JPH0523648A - 被洗浄物の洗浄方法 - Google Patents
被洗浄物の洗浄方法Info
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- JPH0523648A JPH0523648A JP20242491A JP20242491A JPH0523648A JP H0523648 A JPH0523648 A JP H0523648A JP 20242491 A JP20242491 A JP 20242491A JP 20242491 A JP20242491 A JP 20242491A JP H0523648 A JPH0523648 A JP H0523648A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】非水溶系のテルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭
化水素系溶剤、親水系の高級アルコール等の粘性の高い
洗浄液を、被洗浄物の洗浄に使用しながら、被洗浄物に
超音波洗浄効果を得ることを可能にするものである。 【構成】まず、粘性の高い洗浄液中に被洗浄物を浸漬し
て洗浄を行う。つぎに、被洗浄物を、水または極性溶剤
を含有する含有水から成る超音波洗浄液中に浸漬し、こ
の超音波洗浄液中で超音波洗浄を行う。そして、粘性の
高い洗浄液中での洗浄により、被洗浄物から溶解または
剥離しながら凹部等に残留している汚物を除去する。
化水素系溶剤、親水系の高級アルコール等の粘性の高い
洗浄液を、被洗浄物の洗浄に使用しながら、被洗浄物に
超音波洗浄効果を得ることを可能にするものである。 【構成】まず、粘性の高い洗浄液中に被洗浄物を浸漬し
て洗浄を行う。つぎに、被洗浄物を、水または極性溶剤
を含有する含有水から成る超音波洗浄液中に浸漬し、こ
の超音波洗浄液中で超音波洗浄を行う。そして、粘性の
高い洗浄液中での洗浄により、被洗浄物から溶解または
剥離しながら凹部等に残留している汚物を除去する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、機械部品、電子部品、
プリント基板等の被洗浄物の洗浄方法に係るものであ
る。
プリント基板等の被洗浄物の洗浄方法に係るものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、被洗浄物に付着した汚物を確実に
除去する、精密洗浄をしようとする場合には、化学的に
汚物除去が可能な洗浄液中に被洗浄物を浸漬した状態
で、超音波を被洗浄物に当てて洗浄を行うことが一般的
に行われている。
除去する、精密洗浄をしようとする場合には、化学的に
汚物除去が可能な洗浄液中に被洗浄物を浸漬した状態
で、超音波を被洗浄物に当てて洗浄を行うことが一般的
に行われている。
【0003】しかしながら、洗浄液が、テルペン溶剤、
シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、高級アルコール等
の、粘性の高い溶剤である場合には、超音波振動子から
発した超音波キャビテーションが、被洗浄物に到達する
までに、粘性の高い洗浄液によって減衰され、超音波洗
浄効果を生じ得ないものであった。
シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、高級アルコール等
の、粘性の高い溶剤である場合には、超音波振動子から
発した超音波キャビテーションが、被洗浄物に到達する
までに、粘性の高い洗浄液によって減衰され、超音波洗
浄効果を生じ得ないものであった。
【0004】そのため、粘性の高い洗浄液との接触によ
って被洗浄物から剥離している汚物も、被洗浄物の凹部
等から離脱することができずに残留し、高度な精密洗浄
を行うことができない欠点を生じていた。
って被洗浄物から剥離している汚物も、被洗浄物の凹部
等から離脱することができずに残留し、高度な精密洗浄
を行うことができない欠点を生じていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のごとき
課題を解決しようとするものであって、非水溶系のテル
ペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、親水系の
高級アルコール等の粘性の高い洗浄液を、被洗浄物の洗
浄に使用しながら、被洗浄物に超音波洗浄効果を得るこ
とを可能にしようとするものである。
課題を解決しようとするものであって、非水溶系のテル
ペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、親水系の
高級アルコール等の粘性の高い洗浄液を、被洗浄物の洗
浄に使用しながら、被洗浄物に超音波洗浄効果を得るこ
とを可能にしようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、粘性の高い洗浄液中に被洗浄物を浸
漬して洗浄を行った後に、被洗浄物を、水または極性溶
剤を含有する含有水から成る超音波洗浄液中に浸漬し、
この超音波洗浄液中で超音波洗浄を行うことを特徴とし
て成るものである。
題を解決するため、粘性の高い洗浄液中に被洗浄物を浸
漬して洗浄を行った後に、被洗浄物を、水または極性溶
剤を含有する含有水から成る超音波洗浄液中に浸漬し、
この超音波洗浄液中で超音波洗浄を行うことを特徴とし
て成るものである。
【0007】また、粘性の高い洗浄液は、非水溶系溶剤
ではテルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、
親水系溶剤では高級アルコールであっても良い。
ではテルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、
親水系溶剤では高級アルコールであっても良い。
【0008】また、極性溶剤は、アルコール類またはケ
トン類であっても良い。
トン類であっても良い。
【0009】また、粘性の高い溶剤とは、粘度が20℃
にて2cP以上であっても良い。
にて2cP以上であっても良い。
【0010】また、超音波洗浄液は、粘度が、20℃に
て2cP未満であっても良い。
て2cP未満であっても良い。
【0011】
【作用】本発明方法で被洗浄物の洗浄作業を行うには、
まず粘度が20℃にて2cP以上の粘性の高い洗浄液中
に被洗浄物を浸漬して洗浄を行なう。この粘性の高い洗
浄液は、テルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶
剤、高級アルコール等が考慮される。これらの高い粘性
の洗浄液は、この洗浄液中に浸漬した被洗浄物を超音波
洗浄しようとしても、超音波を減衰してしまうため、被
洗浄物に対して有効な超音波洗浄を行うことはできな
い。
まず粘度が20℃にて2cP以上の粘性の高い洗浄液中
に被洗浄物を浸漬して洗浄を行なう。この粘性の高い洗
浄液は、テルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶
剤、高級アルコール等が考慮される。これらの高い粘性
の洗浄液は、この洗浄液中に浸漬した被洗浄物を超音波
洗浄しようとしても、超音波を減衰してしまうため、被
洗浄物に対して有効な超音波洗浄を行うことはできな
い。
【0012】しかしながら、これらの粘性の高い洗浄液
は、被洗浄物の汚物を化学的に溶解したり、剥離するに
は有効なものである。そのため、被洗浄物から汚物を溶
解したり剥離することは可能となるが、超音波という物
理的力が作用しないため、溶解したり、剥離した汚物
は、被洗浄物の凹部等に残留し、確実に除去することは
できないものである。
は、被洗浄物の汚物を化学的に溶解したり、剥離するに
は有効なものである。そのため、被洗浄物から汚物を溶
解したり剥離することは可能となるが、超音波という物
理的力が作用しないため、溶解したり、剥離した汚物
は、被洗浄物の凹部等に残留し、確実に除去することは
できないものである。
【0013】そこで本発明では、粘性の高い洗浄液中に
被洗浄物を浸漬して洗浄を行なった後に、被洗浄物を、
超音波洗浄液中に浸漬して超音波洗浄を行う。この超音
波洗浄液は、水またはアルコール類、ケトン類等の極性
溶剤を含有する含有水により、20℃に於いて粘度が2
cP未満となるよう形成する。
被洗浄物を浸漬して洗浄を行なった後に、被洗浄物を、
超音波洗浄液中に浸漬して超音波洗浄を行う。この超音
波洗浄液は、水またはアルコール類、ケトン類等の極性
溶剤を含有する含有水により、20℃に於いて粘度が2
cP未満となるよう形成する。
【0014】水または極性溶剤を含有する含有水から成
る超音波洗浄液は、粘度が20℃に於いて2cP未満で
あるから、超音波キャビテーションの伝達性が極めて良
いものである。そのため、粘性の高い洗浄液中で汚物を
溶解したり剥離したりしている被洗浄物は、凹部等に残
留している汚物を超音波キャビテーションによる物理的
な力によって、被洗浄物から確実に除去することができ
るものとなる。
る超音波洗浄液は、粘度が20℃に於いて2cP未満で
あるから、超音波キャビテーションの伝達性が極めて良
いものである。そのため、粘性の高い洗浄液中で汚物を
溶解したり剥離したりしている被洗浄物は、凹部等に残
留している汚物を超音波キャビテーションによる物理的
な力によって、被洗浄物から確実に除去することができ
るものとなる。
【0015】そして、水または含有水からなる超音波洗
浄液は、濯ぎ洗浄ではなく、被洗浄物に物理的な力とし
ての超音波キャビテーションを加えるもので、超音波洗
浄液として作用するものである。従って、超音波キャビ
テーションの減衰が生じる粘度と成らない限り、水また
は含有水からなる超音波洗浄液は、粘性の高い洗浄液で
洗浄した被洗浄物を、繰り返して超音波洗浄に使用する
ことができる。
浄液は、濯ぎ洗浄ではなく、被洗浄物に物理的な力とし
ての超音波キャビテーションを加えるもので、超音波洗
浄液として作用するものである。従って、超音波キャビ
テーションの減衰が生じる粘度と成らない限り、水また
は含有水からなる超音波洗浄液は、粘性の高い洗浄液で
洗浄した被洗浄物を、繰り返して超音波洗浄に使用する
ことができる。
【0016】また、水にアルコール類、ケトン類等の極
性溶剤を加えれば、水の表面張力を低下させることがで
きるから、被洗浄物の細かい凹部等にも超音波洗浄キャ
ビテーションを供給し、高度の精密洗浄を可能とするこ
とができる。
性溶剤を加えれば、水の表面張力を低下させることがで
きるから、被洗浄物の細かい凹部等にも超音波洗浄キャ
ビテーションを供給し、高度の精密洗浄を可能とするこ
とができる。
【0017】
【実施例】以下本発明の一実施例を図1に於いて説明す
れば、(1)は溶剤洗浄槽で、非水溶系溶剤としては、テ
ルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、親水性
溶剤としては、高級アルコール等の高い粘性の洗浄液
(2)を充填している。そして、これらの高い粘度の洗浄
液(2)は、20℃に於いて2cP以上の粘度を有するも
のであり、高級アルコールでは約7cPの粘度を有して
いる。
れば、(1)は溶剤洗浄槽で、非水溶系溶剤としては、テ
ルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、親水性
溶剤としては、高級アルコール等の高い粘性の洗浄液
(2)を充填している。そして、これらの高い粘度の洗浄
液(2)は、20℃に於いて2cP以上の粘度を有するも
のであり、高級アルコールでは約7cPの粘度を有して
いる。
【0018】そして、この溶剤洗浄槽(1)は下底に超音
波振動子(3)を形成し、洗浄液(2)の量が少なく減衰が
大きくない場合には、不十分ながら超音波洗浄を、化学
的な洗浄と併せて行うことができる。この溶剤洗浄槽
(1)に於ける超音波洗浄は、洗浄液(2)の量が多い場合
等には、行うことができない場合もある。また超音波振
動子(3)は必ずしも設けなくとも良いものである。
波振動子(3)を形成し、洗浄液(2)の量が少なく減衰が
大きくない場合には、不十分ながら超音波洗浄を、化学
的な洗浄と併せて行うことができる。この溶剤洗浄槽
(1)に於ける超音波洗浄は、洗浄液(2)の量が多い場合
等には、行うことができない場合もある。また超音波振
動子(3)は必ずしも設けなくとも良いものである。
【0019】また、溶剤洗浄槽(1)に隣接して超音波洗
浄槽(4)を形成している。この超音波洗浄槽(4)には、
下底に超音波振動子(5)を設置するとともに水または、
水にアルコール類、ケトン類等の極性溶剤を加えた含有
水からなる超音波洗浄液(6)を充填している。この超音
波洗浄液(6)は、20℃にて2cP以下の粘度を有する
ものである。例えば水は1cPの粘度を有している。そ
して、この超音波洗浄液(6)に、溶剤洗浄槽(1)で高い
粘性の洗浄液(2)により洗浄を行った被洗浄物(7)を浸
漬して超音波キャビテーションによる洗浄を行う。
浄槽(4)を形成している。この超音波洗浄槽(4)には、
下底に超音波振動子(5)を設置するとともに水または、
水にアルコール類、ケトン類等の極性溶剤を加えた含有
水からなる超音波洗浄液(6)を充填している。この超音
波洗浄液(6)は、20℃にて2cP以下の粘度を有する
ものである。例えば水は1cPの粘度を有している。そ
して、この超音波洗浄液(6)に、溶剤洗浄槽(1)で高い
粘性の洗浄液(2)により洗浄を行った被洗浄物(7)を浸
漬して超音波キャビテーションによる洗浄を行う。
【0020】この、超音波キャビテーションによる洗浄
を行う前に、被洗浄物(7)は、溶剤洗浄槽(1)で粘性の
高い洗浄液(2)による洗浄が行われている。この粘性の
高い洗浄液(2)による被洗浄物(7)の洗浄は、被洗浄物
(7)の汚物を化学的に溶解したり、剥離するには有効な
ものである。そのため、被洗浄物(7)から汚物を溶解し
たり剥離することは可能となるが、超音波という物理的
力が作用しないため、溶解したり、剥離した汚物は、被
洗浄物(7)の凹部等から確実に除去することはできない
ものである。
を行う前に、被洗浄物(7)は、溶剤洗浄槽(1)で粘性の
高い洗浄液(2)による洗浄が行われている。この粘性の
高い洗浄液(2)による被洗浄物(7)の洗浄は、被洗浄物
(7)の汚物を化学的に溶解したり、剥離するには有効な
ものである。そのため、被洗浄物(7)から汚物を溶解し
たり剥離することは可能となるが、超音波という物理的
力が作用しないため、溶解したり、剥離した汚物は、被
洗浄物(7)の凹部等から確実に除去することはできない
ものである。
【0021】そこで、粘性の高い洗浄液で洗浄を行なっ
た被洗浄物(7)を、水またはアルコール類、ケトン類等
の極性溶剤を含有する含有水から成る超音波洗浄液(6)
中に浸漬し、この超音波洗浄液(6)中で超音波洗浄を行
う。水または極性溶剤を含有する含有水からなる超音波
洗浄液(6)は、粘性が20℃に於いて2cP未満である
から、超音波キャビテーションの伝達性が極めて良いも
のである。そのため、粘性の高い洗浄液(2)中で汚物を
溶解したり剥離したりしている被洗浄物(7)は、凹部等
に残留している汚物を、超音波キャビテーションによる
物理的な力によって、被洗浄物(7)から確実に除去する
ことができ、高度の精密洗浄を可能とすることができ
る。
た被洗浄物(7)を、水またはアルコール類、ケトン類等
の極性溶剤を含有する含有水から成る超音波洗浄液(6)
中に浸漬し、この超音波洗浄液(6)中で超音波洗浄を行
う。水または極性溶剤を含有する含有水からなる超音波
洗浄液(6)は、粘性が20℃に於いて2cP未満である
から、超音波キャビテーションの伝達性が極めて良いも
のである。そのため、粘性の高い洗浄液(2)中で汚物を
溶解したり剥離したりしている被洗浄物(7)は、凹部等
に残留している汚物を、超音波キャビテーションによる
物理的な力によって、被洗浄物(7)から確実に除去する
ことができ、高度の精密洗浄を可能とすることができ
る。
【0022】また、超音波洗浄槽(4)に隣接して仕上槽
(8)を形成し、超音波洗浄を行った被洗浄物(7)を濯ぎ
洗浄または乾燥作業等の任意の作業を行うことができ
る。
(8)を形成し、超音波洗浄を行った被洗浄物(7)を濯ぎ
洗浄または乾燥作業等の任意の作業を行うことができ
る。
【0023】上記の図1に示す実施例では、被洗浄物
(7)を溶剤洗浄槽(1)から超音波洗浄槽(4)に移動して
超音波洗浄を行った。しかし、必ずしも被洗浄物(7)の
移動は必要なく、図2に示すごとく、溶剤洗浄槽と超音
波洗浄槽とを兼ねる共用洗浄槽(10)内に被洗浄物(7)
を位置し、他の槽に移動する事なく粘性の高い洗浄液
(2)での洗浄と、水または極性溶剤を含有する含有水か
らなる超音波洗浄液(6)による洗浄とを行うことも可能
である。
(7)を溶剤洗浄槽(1)から超音波洗浄槽(4)に移動して
超音波洗浄を行った。しかし、必ずしも被洗浄物(7)の
移動は必要なく、図2に示すごとく、溶剤洗浄槽と超音
波洗浄槽とを兼ねる共用洗浄槽(10)内に被洗浄物(7)
を位置し、他の槽に移動する事なく粘性の高い洗浄液
(2)での洗浄と、水または極性溶剤を含有する含有水か
らなる超音波洗浄液(6)による洗浄とを行うことも可能
である。
【0024】この方法は、洗浄液タンク(11)と、超音
波洗浄液タンク(12)とを、排出ポンプ(13)(14)と
導入ポンプ(15)(16)を介して共用洗浄槽(10)に接
続する。そして、洗浄液タンク(11)には、テルペン溶
剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、高級アルコール
等の高い粘性の洗浄液(2)を充填し、超音波洗浄液タン
ク(12)には、水またはアルコール類、ケトン類等の極
性溶剤を含有する含有水から成る超音波洗浄液(6)を充
填している。
波洗浄液タンク(12)とを、排出ポンプ(13)(14)と
導入ポンプ(15)(16)を介して共用洗浄槽(10)に接
続する。そして、洗浄液タンク(11)には、テルペン溶
剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、高級アルコール
等の高い粘性の洗浄液(2)を充填し、超音波洗浄液タン
ク(12)には、水またはアルコール類、ケトン類等の極
性溶剤を含有する含有水から成る超音波洗浄液(6)を充
填している。
【0025】そして、洗浄液タンク(11)から、導入ポ
ンプ(15)により高い粘性の洗浄液(2)を共用洗浄槽
(10)に導入し、被洗浄物(7)の洗浄を行う。この高い
粘性の洗浄液(2)による洗浄が完了した後、共用洗浄槽
(10)から排出ポンプ(13)により洗浄液(2)を洗浄液
タンク(11)に復元排出する。
ンプ(15)により高い粘性の洗浄液(2)を共用洗浄槽
(10)に導入し、被洗浄物(7)の洗浄を行う。この高い
粘性の洗浄液(2)による洗浄が完了した後、共用洗浄槽
(10)から排出ポンプ(13)により洗浄液(2)を洗浄液
タンク(11)に復元排出する。
【0026】次に、導入ポンプ(16)を作動して、超音
波洗浄液タンク(12)から超音波洗浄液(6)を共用洗浄
槽(10)に導入する。そして、超音波洗浄液(6)により
被洗浄物(7)の超音波洗浄を行う。
波洗浄液タンク(12)から超音波洗浄液(6)を共用洗浄
槽(10)に導入する。そして、超音波洗浄液(6)により
被洗浄物(7)の超音波洗浄を行う。
【0027】この実施例による洗浄方法においては、高
い粘性の洗浄液(2)による洗浄と、超音波洗浄液(6)に
よる超音波洗浄とを行うのに、被洗浄物(7)の移動の必
要がなく、迅速な洗浄作業と、移動機構の必要がないた
め廉価な装置を得ることが可能となる。
い粘性の洗浄液(2)による洗浄と、超音波洗浄液(6)に
よる超音波洗浄とを行うのに、被洗浄物(7)の移動の必
要がなく、迅速な洗浄作業と、移動機構の必要がないた
め廉価な装置を得ることが可能となる。
【0028】また、上記の各実施例においては、溶剤洗
浄槽(1)、共用洗浄槽(10)、または洗浄液タンク(1
1)等を組み合わせて複数個用いた。しかし、他の異な
る実施例においては、図3に示すごとく、1個の共用洗
浄槽(10)に高い粘性の洗浄液(2)と、低い粘性の超音
波洗浄液(6)とを同時に充填し、この1個の共用洗浄槽
(10)のみによって、高い粘性の洗浄液(7)による洗浄
とともに、超音波洗浄液(6)よる超音波洗浄とを行うこ
とを可能とする。
浄槽(1)、共用洗浄槽(10)、または洗浄液タンク(1
1)等を組み合わせて複数個用いた。しかし、他の異な
る実施例においては、図3に示すごとく、1個の共用洗
浄槽(10)に高い粘性の洗浄液(2)と、低い粘性の超音
波洗浄液(6)とを同時に充填し、この1個の共用洗浄槽
(10)のみによって、高い粘性の洗浄液(7)による洗浄
とともに、超音波洗浄液(6)よる超音波洗浄とを行うこ
とを可能とする。
【0029】上記の洗浄方法によれば、1個の共用洗浄
槽(10)によって高い粘性の洗浄液(2)による洗浄と、
超音波洗浄液(6)による超音波洗浄とを行うことができ
るから、廉価な装置によって、廉価な洗浄作業を可能と
する。
槽(10)によって高い粘性の洗浄液(2)による洗浄と、
超音波洗浄液(6)による超音波洗浄とを行うことができ
るから、廉価な装置によって、廉価な洗浄作業を可能と
する。
【0030】尚、上記洗浄方法において、高い粘性の洗
浄液(2)は、超音波洗浄液(6)とは溶解しない非水溶性
である事が条件となり、例えば高級アルコール等の親水
性溶剤は好ましくない。また、超音波振動子(5)と接触
する側に超音波洗浄液(6)が位置しなければ成らない。
浄液(2)は、超音波洗浄液(6)とは溶解しない非水溶性
である事が条件となり、例えば高級アルコール等の親水
性溶剤は好ましくない。また、超音波振動子(5)と接触
する側に超音波洗浄液(6)が位置しなければ成らない。
【0031】そして、超音波洗浄液(6)と、この超音波
洗浄液(6)に溶解することのない洗浄液(2)とを、1つ
の共用洗浄槽(10)に充填しているから、高い粘性の洗
浄液(2)で被洗浄物(7)の洗浄を行った後、同一の共用
洗浄槽(10)内を上方または下方に移動し、超音波洗浄
液(6)内で超音波洗浄を行えば被洗浄物(7)の洗浄が完
了する。
洗浄液(6)に溶解することのない洗浄液(2)とを、1つ
の共用洗浄槽(10)に充填しているから、高い粘性の洗
浄液(2)で被洗浄物(7)の洗浄を行った後、同一の共用
洗浄槽(10)内を上方または下方に移動し、超音波洗浄
液(6)内で超音波洗浄を行えば被洗浄物(7)の洗浄が完
了する。
【0032】この実施例によれば、1つの共用洗浄槽
(10)で洗浄が完了し、廉価な装置により迅速な洗浄作
業を可能とするものである。
(10)で洗浄が完了し、廉価な装置により迅速な洗浄作
業を可能とするものである。
【0033】
【発明の効果】本発明は上述のごとく、被洗浄物の化学
的汚れ除去に最も適した粘性の高い洗浄液中で、汚物を
溶解または剥離し、凹部等に残留している汚物を超音波
キャビテーションによる物理的な力によって、被洗浄物
から確実に除去することができる。
的汚れ除去に最も適した粘性の高い洗浄液中で、汚物を
溶解または剥離し、凹部等に残留している汚物を超音波
キャビテーションによる物理的な力によって、被洗浄物
から確実に除去することができる。
【0034】そのため、粘性の高い洗浄液による洗浄作
業に、超音波洗浄の効果を加えることが可能となり、従
来は困難であった、粘性の高い洗浄液による超音波洗浄
効果を得ることができ、高度の精密洗浄を可能とするも
のである。
業に、超音波洗浄の効果を加えることが可能となり、従
来は困難であった、粘性の高い洗浄液による超音波洗浄
効果を得ることができ、高度の精密洗浄を可能とするも
のである。
【図1】本発明の第1実施例を示す概略図。
【図2】本発明の第2実施例を示す概略図。
【図3】本発明の第3実施例を示す概略図。
1 洗浄液
6 超音波洗浄液
7 被洗浄物
Claims (5)
- 【請求項1】粘性の高い洗浄液中に被洗浄物を浸漬して
洗浄を行った後に、被洗浄物を、水または極性溶剤を含
有する含有水から成る超音波洗浄液中に浸漬し、この超
音波洗浄液中で超音波洗浄を行うことを特徴とする被洗
浄物の洗浄方法。 - 【請求項2】粘性の高い洗浄液は、非水溶系溶剤ではテ
ルペン溶剤、シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、親水系
溶剤では高級アルコールであることを特徴とする請求項
1記載の被洗浄物の洗浄方法。 - 【請求項3】極性溶剤は、アルコール類またはケトン類
であることを特徴とする請求項1記載の被洗浄物の洗浄
方法。 - 【請求項4】粘性の高い溶剤は、粘度が、20℃にて2
cP以上であることを特徴とする請求項1記載の被洗浄
物の洗浄方法。 - 【請求項5】超音波洗浄液は、粘度が、20℃にて2c
P未満であることを特徴とする請求項1記載の被洗浄物
の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20242491A JPH0523648A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 被洗浄物の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20242491A JPH0523648A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 被洗浄物の洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0523648A true JPH0523648A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16457284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20242491A Pending JPH0523648A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 被洗浄物の洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0523648A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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