JPH0655114A

JPH0655114A - 洗浄装置および洗浄方法

Info

Publication number: JPH0655114A
Application number: JP6173493A
Authority: JP
Inventors: Keiji Imamura; 啓志今村
Original assignee: Kanken Techno Co Ltd
Current assignee: Kanken Techno Co Ltd
Priority date: 1992-06-09
Filing date: 1993-03-22
Publication date: 1994-03-01

Abstract

(57)【要約】【目的】油付着，ミクロンオーダの異物の付着を許さ
ない精密機器部品の洗浄に適した洗浄装置および洗浄方
法を提供する。【構成】被洗浄物６を間欠的に搬送する搬送ライン７
と、この搬送ライン７を通過させた、互いに隣接する入
側隔離室１，洗浄兼洗浄液滴下室２，すすぎ兼乾燥室
３，出側隔離室４を備えた処理槽５と、搬送ライン７の
作動周期時には、各室を開く一方、搬送ライン７の間欠
運転時における停止周期時には、各室を閉じて、隔離状
態にする扉９とを備え、入側隔離室１，出側隔離室４内
を脱気可能に形成し、洗浄兼洗浄液滴下室２内を、塩素
を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用すること
なく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄液
で以て被洗浄物６に対して洗浄可能に、かつ洗浄液滴
下、回収可能に形成し、すすぎ兼乾燥室３を被洗浄物６
に対して過熱水蒸気を噴射して、被洗浄物６からの炭化
水素の除去を可能に形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体，液晶
部品，磁気ディスク，電気・電子部品，光学部品，複写
機用部品、および軸受部品等の精密機器部品の洗浄に好
適な洗浄装置および洗浄方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上記の各種精密機器部品の表面は、最終
製品に至る迄の間に、加工工程において各種の切削材，
研磨材，ごみ，エッチング剤等が、一般的には機械油と
ともに付着して、汚される。そして従来は、この汚れを
落とすのに、フッ化炭化水素系溶剤，塩化メチレン，ト
リクレン、およびパークレンを代表とする有機塩素系炭
化水素が主に使用されるとともに、この他さらにアルコ
ール系，ケトン系の溶剤、および水系洗浄剤も使用され
てきた。なかでもフッ化炭化水素系溶剤は、抜群の洗浄
力とともに不燃性，低沸点，化学的安定性、および金
属，プラスチック，セラミック等の被洗浄物を侵さない
という優れた特性から、代表的な洗浄剤として重宝され
てきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の洗浄剤の
内、フッ化炭化水素系溶剤を含む有機塩素系炭化水素
は、地球オゾン層破壊の元凶として、さらに人体に対す
る発癌性物質である疑いもあり、早晩使用出来ない状況
に追い込まれつつある。このため、界面活性剤を用いた
水系洗浄剤，アルコールを中心とした混合溶剤の面から
代替洗浄剤が盛んに検討されているが、いずれもなお問
題が多いのが現状である。例えば、以下の如き点が指摘
できる。

【０００４】（１）水系洗浄剤不燃性で排ガス処理が不要であるという利点がある
が、関連設備のための所要面積は、従来の溶剤洗浄によ
る場合に比して広くする必要がある。被洗浄物の材質によっては、適用できない場合があ
る。ワンパス洗浄であるため、排水量が多く、また排水
処理設備も必要となる。水切り・乾燥について、様々な方法が提案されてい
るが、被洗浄物の種類，形状によっては、決め手となる
方法が未だない。採用する方法によっては、被洗浄物表
面に、しみ、スポット状の斑点即ち、或は錆が発生した
り、使用溶剤の回収，再生が必要になる等の問題が生じ
る。全般的に、洗浄剤管理の方法が確立しておらず、１
週間程度で洗浄剤の全量交換を要する場合がある。

【０００５】（２）アルコール系，テトン系洗浄剤高級アルコール系、ケトン系洗浄剤では、洗浄後の
水リンスを必要とするものがあり、この後の水切り，乾
燥が必要となる。なお、レンズ，感光体ドラムの洗浄で
は、しみの問題が未だ解決されていない。水と混合使用した場合には、使用液、およびリンス
液の排水処理が必要になる。軽度の汚れ洗浄には、使用できても機械油を含む汚
れには、洗浄力が不足して、十分な洗浄はできない。本発明は、斯る従来の問題点を課題としてなされたもの
で、ミクロンオーダの異物の付着も許されない精密機器
部品、なかでも油付着した精密機器部品に対して、上述
した問題を生じることなく、洗浄可能とした精密機器部
品の洗浄装置および洗浄方法を提供しようとするもので
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、第１発明は、被洗浄物である精密機器部品を間欠的
に搬送する搬送ラインと、この搬送ラインを通過させ
た、互いに隣接する入側隔離室，洗浄兼洗浄液滴下室，
すすぎ兼乾燥室、および出側隔離室を備えた処理槽と、
上記搬送ラインの作動周期時には、上記各室を開く一
方、上記搬送ラインの間欠運転時における停止周期時に
は、上記各室を閉じて、隔離状態にする扉とを備え、上
記入側隔離室，出側隔離室内の雰囲気を、その隣接室を
装置外と隔離する状態に形成し、上記洗浄兼洗浄液滴下
室内を、塩素を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を
使用することなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素か
らなる洗浄液で以て被洗浄物に対して洗浄可能に、かつ
洗浄液滴下、回収可能に形成し、上記すすぎ兼乾燥室を
被洗浄物に対して過熱水蒸気を噴射して、被洗浄物から
の炭化水素の除去を可能に形成した。

【０００７】また、第２発明は、塩素を一構成成分とす
る有機ハロゲン系溶剤を使用することなく、沸点６０〜
３５０°Ｃの炭化水素で以て被洗浄物である精密機器部
品を洗浄する工程と、その後被洗浄物に過熱水蒸気を噴
射する工程とから構成した。

【０００８】さらに、第３発明は、入側隔離室に被洗浄
物である精密機器部品を搬送して、この入側隔離室を閉
じた状態で、室内雰囲気を、その隣接室を装置外と隔離
する状態にする第１工程と、この入側隔離室から、これ
に隣接した洗浄兼洗浄液滴下室に被洗浄物を搬送して、
この洗浄兼洗浄液滴下室を閉じた状態で、塩素を一構成
成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用することなく、沸
点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄液で以て被
洗浄物を洗浄し、この洗浄液を滴下させ、回収する第２
工程と、この洗浄兼洗浄液滴下室から、これに隣接した
すすぎ兼乾燥室に被洗浄物を搬送して、このすすぎ兼乾
燥室を閉じた状態で、被洗浄物に対して過熱水蒸気を噴
射する第３工程と、このすすぎ兼乾燥室から、これに隣
接した出側隔離室に被洗浄物を搬送して、この出側隔離
室を閉じた状態で、室内雰囲気を、その隣接室を装置外
と隔離する状態にした後、被洗浄物を出側隔離室外に搬
送して取出す第４工程とから構成した。

【０００９】第４発明は、バケットが、被洗浄物を収容
した状態で通過するための必要最小限の大きさの出入口
を備え、塩素を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を
使用することなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素か
らなる洗浄液を溜めた洗浄槽と、上記同様の大きさの出
入口を備え、上記洗浄槽の隣に設けられた洗浄液除去・
乾燥槽と、上記洗浄槽の入側の被洗浄物搬入部を経て、
上記洗浄槽，洗浄液除去・乾燥槽を通過し、この洗浄液
除去・乾燥槽の出側の被洗浄物搬出部を経て循環すると
ともに、間隔をおいて保持したバケットを搬送する過程
で上記洗浄液内に浸漬させる無端連続搬送装置と、少な
くとも上記洗浄槽の入口部，洗浄槽内，上記洗浄液除去
・乾燥槽の出口部の３箇所にて吸引可能に設けた排気装
置と、上記洗浄液を上記洗浄槽から取り出し、精製した
後、上記洗浄槽に戻す洗浄液再生装置と、上記洗浄液除
去・乾燥槽内にガスを噴射させるガス供給装置とを設け
て形成した。

【００１０】

【作用】第１発明のように構成することにより、従来の
有機塩素系炭化水素等を使用した場合における、環境破
壊等の問題を生じることなく、炭化水素のみを用いた場
合、過熱水蒸気のみを噴射した場合にはできなかった、
精密機器部品、特に油付着した精密機器部品のミクロン
オーダーの異物を除去する洗浄が、続けて行われるよう
になる。第２発明のように構成することにより、上記問
題を生じることなく、炭化水素のみを用いた場合、過熱
水蒸気のみを噴射した場合にはできなかった、精密機器
部品、特に油付着した精密機器部品のミクロンオーダー
の異物を除去する洗浄が行われるようになる。

【００１１】第３発明のように構成することにより、第
２発明における作用に加えて、連続的に行われるように
なる。第４発明のように構成することにより、第１発明
における作用に加えて、被洗浄物の洗浄が、連続的に行
われるようになる。

【００１２】

【実施例】次に、本発明の一実施例を図面にしたがって
説明する。図１〜図５は、第２発明，第３発明に係る洗
浄方法を適用した第１発明に係る洗浄装置を示してい
る。本実施例では、互いに隣接する入側隔離室１，洗浄
兼洗浄液滴下室２，すすぎ兼乾燥室３、および出側隔離
室４を備えた処理槽５に、被洗浄物６、即ち精密機器部
品を、図１において左から右に向かって搬送する搬送ラ
イン７を通過させるように形成してある。上記各室に
は、昇降式の扉８が設けてあり、室内は室外とは隔離可
能となっている。入側隔離室１には、第１吸気流路９が
接続しており、室内を脱気できるようになっている。

【００１３】洗浄兼洗浄液滴下室２は、３区分された洗
浄空間部１１と、これに続く一つの洗浄液滴下，回収空
間部１２とからなっている。洗浄空間部１１の下部は沸
点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄液、例えば
ガソリン，リグロイン，軽油，灯油，ベンゼン，トルエ
ン，キシレン，或はこれらのうちの２種以上の混合液、
好ましくは灯油を溜めた、洗浄液タンク１３となってい
る。図１中に示すように、この洗浄液タンク１３の下部
に超音波発生手段１４を設けて、洗浄効果を高めるよう
にしてもよく、さらにこれと同様の目的で、液撹拌手
段，液加熱手段を設けてもよい。洗浄液滴下，回収空間
部１２の下部は、滴下した洗浄液を回収する洗浄液回収
部１５となっており、滴下液は下方の洗浄液回収流路１
６により洗浄液タンク１３に戻されるようになってい
る。

【００１４】さらに、洗浄液タンク１３の下部には、第
１ポンプ１７，洗浄液再生装置１８を設けた洗浄液再生
流路１９が接続しており、第１ポンプ１７により洗浄液
タンク１３より機械油、ごみ等で汚れた洗浄液を洗浄液
再生装置１８に送り、ここで例えばフィルタを用いて洗
浄液を浄化した後、洗浄液を再度洗浄液タンク１３に戻
し、循環使用するように形成してある。なお、本実施例
では、洗浄液再生流路１９は、洗浄液回収流路１６に合
流させて洗浄液タンク１３に戻すように形成してある。
また、本実施例では、３区分された洗浄空間部１１の各
洗浄液タンク１３間に堰を設けるとともに、再生した洗
浄液を、図１において右端の洗浄液タンク１３に供給
し、洗浄液が堰を超えて右から左にオーバーフローする
ようにしてある。そして、使用済みの洗浄液を左端の洗
浄液タンク１３から抜いて、被洗浄物６の洗浄が進むに
つれて、よりきれいな洗浄液を用いるようになってい
る。

【００１５】すすぎ兼乾燥室３内には、被洗浄物６に均
一に過熱水蒸気を噴射する過熱水蒸気噴射ノズル２０が
設けてあり、すすぎ兼乾燥室３の下部は洗浄液と水の混
合液を一旦溜める液溜め部２１となっている。なお、本
実施例では、洗浄液再生装置１８の入側にて洗浄液再生
流路１９から燃料流路２２を分岐させ、ここに設けた第
２ポンプ２３により、使用済みの洗浄液をボイラ２４に
供給して、ボイラ２４を稼働させるように形成してあ
る。そして、給水流路２５により送られてきた水をボイ
ラ２４により過熱水蒸気に変えて、これを蒸気供給流路
２６より過熱水蒸気ノズル２０に供給するようにしてあ
る。さらに、液溜め部２１に溜まった混合液は、油水分
離器２７を設けた排水流路２８より出て、油水分離器２
７で、例えばフィルタを用いて油分離され、水だけがド
レン受け２９に溜められるようになっている。また、過
熱水蒸気を噴射した後、被洗浄物６の乾燥のためにすす
ぎ兼乾燥室３の上部には、第２吸気流路３０が接続して
おり、室内は脱気可能となっている。

【００１６】なお、図１では、過熱水蒸気ノズル２０
は、図面を見易くするため便宜上、被洗浄物６の進行方
向に２列設けたように示してあるが、実際には被洗浄物
６の進路の両側に設けてあり、被洗浄物６と干渉するこ
とはない。出側隔離室４には、第３吸気流路３１が接続
しており、室内を脱気できるようになっている。処理槽
５は、防爆構造とするのが好ましい。搬送ライン７は、
全体的には、図５に示すように四角形のループを形成し
ており、２列に配置した駆動ローラ３２を備え、この駆
動ローラ３２上を進むパレット３３の下方にハンガー３
４を吊持させてある。ハンガー３４には、被洗浄物６を
適宜間隔で上下左右に配置したバケット３５が載置して
ある。図１〜図３において挿入セクションIから抽出セ
クションIXまで、入側隔離室１，洗浄兼洗浄液滴下室２
等を含む各セクションが、符号I〜IXで示してあるが、
搬送ライン７は、パレット３３を各セクションの中心間
の距離を１ピッチとする間欠運転を行う。

【００１７】パレット３３，ハンガー３４は、搬送ライ
ン７により、間欠的に上記ループを循環している。そし
て、例えば挿入セクションIでハンガー３４に被洗浄物
６を配置したバケット３５を載せ、抽出セクションIXで
ハンガー３４からバケット３５を取り出すようになって
いる。また、少なくとも挿入セクションIから抽出セク
ションIXまでは、各セクション毎に、駆動ローラ３２の
駆動は別個の駆動装置３６に依っている。例えば、図２
中のセクションIVに示すように、各駆動ローラ３２間の
駆動力の伝達はチェーン３７により行えばよい。なお、
図面を見易くするため、パレット３３、チェーン３７
は、他のセクションでは図示するのを省略してある。

【００１８】洗浄空間部１１を構成するセクションII
I，IV，Vでは、駆動ローラ３２は、昇降装置３８により
吊持された昇降フレーム３９により支持され、この昇降
フレーム３９とともに昇降可能となっている。そして、
ハンガー３４を降下させて、被洗浄物６を洗浄液に浸漬
して、洗浄した後、上昇させるようになっている。ここ
で、この上昇時に、ギア４０，４１が円滑に噛合うよう
にするために、このセクションIII，IV，Vにおける駆動
装置３６の出力軸とギア４０，４１を介して係合する駆
動ローラ３２の軸は、ばねにより上方に付勢された状態
で支持されている。駆動ローラ３２の昇降の際、ギア４
０，４１の噛合いが外れて、駆動ローラ３２が一旦降下
した後、駆動ローラ３２が上昇して、ギア４０とギア４
１が当たったときに、必ずしも各々の歯と歯溝が噛合う
ようになるとは限らない。しかし、互いの歯と歯が当た
っても、ギア４１の軸、即ちセクションIII，IV，V内の
最も下流側の駆動ローラ３２の軸が、上述のようにばね
を介して支持している故、この軸がばねの伸縮分だけ逃
げ、駆動装置３６が作動して、ギア４０が回転したとき
に、ギア４０，４１が噛合い、正常な状態となる。

【００１９】また、上述したように、扉８は昇降式とな
っているが、間欠運転中の駆動ローラ３２が停止周期に
ある間に、扉８の昇降を行わせるように形成してある。
なお、洗浄空間部１１での洗浄効果を高めるために、上
記超音波発生手段１４の設置に代えて、或はこれととも
に、駆動ローラ３２，ハンガー３４を降下させて被洗浄
物６を洗浄液に浸漬させた状態で、被洗浄物６を上下動
させるようにしてもよい。

【００２０】次に、第２，第３発明に係る洗浄方法を上
記構成からなる装置に適用して説明する。以下、搬送ラ
イン７の停止周期から作動周期への移行時には、扉８を
降下させて、セクション間の開口部を閉じ、逆に作動周
期を終えて、停止周期の状態になると扉８を上昇させ
て、上記開口部を開くことになり、同じ動作の繰り返し
になる故、この点に関する記述は割愛する。まず、セク
ションIにてハンガー３４上に被洗浄物６を載せた状態
として、第１工程で搬送ライン７により被洗浄物６を入
側隔離室１（セクションII）内に搬送して、第１吸気流
路９により、室内を脱気する。これにより、続く洗浄兼
洗浄液滴下室２の被洗浄物搬入側での外部との隔離状態
が良好となる。第２工程で、被洗浄物６を洗浄兼洗浄液
滴下室２（セクションIII〜VI）に搬送して、まず洗浄
空間部１１で被洗浄物６を洗浄液タンク１３内の洗浄液
に浸漬して洗浄した後、洗浄液滴下，回収空間部１２で
被洗浄物６から洗浄液を滴下させ、回収する。

【００２１】ここで、被洗浄物６が、例えば機械油付着
により汚れていても、洗浄液、例えば灯油に溶解させ、
微細物を分散させて取り除き、汚れた洗浄液は洗浄液再
生装置１８にて、例えばフィルタを使用して溶解物，分
散微細物を濾別分離して再生している。そして、その一
部は洗浄液回収部１５から回収した洗浄液とともに、再
度洗浄に用い、一部はボイラ２４の燃料として利用す
る。また、本実施例では、３区分された洗浄液タンク１
３を採用し、セクションIII，IV，Vと進むにつれて、洗
浄液を新規清浄なものとして、洗浄効果を高めるように
してある。なお、上述したように、洗浄効果をより一層
高めるために、超音波発生手段１４を使用してもよく、
この他ハンガー３４を上下動させること、洗浄液を撹拌
させること、或は洗浄液加熱手段を用いることのいずれ
か、或はこれらを組合わせを採用してもよい。

【００２２】ついで、第３工程で、被洗浄物６をすすぎ
兼乾燥室３に搬送して、ここで被洗浄物６に、蒸気供給
流路２６から送られてくる過熱水蒸気を噴射して、残留
洗浄液の揮発除去処理を行なう。噴射水蒸気は、洗浄液
の揮発分離と同時に噴射力により洗浄液を含む残留物を
掻き落とし、被洗浄物から洗浄液、残留物を除去し、こ
れらと混在した状態で液溜め部２１に流れ落ちる。さら
に、この液溜め部２１内の液を、油水分離器２７に導い
て、ここで油水分離して、水はドレン受け２９に集め
る。ここで、水と分離された洗浄液はボイラ２４の燃料
として利用するようにしてもよく、清浄洗浄液と混ぜて
洗浄用に使用してもよい。さらに、上記噴射の後、第２
吸気流路３０により、室内を脱気して被洗浄物６の乾燥
を行う。

【００２３】第４工程で、被洗浄物６を出側隔離室４に
搬送して、第３吸気流路３１により、室内を脱気して、
洗浄兼洗浄液滴下室２の被洗浄物搬出側での外部との隔
離状態を良好とし、その後、被洗浄物６を出側隔離室４
から搬出する。なお、第１〜第３発明において、上記各
実施例では、入側隔離室１，出側隔離室４は室内を脱気
するようにしたものを示したが、この他、入側隔離室１
を室内が外部に対して正圧となるようにＮ₂ガス、或は
飽和水蒸気を充満させ、出側隔離室４を排気口と導入口
とを有するものとし、排気口から水蒸気を排出するとと
もに、導入口から空気を導入するようにしてもよい。ま
た、上記各実施例では、洗浄空間部１１で被洗浄物６を
昇降させて、洗浄液タンク１３に浸漬させることにより
洗浄するようにしたものを示したが、この他、洗浄空間
部１１で被洗浄物６を昇降させずに、他室におけるのと
同じ高さに保ったままで、被洗浄物６に洗浄液を噴射す
ることにより洗浄するようにしたものであってもよい。

【００２４】次に、テスト結果について説明する。第１
のテストでは、材質がＳＵＳ−３０４で、外形寸法が３
０×７０×０．３（ｍｍ）の四角形状の薄板の４辺と
も、その縁部を同一方向に折り曲げて、折り曲げ部の高
さを５ｍｍとし、この折り曲げ部に囲まれた平面部に直
径１ｍｍの孔を３列に、各列１０個ずつ、計３０個穿設
しものに、プレスオイル（商品名：三菱石油ルブ＃４６
０ＲＤ）および防錆油（商品名：フェロコートＪＣＩ）
を、それぞれ１０ｍｇ、計２０ｍｇを塗布し、２５°Ｃ
の室内に１時間放置して試料片を形成した。一方、沸点
１９０〜２５０°Ｃの灯油５００ｍｌを入れたビーカを
３個準備し、２５°Ｃの温度条件下で、まず第１のビー
カに試料片を入れて、３０秒間ピンセットで試料片を保
持しつつ、その間毎秒１回ずつ試料片を揺り動かして、
取り出した。

【００２５】その後、この試料片を第２，第３のビーカ
に移して、それぞれにおいて上記と同じ洗浄操作を繰り
返した後、試料片をろ紙上に取り出した。ついで、温度
１３０〜１５０°Ｃ，圧力３〜５ｋｇ／ｃｍ²の過熱水
蒸気を試料片に９０秒噴射した。なお、その間は、試料
片をピンセットで保持し、過熱水蒸気が試料片の両面に
当たるように適宜試料片の方向を変えた。テスト結果
は、洗浄，すすぎ，乾燥処理した試料片の各表面の外観
を目視検査したところ、スポット上の斑点は全く認めら
れなかった。さらに、試料片を塩化メチレン５００ｍｌ
で沸騰後、溜去したところ、全く残留物は認められなか
った。

【００２６】ついで、これとの比較のために行ったテス
トでは、上述したのと同じ材質，形状，条件の試料片を
用い、灯油の代わりにノニオン活性材（商品名：リクリ
アーＣＷ−６３４０，第一工業製薬（株）製）の１０％
水溶液３００ｍｌを入れたビーカを３個準備し、上記第
１のテストと同じ条件下で洗浄処理をした。ついで、試
料片をピンセットで保持した状態で、イオン交換塔と中
空式逆浸透膜装置を通した純水の流水下で、５分間すす
ぎ処理を行った。その後、試料片を試験用ろ紙に受け、
８０°Ｃの通風乾燥器内で３０分間乾燥処理した後、取
り出した。テスト結果は、試料片の各表面の外観を目視
検査したところ、折り曲げ片のコーナ部、および直径１
ｍｍの開口部端部周辺にスポット状斑点が認められた。
なお、試料片について第１のテストと同じ処理を行い、
残留物を回収し、これをＩＲ分析にかけた場所に、付着
油分の２．４％が残留している事が認められた。

【００２７】次に、第２のテストについて説明する。こ
の第２のテストでは、上記実施例に示した装置と同様の
構成からなる模型で行った。被洗浄物として、定法によ
り製造された２５インチのＣＲＴ用シャドウマスクを採
用し、これを６枚、上記実施例におけるバケットと同様
のバケットに搭載した。上記処理槽５に対応するものと
して、処理槽の各室を、いずれも不飽和ポリエステル系
の材質のＦＲＰで形成した箱体とし、各セクションの横
断面寸法を７００×７００（ｍｍ）とし、セクションI
I，VI〜VIIIは高さ５００ｍｍ，セクションIII〜Vは高
さ１０００ｍｍとし、それぞれ７個直列に接続した。

【００２８】洗浄空間部１１の洗浄液タンク１３に対応
する洗浄タンクには、洗浄液としてそれぞれ２００Ｌの
灯油を入れ、液温３０°Ｃで、被洗浄物の浸漬時間を各
タンク毎に３分間とし、過熱水蒸気噴射ノズルからは１
３０〜１５０°Ｃ，３〜５ｋｇ／ｃｍ²の水蒸気を噴射
させた。上記実施例の場合と同様の工程で、洗浄，すす
ぎ，乾燥を行い、上記第１のテストの場合と同じ方法
で、塩化メチレンで洗浄抽出したところ、有機物の残留
物は認められなかった。

【００２９】図６は、第２発明に係る方法を適用した第
４発明に係る洗浄装置を示し、洗浄槽５１，洗浄液除去
・乾燥槽５２，無端連続搬送装置５３，排気装置５４，
洗浄液再生装置５５，ガス供給装置５６を備えている。
洗浄槽５１は、後述するバケット５７が被洗浄物６を収
容した状態で通過するための必要最小限度の大きさの入
口５８，出口５９を有している。また、内部には、塩素
を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用すること
なく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄液
６０が溜められている。具体的には、洗浄液６０として
灯油が好ましく、その他の例として、ガソリン，リグロ
イン，軽油，灯油，ベンゼン，トルエン，キシレン，或
はこれらのうちの２種以上の混合液がある。

【００３０】さらに、本実施例では、洗浄槽５１の底部
に超音波発振手段１４が設置してあり、洗浄効果を高め
るようにしてある。この他、洗浄液６０を撹拌させる手
段、洗浄液加熱手段、これらの組合わせを採用してもよ
い。但し、超音波発生手段１４，撹拌手段，洗浄液加熱
手段は、必須のものではない。洗浄液除去・乾燥槽５２
は、洗浄槽５１の隣に設けられ、上記同様の大きさの入
口６１，出口６２を備えている。無端連続搬送装置５３
は、洗浄槽５１，洗浄液除去・乾燥槽５２内を通過し
て、洗浄槽５１の入口に戻る、例えばアタッチメント付
きの２条のチェーンコンベア６３を間隔をおいて並設
し、このアタッチメントにより、一定の間隔で被洗浄物
６を収容した複数のバケット５７を保持できるように形
成されている。なお、図中６４は駆動部，６５はスプロ
ケットであり、６５ａはテンション調整用のスプロケッ
トを示している。

【００３１】この洗浄槽５１の入側部分は、被洗浄物６
の搬入部６６、洗浄液除去・乾燥槽５２の出側部分は、
被洗浄物６の搬出部６７になっており、搬入部６６に
て、バケット５７内に被洗浄物６を受け取り、この被洗
浄物６を搬出部６７にて続く工程に移行させるようにな
っている。この受け取り、移行は、例えば、天井クレー
ン、フォークリフト、無端連続搬送装置５３に続けて設
けたコンベア等の搬送手段、或は作業者の手作業により
行われる。また、洗浄槽５１内にて、チェーンコンベア
６２は洗浄液６０内を通過して、バケット５７上の被洗
浄物６が完全に洗浄液６０に浸かり、被洗浄物６の洗浄
が行われる。上述したように、この洗浄に際し、超音波
発生手段１４により細部の洗浄が促進される。なお、好
ましくは洗浄槽５１、および洗浄液除去・乾燥槽５２を
防爆構造にするのがよい。

【００３２】排気装置５４は、本実施例では、排気ファ
ン６８と、洗浄槽５１の入口部，洗浄槽５１内，上記洗
浄液除去・乾燥槽５２の出口部の３カ所に吸気口を向け
た吸気部６９とを備えている。そして、洗浄槽５１内の
充満ガス、洗浄槽５１から外部に漏れたガス、および洗
浄液除去・乾燥槽５２において気化して、外部に漏れた
ガスを排気ファン６８により、後述する焼却装置７０に
送出すようにしてある。なお、図６において※印同志
は、連続していることを表している。また、吸気部６９
は、上記以外の位置に適宜設けてもよい。

【００３３】洗浄液再生装置５５は、ポンプ７１，精製
器７２を備え、ポンプ７１により、洗浄槽５１から取出
した洗浄液を、精製器７２を経由して、洗浄槽５１に戻
している。精製器７２では、例えばフィルタを用いてご
み等で汚れた洗浄液が浄化される。なお、洗浄液再生装
置５５が洗浄槽５１から洗浄液６０を取出す位置は洗浄
槽５１の入口側が、また洗浄液を戻す位置は洗浄槽５１
の出口側が望ましい。さらに、再生して、浄化された洗
浄液を、図示するようにノズル７３より最終的な洗浄と
して被洗浄物６に噴射するのが望ましい。洗浄槽５１は
洗浄液６０が減少した場合、洗浄液補給手段を備えてい
ることは言うまでもなく、精製器７２の出側で、洗浄液
補給用の配管を合流させて、ポンプ７１により補給して
もよく、別途、洗浄液補給用のポンプ、配管によっても
よい。

【００３４】なお、精製器７２から、洗浄液の一部が焼
却装置７０のバーナ７４に送られる。ガス供給装置５６
は、洗浄液除去・乾燥槽５２内の被洗浄物６に空気を噴
射するノズル７５と、このノズル７５に空気を送るブロ
ワ７６とを有している。なお、このブロワ７６からの空
気は、バーナ７４にも送られており、上述した精製器７
２からの洗浄液６０の燃焼に供するようにしてある。ま
た、本実施例では、ブロワ７６からの空気を熱交換器７
７を介して、ノズル７５に送るように形成してある。一
方、この熱交換器７７には、排気ファン６８からのガス
が、バーナ７４により燃焼させられ生成した排ガス、お
よびバーナ７４自体の燃焼による排ガスが送られてい
る。

【００３５】そして、熱交換器７７にて、この高温の排
ガスとノズル７５に送る空気との間で熱交換させ、ノズ
ル７５から熱風を送り出している。熱交換後の排ガス
は、例えば煙突７８から大気中に放出され、公害を起こ
さないようにしてある。そして、上記のように構成する
ことにより、環境破壊等の問題を生ずることなく被洗浄
物、なかでも油付着した精密機械部品、複雑な形状をし
た物の洗浄を、無駄なく連続的に行うようになってい
る。なお、本発明は、熱交換器７７を必須とするもので
はない。

【００３６】また、上記実施例では、バケット５７をチ
ェーンコンベア６３上に保持したままで循環させ、搬入
部６６，搬出部６７にて被洗浄物６を受け渡しするよう
にした装置を示したが、本発明は、これに限定するもの
でなく、この他、例えばバケット５７は循環させず、搬
入部６６で被洗浄物６を収容したバケット５７を受け取
り、搬出部６７で洗浄・乾燥後の被洗浄物６を収容した
バケット５７を次工程に移行させるようにしたものも含
む。さらに、本発明はこの他、例えばコンベアの経路を
洗浄液６０の箇所で低くした天井走行式のタイプにし
て、バケット５７をコンベアにより吊り下げるようにし
た装置も含むものである。

【００３７】さらに、洗浄槽５１と洗浄液除去・乾燥槽
５２とを間隔をあけずに隣接させ、洗浄液除去・乾燥槽
５２の内圧を洗浄槽５１の内圧よりも高くするようにし
た装置であってもよい。さらに、洗浄液除去・乾燥槽５
２は、洗浄槽５１と隣接する部分に洗浄液除去工程に入
る前に、洗浄液除去・乾燥装置５２からのガスの流入を
完全に防止するために、洗浄槽５１の内圧よりも高い内
圧を有する加圧室を有するものであってもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、第１発
明によれば、被洗浄物である精密機器部品を間欠的に搬
送する搬送ラインと、この搬送ラインを通過させた、互
いに隣接する入側隔離室，洗浄兼洗浄液滴下室，すすぎ
兼乾燥室、および出側隔離室を備えた処理槽と、上記搬
送ラインの作動周期時には、上記各室を開く一方、上記
搬送ラインの間欠運転時における停止周期時には、上記
各室を閉じて、隔離状態にする扉とを備え、上記入側隔
離室，出側隔離室内の雰囲気を、その隣接室を装置外と
隔離する状態に形成し、上記洗浄兼洗浄液滴下室内を、
塩素を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用する
ことなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗
浄液で以て被洗浄物に対して洗浄可能に、かつ洗浄液滴
下、回収可能に形成し、上記すすぎ兼乾燥室を被洗浄物
に対して過熱水蒸気を噴射して、被洗浄物からの炭化水
素の除去を可能に形成した。

【００３９】このため、従来の有機塩素系炭化水素等を
使用した場合における、環境破壊等の問題を生じること
なく、炭化水素のみを用いた場合、過熱水蒸気のみを噴
射した場合にはできなかった、精密機器部品、特に油付
着した精密機器部品であっても、また複雑な形状を有す
るものであっても、スポット状の斑点を残すことなく、
油とともにミクロンオーダーの異物を除去する洗浄が、
相次いで行われるようになるという効果を奏する。

【００４０】また、第２発明によれば、塩素を一構成成
分とする有機ハロゲン系溶剤を使用することなく、沸点
６０〜３５０°Ｃの炭化水素で以て被洗浄物である精密
機器部品を洗浄する工程と、その後被洗浄物に過熱水蒸
気を噴射する工程とから構成した。このため、第１発明
の場合と同様に環境破壊等の問題を生じることなく、炭
化水素のみを用いた場合、過熱水蒸気のみを噴射した場
合にはできなかった、精密機器部品、特に油付着した精
密機器部品であっても、また複雑な形状を有するもので
あっても、スポット状の斑点を残すことなく、油ととも
にミクロンオーダーの異物を除去する洗浄が可能になる
という効果を奏する。

【００４１】さらに、第３発明によれば、入側隔離室に
被洗浄物である精密機器部品を搬送して、この入側隔離
室を閉じた状態で、室内雰囲気を、その隣接室を装置外
と隔離する状態にする第１工程と、この入側隔離室か
ら、これに隣接した洗浄兼洗浄液滴下室に被洗浄物を搬
送して、この洗浄兼洗浄液滴下室を閉じた状態で、塩素
を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用すること
なく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄液
で以て被洗浄物を洗浄し、この洗浄液を滴下させ、回収
する第２工程と、この洗浄兼洗浄液滴下室から、これに
隣接したすすぎ兼乾燥室に被洗浄物を搬送して、このす
すぎ兼乾燥室を閉じた状態で、被洗浄物に対して過熱水
蒸気を噴射する第３工程と、このすすぎ兼乾燥室から、
これに隣接した出側隔離室に被洗浄物を搬送して、この
出側隔離室を閉じた状態で、室内雰囲気を、その隣接室
を装置外と隔離する状態にした後、被洗浄物を出側隔離
室外に搬送して取出す第４工程とから構成した。このた
め、第２発明による効果に加えて、洗浄，すすぎ，乾燥
が連続的に行われるようになる。

【００４２】さらに、第４発明によれば、バケットが、
被洗浄物を収容した状態で通過するための必要最小限の
大きさの出入口を備え、塩素を一構成成分とする有機ハ
ロゲン系溶剤を使用することなく、沸点６０〜３５０°
Ｃの炭化水素からなる洗浄液を溜めた洗浄槽と、上記同
様の大きさの出入口を備え、上記洗浄槽の隣に設けられ
た洗浄液除去・乾燥槽と、上記洗浄槽の入側の被洗浄物
搬入部を経て、上記洗浄槽，洗浄液除去・乾燥槽を通過
し、この洗浄液除去・乾燥槽の出側の被洗浄物搬出部を
経て循環するとともに、間隔をおいて保持したバケット
を搬送する過程で上記洗浄液内に浸漬させる無端連続搬
送装置と、少なくとも上記洗浄槽の入口部，洗浄槽内，
上記洗浄液除去・乾燥槽の出口部の３箇所にて吸引可能
に設けた排気装置と、上記洗浄液を上記洗浄槽から取り
出し、精製した後、上記洗浄槽に戻す洗浄液再生装置
と、上記洗浄液除去・乾燥槽内にガスを噴射させるガス
供給装置とを設けて形成してある。このため、第１発明
による効果に加えて、被洗浄物の洗浄を連続的に行うこ
とが可能になるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第２，第３発明に係る洗浄方法を適用した第
１発明に係る洗浄装置の処理槽の搬入部から搬出部に至
る部分の装置の構成を示す図である。

【図２】図１に示す装置の搬送ラインのセクションI
〜Vの部分を示す平面図である。

【図３】図１に示す装置の搬送ラインのセクションVI
〜IXの部分を示す平面図である。

【図４】図１に示す装置の洗浄空間部の縦断面図であ
る。

【図５】図１に示す装置の全体レイアウトを示す図で
ある。

【図６】第２発明に係る洗浄方法を適用した第４発明
に係る洗浄装置の全体構成図である。

【符号の説明】

１入側隔離室２洗浄兼洗浄液
滴下室３すすぎ兼乾燥室４出側隔離室５処理槽６被洗浄物７搬送ライン８扉５１洗浄槽５２洗浄液除
去、乾燥槽５３無端連続搬送装置５４排気装置５５洗浄液再生装置５６ガス供給装
置５７バケット５８，６１入口６０，６２出口６０洗浄液６６搬入部６７搬出部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被洗浄物である精密機器部品を間欠的に
搬送する搬送ラインと、この搬送ラインを通過させた、
互いに隣接する入側隔離室，洗浄兼洗浄液滴下室，すす
ぎ兼乾燥室、および出側隔離室を備えた処理槽と、上記
搬送ラインの作動周期時には、上記各室を開く一方、上
記搬送ラインの間欠運転時における停止周期時には、上
記各室を閉じて、隔離状態にする扉とを備え、上記入側
隔離室，出側隔離室内の雰囲気を、その隣接室を装置外
と隔離する状態に形成し、上記洗浄兼洗浄液滴下室内
を、塩素を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用
することなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からな
る洗浄液で以て被洗浄物に対して洗浄可能に、かつ洗浄
液滴下、回収可能に形成し、上記すすぎ兼乾燥室を被洗
浄物に対して過熱水蒸気を噴射して、被洗浄物からの炭
化水素の除去を可能に形成したことを特徴とする洗浄装
置。
【請求項２】塩素を一構成成分とする有機ハロゲン系
溶剤を使用することなく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化
水素で以て被洗浄物である精密機器部品を洗浄する工程
と、その後被洗浄物に過熱水蒸気を噴射する工程とから
構成したことを特徴とする洗浄方法。
【請求項３】入側隔離室に被洗浄物である精密機器部
品を搬送して、この入側隔離室を閉じた状態で、室内雰
囲気を、その隣接室を装置外と隔離する状態にする第１
工程と、この入側隔離室から、これに隣接した洗浄兼洗
浄液滴下室に被洗浄物を搬送して、この洗浄兼洗浄液滴
下室を閉じた状態で、塩素を一構成成分とする有機ハロ
ゲン系溶剤を使用することなく、沸点６０〜３５０°Ｃ
の炭化水素からなる洗浄液で以て被洗浄物を洗浄し、こ
の洗浄液を滴下させ、回収する第２工程と、この洗浄兼
洗浄液滴下室から、これに隣接したすすぎ兼乾燥室に被
洗浄物を搬送して、このすすぎ兼乾燥室を閉じた状態
で、被洗浄物に対して過熱水蒸気を噴射する第３工程
と、このすすぎ兼乾燥室から、これに隣接した出側隔離
室に被洗浄物を搬送して、この出側隔離室を閉じた状態
で、室内雰囲気を、その隣接室を装置外と隔離する状態
にした後、被洗浄物を出側隔離室外に搬送して取出す第
４工程とから構成したことを特徴とする洗浄方法。
【請求項４】バケットが、被洗浄物を収容した状態で
通過するための必要最小限の大きさの出入口を備え、塩
素を一構成成分とする有機ハロゲン系溶剤を使用するこ
となく、沸点６０〜３５０°Ｃの炭化水素からなる洗浄
液を溜めた洗浄槽と、上記同様の大きさの出入口を備
え、上記洗浄槽の隣に設けられた洗浄液除去・乾燥槽
と、上記洗浄槽の入側の被洗浄物搬入部を経て、上記洗
浄槽，洗浄液除去・乾燥槽を通過し、この洗浄液除去・
乾燥槽の出側の被洗浄物搬出部を経て循環するととも
に、間隔をおいて保持したバケットを搬送する過程で上
記洗浄液内に浸漬させる無端連続搬送装置と、少なくと
も上記洗浄槽の入口部，洗浄槽内，上記洗浄液除去・乾
燥槽の出口部の３箇所にて吸引可能に設けた排気装置
と、上記洗浄液を上記洗浄槽から取り出し、精製した
後、上記洗浄槽に戻す洗浄液再生装置と、上記洗浄液除
去・乾燥槽内にガスを噴射させるガス供給装置とを設け
て形成したことを特徴とする洗浄装置。