた電子写真感光体 |
JP2004116846A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Matsushita Refrig Co Ltd | 乾燥システム |
JP2004293843A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | ガラス基板表面乾燥装置 |
JP2005111386A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Handai Biseibutsubiyou Kenkyukai | 洗浄装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3381366B2 (ja) * | 1994-03-17 | 2003-02-24 | 松下電器産業株式会社 | ブラシホルダ装置 |
JP3081963B1 (ja) * | 1999-10-18 | 2000-08-28 | 株式会社麻美亜 | 食器類洗浄装置 |
JP2002210422A (ja) * | 2001-01-16 | 2002-07-30 | Sony Corp | 被処理基板の洗浄処理装置と洗浄方法 |
JP4056858B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2008-03-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
-
2007
- 2007-03-19 CN CNA2007800005624A patent/CN101374609A/zh active Pending
- 2007-03-19 KR KR1020077028853A patent/KR20080023681A/ko not_active Application Discontinuation
- 2007-03-19 WO PCT/JP2007/000250 patent/WO2007108216A1/ja active Application Filing
- 2007-03-19 JP JP2008506178A patent/JP5223091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50161419A (ja) * | 1974-06-21 | 1975-12-27 | ||
JPS57134578A (en) * | 1981-02-16 | 1982-08-19 | Kobe Steel Ltd | Method and device for washing mettalic strip |
JPS62247091A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-28 | Kemikooto:Kk | 金属表面処理装置および処理方法 |
JPH03101877A (ja) * | 1989-09-13 | 1991-04-26 | Oogawara Kakoki Kk | 物品の洗浄乾燥方法および装置 |
JPH0655114A (ja) * | 1992-06-09 | 1994-03-01 | Kanken Techno Kk | 洗浄装置および洗浄方法 |
JPH06126264A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | スピン洗浄乾燥装置 |
JPH07155706A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-20 | Nippon Kakoki Kogyo Kk | 長材高速洗浄乾燥法およびライン装置 |
JPH07275814A (ja) * | 1994-04-05 | 1995-10-24 | Hitachi Home Tec Ltd | 洗浄装置 |
JPH0853787A (ja) * | 1994-08-09 | 1996-02-27 | Tokuyama Corp | 金属帯材の洗浄方法 |
JPH0892777A (ja) * | 1994-09-21 | 1996-04-09 | Tokuyama Corp | 金属帯洗浄装置 |
JPH08209371A (ja) * | 1995-02-01 | 1996-08-13 | Hitachi Ltd | 洗浄装置 |
JPH08316614A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-11-29 | Hitachi Ltd | 洗浄装置 |
JPH0957001A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-04 | Konica Corp | ヒートポンプ方式蒸発濃縮装置 |
JPH09262401A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Konica Corp | ヒートポンプ方式蒸発濃縮装置 |
JP2002043272A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-08 | Ebara Corp | 基板洗浄装置及び基板処理装置 |
JP2002219429A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-06 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板処理装置及び処理方法 |
JP2002270561A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Ebara Corp | 基板処理方法及びその装置 |
JP2003233204A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Sharp Corp | 電子写真感光体の製造方法およびそれを用いた電子写真感光体 |
JP2004116846A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Matsushita Refrig Co Ltd | 乾燥システム |
JP2004293843A (ja) * | 2003-03-26 | 2004-10-21 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | ガラス基板表面乾燥装置 |
JP2005111386A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-04-28 | Handai Biseibutsubiyou Kenkyukai | 洗浄装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007108216A1 (ja) | 2007-09-27 |
CN101374609A (zh) | 2009-02-25 |
KR20080023681A (ko) | 2008-03-14 |
JPWO2007108216A1 (ja) | 2009-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5223091B2 (ja) | 水系洗浄液を用いる洗浄装置 | |
CN103774402B (zh) | 洗衣机 | |
US9327323B2 (en) | Method and a cleaning system for cleaning industrially produced components | |
JP5041343B2 (ja) | 電子機器の冷却システム | |
JP5351707B2 (ja) | 塗装設備 | |
JP5896555B2 (ja) | 環境試験装置 | |
JP5041342B2 (ja) | 電子機器の冷却システム | |
KR101479833B1 (ko) | 히트펌프 | |
JP2012137201A (ja) | 乾燥設備用ヒートポンプシステム、及びこれを備えた乾燥設備、並びに、乾燥設備用ヒートポンプシステムの制御方法 | |
JP5651366B2 (ja) | 空気圧縮機排熱回収システム | |
JP2001099446A (ja) | 空気調和機、非加湿型発熱体収納冷却施設 | |
JP5006697B2 (ja) | 車両用空調システム | |
JP2007303756A (ja) | 乾燥方法及び乾燥システム | |
JP2014115027A (ja) | 陸上輸送用冷凍装置 | |
JP6159579B2 (ja) | 水加熱装置 | |
JP2012146331A (ja) | 電子機器の冷却システム | |
JP6313595B2 (ja) | ヒートポンプ式乾燥装置及びその運転方法 | |
KR101097974B1 (ko) | 에너지 절약형 냉장냉동창고 | |
JP4803673B2 (ja) | 空気冷媒冷凍装置 | |
JP4081737B2 (ja) | 冷却装置 | |
CN206338969U (zh) | 一种室内冷却和造雪二合一系统 | |
KR102070685B1 (ko) | 백연 저감 냉각탑 및 그 제어 방법 | |
US20160101667A1 (en) | Thermochemical Boosted Refrigeration System | |
JP6274961B2 (ja) | 空気冷媒式冷凍装置及びそのデフロスト方法 | |
KR20090102957A (ko) | 차량용 냉방시스템의 성능향상 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100312 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100323 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5223091 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |