JPH0316683A

JPH0316683A - 加工品を洗浄するための装置

Info

Publication number: JPH0316683A
Application number: JP5478490A
Authority: JP
Inventors: Michael T Mittag; マイケル・ティー・ミターグ; Donald A Elliott; ドナルド・エー・エリオット; Alan S Roberts; アラン・エス・ロバーツ
Original assignee: Electrovert Ltd
Current assignee: Electrovert Ltd
Priority date: 1989-03-06
Filing date: 1990-03-06
Publication date: 1991-01-24
Also published as: CA2011397C; CA2011397A1; EP0387001A2; EP0387001A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】発明の背景この発明は加工品の洗浄に関し、かつ特定的に、しかし
排他的にではなく、その上に電気コンポーネントが半田
付けされた印刷回路基板の洗浄に関する。

そのような回路基板が半田付け工程から出てくるとき、
それらはその上にフラックス残量物などの汚染物質を有
し、それらは液体洗浄溶剤を用いることによって除去さ
れなければならない。そのような仕事のために広く用い
られる溶剤の１つ、すなわちデュポン・フレオン（Ｄｕ
ｐｏｎｔ　Ｆｒｅｏｎ）　ＴＭＳとして商業的に入手可
能なＣＦＣ−１　１３およびメタノールの安定化共沸混
合物は火災または爆発の危険から完全に安全である。し
かしながら、この溶剤がオゾン層を枯渇させるというこ
とが知られ、かつおそら＜１９８７年にＵＮＥＰ協定に
署名した多数の国によって世界中で禁止されるであろう
。

新しい溶剤または洗浄物質が試されているが、それらは
直接の代用物としてではなく、代替物としてである。そ
れらの代替の溶剤のいくつかはテルペン（Ｔｅｒｐｅｎ
ｅ）ベースであり、たとえばペトロフェーム（Ｐｅｔｒ
ｏｆ’ｅｒｍ）　Ｅ　Ｃ　−　７、エンバイロソルブ・
リーエントリ（Ｅｎｖｌｒｏｓｏｌｖ　Ｒｅ−Ｅｎｔｒ
ｙ）および他のテルペンおよび／またはアルコールベー
スの溶剤であり、それらは不運なことに低い引火点を有
し、空気中で金属部品、電子回路などのための洗浄物質
として噴霧されるとき、潜在的な火災または爆発の危険
性が大変現実的になる。

以前は、安全な溶剤が開放頂部タンク型洗浄機械内に位
置づけられ、開放頂部タンク内に溶剤の蒸気を含むため
にそれらのいくつかが冷却コイルを有した。他の機械は
より長く作られ、多重段およびコンベアシステムを有す
ものもあり、それらは移送装置上にバスケットを有する
かまたは、開放頂部タンク内へ蒸気ゾーン内へ、時には
また液体洗浄溶剤中へ、下りて部品を搬送するであろう
コンベアベルトを有し、かつそれはまた沸騰しているか
もしれず、かついくつかの場合にはまた、溶剤の超音波
攪拌でのかつ／また，は加工品上に噴霧するための機械
的ポンプ装置およびノズルでの改良された機械的洗浄効
果を有し、それは改良された洗浄をもたらした。これら
の機械の頂部は時には閉じられており、加工品のための
入口および出口の開口に伴う溶剤の損失を減じる。

回路基板に実に平らに取付けられておりかつ洗浄が困難
であると周知である、表面取付装ｉ１１（ＳＭＤ）など
を含むそれらなどの電子回路の最近の出現で、２００ｐ
ｓ　Ｌ　（１２気圧）の圧力およびそれより高いものの
オーダに上る高圧スプレーを伴う装置が開発されてきた
。スプレーおよびそのような高圧と相関の溶剤の結果と
しての増加された損失を含むために、液体シールを介し
てバスケット移送システム内で金属部品などを移送する
ためのシステムが存在し、たとえば米国特許第３，１２
０，８５３号を参照されたい。バスケットを移送するこ
となく、高圧スプレーの含有のための液体シールを伴う
継目なしメッシュベルト移送コンベアを有する類似の機
械を介する加工品の蒸気脱脂が、それによって高圧スプ
レーおよび相関の蒸気が中央ゾーン内に含まれ、かつ入
口および出口ゾーンは一般的に静かであり、それによっ
て機械内の溶剤の高い含有をもたらす。

そのような機械はエレクトロバート（Ｅｌｅｃｔｒｏｖ
ｅｒａ）　Ｓ　Ｃ　−　５　０　０溶剤洗浄機であり、
それはエレクトロパート社報（Ｅｌｅｃｔｒｏｖｅｒｔ
　Ｂｕｌｌｅｔｉｎ）　Ｎｏ．１６４−８０において説
明される。この機械は、第１の浸せき洗浄段、スプレー
洗浄段および第２の浸せき洗浄段を介して順に加工品を
搬送するための手段を含み、各浸せき洗浄段は液体洗浄
溶剤を保持するためのタンクを含み、スプレー洗浄段は
２つの浸せき洗浄段から封止された囲まれた室として形
成され、かつ加工品上に液体洗浄溶剤のスプレーを向け
るための霧吹ノズルをその中に有する。

そのような洗浄機械内で潜在的に引火性（ｆｌａｍｅａ
ｂｌｅ）または爆発性の溶剤を用いることは危険である
。これは、中央ゾーン内に含まれる空気中での液体小滴
の緊密な混合のために、霧吹ノズルが位置づけられる中
央ゾーンに対して特定的に真である。

この発明の目的は、この固有の危険性を減じるための方
法および装置を提供することである。

発明の要約この発明は、特にスプレー洗浄段内に特別の方策を採用
することによって、２つのスプレー洗浄段またはゾーン
内での発火または爆発の問題を解決する。

１つの局面に従えば、この発明は、そこから空気を移す
ためにＮ２または水蒸気（ｓｔｅａｍ）などの不活性ガ
スを中央ゾーン内に噴射することを含み、それによって
発火または爆発の可能性を最小にする。

別の局面に従えば、霧吹ノズルが結合された浸せきおよ
びスプレー洗浄段内に形威され、ノズルは液体洗浄溶剤
の表面下に位置づけられ、それによって溶剤の霧状化を
減じる。

好ましい実施例の説明最初に第１図を参照すると、図面の面に平行な面内に横
たわる、示された洗浄機械２の側部が、内部の詳細を説
明するために除去されていることが理解されるべきであ
る。洗浄機械２は、図の左側に示される入口４および右
側に示される出口６を有する。継目なしメッシュベルト
移送コンベア８が入口から出口へと機械内の様々な処理
ゾーンを介して通過し、コンベアの戻りループ８′は処
理ゾーンの外側に位置づけられる。コンベア８はローラ
上を搬送され、それらのいくつかが１０で示され、それ
らはコンベアを予め定められた経路に強制し、かつまた
コンベアのための駆動力を与える。

入口４から始まって、コンベア８が傾斜チャネル１１に
沿ってかつそれを下って通過し、それは、そこを介して
コンベア８が通過する大量の液体洗浄溶剤１４を含むタ
ンク１２内へ開いている。こうしてタンク１２はコンベ
ア８上を搬送される加工品１６のための浸せき洗浄段を
規定する。タンク内の液体洗浄溶剤は室温または溶剤の
引火点より下の何らかの他の温度である。液体溶剤のボ
ディの物理的乱れ（ｄｉｓｔｕｒｂａｎｃｅ）がほとん
どないという意味で、この浸せき洗浄段は相対的に静か
なゾーンとして説明され得る。タンクのルーフ２０から
下方へ液体溶剤１４内へと延在する垂直壁部１８によっ
てこれが強められ、壁部の下方端部２２は液体溶剤１４
の表面より下にあり、かつそれによって液体シールとし
て働く。

タンク１２の左側側部はチャネル１１の傾斜と一致する
ように傾けられており、かつタンク１２の右側側部２４
は反対方向に傾斜してその上方端部でのリップ２６で終
端となり、これは液体溶剤１４の最も高い高さを規定す
る。コンベア８は、下記に説明されるように、液体シー
ル１８および別の液体シール３０の間に規定される中央
ゾーン２８内へとタンク１２の輪郭に従い、かつそれは
液体シール１８および３０の間に延在するトレイまたは
タンク３２および頂部３４を付加的に含む。

中央ゾーン２８は、タンク３２、頂部３４、液体シール
１８および３０ならびに機械の側部の一部（図面からは
除去されている）によって形成される閉じた室を形戊す
ると理解されるべきである。

少なくとも１組の霧吹ノズル３６がゾーン２８内のコン
ベアの上方および下方に位置づけられ、ノズルはコンベ
アの方に向けられて加工品上に溶剤の低ないし超高圧の
スプレー３８を与えて加工品から残留物を洗浄する。必
要な圧力を与えるためのポンプ（１つまたは複数）およ
び配管は図面から除かれ、なぜならばこれらの特徴物は
それ自体この発明と密接な関係がないからである。米国
特許第３．８６８，２７２号に参照がなされ、その開示
がここに引用によって援用され、それはこの発明ととも
に用いられてもよい特定の新規の装置のさらなる詳細の
ためである。

中央ゾーン２８内のタンク３２が乾燥していると示され
るが、実務において、ノズル３６に源を発するいくらか
の液体溶剤がタンク内にあるであろう。タンク３２内に
集まる液体溶剤のためにドレンおよびまたは再循環シス
テムが設けられてもよい。

Ｎ２などの不活性ガス（またはガスの混合物）または水
蒸気（ｓｔｅａ■）を中央ゾーン２８内に導入するため
に、タンク３２の頂部３４内にバルブインレット４０が
設けられる。この不活性ガスは液体シール１８および３
０によってゾーン２８内に保持され、かつスプレーを形
成する小滴の間の空間を含む全体のスプレーゾーンを満
たす。このゾーンからの酸素の排除は火災または爆発の
危険を大きく減じる。好ましくは、スプレーを生じるた
めのポンプ（および任意の他の潜在的に火災を発生する
コンポーネント）が頂部３４下の不活性ガス環境内に置
かれる。

機械２の右側側部は左側側部の鏡像であり、液体洗浄溶
剤を含むタンク１２に類似のタンク４２を含み、その中
に液体シール３０がタンク項部４４から延在しかつ出口
チャネル４６が出口６へと上向きに傾斜する。再びコン
ベア８の経路がタンク４２の側部および底部の傾斜と一
致する。タンク４２は浸せき濯ぎ段であり、それは、タ
ンク４２内で用いられる溶剤が純粋であって、加工品か
ら任意の残余の汚染物質が除去されることを確実にする
という点を除いて、タンク１２によって設けられる浸せ
き洗浄段と機能的に同一である。タンク１２でのように
、タンク４２は、液体シールによって中央ゾーン２８か
ら分離される相対的に静かなゾーンを規定する。

最大の潜在的火災危険性が中央ゾーン２８内にあると考
えられ、かつこれが不活性ガスによって中和されたけれ
ども、タンク１２および４２の上方の潜在的引火性蒸気
がタンク頂部２０および４４内のポート４３を介して抽
出されてもよい。その代わりには、静かなゾーン内の蒸
気を引く代わりに、中央ゾーン内にポンプで入れられた
のと同じまたは異なる不活性ガスが、たとえばボート４
３が位置づけられているところに位置づけられるインレ
ットを介して静かなゾーン内にポンプで入れられ得る。

そのような場合、不活性ガスはタンク１２および４２内
の液体の自由表面上方に導入されるであろうが、たとえ
ば、不活性ガスインレットが代わりにタンクの底部内に
設けられてもよく、それゆえ不活性ガスが液体の自由表
面下方に導入されるであろうことが考えられる。結果と
しての気泡攪拌が浸せき段の洗浄効率を改良するかもし
れない。別の代替例として、一面のコンパチプルな液体
がタンク１２および４２内の液体溶剤の上部上に浮かべ
られてもよい。そのようなコンパチプルな液体は好まし
くは、潜在的引火性溶剤よりも強力でなくかつ密度が小
さくかつそれと混合しないフレオンベースの溶剤であろ
う。もちろん、タンク１２内で、液体ブランケットは液
体シール１８の左に限られ、タンク４２においては、液
体ブランケットは液体シール３０の右に限られるであろ
う。静かなゾーンでのそのような安全の予防策のための
必要性は、用いられる溶剤の蒸気圧力および他の特性特
質に依存するであろう。

発火または爆発の危険性をさらに減じるために、２組の
霧吹ノズル３６がコンベアの上部での単一組のノズルと
置き換えられ得て、これらのノズルは洗浄されているコ
ンポーネントに噴霧するよりむしろ液体を流す（ｆｌｏ
ｏｄ）ために圧力に関して構或されかつ寸法決めされて
いる。これは、中央ゾーン内に存在する溶剤の霧状にさ
れた小滴、はね、二次スプレー、煙霧質および蒸気の量
を実質上減じるであろう。この可能な修正はまた、下記
に説明される第２図、第３図および第４図の実施例にも
当てはまる。

さらなる安全性の特徴として、静かなゾーン１２への入
口４および静かなゾーン４２からの出口６が流体バリア
カーテンシステムの形であってもよく、それは米国特許
第４．６９６，２２６号において説明され、その開示が
ここに引用により援用される。その特許において説明さ
れるシステムの代わりに、人口４が二重ドア配列を含ん
で、加工品が第１のドアを介して入ることを可能とし、
それから、静かなゾーン１２内への加工品の通過を可能
とするために第２のドアが開く前にそれが閉じる。類似
の二重ドア配列が出口６に設けられるであろう。

３つのゾーンの各々が検出器によってモニタされ得て、
それらが他の気体または液体に対する酸素の割合を検出
および制御するか、または危険な混合を示す警告を少な
くともセットオフする。

他の洗浄段またはコンポーネントが、この発明の範囲ま
たは精神を逸脱することなくこの発明の機械に加えられ
得る。たとえば、超音波トランスジューサ４８が各タン
ク１２および４２の底部に示される。そのような超音波
コンポーネントは一般的に当該技術において２つの浸せ
き段での改良された洗浄を設けるために用いられる。

さらに、上記で説明された実施例においては、２つの浸
せき段が用いられるが、何らかの環境下では１つの浸せ
き段が十分であろうことが考えられる。

さて、第２図を参照すると、浅いトレイ３２′が相対的
に深いタンク３２の代わりをする修正された中央ゾーン
を示す。これは中央ゾーン内の液体の量を減じる。機械
の残りの部分は第１図に示されるとおりであり得る。し
かしながら、第２図は、ちょうどリップ２６まで来てい
ない、タンク１２および４２内の液体溶剤を示す。

第３図のさらなる修正において、中央ゾーンにはタンク
またはトレイが全くなく、ノズル３６から流れ去るもの
はタンク１２および４２内に直接流れる。こうして、中
央ゾーンの量がさらに減じられた。

さて、第４図を参照すると、洗浄機械２′は、中央ゾー
ンのタンク３２が２つの浸せき段のタンク１２および４
２と連続しないということを除いて、第１図の洗浄機械
２と事実上同一である。実際、タンク３２の２つの上方
端縁またはリップ５０が、タンク３２およびタンク１２
または４２の中間の水切り５６を形成する２つの反転Ｖ
形表面５４によって、タンク１２および４２の上方端縁
５２にそれぞれ接続される。

第１の機械２と対照して、洗浄機械２′は第１の浸せき
段のタンク１２内で従来の非引火性（または低引火性）
溶剤を用い、かつ第２の浸せき段のタンク４２内で水を
用いる。スプレー段のみが低引火点溶剤を用いる。１つ
のタンクから次のものへの液体の何らかの持ち越しはあ
るであろうが、Ｖ形表面５４が適当なタンクへの液体の
流れ戻りを可能にする。Ｎ２ナイフによってこれが最小
化され得る。タンク３２への水の持ち越しはなく、かつ
それゆえ低引火点溶剤の発泡が起こらないであろうこと
が往目される。

タンク４２のための構成水が、最終濯ぎとしても動作す
るであろう霧吹ノズルによって設けられ得る。

第４図の丈施例において説明されるように、第４図の第
２の浸せき段は水を含むタンク４２である。改良された
濯ぎ能力のために、水が沸点またはその近くに維持され
、それゆえタンク４２内の水面上の空間は水蒸気である
と考えられる。水蒸気は、２つの液体シールの間のゾー
ン内の液体の上方の空間に不活性さを与える。コンベア
に対する出口点での水蒸気の存在は基板の乾燥を援助す
る。実務において、スプレー洗浄段からの溶剤のいくら
かの持ち越しがあるので、工程が或る峙間の間行なわれ
た後、第２の浸せき段内に水と溶剤との混合があるであ
ろう。こうして、液体面上の空間の蒸気は水蒸気および
溶剤蒸気の混合物であり得る。

タンク４２を少なくとも２つの部分に分割することによ
って類似の結果が達或され得て、第１のものが沸騰点の
近くの水を含みかつ第２のものが沸騰している水を含み
、それは両方の部分の液体表面上の空間を満たす水蒸気
を発生する。

タンク４２を２つの部分に分割することによってさらな
る特定の例が達成されることができ、第１のものが沸騰
している水を含み、それは両方の部分の液体表面上方の
空間を満たす水蒸気を発生し、かつ第２のものが沸騰点
近くの水を含む。

凝縮コイルを適切な位置で用いる従来の蒸留および分離
技術が、水蒸気／溶剤蒸気混合物から溶剤を回復して、
最大の洗浄効果のために第２の浸せきタンク４２内で沸
騰点近くの純粋な蒸留された熱い水を提供するために用
いられ得る。水をカスケード化するために付加的なタン
ク部分が設けられ得て、それによって回路アセンブリが
最適な洗浄結果のために最終となる最も純粋な水を介し
て通過する。

第５図は、低引火点溶剤を用いるように設計された機械
のためのさらなる提案を示す。この場合、機械２′は単
一段を含み、それは、インレットチャネル１０′および
アウトレフトチャネル４６′に直接接続されるタンク１
２′を含む浸せき段である。コンベア８の各々の側上の
タンク１２′内の溶剤の表面の下方に霧吹ノズル３６′
が位置づけられる。ボンプ５８はノズル３６′に接続さ
れて示される。

２つの液体シール６０がタンク１２′の両側端部近くに
位置づけられて、液体表面のより乱れた部分を分離し、
かつＮ２などの不活性ガスが２つのシールの間の空間内
に導入される。Ｎ２は付加的には入口および出口ゾーン
６２および６４内に導入され得る。

スプレー噴射は液体表面の下方であるので、潜在的に引
火性な溶剤の霧状化が減じられる。

この実施例において、タンク１２１内の液体の高さはタ
ンク１２′の頂部の下方に間隔をあけて示される。より
多くの溶剤を加えることによって、タンクが完全に満た
されることができ、それゆえ自由液体レベルが、インレ
ットチャネル１０’およびアウトレフトチャネル４６′
においてタンク１２′の頂部よりもより高い点に位置づ
けられる。

そのような場合、タンク内に不活性ガスはないであろう
。さらに、液体シールは効果がなく、かつアウトレソト
チャネル１０’およびアウトレフトチャネル４６′内の
自由液体レベルでの何らかの攪拌があるであろう。

第４図の実施例は、装置のほんの少しの修正または修正
なしに、異なる組合わせの液体とともに用いるために適
応され得る。たとえば、タンク１２が引火性溶剤を含み
、タンク３２が水を含みかつタンク４２が水を含んでも
よい。熱い水がノズルを介して噴霧されるであろう。そ
の水の温度は、最適な洗浄効果を達或するために工程の
化学的性質とコンパチブルであるべきであり、たとえば
それは沸騰点またはその近くである。もちろん、そのよ
うな装置はそれを含むよりむしろ引火性溶剤をさらし、
それゆえ好ましくない。

コンベアを曲がりくねった経路に沿って通過させる以外
に、基本的技術のさらなる修正は、それを代わりに様々
なタンクの頂部を横切る真直ぐな経路に沿って通過させ
ることを含み、そこでは上方への波が発生されて洗浄さ
れているコンポーネントに接触するかまたはそれらに液
体を流す。

なお、この発明の実施！！様は以下のとおりである。

（１）　加工品を洗浄するための装置であって、液体洗
浄溶剤を保持するためのタンクを含む少なくとも１つの
浸せき洗浄段、および浸せき洗浄段からシールされた囲
まれた室として形成されるスプレー洗浄段を介して加工
品を搬送するための手段を含み、かつ加工品上に液体洗
浄溶剤のスプレーを向けるための霧吹ノズルをその中に
有し、さらに、室内に不活性ガスを導入するための囲まれた室（３２、
３４、１８、２０〉内の手段（４０）を含み、それによ
って潜在的に引火性または爆発性の液体洗浄溶剤が用い
られ得ることを特徴とする、装置。

（２）　液体洗浄溶剤を保持するための、かつスプレー
洗浄段（３２）の後に位置づけられるタンクを含む、さ
らなる浸せき洗浄段（４２）を特徴とする、実施態様項
１に記載の装置。

（３）　浸せき洗浄段のタンク（１２、４２）の側部と
少なくとも同じ高さのフロアを有して囲まれた室（３２
、３４、１８、２０）が形成され、それによって囲まれ
た室の量を最小にすることを特徴とする、実施態様項２
に記載の装置。

（４）　囲まれた室（３２、３４、１８、２０）が浅い
トレイ（３２’）として形成されるフロアを有しかつト
レイ内で集まる霧吹ノズル（３６）からの液体をノズル
へ戻って再循環させるための手段を含むことを特徴とす
る、実施態様項１または２に記載の装置。

（５）　囲まれた室がタンク（３２）として形成される
フロアを有し、かつタンク（３２）内に集まる霧吹ノズ
ル（３６）から液体をノズルへ戻って再循環させるため
の手段を含むことを特徴とする、実施態様項２に記載の
装置。

（６）　スプレー洗浄段のタンク（３２）が浸せき段の
タンク（１２、４２）と連続しておらず、かつ第１の浸
せき段内のタンク（１２）からスプレー洗浄段（３２）
への、および、スプレー洗浄段内のタンク（３２）から
第２の浸せき段（４２）への液体の持ち越しを制限する
ための手段（５４、５６）を含み、それによって異なる
液体が各段において用いられることを特徴とする、実施
態様項５に記載の装置。

（７）　少なくとも１つの浸せき段（１２、４２）から
蒸気を抽出するために手段（４３）が設けられることを
特徴とする、実施態様項１または２に記載の装置。

（８）　少なくとも１つの浸せき段（１２、４２）内へ
不活性ガスを導入するための手段が設けられることを特
徴とする、実施態様項１ないし２に記載の装置。

（９）　不活性ガスを導入するための手段が、少なくと
も１つの浸せき段（１２、４２）内の液体の自由表面下
に不活性ガスを導入するように配置されることを特徴と
する、実施態様項８に記載の装置。

（１０）　不活性ガスを導入するための手段が、少なく
とも１つの浸せき段（１２、４２）内の液体の自由表面
の上方に不活性ガスを導入するように配置される、実施
態様項８に記載の装置。

（１１）　浸せき段のタンク内の液体溶剤上に浮かぶ一
面のコンパチブルな液体を少なくとも１つの浸せき段（
１２、４２）内へ導入するための手段が設けられること
を特徴とする、実施態様項１または２に記載の装置。

（１２）　少なくともスプレー洗浄段において、他の気
体または液体に対する酸素の割合を検出するための検出
器と、検出器に依存して不活性ガスを導入するための手
段（４０）を制御するための手段を特徴とする、実施態
様項１または２に記載の装置。

（１３）　加工品を洗浄するための方法であって、液体
洗浄溶剤のタンクを含む少なくとも１つの浸せき洗浄段
を介して、かつ液体洗浄溶剤が加工品上に噴霧されるか
または流されるスプレー洗浄段を介して加工品を通過さ
せることを含み、スプレー洗浄段が浸せき洗浄段から封
止された閉じられた室を含み、さらに、少なくともスプレー洗浄段において用いられる液体洗浄
溶剤が潜在的に引火性または爆発性であることを特徴と
し、さらに、スプレー洗浄段（３２）内に不活性ガスを噴射し、それ
によってスプレー洗浄段内の酸素を減じかつスプレー洗
浄段における火災または爆発の危険性を減じることを特
徴とする、方法。

（１４）　スプレー洗浄段（３２）の後に位置づけられ
るさらなる浸せき洗浄段（４２）を介して加工品を通過
させ、すべての段内での液体洗浄溶剤が潜在的に引火性
または爆発性であることを特徴とする、実施態様項１３
に記載の方法。

（１５）　スプレー洗浄段の後に位置づけられるさらな
る浸せき洗浄段（４２）を介して加工品を通過させ、少
なくとも１つの浸せき段内の液体溶剤が、スプレー洗浄
段（３２）のための溶剤とコンパチブルである低引火性
液体溶剤であり、かつさらなる浸せき洗浄段が水のみを
含むことを特徴とする、実施態様項１３に記載の方法。

（１６）　スプレー洗浄段の容積を最小にすることを特
徴とする、実施態様項１３、１４または１５に記載の方
法。

（１７）　少なくとも１つの浸せき段から蒸気を抽出す
ることを特徴とする、実施態様項１３、１４または１５
に記載の方法。

（１８）　不活性ガスを少なくとも１つの浸せき段内に
導入することを特徴とする、実施態様項１３、１４およ
び１５に記載の方法。

（ｌ９）　不活性ガスが、少なくとも１つの浸せき段の
液体の自由表面の下方に導入されることを特徴とする、
実施態様項１６に記載の方法。

（２０）　不活性ガスが、少なくとも１つの浸せき段内
の液体の自由表面の上方に導入されることを特徴とする
、実施態様項１６に記載の方法。

（２１〉　液体溶剤上に浮かぶコンパチブルな液体を少
なくとも１つの浸せき段内に導入し、それによって少な
くとも１つの浸せき段を実質上満たすことを特徴とする
、実施態様項１３、１４または１５に記載の方法。

（２２）　加工品を洗浄するための装置であって、液体
洗浄溶剤を保持するためのタンクを含む浸せき洗浄段お
よび加工品上に液体洗浄溶剤のスプレーを向けるための
霧吹ノズルを有するスプレー洗浄段を介して加工品を搬
送するための手段を含み、浸せき洗浄段およびスプレー洗浄段が単一の結合された
浸せきおよびスプレー洗浄段として形成され、それが、
液体洗浄溶剤を保持するためのタンク（１２’）、およ
びそれらが浸せきされている間に加工品上に液体洗浄溶
剤のスプレーを向けるための通常の液体レベルより下方
の位置でタンク（１２’）内に位置づけられる霧吹ノズ
ル（３６′）を含み、それによって潜在的に引火性また
は爆発性の液体洗浄溶剤が用いられ得ることを特徴とす
る、装置。

（２３）　浸せきおよびスプレー洗浄段の少なくとも一
部を人口（１０″）および出口（４６″）ゾーンから封
止するための手段（６０）および不活性ガスを封止され
た部分に導入するための手段を特徴とする、実施態様項
２２に記載の装置。

（２４）　タンク内の液体の自由表面の下方に突出する
のに十分な距離だけタンク（１２’）のルーフから下方
に突出する２つの間隔をあけられた壁部材（６０）でシ
ーリング手段が形成され、それによって液体シールを形
成することを特徴とする、実施態様項２３に記載の装置
。

（２５）　加工品を洗浄する方法であって、液体洗浄溶
剤のタンクを介して加工品を通過させ、かつ溶剤のスプ
レーをノズルから加工品に向けることを含み、さらに、用いられる液体洗浄溶剤が潜在的に引火性または爆発性
であることを特徴とし、さらに、加工品が浸せきされる
一方でタンク（１２’）内で浸せきされるノズル（３６
’）からスプレーを向け、それによって溶剤の霧状化を
減少させることを特徴とする、方法。

（２６）　タンク（１２’）’の少なくとも一部を入口
および出口ゾーン（１０’　、４６’　）から封止し、
かつ不活性ガスを封止された部分内に導入することを特
徴とする、実施態様項２５に記載の方法。

（２７）　不活性ガスが窒素であることを特徴とする、
実施態様項１３、１４または１５に記載の方法。

（２８）　不活性ガスが水蒸気であることを特徴とする
、実施態様項１３、１４または１５に記載の方法。

（２９）　浸せき洗浄段のタンクの側部と少なくとも同
じ高さであるフロアを有して囲まれた室が形成され、そ
れによって囲まれた室の容積を最小にする、実施態様項
２７に記載の装置。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１の実施例を示す概略図であり、第２図はこの発明の第２の実施例の修正された一部を示
す概略図であり、第３図はこの発明の代替の修正例を示す概略図であり、第４図はこの発明のさらなる実施例の概略図であり、さ
らに、第５図はこの発明のなお別の実施例の概略肉である。図において、４は入口であり、６は出口であり、８はコ
ンベアであり、１２および４２はタンクであり、１８お
よび３０は垂直壁部であり、３４は頂部であり、３６は
霧吹ノズルであり、４０はバルプインレットであり、５
４は反転Ｖ形表面であり、５６は水切りであり、６０は
液体シールである。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）加工品を洗浄するための装置であって、液体洗浄
溶剤を保持するためのタンクを含む少なくとも１つの浸
せき洗浄段、および浸せき洗浄段から封止された囲まれ
た室として形成されるスプレー洗浄段を介して加工品を
搬送するための手段を含み、かつ加工品上に液体洗浄溶
剤のスプレーを向けるための霧吹ノズルをその中に有し
、さらに、不活性ガスを室内に導入するための囲まれた室（３２、
３４、１８、２０）内の手段（４０）を含み、それによ
って潜在的に引火性または爆発性の液体洗浄溶剤が用い
られ得ることを特徴とする、装置。